特開 2024-58195 検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024058195

(43)【公開日】2024-04-25

(54)【発明の名称】検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/88 20060101AFI20240418BHJP

【ＦＩ】

G01N21/88 Z

【審査請求】有

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022165406

(22)【出願日】2022-10-14

(11)【特許番号】

(45)【特許公報発行日】2023-09-05

(71)【出願人】

【識別番号】000183303

【氏名又は名称】住友金属鉱山株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100145872

【弁理士】

【氏名又は名称】福岡 昌浩

(74)【代理人】

【識別番号】100091362

【弁理士】

【氏名又は名称】阿仁屋 節雄

(72)【発明者】

【氏名】森川 桂一

【テーマコード（参考）】

2G051

【Ｆターム（参考）】

2G051AA90

2G051AB02

2G051CA04

2G051CB01

2G051CD01

2G051DA08

2G051EB01

(57)【要約】

【課題】本発明は回転する被検査台の径方向に延びる撮像素子列を用いて取得した画像によっても、回転する被検査台上の検出位置による撮像サイズの変動分を補正して、対象物の実際のサイズに基づいて検査の良否判定を行うことができる検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、回転する被検査台上の画像を前記被検査台の径方向に延びる撮像素子列を用いて取得する画像取得部と、前記画像に撮像された対象物の検出位置および撮像サイズを検出する対象物検出部と、前記対象物の前記検出位置に基づき分解能を決定する分解能決定部と、前記被検査台の回転により生じる前記撮像サイズの変動分を前記分解能に基づき補正し、前記対象物の真正サイズとする撮像サイズ補正部と、前記真正サイズにより、検査における良否を判定する良否判定部と、を備える検査装置に関する。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

回転する被検査台上の画像を前記被検査台の径方向に延びる撮像素子列を用いて取得する画像取得部と、
前記画像に撮像された対象物の検出位置および撮像サイズを検出する対象物検出部と、
前記対象物の前記検出位置に基づき分解能を決定する分解能決定部と、
前記被検査台の回転により生じる前記撮像サイズの変動分を前記分解能に基づき補正し、前記対象物の真正サイズとする撮像サイズ補正部と、
前記真正サイズにより、検査における良否を判定する良否判定部と、を備える検査装置。

【請求項2】

前記分解能決定部は、前記被検査台の円周方向の画素ラインごとに画素毎分解能を算出し、
前記撮像サイズ補正部は、前記画素毎分解能により前記撮像サイズを補正し、前記画素ラインごとに補正された補正後撮像サイズの和を前記対象物の前記真正サイズとする請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

前記分解能決定部は、前記被検査台の回転中心に対する前記対象物の重心座標を求めるとともに、前記重心座標に基づき前記対象物ごとの代表となる代表分解能を決定し、
前記撮像サイズ補正部は、前記代表分解能により前記対象物の前記撮像サイズを補正する請求項１に記載の検査装置。

【請求項4】

前記分解能決定部は、前記撮像サイズの前記変動分を含む前記対象物の前記画像上の外郭形状に基づき前記対象物の前記重心座標を幾何学的に求めるライブラリデータを用いて前記重心座標を求める請求項３に記載の検査装置。

【請求項5】

前記画像取得部は、ラインカメラにより前記画像を取得する請求項１または３に記載の検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

回転する被検査台上を撮像して被検査物を検査する検査装置として、被検査台全体を一つのカメラで一度に撮像する検査装置がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００７－１５８０３３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、被検査台の上方に治具等を有する装置では、被検査台全体を一つのカメラで撮像した場合、撮像範囲に死角が生じてしまう。このため、被検査台の径方向に延びる撮像素子列を用いて回転する被検査台を撮像することで被検査台全体の画像を撮像する検査装置等を使用できる。

【0005】

一方、被検査台の径方向に延びる撮像素子列を用いた検査装置では、撮像された画像に基づく対象物のサイズにより検査の良否を判定しようとした場合、対象物のサイズを正確に把握しにくいという問題があった。これは、被検査台上の検査物が配置された位置が、内周側であるか、外周側であるかにより、撮像された画像において検出されるサイズが、実物の大きさから解離する場合があったためである。

