知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
▶ メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングの特許一覧
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024056711
(43)【公開日】2024-04-23
(54)【発明の名称】誘電性コポリマー材料
(51)【国際特許分類】
C08F 222/40 20060101AFI20240416BHJP
C08G 73/10 20060101ALI20240416BHJP
【ＦＩ】
C08F222/40
C08G73/10
【審査請求】有
【請求項の数】1
【出願形態】ＯＬ
【外国語出願】
(21)【出願番号】P 2024007831
(22)【出願日】2024-01-23
(62)【分割の表示】P 2021521013の分割
【原出願日】2019-10-15
(31)【優先権主張番号】18201357.3
(32)【優先日】2018-10-18
(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP
(31)【優先権主張番号】18205766.1
(32)【優先日】2018-11-12
(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP
(71)【出願人】
【識別番号】591032596
【氏名又は名称】メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
【氏名又は名称原語表記】Ｍｅｒｃｋ Ｐａｔｅｎｔ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ ｍｉｔ ｂｅｓｃｈｒａｅｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ
【住所又は居所原語表記】Ｆｒａｎｋｆｕｒｔｅｒ Ｓｔｒ． ２５０，Ｄ－６４２９３ Ｄａｒｍｓｔａｄｔ，Ｆｅｄｅｒａｌ Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｇｅｒｍａｎｙ
(74)【代理人】
【識別番号】100094569
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 伸一郎
(74)【代理人】
【識別番号】100109070
【弁理士】
【氏名又は名称】須田 洋之
(74)【代理人】
【識別番号】100119013
【弁理士】
【氏名又は名称】山崎 一夫
(74)【代理人】
【識別番号】100123777
【弁理士】
【氏名又は名称】市川 さつき
(74)【代理人】
【識別番号】100111796
【弁理士】
【氏名又は名称】服部 博信
(74)【代理人】
【識別番号】100123766
【弁理士】
【氏名又は名称】松田 七重
(72)【発明者】
【氏名】ラルビッヒ グレゴール
(72)【発明者】
【氏名】ミシュキェヴィッチ パウェル
(72)【発明者】
【氏名】マイアー フランク
(72)【発明者】
【氏名】パーンケ イェルク
(72)【発明者】
【氏名】コッペ カルステン
(57)【要約】 （修正有）
【課題】電子デバイスに不動態層を調製するための誘電性材料を形成するために使用することができる重合性混合物を提供する。
【解決手段】重合性混合物は、第１のモノマー及び第２のモノマーを含み、これらは反応してコポリマーを形成し、優れたフィルム形成能力、優れた熱特性、及び優れた機械的特性を提供し得る。上記コポリマーを形成するための方法、及び上記コポリマーを誘電性材料として含む電子デバイスが更に提供される。更に、本発明は、パッケージ化マイクロ電子構造を調製するための製造方法、及び上記製造方法により形成されるパッケージ化マイクロ電子構造を含むマイクロ電子デバイスに関する。
【選択図】なし
【解決手段】重合性混合物は、第１のモノマー及び第２のモノマーを含み、これらは反応してコポリマーを形成し、優れたフィルム形成能力、優れた熱特性、及び優れた機械的特性を提供し得る。上記コポリマーを形成するための方法、及び上記コポリマーを誘電性材料として含む電子デバイスが更に提供される。更に、本発明は、パッケージ化マイクロ電子構造を調製するための製造方法、及び上記製造方法により形成されるパッケージ化マイクロ電子構造を含むマイクロ電子デバイスに関する。
【選択図】なし
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１のモノマー及び第２のモノマーを含む重合性混合物であって、
前記第１のモノマーは、式（１）により表される１つ又は複数の化合物であり、
前記第２のモノマーは、前記第１のモノマーと反応してコポリマーを生成することが可能な１つ又は複数の二官能性又は多官能性化合物であり、
式（１）は、
Ｐ1－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－Ｐ1 式（１）
であり、式中、
ｍは、１～６０の整数であり、
Ｐ1は、
を示し、式中、Ｖ1はＨであり、Ｖ2は、１～６個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮであり、又はＶ1及びＶ2は互いに独立して１～６個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮであり、
Ｓｐ1は、各出現において、スペーサー基（Ｓｐ）又は単結合を示し、
ＭＧは、好ましくは、式（２）：
－（Ａ21－Ｚ21）k－Ａ22－（Ｚ22－Ａ23）l－ 式（２）
から選択される棒状メソゲン基であり、式中、
Ａ21～Ａ23は、独立して及び各出現において互いに独立して、１つ又は複数の同一の又は異なる基Ｌにより置換されていてもよいアリール基、ヘテロアリール基、複素環基、脂環基、又は環式イミド基であり、
Ｚ21及びＺ22は、独立して及び各出現において互いに独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｓ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ02、－ＮＲ01－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ、－ＳＣＨ2－、－ＣＨ2Ｓ－、－ＣＦ2Ｏ－、－ＯＣＦ2－、－ＣＦ2Ｓ－、－ＳＣＦ2－、－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＣＨ2）4－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－ＣＨ＝Ｎ－、－Ｎ＝ＣＨ－、－Ｎ＝Ｎ－、－ＣＨ＝ＣＲ01－、－ＣＹ01＝ＣＹ02－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合であり、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｌは、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、－ＣＮ、－ＮＯ2、－ＮＣＯ、－ＮＣＳ、－ＯＣＮ、－ＳＣＮ、－Ｃ（＝Ｏ）ＮＲxxＲyy、－Ｃ（＝Ｏ）ＯＲxx、－Ｃ（＝Ｏ）Ｒxx、－ＮＲxxＲyy、－ＯＨ、－ＳＦ5、又は１～２０個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシであり、１つ又は複数のＨ原子は、Ｆ、又はＣｌ、－ＣＮ、又は１～６個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシで置き換えられていてもよく、
Ｒxx及びＲyyは、互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Y01及びY02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキル、アリール、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮを示し、
ｋ及びｌは、各々及び独立して０、１、２、３、又は４である、
重合性混合物。
前記第１のモノマーは、式（１）により表される１つ又は複数の化合物であり、
前記第２のモノマーは、前記第１のモノマーと反応してコポリマーを生成することが可能な１つ又は複数の二官能性又は多官能性化合物であり、
式（１）は、
Ｐ1－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－Ｐ1 式（１）
であり、式中、
ｍは、１～６０の整数であり、
Ｐ1は、
【化1】
Ｓｐ1は、各出現において、スペーサー基（Ｓｐ）又は単結合を示し、
ＭＧは、好ましくは、式（２）：
－（Ａ21－Ｚ21）k－Ａ22－（Ｚ22－Ａ23）l－ 式（２）
から選択される棒状メソゲン基であり、式中、
Ａ21～Ａ23は、独立して及び各出現において互いに独立して、１つ又は複数の同一の又は異なる基Ｌにより置換されていてもよいアリール基、ヘテロアリール基、複素環基、脂環基、又は環式イミド基であり、
Ｚ21及びＺ22は、独立して及び各出現において互いに独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｓ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ02、－ＮＲ01－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ、－ＳＣＨ2－、－ＣＨ2Ｓ－、－ＣＦ2Ｏ－、－ＯＣＦ2－、－ＣＦ2Ｓ－、－ＳＣＦ2－、－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＣＨ2）4－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－ＣＨ＝Ｎ－、－Ｎ＝ＣＨ－、－Ｎ＝Ｎ－、－ＣＨ＝ＣＲ01－、－ＣＹ01＝ＣＹ02－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合であり、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｌは、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、－ＣＮ、－ＮＯ2、－ＮＣＯ、－ＮＣＳ、－ＯＣＮ、－ＳＣＮ、－Ｃ（＝Ｏ）ＮＲxxＲyy、－Ｃ（＝Ｏ）ＯＲxx、－Ｃ（＝Ｏ）Ｒxx、－ＮＲxxＲyy、－ＯＨ、－ＳＦ5、又は１～２０個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシであり、１つ又は複数のＨ原子は、Ｆ、又はＣｌ、－ＣＮ、又は１～６個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシで置き換えられていてもよく、
Ｒxx及びＲyyは、互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Y01及びY02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキル、アリール、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮを示し、
ｋ及びｌは、各々及び独立して０、１、２、３、又は４である、
重合性混合物。
【請求項2】
前記スペーサー基Ｓｐは、ラジカル「Ｐ1－Ｓｐ1－」が式「Ｐ1－Ｓｐ’－Ｘ’－」に対応するように、式Ｓｐ’－Ｘ’から選択され、
式中、
Ｓｐ’は、
（ａ）１～４０個、好ましくは１～３０個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキレンであって、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、若しくはＣＮにより一置換若しくは多置換されており、加えて１つ若しくは複数の非隣接ＣＨ2基は各々、Ｏ原子及び／若しくはＳ原子が互いに直接連結されないように、互いに独立して－Ｏ－、－Ｓ－、－ＮＨ－、－ＮＲ01－、－ＳｉＲ01Ｒ02－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＯＣＯ－Ｏ－、－Ｓ－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｓ－、－ＮＲ01－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＣＨ＝ＣＨ－、若しくは－Ｃ≡Ｃ－により置き換えられていてもよい直鎖若しくは分岐鎖アルキレン、又は
（ｂ）－Ｓｐx－Ｇ－Ｓｐy－であって、Ｓｐx及びＳｐyは、互いに独立して、１～２０個のＣ原子を有するアルキレン又は単結合を示し、Ｇは、１～２０個のＣ原子を有するアルキルにより一置換若しくは多置換されていてもよい、３～２０個のＣ原子を有するシクロアルキレンを示す－Ｓｐx－Ｇ－Ｓｐy－を示し、
Ｘ’は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ－、－ＳＣＨ2－、－ＣＨ2Ｓ－、－ＣＦ2Ｏ－、－ＯＣＦ2－、－ＣＦ2Ｓ－、－ＳＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－ＣＨ＝Ｎ－、－Ｎ＝Ｃ－、－Ｎ＝Ｎ－、－ＣＨ＝ＣＲ01－、－ＣＹ01＝ＣＹ02－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合を示し、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｙ01及びＹ02は、各々互いに独立して、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮを示す、
請求項１に記載の重合性混合物。
式中、
Ｓｐ’は、
（ａ）１～４０個、好ましくは１～３０個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキレンであって、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、若しくはＣＮにより一置換若しくは多置換されており、加えて１つ若しくは複数の非隣接ＣＨ2基は各々、Ｏ原子及び／若しくはＳ原子が互いに直接連結されないように、互いに独立して－Ｏ－、－Ｓ－、－ＮＨ－、－ＮＲ01－、－ＳｉＲ01Ｒ02－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＯＣＯ－Ｏ－、－Ｓ－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｓ－、－ＮＲ01－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＣＨ＝ＣＨ－、若しくは－Ｃ≡Ｃ－により置き換えられていてもよい直鎖若しくは分岐鎖アルキレン、又は
（ｂ）－Ｓｐx－Ｇ－Ｓｐy－であって、Ｓｐx及びＳｐyは、互いに独立して、１～２０個のＣ原子を有するアルキレン又は単結合を示し、Ｇは、１～２０個のＣ原子を有するアルキルにより一置換若しくは多置換されていてもよい、３～２０個のＣ原子を有するシクロアルキレンを示す－Ｓｐx－Ｇ－Ｓｐy－を示し、
Ｘ’は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ－、－ＳＣＨ2－、－ＣＨ2Ｓ－、－ＣＦ2Ｏ－、－ＯＣＦ2－、－ＣＦ2Ｓ－、－ＳＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－ＣＨ＝Ｎ－、－Ｎ＝Ｃ－、－Ｎ＝Ｎ－、－ＣＨ＝ＣＲ01－、－ＣＹ01＝ＣＹ02－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合を示し、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｙ01及びＹ02は、各々互いに独立して、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮを示す、
請求項１に記載の重合性混合物。
【請求項3】
前記スペーサー基Ｓｐは、－（ＣＨ2）p1－、－（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）q1－ＣＨ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＨ2－Ｓ－ＣＨ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＨ2－ＮＨ－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＳｉＲ01Ｒ02－Ｏ）p1－、－（ＣＨ2）p1－（シクロ－Ｃ6Ｈ8Ｒ01Ｒ02）－（ＣＨ2）p1－、及び
からなるリストから選択され、式中、
ｐ１は、１～６０の整数であり、
ｑ１は、１～１２の整数であり、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示す、
請求項１又は２に記載の重合性混合物。
【化2】
ｐ１は、１～６０の整数であり、
ｑ１は、１～１２の整数であり、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示す、
請求項１又は２に記載の重合性混合物。
【請求項4】
Ａ21～Ａ23は、独立して及び複数出現する場合は互いに独立して、以下の群ａ）～ｅ）：
ａ）１つ又は複数の非隣接ＣＨ2基が－Ｏ－及び／又は－Ｓ－により置き換えられていてもよく、１つ又は複数のＨ原子が基Ｌにより置き換えられていてもよいｔｒａｎｓ－１，４－シクロヘキシレン、１，４－シクロヘキセニレン、及び４，４’－ビシクロヘキシレン；
ｂ）１つ又は２つのＣＨ基がＮにより置き換えられていてもよく、１つ又は複数のＨ原子が基Ｌにより置き換えられていてもよい１，４－フェニレン、１，３－フェニレン、４，４’－ビフェニレン、２，５－チフェン、及び２，６－ジチエノ［３，２－ｂ：２’，３’－ｄ］チオフェン；
ｃ）１つ又は複数の基Ｌで置換されていてもよいテトラヒドロピラン－２，５－ジイル、１，３－ジオキサン－２，５－ジイル、テトラヒドロフラン－２，５－ジイル、シクロブタ－１，３－ジイル、ピペリジン－１，４－ジイル、チオフェン－２，５－ジイル、及びセレノフェン－２，５－ジイル；
ｄ）飽和、部分的に不飽和、又は完全に不飽和の、及び置換されていてもよい、５～２０個の環Ｃ原子を有する多環式ラジカルであって、前記環Ｃ原子の１つ又は複数はまたヘテロ原子により置き換えられていてもよく、前記多環式ラジカルは、好ましくは、ビシクロ［１．１．１］ペンタン－１，３－ジイル、ビシクロ［２．２．２］オクタン－１，４－ジイル、スピロ［３．３］ヘプタン－２，６－ジイル、
から選択され、
式中、１つ若しくは複数のＨ原子は、基Ｌにより置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数の二重結合は、単結合により置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数のＣＨ基は、Ｎにより置き換えられていてもよく、
Ｍは、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＨ2－、－ＣＨＹ03－、又は－ＣＹ03Ｙ04－を示し、
Ｙ03、Ｙ04は、互いに独立して、Ｒ01について上記で与えられた意味の１つ、Ｆ、Ｃｌ、ＣＮ、ＯＣＦ3、又はＣＦ3、好ましくはＨ、Ｆ、Ｃｌ、ＣＮ、ＯＣＦ3、又はＣＦ3を示し、
Ｗ5、Ｗ6は、互いに独立して、－ＣＨ2ＣＨ2－、－ＣＨ＝ＣＨ－、－ＣＨ2－Ｏ－、Ｏ－ＣＨ2－、－Ｃ（ＲcＲd）－、又は－Ｏ－を示し、
Ｒc、Ｒdは、互いに独立して、Ｈ、又は１～６個のＣ原子を有するアルキル、好ましくはＨ、メチル、又はエチルを示し、
Ｒ03、Ｒ04は、互いに独立して、Ｈ、Ｆ、１つ又は複数のＨ原子がＦにより置き換えられていてもよい１～１２個のＣ原子を有する直鎖又は分岐鎖アルキルを示す、多環式ラジカル；
ｅ）
からなる群から選択される環式イミドであって、
式中、１つ若しくは複数のＨ原子は、基Ｌにより置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数の二重結合は、単結合により置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数のＣＨ基は、Ｎにより置き換えられていてもよい環式イミド
から選択される部分を示す、請求項１～３のいずれか１項に記載の重合性混合物。
ａ）１つ又は複数の非隣接ＣＨ2基が－Ｏ－及び／又は－Ｓ－により置き換えられていてもよく、１つ又は複数のＨ原子が基Ｌにより置き換えられていてもよいｔｒａｎｓ－１，４－シクロヘキシレン、１，４－シクロヘキセニレン、及び４，４’－ビシクロヘキシレン；
ｂ）１つ又は２つのＣＨ基がＮにより置き換えられていてもよく、１つ又は複数のＨ原子が基Ｌにより置き換えられていてもよい１，４－フェニレン、１，３－フェニレン、４，４’－ビフェニレン、２，５－チフェン、及び２，６－ジチエノ［３，２－ｂ：２’，３’－ｄ］チオフェン；
ｃ）１つ又は複数の基Ｌで置換されていてもよいテトラヒドロピラン－２，５－ジイル、１，３－ジオキサン－２，５－ジイル、テトラヒドロフラン－２，５－ジイル、シクロブタ－１，３－ジイル、ピペリジン－１，４－ジイル、チオフェン－２，５－ジイル、及びセレノフェン－２，５－ジイル；
ｄ）飽和、部分的に不飽和、又は完全に不飽和の、及び置換されていてもよい、５～２０個の環Ｃ原子を有する多環式ラジカルであって、前記環Ｃ原子の１つ又は複数はまたヘテロ原子により置き換えられていてもよく、前記多環式ラジカルは、好ましくは、ビシクロ［１．１．１］ペンタン－１，３－ジイル、ビシクロ［２．２．２］オクタン－１，４－ジイル、スピロ［３．３］ヘプタン－２，６－ジイル、
【化3】
式中、１つ若しくは複数のＨ原子は、基Ｌにより置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数の二重結合は、単結合により置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数のＣＨ基は、Ｎにより置き換えられていてもよく、
Ｍは、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＨ2－、－ＣＨＹ03－、又は－ＣＹ03Ｙ04－を示し、
Ｙ03、Ｙ04は、互いに独立して、Ｒ01について上記で与えられた意味の１つ、Ｆ、Ｃｌ、ＣＮ、ＯＣＦ3、又はＣＦ3、好ましくはＨ、Ｆ、Ｃｌ、ＣＮ、ＯＣＦ3、又はＣＦ3を示し、
Ｗ5、Ｗ6は、互いに独立して、－ＣＨ2ＣＨ2－、－ＣＨ＝ＣＨ－、－ＣＨ2－Ｏ－、Ｏ－ＣＨ2－、－Ｃ（ＲcＲd）－、又は－Ｏ－を示し、
Ｒc、Ｒdは、互いに独立して、Ｈ、又は１～６個のＣ原子を有するアルキル、好ましくはＨ、メチル、又はエチルを示し、
