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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024062613
(43)【公開日】2024-05-10
(54)【発明の名称】液滴形成装置
(51)【国際特許分類】
B05C 11/10 20060101AFI20240501BHJP
C12M 1/00 20060101ALI20240501BHJP
B05C 5/00 20060101ALI20240501BHJP
B05C 11/00 20060101ALI20240501BHJP
【ＦＩ】
B05C11/10
C12M1/00 A
B05C5/00 101
B05C11/00
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022170575
(22)【出願日】2022-10-25
(71)【出願人】
【識別番号】000006747
【氏名又は名称】株式会社リコー
(74)【代理人】
【識別番号】110001634
【氏名又は名称】弁理士法人志賀国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】新井 大輔
(72)【発明者】
【氏名】松本 貴彦
(72)【発明者】
【氏名】野々山 裕介
【テーマコード（参考）】
4B029
4F041
4F042
【Ｆターム（参考）】
4B029AA27
4B029BB01
4B029DG10
4F041AA02
4F041AB01
4F041BA01
4F041BA10
4F041BA12
4F041BA13
4F041BA22
4F041BA32
4F041BA34
4F041BA38
4F042AA02
4F042BA06
4F042BA08
4F042BA12
4F042CA01
4F042CA06
4F042CB03
4F042DH09
(57)【要約】
【課題】沈降性粒子を含む分散液の液滴を安定して形成し、吐出することが可能な液滴形成装置を提供する。
【解決手段】沈降性粒子を含む液体の液滴を吐出する吐出ヘッドと、電気信号を供給し吐出ヘッドの動作を制御する制御部と、を備え、吐出ヘッドは、液体を保持する液保持部と、液滴を吐出する吐出口を有し、液保持部と共に液体を保持する液室を形成する膜状部材と、電気信号に基づいて膜状部材を振動させる加振手段と、を有し、電気信号は、膜状部材を振動させ液滴を形成する吐出信号と、信号波形の駆動電圧が吐出信号よりも小さく、液滴を形成しない範囲で膜状部材を振動させる撹拌信号と、駆動電圧が撹拌信号よりも小さい微振動信号と、を含み、制御部は、加振手段に、吐出信号、撹拌信号及び微振動信号のいずれか１つを選択的に供給する液滴形成装置。
【選択図】図２
【解決手段】沈降性粒子を含む液体の液滴を吐出する吐出ヘッドと、電気信号を供給し吐出ヘッドの動作を制御する制御部と、を備え、吐出ヘッドは、液体を保持する液保持部と、液滴を吐出する吐出口を有し、液保持部と共に液体を保持する液室を形成する膜状部材と、電気信号に基づいて膜状部材を振動させる加振手段と、を有し、電気信号は、膜状部材を振動させ液滴を形成する吐出信号と、信号波形の駆動電圧が吐出信号よりも小さく、液滴を形成しない範囲で膜状部材を振動させる撹拌信号と、駆動電圧が撹拌信号よりも小さい微振動信号と、を含み、制御部は、加振手段に、吐出信号、撹拌信号及び微振動信号のいずれか１つを選択的に供給する液滴形成装置。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
沈降性粒子を含む液体の液滴を吐出する吐出ヘッドと、
電気信号を供給し前記吐出ヘッドの動作を制御する制御部と、を備え、
前記吐出ヘッドは、前記液体を保持する液保持部と、
前記液滴を吐出する吐出口を有し、前記液保持部と共に前記液体を保持する液室を形成する膜状部材と、
前記電気信号に基づいて前記膜状部材を振動させる加振手段と、を有し、
前記電気信号は、前記膜状部材を振動させ前記液滴を形成する吐出信号と、
信号波形の駆動電圧が前記吐出信号よりも小さく、前記液滴を形成しない範囲で前記膜状部材を振動させる撹拌信号と、
前記駆動電圧が前記撹拌信号よりも小さい微振動信号と、を含み、
