特開 2024-5396 積層体の製造装置及び積層体の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024005396

(43)【公開日】2024-01-17

(54)【発明の名称】積層体の製造装置及び積層体の製造方法

(51)【国際特許分類】

   B32B 37/10 20060101AFI20240110BHJP

   B29C 43/14 20060101ALI20240110BHJP

   B29C 43/32 20060101ALI20240110BHJP

【ＦＩ】

B32B37/10

B29C43/14

B29C43/32

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022105560

(22)【出願日】2022-06-30

(71)【出願人】

【識別番号】000190688

【氏名又は名称】新光電気工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】横嶌 充

(72)【発明者】

【氏名】春日 崇志

【テーマコード（参考）】

4F100

4F204

【Ｆターム（参考）】

4F100AK01A

4F100AK01E

4F100AL09

4F100AT00

4F100AT00A

4F100AT00C

4F100AT00E

4F100BA05

4F100BA06

4F100DC21B

4F100DC21D

4F100EJ17

4F100EJ42

4F100JG01B

4F100JG01D

4F100JG04A

4F100JG04E

4F100JK01

4F100JK11

4F204AC03

4F204AD19

4F204AG03

4F204AH36

4F204AJ01

4F204AJ09

4F204AM28

4F204AR12

4F204FA01

4F204FB01

4F204FB22

4F204FG02

4F204FN11

4F204FN15

4F204FQ01

(57)【要約】      （修正有）

【課題】良好な平坦性の確保及び生産性の向上を両立することができる積層体の製造装置及び積層体の製造方法を提供する。
【解決手段】基材と、前記基材に積層されたフィルムと、を含む第１仮積層体を、前記フィルムに第１押圧部材を接触させながら、前記第１仮積層体の積層方向に平行な第１方向に押圧する第１プレス機と、さらに前記フィルムに第２押圧部材を接触させながら前記第１方向に押圧する第２プレス機と、さらにフィルムに第３押圧部材を接触させながら前記第１方向に押圧する第３プレス機と、さらに、前記フィルムに第４押圧部材を接触させながら前記第１方向に押圧する第４プレス機とを有し、前記第３押圧部材の前記第１方向における剛性は、前記第２押圧部材の前記第１方向における剛性よりも高い。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基材と、前記基材に積層されたフィルムと、を含む第１仮積層体を、前記フィルムに第１押圧部材を接触させながら、前記第１仮積層体の積層方向に平行な第１方向に押圧して第２仮積層体を形成する第１プレス機と、
前記第２仮積層体を、前記フィルムに第２押圧部材を接触させながら前記第１方向に押圧して第３仮積層体を形成する第２プレス機と、
前記第３仮積層体を、前記フィルムに第３押圧部材を接触させながら前記第１方向に押圧して第４仮積層体を形成する第３プレス機と、
前記第４仮積層体を、前記フィルムに第４押圧部材を接触させながら前記第１方向に押圧する第４プレス機と、
を有し、
前記第１押圧部材は、
第１熱盤と、
前記第１熱盤に固定され、前記フィルムに接触する樹脂製弾性部材と、
を有し、
前記第２押圧部材は、
第２熱盤と、
前記フィルムに接触する第１金属板と、
前記第２熱盤と前記第１金属板との間に設けられた第１緩衝材と、
を有し、
前記第３押圧部材は、
第３熱盤と、
前記フィルムに接触する第２金属板と、
前記第３熱盤と前記第２金属板との間に設けられた第２緩衝材と、
を有し、
前記第４押圧部材は、
第４熱盤と、
前記第４熱盤に直接固定され、前記フィルムに接触する第３金属板と、
を有し、
前記第３押圧部材の前記第１方向における剛性は、前記第２押圧部材の前記第１方向における剛性よりも高い積層体の製造装置。

【請求項2】

前記第２緩衝材の前記第１方向における剛性は、前記第１緩衝材の前記第１方向における剛性よりも高い請求項１に記載の積層体の製造装置。

【請求項3】

前記第２金属板の前記第１方向における寸法は、前記第１金属板の前記第１方向における寸法よりも大きい請求項１に記載の積層体の製造装置。

【請求項4】

前記第２緩衝材の前記第１方向における剛性は、前記第１緩衝材の前記第１方向における剛性よりも高く、
前記第２金属板の前記第１方向における寸法は、前記第１金属板の前記第１方向における寸法よりも大きい請求項１に記載の積層体の製造装置。