Ｒ03、Ｒ04は、互いに独立して、Ｈ、Ｆ、１つ又は複数のＨ原子がＦにより置き換えられていてもよい１～１２個のＣ原子を有する直鎖又は分岐鎖アルキルを示す、多環式ラジカル；
ｅ）
【化4】
式中、１つ若しくは複数のＨ原子は、基Ｌにより置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数の二重結合は、単結合により置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数のＣＨ基は、Ｎにより置き換えられていてもよい環式イミド
から選択される部分を示す、請求項１～３のいずれか１項に記載の重合性混合物。
【請求項5】
前記第２のモノマーは、有機化合物、多面体シルセスキオキサン化合物、及び官能化無機ナノ粒子から選択される１つ又は複数の二官能性又は多官能性化合物である、請求項１～４のいずれか１項に記載の重合性混合物。
【請求項6】
前記第２のモノマーは、好ましくはラジカル性若しくはイオン性鎖重合又は２＋２環化付加でＰ1と反応するＣ＝Ｃ二重結合を含む基；好ましくは４＋２環化付加でＰ1と反応する２つの共役Ｃ＝Ｃ二重結合を含む基；好ましくは求核付加でＰ1と反応する求核基；及び好ましくは１，３－双極性環化付加でＰ1と反応する１，３－双極性基から選択される２つ又はそれよりも多くの重合性基（Ｐ）を含む１つ又は複数の二官能性又は多官能性化合物である、請求項１～５のいずれか１項に記載の重合性混合物。
【請求項7】
前記第２のモノマーは、
（ａ）式（４）：
式（４）
により表される有機化合物であって、式中、
Ｑは、１～５０個の炭素原子を有する炭化水素基であって、１つ又は複数の置換基Ｌで置換されていてもよく、Ｌは請求項１～６のいずれか１項で規定されている通りであり、任意選択で、Ｎ、Ｏ、及びＳから選択される１つ又は複数のヘテロ原子群を含んでいてもよい炭化水素基を示し、
Ｐ2は、請求項６で規定されている通りの重合性基（Ｐ）を示し、
ｘは、２～１０の整数である、有機化合物；
（ｂ）以下の構造：
構造（１）
により表される多面体シルセスキオキサン化合物であって、構造中、
Ｒは、Ｈ、Ｃ1～Ｃ6－アルキル、Ｃ2～Ｃ6－アルケニル、Ｃ6～Ｃ10－アリール、若しくはＣ1～Ｃ6－アルコキシであり、
Ｌは、Ｃ1～Ｃ12－アルキレン若しくはＣ1～Ｃ12－オキシアルキレンであり、式中、１つ若しくは複数の非隣接Ｃ原子は、互いに独立して、－ＳｉＲ05Ｒ06－により置き換えられていてもよく、式中Ｒ05若しくはＲ06は、各々互いに独立して、Ｈ、若しくは１～６個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｐ2は、請求項６で規定されている通りの重合性基（Ｐ）を示し、
ｙは、６～１２の整数であり、ｘは、２～１２の整数であり、ｙ－ｘ≧０である、多面体シルセスキオキサン化合物；又は
（ｃ）その表面に重合性基Ｐ2を含む官能化無機ナノ粒子であって、
Ｐ2は、請求項６で規定されている通りの重合性基（Ｐ）を示す、官能化無機ナノ粒子
の１つ又は複数である、請求項６に記載の重合性混合物。
（ａ）式（４）：
【化5】
により表される有機化合物であって、式中、
Ｑは、１～５０個の炭素原子を有する炭化水素基であって、１つ又は複数の置換基Ｌで置換されていてもよく、Ｌは請求項１～６のいずれか１項で規定されている通りであり、任意選択で、Ｎ、Ｏ、及びＳから選択される１つ又は複数のヘテロ原子群を含んでいてもよい炭化水素基を示し、
Ｐ2は、請求項６で規定されている通りの重合性基（Ｐ）を示し、
ｘは、２～１０の整数である、有機化合物；
（ｂ）以下の構造：
【化6】
により表される多面体シルセスキオキサン化合物であって、構造中、
Ｒは、Ｈ、Ｃ1～Ｃ6－アルキル、Ｃ2～Ｃ6－アルケニル、Ｃ6～Ｃ10－アリール、若しくはＣ1～Ｃ6－アルコキシであり、
Ｌは、Ｃ1～Ｃ12－アルキレン若しくはＣ1～Ｃ12－オキシアルキレンであり、式中、１つ若しくは複数の非隣接Ｃ原子は、互いに独立して、－ＳｉＲ05Ｒ06－により置き換えられていてもよく、式中Ｒ05若しくはＲ06は、各々互いに独立して、Ｈ、若しくは１～６個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｐ2は、請求項６で規定されている通りの重合性基（Ｐ）を示し、
ｙは、６～１２の整数であり、ｘは、２～１２の整数であり、ｙ－ｘ≧０である、多面体シルセスキオキサン化合物；又は
（ｃ）その表面に重合性基Ｐ2を含む官能化無機ナノ粒子であって、
Ｐ2は、請求項６で規定されている通りの重合性基（Ｐ）を示す、官能化無機ナノ粒子
の１つ又は複数である、請求項６に記載の重合性混合物。
【請求項8】
コポリマーを形成するための方法であって、
（ｉ）請求項１～７のいずれか１項に記載の重合性混合物を準備するステップ、及び
（ｉｉ）前記重合性混合物を重合してコポリマーを得るステップ
を含む方法。
（ｉ）請求項１～７のいずれか１項に記載の重合性混合物を準備するステップ、及び
（ｉｉ）前記重合性混合物を重合してコポリマーを得るステップ
を含む方法。
【請求項9】
前記重合性混合物は、１つ又は複数のラジカル性開始剤を更に含む、請求項８に記載のコポリマーを形成するための方法。
【請求項10】
請求項８又は９に記載のコポリマーを形成するための方法により得ることができるコポリマー。
【請求項11】
請求項１～７のいずれか１項に規定されている通りの、前記第１のモノマーに由来する少なくとも１つの繰返し単位及び前記第２のモノマーに由来する少なくとも１つの繰返し単位を含むコポリマー。
【請求項12】
前記第１のモノマーに由来する前記繰返し単位は、式（５）：
［－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－］ 式（５）
により表される構造単位を含み、式中、Ｓｐ1、ＭＧ、及びｍは、請求項１～７のいずれか１項に規定されている通りである、請求項１１に記載のコポリマー。
［－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－］ 式（５）
により表される構造単位を含み、式中、Ｓｐ1、ＭＧ、及びｍは、請求項１～７のいずれか１項に規定されている通りである、請求項１１に記載のコポリマー。
【請求項13】
請求項１０～１２のいずれか１項に記載のコポリマーを含む電子デバイス。
【請求項14】
前記コポリマーは誘電体層を形成する、請求項１３に記載の電子デバイス。
【請求項15】
基板に誘電体層が提供されるパッケージ化マイクロ電子構造を調製するための製造方法であって、
（１）請求項１～７のいずれか１項に記載の重合性混合物を基材の表面に適用するステップ、及び
（２）前記重合性混合物を硬化させて誘電体層を形成するステップ
を含む製造方法。
（１）請求項１～７のいずれか１項に記載の重合性混合物を基材の表面に適用するステップ、及び
（２）前記重合性混合物を硬化させて誘電体層を形成するステップ
を含む製造方法。
【請求項16】
前記重合性混合物は、１つ又は複数のラジカル性開始剤を更に含む、請求項１５に記載のパッケージ化マイクロ電子構造を調製するための製造方法。
【請求項17】
請求項１５又は１６に記載の製造方法により得ることができるパッケージ化マイクロ電子構造を含むマイクロ電子スデバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、パッケージ化電子デバイスに不動態層を調製するための誘電性材料として使用することができる新しいクラスのコポリマーに関する。コポリマーは、第１のモノマー及び第２のモノマーを含む重合性混合物から得られ、第１のモノマーは、メソゲン基を有する１つ又は複数の重合性３置換又は３，４－二置換マレイミド化合物であり、第２のモノマーは、第１のモノマーと反応してコポリマーを生成することが可能な１つ又は複数の二官能性又は多官能性化合物である。第１のモノマーは、反応性メソゲン（ＲＭ）と呼ばれる場合もある。従って、それらから得られるコポリマーは、構造が保存された液晶特徴を有する材料であり、優れたフィルム形成能力、優れた熱特性、優れた機械的特性、並びに従来の溶媒からの容易な処理を提供する。特に、コポリマーは、ケイ素（３ｐｐｍ／Ｋ）及び銅（１６．５ｐｐｍ／Ｋ）を多く含む基板とパッケージとの間の熱膨張係数（ＣＴＥ）が一致しないため、誘電率が低いこと及び熱誘導性応力を低減する熱機械的特性を有することにより特徴付けられる。更に、コポリマーは、熱応力を容易に補償することができるように、剛性と弾力性との間の好ましくバランスの取れた関係性を提供する。
【0002】
更に、コポリマーは、光構造化可能であり、例えば、導電性又は半導電性成分の不動態化及びダイ接着等の電子パッケージングにおける種々の応用に、並びにプリント回路板の基板の調製における主要成分として特に好適である。
更に、コポリマーを形成するための方法、及びコポリマーを誘電性材料として含む電子デバイスが提供される。更に、本発明は、パッケージ化マイクロ電子構造を調製するための製造方法であって、誘電性コポリマー層が重合性混合物から形成される方法に、及び上記製造方法により得られるか又は得ることができるパッケージ化マイクロ電子構造を含むマイクロ電子デバイスに関する。
本発明による製造方法は、望ましくない熱膨張による機械的変形（反り）により引き起こされる欠陥製品の数が著しく低減される、費用効果が高く信頼性の高いマイクロ電子デバイスの製造を可能にする。重合及び／又は硬化は、著しくより低い温度で生じさせることができるため、製造中の熱応力が低くなり、欠陥マイクロ電子デバイスの廃棄が低減され、それにより資源効率が高く持続可能な生産が可能になる。
更に、コポリマーを形成するための方法、及びコポリマーを誘電性材料として含む電子デバイスが提供される。更に、本発明は、パッケージ化マイクロ電子構造を調製するための製造方法であって、誘電性コポリマー層が重合性混合物から形成される方法に、及び上記製造方法により得られるか又は得ることができるパッケージ化マイクロ電子構造を含むマイクロ電子デバイスに関する。
本発明による製造方法は、望ましくない熱膨張による機械的変形（反り）により引き起こされる欠陥製品の数が著しく低減される、費用効果が高く信頼性の高いマイクロ電子デバイスの製造を可能にする。重合及び／又は硬化は、著しくより低い温度で生じさせることができるため、製造中の熱応力が低くなり、欠陥マイクロ電子デバイスの廃棄が低減され、それにより資源効率が高く持続可能な生産が可能になる。
【背景技術】
【0003】
反応性メソゲン（ＲＭ）は、サーモトロピック液晶（ＬＣ）相（典型的には、ネマチック、コレステリック、又はスメクチック）を呈する温度で重合させると、液晶状態が保存される異方性ポリマーを生成する。特に、光学異方性は、フラットパネルディスプレイ、特に液晶ディスプレイの補正及び輝度増強のための光学フィルムの分野で広く利用されている。
液晶ディスプレイ及びディスプレイにおける幅広い使用に加えて、液晶材料は、それらの物理的特性が特殊であるため、他の応用タイプでの利点について調査されている（Ｒ．Ｓｔａｎｎａｒｉｕｓ、Ｎａｔ．Ｍａｔ．２００９年、８巻、６１７～６１８頁；及びＪ．Ｐ．Ｆ．Ｌａｇｅｒｗａｌｌら、Ｃｕｒｒｅｎｔ Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．２０１２年、１２巻、１３８７～１４１２頁）。特に、高度に規則正しい異方性ポリマーネットワークは、多様な範囲の応用を有する興味深い材料クラスである（Ｄ．Ｊ．Ｂｒｏｅｒら、Ｌａｇｍｕｉｒ ２０１４年、３０巻、１３４９９～１３５０９頁；及びＲ．Ｚｅｎｔｅｌら、Ａｄｖ．Ｍａｔｅｒ．２０１０年、２２巻、３３６６～３３８７頁）。しかしながら、ほとんどの場合、ＬＣポリマー又はポリマーを構成する対応するモノマーは、それぞれの応用に必要とされる最適な特性を有していない。
液晶ディスプレイ及びディスプレイにおける幅広い使用に加えて、液晶材料は、それらの物理的特性が特殊であるため、他の応用タイプでの利点について調査されている（Ｒ．Ｓｔａｎｎａｒｉｕｓ、Ｎａｔ．Ｍａｔ．２００９年、８巻、６１７～６１８頁；及びＪ．Ｐ．Ｆ．Ｌａｇｅｒｗａｌｌら、Ｃｕｒｒｅｎｔ Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．２０１２年、１２巻、１３８７～１４１２頁）。特に、高度に規則正しい異方性ポリマーネットワークは、多様な範囲の応用を有する興味深い材料クラスである（Ｄ．Ｊ．Ｂｒｏｅｒら、Ｌａｇｍｕｉｒ ２０１４年、３０巻、１３４９９～１３５０９頁；及びＲ．Ｚｅｎｔｅｌら、Ａｄｖ．Ｍａｔｅｒ．２０１０年、２２巻、３３６６～３３８７頁）。しかしながら、ほとんどの場合、ＬＣポリマー又はポリマーを構成する対応するモノマーは、それぞれの応用に必要とされる最適な特性を有していない。
【0004】
国際公開第２０１２／１５２４０９号パンフレットは、少なくとも１つの反応性メソゲンのモノマー単位を含む光学異方性及び形状異方性を有するポリマー粒子、それらを調製するための方法、ポリマー粒子を含む光学、電気光学、電子、電気化学、電気写真、エレクトロウェッティング、及び電気泳動ディスプレイ並びに／又はデバイス、並びにセキュリティ、化粧品、装飾、及び診断応用、並びに電気泳動流体及びディスプレイを調製するためのこうした粒子の使用に関する。特に、ポリマー粒子は、少なくとも２つの重合性基を有する少なくとも１つのＲＭのモノマー単位、コモノマーとしての少なくとも１つの重合性色素、任意選択で少なくとも１つのコモノマー、任意選択で少なくとも１つの架橋コモノマー、任意選択で少なくとも１つのイオン性コモノマー、及び任意選択で少なくとも１つの重合性安定剤を有する。
【0005】
ＲＭから液晶ポリマーを調製するための、及びＲＭ出発材料を調製するための種々の方法は、技術水準から公知である。例えば、Ｓｉｅｍｅｎｓｍｅｙｅｒらには、ＬＣ化合物の混合物を生産するための方法が記載されており、出発成分の少なくとも１つは、少なくとも２つの化合物の混合物からなり、この混合物は、少なくとも１つの他の出発成分と反応して、統計的混合物を形成する（国際公開第９６／０４３５１号パンフレット）。
ＬＣ化合物の効率的な調製方法に加えて、異方性ポリマーネットワークを形成するための好適な重合方法は関心の的である。様々な反応性官能基が、光開始重合反応における応用性について調査された。最も普及している反応性官能基はアクリレート及びメタクリレートであり、これらは、重合速度が速いため、ＵＶ誘導性フリーラジカル重合に特に良好に適合する（Ｄ．Ｊ．Ｂｒｏｅｒら、Ｌａｇｍｕｉｒ ２０１４年、３０巻、１３４９９～１３５０９頁）。しかしながら、ＵＶ硬化は、全ての種類の応用に好適である訳ではない。
ＬＣ化合物の効率的な調製方法に加えて、異方性ポリマーネットワークを形成するための好適な重合方法は関心の的である。様々な反応性官能基が、光開始重合反応における応用性について調査された。最も普及している反応性官能基はアクリレート及びメタクリレートであり、これらは、重合速度が速いため、ＵＶ誘導性フリーラジカル重合に特に良好に適合する（Ｄ．Ｊ．Ｂｒｏｅｒら、Ｌａｇｍｕｉｒ ２０１４年、３０巻、１３４９９～１３５０９頁）。しかしながら、ＵＶ硬化は、全ての種類の応用に好適である訳ではない。
【0006】
重合性液晶モノマー（反応性メソゲン）の混合物を使用して、熱重合又は光開始重合により硬化させることができる薄いフィルムを調製することができる。このようにして調製されたフィルムは比較的薄く、顕著な寸法安定性を有する高度に架橋されたデュロプラスチックポリマーを含む。しかしながら、こうしたフィルムは比較的脆性であり、非常に低い弾力性を示す。その一方、架橋度が低減されると、寸法安定性ポリマーフィルムを得ることができない。
【0007】
米国特許第６，２６１，４８１号明細書には、良好な熱伝導性を提供する有機絶縁性組成物が記載されている。絶縁性組成物は、メソゲン基を有するモノマーを含む樹脂組成物の重合産物を含む液晶（ＬＣ）樹脂を含む。この組成物は、互いに対して相互に直交する方向の熱伝導性が≧０．４Ｗ／ｍＫである。樹脂組成物に含まれるモノマーは、メソゲン基、及び好ましくは酸触媒下で熱的に重合させることができるエポキシ基を有する。好ましくは、樹脂組成物は、部分的配列に基づく異方性特性がポリマーに固定されるように、重合開始時にメソゲン基を有するモノマーが部分的に配列される条件下で加熱される。
米国特許出願公開第２００８／００７５９６１号明細書及び米国特許出願公開第２０１７／０１５２４１８号明細書は、イミドで伸長されたモノ、ビス、及びポリマレイミド化合物を含む熱硬化性マレイミド樹脂から調製されるマレイミド接着フィルムに関する。マレイミド接着フィルムは、光構造化可能であり、電子機器、集積回路、半導体素地、受動素子、太陽電池、太陽電池モジュール、及び／又は発光ダイオードの生産に好適である。しかしながら、マレイミド化合物は、フィルム中の化合物の優先的な方向性又は部分的な配列を付与することができるメソゲン基を一切含まない。これは、機械的安定性及び熱伝導性に関してより不良な特性をもたらす。こうした材料は、典型的には比較的低いガラス転移点も呈し、この場合も熱膨張特性に影響を及ぼす。
韓国特許出願公開第２０１６００５２２３４号明細書には、光硬化性絶縁性樹脂組成物及びそれを使用したプリント回路板が記載されている。光硬化性絶縁性樹脂組成物は、光硬化性液晶オリゴマー、光硬化性グラフェンオキシド、及び光硬化性金属アルコキシドを含む。しかしながら、光硬化性液晶オリゴマーは、スペーサー基により一緒に連結された複数のメソゲン基を含まない。これは、好ましくない溶解度プロファイルをもたらし、光硬化に使用されるエネルギーは非常に高い。
米国特許出願公開第２００８／００７５９６１号明細書及び米国特許出願公開第２０１７／０１５２４１８号明細書は、イミドで伸長されたモノ、ビス、及びポリマレイミド化合物を含む熱硬化性マレイミド樹脂から調製されるマレイミド接着フィルムに関する。マレイミド接着フィルムは、光構造化可能であり、電子機器、集積回路、半導体素地、受動素子、太陽電池、太陽電池モジュール、及び／又は発光ダイオードの生産に好適である。しかしながら、マレイミド化合物は、フィルム中の化合物の優先的な方向性又は部分的な配列を付与することができるメソゲン基を一切含まない。これは、機械的安定性及び熱伝導性に関してより不良な特性をもたらす。こうした材料は、典型的には比較的低いガラス転移点も呈し、この場合も熱膨張特性に影響を及ぼす。
韓国特許出願公開第２０１６００５２２３４号明細書には、光硬化性絶縁性樹脂組成物及びそれを使用したプリント回路板が記載されている。光硬化性絶縁性樹脂組成物は、光硬化性液晶オリゴマー、光硬化性グラフェンオキシド、及び光硬化性金属アルコキシドを含む。しかしながら、光硬化性液晶オリゴマーは、スペーサー基により一緒に連結された複数のメソゲン基を含まない。これは、好ましくない溶解度プロファイルをもたらし、光硬化に使用されるエネルギーは非常に高い。
【0008】
電子パッケージング
半導体トランジスタが真空管技術に取って代わり始めたため、抵抗、コンデンサ、及びダイオード等の電子部品をリード線によりカードのプリント回路板に直接取り付けることが可能になり、従って依然として使用されているパッケージングの基本的な構成ブロック又はレベルが確立された。複雑な電子機能は、単一のプリント回路カード上で相互接続できるものよりも多くの個々の部品を必要とすることが多い。娘カードの多層マザーボードへの３次元パッケージングが開発されたことに伴って、多層カードが可能になった。集積回路により、抵抗及びダイオード等の個別の回路要素の多くを、集積回路チップ又はダイとして知られている個々の比較的小型の部品に組み込むことが可能になる。しかしながら、途方もない回路集積にも関わらず、部分的には集積回路技術自体のために典型的には１つよりも多くのパッケージングレベルが必要とされる。集積回路チップは非常に壊れやすく、端子が非常に小さい。第１のレベルのパッケージングは、機械的保護、冷却、及び繊細な集積回路への電気的接続能力の提供という主要機能を実現する。一部の部品（高電力抵抗、機械的スイッチ、コンデンサ）はチップへの集積が容易ではないため、プリント回路カード等の少なくとも１つの追加パッケージングレベルが使用される。メインフレームコンピュータ等の非常に複雑な応用の場合、複数のパッケージングレベルの階層化が必要とされる。
ムーアの法則の帰結として、より高出力の電子製品の開発には、高度な電子パッケージング戦略が益々重要な役割を果たしつつある。言い換えれば、より小型で、より高速であり、より機能的な可搬型及び携帯型電子デバイスの需要が増加すると共に、改良型の対費用効果が高いパッケージング技術の需要も増加しつつある。
半導体トランジスタが真空管技術に取って代わり始めたため、抵抗、コンデンサ、及びダイオード等の電子部品をリード線によりカードのプリント回路板に直接取り付けることが可能になり、従って依然として使用されているパッケージングの基本的な構成ブロック又はレベルが確立された。複雑な電子機能は、単一のプリント回路カード上で相互接続できるものよりも多くの個々の部品を必要とすることが多い。娘カードの多層マザーボードへの３次元パッケージングが開発されたことに伴って、多層カードが可能になった。集積回路により、抵抗及びダイオード等の個別の回路要素の多くを、集積回路チップ又はダイとして知られている個々の比較的小型の部品に組み込むことが可能になる。しかしながら、途方もない回路集積にも関わらず、部分的には集積回路技術自体のために典型的には１つよりも多くのパッケージングレベルが必要とされる。集積回路チップは非常に壊れやすく、端子が非常に小さい。第１のレベルのパッケージングは、機械的保護、冷却、及び繊細な集積回路への電気的接続能力の提供という主要機能を実現する。一部の部品（高電力抵抗、機械的スイッチ、コンデンサ）はチップへの集積が容易ではないため、プリント回路カード等の少なくとも１つの追加パッケージングレベルが使用される。メインフレームコンピュータ等の非常に複雑な応用の場合、複数のパッケージングレベルの階層化が必要とされる。
ムーアの法則の帰結として、より高出力の電子製品の開発には、高度な電子パッケージング戦略が益々重要な役割を果たしつつある。言い換えれば、より小型で、より高速であり、より機能的な可搬型及び携帯型電子デバイスの需要が増加すると共に、改良型の対費用効果が高いパッケージング技術の需要も増加しつつある。
【0009】
今日の半導体業界の要求を満たすために、幅広く様々な高度パッケージング技術が存在する。先端的な高度パッケージング技術であるウエハレベルパッケージング（ＷＬＰ）、ファンアウトウエハレベルパッケージング（ＦＯＷＬＰ）、２．５Ｄインターポーザ、チップオンチップ積層、パッケージオンパッケージ積層、組み込みＩＣは全て、薄型基板、再配線層、及び高分解能相互接続のような他の部品の構造化を必要とする。最終消費者市場は、これまでになく小型化及び薄型化されたデバイスに対してより低い価格及びより高い機能を常に求めている。そのため、競争力のある製造コストでより微細な特徴及び向上した信頼性を有する次世代パッケージングが必要とされている。
【0010】