前記制御部は、前記加振手段に、前記吐出信号、前記撹拌信号及び前記微振動信号のいずれか１つを選択的に供給する液滴形成装置。
電気信号を供給し前記吐出ヘッドの動作を制御する制御部と、を備え、
前記吐出ヘッドは、前記液体を保持する液保持部と、
前記液滴を吐出する吐出口を有し、前記液保持部と共に前記液体を保持する液室を形成する膜状部材と、
前記電気信号に基づいて前記膜状部材を振動させる加振手段と、を有し、
前記電気信号は、前記膜状部材を振動させ前記液滴を形成する吐出信号と、
信号波形の駆動電圧が前記吐出信号よりも小さく、前記液滴を形成しない範囲で前記膜状部材を振動させる撹拌信号と、
前記駆動電圧が前記撹拌信号よりも小さい微振動信号と、を含み、
前記制御部は、前記加振手段に、前記吐出信号、前記撹拌信号及び前記微振動信号のいずれか１つを選択的に供給する液滴形成装置。
【請求項2】
沈降性粒子を含む液体の液滴を吐出する吐出ヘッドと、
電気信号を供給し前記吐出ヘッドの動作を制御する制御部と、を備え、
前記吐出ヘッドは、前記液体を保持する液保持部と、
前記液滴を吐出する吐出口を有し、前記液保持部と共に前記液体を保持する液室を形成する膜状部材と、
前記電気信号に基づいて前記膜状部材を振動させる加振手段と、
前記液保持部に保持される前記液体を撹拌する撹拌手段と、を有し、
前記電気信号は、前記膜状部材を振動させ前記液滴を形成する吐出信号と、
信号波形の駆動電圧が前記吐出信号よりも小さく、前記液滴を形成しない範囲で前記膜状部材を振動させる微振動信号と、
前記撹拌手段の動作を制御する制御信号と、を含み、
前記制御部は、前記加振手段に、前記吐出信号及び前記微振動信号のいずれか１つを選択的に供給するとともに、前記撹拌手段に前記制御信号を付与する液滴形成装置。
電気信号を供給し前記吐出ヘッドの動作を制御する制御部と、を備え、
前記吐出ヘッドは、前記液体を保持する液保持部と、
前記液滴を吐出する吐出口を有し、前記液保持部と共に前記液体を保持する液室を形成する膜状部材と、
前記電気信号に基づいて前記膜状部材を振動させる加振手段と、
前記液保持部に保持される前記液体を撹拌する撹拌手段と、を有し、
前記電気信号は、前記膜状部材を振動させ前記液滴を形成する吐出信号と、
信号波形の駆動電圧が前記吐出信号よりも小さく、前記液滴を形成しない範囲で前記膜状部材を振動させる微振動信号と、
前記撹拌手段の動作を制御する制御信号と、を含み、
前記制御部は、前記加振手段に、前記吐出信号及び前記微振動信号のいずれか１つを選択的に供給するとともに、前記撹拌手段に前記制御信号を付与する液滴形成装置。
【請求項3】
前記制御部は、吐出される前記液滴の吐出状態を検出する検出手段を有し、
前記吐出状態に基づいて前記液保持部に保持される前記液体を撹拌する請求項１又は２に記載の液滴形成装置。
前記吐出状態に基づいて前記液保持部に保持される前記液体を撹拌する請求項１又は２に記載の液滴形成装置。
【請求項4】
前記制御部は、前記吐出状態として、前記吐出信号に対応する前記液滴の吐出が無いことを検出し、
検出結果に基づいて前記液保持部に保持される前記液体を撹拌する請求項３に記載の液滴形成装置。
検出結果に基づいて前記液保持部に保持される前記液体を撹拌する請求項３に記載の液滴形成装置。
【請求項5】
前記検出手段は、前記吐出口に対向し、前記吐出口との相対位置を変更可能とするターゲット部と、
前記ターゲット部に着滴した前記液滴を撮像する撮像手段と、を有し、
前記制御部は、前記ターゲット部に着滴した前記液滴の位置と、前記吐出口と前記ターゲット部との相対位置に基づいて想定される前記液滴の想定着滴位置と、に基づいて、前記吐出状態を検出し、
検出結果に基づいて前記液保持部に保持される前記液体を撹拌する請求項３に記載の液滴形成装置。
前記ターゲット部に着滴した前記液滴を撮像する撮像手段と、を有し、
前記制御部は、前記ターゲット部に着滴した前記液滴の位置と、前記吐出口と前記ターゲット部との相対位置に基づいて想定される前記液滴の想定着滴位置と、に基づいて、前記吐出状態を検出し、
検出結果に基づいて前記液保持部に保持される前記液体を撹拌する請求項３に記載の液滴形成装置。
【請求項6】
前記制御部は、予め設定された時間の経過に基づいて、前記液保持部に保持される前記液体を撹拌する請求項１又は２に記載の液滴形成装置。