【請求項5】

前記第４プレス機は、サーボプレス機である請求項１乃至４のいずれか１項に記載の積層体の製造装置。

【請求項6】

前記第１プレス機、前記第２プレス機及び前記第３プレス機は、油圧プレス機又はエアープレス機である請求項５に記載の積層体の製造装置。

【請求項7】

前記第３プレス機は、前記第４仮積層体の厚さを測定するセンサを有する請求項５に記載の積層体の製造装置。

【請求項8】

基材と、前記基材に積層されたフィルムと、を含む第１仮積層体を、前記フィルムに第１押圧部材を接触させながら、前記第１仮積層体の積層方向に平行な第１方向に押圧して第２仮積層体を形成する工程と、
前記第２仮積層体を、前記フィルムに第２押圧部材を接触させながら前記第１方向に押圧して第３仮積層体を形成する工程と、
前記第３仮積層体を、前記フィルムに第３押圧部材を接触させながら前記第１方向に押圧して第４仮積層体を形成する工程と、
前記第４仮積層体を、前記フィルムに第４押圧部材を接触させながら前記第１方向に押圧する工程と、
を有し、
前記第１押圧部材は、
第１熱盤と、
前記第１熱盤に固定され、前記フィルムに接触する樹脂製弾性部材と、
を有し、
前記第２押圧部材は、
第２熱盤と、
前記フィルムに接触する第１金属板と、
前記第２熱盤と前記第１金属板との間に設けられた第１緩衝材と、
を有し、
前記第３押圧部材は、
第３熱盤と、
前記フィルムに接触する第２金属板と、
前記第３熱盤と前記第２金属板との間に設けられた第２緩衝材と、
を有し、
前記第４押圧部材は、
第４熱盤と、
前記第４熱盤に直接固定され、前記フィルムに接触する第３金属板と、
を有し、
前記第３押圧部材の前記第１方向における剛性は、前記第２押圧部材の前記第１方向における剛性よりも高い積層体の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、積層体の製造装置及び積層体の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

基材の上に樹脂フィルムを積層するために３段階の平面プレスを行う積層装置が提案されている（特許文献１）。特許文献１には、３段階目の平面プレスにサーボモータを用いることが記載されている。特許文献１には、３段階目の平面プレスに緩衝材を用いないことや、緩衝材を用いる場合は２段階目の平面プレスよりも緩衝効果が低い緩衝材を用いること記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－２８９８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載された装置において、３段階目の平面プレスに緩衝効果が低い緩衝材を用いる場合、樹脂フィルムの表面に良好な平坦性を得にくい。また、３段階目の平面プレスに緩衝材を用いない場合であっても、３段階目の平面プレスにかかる時間が長く、生産性の向上が困難である。特許文献１に記載された装置を用いる場合、３段階目の平面プレスにかける時間を短くすると、緩衝材を用いないとしても、樹脂フィルムの表面に良好な平坦性を得にくい。

【0005】

本開示は、良好な平坦性の確保及び生産性の向上を両立することができる積層体の製造装置及び積層体の製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一形態によれば、基材と、前記基材に積層されたフィルムと、を含む第１仮積層体を、前記フィルムに第１押圧部材を接触させながら、前記第１仮積層体の積層方向に平行な第１方向に押圧して第２仮積層体を形成する第１プレス機と、前記第２仮積層体を、前記フィルムに第２押圧部材を接触させながら前記第１方向に押圧して第３仮積層体を形成する第２プレス機と、前記第３仮積層体を、前記フィルムに第３押圧部材を接触させながら前記第１方向に押圧して第４仮積層体を形成する第３プレス機と、前記第４仮積層体を、前記フィルムに第４押圧部材を接触させながら前記第１方向に押圧する第４プレス機と、を有し、前記第１押圧部材は、第１熱盤と、前記第１熱盤に固定され、前記フィルムに接触する樹脂製弾性部材と、を有し、前記第２押圧部材は、第２熱盤と、前記フィルムに接触する第１金属板と、前記第２熱盤と前記第１金属板との間に設けられた第１緩衝材と、を有し、前記第３押圧部材は、第３熱盤と、前記フィルムに接触する第２金属板と、前記第３熱盤と前記第２金属板との間に設けられた第２緩衝材と、を有し、前記第４押圧部材は、第４熱盤と、前記第４熱盤に直接固定され、前記フィルムに接触する第３金属板と、を有し、前記第３押圧部材の前記第１方向における剛性は、前記第２押圧部材の前記第１方向における剛性よりも高い積層体の製造装置が提供される。

【発明の効果】

【0007】

開示に技術によれば、良好な平坦性の確保及び生産性の向上を両立することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】第１実施形態に係る積層体の製造装置を例示する図である。

【図2】第１実施形態に係る積層体の製造装置を用いた積層体の製造方法を例示する図（その１）である。

【図3】第１実施形態に係る積層体の製造装置を用いた積層体の製造方法を例示する図（その２）である。

【図4】第１実施形態に係る積層体の製造装置を用いた積層体の製造方法を例示する図（その３）である。

【図5】第１実施形態に係る積層体の製造装置を用いた積層体の製造方法を例示する図（その４）である。

【図6】第１実施形態に係る積層体の製造装置を用いた積層体の製造方法を例示する図（その５）である。

【図7】第２実施形態に係る積層体の製造装置を用いた積層体の製造方法を例示する図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、実施形態について添付の図面を参照しながら具体的に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複した説明を省くことがある。