ウエハレベルパッケージング（ＷＬＰ）は、ウエハを薄切りして個々の回路（ダイス）にしてからパッケージングするより従来型のチップスケールパッケージング法とは対照的に、依然としてウエハの一部である間に集積回路をパッケージングする技術である。ＷＬＰは、チップスケールパッケージ技術と比較して幾つかの主要な利点を提供し、得られるパッケージは事実上ダイと同じサイズであるため、本質的に真のチップスケールパッケージ（ＣＳＰ）技術である。ウエハレベルパッケージングは、ケイ素開始物質から顧客出荷までにデバイスが経る製造プロセスを合理化するために、ウエハ製造、パッケージング、試験、及びウエハレベルでのバーンインの統合を可能にする。ＷＬＰの主要な応用分野は、サイズの制約があるため、スマートフォン及びウェアラブルである。ＷＬＰがスマートフォン又はウェアラブルに提供する機能としては、コンパス、センサ、電源管理、ワイヤレス等が挙げられる。ウエハレベルチップスケールパッケージング（ＷＬ－ＣＳＰ）は、市場において現在利用可能な最小パッケージの１つである。ＷＬＰは、ファンインＷＬＰ及びファンアウトＷＬＰに分類することができる（図１）。これらは両方とも、再配線技術を使用して、チップとはんだボールとの接続を形成する。
ファンアウトウエハレベルパッケージング（ＦＯＷＬＰ）は、マイクロ電子機器における最新のパッケージングトレンドの１つである。ＦＯＷＬＰは、パッケージ容積並びにパッケージング厚の両方において高い小型化可能性を有する。ＦＯＷＬＰの技術的基盤は、チップが組み込まれた再構成プリントウエハ及び薄膜再配線層であり、これらは一緒になって表面実装デバイス（ＳＭＤ）互換パッケージを形成する。ＦＯＷＬＰの主な利点は、基板レスパッケージであるため非常に薄いこと、熱抵抗が低いこと、例えばワイヤーボンド又ははんだ接点等の代わりにバンプレスチップ接続を共に有する短く平面状の電気接続であるため高周波特性が良好であることである。
ファンアウトウエハレベルパッケージング（ＦＯＷＬＰ）は、マイクロ電子機器における最新のパッケージングトレンドの１つである。ＦＯＷＬＰは、パッケージ容積並びにパッケージング厚の両方において高い小型化可能性を有する。ＦＯＷＬＰの技術的基盤は、チップが組み込まれた再構成プリントウエハ及び薄膜再配線層であり、これらは一緒になって表面実装デバイス（ＳＭＤ）互換パッケージを形成する。ＦＯＷＬＰの主な利点は、基板レスパッケージであるため非常に薄いこと、熱抵抗が低いこと、例えばワイヤーボンド又ははんだ接点等の代わりにバンプレスチップ接続を共に有する短く平面状の電気接続であるため高周波特性が良好であることである。
【0011】
現行の材料では、ＷＬＰプロセスは、中程度のチップサイズ応用に限定される。この限定の理由は、主に現行材料の選択によるものであり、現行の材料は、シリコンダイ（ＣＴＥ：３ｐｐｍ／Ｋ）との熱的不一致を示すため、性能を低減させ、ダイに応力を発生させる可能性がある。より良好な物理的特性（高い機械的可撓性と共に、特にケイ素のＣＴＥにより近い熱膨張係数（ＣＴＥ））を有する新しい材料が強く求められている。現在、再配線層（ＲＤＬ）は、ポリイミド（ＰＩ）、ブチルシクロブタン（ＢＣＢ）、又はポリベンゾオキサゾール（ＰＢＯ）等のポリマー不動態層に電気メッキされた銅層（ＣＴＥ：１６．５ｐｐｍ／Ｋ）で製作されている。光パターン形成性に加えて低い硬化温度は、そのような材料の処理における２つの更に重要な要件である。
ポリイミドは、取扱い及び試験手順のために表面保護を必要とするメモリチップ及び他のデバイスの標準的な不動態層になっている。処理コストを低減するために、感光性樹脂が開発されている。
ポリイミド－ＯＤＡは、Ｄｕ Ｐｏｎｔ社が開発した交互芳香族同素環式及び複素環式環に基づく一連の新しい高性能ポリマーの最初のメンバー：
ポリイミドは、取扱い及び試験手順のために表面保護を必要とするメモリチップ及び他のデバイスの標準的な不動態層になっている。処理コストを低減するために、感光性樹脂が開発されている。
ポリイミド－ＯＤＡは、Ｄｕ Ｐｏｎｔ社が開発した交互芳香族同素環式及び複素環式環に基づく一連の新しい高性能ポリマーの最初のメンバー：
【化1】
【0012】
ポリイミドは、分解温度が非常に高く４００℃を超える場合があるという点で非常に独特である。加えて、ポリイミドの機械的特性は、２００ＭＰａを超える非常に高い引張強度と共に高い可撓性（最大で１００％の破断点伸び）を保証する。ＰＩは、依然としてＩＣ不動態化に最も広く使用されているポリマーである。
ネガティブ感受性ポリマーＰＩへの改変は、ポジティブ感受性ＰＩとも呼ばれる場合があるポリベンゾオキサゾール（ＰＢＯ）により達成された。
ポリマーフィルムは、露光後に水性現像液を使用して現像することができる。
いわゆるＢＣＢ（ベンゾシクロブテン）は、加えてビニル及びベンゾシクロブテン環系を有するシロキサン－ポリマー基の例である。
ネガティブ感受性ポリマーＰＩへの改変は、ポジティブ感受性ＰＩとも呼ばれる場合があるポリベンゾオキサゾール（ＰＢＯ）により達成された。
【化2】
いわゆるＢＣＢ（ベンゾシクロブテン）は、加えてビニル及びベンゾシクロブテン環系を有するシロキサン－ポリマー基の例である。
【化3】
【0013】
主要な利点は、副産物が生じないため高い原子経済性を示す重合反応（Ｄｉｅｌｓ－Ａｌｄｅｒ反応）である。この高度に架橋された熱硬化性ポリマーは、優れた電気的性能を有するが、非常に脆性であり、破断点伸び値は低く（８％）、引張強度は８７ＭＰａと低い。
技術水準の別の手法は、米国特許出願公開第２００８／００７５９６１号明細書及び米国特許出願公開第２０１７／０１５２４１８号明細書に示唆されていたイミド伸長ビスマレイミド樹脂である。これらは、低応力ウエハ不動態コーティングに関して有望な結果を示す。しかしながら、ある程度の改善はあるものの、業界の厳しい要件を満たすためには依然として改善の余地がある。
技術水準の別の手法は、米国特許出願公開第２００８／００７５９６１号明細書及び米国特許出願公開第２０１７／０１５２４１８号明細書に示唆されていたイミド伸長ビスマレイミド樹脂である。これらは、低応力ウエハ不動態コーティングに関して有望な結果を示す。しかしながら、ある程度の改善はあるものの、業界の厳しい要件を満たすためには依然として改善の余地がある。
【0014】
結論として、技術水準で公知の材料は、以下の欠点を示す。
・ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールは、典型的には、非常に高い処理温度を必要とするため、特に多層再配線層（ＲＤＬ）における反りのリスクが増加する。それに加えて、ポリイミドは高い吸水性を示し、これはデバイスの信頼性にとって問題である。
・ベンゾシクロブテン誘導体並びにポリノルボルネンは非常に低い誘電率を示すが、この利点は、金属との接着性が非常に不良であることにより損なわれる。
・イミド伸長ビスマレイミド樹脂は、これまでのところ、有利な機械的特性及び熱的特性の好ましい組合せを示さない。イミド伸長ビスマレイミド樹脂は、可撓性（低弾性率）であるがＣＴＥ値が高いか、又は脆性（高弾性率）でありＣＴＥ値が低いかのいずれかである。
従って、先行技術で公知である上述の欠点を示さない新しい誘電性材料を開発する継続的な必要性が存在する。
・ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールは、典型的には、非常に高い処理温度を必要とするため、特に多層再配線層（ＲＤＬ）における反りのリスクが増加する。それに加えて、ポリイミドは高い吸水性を示し、これはデバイスの信頼性にとって問題である。
・ベンゾシクロブテン誘導体並びにポリノルボルネンは非常に低い誘電率を示すが、この利点は、金属との接着性が非常に不良であることにより損なわれる。
・イミド伸長ビスマレイミド樹脂は、これまでのところ、有利な機械的特性及び熱的特性の好ましい組合せを示さない。イミド伸長ビスマレイミド樹脂は、可撓性（低弾性率）であるがＣＴＥ値が高いか、又は脆性（高弾性率）でありＣＴＥ値が低いかのいずれかである。
従って、先行技術で公知である上述の欠点を示さない新しい誘電性材料を開発する継続的な必要性が存在する。
【0015】
フォトリソグラフィー
フォトリソグラフィーは、長らく、フリップチップウエハバンピング、電気メッキ金、はんだバンプ、銅ピラー技術、及び再配線層のような高度パッケージング応用で使用される無機及び有機材料を構造化するための重要なパターン形成技術である。フォトリソグラフィーは、重要な製造プロセス及びコスト寄与要因であり、今日の産業的リソグラフィー応用において可能な限り最良のコスト構造を実現するためには、適正な露光手段を注意深く選択することが重要である。
半導体業界の現在の推進力及びトレンドは、将来のエンドユーザの要求を満たすためにはマイクロ電子デバイスの性能向上が必要であることを明確に示している。例えば、タブレット及びスマートフォンのような消費者向け電子デバイスは、より高い計算能力、データストレージの増加、及び通信能力の向上を獲得しつつ、益々薄型化及び小型化されている。加えて、コストを考慮することは、チップメーカー、ファウンドリ、アセンブリ、及び試験サプライヤーからデバイスメーカーまでサプライチェーン内の全ての当事者の競争環境において益々重要になっている。従って、この業界は、困難な技術要求を満たす技術を可能にすることと併せて、製造コストを削減するための革新的な手法を得るために努力を重ねている。
数十年間にわたって、フォトリソグラフィーは、マイクロ電子デバイスの製造及びパッケージングで使用される基本的なプロセスであり、依然として使用されている。任意のフォトリソグラフィープロセスの重要な構成要素は、紫外線波長範囲の光を使用して感光性レジスト又はポリマーをパターン化する露光ツールである。露光ツールは、所望の特徴を正確に作出し、その下の層に既に製造されている構造にそれらを位置合わせすることができなければならない。今日、幾つかのタイプの露光技術：近接又は接触印刷、レーザ直接イメージング、及び投影リソグラフィーが存在する。対応する機器ツールセットは、技術的能力（光学分解能、オーバーレイ性能、及び有効スループット）及び露光プロセスに関連するコストの点が異なる。（Ｈ．Ｈｉｃｈｒｉら、ＳＵＳＳ Ｍｉｃｒｏ Ｔｅｃ Ｐｈｏｔｏｎｉｃ Ｓｙｓｔｅｍ Ｉｎｃ．社、コロナ、カリフォルニア州、アメリカ合衆国を参照）。
フォトリソグラフィーは、長らく、フリップチップウエハバンピング、電気メッキ金、はんだバンプ、銅ピラー技術、及び再配線層のような高度パッケージング応用で使用される無機及び有機材料を構造化するための重要なパターン形成技術である。フォトリソグラフィーは、重要な製造プロセス及びコスト寄与要因であり、今日の産業的リソグラフィー応用において可能な限り最良のコスト構造を実現するためには、適正な露光手段を注意深く選択することが重要である。
半導体業界の現在の推進力及びトレンドは、将来のエンドユーザの要求を満たすためにはマイクロ電子デバイスの性能向上が必要であることを明確に示している。例えば、タブレット及びスマートフォンのような消費者向け電子デバイスは、より高い計算能力、データストレージの増加、及び通信能力の向上を獲得しつつ、益々薄型化及び小型化されている。加えて、コストを考慮することは、チップメーカー、ファウンドリ、アセンブリ、及び試験サプライヤーからデバイスメーカーまでサプライチェーン内の全ての当事者の競争環境において益々重要になっている。従って、この業界は、困難な技術要求を満たす技術を可能にすることと併せて、製造コストを削減するための革新的な手法を得るために努力を重ねている。
数十年間にわたって、フォトリソグラフィーは、マイクロ電子デバイスの製造及びパッケージングで使用される基本的なプロセスであり、依然として使用されている。任意のフォトリソグラフィープロセスの重要な構成要素は、紫外線波長範囲の光を使用して感光性レジスト又はポリマーをパターン化する露光ツールである。露光ツールは、所望の特徴を正確に作出し、その下の層に既に製造されている構造にそれらを位置合わせすることができなければならない。今日、幾つかのタイプの露光技術：近接又は接触印刷、レーザ直接イメージング、及び投影リソグラフィーが存在する。対応する機器ツールセットは、技術的能力（光学分解能、オーバーレイ性能、及び有効スループット）及び露光プロセスに関連するコストの点が異なる。（Ｈ．Ｈｉｃｈｒｉら、ＳＵＳＳ Ｍｉｃｒｏ Ｔｅｃ Ｐｈｏｔｏｎｉｃ Ｓｙｓｔｅｍ Ｉｎｃ．社、コロナ、カリフォルニア州、アメリカ合衆国を参照）。
【発明の概要】
【0016】
発明の目的
本発明の目的は、従来技術の欠陥及び欠点を克服し、種々の電子パッケージング応用において用途の広い誘電性材料として使用することができる新しいクラスの材料を提供することである。
更に、本発明の目的は、パッケージ化電子デバイスの不動態層の形成に使用されると、優れたフィルム形成能力、例えば低熱膨張係数（ＣＴＥ）等の優れた熱特性、及び優れた可撓性等の優れた機械的特性を示す新しいクラスの誘電性材料を提供することである。本発明の更なる目的は、従来の溶媒からの容易な処理を可能にする新しいクラスの誘電性材料を提供することである。
より具体的には、本発明の目的は、誘電体の熱膨張係数を、例えばＵＶ後の破断点伸び又は２００℃未満の温度での熱硬化等の機械的特性に悪影響を与えずに、例えばケイ素（Ｓｉ：３ｐｐｍ／Ｋ）又は銅（Ｃｕ：１６．５ｐｐｍ／Ｋ）の熱膨張係数と一致させることである。
更に、本発明の目的は、光構造化可能であり、例えば、導電性又は半導体性部品の不動態化及びダイ接着等の電子パッケージングにおける種々の応用に、並びにプリント回路板用の基板の調製における主要成分として特に好適である新規クラスの材料を提供することである。重要な応用分野は、パッケージ化マイクロ電子デバイスのＲＤＬを構造化するための誘電性材料としての使用である。
本発明の更なる目的は、新規材料がそれから製作される重合性混合物を提供することである。更に、本発明の目的は、重合性混合物を使用して新規材料を形成するための方法を提供することである。最後に、本発明の目的は、新規材料を誘電性材料として含む電子デバイス、パッケージ化マイクロ電子構造を調製するための製造方法、及び上記製造方法により得ることができるパッケージ化マイクロ電子構造を含むマイクロ電子デバイスを提供することである。
本発明の目的は、従来技術の欠陥及び欠点を克服し、種々の電子パッケージング応用において用途の広い誘電性材料として使用することができる新しいクラスの材料を提供することである。
更に、本発明の目的は、パッケージ化電子デバイスの不動態層の形成に使用されると、優れたフィルム形成能力、例えば低熱膨張係数（ＣＴＥ）等の優れた熱特性、及び優れた可撓性等の優れた機械的特性を示す新しいクラスの誘電性材料を提供することである。本発明の更なる目的は、従来の溶媒からの容易な処理を可能にする新しいクラスの誘電性材料を提供することである。
より具体的には、本発明の目的は、誘電体の熱膨張係数を、例えばＵＶ後の破断点伸び又は２００℃未満の温度での熱硬化等の機械的特性に悪影響を与えずに、例えばケイ素（Ｓｉ：３ｐｐｍ／Ｋ）又は銅（Ｃｕ：１６．５ｐｐｍ／Ｋ）の熱膨張係数と一致させることである。
更に、本発明の目的は、光構造化可能であり、例えば、導電性又は半導体性部品の不動態化及びダイ接着等の電子パッケージングにおける種々の応用に、並びにプリント回路板用の基板の調製における主要成分として特に好適である新規クラスの材料を提供することである。重要な応用分野は、パッケージ化マイクロ電子デバイスのＲＤＬを構造化するための誘電性材料としての使用である。
本発明の更なる目的は、新規材料がそれから製作される重合性混合物を提供することである。更に、本発明の目的は、重合性混合物を使用して新規材料を形成するための方法を提供することである。最後に、本発明の目的は、新規材料を誘電性材料として含む電子デバイス、パッケージ化マイクロ電子構造を調製するための製造方法、及び上記製造方法により得ることができるパッケージ化マイクロ電子構造を含むマイクロ電子デバイスを提供することである。
【0017】
発明の要約
本発明者らは、驚くべきことに、上記の目的が、第１のモノマー及び第２のモノマーを含む重合性混合物から得られるコポリマーであって、第１のモノマーは、式（１）により表される１つ又は複数の化合物であり、第２のモノマーは、第１のモノマーと反応してコポリマーを生成することが可能な１つ又は複数の二官能性又は多官能性化合物であるコポリマーにより達成されることを見出した。
Ｐ1－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－Ｐ1 式（１）
式中、
ｍは、１～６０の整数であり、
Ｐ1は、
を示し、式中、Ｖ1はＨであり、Ｖ2は、１～６個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、若しくはＣＮであるか、又はＶ1及びＶ2は、互いに独立して１～６個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、若しくはＣＮであり、
Ｓｐ1は、各出現において、スペーサー基（Ｓｐ）又は単結合を示し、
ＭＧは、好ましくは、式（２）：
－（Ａ21－Ｚ21）k－Ａ22－（Ｚ22－Ａ23）l－ 式（２）
から選択される棒状メソゲン基であり、式中、
Ａ21～Ａ23は、独立して及び各出現において互いに独立して、１つ又は複数の同一の又は異なる基Ｌにより任意選択で置換されているアリール基、ヘテロアリール基、複素環基、脂環基、又は環式イミド基であり、
Ｚ21及びＺ22は、独立して及び各出現において互いに独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｓ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ02、－ＮＲ01－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ、－ＳＣＨ2－、－ＣＨ2Ｓ－、－ＣＦ2Ｏ－、－ＯＣＦ2－、－ＣＦ2Ｓ－、－ＳＣＦ2－、－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＣＨ2）4－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－ＣＨ＝Ｎ－、－Ｎ＝ＣＨ－、－Ｎ＝Ｎ－、－ＣＨ＝ＣＲ01－、－ＣＹ01＝ＣＹ02－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合であり、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｌは、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、－ＣＮ、－ＮＯ2、－ＮＣＯ、－ＮＣＳ、－ＯＣＮ、－ＳＣＮ、－Ｃ（＝Ｏ）ＮＲxxＲyy、－Ｃ（＝Ｏ）ＯＲxx、－Ｃ（＝Ｏ）Ｒxx、－ＮＲxxＲyy、－ＯＨ、－ＳＦ5、又は１～２０個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシであり、１つ又は複数のＨ原子は、任意選択で、Ｆ、又はＣｌ、－ＣＮ、又は１～６個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシで置き換えられており、
Ｒxx及びＲyyは、互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Y01及びY02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキル、アリール、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮを示し、
ｋ及びｌは、各々及び独立して０、１、２、３、又は４である。
本発明者らは、驚くべきことに、上記の目的が、第１のモノマー及び第２のモノマーを含む重合性混合物から得られるコポリマーであって、第１のモノマーは、式（１）により表される１つ又は複数の化合物であり、第２のモノマーは、第１のモノマーと反応してコポリマーを生成することが可能な１つ又は複数の二官能性又は多官能性化合物であるコポリマーにより達成されることを見出した。
Ｐ1－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－Ｐ1 式（１）
式中、
ｍは、１～６０の整数であり、
Ｐ1は、
【化4】
Ｓｐ1は、各出現において、スペーサー基（Ｓｐ）又は単結合を示し、
ＭＧは、好ましくは、式（２）：
－（Ａ21－Ｚ21）k－Ａ22－（Ｚ22－Ａ23）l－ 式（２）
から選択される棒状メソゲン基であり、式中、
Ａ21～Ａ23は、独立して及び各出現において互いに独立して、１つ又は複数の同一の又は異なる基Ｌにより任意選択で置換されているアリール基、ヘテロアリール基、複素環基、脂環基、又は環式イミド基であり、
Ｚ21及びＺ22は、独立して及び各出現において互いに独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｓ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ02、－ＮＲ01－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ、－ＳＣＨ2－、－ＣＨ2Ｓ－、－ＣＦ2Ｏ－、－ＯＣＦ2－、－ＣＦ2Ｓ－、－ＳＣＦ2－、－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＣＨ2）4－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－ＣＨ＝Ｎ－、－Ｎ＝ＣＨ－、－Ｎ＝Ｎ－、－ＣＨ＝ＣＲ01－、－ＣＹ01＝ＣＹ02－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合であり、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｌは、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、－ＣＮ、－ＮＯ2、－ＮＣＯ、－ＮＣＳ、－ＯＣＮ、－ＳＣＮ、－Ｃ（＝Ｏ）ＮＲxxＲyy、－Ｃ（＝Ｏ）ＯＲxx、－Ｃ（＝Ｏ）Ｒxx、－ＮＲxxＲyy、－ＯＨ、－ＳＦ5、又は１～２０個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシであり、１つ又は複数のＨ原子は、任意選択で、Ｆ、又はＣｌ、－ＣＮ、又は１～６個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシで置き換えられており、
Ｒxx及びＲyyは、互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Y01及びY02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキル、アリール、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮを示し、
ｋ及びｌは、各々及び独立して０、１、２、３、又は４である。
【0018】