【請求項7】
前記制御部は、前記吐出ヘッドの駆動条件を入力する入力手段を有する請求項１又は２に記載の液滴形成装置。
【請求項8】
前記駆動条件として、前記電気信号の駆動電圧、前記信号波形の周波数、及び前記電気信号の印加間隔からなる群から選ばれる少なくとも１つを入力可能である請求項７に記載の液滴形成装置。
【請求項9】
前記制御部は、前記液体の種類と前記駆動条件との対応関係を複数記憶する記憶部を有し、
前記入力手段は、前記液滴の種類を入力する請求項７に記載の液滴形成装置。
前記入力手段は、前記液滴の種類を入力する請求項７に記載の液滴形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、液滴形成装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、インクなどの液状体（液）を所望の位置に吐出する技術として、インクジェット方式の液滴形成装置が知られている。
【0003】
近年では、液滴形成装置において、従来の二次元印刷の際に用いたインクに変わる種々の液を吐出することが求められる。例えば、吐出の対象となる液は、溶液のほか分散液も挙げられる。分散液に含まれる分散質（粒子）としては、樹脂材料のような有機材料、金属粒子や酸化物粒子のような無機材料、細胞や遺伝子のような生体由来材料を挙げることができる。
【0004】
液滴吐出装置において上述のような分散液を吐出する場合、液室で分散質が沈降することがある。以下の説明においては、分散液において沈降する分散質のことを「沈降性粒子」と称することがある。沈降性粒子が沈降すると、吐出する液滴量が一定であったとしても、吐出する液体に含まれる沈降性粒子の濃度が変化し、所望の量の分散質を安定して吐出することが困難となる。
【0005】
このような従来の課題に対し、沈降性粒子を含む分散液を貯留する液滴形成装置において、分散液を適宜加振し、対流させて撹拌する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１においては、液滴形成装置において液滴を形成する際に用いる膜状部材を、液滴を形成しない範囲で加振することで、液体を撹拌している。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
上記特許文献１の構成では、装置の個体差や貯留されている液量により、膜状部材に同じ振動を加えても撹拌が不十分である場合や、液体の撹拌に留まらず液滴を吐出してしまう場合があった。そのため、安定的に一定品質の液滴を形成しにくく、改善が求められていた。
【0007】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、沈降性粒子を含む分散液の液滴を安定して形成し、吐出することが可能な液滴形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記の課題を解決するため、本発明の一態様は、沈降性粒子を含む液体の液滴を吐出する吐出ヘッドと、電気信号を供給し前記吐出ヘッドの動作を制御する制御部と、を備え、前記吐出ヘッドは、前記液体を保持する液保持部と、前記液滴を吐出する吐出口を有し、前記液保持部と共に前記液体を保持する液室を形成する膜状部材と、前記電気信号に基づいて前記膜状部材を振動させる加振手段と、を有し、前記電気信号は、前記膜状部材を振動させ前記液滴を形成する吐出信号と、信号波形の駆動電圧が前記吐出信号よりも小さく、前記液滴を形成しない範囲で前記膜状部材を振動させる撹拌信号と、前記駆動電圧が前記撹拌信号よりも小さい微振動信号と、を含み、前記制御部は、前記加振手段に、前記吐出信号、前記撹拌信号及び前記微振動信号のいずれか１つを選択的に供給する液滴形成装置を提供する。
【発明の効果】
【0009】
本発明においては、沈降性粒子を含む分散液の液滴を安定して形成し、吐出することが可能な液滴形成装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
［第１実施形態］
以下、図１～図５を参照しながら、本発明の第１実施形態に係る液滴形成装置について説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。