【0010】

（第１実施形態）
まず、第１実施形態に係る積層体の製造装置について説明する。図１は、第１実施形態に係る積層体の製造装置を例示する図である。図２～図６は、第１実施形態に係る積層体の製造装置を用いた積層体の製造方法を例示する図である。

【0011】

第１実施形態に係る積層体の製造装置１は、図１に示されるように、第１プレス機９１と、第２プレス機９２と、第３プレス機９３と、第４プレス機９４と、投入部９５と、受取部９６とを有する。図２～図６に示されるように、第１プレス機９１は第１仮積層体５１から第２仮積層体５２を形成し、第２プレス機９２は第２仮積層体５２から第３仮積層体５３を形成し、第３プレス機９３は第３仮積層体５３から第４仮積層体５４を形成する。第４プレス機９４は第４仮積層体５４から積層体５５を形成する。投入部９５は、第１プレス機９１によりプレスされる第１仮積層体５１が外部から投入される部分であり、第１仮積層体５１が投入されると、第１プレス機９１に受け渡す。受取部９６は、第４プレス機９４により形成された積層体５５を受け取る部分であり、受取部９６から外部へと積層体５５が取り出される。

【0012】

図６に示されるように、製造装置１により製造される積層体５５は、基材３０と、フィルム４１と、フィルム４２とを有する。基材３０は、フィルム４１とフィルム４２との間にある。積層体５５は、例えば配線基板に用いられる。本実施形態では、便宜上、基材３０のフィルム４１側を上側又は一方の側、フィルム４２側を下側又は他方の側とする。また、各部位のフィルム４１側の面を上面又は一方の面、フィルム４２側の面を下面又は他方の面とする。但し、積層体５５は天地逆の状態で用いることができ、又は任意の角度で配置することができる。

【0013】

基材３０は、コア１０と、配線層２１と、配線層２２とを有する。配線層２１はコア１０の一方の面に設けられている。配線層２１は配線パターンを含み、コア１０の一方の面の一部が配線層２１から露出している。配線層２２はコア１０の他方の面に設けられている。配線層２２は配線パターンを含み、コア１０の他方の面の一部が配線層２２から露出している。基材３０の一方の面には配線層２１の配線パターンに起因する凹凸が存在し、基材３０の他方の面には配線層２２の配線パターンに起因する凹凸が存在する。

【0014】

フィルム４１及び４２は、例えば絶縁樹脂フィルムであり、絶縁層として機能する。フィルム４１は基材３０の一方の面を覆い、基材３０の一方の面の凹部を埋める。フィルム４２は基材３０の他方の面を覆い、基材３０の他方の面の凹部を埋める。

【0015】

図２（ａ）及び図２（ｂ）に示されるように、第１プレス機９１は、上側プレート１１１と、下側プレート１２１と、互いに平行な複数の駆動軸１５０と、上側押圧部材１１０と、下側押圧部材１２０とを有する。上側プレート１１１及び下側プレート１２１は駆動軸１５０により支持されている。上側プレート１１１の下面と下側プレート１２１の上面とは互いに平行であり、互いに対向している。例えば、上側プレート１１１が駆動軸１５０に固定され、下側プレート１２１は駆動軸１５０に沿って上下に移動可能に駆動軸１５０に支持されている。下側プレート１２１は、例えば油圧シリンダを用いて駆動される。下側プレート１２１がエアシリンダを用いて駆動されてもよい。すなわち、第１プレス機９１は、例えば油圧プレス機又はエアープレス機である。上下方向は第１方向の一例である。

【0016】

上側押圧部材１１０は、熱盤１１２と、金属板１１３と、樹脂製弾性部材１１４とを有する。樹脂製弾性部材１１４が金属板１１３に固定され、金属板１１３が熱盤１１２に固定されている。熱盤１１２が上側プレート１１１の下面に取り付けられる。熱盤１１２は、金属板１１３を介して樹脂製弾性部材１１４を加熱するヒータを含む。ヒータは、例えばシーズヒータである。金属板１１３は、例えばステンレス板である。樹脂製弾性部材１１４の材料は、例えばゴムである。樹脂製弾性部材１１４の下面が第１仮積層体５１の上面に接触する。上側押圧部材１１０は第１押圧部材の一例である。熱盤１１２は第１熱盤の一例である。

【0017】

下側押圧部材１２０は、熱盤１２２と、金属板１２３と、樹脂製弾性部材１２４とを有する。樹脂製弾性部材１２４が金属板１２３に固定され、金属板１２３が熱盤１２２に固定されている。熱盤１２２が下側プレート１２１の上面に取り付けられる。熱盤１２２、金属板１２３、樹脂製弾性部材１２４の構成は、それぞれ熱盤１１２、金属板１１３、樹脂製弾性部材１１４の構成と同様である。樹脂製弾性部材１２４の上面が第１仮積層体５１の下面に接触する。下側押圧部材１２０は第１押圧部材の一例である。熱盤１２２は第１熱盤の一例である。