上記重合性混合物は、低熱膨張を呈し、同時に高い機械的可撓性を示す新しいクラスのコポリマーを形成するための出発物質として使用される。上記コポリマーは、これも本発明の一部を形成する以下の方法：
コポリマーを形成するための方法であって、
（ｉ）本発明による重合性混合物を準備するステップ、及び
（ｉｉ）上記重合可能性混合物を重合させてコポリマーを得るステップ
を含む方法により調製される。
更に、コポリマーを形成するための上述の方法により得ることができるか又は得られるコポリマーが提供される。
更に、本発明によるコポリマーを含む電子デバイスが提供される。
コポリマーを形成するための方法であって、
（ｉ）本発明による重合性混合物を準備するステップ、及び
（ｉｉ）上記重合可能性混合物を重合させてコポリマーを得るステップ
を含む方法により調製される。
更に、コポリマーを形成するための上述の方法により得ることができるか又は得られるコポリマーが提供される。
更に、本発明によるコポリマーを含む電子デバイスが提供される。
【0019】
最後に、基板に誘電体層が提供されるパッケージ化マイクロ電子構造を調製するための製造方法であって、
（１）本発明による重合性混合物を基板の表面に塗布するステップ、及び
（２）上記重合性組成物を重合させて、誘電体層を形成するステップ
を含む方法が提供される。
本発明による製造方法により得ることができるか又は得られるパッケージ化マイクロ電子構造を含むマイクロ電子デバイスも提供される。
本発明の好ましい実施形態は、下記に及び従属請求項に記載されている。
（１）本発明による重合性混合物を基板の表面に塗布するステップ、及び
（２）上記重合性組成物を重合させて、誘電体層を形成するステップ
を含む方法が提供される。
本発明による製造方法により得ることができるか又は得られるパッケージ化マイクロ電子構造を含むマイクロ電子デバイスも提供される。
本発明の好ましい実施形態は、下記に及び従属請求項に記載されている。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【図1】ダイ（１）及びファンアウト領域（２）を有するファンイン及びファンアウトＷＬＰの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0021】
定義
「液晶」、「メソモルフィック化合物」、又は「メソゲン化合物」（略して「メソゲン」とも呼ばれる）という用語は、温度、圧力、及び濃度の好適な条件下で、中間相として又は特にＬＣ相として存在することができる。非両親媒性メソゲン化合物は、例えば、１つ又は複数のカラミティックメソゲン基、バナナ型メソゲン基、又は円盤状メソゲン基を含む。
「カラミティック」という用語は、棒状又は板状／ラス状の化合物又は基を意味する。「バナナ型」という用語は、２つの通常はカラミティックメソゲン基が、同一直線上に存在しないように半剛性基を介して連結されている湾曲基を意味する。「円盤状」という用語は、円板状又はシート状の化合物又は基を意味する。
「メソゲン基」という用語又はその略語「ＭＧ」は、液晶（ＬＣ）相挙動を誘導する能力を有する基を意味する。メソゲン基、特に非両親媒性型の基は、通常は、カラミティックであるか又は円盤状であるかのいずれかである。メソゲン基を含む化合物は、それら自体が必ずしもＬＣ相を呈する必要はない。そうした化合物は、他の化合物との混合物中においてのみ、又はメソゲン化合物若しくはそれらの混合物が重合された場合にのみ、ＬＣ相挙動を示すこともあり得る。単純化するために、「液晶」という用語は、以下では、メソゲン材料及びＬＣ材料の両方に使用される。
カラミティックメソゲン化合物は、通常、直接的に又は連結基を介して互いに接続された１つ又は複数の芳香族又は脂環式基からなり、任意選択で棒の短端部に付着された末端基を含み、任意選択で棒の長辺に付着された１つ又は複数の側方基を含む、カラミティックな、つまり棒状又はラス状のメソゲン基を含み、こうした末端基及び側方基は、通常、例えば、カルビル若しくはヒドロカルビル基；ハロゲン、ニトロ、ヒドロキシ等のような極性基；又は重合性基から選択される。
「液晶」、「メソモルフィック化合物」、又は「メソゲン化合物」（略して「メソゲン」とも呼ばれる）という用語は、温度、圧力、及び濃度の好適な条件下で、中間相として又は特にＬＣ相として存在することができる。非両親媒性メソゲン化合物は、例えば、１つ又は複数のカラミティックメソゲン基、バナナ型メソゲン基、又は円盤状メソゲン基を含む。
「カラミティック」という用語は、棒状又は板状／ラス状の化合物又は基を意味する。「バナナ型」という用語は、２つの通常はカラミティックメソゲン基が、同一直線上に存在しないように半剛性基を介して連結されている湾曲基を意味する。「円盤状」という用語は、円板状又はシート状の化合物又は基を意味する。
「メソゲン基」という用語又はその略語「ＭＧ」は、液晶（ＬＣ）相挙動を誘導する能力を有する基を意味する。メソゲン基、特に非両親媒性型の基は、通常は、カラミティックであるか又は円盤状であるかのいずれかである。メソゲン基を含む化合物は、それら自体が必ずしもＬＣ相を呈する必要はない。そうした化合物は、他の化合物との混合物中においてのみ、又はメソゲン化合物若しくはそれらの混合物が重合された場合にのみ、ＬＣ相挙動を示すこともあり得る。単純化するために、「液晶」という用語は、以下では、メソゲン材料及びＬＣ材料の両方に使用される。
カラミティックメソゲン化合物は、通常、直接的に又は連結基を介して互いに接続された１つ又は複数の芳香族又は脂環式基からなり、任意選択で棒の短端部に付着された末端基を含み、任意選択で棒の長辺に付着された１つ又は複数の側方基を含む、カラミティックな、つまり棒状又はラス状のメソゲン基を含み、こうした末端基及び側方基は、通常、例えば、カルビル若しくはヒドロカルビル基；ハロゲン、ニトロ、ヒドロキシ等のような極性基；又は重合性基から選択される。
【0022】
円盤状メソゲン化合物は、通常、例えばトリフェニレンのような例えば１つ又は複数の縮合芳香族又は脂環式基からなり、任意選択でメソゲン基に付着されており、上記で言及されている末端基及び側方基から選択される１つ又は複数の末端基を含む、円盤状の、つまり比較的平坦な円板状又はシート状のメソゲン基を含んでいる。
「反応性メソゲン」という用語又はその略語「ＲＭ」は、好ましくはモノマー性又はオリゴマー性化合物である重合性メソゲン又は液晶性化合物を意味する。
「スペーサー」又は「スペーサー基」という用語は、下記では「Ｓｐ」とも呼ばれ、当業者に公知であり、文献に記載されている。別様の記載がない限り、上記及び下記の「スペーサー」又は「スペーサー基」という用語は、重合性メソゲン化合物（「ＲＭ」）において、メソゲン基と重合性基とを接続する可撓性有機基を意味する。
「反応性メソゲン」という用語又はその略語「ＲＭ」は、好ましくはモノマー性又はオリゴマー性化合物である重合性メソゲン又は液晶性化合物を意味する。
「スペーサー」又は「スペーサー基」という用語は、下記では「Ｓｐ」とも呼ばれ、当業者に公知であり、文献に記載されている。別様の記載がない限り、上記及び下記の「スペーサー」又は「スペーサー基」という用語は、重合性メソゲン化合物（「ＲＭ」）において、メソゲン基と重合性基とを接続する可撓性有機基を意味する。
【0023】
「ポリマー」という用語は、これらに限定されないが、ホモポリマー、コポリマー、例えば、ブロック、ランダム、及び交互コポリマー、ターポリマー、クォーターポリマー等、並びにそれらの配合物及び修飾物を含む。更に、特に別様の限定がない限り、「ポリマー」という用語は、材料の全ての考え得る立体配置異性体を含むものとする。こうした立体配置としては、これらに限定されないが、アイソタクチック対称性、シンジオタクチック対称性、及びアタクチック対称性が挙げられる。ポリマーは、相対分子量が高い分子であり、その構造は、実際に又は概念的に相対質量が低い分子（つまり、モノマー）に由来する単位（つまり、繰返し単位）の複数の反復を本質的に含む。本発明の状況では、ポリマーは、６０個よりも多くのモノマーで構成される。
【0024】
「オリゴマー」という用語は、モノマーの数が原則として無制限であるポリマーとは対照的に、少数のモノマー単位からなる分子複合体である。二量体、三量体、及び四量体は、例えば、それぞれ２つ、３つ、及び４つのモノマーで構成されるオリゴマーである。本発明の状況では、オリゴマーは、最大で６０個のモノマーで構成されていてもよい。
「モノマー」という用語は、本明細書で使用される場合、重合を起こし、それにより構成単位（繰返し単位）をポリマー又はオリゴマーの本質的な構造に寄与することができる重合性化合物を指す。重合性化合物は、１つ又は複数の重合性基を有する官能化化合物である。重合反応にて多数のモノマーが一緒になってポリマーを形成する。１つの重合性基を有するモノマーは「単官能性」又は「単反応性」化合物とも呼ばれ、２つの重合性基を有する化合物は「二官能性」又は「二反応性」化合物とも呼ばれ、２つよりも多くの重合性基を有する化合物は「多官能性」又は「多反応性」化合物とも呼ばれる。重合性基を有しない化合物は、「非官能性」又は「非反応性」化合物とも呼ばれる。
「モノマー」という用語は、本明細書で使用される場合、重合を起こし、それにより構成単位（繰返し単位）をポリマー又はオリゴマーの本質的な構造に寄与することができる重合性化合物を指す。重合性化合物は、１つ又は複数の重合性基を有する官能化化合物である。重合反応にて多数のモノマーが一緒になってポリマーを形成する。１つの重合性基を有するモノマーは「単官能性」又は「単反応性」化合物とも呼ばれ、２つの重合性基を有する化合物は「二官能性」又は「二反応性」化合物とも呼ばれ、２つよりも多くの重合性基を有する化合物は「多官能性」又は「多反応性」化合物とも呼ばれる。重合性基を有しない化合物は、「非官能性」又は「非反応性」化合物とも呼ばれる。
【0025】
「ホモポリマー」という用語は、本明細書で使用される場合、１つの種の（実際の、黙示的な、又は仮想の）モノマーに由来するポリマーを表す。
「コポリマー」という用語は、本明細書で使用される場合、一般に、１つよりも多くの種のモノマーに由来する任意のポリマーであって、１つよりも多くの種の対応する繰返し単位を含むポリマーを意味する。一実施形態では、コポリマーは、２つ又はそれよりも多く種のモノマーの反応産物であり、従って２つ又はそれよりも多くの種の対応する繰返し単位を含む。コポリマーは、２、３、４、５、又は６種の繰返し単位を含むことが好ましい。３つのモノマー種の共重合により得られるコポリマーは、ターポリマーとも呼ばれる場合がある。４つのモノマー種の共重合により得られるコポリマーは、クォーターポリマーとも呼ばれる場合がある。コポリマーは、ブロック、ランダム、及び／又は交互コポリマーとして存在してもよい。
「コポリマー」という用語は、本明細書で使用される場合、一般に、１つよりも多くの種のモノマーに由来する任意のポリマーであって、１つよりも多くの種の対応する繰返し単位を含むポリマーを意味する。一実施形態では、コポリマーは、２つ又はそれよりも多く種のモノマーの反応産物であり、従って２つ又はそれよりも多くの種の対応する繰返し単位を含む。コポリマーは、２、３、４、５、又は６種の繰返し単位を含むことが好ましい。３つのモノマー種の共重合により得られるコポリマーは、ターポリマーとも呼ばれる場合がある。４つのモノマー種の共重合により得られるコポリマーは、クォーターポリマーとも呼ばれる場合がある。コポリマーは、ブロック、ランダム、及び／又は交互コポリマーとして存在してもよい。
【0026】
「ブロックコポリマー」という用語は、本明細書で使用される場合、隣接するブロックが構成的に異なり、つまり隣接するブロックが、異なる種のモノマーに由来する繰返し単位、又は同じ種のモノマーに由来するが、繰返し単位の組成又は配列分布が異なる繰返し単位を含むコポリマーを表す。
更に、「ランダムコポリマー」という用語は、本明細書で使用される場合、鎖の任意の所与の部位において所与の繰返し単位を見出す確率が、隣接する繰返し単位の性質とは無関係である巨大分子で形成されるポリマーを指す。通常、ランダムコポリマーでは、繰返し単位の配列分布は、ベルヌーイ統計に従う。
「交互コポリマー」という用語は、本明細書で使用される場合、配列が交互である２種の繰返し単位を含む巨大分子からなるコポリマーを表す。
更に、「ランダムコポリマー」という用語は、本明細書で使用される場合、鎖の任意の所与の部位において所与の繰返し単位を見出す確率が、隣接する繰返し単位の性質とは無関係である巨大分子で形成されるポリマーを指す。通常、ランダムコポリマーでは、繰返し単位の配列分布は、ベルヌーイ統計に従う。
「交互コポリマー」という用語は、本明細書で使用される場合、配列が交互である２種の繰返し単位を含む巨大分子からなるコポリマーを表す。
【0027】
「電子パッケージング」は、電子工学の分野内における主要な領域であり、幅広く様々な技術を含む。この用語は、個別の部品、集積回路、並びにＭＳＩ（中規模集積）チップ及びＬＳＩ（大規模集積）チップ（通常は、ビームリード線によりリード線フレームに取り付けられる）を、それらが適所にはんだ付けされる、プレートの多層回路板（カードとも呼ばれる）上の貫通穴に挿入することを指す。電子装置のパッケージングでは、機械的損傷からの保護、冷却、無線周波数ノイズ放射、静電放電からの保護メンテナンス、作業者の便利性、及びコストを考慮しなければならない。
「マイクロ電子デバイス」という用語は、本明細書で使用される場合、非常に小さな電子設計の電子デバイス及び部品を指す。これは、常にというわけではないが、通常はマイクロメートル規模又はそれよりも小さいことを意味する。こうしたデバイスは、典型的には、半導体材料で製作され、パッケージ化構造において相互接続されてマイクロ電子デバイスを形成する１つ又は複数のマイクロ電子部品を含む。通常の電子設計の多くの電子部品は、マイクロ電子同等物が入手可能である。電子部品としては、トランジスタ、コンデンサ、インダクタ、抵抗、ダイオードが挙げられ、当然のことながら絶縁体及び導電体は、マイクロ電子デバイス全てに見出すことができる。マイクロ電子では、部品、リード線、及びパッドのサイズが極めて小さいため、ワイヤボンディング等の独特な配線技術も頻繁に使用される。
「マイクロ電子デバイス」という用語は、本明細書で使用される場合、非常に小さな電子設計の電子デバイス及び部品を指す。これは、常にというわけではないが、通常はマイクロメートル規模又はそれよりも小さいことを意味する。こうしたデバイスは、典型的には、半導体材料で製作され、パッケージ化構造において相互接続されてマイクロ電子デバイスを形成する１つ又は複数のマイクロ電子部品を含む。通常の電子設計の多くの電子部品は、マイクロ電子同等物が入手可能である。電子部品としては、トランジスタ、コンデンサ、インダクタ、抵抗、ダイオードが挙げられ、当然のことながら絶縁体及び導電体は、マイクロ電子デバイス全てに見出すことができる。マイクロ電子では、部品、リード線、及びパッドのサイズが極めて小さいため、ワイヤボンディング等の独特な配線技術も頻繁に使用される。
【0028】
「ナノ粒子」は、本明細書で使用される場合、１～１００ｎｍの範囲の平均直径を有する粒子である。より好ましくは、ナノ粒子は、２０～８０ｎｍ、より好ましくは４０～６０ｎｍの範囲の平均直径を有する。
【0029】
好ましい実施形態
重合性化合物
本発明は、第１のモノマー及び第２のモノマーを含む重合性混合物であって、第１のモノマーは、式（１）により表される１つ又は複数の化合物であり、第２のモノマーは、第１のモノマーと反応してコポリマーを生成することが可能な１つ又は複数の二官能性又は多官能性化合物である重合性混合物に関する。
Ｐ1－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－Ｐ1 式（１）
式中、
ｍは、１～６０の整数であり、
Ｐ1は、
を示し、式中、Ｖ1はＨであり、Ｖ2は、１～６個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、若しくはＣＮであるか、又はＶ1及びＶ2は、互いに独立して１～６個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、若しくはＣＮであり、
Ｓｐ1は、各出現において、スペーサー基（Ｓｐ）又は単結合を示し、
ＭＧは、好ましくは、式（２）：
－（Ａ21－Ｚ21）k－Ａ22－（Ｚ22－Ａ23）l－ 式（２）
から選択される棒状メソゲン基であり、式中、
Ａ21～Ａ23は、独立して及び各出現において互いに独立して、１つ又は複数の同一の又は異なる基Ｌにより任意選択で置換されているアリール基、ヘテロアリール基、複素環基、脂環基、又は環式イミド基であり、
Ｚ21及びＺ22は、独立して及び各出現において互いに独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｓ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ02、－ＮＲ01－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ、－ＳＣＨ2－、－ＣＨ2Ｓ－、－ＣＦ2Ｏ－、－ＯＣＦ2－、－ＣＦ2Ｓ－、－ＳＣＦ2－、－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＣＨ2）4－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－ＣＨ＝Ｎ－、－Ｎ＝ＣＨ－、－Ｎ＝Ｎ－、－ＣＨ＝ＣＲ01－、－ＣＹ01＝ＣＹ02－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合であり、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｌは、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、－ＣＮ、－ＮＯ2、－ＮＣＯ、－ＮＣＳ、－ＯＣＮ、－ＳＣＮ、－Ｃ（＝Ｏ）ＮＲxxＲyy、－Ｃ（＝Ｏ）ＯＲxx、－Ｃ（＝Ｏ）Ｒxx、－ＮＲxxＲyy、－ＯＨ、－ＳＦ5、又は１～２０個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシであり、１つ又は複数のＨ原子は、任意選択で、Ｆ、又はＣｌ、－ＣＮ、又は１～６個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシで置き換えられており、
Ｒxx及びＲyyは、互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Y01及びY02は各々、互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキル、アリール、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮを示し、
ｋ及びｌは、各々及び独立して０、１、２、３、又は４である。
重合性化合物
本発明は、第１のモノマー及び第２のモノマーを含む重合性混合物であって、第１のモノマーは、式（１）により表される１つ又は複数の化合物であり、第２のモノマーは、第１のモノマーと反応してコポリマーを生成することが可能な１つ又は複数の二官能性又は多官能性化合物である重合性混合物に関する。
Ｐ1－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－Ｐ1 式（１）
式中、
ｍは、１～６０の整数であり、
Ｐ1は、
【化5】
Ｓｐ1は、各出現において、スペーサー基（Ｓｐ）又は単結合を示し、
ＭＧは、好ましくは、式（２）：
－（Ａ21－Ｚ21）k－Ａ22－（Ｚ22－Ａ23）l－ 式（２）
から選択される棒状メソゲン基であり、式中、
Ａ21～Ａ23は、独立して及び各出現において互いに独立して、１つ又は複数の同一の又は異なる基Ｌにより任意選択で置換されているアリール基、ヘテロアリール基、複素環基、脂環基、又は環式イミド基であり、
Ｚ21及びＺ22は、独立して及び各出現において互いに独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｓ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ02、－ＮＲ01－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ、－ＳＣＨ2－、－ＣＨ2Ｓ－、－ＣＦ2Ｏ－、－ＯＣＦ2－、－ＣＦ2Ｓ－、－ＳＣＦ2－、－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＣＨ2）4－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－ＣＨ＝Ｎ－、－Ｎ＝ＣＨ－、－Ｎ＝Ｎ－、－ＣＨ＝ＣＲ01－、－ＣＹ01＝ＣＹ02－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合であり、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｌは、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、－ＣＮ、－ＮＯ2、－ＮＣＯ、－ＮＣＳ、－ＯＣＮ、－ＳＣＮ、－Ｃ（＝Ｏ）ＮＲxxＲyy、－Ｃ（＝Ｏ）ＯＲxx、－Ｃ（＝Ｏ）Ｒxx、－ＮＲxxＲyy、－ＯＨ、－ＳＦ5、又は１～２０個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシであり、１つ又は複数のＨ原子は、任意選択で、Ｆ、又はＣｌ、－ＣＮ、又は１～６個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシで置き換えられており、
Ｒxx及びＲyyは、互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Y01及びY02は各々、互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキル、アリール、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮを示し、
ｋ及びｌは、各々及び独立して０、１、２、３、又は４である。
【0030】
本特許出願に提示されている構造要素の付着点（結合部位）は、
により示されている場合があり、式中*は構造要素を表わし、
は、結合部位を表す。
【化6】
【化7】
【0031】
重合性基Ｐ1は、例えばラジカル性若しくはイオン性連鎖重合反応等の重合反応、又は重付加反応（例えば、２＋２環化付加、４＋２環化付加（Ｄｉｅｌｓ－Ａｌｄｅｒ反応）、又は１，３－双極性環化付加、又はＭｉｃｈａｅｌ反応等の求核付加）を起こすことが可能であるか、又は例えば上述の反応タイプの１つによるポリマー骨格への付加等の重合類似反応を起こすことが可能である３－置換又は３，４－二置換マレイミド基である。
指数ｍは、１～５０、より好ましくは２～３０、最も好ましくは３～２０の整数であることが好ましい。