【0006】

そこで本発明は、回転する被検査台の径方向に延びる撮像素子列を用いて取得した画像によっても、回転する被検査台上の検出位置による撮像サイズの変動分を補正し、対象物の正確な大きさに基づく良否判定ができる検査装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の第１の態様は、回転する被検査台上の画像を前記被検査台の径方向に延びる撮像素子列を用いて取得する画像取得部と、
前記画像に撮像された対象物の検出位置および撮像サイズを検出する対象物検出部と、
前記対象物の前記検出位置に基づき分解能を決定する分解能決定部と、
前記被検査台の回転により生じる前記撮像サイズの変動分を前記分解能に基づき補正し、前記対象物の真正サイズとする撮像サイズ補正部と、
前記真正サイズにより、検査における良否を判定する良否判定部と、を備える検査装置である。

【0008】

本発明の第２の態様は、前記分解能決定部は、前記被検査台の円周方向の画素ラインごとに画素毎分解能を算出し、
前記撮像サイズ補正部は、前記画素毎分解能により前記撮像サイズを補正し、画素ラインごとに補正された補正後撮像サイズの和を前記対象物の前記真正サイズとする第１の態様に記載の検査装置である。

【0009】

本発明の第３の態様は、前記分解能決定部は、前記被検査台の回転中心に対する前記対象物の重心座標を求めるとともに、前記重心座標に基づき前記対象物ごとの代表となる代表分解能を決定し、
前記撮像サイズ補正部は、前記代表分解能により前記対象物の前記撮像サイズを補正する第１の態様に記載の検査装置である。

【0010】

本発明の第４の態様は、前記分解能決定部は、前記撮像サイズの変動分を含む前記対象物の画像上の外郭形状に基づき前記対象物の重心座標を幾何学的に求めるライブラリデータを用いて前記重心座標を求める第３の態様に記載の検査装置である。

【0011】

本発明の第５の態様は、前記画像取得部は、ラインカメラにより前記画像を取得する第１の態様から第４の態様のいずれかに記載の検査装置である。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、回転する被検査台の径方向に延びる撮像素子列を用いて取得した画像により、回転する被検査台上の検出位置による撮像サイズの変動分を補正し、良否判定する検査を行える。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本開示の一態様における対象物の撮像の例示である。

【図2】本開示の一態様における機能部の構成の例である。

【図3】本開示の一態様における検査装置の概略図である。

【図4】本開示の一態様における検査方法の手順の例である。

【図5】第一実施形態における分解能の決定の例である。

【図6】第二実施形態における分解能の決定の例である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

＜発明者の知見＞
被検査台１１０の径方向に延びる撮像素子列を用いた検査装置１０では、撮像された画像中で検出された対象物Ｐのサイズが、対象物Ｐの実物の大きさから解離することがある。その理由は、回転する被検査台上における対象物Ｐの存在位置により、撮像素子列が捉える対象物Ｐの移動速度に差が生じるためである。この点について、図１の模式図にて、実物の大きさが同じ３つの対象物Ｐ（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３）が、それぞれ回転中心Ｒｃから距離の異なる被検査台１１０上の位置に存在する場合を例に説明する。回転半径の内周側に存在するＰ１、中心付近に存在するＰ２、外周側に存在するＰ３では、（１）円周方向の移動距離（周速）の相違により、（２）撮像素子列の撮像時間当たりの対象物Ｐの移動量が互いに異なるものとなり、（３）画像中で検出される対象物Ｐの撮像サイズが実物の大きさから変動することがある。