【0018】

図２（ａ）に示されるように、第１プレス機９１においては、投入部９５から搬送されてきた第１仮積層体５１が樹脂製弾性部材１１４と樹脂製弾性部材１２４との間に配置される。例えば、フィルム４２の下面が樹脂製弾性部材１２４の上面に接触するように第１仮積層体５１が下側押圧部材１２０の上に載置される。第１プレス機９１によるプレスが行われる前の段階では、フィルム４１は、配線層２１の上面に接するように基材３０に積層されているが、基材３０の上面の凹部を埋めていない。また、フィルム４２は、配線層２２の下面に接するように基材３０に積層されているが、基材３０の下面の凹部を埋めていない。

【0019】

第１仮積層体５１が樹脂製弾性部材１１４と樹脂製弾性部材１２４との間に配置された後、図２（ｂ）に示されるように、下側プレート１２１が上昇し、フィルム４１の上面が樹脂製弾性部材１１４の下面に接触する。更に下側プレート１２１が上昇すると、樹脂製弾性部材１１４が基材３０の上面の凹凸に沿って弾性変形し、樹脂製弾性部材１２４が基材３０の下面の凹凸に沿って弾性変形しながら、第１仮積層体５１が押圧される。この結果、フィルム４１が基材３０の上面の凹部に入り込み、フィルム４２が基材３０の下面の凹部に入り込む。

【0020】

このようにして、第２仮積層体５２が形成される。第２仮積層体５２においては、フィルム４１が基材３０の上面の凹部を埋め、フィルム４２が基材３０の下面の凹部を埋める。また、フィルム４１の上面には、基材３０の上面の凹凸を反映した凹凸が存在し、フィルム４２の下面には、基材３０の下面の凹凸を反映した凹凸が存在する。

【0021】

その後、下側プレート１２１が下降し、第２仮積層体５２が第２プレス機９２へと搬送される。

【0022】

図３（ａ）及び図３（ｂ）に示されるように、第２プレス機９２は、上側プレート２１１と、下側プレート２２１と、互いに平行な複数の駆動軸２５０と、上側押圧部材２１０と、下側押圧部材２２０とを有する。上側プレート２１１及び下側プレート２２１は駆動軸２５０により支持されている。上側プレート２１１の下面と下側プレート２２１の上面とは互いに平行であり、互いに対向している。例えば、上側プレート２１１が駆動軸２５０に固定され、下側プレート２２１は駆動軸２５０に沿って上下に移動可能に駆動軸２５０に支持されている。下側プレート２２１は、例えば油圧シリンダを用いて駆動される。下側プレート２２１がエアシリンダを用いて駆動されてもよい。すなわち、第２プレス機９２は、例えば油圧プレス機又はエアープレス機である。

【0023】

上側押圧部材２１０は、熱盤２１２と、緩衝材２１３と、金属板２１４とを有する。金属板２１４は緩衝材２１３を介して熱盤２１２に固定されている。熱盤２１２が上側プレート２１１の下面に取り付けられる。熱盤２１２は、緩衝材２１３を介して金属板２１４を加熱するヒータを含む。ヒータは、例えばシーズヒータである。緩衝材２１３は、例えばゴム及びアラミド繊維を含む複合材料を有する。緩衝材２１３の厚さは、例えば２．０ｍｍ～２．５ｍｍである。金属板２１４は、例えばステンレス板である。金属板２１４の厚さは、例えば１ｍｍ～２ｍｍである。金属板２１４の下面が第２仮積層体５２の上面に接触する。上側押圧部材２１０は第２押圧部材の一例である。熱盤２１２は第２熱盤の一例であり、緩衝材２１３は第１緩衝材の一例であり、金属板２１４は第１金属板の一例である。

【0024】

下側押圧部材２２０は、熱盤２２２と、緩衝材２２３と、金属板２２４とを有する。金属板２２４は緩衝材２２３を介して熱盤２２２に固定されている。熱盤２２２が下側プレート２２１の上面に取り付けられる。熱盤２２２、緩衝材２２３、金属板２２４の構成は、それぞれ熱盤２１２、緩衝材２１３、金属板２１４の構成と同様である。金属板２２４の上面が第２仮積層体５２の下面に接触する。下側押圧部材２２０は第２押圧部材の一例である。熱盤２２２は第２熱盤の一例であり、緩衝材２２３は第１緩衝材の一例であり、金属板２２４は第１金属板の一例である。

【0025】

図３（ａ）に示されるように、第２プレス機９２においては、第２仮積層体５２が金属板２１４と金属板２２４との間に配置される。例えば、フィルム４２の下面が金属板２２４の上面に接触するように第２仮積層体５２が下側押圧部材２２０の上に載置される。