以下、図１～図５を参照しながら、本発明の第１実施形態に係る液滴形成装置について説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。
【0012】
【0013】
以下の説明においては、ｘｙｚ直交座標系を設定し、このｘｙｚ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。ここでは、水平面内の所定方向をｘ軸方向、水平面内においてｘ軸方向と直交する方向をｙ軸方向、ｘ軸方向及びｙ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をｚ軸方向とする。
【0014】
また、鉛直方向上方を＋ｚ方向とし、鉛直方向下方を－ｚ方向とする。以下の説明において、「上方」「上面」の「上」、「下方」「下面」の「下」も同じ意味とする。
【0015】
さらに、以下の説明において「平面視」とは、対象物を上方から視ることを指し、「平面形状」とは、対象物を上方から視た形状を指すものとする。
【0016】
《吐出部》
図１に示すように、吐出部１０は、吐出ヘッド１１０と、第１移動部１０２と、第２移動部１０３とを有する。
図１に示すように、吐出部１０は、吐出ヘッド１１０と、第１移動部１０２と、第２移動部１０３とを有する。
【0017】
＜吐出ヘッド＞
吐出ヘッド１１０は、沈降性粒子を含む液体の液滴Ｌ１を吐出する。吐出部１０は、吐出ヘッド１１０を１つのみ有していてもよく、複数有していてもよい。図に示す吐出部１０は、３つの吐出ヘッド１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃを有する。３つの吐出ヘッド１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃをまとめて吐出ユニット１０１Ａと称する。
吐出ヘッド１１０は、沈降性粒子を含む液体の液滴Ｌ１を吐出する。吐出部１０は、吐出ヘッド１１０を１つのみ有していてもよく、複数有していてもよい。図に示す吐出部１０は、３つの吐出ヘッド１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃを有する。３つの吐出ヘッド１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃをまとめて吐出ユニット１０１Ａと称する。
【0018】
吐出ヘッド１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃは、それぞれ同じ構成であってもよく、互いに異なる構成であってもよい。
【0019】
３つの吐出ヘッド１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃは、吐出ヘッド１１０から吐出される液の吐出方向（図では、－ｚ方向）と交差する方向（図ではｘ方向）に配列している。
【0020】
図２は、吐出ヘッド１１０の概略図である。吐出ヘッド１１０は、液保持部１１１と、ノズルプレート（膜状部材）１１２と、加振手段１１３とを有する。
【0021】
液保持部１１１、ノズルプレート１１２及び加振手段１１３で囲まれた空間は、吐出ヘッド１１０の液室１１０Ａである。液室１１０Ａには、沈降性粒子を含む液体（液Ｌ）が保持される。
【0022】
液室１１０Ａに保持される液Ｌの量としては、特に限定はされない。例えば、液室１１０Ａに保持される液Ｌの量として、１μｌから１ｍｌ程度を挙げることができる。液滴形成装置１から細胞懸濁液のように高価な液を吐出する際には、液室１１０Ａに保持される液Ｌの量を、１μｌから２００μｌ程度とするとよい。
【0023】
液滴形成装置１で吐出する液Ｌは、沈降性粒子である分散質（粒子Ｐ）と、粒子Ｐが分散した分散媒ＤＭとを有する。
【0024】
粒子Ｐとしては、ポリマー粒子のような有機材料、金属微粒子、無機酸化物粒子のような無機材料を挙げることができる。金属微粒子としては、銀粒子、銅粒子等を挙げることができる。無機微粒子としては、酸化チタン粒子や酸化ケイ素粒子を挙げることができる。
【0025】
また、粒子Ｐとして、細胞を用いることもできる。細胞としては、植物細胞や動物細胞を適用できる。動物細胞としては、特にヒト由来の細胞を挙げることができる。