【0015】

具体的には、まず（１）対象物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３は、回転中心Ｒｃを軸に回転する被検査台上における周速（回転の接線方向の速度、単位時間における円周上の移動距離）が相互に異なる。周速は、（回転体の）直径と回転数により定まり（周速＝π×直径×回転数）、直径が大きいほど周速が大きくなる。このため、内周側に位置するＰ１はＰ２よりも周速が小さい（単位時間における円周方向の移動量が少ない）。一方、外周側に位置するＰ３はＰ２よりも周速が大きい（円周方向の移動量が多い）。この周速の違いにより、（２）カメラ１２０がＰ１、Ｐ２、Ｐ３を捉えて撮像する撮像時間当たりの対象物Ｐの移動量が、それぞれ異なるものとなる。具体的には、Ｐ１はＰ２よりも周速が小さい分、撮影開始から対象物全体を撮像し終わるまでの移動量が長くなる。一方、Ｐ３はＰ２よりも周速が大きいため、対象物Ｐはカメラ１２０の撮像終了までの移動量は短くなる。

【0016】

この結果、（３）カメラ１２０により撮像された撮像画像１３０において、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の画像中のサイズは相互に異なるものとなる。内周側に位置するＰ１は、移動量がＰ２よりも長い分、撮像画像１３０中では大きなサイズとして観察される。一方、外周側に位置するＰ３は、Ｐ２よりも移動量が短い分、撮像画像１３０中では小さなサイズとして観察される。なお、図１の撮像画像１３０において、Ｗはカメラ１２０の視野範囲の幅方向を、Ｈは被検査台１１０上を一周回転させる間に撮像された画像における円周方向を表す。

【0017】

以上のように、被検査台１１０の径方向に延びる撮像素子列を用いた検査装置１０では、撮像画像中における対象物Ｐのサイズが、実物の大きさとは異なるものに変動する場合があった。このようなサイズ変動により、被検査台上の対象物Ｐの実物の大きさに応じて検査良否を判断したい検査においては、即時に実物の大きさを知ることが難しいことがあり、迅速な検査が行えない問題があった。

【0018】

このような知見に基づき、本発明者等は、被検査台１１０の径方向に延びる撮像素子列を用いた検査装置１０であっても、対象物Ｐの実物の大きさに基づく良否判定が行える検査装置１０について鋭意検討し、上記課題を解決する本発明の検査装置１０を完成するに至った。

【0019】

以下、本発明の各実施形態について、図面を参照しながら説明する。

【0020】

＜第一実施形態＞
本開示の一態様として第一実施形態について、図面を参照しながら説明する。

【0021】

（１）検査目的および対象物
本実施形態における検査装置１０は、回転する被検査台１１０上に配置された被検査物の検査に用いることができる。被検査物の種類や検査内容は特に限定されない。例えば、被検査台１１０が研磨面であり、回転して研磨された被検査物の損壊有無を検査するために用いることができる。この場合、被研磨物（被検査物）を研磨後に被検査台１１０から取り除いた上で、被検査台１１０上の残存物を対象物Ｐとして撮像する。そして、所定の大きさ以上である対象物Ｐの存在有無により、被検査物の研磨による損壊状況を検査する。本発明の検査装置１０は、上記検査のように、対象物Ｐの実物の大きさに基づいて検査を行いたい場合に好適に用いられる。

【0022】

（２）検査装置の構成
図２のように、検査装置１０は、画像取得部１００と、画像取得部１００に接続した情報処理装置２００とを備えるものとしてよい。情報処理装置２００は、対象物検出部２１０、分解能決定部２２０、撮像サイズ補正部２３０、良否判定部２４０を備えるものとしてよい。なお、検査装置１０は、これら以外の構成要素を備えていてもよい。

【0023】

画像取得部１００は、回転する被検査台１１０の径方向（半径方向）に延びる撮像素子列を用いて画像を取得するように構成される。例えば、図３のように、カメラ１２０が、径方向であるＸ－Ｙ方向に延びた撮像素子列を有するように配置された構成としてよい。カメラ１２０としては、適宜の種類のものを適用してよく、目的とする検査に応じて必要な解像度の画像を撮像できればよい。カメラ１２０としては、ラインカメラを用いてもよい。