【0026】

第２仮積層体５２が金属板２１４と金属板２２４との間に配置された後、図３（ｂ）に示されるように、下側プレート２２１が上昇し、フィルム４１の上面が金属板２１４の下面に接触する。更に下側プレート２２１が上昇すると、金属板２１４及び緩衝材２１３が基材３０の上面の凹凸に沿って弾性変形し、金属板２２４及び緩衝材２２３が基材３０の下面の凹凸に沿って弾性変形しながら、第２仮積層体５２が押圧される。この結果、基材３０の上面の凹凸及び下面の凹凸が緩和される。

【0027】

このようにして、第３仮積層体５３が形成される。第３仮積層体５３においては、第２仮積層体５２と比較して、フィルム４１の上面及びフィルム４２の下面の平坦性が高い。

【0028】

その後、下側プレート２２１が下降し、第３仮積層体５３が第３プレス機９３へと搬送される。

【0029】

図４（ａ）及び図４（ｂ）に示されるように、第３プレス機９３は、上側プレート３１１と、下側プレート３２１と、互いに平行な複数の駆動軸３５０と、上側押圧部材３１０と、下側押圧部材３２０とを有する。上側プレート３１１及び下側プレート３２１は駆動軸３５０により支持されている。上側プレート３１１の下面と下側プレート３２１の上面とは互いに平行であり、互いに対向している。例えば、上側プレート３１１が駆動軸３５０に固定され、下側プレート３２１は駆動軸３５０に沿って上下に移動可能に駆動軸３５０に支持されている。下側プレート３２１は、例えば油圧シリンダを用いて駆動される。下側プレート３２１がエアシリンダを用いて駆動されてもよい。すなわち、第３プレス機９３は、例えば油圧プレス機又はエアープレス機である。

【0030】

上側押圧部材３１０は、熱盤３１２と、緩衝材３１３と、金属板３１４とを有する。金属板３１４は緩衝材３１３を介して熱盤３１２に固定されている。熱盤３１２が上側プレート３１１の下面に取り付けられる。熱盤３１２は、緩衝材３１３を介して金属板３１４を加熱するヒータを含む。ヒータは、例えばシーズヒータである。熱盤３１２、金属板３１４の構成は、それぞれ熱盤２１２、金属板２１４の構成と同様である。一方、緩衝材３１３の構成は緩衝材２１３の構成とは異なり、緩衝材３１３の上下方向における剛性は、緩衝材２１３の上下方向における剛性よりも高い。従って、上側押圧部材３１０の上下方向における剛性は、上側押圧部材２１０の上下方向における剛性よりも高い。緩衝材３１３は、例えばゴム及びフッ素樹脂の混合物を含む複合材料又はゴム及びガラス繊維を含む複合材料を有する。緩衝材３１３の厚さは、例えば０．５ｍｍ～１．０ｍｍである。金属板３１４の下面が第３仮積層体５３の上面に接触する。上側押圧部材３１０は第３押圧部材の一例である。熱盤３１２は第３熱盤の一例であり、緩衝材３１３は第２緩衝材の一例であり、金属板３１４は第２金属板の一例である。

【0031】

下側押圧部材３２０は、熱盤３２２と、緩衝材３２３と、金属板３２４とを有する。金属板３２４は緩衝材３２３を介して熱盤３２２に固定されている。熱盤３２２が下側プレート３２１の上面に取り付けられる。熱盤３２２、緩衝材３２３、金属板３２４の構成は、それぞれ熱盤３１２、緩衝材３１３、金属板３１４の構成と同様である。金属板３２４の上面が第３仮積層体５３の下面に接触する。下側押圧部材３２０は第３押圧部材の一例である。熱盤３２２は第３熱盤の一例であり、緩衝材３２３は第２緩衝材の一例であり、金属板３２４は第２金属板の一例である。

【0032】

図４（ａ）に示されるように、第３プレス機９３においては、第３仮積層体５３が金属板３１４と金属板３２４との間に配置される。例えば、フィルム４２の下面が金属板３２４の上面に接触するように第３仮積層体５３が下側押圧部材３２０の上に載置される。

【0033】

第３仮積層体５３が金属板３１４と金属板３２４との間に配置された後、図４（ｂ）に示されるように、下側プレート３２１が上昇し、フィルム４１の上面が金属板３１４の下面に接触する。更に下側プレート３２１が上昇すると、金属板３１４及び緩衝材３１３が基材３０の上面の凹凸に沿って弾性変形し、金属板３２４及び緩衝材３２３が基材３０の下面の凹凸に沿って弾性変形しながら、第３仮積層体５３が押圧される。この結果、基材３０の上面の凹凸及び下面の凹凸が更に緩和される。