【0026】
分散媒ＤＭとしては、水、アルコールなどを挙げることができる。分散媒ＤＭには、蒸発を抑えるための湿潤剤や、表面張力を下げるための界面活性剤が含まれていてもよい。
【0027】
本実施形態においては、液滴形成装置１で吐出する液Ｌが、分散媒ＤＭに粒子Ｐとして細胞を分散させた分散液であることとして説明する。この場合、分散媒ＤＭとしては、リン酸緩衝生理食塩水（Phosphate Buffered Saline）やHank's Balanced Salt Solutionなどの公知の緩衝液、各種細胞用の培地を用いることができる。
【0028】
吐出ヘッド１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃは、それぞれ同じ液Ｌを保持してもよく、互いに異なる液Ｌを保持してもよい。
【0029】
（液保持部）
液保持部１１１は、ｚ軸方向の両端部が開口した筒状の部材である。液保持部１１１の材料としては、例えば、金属、シリコン、セラミックス、高分子材料などが挙げられる。
液保持部１１１は、ｚ軸方向の両端部が開口した筒状の部材である。液保持部１１１の材料としては、例えば、金属、シリコン、セラミックス、高分子材料などが挙げられる。
【0030】
液保持部１１１の下方端部は、ノズルプレート１１２と加振手段１１３とで塞がれている。粒子Ｐとして細胞を用いる場合、液保持部１１１の上方端部は開口しているとよい。液保持部１１１の上方が開口していると、液滴の吐出時に液保持部１１１に保持されている液Ｌが加圧されにくく、細胞の破損を抑制することができる。
【0031】
（ノズルプレート（膜状部材））
ノズルプレート１１２は、吐出口１１２ｘを有する環状の部材である。ノズルプレート１１２は、液保持部１１１の下方端部を塞ぎ、液保持部１１１と共に液Ｌを保持する液室１１０Ａを形成する。吐出口１１２ｘは、液保持部１１１と連通している。
ノズルプレート１１２は、吐出口１１２ｘを有する環状の部材である。ノズルプレート１１２は、液保持部１１１の下方端部を塞ぎ、液保持部１１１と共に液Ｌを保持する液室１１０Ａを形成する。吐出口１１２ｘは、液保持部１１１と連通している。
【0032】
ノズルプレート１１２の平面形状、平面視したときの大きさ、材質、及び構造については特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
【0033】
ノズルプレート１１２の外縁の平面形状としては、例えば、円形、楕円形、長方形、正方形、菱形などが挙げられる。例えば、ノズルプレート１１２の外縁の形状が円形である場合、ノズルプレート１１２は円環状の部材となる。
【0034】
ノズルプレート１１２は、吐出口１１２ｘ側の端部が支持されておらず、上下に振動可能である。ノズルプレート１１２は、吐出口１１２ｘ側の端部が振動することにより、吐出口１１２ｘ近傍の液Ｌに対して下方に力を加え、吐出口１１２ｘから液滴Ｌ１として吐出する。
【0035】
ノズルプレート１１２の材料としては、柔らかすぎるとノズルプレート１１２が簡単に振動し、吐出しないときに直ちに振動を抑えることが困難であるため、ある程度の硬さを有する材料を用いることが好ましい。
【0036】
また、吐出する液Ｌが細胞の分散液である場合、ノズルプレート１１２の材料は、細胞が付着し難い材料が好ましい。このような材料としては、親水性が高い材料が好ましい。
【0037】
このような材料としては、例えば、金属、セラミックス、高分子材料などが挙げられる。高分子材料としては、フッ素樹脂を用いることが可能である。
【0038】
ノズルプレート１１２の材料として、より具体的には、ステンレス鋼、ニッケル、アルミニウム、二酸化ケイ素、アルミナ、ジルコニアなどが挙げられる。さらに、上記材料とは異なる材料で形成したノズルプレート１１２の表面を、前述の金属、セラミックス又は細胞膜を模した合成リン脂質ポリマー（例えば日油株式会社製、Lipidure）でコーティングした複合材料を用いることができる。
【0039】
吐出口１１２ｘの開口形状としては、目的に応じて適宜選択することができる。吐出口１１２ｘの開口形状としては、例えば、円形、楕円形、四角形などが挙げられる。なかでも、吐出口１１２ｘの開口形状としては、円形が好ましい。