【0024】

被検査台１１０の形状は特に限定されない。例えば、図３に示されるようなリング状の他、円板状等の任意の形状としてよい。画像取得部１００は、被検査台１１０上の撮像範囲に対して光を照射する１つまたは複数の照明を備えてもよい。照明の発光手段は特に限定されず、例えば蛍光灯、有機または無機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）、発光ダイオード等を使用できる。

【0025】

対象物検出部２１０は、撮像した画像中の対象物Ｐの検出位置および撮像サイズを検出するように構成されたものである。対象物検出部２１０は、例えば、情報処理装置２００に画像処理の機能を備えて構成してもよい。対象物Ｐは、検査装置１０が対象とする検査内容に応じて任意に設定してよい。本実施形態のように、被検査物が損壊し本来の大きさよりも所定以上に小さくなった被検査物を対象物Ｐとしてもよい。

【0026】

分解能決定部２２０は、対象物Ｐの検出位置に基づき分解能を決定するように構成されたものである。分解能は、画素分解能とも呼ばれ、撮像素子一画素あたりの視野の大きさにより決定される（分解能（ｍｍ／画素）＝撮像画像の視野サイズ（ｍｍ）／撮像素子の画素数（画素））。本実施形態において、分解能は、被検査台１１０の内外周で生じる対象物Ｐのサイズ変動を補正するために用いられる。上述の通り、サイズ変動は、回転する被検査台１１０上の内周側と外周側で、対象物Ｐの撮像時間が異なることにより生じる実物の大きさからの解離である。本実施形態は径方向Ｘ－Ｙに延びる撮像素子列で対象物Ｐを撮像するため、サイズ変動の度合いはＸ－Ｙ方向に延びる画素ラインごとに定まる。以上のことから、円周方向の画素ラインを基準として、対象物Ｐの検出位置に応じた画素ラインごとの分解能を決定するものとしている。

【0027】

撮像サイズ補正部２３０は、撮像サイズの変動分を補正し、真正サイズとするように構成されたものである。本実施形態の撮像サイズ補正部２３０は、分解能決定部２２０により決定された画素毎分解能Ｒ_Ｉに基づき、画素ラインごとに撮像サイズの変動分を補正する。

【0028】

良否判定部２４０は、真正サイズにより検査における良否を判定するように構成されたものである。検査における良否は、対象とする検査の内容に応じて任意に設定できる。例えば、本実施形態のように、真正サイズが所定以上である対象物Ｐが存在した場合、検査不良と判断するものとしてよい。

【0029】

以上で説明した情報処理装置２００は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）等のハードウエア資源を組み合わせて構成してよい。また、情報処理装置２００は、予めインストールされている所定プログラム（ソフトウエア）の実行により、そのソフトウエアによる情報処理がハードウエア資源を用いて具体的に実現されるものとしてよい。以上により、情報処理装置２００は、対象物検出部２１０、分解能決定部２２０、撮像サイズ補正部２３０、および、良否判定部２４０における処理動作を制御するように構成できる。

【0030】

（３）検査方法の手順
本実施形態の検査装置１０を用いた検査方法の手順は、図４を参照しつつ以下のように説明される。

【0031】

本態様の検査方法では、
被検査台の径方向に延びる画像素子列を用いて画像を取得する工程（工程Ａ）と、
画像に撮像された対象物の検出位置および撮像サイズを検出する工程（工程Ｂ）と、
対象物の検出位置に基づき分解能を決定する工程（工程Ｃ）と、
被検査台の回転により生じる撮像サイズの変動分を分解能に基づき補正する工程（工程Ｄ）と、
真正サイズにより検査における良否を判定する工程（工程Ｅ）と、を行う。

【0032】

画像を取得する工程（工程Ａ）
工程Ａでは、回転する被検査台１１０上の画像を被検査台１１０の径方向に延びる撮像素子列を用いて取得する。被検査台１１０が一周回転する間の撮像をすることで、被検査台１１０全体を撮像範囲とした画像を取得できる。画像を取得する際の被検査台１１０上は、目的とする検査内容に応じた状態として画像を取得してよい。本実施形態のように、被検査台１１０上で研磨された被検査物を取り除いた後、被検査台１１０上に残った対象物Ｐを撮像するものとしてもよい。