【0034】

このようにして、第４仮積層体５４が形成される。第４仮積層体５４においては、第３仮積層体５３と比較して、フィルム４１の上面及びフィルム４２の下面の平坦性が高い。

【0035】

その後、下側プレート３２１が下降し、第４仮積層体５４が第４プレス機９４へと搬送される。

【0036】

図５（ａ）及び図５（ｂ）に示されるように、第４プレス機９４は、上側プレート４１１と、下側プレート４２１と、互いに平行な複数の駆動軸４５０と、上側押圧部材４１０と、下側押圧部材４２０とを有する。上側プレート４１１及び下側プレート４２１は駆動軸４５０により支持されている。上側プレート４１１の下面と下側プレート４２１の上面とは互いに平行であり、互いに対向している。例えば、上側プレート４１１が駆動軸４５０に固定され、下側プレート４２１は駆動軸４５０に沿って上下に移動可能に駆動軸４５０に支持されている。下側プレート４２１は、例えばサーボモータを用いて駆動される。すなわち、第４プレス機９４は、例えばサーボプレス機である。

【0037】

上側押圧部材４１０は、熱盤４１２と、金属板４１４とを有する。金属板４１４は緩衝材を介さずに熱盤４１２に直接固定されている。金属板４１４は、例えばネジを用いて機械的に熱盤４１２に固定されている。熱盤４１２が上側プレート４１１の下面に取り付けられる。熱盤４１２は、金属板４１４を加熱するヒータを含む。ヒータは、例えばシーズヒータである。金属板４１４は、例えばステンレス板である。金属板４１４の下面が第４仮積層体５４の上面に接触する。金属板４１４の下面の少なくとも第４仮積層体５４の上面に接触する領域は平坦である。上側押圧部材４１０は第４押圧部材の一例である。熱盤４１２は第４熱盤の一例であり、金属板４１４は第３金属板の一例である。

【0038】

下側押圧部材４２０は、熱盤４２２と、金属板４２４とを有する。金属板４２４は緩衝材を介さずに熱盤４２２に直接固定されている。金属板４２４は、例えばネジを用いて機械的に熱盤４２２に固定されている。熱盤４２２が下側プレート４２１の上面に取り付けられる。熱盤４２２、金属板４２４の構成は、それぞれ熱盤４１２、金属板４１４の構成と同様である。金属板４２４の上面が第４仮積層体５４の下面に接触する。金属板４２４の上面の少なくとも第４仮積層体５４の下面に接触する領域は平坦である。下側押圧部材４２０は第４押圧部材の一例である。熱盤４２２は第４熱盤の一例であり、金属板４２４は第３金属板の一例である。

【0039】

図５（ａ）に示されるように、第４プレス機９４においては、第４仮積層体５４が金属板４１４と金属板４２４との間に配置される。例えば、フィルム４２の下面が金属板４２４の上面に接触するように第４仮積層体５４が下側押圧部材４２０の上に載置される。

【0040】

第４仮積層体５４が金属板４１４と金属板４２４との間に配置された後、図５（ｂ）に示されるように、下側プレート４２１が上昇し、フィルム４１の上面が金属板４１４の下面に接触する。更に下側プレート４２１が上昇すると、第４仮積層体５４が押圧される。この時、上側押圧部材４１０及び下側押圧部材４２０が緩衝材を含まないため、金属板４１４及び４２４は実質的に変形しない。この結果、基材３０の上面の凹凸及び下面の凹凸が更に緩和される。

【0041】

このようにして、積層体５５が形成される。積層体５５においては、第４仮積層体５４と比較して、フィルム４１の上面及びフィルム４２の下面の平坦性が高い。金属板４１４及び４２４が実質的に変形しないため、フィルム４１の上面及びフィルム４２の下面は実質的に平坦になる。

【0042】

その後、下側プレート４２１が下降し、積層体５５が受取部９６へと搬送され、外部へと取り出し可能となる。

【0043】

なお、第４プレス機９４におけるプレスでは、フィルム４１の上面が金属板４１４の下面に接触する直前までは、第１速度で下側プレート４２１が上昇し、その後に、第１速度よりも低い第２速度で下側プレート４２１が上昇する。第２速度での上昇の間に、フィルム４１の上面が金属板４１４の下面に接触し、第４仮積層体５４が押圧される。つまり、フィルム４１の上面が金属板４１４の下面に接触し、第４仮積層体５４が押圧される際には、下側プレート４２１の位置が少しずつ調整される。これは、フィルム４１の上面及びフィルム４２の下面に良好な平坦性を得るためである。第２速度での上昇の時間は、第４プレス機９４におけるフィルム４１及び４２の変形量に依存する。なお、第１速度及び第２速度は、いずれも一定である必要はなく、例えば、第２速度はフィルム４１及び４２からの反力に応じて変化させてもよい。

【0044】

第１実施形態によれば、第４プレス機９４において、金属板４１４が熱盤４１２に直接固定され、金属板４２４が熱盤４２２に直接固定されているため、金属板４１４及び４２４が実質的に変形しない。従って、フィルム４１の上面及びフィルム４２の下面が実質的に平坦になる。