指数ｍは、１～５０、より好ましくは２～３０、最も好ましくは３～２０の整数であることが好ましい。
【0032】
Ｖ1及びＶ2は、互いに独立して、１～６個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮから選択されることが好ましい。Ｖ1及びＶ2は、互いに独立して、１～３個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮから選択されることがより好ましい。１～３個の炭素原子を有する好ましいアルキルは、メチル、エチル、及びプロピルである。Ｖ1及びＶ2は、同一であってもよく、又は互いに異なっていてもよい。Ｖ1及びＶ2は同一であることが特に好ましい。
或いは、Ｖ1はＨであり、Ｖ2は、１～６個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮから、より好ましくは、１～３個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮから選択されることが好ましい。１～３個の炭素原子を有する好ましいアルキルは、メチル、エチル、及びプロピルである。
Ｚ21及びＺ22は、独立して及び各出現において互いに独立して、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ－、－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＣＨ2）4－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合である。
好ましくは、ｋ及びｌは、各々及び独立して、０、１、又は２であり、より好ましくはｋ及びｌは１である。
或いは、Ｖ1はＨであり、Ｖ2は、１～６個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮから、より好ましくは、１～３個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮから選択されることが好ましい。１～３個の炭素原子を有する好ましいアルキルは、メチル、エチル、及びプロピルである。
Ｚ21及びＺ22は、独立して及び各出現において互いに独立して、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ－、－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＣＨ2）4－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合である。
好ましくは、ｋ及びｌは、各々及び独立して、０、１、又は２であり、より好ましくはｋ及びｌは１である。
【0033】
好ましいスペーサー基Ｓｐは、ラジカル「Ｐ1－Ｓｐ1－」が式「Ｐ1－Ｓｐ’－Ｘ’－」に対応するように、式Ｓｐ’－Ｘ’から選択され、
式中、Ｓｐ’は、
（ａ）１～４０個、好ましくは１～３０個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキレンであって、任意選択でＦ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、若しくはＣＮにより一置換若しくは多置換されており、加えて１つ若しくは複数の非隣接ＣＨ2基は各々、Ｏ原子及び／若しくはＳ原子が互いに直接連結されないように、互いに独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＮＨ－、－ＮＲ01－、－ＳｉＲ01Ｒ02－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＯＣＯ－Ｏ－、－Ｓ－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｓ－、－ＮＲ01－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＣＨ＝ＣＨ－、若しくは－Ｃ≡Ｃ－により置き換えられていてもよい直鎖若しくは分岐鎖アルキレン、又は
（ｂ）－Ｓｐx－Ｇ－Ｓｐy－であって、式中、Ｓｐx及びＳｐyは、互いに独立して、１～２０個のＣ原子、好ましくは１～１２個のＣ原子を有するアルキレン、若しくは単結合を示し、Ｇは、１～２０個のＣ原子、好ましくは１～１２個のＣ原子を有するアルキルにより任意選択で一置換若しくは多置換されている、３～２０個のＣ原子、好ましくは５～１２個のＣ原子を有するシクロアルキレンを示す－Ｓｐx－Ｇ－Ｓｐy－を示し、
Ｘ’は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ－、－ＳＣＨ2－、－ＣＨ2Ｓ－、－ＣＦ2Ｏ－、－ＯＣＦ2－、－ＣＦ2Ｓ－、－ＳＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－ＣＨ＝Ｎ－、－Ｎ＝Ｃ－、－Ｎ＝Ｎ－、－ＣＨ＝ＣＲ01－、－ＣＹ01＝ＣＹ02－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合、好ましくは－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯ－ＮＲ0－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ01－、又は単結合を示し、
Ｒ01及びＲ02は各々、互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｙ01及びＹ02は、各々互いに独立して、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮを示す。
式中、Ｓｐ’は、
（ａ）１～４０個、好ましくは１～３０個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキレンであって、任意選択でＦ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、若しくはＣＮにより一置換若しくは多置換されており、加えて１つ若しくは複数の非隣接ＣＨ2基は各々、Ｏ原子及び／若しくはＳ原子が互いに直接連結されないように、互いに独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＮＨ－、－ＮＲ01－、－ＳｉＲ01Ｒ02－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＯＣＯ－Ｏ－、－Ｓ－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｓ－、－ＮＲ01－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＣＨ＝ＣＨ－、若しくは－Ｃ≡Ｃ－により置き換えられていてもよい直鎖若しくは分岐鎖アルキレン、又は
（ｂ）－Ｓｐx－Ｇ－Ｓｐy－であって、式中、Ｓｐx及びＳｐyは、互いに独立して、１～２０個のＣ原子、好ましくは１～１２個のＣ原子を有するアルキレン、若しくは単結合を示し、Ｇは、１～２０個のＣ原子、好ましくは１～１２個のＣ原子を有するアルキルにより任意選択で一置換若しくは多置換されている、３～２０個のＣ原子、好ましくは５～１２個のＣ原子を有するシクロアルキレンを示す－Ｓｐx－Ｇ－Ｓｐy－を示し、
Ｘ’は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ－、－ＳＣＨ2－、－ＣＨ2Ｓ－、－ＣＦ2Ｏ－、－ＯＣＦ2－、－ＣＦ2Ｓ－、－ＳＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－ＣＨ＝Ｎ－、－Ｎ＝Ｃ－、－Ｎ＝Ｎ－、－ＣＨ＝ＣＲ01－、－ＣＹ01＝ＣＹ02－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合、好ましくは－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯ－ＮＲ0－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ01－、又は単結合を示し、
Ｒ01及びＲ02は各々、互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｙ01及びＹ02は、各々互いに独立して、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮを示す。
【0034】
好ましい基Ｓｐ’は、各々の場合、直鎖メチレン、エチレン、プロピレン、ブチレン、ペンチレン、ヘキシレン、ヘプチレン、オクチレン、ノニレン、デシレン、ウンデシレン、ドデシレン、及びオクタデシレン、シクロヘキシレン、エチレンオキシエチレン、メチレンオキシブチレン、エチレンチオエチレン、エチレン－Ｎ－メチルイミノエチレン、１－メチルアルキレン、エテニレン、プロペニレン、及びブテニレンから選択される。
【0035】
より好ましいスペーサー基Ｓｐは、－（ＣＨ2）p1－、－（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）q1－ＣＨ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＨ2－Ｓ－ＣＨ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＨ2－ＮＨ－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＳｉＲ01Ｒ02－Ｏ）p1－、－（ＣＨ2）p1－（シクロ－Ｃ6Ｈ8Ｒ01Ｒ02）－（ＣＨ2）p1－、及び
からなるリストから選択され、式中、
ｐ１は、１～６０、好ましくは１～３６、より好ましくは１～１２の整数であり、
ｑ１は、１～１２、好ましくは１～３の整数であり、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示す。
【化8】
ｐ１は、１～６０、好ましくは１～３６、より好ましくは１～１２の整数であり、
ｑ１は、１～１２、好ましくは１～３の整数であり、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示す。
【0036】
ほとんどの好ましい基Ｓｐは、－（ＣＨ2）p1－、－Ｏ－（ＣＨ2）p1－、－Ｏ－（ＣＨ2）p1－Ｏ－、－ＯＣＯ－（ＣＨ2）p1－、及び－ＯＣＯＯ－（ＣＨ2）p1－であり、式中、ｐ１は、１～３６、好ましくは１～１２の整数である。
【0037】
本発明の好ましい実施形態では、基Ａ21～Ａ23は、独立して及び複数出現する場合は互いに独立して、以下の群ａ）～ｅ）：
ａ）１つ又は複数の非隣接ＣＨ2基が－Ｏ－及び／又は－Ｓ－により置き換えられていてもよく、１つ又は複数のＨ原子が基Ｌにより置き換えられていてもよいｔｒａｎｓ－１，４－シクロヘキシレン、１，４－シクロヘキセニレン、及び４，４’－ビシクロヘキシレン；
ｂ）１つ又は２つのＣＨ基がＮにより置き換えられていてもよく、１つ又は複数のＨ原子が基Ｌにより置き換えられていてもよい１，４－フェニレン、１，３－フェニレン、４，４’－ビフェニレン、２，５－チフェン、及び２，６－ジチエノ［３，２－ｂ：２’，３’－ｄ］チオフェン；
ｃ）１つ又は複数の基Ｌで置換されていてもよいテトラヒドロピラン－２，５－ジイル、１，３－ジオキサン－２，５－ジイル、テトラヒドロフラン－２，５－ジイル、シクロブタ－１，３－ジイル、ピペリジン－１，４－ジイル、チオフェン－２，５－ジイル、及びセレノフェン－２，５－ジイル；
ｄ）飽和、部分的に不飽和、又は完全に不飽和の、及び任意選択で置換された、５～２０個の環Ｃ原子を有する多環式ラジカルであって、前記環Ｃ原子の１つ又は複数はまたヘテロ原子により置き換えられていてもよく、前記多環式ラジカルは、好ましくは、ビシクロ［１．１．１］ペンタン－１，３－ジイル、ビシクロ［２．２．２］オクタン－１，４－ジイル、スピロ［３．３］ヘプタン－２，６－ジイル、
からなる群から選択され、
式中、１つ若しくは複数のＨ原子は、基Ｌにより置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数の二重結合は、単結合により置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数のＣＨ基は、Ｎにより置き換えられていてもよく、式中、
Ｍは、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＨ2－、－ＣＨＹ03－、又は－ＣＹ03Ｙ04－を示し、
Ｙ03、Ｙ04は、互いに独立して、Ｒ01について上記で与えられた意味の１つ、Ｆ、Ｃｌ、ＣＮ、ＯＣＦ3、又はＣＦ3、好ましくはＨ、Ｆ、Ｃｌ、ＣＮ、ＯＣＦ3、又はＣＦ３を示し、
Ｗ5、Ｗ6は、互いに独立して、－ＣＨ2ＣＨ2－、－ＣＨ＝ＣＨ－、－ＣＨ2－Ｏ－、Ｏ－ＣＨ2－、－Ｃ（ＲcＲd）－、又は－Ｏ－を示し、
Ｒc、Ｒdは、互いに独立して、Ｈ、又は１～６個のＣ原子を有するアルキル、好ましくはＨ、メチル、又はエチルを示し、
Ｒ03、Ｒ04は、互いに独立して、Ｈ、Ｆ、１つ又は複数のＨ原子がＦにより置き換えられていてもよい１～１２個のＣ原子を有する直鎖又は分岐鎖アルキルを示す、多環式ラジカル；
ｅ）
からなる基から選択される環式イミドであって、
式中、１つ若しくは複数のＨ原子は、基Ｌにより置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数の二重結合は、単結合により置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数のＣＨ基は、Ｎにより置き換えられていてもよい環式イミド
から選択された部分を示す。
ａ）１つ又は複数の非隣接ＣＨ2基が－Ｏ－及び／又は－Ｓ－により置き換えられていてもよく、１つ又は複数のＨ原子が基Ｌにより置き換えられていてもよいｔｒａｎｓ－１，４－シクロヘキシレン、１，４－シクロヘキセニレン、及び４，４’－ビシクロヘキシレン；
ｂ）１つ又は２つのＣＨ基がＮにより置き換えられていてもよく、１つ又は複数のＨ原子が基Ｌにより置き換えられていてもよい１，４－フェニレン、１，３－フェニレン、４，４’－ビフェニレン、２，５－チフェン、及び２，６－ジチエノ［３，２－ｂ：２’，３’－ｄ］チオフェン；
ｃ）１つ又は複数の基Ｌで置換されていてもよいテトラヒドロピラン－２，５－ジイル、１，３－ジオキサン－２，５－ジイル、テトラヒドロフラン－２，５－ジイル、シクロブタ－１，３－ジイル、ピペリジン－１，４－ジイル、チオフェン－２，５－ジイル、及びセレノフェン－２，５－ジイル；
ｄ）飽和、部分的に不飽和、又は完全に不飽和の、及び任意選択で置換された、５～２０個の環Ｃ原子を有する多環式ラジカルであって、前記環Ｃ原子の１つ又は複数はまたヘテロ原子により置き換えられていてもよく、前記多環式ラジカルは、好ましくは、ビシクロ［１．１．１］ペンタン－１，３－ジイル、ビシクロ［２．２．２］オクタン－１，４－ジイル、スピロ［３．３］ヘプタン－２，６－ジイル、
【化9】
式中、１つ若しくは複数のＨ原子は、基Ｌにより置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数の二重結合は、単結合により置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数のＣＨ基は、Ｎにより置き換えられていてもよく、式中、
Ｍは、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＨ2－、－ＣＨＹ03－、又は－ＣＹ03Ｙ04－を示し、
Ｙ03、Ｙ04は、互いに独立して、Ｒ01について上記で与えられた意味の１つ、Ｆ、Ｃｌ、ＣＮ、ＯＣＦ3、又はＣＦ3、好ましくはＨ、Ｆ、Ｃｌ、ＣＮ、ＯＣＦ3、又はＣＦ３を示し、
Ｗ5、Ｗ6は、互いに独立して、－ＣＨ2ＣＨ2－、－ＣＨ＝ＣＨ－、－ＣＨ2－Ｏ－、Ｏ－ＣＨ2－、－Ｃ（ＲcＲd）－、又は－Ｏ－を示し、
Ｒc、Ｒdは、互いに独立して、Ｈ、又は１～６個のＣ原子を有するアルキル、好ましくはＨ、メチル、又はエチルを示し、
Ｒ03、Ｒ04は、互いに独立して、Ｈ、Ｆ、１つ又は複数のＨ原子がＦにより置き換えられていてもよい１～１２個のＣ原子を有する直鎖又は分岐鎖アルキルを示す、多環式ラジカル；
ｅ）
【化10】
式中、１つ若しくは複数のＨ原子は、基Ｌにより置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数の二重結合は、単結合により置き換えられていてもよく、及び／又は１つ若しくは複数のＣＨ基は、Ｎにより置き換えられていてもよい環式イミド
から選択された部分を示す。
【0038】
本発明による重合性混合物に含まれる第１のモノマーは、式（１）により表される１、２、３、又は４つの化合物であることが好ましい。
【0039】
式（１）による好ましい化合物は、
であり、
式中、ラジカル及び指数は、以下の意味を有する：
Ｌは、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、－ＣＮ、－ＮＯ2、－ＮＣＯ、－ＮＣＳ、－ＯＣＮ、－ＳＣＮ、－Ｃ（＝Ｏ）ＮＲxxＲyy、－Ｃ（＝Ｏ）ＯＲxx、－Ｃ（＝Ｏ）Ｒxx、－ＮＲxxＲyy、－ＯＨ、－ＳＦ5、又は１～２０個のＣ原子、好ましくは１～１２個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシであり、１つ又は複数のＨ原子は、任意選択で、Ｆ、又はＣｌ、好ましくはＦ、－ＣＮ、又は１～６個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシで置き換えられており、
Ｒxx及びＲyyは、互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
ｒは、０、１、２、３、又は４であり、
ｓは、０、１、２、又は３であり、
ｔは、０、１、又は２であり、
Ｚ21及びＺ22は、独立して及び各出現において互いに独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｓ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ02、－ＮＲ01－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ、－ＳＣＨ2－、－ＣＨ2Ｓ－、－ＣＦ2Ｏ－、－ＯＣＦ2－、－ＣＦ2Ｓ－、－ＳＣＦ2－、－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＣＨ2）4－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－ＣＨ＝Ｎ－、－Ｎ＝ＣＨ－、－Ｎ＝Ｎ－、－ＣＨ＝ＣＲ01－、－ＣＹ01＝ＣＹ02－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合であり、好ましくは－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ－、－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＣＨ2）4－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合であり、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｓｐ1は、各出現において、上記で規定されている通りのスペーサー基（Ｓｐ）又は単結合を示し、
Ｐ1は、
を示し、式中、Ｖ1はＨであり、Ｖ2は、１～６個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、若しくはＣＮであり、又はＶ1及びＶ2は、互いに独立して１～６個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、若しくはＣＮであり、
ｍは、１～６０、好ましくは１～５０、より好ましくは２～３０、最も好ましくは３～２０の整数である。
【化11】
式中、ラジカル及び指数は、以下の意味を有する：
Ｌは、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、－ＣＮ、－ＮＯ2、－ＮＣＯ、－ＮＣＳ、－ＯＣＮ、－ＳＣＮ、－Ｃ（＝Ｏ）ＮＲxxＲyy、－Ｃ（＝Ｏ）ＯＲxx、－Ｃ（＝Ｏ）Ｒxx、－ＮＲxxＲyy、－ＯＨ、－ＳＦ5、又は１～２０個のＣ原子、好ましくは１～１２個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシであり、１つ又は複数のＨ原子は、任意選択で、Ｆ、又はＣｌ、好ましくはＦ、－ＣＮ、又は１～６個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシで置き換えられており、
Ｒxx及びＲyyは、互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
ｒは、０、１、２、３、又は４であり、
ｓは、０、１、２、又は３であり、
ｔは、０、１、又は２であり、
Ｚ21及びＺ22は、独立して及び各出現において互いに独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｓ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ02、－ＮＲ01－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ、－ＳＣＨ2－、－ＣＨ2Ｓ－、－ＣＦ2Ｏ－、－ＯＣＦ2－、－ＣＦ2Ｓ－、－ＳＣＦ2－、－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＣＨ2）4－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－ＣＨ＝Ｎ－、－Ｎ＝ＣＨ－、－Ｎ＝Ｎ－、－ＣＨ＝ＣＲ01－、－ＣＹ01＝ＣＹ02－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合であり、好ましくは－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ－、－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＣＨ2）4－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合であり、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｓｐ1は、各出現において、上記で規定されている通りのスペーサー基（Ｓｐ）又は単結合を示し、
Ｐ1は、
【化12】
ｍは、１～６０、好ましくは１～５０、より好ましくは２～３０、最も好ましくは３～２０の整数である。
【0040】