【0033】

工程Ａでは、二値化した画像において対象物Ｐを検出して画像処理しやすくなるように、画像取得することが好ましい。例えば、撮像素子列による撮像範囲内を、照明により均一な明るさとなるように維持することが好ましい。また、事前に対象物Ｐの色彩が判明している場合には、二値化した際に対象物Ｐと識別しやすい表面色の被検査台１１０を採用することも好ましい。

【0034】

対象物を検出する工程（工程Ｂ）
工程Ｂでは、対象物検出部２１０が、工程Ａで取得した画像において、撮像された対象物Ｐの検出位置および撮像サイズを検出する。検出の際、工程Ａで得た画像に対して二値化を行い、対象物Ｐがある部分とそれ以外の部分とを識別可能にした上で、対象物Ｐがある部分の位置および撮像サイズを検出することが好ましい。検出位置および撮像サイズは、対象物Ｐごとに検出することが好ましい。検出位置は、後述する分解能決定部２２０に利用可能な任意の形式で出力するものとしてよい。例えば、検出位置は、被検査台１１０の回転中心Ｒｃに対する相対位置により座標として出力してよい。撮像サイズは画像における対象物Ｐの大きさであり、例えば面積や画素の数として出力してよい。また、対象物Ｐの形状が球形等の対称形である場合、面積に代えて直径等の長さをサイズとして代替しても構わない。

【0035】

分解能を決定する工程（工程Ｃ）
工程Ｃは、工程Ｂで出力された対象物Ｐの検出位置に基づいて分解能を決定する工程である。本実施形態では、円周方向の画素ラインごとに画素毎分解能Ｒ_Ｉを決定する。具体的には、工程Ｃでは図５のように、分解能決定部２２０が、撮像画像１３０より検出した対象物Ｐに関して、画素ライン（Ｉ_１～Ｉ_６）ごとの分解能である画素毎分解能Ｒ_Ｉを決定する。画素毎分解能Ｒ_Ｉは、画像取得部１００の撮像手段に応じて、任意の手法により決定してよい。例えば、画素毎分解能Ｒ_Ｉは、下記式に基づいて決定できる。

【数1】

【0036】

撮像サイズを補正する工程（工程Ｄ）
工程Ｄでは、撮像サイズ補正部２３０が、工程Ｃで決定した分解能（画素毎分解能Ｒ_Ｉ）に基づいて、被検査台１１０の回転により生じる撮像サイズの変動分を補正し、対象物Ｐの真正サイズとする。本実施形態では、画素ライン（Ｉ_１～Ｉ_６）ごとの画素数Ｎ_Ｉ（Ｎ_１～Ｎ_６）と、工程Ｃで決定した画素毎分解能Ｒ_Ｉを乗じた値（Ｎ_Ｉ×Ｒ_Ｉ）から、画素ラインごとに撮像サイズを補正する。ここで、複数の画素によって構成される対象物Ｐの撮像された画像内には複数の画素ラインが含まれ、画素ラインごとに異なる割合で撮像サイズの変動が生じる。そこで本実施形態では、撮像サイズとして画素数Ｎ_Ｉを基にして、画素ラインごとに区切ってサイズ変動分の補正を行うものとしている。

【0037】

上記により各画素ラインについて撮像サイズを補正した後、対象物Ｐの全ての画素ライン（Ｉ_１～Ｉ_６）について補正後の撮像サイズの和をとり、真正サイズとする。画素数Ｎ_Ｉは、工程Ｂで検出した撮像サイズに基づき、適宜の方法で算定してよい。

【0038】

検査の良否を判定する工程（工程Ｅ）
工程Ｅでは、工程Ｄで得られた真正サイズにより検査の良否判定を行う。例えば、真正サイズが対象物Ｐの許容サイズとして予め定めたサイズよりも大きい場合に異常あり、小さい場合に異常なしとする良否判定としてよい。