【0045】

また、第１プレス機９１、第２プレス機９２及び第３プレス機９３によるプレスを経て形成された第４仮積層体５４では、フィルム４１の上面及びフィルム４２の下面が平坦ではないとしても、それらの平坦性は高くなっている。このため、第４プレス機９４におけるフィルム４１及び４２の変形量は小さくてよい。従って、第４プレス機９４における第２速度での下側プレート４２１の上昇の時間を抑制できる。

【0046】

仮に、第３プレス機９３によるプレスを省略して、第２プレス機９２により形成された第３仮積層体５３を第４プレス機９４にてプレスし、本実施形態と同等の平坦性を得ようとする場合、第４プレス機９４におけるフィルム４１及び４２の変形量は大きくする必要がある。この場合、第４プレス機９４によるプレスに要する時間が長くなる。

【0047】

例えば、本実施形態において、第１プレス機９１によるプレスに要する時間が６０秒間、第２プレス機９２によるプレスに要する時間が６０秒間、第３プレス機９３によるプレスに要する時間が６０秒間、第４プレス機９４によるプレスに要する時間が６０秒間であるとする。これに対し、上記のように第３プレス機９３によるプレスを省略した場合には、第４プレス機９４によるプレスに要する時間が長く、例えば７５秒間となる。一つの第２仮積層体５２が第１プレス機９１から第２プレス機９２に搬送された後には、第２プレス機９２によるプレスと同時に、第１プレス機９１により他の新たな第１仮積層体５１のプレスを行うことができる。後段のプレス機についても同様である。従って、上記の例では、本実施形態に係る製造装置１を用いる場合には、６０秒ごとに積層体５５が受取部９６から取り出し可能になるのに対し、第３プレス機９３によるプレスを省略した装置を用いる場合には、７５秒ごとに積層体５５が受取部９６から取り出し可能になる。

【0048】

このように、本実施形態によれば、フィルム４１の上面及びフィルム４２の下面に良好な平坦性を確保しながら、生産性を向上することができる。

【0049】

また、第２プレス機９２と第３プレス機９３との間での主な構造上の相違点は押圧部材の構成であるため、第２プレス機９２又は第３プレス機９３の一方の設計情報があれば、他方の設計は容易である。

【0050】

積層体の製造装置１は、第４プレス機９４に搬送される第４仮積層体５４の厚さを測定するセンサを有することが好ましい。この場合、第４プレス機９４は、センサによる測定結果に応じて、第１速度での下側プレート４２１の上昇の停止位置をより適切な位置、言い換えると、フィルム４１と金属板４１４との間の距離がより短くなる位置に調整することができる。従って、第２速度での上昇に要する時間を短縮し、生産性をより向上することが可能となる。

【0051】

上記のセンサは、例えば、第３プレス機９３に設けられ、第３プレス機９３でのプレス後の上側押圧部材３１０と下側押圧部材３２０との間の距離に基づいて、第４仮積層体５４の厚さを測定する。第４仮積層体５４の厚さは、第４プレス機９４でのプレス開始の直前に測定することも考えられるが、ワーク（第１仮積層体５１、第２仮積層体５２、第３仮積層体５３、第４仮積層体５４及び積層体５５）は、製造装置１内では、搬送用フィルム（図示せず）に挟まれて搬送される。このため、ワークの厚さを直接測定することは困難である。これに対し、プレス後の上側押圧部材３１０と下側押圧部材３２０との間の距離を測定すれば、既知の搬送用フィルムの厚さを差し引くことで第４仮積層体５４の厚さを特定することができる。

【0052】

本実施形態では、緩衝材３１３、３２３の上下方向における剛性は、それぞれ緩衝材２１３、２２３の上下方向における剛性よりも高い。このため、緩衝材３１３、３２３は緩衝材２１３、２２３よりも上下方向で変形しにくく、プレス後の上側押圧部材３１０と下側押圧部材３２０との間の距離は、第２プレス機９２でのプレス後の上側押圧部材２１０と下側押圧部材２２０との間の距離よりも変動しにくい。このため、第２プレス機９２でのプレス後の第３仮積層体５３の厚さよりも高精度で測定することができる。従って、仮に、第３プレス機９３によるプレスを省略し、第３仮積層体５３の厚さの測定結果に応じて、第１速度での下側プレート４２１の上昇の停止位置を調整する場合と比較して、下側プレート４２１の上昇の停止位置をより適切な位置、言い換えると、フィルム４１と金属板４１４との間の距離がより短くなる位置に調整することができる。従って、第２速度での上昇に要する時間を短縮し、生産性をより向上することが可能となる。

【0053】

（第２実施形態）
次に、第２実施形態に係る積層体の製造装置について説明する。第２実施形態は、主として、第３プレス機９３の構成の点で第１実施形態と相違する。図７は、第２実施形態に係る積層体の製造装置を用いた積層体の製造方法を例示する図である。

【0054】

第２実施形態では、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示されるように、第３プレス機９３は、上側押圧部材３１０に代えて上側押圧部材３３０を有し、下側押圧部材３２０に代えて下側押圧部材３４０を有する。