式（１）によるより好ましい化合物は、
であり、式中、ラジカル及び指数は、上記で規定されている通りの意味の１つを有する。
【化13】
【0041】
式（１）による特に好ましい化合物は、
であり、式中、ラジカル及び指数は、上記で規定されている通りの意味の１つを有する。
【化14】
【0042】
式（１）による最も好ましい化合物は、
であり、式中、
ｎは、１～６０、好ましくは１～３６、より好ましくは６～１２の整数であり、
ｍは、１～６０、好ましくは１～５０、より好ましくは２～３０、最も好ましくは３～２０の整数である。
【化15】
ｎは、１～６０、好ましくは１～３６、より好ましくは６～１２の整数であり、
ｍは、１～６０、好ましくは１～５０、より好ましくは２～３０、最も好ましくは３～２０の整数である。
【0043】
式Ｍ１～Ｍ３３及び対応する部分式の化合物では、環式基
であり、式中、
Ｌは、各出現において互いに独立して、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、－ＣＮ、－ＮＯ2、－ＮＣＯ、－ＮＣＳ、－ＯＣＮ、－ＳＣＮ、－Ｃ（＝Ｏ）ＮＲxxＲyy、－Ｃ（＝Ｏ）ＯＲxx、－Ｃ（＝Ｏ）Ｒxx、－ＮＲxxＲyy、－ＯＨ、－ＳＦ5、又は１～２０個のＣ原子、好ましくは１～１２個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシであり、１つ又は複数のＨ原子は、任意選択で、Ｆ又はＣｌ、好ましくはＦ、－ＣＮ、又は１～６個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシで置き換えられており、
Ｒxx及びＲyyは、上記で与えられている規定に従って規定される。
【化16】
であり、式中、
Ｌは、各出現において互いに独立して、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、－ＣＮ、－ＮＯ2、－ＮＣＯ、－ＮＣＳ、－ＯＣＮ、－ＳＣＮ、－Ｃ（＝Ｏ）ＮＲxxＲyy、－Ｃ（＝Ｏ）ＯＲxx、－Ｃ（＝Ｏ）Ｒxx、－ＮＲxxＲyy、－ＯＨ、－ＳＦ5、又は１～２０個のＣ原子、好ましくは１～１２個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシであり、１つ又は複数のＨ原子は、任意選択で、Ｆ又はＣｌ、好ましくはＦ、－ＣＮ、又は１～６個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシで置き換えられており、
Ｒxx及びＲyyは、上記で与えられている規定に従って規定される。
【0044】
式（１）により表される化合物は、任意の標準的な合成により調製することができる。通常、化合物は、逆合成的により小さな単位へと切断され、好適な前駆体化合物から段階的に形成される。この目的のためには、既知の標準的な反応を使用することができる。合成の後期段階、典型的には合成のまさに最終段階において、３－置換又は３，４－二置換マレイミド基Ｐ1を付着させることが特に有利であることが証明されている。そうすることにより、化合物の望ましくない副反応又は早期重合を回避することができる。
【0045】
好ましくは、式（３）：
Ｘ－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－Ｘ 式（３）
により表される前駆体は、
と反応して、式（１）：
Ｐ1－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－Ｐ1 式（１）
により表わされる重合性化合物を形成し、
式中、ＸはＮＨ2であり、
Ｐ1は、
であり、
Ｖ1、Ｖ2、Ｓｐ1、ＭＧ、及びｍは、上記で与えられている通りの規定の１つを有する。
Ｘ－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－Ｘ 式（３）
により表される前駆体は、
【化17】
Ｐ1－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－Ｐ1 式（１）
により表わされる重合性化合物を形成し、
式中、ＸはＮＨ2であり、
Ｐ1は、
【化18】
Ｖ1、Ｖ2、Ｓｐ1、ＭＧ、及びｍは、上記で与えられている通りの規定の１つを有する。
【0046】
本発明による重合性混合物に含まれる第２のモノマーは、第１のモノマーと反応してコポリマーを生成することが可能な１つ又は複数の、好ましくは１つ、２つ、３つ、又は４つの二官能性又は多官能性化合物である。
第２のモノマーは、有機化合物、多面体シルセスキオキサン化合物、及び官能化無機ナノ粒子から選択される１つ又は複数の、好ましくは１つ、２つ、３つ、又は４つの二官能性又は多官能性化合物であることが好ましい。
第２のモノマーは、好ましくはラジカル性若しくはイオン性連鎖重合又は２＋２環化付加でＰ1と反応するＣ＝Ｃ二重結合を含む基；好ましくは４＋２環化付加（Ｄｉｅｌｓ－Ａｌｄｅｒ反応）でＰ1と反応する２つ共役Ｃ＝Ｃ二重結合を含む基；好ましくは求核付加（Ｍｉｃｈａｅｌ反応）でＰ1と反応する求核基；及び好ましくは１，３－双極性環化付加でＰ1と反応する１，３－双極性基から選択される２つ又はそれよりも多くの重合性基（Ｐ）（反応性基）を含む１つ又は複数の、好ましくは１つ、２つ、３つ、又は４つの二官能性又は多官能性化合物であることが更に好ましい。
第２のモノマーは、有機化合物、多面体シルセスキオキサン化合物、及び官能化無機ナノ粒子から選択される１つ又は複数の、好ましくは１つ、２つ、３つ、又は４つの二官能性又は多官能性化合物であることが好ましい。
第２のモノマーは、好ましくはラジカル性若しくはイオン性連鎖重合又は２＋２環化付加でＰ1と反応するＣ＝Ｃ二重結合を含む基；好ましくは４＋２環化付加（Ｄｉｅｌｓ－Ａｌｄｅｒ反応）でＰ1と反応する２つ共役Ｃ＝Ｃ二重結合を含む基；好ましくは求核付加（Ｍｉｃｈａｅｌ反応）でＰ1と反応する求核基；及び好ましくは１，３－双極性環化付加でＰ1と反応する１，３－双極性基から選択される２つ又はそれよりも多くの重合性基（Ｐ）（反応性基）を含む１つ又は複数の、好ましくは１つ、２つ、３つ、又は４つの二官能性又は多官能性化合物であることが更に好ましい。
【0047】
Ｃ＝Ｃ二重結合を含む好ましい基は、
ＣＨ2＝ＣＷ1－ＣＯＯ－、ＣＨ2＝ＣＷ1－ＣＯ－、
ＣＨ2＝ＣＷ2－（Ｏ）k3－、ＣＷ1
2＝ＣＨ－ＣＯ－（Ｏ）k3－、ＣＷ1
2＝ＣＨ－ＣＯ－ＮＨ－、ＣＨ2＝ＣＷ1－ＣＯ－ＮＨ－、ＣＨ3－ＣＨ＝ＣＨ－Ｏ－、ＣＨ2＝ＣＨ－ＣＨ2－Ｏ－、（ＣＨ2＝ＣＨ）2ＣＨ－Ｏ－ＣＯ－、（ＣＨ2＝ＣＨ－ＣＨ2）2ＣＨ－Ｏ－ＣＯ－、（ＣＨ2＝ＣＨ）2ＣＨ－Ｏ－、（ＣＨ2＝ＣＨ－ＣＨ2）2Ｎ－、（ＣＨ2＝ＣＨ－ＣＨ2）2Ｎ－ＣＯ－、ＣＨ2＝ＣＷ1－ＣＯ－ＮＨ－、ＣＨ2＝ＣＨ－（ＣＯ－Ｏ）k1－Ｐｈｅ－（Ｏ）k2－、ＣＨ2＝ＣＨ－（ＣＯ）k1－Ｐｈｅ－（Ｏ）k2－、又はＰｈｅ－ＣＨ＝ＣＨ－；
から選択され、式中、
Ｗ1は、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、ＣＮ、ＣＦ3、１～５個のＣ原子を有するフェニル又はアルキル、好ましくはＨ又はＣＨ3を示し、
Ｗ2は、Ｈ、又は１～５個のＣ原子を有するアルキル、好ましくはＨ又はＣＨ3を示し、
Ｗ3及びＷ4は、各々互いに独立して、Ｈ、Ｃｌ、又は１～５個のＣ原子を有するアルキル、好ましくはＨ又はＣＨ3を示し、
Ｐｈｅは、上記で規定されている通りの１つ又は複数のラジカルＬにより任意選択で置換されている１，４－フェニレンを示し、
ｋ1、ｋ2、及びｋ3は、各々互いに独立して０又は１を示し、
ｋ4は、１～１０の整数である。
ＣＨ2＝ＣＷ1－ＣＯＯ－、ＣＨ2＝ＣＷ1－ＣＯ－、
【化19】
から選択され、式中、
Ｗ1は、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、ＣＮ、ＣＦ3、１～５個のＣ原子を有するフェニル又はアルキル、好ましくはＨ又はＣＨ3を示し、
Ｗ2は、Ｈ、又は１～５個のＣ原子を有するアルキル、好ましくはＨ又はＣＨ3を示し、
Ｗ3及びＷ4は、各々互いに独立して、Ｈ、Ｃｌ、又は１～５個のＣ原子を有するアルキル、好ましくはＨ又はＣＨ3を示し、
Ｐｈｅは、上記で規定されている通りの１つ又は複数のラジカルＬにより任意選択で置換されている１，４－フェニレンを示し、
ｋ1、ｋ2、及びｋ3は、各々互いに独立して０又は１を示し、
ｋ4は、１～１０の整数である。
【0048】
２つの共役Ｃ＝Ｃ二重結合を含む好ましい基は、ＣＷ1
2＝ＣＷ1－ＣＷ1＝ＣＷ1－から選択され、式中、
Ｗ1は、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、ＣＮ、ＣＦ3、１～５個のＣ原子を有するフェニル又はアルキル、好ましくはＨ又はＣＨ3を示す。
Ｗ1は、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、ＣＮ、ＣＦ3、１～５個のＣ原子を有するフェニル又はアルキル、好ましくはＨ又はＣＨ3を示す。
【0049】
好ましい求核基は、ＨＳ－（ＣＨ2）k5－ＣＯ－（Ｏ）k3－、ＨＳ－（ＣＨ2）k5－ＣＯ－、ＨＳ－（ＣＨ2）k5－（Ｏ）k3－、ＨＳ－（ＣＨ2）k5－Ｏ－ＣＯ－、ＨＳ－（ＣＨ2）k5－ＣＯ－ＮＨ－、ＨＳ－（ＣＨ2）k5－ＮＨ－ＣＯ－、ＨＳ－Ｐｈｅ－（Ｏ）k2－、Ｈ2Ｎ－（ＣＨ2）k5－ＣＯ－（Ｏ）k3－、Ｈ2Ｎ－（ＣＨ2）k5－ＣＯ－、Ｈ2Ｎ－（ＣＨ2）k5－（Ｏ）k3－、Ｈ2Ｎ－（ＣＨ2）k5－Ｏ－ＣＯ－、Ｈ2Ｎ－（ＣＨ2）k5－ＣＯ－ＮＨ－、Ｈ2Ｎ－（ＣＨ2）k5－ＮＨ－ＣＯ－、又はＨ2Ｎ－Ｐｈｅ－（Ｏ）k2から選択され、式中、
ｋ2及びｋ3は、各々互いに独立して０又は１を示し、
ｋ5は、０～１０、好ましくは０～５、より好ましくは０、１、又は２の整数である。
ｋ2及びｋ3は、各々互いに独立して０又は１を示し、
ｋ5は、０～１０、好ましくは０～５、より好ましくは０、１、又は２の整数である。
【0050】
好ましい１，３－双極性基は、
から選択され、式中、
Ｗ5は、各出現において互いに独立して、Ｈ、１～５個のＣ原子を有するフェニル又はアルキル、好ましくはフェニル又はＣＨ3を示す。
【化20】
Ｗ5は、各出現において互いに独立して、Ｈ、１～５個のＣ原子を有するフェニル又はアルキル、好ましくはフェニル又はＣＨ3を示す。
【0051】
特に好ましい重合性基（Ｐ）は、ＣＨ2＝ＣＷ1－ＣＯＯ－、ＣＨ2＝ＣＷ1－ＣＯ－、
、
ＣＨ2＝ＣＷ2－（Ｏ）k3－、ＣＷ1 2＝ＣＨ－ＣＯ－（Ｏ）k3－、ＣＨ3－ＣＨ＝ＣＨ－Ｏ－、ＣＨ2＝ＣＨ－ＣＨ2－Ｏ－、ＨＳ－（ＣＨ2）k5－ＣＯ－（Ｏ）k3－、ＨＳ－（ＣＨ2）k5－ＣＯ－、ＨＳ－（ＣＨ2）k5－（Ｏ）k3－、ＨＳ－（ＣＨ2）k5－Ｏ－ＣＯ－、Ｈ2Ｎ－（ＣＨ2）k5－ＣＯ－（Ｏ）k3－、Ｈ2Ｎ－（ＣＨ2）k5－ＣＯ－、Ｈ2Ｎ－（ＣＨ2）k5－（Ｏ）k3－、又はＨ2Ｎ－（ＣＨ2）k5－Ｏ－ＣＯ－から選択され、式中、
Ｗ1は、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、ＣＮ、ＣＦ3、１～５個のＣ原子を有するフェニル又はアルキル、好ましくはＨ又はＣＨ3を示し、
Ｗ2は、Ｈ、又は１～５個のＣ原子を有するアルキル、好ましくはＨ又はＣＨ3を示し、
Ｗ3及びＷ4は、各々互いに独立して、Ｈ、Ｃｌ、又は１～５個のＣ原子を有するアルキル、好ましくはＨ又はＣＨ3を示し、
ｋ3は、０又は１を示し、
ｋ5は、０～１０、好ましくは０～５、より好ましくは０、１、又は２の整数である。
【化21】
ＣＨ2＝ＣＷ2－（Ｏ）k3－、ＣＷ1 2＝ＣＨ－ＣＯ－（Ｏ）k3－、ＣＨ3－ＣＨ＝ＣＨ－Ｏ－、ＣＨ2＝ＣＨ－ＣＨ2－Ｏ－、ＨＳ－（ＣＨ2）k5－ＣＯ－（Ｏ）k3－、ＨＳ－（ＣＨ2）k5－ＣＯ－、ＨＳ－（ＣＨ2）k5－（Ｏ）k3－、ＨＳ－（ＣＨ2）k5－Ｏ－ＣＯ－、Ｈ2Ｎ－（ＣＨ2）k5－ＣＯ－（Ｏ）k3－、Ｈ2Ｎ－（ＣＨ2）k5－ＣＯ－、Ｈ2Ｎ－（ＣＨ2）k5－（Ｏ）k3－、又はＨ2Ｎ－（ＣＨ2）k5－Ｏ－ＣＯ－から選択され、式中、
Ｗ1は、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、ＣＮ、ＣＦ3、１～５個のＣ原子を有するフェニル又はアルキル、好ましくはＨ又はＣＨ3を示し、
Ｗ2は、Ｈ、又は１～５個のＣ原子を有するアルキル、好ましくはＨ又はＣＨ3を示し、
Ｗ3及びＷ4は、各々互いに独立して、Ｈ、Ｃｌ、又は１～５個のＣ原子を有するアルキル、好ましくはＨ又はＣＨ3を示し、
ｋ3は、０又は１を示し、
ｋ5は、０～１０、好ましくは０～５、より好ましくは０、１、又は２の整数である。
【0052】
第２のモノマーとして使用される好ましい有機化合物は、式（４）により示され、
式（４）
式中、
Ｑは、１～５０個の炭素原子、好ましくは１～３０個の炭素原子を有する炭化水素基であって、任意選択で１つ又は複数の置換基Ｌで置換されていてもよく、Ｌは上記で規定されている通りであり、任意選択で、Ｎ、Ｏ、及びＳから選択される１つ又は複数のヘテロ原子を含んでいてもよい炭化水素基を示し、
Ｐ2は、上記で規定されている通りの重合性基（Ｐ）を示し、
ｘは、２～１０、好ましくは２～４の整数であり、より好ましくはｘ＝２である。
式（４）から明らかなように、基Ｑは、ｘ個の結合部位を有し、それらの各々は、ｘ個の重合性基Ｐ2の１つに結合する。
【化22】
式中、
Ｑは、１～５０個の炭素原子、好ましくは１～３０個の炭素原子を有する炭化水素基であって、任意選択で１つ又は複数の置換基Ｌで置換されていてもよく、Ｌは上記で規定されている通りであり、任意選択で、Ｎ、Ｏ、及びＳから選択される１つ又は複数のヘテロ原子を含んでいてもよい炭化水素基を示し、
Ｐ2は、上記で規定されている通りの重合性基（Ｐ）を示し、
ｘは、２～１０、好ましくは２～４の整数であり、より好ましくはｘ＝２である。
式（４）から明らかなように、基Ｑは、ｘ個の結合部位を有し、それらの各々は、ｘ個の重合性基Ｐ2の１つに結合する。
【0053】
好ましい実施形態では、Ｑは、Ｏ（Ｓｐ2）2、Ｎ（Ｓｐ2）3、ＮＨ（Ｓｐ2）2、Ｃ（Ｓｐ2）4、ＣＨ（Ｓｐ2）3、又はＣＨ2（Ｓｐ2）2により表され、式中、Ｓｐ2は、１～２０個の炭素原子、好ましくは１～１０個の炭素原子を有する線形アルキレン鎖、３～２０個の炭素原子、好ましくは３～１０個の炭素原子を有する分岐アルキレン鎖、又は３～１４個の炭素原子を有する芳香族部分若しくはヘテロ芳香族部分、好ましくは、６～１４個の炭素原子を有する芳香族部分であり、各Ｓｐ2は、重合性基Ｐ2に結合している。
更に好ましい実施形態では、Ｑは、「Ａｒ－Ｓｐ3－Ａｒ」により表され、式中、Ａｒは、３～１４個の炭素原子を有する芳香族部分又はヘテロ芳香族部分、好ましくは６～１４個の炭素原子を有する芳香族部分であり、Ｓｐ3は、１～２０個の炭素原子、好ましくは１～１０個の炭素原子を有する線形アルキレン鎖、３～２０個の炭素原子、好ましくは３～１０個の炭素原子を有する分岐アルキレン鎖、又は３～１４個の炭素原子を有する芳香族部分若しくはヘテロ芳香族部分、好ましくは、６～１４個の炭素原子を有する芳香族部分であり、各Ａｒは重合性基Ｐ2に結合している。
更に好ましい実施形態では、Ｑは、「Ａｒ－Ｓｐ3－Ａｒ」により表され、式中、Ａｒは、３～１４個の炭素原子を有する芳香族部分又はヘテロ芳香族部分、好ましくは６～１４個の炭素原子を有する芳香族部分であり、Ｓｐ3は、１～２０個の炭素原子、好ましくは１～１０個の炭素原子を有する線形アルキレン鎖、３～２０個の炭素原子、好ましくは３～１０個の炭素原子を有する分岐アルキレン鎖、又は３～１４個の炭素原子を有する芳香族部分若しくはヘテロ芳香族部分、好ましくは、６～１４個の炭素原子を有する芳香族部分であり、各Ａｒは重合性基Ｐ2に結合している。
【0054】
更に好ましい実施形態では、Ｑは、「Ｓｐ4－Ｙ－Ｓｐ4」により表され、式中、Ｙは、３～２０個の炭素原子、好ましくは３～１０個の炭素原子を有する単環式又は多環式アルカン部分であり、Ｓｐ4は存在しないか、或いは１～２０個の炭素原子、好ましくは１～１０個の炭素原子を有する線形アルキレン鎖、３～２０個の炭素原子、好ましくは３～１０個の炭素原子を有する分岐アルキレン鎖、又は３～１４個の炭素原子を有する芳香族部分若しくはヘテロ芳香族部分、好ましくは、６～１４個の炭素原子を有する芳香族部分であり、各Ｓｐ4は重合性基Ｐ2に結合している。
【0055】
特に好ましい実施形態では、Ｑは、
から選択される。
【化23】
【0056】
特に好ましい有機化合物は、
からなる群から選択される。
【化24】
【0057】
第２のモノマーとして使用される好ましい多面体シルセスキオキサン化合物は、以下の構造：
（構造１）
により表され、構造中、
Ｒは、Ｈ、Ｃ1～Ｃ6－アルキル、Ｃ2～Ｃ6－アルケニル、Ｃ6～Ｃ10－アリール、又はＣ1～Ｃ6－アルコキシであり、
Ｌは、Ｃ1～Ｃ12－アルキレン又はＣ1～Ｃ12－オキシアルキレン、より好ましくはＣ1～Ｃ6－アルキレン又はＣ1～Ｃ6－オキシアルキレンであり、１つ又は複数の非隣接Ｃ原子は、互いに独立して、－ＳｉＲ05Ｒ06－により置き換えられていてもよく、式中、Ｒ05及びＲ06は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～６個のＣ原子を有するアルキル、より好ましくはＨ、ＣＨ3、又はＣＨ2ＣＨ3を示し、
Ｐ2は、上記で規定されている通りの重合性基（Ｐ）を示し、
ｙは６～１２の整数であり、ｘは２～１２の整数であり、ｙ－ｘ≧０である。
【化25】
により表され、構造中、
Ｒは、Ｈ、Ｃ1～Ｃ6－アルキル、Ｃ2～Ｃ6－アルケニル、Ｃ6～Ｃ10－アリール、又はＣ1～Ｃ6－アルコキシであり、
Ｌは、Ｃ1～Ｃ12－アルキレン又はＣ1～Ｃ12－オキシアルキレン、より好ましくはＣ1～Ｃ6－アルキレン又はＣ1～Ｃ6－オキシアルキレンであり、１つ又は複数の非隣接Ｃ原子は、互いに独立して、－ＳｉＲ05Ｒ06－により置き換えられていてもよく、式中、Ｒ05及びＲ06は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～６個のＣ原子を有するアルキル、より好ましくはＨ、ＣＨ3、又はＣＨ2ＣＨ3を示し、
Ｐ2は、上記で規定されている通りの重合性基（Ｐ）を示し、
ｙは６～１２の整数であり、ｘは２～１２の整数であり、ｙ－ｘ≧０である。
【0058】
好ましいＣ1～Ｃ6－アルキル置換基は、メチル、エチル、プロピル、ブチル、ペンチル、及びヘキシルである。
好ましいＣ2～Ｃ6－アルケニル置換基は、エテニル、プロペニル、ブテニル、ペンテニル、及びヘキセニルである。
好ましいＣ6～Ｃ10－アリール置換基は、フェニル、トリル、キシリル、及びナフチルである。
好ましいＣ1～Ｃ6－アルコキシ置換基は、メトキシ、エトキシ、プロポキシ、ブトキシ、ペントキシ、及びヘキソキシである。
好ましいＣ1～Ｃ12－アルキレン置換基は、メチレン、エチレン、プロピレン、ブチレン、ペンチレン、及びヘキシレンである。
好ましいＣ1～Ｃ12－オキシアルキレン置換基は、メチレンオキシ、エチレンオキシ、プロピレンオキシ、ブチレンオキシ、ペンチレンオキシ、及びヘキシレンオキシである。
好ましいＣ1～Ｃ4－アルキル置換基は、メチル、エチル、プロピル、及びブチルである。
好ましいＣ2～Ｃ6－アルケニル置換基は、エテニル、プロペニル、ブテニル、ペンテニル、及びヘキセニルである。
好ましいＣ6～Ｃ10－アリール置換基は、フェニル、トリル、キシリル、及びナフチルである。
好ましいＣ1～Ｃ6－アルコキシ置換基は、メトキシ、エトキシ、プロポキシ、ブトキシ、ペントキシ、及びヘキソキシである。
好ましいＣ1～Ｃ12－アルキレン置換基は、メチレン、エチレン、プロピレン、ブチレン、ペンチレン、及びヘキシレンである。
好ましいＣ1～Ｃ12－オキシアルキレン置換基は、メチレンオキシ、エチレンオキシ、プロピレンオキシ、ブチレンオキシ、ペンチレンオキシ、及びヘキシレンオキシである。
好ましいＣ1～Ｃ4－アルキル置換基は、メチル、エチル、プロピル、及びブチルである。
【0059】
特に好ましい実施形態では、構造（１）の基Ｌは、－（ＣＨ2）n－、－Ｏ－（ＣＨ2）n－、－ＳｉＨ2－（ＣＨ2）n－、－ＯＳｉＨ2－（ＣＨ2）n－、－Ｓｉ（ＣＨ3）2－（ＣＨ2）n－、－ＯＳｉ（ＣＨ3）2－（ＣＨ2）n－、－Ｓｉ（ＣＨ2ＣＨ3）2－（ＣＨ2）n－、及び－ＯＳｉ（ＣＨ2ＣＨ3）2－（ＣＨ2）n－からなる群から選択され、式中ｎは、１～６、好ましくは２～４の整数、より好ましくは３である。
【0060】
特に好ましい多面体シルセスキオキサン化合物は、以下の構造２～５：
（構造２）
（構造３）
（構造４）
（構造５）
に基づき、式中ｘ個のＲ置換基は、ｘ個の（－Ｌ－Ｐ2）に置き換えられており、
構造中、Ｒ、Ｌ、及びＰ2は、上記で規定されているものと同じ意味を有し、ｘは、構造２では２～６の整数であり、ｘは、構造３では２～８の整数であり、ｘは、構造４では２～１０の整数であり、ｘは、構造体５では２～１２の整数である。
【化26】
【化27】
【化28】
【化29】
に基づき、式中ｘ個のＲ置換基は、ｘ個の（－Ｌ－Ｐ2）に置き換えられており、
構造中、Ｒ、Ｌ、及びＰ2は、上記で規定されているものと同じ意味を有し、ｘは、構造２では２～６の整数であり、ｘは、構造３では２～８の整数であり、ｘは、構造４では２～１０の整数であり、ｘは、構造体５では２～１２の整数である。
【0061】
上記に示されている多面体シルセスキオキサン化合物は、入手可能な前駆体から直ちに調製することができ、好適な混合条件により重合性混合物へと容易に組み込むことができる。例えば、マレイミド置換多面体シルセスキオキサン及びそれらの調製物は、米国特許出願公開第２００６／０００９５７８号明細書に記載されており、この文献の開示は、参照により本明細書に組み込まれる。
【0062】
第２のモノマーとして使用される好ましい官能化無機ナノ粒子は、それらの表面上に重合性基Ｐ2を含む無機ナノ粒子であり、Ｐ2は、上記で規定されている通りの重合性基（Ｐ）を示す。官能化無機ナノ粒子の好ましい重合性基（Ｐ）は、マレイミド基、ジメチルマレイミド基、アクリレート基、メタクリレート基、アリルエーテル基、及びビニルエーテル基から選択され、これらは、無機ナノ粒子の表面に直接的に又は基Ｌを介してのいずれか結合されている。
【0063】
好ましい官能化無機ナノ粒子は、以下の構造：
（構造６）
（構造７）
により表され、構造中、
は、無機ナノ粒子を表わし、
Ｐ2は、重合性基（Ｐ）を示し、
Ｌは、Ｃ1～Ｃ12－アルキレン又はＣ1～Ｃ12－オキシアルキレン、より好ましくはＣ1～Ｃ6－アルキレン又はＣ1～Ｃ6－オキシアルキレンであり、
ｘは、≧２の整数である。
【化30】
【化31】
により表され、構造中、
【化32】
Ｐ2は、重合性基（Ｐ）を示し、
Ｌは、Ｃ1～Ｃ12－アルキレン又はＣ1～Ｃ12－オキシアルキレン、より好ましくはＣ1～Ｃ6－アルキレン又はＣ1～Ｃ6－オキシアルキレンであり、
ｘは、≧２の整数である。
【0064】
無機ナノ粒子の好ましい材料は、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、Ｆｅ2Ｏ3、ＭｇＴｉＯ3、ＣａＴｉＯ3、ＳｒＴｉＯ3、及びＢａＴｉＯ3から選択される。無機ナノ粒子は、中実であってもよく又は中空であってもよい。