【0039】

（４）効果
第一実施形態によれば、以下に示す１つまたは複数の効果が得られる。

【0040】

（ａ）検査装置１０によれば、被検査台１１０の径方向に延びる撮像素子列を用いた場合にも、撮像サイズにおける実際のサイズ（真正サイズ）からの変動を補正できる。このため、真正サイズに基づいた検査の良否判定を迅速に行える。

【0041】

（ｂ）本実施形態では、被検査台１１０の径方向に延びる撮像素子列を備えるため、被検査台上にカメラ１２０以外の治具等を任意に配置できる。検査装置１０では、被検査台１１０を一周回転しながら撮像することで治具等による死角を生じることなく、被検査台１１０上の全体を撮像できる。

【0042】

（ｃ）本実施形態では、画素ラインごとに画素毎分解能Ｒ_Ｉを決定し、画素ラインごとに撮像サイズを補正する。このように比較的簡便な手順の繰り返しにより真正サイズを得ることができる。

【0043】

（ｄ）画像取得部１００におけるカメラ１２０としてラインカメラを用いた場合、撮像範囲の照明による照射量を均一に保ちやすい。このため、対象物検出部２１０における対象物Ｐの検出の際、画像処理による対象物Ｐの検出位置や撮像サイズの検出を正確に行いやすい。

【0044】

＜第二実施形態＞
次に、第二実施形態について、主として第一実施形態との相違点について説明する。

【0045】

（１）検査装置１０の構成
検査装置１０の構成は、第一実施形態と同様に、画像取得部１００、対象物検出部２１０、分解能決定部２２０、撮像サイズ補正部２３０、良否判定部２４０を備える構成とする。このうち、分解能決定部２２０および撮像サイズ補正部２３０について、分解能の決定および撮像サイズの補正の具体的な手順は以下説明のとおりに行うものとしつつ、構成については第一実施形態と同様としてよい。

【0046】

（２）検査方法の手順
第二実施形態は、以下説明するように、工程Ｃおよび工程Ｄにおいて、重心座標Ｇｃに基づく対象物Ｐごとの代表となる代表分解能Ｒ_Ｇを用いて対象物Ｐの撮像サイズを補正する点で、第一実施形態と異なる手順を採用している。なお、工程Ａにおける被検査台１１０上の画像の取得、および、工程Ｂにおける対象物Ｐの検出位置および撮像サイズの検出については、第一実施形態と同様の手順で行ってよい。

【0047】

対象物Ｐは画素ラインごとに異なる分解能で撮像されるため、撮像サイズを補正するには、画素ライン毎の補正が必要になる。しかしながら、画素ライン毎に撮像サイズを補正する方法では、処理負荷が大きくなりやすい。このため検査目的によっては、更に短時間で処理可能な方法が求められる場合がある。このような背景の下、本実施形態は、重心座標Ｇｃに基づく代表分解能Ｒ_Ｇを用いて撮像サイズを補正する方法を採用している。

【0048】

ここで、複数の画素ライン毎に異なる分解能を、重心座標Ｇｃに基づいて代表分解能Ｒ_Ｇとして代表させることについて説明する。上述の通り、分解能は画素ライン毎に異なるところ、画素ライン毎の分解能は、回転中心Ｒｃに基づく半径（中心間距離）と線形の関係（比例関係）にある。このため、隣り合った画素ラインの分解能を比較すると、内周側と外周側の画素ラインでは、分解能が単調増加または単調減少し、互いに逆に単調変化する関係となる。このことから、所定の画素ラインに対して、当該画素ラインよりも内周側と外周側に位置する対象物Ｐの撮像サイズ（画素数、面積）が同じ場合、当該画素ラインの分解能に基づいて対象物Ｐ全体の撮像サイズを補正できる。この場合、所定の画素ラインに対する内周側と外周側に存在する複数の画素ラインの分解能の違いを相殺できるからである。所定の画素ラインは、対象物Ｐの重心が位置する画素ラインとなる。