【0055】

上側押圧部材３３０は、熱盤３１２と、緩衝材３３３と、金属板３３４とを有する。金属板３３４は緩衝材３３３を介して熱盤３１２に固定されている。熱盤３１２が上側プレート３１１の下面に取り付けられる。緩衝材３３３の構成は緩衝材２１３の構成と同様である。一方、金属板３３４の構成は金属板２１４の構成とは異なり、金属板３３４の材料は金属板２１４の材料と同様であるが、金属板３３４の上下方向における寸法（厚さ）は、金属板２１４の上下方向における寸法（厚さ）よりも大きい。従って、上側押圧部材３３０の上下方向における剛性は、上側押圧部材３１０の上下方向における剛性よりも高い。金属板３３４の厚さは、例えば２ｍｍ～５ｍｍである。金属板３３４の下面が第３仮積層体５３の上面に接触する。上側押圧部材３３０は第３押圧部材の一例である。緩衝材３３３は第２緩衝材の一例であり、金属板３３４は第２金属板の一例である。

【0056】

下側押圧部材３４０は、熱盤３２２と、緩衝材３４３と、金属板３４４とを有する。金属板３４４は緩衝材３４３を介して熱盤３２２に固定されている。熱盤３２２が下側プレート３２１の上面に取り付けられる。熱盤３２２、緩衝材３４３、金属板３４４の構成は、それぞれ熱盤３１２、緩衝材３３３、金属板３３４の構成と同様である。金属板３３４の上面が第３仮積層体５３の下面に接触する。下側押圧部材３４０は第３押圧部材の一例である。緩衝材３４３は第２緩衝材の一例であり、金属板３４４は第２金属板の一例である。

【0057】

図７（ａ）に示されるように、第３プレス機９３においては、第３仮積層体５３が金属板３３４と金属板３４４との間に配置される。例えば、フィルム４２の下面が金属板３４４の上面に接触するように第３仮積層体５３が下側押圧部材３４０の上に載置される。

【0058】

第３仮積層体５３が金属板３３４と金属板３４４との間に配置された後、図７（ｂ）に示されるように、下側プレート３２１が上昇し、フィルム４１の上面が金属板３３４の下面に接触する。更に下側プレート３２１が上昇すると、金属板３３４及び緩衝材３３３が基材３０の上面の凹凸に沿って弾性変形し、金属板３４４及び緩衝材３４３が基材３０の下面の凹凸に沿って弾性変形しながら、第３仮積層体５３が押圧される。この結果、第１実施形態と同様に、基材３０の上面の凹凸及び下面の凹凸が更に緩和される。

【0059】

このようにして、第４仮積層体５４が形成される。

【0060】

他の構成は第１実施形態と同様である。

【0061】

第２実施形態によっても第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

【0062】

第２実施形態の緩衝材３３３、３４３に代えて、それぞれ第１実施形態の緩衝材３１３、３２３が用いられてもよい。つまり、第３プレス機９３の上側押圧部材に、緩衝材３１３と金属板３３４との組み合わせが用いられ、下側押圧部材に、緩衝材３２３と金属板３４４との組み合わせが用いられてもよい。第３プレス機９３の上側押圧部材及び下側押圧部材の上下方向における剛性をより高くすることができる。

【0063】

なお、図６に示す積層体５５に含まれる配線層及びフィルムの数は、コア層の一方の側及び他方の側で１ずつであるが、この積層体５５に更に配線層を加えたものを基材とし、製造装置１を用いて他のフィルムを積層し、新たな積層体としてもよい。このような処理を繰り返すことにより、より多くの配線層及びフィルム（絶縁層）を含む配線基板を製造することができる。

【0064】

また、第１プレス機９１と第４プレス機９４との間に、３以上のプレス機が含まれてもよい。この場合も、後段のプレス機ほど、上側押圧部材及び下側押圧部材の上下方向における剛性が高くなるようにする。

【0065】

以上、好ましい実施形態等について詳説したが、上述した実施形態等に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施形態等に種々の変形及び置換を加えることができる。

【符号の説明】

【0066】

１ 製造装置
３０ 基材
４１、４２ フィルム
５１、５２、５３、５４ 仮積層体
５５ 積層体
９１、９２、９３、９４ プレス機
１１０、１２０、２１０、２２０、３１０、３２０、３３０、３４０、４１０、４２０ 押圧部材
１１１、１２１、２１１、２２１、３１１、３２１、４１１、４２１ プレート
１１２、１２２、２１２、２２２、３１２、３２２、４１２、４２２ 熱盤
１１３、１２３、２１４、２２４、３１４、３２４、３３４、３４４、４１４、４２４ 金属板
１１４、１２４ 樹脂製弾性部材
１５０、２５０、３５０、４５０ 駆動軸
２１３、２２３、３１３、３２３、３３３、３４３ 緩衝材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】