【0065】
本発明において第２のモノマーとして使用される特に好ましい官能化無機ナノ粒子は、
であり、式中Ｌ及びｘは、上記の通りに規定される。
官能化無機ナノ粒子の上記表示は、説明のためのものに過ぎず、限定として解釈されるべきではない。
【化33】
官能化無機ナノ粒子の上記表示は、説明のためのものに過ぎず、限定として解釈されるべきではない。
【0066】
本発明において第２のモノマーとして使用される官能化無機ナノ粒子は、０．００１～５ミリモル／ｇ、より好ましくは０．０１～１ミリモル／ｇ、最も好ましくは０．０５～０．５ミリモル／ｇの官能化度を有することが好ましい。官能化度は、官能化無機ナノ粒子の単位質量当たりの重合性基Ｐ2のモル量を示す。
官能化度は、無機ナノ粒子を官能化するための条件に応じて様々であってもよい。当業者であれば、異なる重合性基及び異なる官能化度を有する個々に適合化された官能化ナノ粒子を調製することができるように、文献にある既知の手順から無機ナノ粒子の官能化に好適な条件を選択することができる。好適な官能化無機ナノ粒子及びそれらの前駆体は、例えば、Ｓｉｇｍａ Ａｌｄｒｉｃｈ社（例えば、３－アミノプロピル官能化シリカ、６６０４４２ Ａｌｄｒｉｃｈ）又はｎａｎｏＣｏｍｐｏｓｉｘ、Ｉｎｃ．社、米国サンディエゴ等の商業的供給源からも入手可能である。
官能化度は、無機ナノ粒子を官能化するための条件に応じて様々であってもよい。当業者であれば、異なる重合性基及び異なる官能化度を有する個々に適合化された官能化ナノ粒子を調製することができるように、文献にある既知の手順から無機ナノ粒子の官能化に好適な条件を選択することができる。好適な官能化無機ナノ粒子及びそれらの前駆体は、例えば、Ｓｉｇｍａ Ａｌｄｒｉｃｈ社（例えば、３－アミノプロピル官能化シリカ、６６０４４２ Ａｌｄｒｉｃｈ）又はｎａｎｏＣｏｍｐｏｓｉｘ、Ｉｎｃ．社、米国サンディエゴ等の商業的供給源からも入手可能である。
【0067】
本発明は、第１のモノマーに由来する繰返し単位及び第２のモノマーに由来する繰返し単位を含むコポリマーを形成するための方法を更に提供する。コポリマーは、線形であってもよく又は架橋されていてもよい誘電性コポリマーである。
【0068】
コポリマーを形成するための方法は、
（ｉ）本発明による重合性混合物を準備するステップ、及び
（ｉｉ）上記重合可能性混合物を重合してコポリマーを得るステップ
を含む。
重合性混合物は、上記で規定されている通りの第１のモノマー及び第２のモノマーを含む。重合性混合物中の第１のモノマーの総含有量は、重合性モノマーの総質量に基づき、５０～９９．９質量％、より好ましくは８０～９９質量％、最も好ましくは９０～９５質量％であることが好ましい。重合性混合物中の第２のモノマーの総含有量は、重合性モノマーの総質量に基づき、０．１～５０質量％、より好ましくは１～２０質量％、最も好ましくは５～１０質量％であることが好ましい。
（ｉ）本発明による重合性混合物を準備するステップ、及び
（ｉｉ）上記重合可能性混合物を重合してコポリマーを得るステップ
を含む。
重合性混合物は、上記で規定されている通りの第１のモノマー及び第２のモノマーを含む。重合性混合物中の第１のモノマーの総含有量は、重合性モノマーの総質量に基づき、５０～９９．９質量％、より好ましくは８０～９９質量％、最も好ましくは９０～９５質量％であることが好ましい。重合性混合物中の第２のモノマーの総含有量は、重合性モノマーの総質量に基づき、０．１～５０質量％、より好ましくは１～２０質量％、最も好ましくは５～１０質量％であることが好ましい。
【0069】
ステップ（ｉ）で提供される重合性混合物は、実質的に溶媒を含まないことが好ましい。溶媒を実質的に含まないということは、重合性出発材料中の総残留溶媒の含有量が、重合性モノマーの総質量に基づき１０質量％以下、好ましくは５質量％以下、より好ましくは１質量％以下であることを意味する。或いは、ステップ（ｉ）で提供される重合性混合物は、重合性モノマーの総質量に基づき、好ましくは１０質量％よりも多くの量の、より好ましくは２５質量％よりも多くの量の、最も好ましくは５０質量％よりも多くの量の１つ又は複数の溶媒を含む。
重合性混合物は、ステップ（ｉｉ）において、ラジカル性若しくはイオン性連鎖重合反応又は重付加反応により重合されることが好ましい。好ましい重付加反応は、２＋２環化付加、４＋２環化付加（Ｄｉｅｌｓ－Ａｌｄｅｒ反応）、若しくは１，３－双極性環化付加等の環化付加、又はＭｉｃｈａｅｌ反応等の求核付加である。
重合性混合物は、ステップ（ｉｉ）において、ラジカル性若しくはイオン性連鎖重合反応又は重付加反応により重合されることが好ましい。好ましい重付加反応は、２＋２環化付加、４＋２環化付加（Ｄｉｅｌｓ－Ａｌｄｅｒ反応）、若しくは１，３－双極性環化付加等の環化付加、又はＭｉｃｈａｅｌ反応等の求核付加である。
【0070】
上述の反応タイプ及び関連反応条件（例えば、触媒、溶媒、温度、時間、濃度等）は、当業者に公知である。
例えば、ラジカル性又はイオン性重合は、熱的に及び／又は光化学的に活性化することができるラジカル性又はイオン性重合開始剤の存在下で実施することができる。当業者であれば、好適なラジカル性及びイオン性重合開始剤に精通している。例えば、付加環化は、光化学的に又はルイス酸の存在下で生じさせることができる。当業者であれば、好適な光化学条件及び好適なルイス酸に精通している。
例えば、ラジカル性又はイオン性重合は、熱的に及び／又は光化学的に活性化することができるラジカル性又はイオン性重合開始剤の存在下で実施することができる。当業者であれば、好適なラジカル性及びイオン性重合開始剤に精通している。例えば、付加環化は、光化学的に又はルイス酸の存在下で生じさせることができる。当業者であれば、好適な光化学条件及び好適なルイス酸に精通している。
【0071】
ステップ（ｉ）で提供される重合性混合物は、１つ又は複数のラジカル性開始剤を更に含むことが好ましい。好ましいラジカル性開始剤は、熱的に活性化されるラジカル性開始剤及び／又は光化学的に活性化されるラジカル性開始剤である。
好ましい熱的に活性化されるラジカル性開始剤は、ｔｅｒｔ－アミルペルオキシベンゾエート、４，４－アゾビス（４－シアノ吉草酸）、１，１’－アゾビス（シクロヘキサンカルボニトリル）、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）、過酸化ベンゾイル、２，２－ビス（ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシ）ブタン、１，１－ビス（ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシ）シクロヘキサン、２，５－ビス（ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシ）－２，５－ジメチルヘキサン、２，５－ビス（ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシ）－２，５－ジメチル－３－ヘキシン、ビス（１－（ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシ）－１－メチルエチル）ベンゼン、１，１－ビス（ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシ）－３，３，５－トリメチルシクロヘキサン、ｔｅｒｔ－ブチルヒドロペルオキシド、ｔｅｒｔ－ブチルペルアセテート、ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシド、ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシベンゾエート、ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシイソプロピルカルボネート、クメンヒドロペルオキシド（ＣＨＰ）、シクロヘキサノンペルオキシド、ジクミルペルオキシド（ＤＣＰ）、ラウロイルペルオキシド、２，４－ペンタンジオンペルオキシド、過酢酸、及び過硫酸カリウムである。
好ましい熱的に活性化されるラジカル性開始剤は、ｔｅｒｔ－アミルペルオキシベンゾエート、４，４－アゾビス（４－シアノ吉草酸）、１，１’－アゾビス（シクロヘキサンカルボニトリル）、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）、過酸化ベンゾイル、２，２－ビス（ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシ）ブタン、１，１－ビス（ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシ）シクロヘキサン、２，５－ビス（ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシ）－２，５－ジメチルヘキサン、２，５－ビス（ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシ）－２，５－ジメチル－３－ヘキシン、ビス（１－（ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシ）－１－メチルエチル）ベンゼン、１，１－ビス（ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシ）－３，３，５－トリメチルシクロヘキサン、ｔｅｒｔ－ブチルヒドロペルオキシド、ｔｅｒｔ－ブチルペルアセテート、ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシド、ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシベンゾエート、ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシイソプロピルカルボネート、クメンヒドロペルオキシド（ＣＨＰ）、シクロヘキサノンペルオキシド、ジクミルペルオキシド（ＤＣＰ）、ラウロイルペルオキシド、２，４－ペンタンジオンペルオキシド、過酢酸、及び過硫酸カリウムである。
【0072】
好ましい光化学的に活性化されるラジカル性開始剤は、アセトフェノン、ｐ－アニシル、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾフェノン、２－ベンゾイル安息香酸、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、４－ベンゾイル安息香酸、２，２’－ビス（２－クロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニル－１，２’ビイミダゾール、メチル２－ベンゾイルベンゾエート、２－（１，３－ベンゾジオキソール－５－イル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－１，３，５－トリアジン、２－ベンジル－２－（ジメチルアミノ）－４’－モルホリノブチロフェノン、（±）－カンファーキノン、２－クロロチオキサントン、４、４’－ジクロロベンゾフェノン、２，２－ジエトキシアセトフェノン、２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノン、２，４－ジエチルチオキサンテン－９－オン、ジフェニル（２，４，６－トリメチルベンゾイル）ホスフィンオキシド、１，４－ジベンゾイルベンゼン、２－エチルアントラキノン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオフェノン、２－ヒドロキシ－４’－（２－ヒドロキシエトキシ）－２－メチルプロピオフェノン、２－イソプロピルチオキサントン、リチウムフェニル（２，４，６－トリメチルベンゾイル）ホスフィネート、２－メチル－４’－（メチルチオ）－２－モルホリノ－プロピオフェノン、２－イソニトロソプロピオフェノン、２－フェニル－２－（ｐ－トルエンスルホニル－オキシ）アセトフェノン、及びフェニルビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）ホスフィンオキシドである。典型的には、そのような開始剤は、光化学的に活性化することができるラジカル性重合開始剤である。
【0073】
更に好ましい光化学的に活性化されるラジカル性開始剤は、
である。
【化34】
【0074】
好ましくは、ラジカル性重合の開始剤は、熱への曝露により熱的に、又はＵＶ光及び／若しくは可視光等の放射への曝露により光化学的に活性化される。
熱への暴露は、好ましくは４０～２００℃、より好ましくは５０～１８０℃の範囲の高温への暴露を含む。
放射への曝露は、可視光及び／又はＵＶ光への曝露を含む。可視光は、＞３８０～７８０ｎｍ、より好ましくは＞３８０～５００ｎｍの波長を有する電磁放射であることが好ましい。ＵＶ光は、≦３８０ｎｍの波長、より好ましくは１００～３８０ｎｍの波長を有する電磁放射であることが好ましい。より好ましくは、ＵＶ光は、３１５～３８０ｎｍの波長を有するＵＶ－Ａ光、２８０～３１５ｎｍの波長を有するＵＶ－Ｂ光、及び１００～２８０ｎｍの波長を有するＵＶ－Ｃ光から選択される。
熱への暴露は、好ましくは４０～２００℃、より好ましくは５０～１８０℃の範囲の高温への暴露を含む。
放射への曝露は、可視光及び／又はＵＶ光への曝露を含む。可視光は、＞３８０～７８０ｎｍ、より好ましくは＞３８０～５００ｎｍの波長を有する電磁放射であることが好ましい。ＵＶ光は、≦３８０ｎｍの波長、より好ましくは１００～３８０ｎｍの波長を有する電磁放射であることが好ましい。より好ましくは、ＵＶ光は、３１５～３８０ｎｍの波長を有するＵＶ－Ａ光、２８０～３１５ｎｍの波長を有するＵＶ－Ｂ光、及び１００～２８０ｎｍの波長を有するＵＶ－Ｃ光から選択される。
【0075】
ＵＶ光源としては、Ｈｇ蒸気ランプ又はＵＶレーザが可能であり、ＩＲ光源としては、セラミック放射体又はＩＲレーザダイオードが可能であり、可視領域の光の場合はレーザダイオードが可能である。
好ましいＵＶ光源は、ａ）例えば２５４ｎｍ及び１８５ｎｍのＨｇ低圧放電ランプ、１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザ、及び１７２ｎｍのＸｅ２レーザー（ｌａｙｅｒ）等の最大＜２５５ｎｍの単一波長放射、又はｂ）例えば非ドープＨｇ低圧放電ランプ等の、＜２５５ｍの波長成分を有する広波長分布放射である。
本発明の好ましい実施形態では、光源は、キセノン閃光である。好ましくは、キセノン閃光は、約２００ｎｍまでの短波長成分を有する広域発光スペクトルを有する。
好ましいＵＶ光源は、ａ）例えば２５４ｎｍ及び１８５ｎｍのＨｇ低圧放電ランプ、１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザ、及び１７２ｎｍのＸｅ２レーザー（ｌａｙｅｒ）等の最大＜２５５ｎｍの単一波長放射、又はｂ）例えば非ドープＨｇ低圧放電ランプ等の、＜２５５ｍの波長成分を有する広波長分布放射である。
本発明の好ましい実施形態では、光源は、キセノン閃光である。好ましくは、キセノン閃光は、約２００ｎｍまでの短波長成分を有する広域発光スペクトルを有する。
【0076】
ステップ（ｉｉ）における重合は、最大で５時間、より好ましくは最大で１時間、最も好ましくは最大で０．５時間の時間範囲で行われることが好ましい。
ステップ（ｉｉ）における重合性混合物の重合は、高温で、好ましくは２５～２００℃の範囲の温度で、より好ましくは２５～１５０℃の範囲の温度で行われることが更に好ましい。
本発明によるコポリマーを形成するための上述の方法により得ることができるか又は得られるコポリマーが更に提供される。コポリマーは、好ましくは、線形コポリマー又は架橋コポリマー、より好ましくは線形コポリマーである。
上記で規定されている通りの、第１のモノマーに由来する少なくとも１つの繰返し単位、及び第２のモノマーに由来する少なくとも１つの繰返し単位を含むコポリマーも提供される。
ステップ（ｉｉ）における重合性混合物の重合は、高温で、好ましくは２５～２００℃の範囲の温度で、より好ましくは２５～１５０℃の範囲の温度で行われることが更に好ましい。
本発明によるコポリマーを形成するための上述の方法により得ることができるか又は得られるコポリマーが更に提供される。コポリマーは、好ましくは、線形コポリマー又は架橋コポリマー、より好ましくは線形コポリマーである。
上記で規定されている通りの、第１のモノマーに由来する少なくとも１つの繰返し単位、及び第２のモノマーに由来する少なくとも１つの繰返し単位を含むコポリマーも提供される。
【0077】
より好ましくは、上記コポリマーの第１のモノマーに由来する繰返し単位は、以下の式（５）：
［－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－］ 式（５）
により表される構造単位を含み、式中、Ｓｐ1、ＭＧ、及びｍは、上述の規定の１つを有する。
好ましくは、本発明によるコポリマーは、ＧＰＣにより決定して、少なくとも２０００ｇ／モル、より好ましくは少なくとも４，０００ｇ／モル、更により好ましくは少なくとも５０００ｇ／モルの分子量Ｍwを有する。好ましくは、コポリマーの分子量Ｍwは、５０，０００ｇ／モル未満である。より好ましくは、コポリマーの分子量Ｍwは、５，０００～２０，０００ｇ／モルの範囲である。
［－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－］ 式（５）
により表される構造単位を含み、式中、Ｓｐ1、ＭＧ、及びｍは、上述の規定の１つを有する。
好ましくは、本発明によるコポリマーは、ＧＰＣにより決定して、少なくとも２０００ｇ／モル、より好ましくは少なくとも４，０００ｇ／モル、更により好ましくは少なくとも５０００ｇ／モルの分子量Ｍwを有する。好ましくは、コポリマーの分子量Ｍwは、５０，０００ｇ／モル未満である。より好ましくは、コポリマーの分子量Ｍwは、５，０００～２０，０００ｇ／モルの範囲である。
【0078】
更に、本発明によるコポリマーを含む電子デバイスが提供される。電子デバイスの場合、コポリマーは、誘電体層、より好ましくは再配線層の一部を形成する誘電体層を形成することが好ましい。誘電体層は、電子デバイスの一部である１つ又は複数の電子部品を互いに電気的に分離する役目を果たす。
【0079】
最後に、基板に誘電体層が提供されるパッケージ化マイクロ電子構造を調製するための製造方法であって、
（１）本発明による重合性混合物を基板の表面に塗布するステップ、及び
（２）上記重合性混合物を硬化させて誘電体層を形成するステップ
を含む方法が提供される。
（１）本発明による重合性混合物を基板の表面に塗布するステップ、及び
（２）上記重合性混合物を硬化させて誘電体層を形成するステップ
を含む方法が提供される。
【0080】
重合性混合物は、１つ又は複数の無機フィラー材料を更に含むことが好ましい。好ましい無機フィラー材料は、窒化物、チタン酸塩、ダイヤモンド、酸化物、硫化物、亜硫酸塩、硫酸塩、ケイ酸塩、及び炭化物から選択され、これらは、任意選択で、キャッピング剤で表面修飾されていてもよい。より好ましくは、フィラー材料は、ＡｌＮ、Ａｌ2Ｏ3、ＢＮ、ＢａＴｉＯ3、Ｂ2Ｏ3、Ｆｅ2Ｏ3、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、ＰｂＳ、ＳｉＣ、ダイヤモンド、及びガラス粒子からなるリストから選択される。
好ましくは、重合性混合物中の無機フィラー材料の総含有量は、重合性混合物の総質量に基づき、０．００１～９０質量％、より好ましくは０．０１～７０質量％、最も好ましくは０．０１～５０質量％の範囲である。
好ましくは、重合性混合物中の無機フィラー材料の総含有量は、重合性混合物の総質量に基づき、０．００１～９０質量％、より好ましくは０．０１～７０質量％、最も好ましくは０．０１～５０質量％の範囲である。
【0081】
ステップ（１）で塗布される重合性混合物は、実質的に溶媒を含まないことが好ましい。溶媒を実質的に含まないということは、重合性混合物中の総残留溶媒の含有量が、重合性モノマーの総質量に基づき、１０質量％以下、好ましくは５質量％以下、より好ましくは１質量％以下であることを意味する。
しかしながら、ステップ（１）において重合性混合物を塗布するために使用される塗布方法の種類に応じて、重合性混合物は、重合性モノマーの総質量に基づき、好ましくは１０質量％よりも多くの量の、より好ましくは２５質量％よりも多くの量の、最も好ましくは５０質量％よりも多くの量の１つ又は複数の溶媒を含むことが好ましい。
ステップ（１）において重合性混合物を塗布する方法は、特に限定されない。ステップ（１）の好ましい塗布方法は、計量分配、浸漬、スクリーン印刷、ステンシル印刷、ローラーコーティング、スプレーコーティング、スロットコーティング、スピンコーティング、ステレオリソグラフィー、グラビア印刷、フレキソ印刷、又はインクジェット印刷である。
しかしながら、ステップ（１）において重合性混合物を塗布するために使用される塗布方法の種類に応じて、重合性混合物は、重合性モノマーの総質量に基づき、好ましくは１０質量％よりも多くの量の、より好ましくは２５質量％よりも多くの量の、最も好ましくは５０質量％よりも多くの量の１つ又は複数の溶媒を含むことが好ましい。
ステップ（１）において重合性混合物を塗布する方法は、特に限定されない。ステップ（１）の好ましい塗布方法は、計量分配、浸漬、スクリーン印刷、ステンシル印刷、ローラーコーティング、スプレーコーティング、スロットコーティング、スピンコーティング、ステレオリソグラフィー、グラビア印刷、フレキソ印刷、又はインクジェット印刷である。
【0082】
本発明の重合性混合物は、グラビア印刷、フレキソ印刷、及び／又はインクジェット印刷に好適な調合物の形態で提供することができる。そのような調合物の調製には、技術水準で公知のインクベースの調合物を使用することができる。
或いは、本発明の重合性混合物は、フォトリソグラフィーに好適な調合物の形態で提供されてもよい。フォトリソグラフィープロセスは、光を使用して、幾何学的パターンをフォトマスクから光硬化性組成物に転写することにより光パターンの作出を可能にする。典型的には、そのような光硬化性組成物は、光化学的に活性化可能なラジカル性重合開始剤を含む。そのような調合物の調製には、技術水準で公知のフォトレジストベースの調合物を使用することができる。
或いは、本発明の重合性混合物は、フォトリソグラフィーに好適な調合物の形態で提供されてもよい。フォトリソグラフィープロセスは、光を使用して、幾何学的パターンをフォトマスクから光硬化性組成物に転写することにより光パターンの作出を可能にする。典型的には、そのような光硬化性組成物は、光化学的に活性化可能なラジカル性重合開始剤を含む。そのような調合物の調製には、技術水準で公知のフォトレジストベースの調合物を使用することができる。
【0083】
ステップ（１）において塗布される重合性混合物の層は、好ましくは１～５０μｍ、より好ましくは２～３０μｍ、最も好ましくは３～１５μｍの平均厚さを有する。