【0049】

以上のことから、重心座標Ｇｃに基づく代表分解能Ｒ_Ｇを用いて撮像サイズを補正する方法により、真正サイズを適切に求めつつ、補正の際の処理負荷を軽減できる。以下、代表分解能Ｒ_Ｇを用いて撮像サイズを補正する方法に関する、工程Ｃおよび工程Ｄについて詳述する。

【0050】

分解能を決定する工程（工程Ｃ）
本実施形態の工程Ｃでは、図６のように、被検査台１１０の回転中心Ｒｃに対する対象物Ｐの重心座標Ｇｃを求め、重心座標Ｇｃに基づき対象物Ｐごとの代表となる代表分解能Ｒ_Ｇを決定する。代表分解能Ｒ_Ｇを用いることで、工程Ｄの画像サイズ補正において、代表値に基づき一括して画像サイズを補正できる。ここで、重心座標Ｇｃは公知の方法で適宜決定してよい。例えば、対象物Ｐの画像上の外郭形状に基づいて幾何学的に求めるライブラリデータを用いて求めることができる。

【0051】

画像サイズを補正する工程（工程Ｄ）
工程Ｄでは、工程Ｃで決定した代表分解能Ｒ_Ｇにより撮像サイズを補正する。具体的には、対象物Ｐの全画素数Ｎ_Ａと、代表分解能Ｒ_Ｇを乗じた値（Ｎ_Ａ×Ｒ_Ｇ）を真正サイズとする。本実施形態では、画素ラインごとに異なる分解能が総括された代表値を用いることにより、工程Ｄにおける撮像サイズの補正を、一度に行うことができる。

【0052】

（３）効果
第二実施形態によれば、第一実施形態において得られる効果の他に、以下に示す１つまたは複数の効果が得られる。

【0053】

（ａ）重心座標Ｇｃに基づき対象物Ｐごとの代表となる代表分解能Ｒ_Ｇを決定することにより、撮像サイズの補正を一度に行うことができる。特に重心座標Ｇｃの決定を、上記したようなライブラリデータを用いて求めた場合、対象物Ｐについて重心座標Ｇｃの決定を効率的に決定することができ、検査を短時間で行うことが可能になる。

【0054】

（ｂ）特に被検査台１１０の径方向（Ｘ－Ｙ方向）において幅の広い対象物Ｐが多く検出される検査においては、本実施形態における検査時間の短縮効果が大きいものとなる。画素ラインごとに画素毎分解能Ｒ_Ｉを決定する方法では、対象物Ｐの幅の広いほど撮像サイズの補正回数が多くなることに比べ、本実施形態では代表分解能Ｒ_Ｇを決定することにより一度で撮像サイズを補正できるためである。

【0055】

＜他の実施形態＞
以上、本開示の実施形態を具体的に説明した。但し、本開示は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。

【0056】

検査装置１０の検査対象とする対象物Ｐについて、特定サイズ以上の対象物Ｐのみを検出対象とし、特定サイズ以下である（例えば、ごく微細すぎる）対象物Ｐは検査対象としない検査方法としてもよい。また、対象物検出部２１０、分解能決定部２２０、撮像サイズ補正部２３０、良否判定部２４０を、情報処理装置２００に構成した例について説明したが、各部は検査装置１０内に有していればよい。

【0057】

上記実施形態では、被検査台１１０上の被検査物を取り除いた後の被検査台上に残った対象物Ｐを撮像する場合について説明したが、これに限られない。例えば、被検査台１１０上に被検査物が存在する状態で画像取得した場合、被検査物に対する異物の混入有無等を検査できる。この場合、被検査物が対象物Ｐと同質の物となる。ただし、被検査物と対象物Ｐは必ずしも同質の物である必要はなく、被検査物と対象物Ｐの材質等は相違してもよい。また、被検査物と対象物Ｐの材質が同じで、サイズのみ異なるものであってもよい。

【符号の説明】

【0058】

１０ 検査装置
１００ 画像取得部
１１０ 被検査台
１２０ カメラ
２００ 情報処理装置
２１０ 対象物検出部
２２０ 分解能決定部
２３０ 撮像サイズ補正部
２４０ 良否判定部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】