ステップ（２）における硬化は、ラジカル性又はイオン性連鎖重合反応又は重付加反応により実施されることが好ましい。好ましい重付加反応は、２＋２環化付加、４＋２環化付加（Ｄｉｅｌｓ－Ａｌｄｅｒ反応）、若しくは１，３－双極性環化付加等の環化付加、又はＭｉｃｈａｅｌ反応等の求核付加である。好ましい硬化条件は、コポリマーを形成するための方法について上記で与えられている通りの好ましい重合条件に相当する。
ステップ（１）で塗布される重合性混合物は、１つ又は複数のラジカル性開始剤を更に含むことが好ましい。好ましいラジカル性開始剤は、上記に記載されている。
上述の製造方法に従って調製されたパッケージ化マイクロ電子構造を含むマイクロ電子スデバイスも提供される。
ステップ（２）における硬化は、ラジカル性又はイオン性連鎖重合反応又は重付加反応により実施されることが好ましい。好ましい重付加反応は、２＋２環化付加、４＋２環化付加（Ｄｉｅｌｓ－Ａｌｄｅｒ反応）、若しくは１，３－双極性環化付加等の環化付加、又はＭｉｃｈａｅｌ反応等の求核付加である。好ましい硬化条件は、コポリマーを形成するための方法について上記で与えられている通りの好ましい重合条件に相当する。
ステップ（１）で塗布される重合性混合物は、１つ又は複数のラジカル性開始剤を更に含むことが好ましい。好ましいラジカル性開始剤は、上記に記載されている。
上述の製造方法に従って調製されたパッケージ化マイクロ電子構造を含むマイクロ電子スデバイスも提供される。
【0084】
本発明は、以下に続く実施例により更に説明されるが、これらは、いかなる点でも限定として解釈されないものとする。当業者であれば、添付の特許請求の範囲で規定される本発明の趣旨及び範囲から逸脱せずに、種々の改変、追加、及び変更を本発明に対してなすことができることを認識するだろう。
【0085】
実施例
ホスト材料オリゴマーの合成
オリゴマー４の合成
ステップ１：トリエチルアミン（４９．７ｇ、０．４９モル）を０．７ｌの無水トルエンに溶解し、続いて無水メタンスルホン酸（４８．６ｇ、０．５モル）を添加した。混合物を室温で１０分間撹拌した後、ジアミン２（Ｐｒｉａｍｉｎｅ（登録商標）、Ｃｒｏｄａ社、７７．４ｇ、０．１４モル）及び二無水物１（５０ｇ、０．０７モル）を注意深く添加した。次に、反応混合物を加熱して、ディーンスターク装置を使用して１２時間還流した。
ホスト材料オリゴマーの合成
オリゴマー４の合成
【化35】
【0086】
ステップ２：反応混合物を室温に冷却し、無水マレイン酸（８．７ｇ、０．０９モル）をゆっくりと添加し、続いて追加の１０ｇ無水メタンスルホン酸を添加した。混合物を再加熱し、ディーンスタークトラップを使用して約１２時間還流した。室温に冷却した後、追加の２００ｍｌトルエンを添加し、撹拌を停止した。上部（トルエン溶液）画分を注意深く分離し、塩画分をトルエンで２回洗浄した（２×５００ｍｌ）。トルエン溶液を一緒にし、シリカゲルを緊密に充填したガラス漏斗を通して濾過した。シリカゲルを追加の１００ｍｌトルエンで洗浄し、トルエンを減圧下で除去して、７０ｇ（８５％）の黄色ワックス状樹脂を生成した。
【0087】
オリゴマー５の合成
ジメチルマレイン酸無水物（ＡＢＣＲ、２０ｇ、０．１６モル）を、化合物３の反応混合物（ステップ１に記載の合成）にゆっくりと添加し、続いて追加の１０ｇ無水メタンスルホン酸を添加した。混合物を再加熱し、ディーンスタークトラップを使用して約１２時間還流した。室温に冷却した後、追加の２００ｍｌトルエンを添加し、撹拌を停止した。上部（トルエン溶液）画分を注意深く分離し、塩画分をトルエンで２回洗浄した（２×５００ｍｌ）。トルエン溶液を一緒にし、シリカゲルを緊密に充填したガラス漏斗を通して濾過した。シリカゲルを追加の１００ｍｌトルエンで洗浄し、トルエンを減圧下で除去して、８７ｇの黄色ワックス状樹脂を生成した。
【化36】
【0088】
Ｂ）添加剤の合成
Ｔｒｉｓ－（２－マレイミドエチル）－アミン（６）の合成
ステップ１：フラン－無水マレイン酸付加物（Ａｌｆａ Ａｅｓａｒ社、２８．５ｇ、０．１７モル）を７５０ｍｌのメタノールに溶解した。２５０ｍｌのメタノールに溶解したＴｒｉｓ（２－アミノエチル）アミン（Ａｌｆａ Ａｅｓａｒ社、５ｇ、０．０３モル）を、０℃で滴加した。次に、反応混合物を還流しながら４時間にわたって加熱した。メタノールを除去し、濃縮溶液（およそ３５０ｍｌ）を一晩４℃で静置して結晶化させた。得られた黄色結晶を濾過し、酢酸エチル（１９．６ｇ、３８％）で洗浄した。
Ｔｒｉｓ－（２－マレイミドエチル）－アミン（６）の合成
【化37】
【0089】
ステップ２：ステップ１で得られた産物７．４ｇ（０．０１３モル）を３００ｍｌのトルエンに溶解した。溶液を加熱して還流した。２０時間後、溶媒を減圧下で除去し、残留固形物を酢酸エチルに溶解し、フラッシュクロマトグラフィー（ＤＣＭ／酢酸エチル６０／４０）により精製した。収量：４ｇ（８４％）。
1Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ3）：δ＝６．６８（ｓ，６Ｈ）、３．５２（ｔ，Ｊ＝６．６Ｈｚ，６Ｈ）、２．７１（ｔ，Ｊ＝６．６Ｈｚ，６Ｈ）ｐｐｍ。
1Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ3）：δ＝６．６８（ｓ，６Ｈ）、３．５２（ｔ，Ｊ＝６．６Ｈｚ，６Ｈ）、２．７１（ｔ，Ｊ＝６．６Ｈｚ，６Ｈ）ｐｐｍ。
【0090】
１，１’，１’’－（ニトリロトリス（エタン－２，１－ジイル））ｔｒｉｓ（３，４－ジメチル－１Ｈ－ピロール－２，５－ジオン）（７）の合成
Ｔｒｉｓ（２－アミノエチル）アミン（Ａｌｆａ Ａｅｓａｒ社、１０ｇ、０．０６６モル）を、０℃で氷酢酸（７５ｍｌ）にゆっくりと滴加した。２，３－ジメチルマレイン酸無水物（Ｍｅｒｃｋ社、２５．９ｇ、０．１９９モル）を添加し、反応混合物を還流しながら加熱した。２０時間後、酢酸エチル（７５０ｍｌ）及び水（３７５ｍｌ）を添加し、相を分離させ、水溶液を酢酸エチルで２回洗浄した。一緒にした有機相をＮａＯＨ（１Ｎ、２×２５０ｍｌ）及びブライン（２５０ｍｌ）で洗浄し、Ｎａ2ＳＯ4で乾燥した。濾過後、溶媒を減圧下で除去し、残留固形物をクロマトグラフィー（ＳｉＯ2、トルエン／酢酸エチル（２：１、容積／容積））で精製した。収量：白色固形物として２６ｇ（８３％）。
1Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ、ＣＤＣｌ3）：δ＝３．４９（ｔ、Ｊ＝６．７Ｈｚ、６Ｈ）、２．７０（ｔ、Ｊ＝６．７Ｈｚ、６Ｈ）、１．９４（ｓ、１８Ｈ）ｐｐｍ。
【化38】
1Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ、ＣＤＣｌ3）：δ＝３．４９（ｔ、Ｊ＝６．７Ｈｚ、６Ｈ）、２．７０（ｔ、Ｊ＝６．７Ｈｚ、６Ｈ）、１．９４（ｓ、１８Ｈ）ｐｐｍ。
【0091】
Ｃ）配合物＆自立フィルムの調製
配合物調製の基本手順：オリゴマー４又は５のトルエン溶液（２５質量％）を、様々な量の添加剤（必要に応じて、ＤＭＡｃ又はシクロペンタノンに溶解した）及び適切な量のラジカル性誘発剤と混合した。
配合物調製の基本手順：オリゴマー４又は５のトルエン溶液（２５質量％）を、様々な量の添加剤（必要に応じて、ＤＭＡｃ又はシクロペンタノンに溶解した）及び適切な量のラジカル性誘発剤と混合した。
【0092】
自立フィルムの調製：自立ポリマーフィルムを、熱硬化又は光誘導硬化のいずれかでドクターブレード法によりガラス基材上に調製した（より具体的な条件は、様々な例を参照）。ポリマーを水ですすぐことにより、フィルムをガラス基材から取り外すことができた。
【0093】
機械的及び熱的特性：
引張強度及び破断点伸び（Ｅ２Ｂ）を、機械的試験機（５００Ｎ Ｚｗｉｃｋｉ社）で測定した。引張応力を、物理的応力－歪曲線の弾性（初期、線形）部分の伸長歪で除算することにより、ヤング率（弾性率）を算出した。フィルム寸法は、典型的には、長さ２５ｍｍ、幅１５ｍｍ、厚さ２５～１００μｍだった。測定は、以下のパラメータセットに従って実施した：測定前：１０ｍｍ／分の伸長速度にて０．１Ｎ；５０ｍｍ／分の主伸長速度。実験は全て、室温（２３±２℃）で実施した。
熱機械分析（ＴＭＡ）を、引張モードの４０２Ｆ３ ＴＭＡ（Ｎｅｔｚｓｃｈ社）で実施した。熱膨張係数（ＣＴＥ）を、Ｎ2雰囲気下２０～３００℃の範囲で測定した。
引張強度及び破断点伸び（Ｅ２Ｂ）を、機械的試験機（５００Ｎ Ｚｗｉｃｋｉ社）で測定した。引張応力を、物理的応力－歪曲線の弾性（初期、線形）部分の伸長歪で除算することにより、ヤング率（弾性率）を算出した。フィルム寸法は、典型的には、長さ２５ｍｍ、幅１５ｍｍ、厚さ２５～１００μｍだった。測定は、以下のパラメータセットに従って実施した：測定前：１０ｍｍ／分の伸長速度にて０．１Ｎ；５０ｍｍ／分の主伸長速度。実験は全て、室温（２３±２℃）で実施した。
熱機械分析（ＴＭＡ）を、引張モードの４０２Ｆ３ ＴＭＡ（Ｎｅｔｚｓｃｈ社）で実施した。熱膨張係数（ＣＴＥ）を、Ｎ2雰囲気下２０～３００℃の範囲で測定した。
【0094】
実施例１：オリゴマー４又は５及び１，１’－（メチレンジ－４，１－フェニレン）－ビスマレイミド（Ａｌｄｒｉｃｈ社、ＢＭＩ１）
（ａ）硬化条件：オリゴマー４又は５＋１０質量％ＢＭＩ１；室温で１０分間＋１００℃で１０分間（ホットプレート）、１０Ｊ／ｃｍ2（ブロードバンド）、１７５℃で３０分間（ホットプレート）。
#１４０～１７０℃でのＣＴＥ。
オリゴマー５と１０質量％のＢＭＩ１との硬化フィルムは、オリゴマー４との配合物と比較して、より高い伸縮性（Ｅ２Ｂ）を示しつつ、ほぼ３倍高いヤング弾性率を呈した。加えて、ＣＴＥは、好ましい領域まで劇的に減少している。
（ｂ）硬化条件：オリゴマー４又は５＋１０質量％ＢＭＩ１＋５質量％Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ－０２（ＢＡＳＦ社）、室温で１０分間＋１００℃で１０分間（ホットプレート）、１０Ｊ／ｃｍ2（ブロードバンド）、１７５℃で３０分間（ホットプレート）。
#１４０～１７０℃でのＣＴＥ。
【化39】
（ａ）硬化条件：オリゴマー４又は５＋１０質量％ＢＭＩ１；室温で１０分間＋１００℃で１０分間（ホットプレート）、１０Ｊ／ｃｍ2（ブロードバンド）、１７５℃で３０分間（ホットプレート）。
【表1】
#１４０～１７０℃でのＣＴＥ。
オリゴマー５と１０質量％のＢＭＩ１との硬化フィルムは、オリゴマー４との配合物と比較して、より高い伸縮性（Ｅ２Ｂ）を示しつつ、ほぼ３倍高いヤング弾性率を呈した。加えて、ＣＴＥは、好ましい領域まで劇的に減少している。
（ｂ）硬化条件：オリゴマー４又は５＋１０質量％ＢＭＩ１＋５質量％Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ－０２（ＢＡＳＦ社）、室温で１０分間＋１００℃で１０分間（ホットプレート）、１０Ｊ／ｃｍ2（ブロードバンド）、１７５℃で３０分間（ホットプレート）。
【表2】
#１４０～１７０℃でのＣＴＥ。
【0095】
ＯＸＥ－０２を使用したオリゴマー５と１０質量％ＢＭＩ１との硬化フィルムは、低いＣＴＥ値に加えて、より高い伸縮性を示した。
（ｃ）硬化条件：オリゴマー４又は５＋１０質量％ＢＭＩ１＋５質量％Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ－０２（ＢＡＳＦ社）＋５質量％ジクミルペルオキシド（Ａｌｄｒｉｃｈ社）、室温で１０分間＋１００℃で１０分間（ホットプレート）、１０Ｊ／ｃｍ2（ブロードバンド）、１７５℃で３０分間（ホットプレート）。
#１４０～１７０℃でのＣＴＥ。
（ｃ）硬化条件：オリゴマー４又は５＋１０質量％ＢＭＩ１＋５質量％Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ－０２（ＢＡＳＦ社）＋５質量％ジクミルペルオキシド（Ａｌｄｒｉｃｈ社）、室温で１０分間＋１００℃で１０分間（ホットプレート）、１０Ｊ／ｃｍ2（ブロードバンド）、１７５℃で３０分間（ホットプレート）。
【表3】
#１４０～１７０℃でのＣＴＥ。
【0096】
光開始剤（ＯＸＥ－０２）と組み合わせてラジカル性熱開始剤を使用したオリゴマー５と１０質量％ＢＭＩ１との硬化フィルムは、弾性率、Ｅ２Ｂ、及びＣＴＥの点でより好ましい値を示した。
（ｄ）硬化条件：オリゴマー５＋１０質量％ＢＭＩ１＋５質量％Ｎ１９１９Ｔ（Ａｄｅｋａ社）、室温で１０分間＋１００℃で１０分間（ホットプレート）、１０Ｊ／ｃｍ2（ブロードバンド）、１７５℃で３０分間（ホットプレート）。
#１４０～１７０℃でのＣＴＥ。
（ｅ）硬化条件：オリゴマー５＋１０質量％ＢＭＩ１＋５質量％Ｎ１９１９Ｔ（Ａｄｅｋａ社）＋５質量％ジクミルペルオキシド（Ａｌｄｒｉｃｈ社）、室温で１０分間＋１００℃で１０分間（ホットプレート）、１０Ｊ／ｃｍ2（ブロードバンド）、１７５℃で３０分間（ホットプレート）。
#１４０～１７０℃でのＣＴＥ。
（ｄ）硬化条件：オリゴマー５＋１０質量％ＢＭＩ１＋５質量％Ｎ１９１９Ｔ（Ａｄｅｋａ社）、室温で１０分間＋１００℃で１０分間（ホットプレート）、１０Ｊ／ｃｍ2（ブロードバンド）、１７５℃で３０分間（ホットプレート）。
【表4】
#１４０～１７０℃でのＣＴＥ。
（ｅ）硬化条件：オリゴマー５＋１０質量％ＢＭＩ１＋５質量％Ｎ１９１９Ｔ（Ａｄｅｋａ社）＋５質量％ジクミルペルオキシド（Ａｌｄｒｉｃｈ社）、室温で１０分間＋１００℃で１０分間（ホットプレート）、１０Ｊ／ｃｍ2（ブロードバンド）、１７５℃で３０分間（ホットプレート）。
【表5】
#１４０～１７０℃でのＣＴＥ。
【0097】
実施例２：オリゴマー４又は５及びマレイミド６
硬化条件：オリゴマー４又は５＋５質量％マレイミド６、１０分間室温、１０分間１００℃（ホットプレート）、１０Ｊ／ｃｍ2（ブロードバンド）、３０分間１７５℃（ホットプレート）。
#２５～３５℃でのＣＴＥ。
オリゴマー５と５質量％のマレイミド６との硬化フィルムは、オリゴマー４と比較して、弾性率、Ｅ２Ｂ、及びＣＴＥに関してより好ましい値を示した。
【化40】
【表6】
#２５～３５℃でのＣＴＥ。
オリゴマー５と５質量％のマレイミド６との硬化フィルムは、オリゴマー４と比較して、弾性率、Ｅ２Ｂ、及びＣＴＥに関してより好ましい値を示した。
【0098】
実施例３：オリゴマー４又は５及びジメチルマレイミド７
硬化条件：オリゴマー４又は５＋５質量％ジメチルマレイミド７、１０分間室温、１０分間１００℃（ホットプレート）、１０Ｊ／ｃｍ2（ブロードバンド）、３０分間１７５℃（ホットプレート）。
#２５～３５℃でのＣＴＥ。
【化41】
【表7】
#２５～３５℃でのＣＴＥ。
【0099】
実施例４：オリゴマー４又は５並びに１，１’－（メチレンジ－４，１－フェニレン）－ビスマレイミド（Ａｌｄｒｉｃｈ社、ＢＭＩ１）及びジメチルマレイミド－ＳｉＯ2（５０ｎｍ、ｎａｎｏＣｏｍｐｏｓｉｘ社）
硬化条件：オリゴマー４又は５＋１０質量％BMI1＋５質量％ＤＭＭＩ－ＳｉＯ2（ｎａｎｏＣｏｍｐｏｓｉｘ，Ｉｎｃ．社、５０ｎｍ）、１０分間室温、１０分間１００℃（ホットプレート）、１０Ｊ／ｃｍ2（ブロードバンド）、３０分間１７５℃（ホットプレート）。
#１４０～１７０℃でのＣＴＥ。
上記に記載の構成を有するオリゴマー５の硬化フィルムは、好ましいＣＴＥ値に加えて、非常により高い弾性率値を示した。
【化42】
【表8】
#１４０～１７０℃でのＣＴＥ。
上記に記載の構成を有するオリゴマー５の硬化フィルムは、好ましいＣＴＥ値に加えて、非常により高い弾性率値を示した。
【0100】
実施例５：オリゴマー４又は５並びに１，１’－（メチレンジ－４，１－フェニレン）－ビスマレイミド（Ａｌｄｒｉｃｈ社、ＢＭＩ１）及びジメチルマレイミド－ＰＯＳＳ（ＤＭＭＩ－ＰＯＳＳ）
硬化条件：オリゴマー４又は５＋１０質量％ＢＭＩ１＋５質量％ＤＭＭＩ－ＰＯＳＳ、１０分間室温、１０分間１００℃（ホットプレート）、１０Ｊ／ｃｍ2（ブロードバンド）、３０分間１７５℃（ホットプレート）。
#１４０～１７０℃でのＣＴＥ。
【化43】
硬化条件：オリゴマー４又は５＋１０質量％ＢＭＩ１＋５質量％ＤＭＭＩ－ＰＯＳＳ、１０分間室温、１０分間１００℃（ホットプレート）、１０Ｊ／ｃｍ2（ブロードバンド）、３０分間１７５℃（ホットプレート）。
【表9】
#１４０～１７０℃でのＣＴＥ。
【図1】
【手続補正書】
【提出日】2024-02-22
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１のモノマー及び第２のモノマーを含む重合性混合物であって、
前記第１のモノマーは、式（１）により表される１つ又は複数の化合物であり、
前記第２のモノマーは、前記第１のモノマーと反応してコポリマーを生成することが可能な１つ又は複数の二官能性又は多官能性化合物であり、
式（１）は、
Ｐ1－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－Ｐ1 式（１）
であり、式中、
ｍは、１～６０の整数であり、
Ｐ1は、
を示し、式中、Ｖ1はＨであり、Ｖ2は、１～６個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮであり、又はＶ1及びＶ2は互いに独立して１～６個の炭素原子を有するアルキル、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮであり、
Ｓｐ1は、各出現において、スペーサー基（Ｓｐ）又は単結合を示し、
ＭＧは、好ましくは、式（２）：
－（Ａ21－Ｚ21）k－Ａ22－（Ｚ22－Ａ23）l－ 式（２）
から選択される棒状メソゲン基であり、式中、
Ａ21～Ａ23は、独立して及び各出現において互いに独立して、１つ又は複数の同一の又は異なる基Ｌにより置換されていてもよいアリール基、ヘテロアリール基、複素環基、脂環基、又は環式イミド基であり、
Ｚ21及びＺ22は、独立して及び各出現において互いに独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｓ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ02、－ＮＲ01－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ、－ＳＣＨ2－、－ＣＨ2Ｓ－、－ＣＦ2Ｏ－、－ＯＣＦ2－、－ＣＦ2Ｓ－、－ＳＣＦ2－、－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＣＨ2）4－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－ＣＨ＝Ｎ－、－Ｎ＝ＣＨ－、－Ｎ＝Ｎ－、－ＣＨ＝ＣＲ01－、－ＣＹ01＝ＣＹ02－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合であり、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｌは、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、－ＣＮ、－ＮＯ2、－ＮＣＯ、－ＮＣＳ、－ＯＣＮ、－ＳＣＮ、－Ｃ（＝Ｏ）ＮＲxxＲyy、－Ｃ（＝Ｏ）ＯＲxx、－Ｃ（＝Ｏ）Ｒxx、－ＮＲxxＲyy、－ＯＨ、－ＳＦ5、又は１～２０個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシであり、１つ又は複数のＨ原子は、Ｆ、又はＣｌ、－ＣＮ、又は１～６個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシで置き換えられていてもよく、
Ｒxx及びＲyyは、互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Y01及びY02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキル、アリール、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮを示し、
ｋ及びｌは、各々及び独立して０、１、２、３、又は４である、
重合性混合物。
前記第１のモノマーは、式（１）により表される１つ又は複数の化合物であり、
前記第２のモノマーは、前記第１のモノマーと反応してコポリマーを生成することが可能な１つ又は複数の二官能性又は多官能性化合物であり、
式（１）は、
Ｐ1－Ｓｐ1－（ＭＧ－Ｓｐ1）m－Ｐ1 式（１）
であり、式中、
ｍは、１～６０の整数であり、
Ｐ1は、
【化1】
Ｓｐ1は、各出現において、スペーサー基（Ｓｐ）又は単結合を示し、
ＭＧは、好ましくは、式（２）：
－（Ａ21－Ｚ21）k－Ａ22－（Ｚ22－Ａ23）l－ 式（２）
から選択される棒状メソゲン基であり、式中、
Ａ21～Ａ23は、独立して及び各出現において互いに独立して、１つ又は複数の同一の又は異なる基Ｌにより置換されていてもよいアリール基、ヘテロアリール基、複素環基、脂環基、又は環式イミド基であり、
Ｚ21及びＺ22は、独立して及び各出現において互いに独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｓ－、－Ｏ－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＲ01－、－ＮＲ01－ＣＯ－、－ＮＲ01－ＣＯ－ＮＲ02、－ＮＲ01－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－ＮＲ01－、－ＯＣＨ2－、－ＣＨ2Ｏ、－ＳＣＨ2－、－ＣＨ2Ｓ－、－ＣＦ2Ｏ－、－ＯＣＦ2－、－ＣＦ2Ｓ－、－ＳＣＦ2－、－ＣＨ2ＣＨ2－、－（ＣＨ2）4－、－ＣＦ2ＣＨ2－、－ＣＨ2ＣＦ2－、－ＣＦ2ＣＦ2－、－ＣＨ＝Ｎ－、－Ｎ＝ＣＨ－、－Ｎ＝Ｎ－、－ＣＨ＝ＣＲ01－、－ＣＹ01＝ＣＹ02－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－ＣＨ＝ＣＨ－、又は単結合であり、
Ｒ01及びＲ02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Ｌは、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、－ＣＮ、－ＮＯ2、－ＮＣＯ、－ＮＣＳ、－ＯＣＮ、－ＳＣＮ、－Ｃ（＝Ｏ）ＮＲxxＲyy、－Ｃ（＝Ｏ）ＯＲxx、－Ｃ（＝Ｏ）Ｒxx、－ＮＲxxＲyy、－ＯＨ、－ＳＦ5、又は１～２０個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシであり、１つ又は複数のＨ原子は、Ｆ、又はＣｌ、－ＣＮ、又は１～６個のＣ原子を有する直鎖若しくは分岐鎖アルキル、アルコキシ、アルキルカルボニル、アルコキシカルボニル、アルキルカルボニルオキシ、若しくはアルコキシカルボニルオキシで置き換えられていてもよく、
Ｒxx及びＲyyは、互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキルを示し、
Y01及びY02は、各々互いに独立して、Ｈ、又は１～１２個のＣ原子を有するアルキル、アリール、Ｆ、Ｃｌ、又はＣＮを示し、
ｋ及びｌは、各々及び独立して０、１、２、３、又は４である、
重合性混合物。
【外国語明細書】