【0040】
吐出口１１２ｘの平均開口径としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。吐出する液Ｌが分散液である場合には、液Ｌ中に分散する細胞などの分散質が吐出口１１２ｘに詰まることを避けるため、吐出口１１２ｘの開口形状は、分散質の最大径の２倍以上とすることが好ましい。
【0041】
（加振手段）
加振手段１１３は、入力される電気信号に基づいてノズルプレート１１２を振動させ、吐出口１１２ｘから液滴Ｌ１を吐出させる。
加振手段１１３は、入力される電気信号に基づいてノズルプレート１１２を振動させ、吐出口１１２ｘから液滴Ｌ１を吐出させる。
【0042】
加振手段１１３は、ノズルプレート１１２の下面に設置されている。
【0043】
加振手段１１３の形状、大きさ、材質、及び構造については特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
【0044】
加振手段１１３の形状や配置は、発明の効果を阻害しないならば特に制限はなく、ノズルプレート１１２の形状に合わせて適宜設計することができる。例えば、ノズルプレート１１２の平面形状が円環状である場合には、吐出口１１２ｘの周囲に、同心状に加振手段１１３を設けることが好ましい。
【0045】
加振手段１１３としては、圧電素子が好適に用いられる。圧電素子としては、例えば、圧電材料の上面及び下面に電圧を印加するための電極を設けた構造とすることができる。
この場合、制御部５０Ａから圧電素子の上下電極間に電圧を印加することによって膜の面横方向に圧縮応力が加わり、ノズルプレート１１２を膜の面上下方向に振動させることができる。
この場合、制御部５０Ａから圧電素子の上下電極間に電圧を印加することによって膜の面横方向に圧縮応力が加わり、ノズルプレート１１２を膜の面上下方向に振動させることができる。
【0046】
圧電材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）、ビスマス鉄酸化物、ニオブ酸金属物、チタン酸バリウム、又はこれらの材料に金属や異なる酸化物を加えたものなどが挙げられる。これらの中でも、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）が好ましい。
【0047】
＜第１移動部＞
第１移動部１０２は、支持部材１０２ａと、直動部１０２ｂとを有する。第１移動部１０２は、第２移動部１０３の＋ｘ側の端部と－ｘ側の端部とに設けられた一対の部材である。
第１移動部１０２は、支持部材１０２ａと、直動部１０２ｂとを有する。第１移動部１０２は、第２移動部１０３の＋ｘ側の端部と－ｘ側の端部とに設けられた一対の部材である。
【0048】
支持部材１０２ａは、＋ｙ方向から見た視野において矩形の部材であり、第２移動部１０３を支持する。
【0049】
直動部１０２ｂは、ｚ軸方向に伸びた長尺の部材である。直動部１０２ｂは、支持部材１０２ａをｚ軸方向に上下移動させる。直動部１０２ｂは、例えば、駆動源としてステッピングモータを備えた公知のリニアアクチュエータを採用することができる。
【0050】
第１移動部１０２は、支持部材１０２ａをｚ軸方向に移動させることにより、第２移動部１０３が支持する吐出ユニット１０１Ａをｚ軸方向に移動させる。
【0051】
＜第２移動部＞
第２移動部１０３は、支持部材１０３ａと、直動部１０３ｂとを有する。
第２移動部１０３は、支持部材１０３ａと、直動部１０３ｂとを有する。
【0052】
支持部材１０３ａは、＋ｙ方向から見た視野において矩形の部材であり、吐出ユニット１０１Ａを支持する。
【0053】
直動部１０３ｂは、ｘ軸方向に伸びた長尺の部材である。直動部１０３ｂは、支持部材１０３ａをｘ軸方向に水平移動させる。直動部１０３ｂの両端は、それぞれ第１移動部１０２の支持部材１０２ａに支持されている。
【0054】
直動部１０３ｂは、例えば、駆動源としてステッピングモータを備えた公知のリニアアクチュエータを採用することができる。
【0055】
第２移動部１０３は、支持部材１０３ａをｘ軸方向に移動させることにより、支持部材１０３ａが支持する吐出ユニット１０１Ａをｘ軸方向に移動させる。
【0056】
《付着部》
付着部３０は、吐出部１０から吐出される液滴Ｌ１の吐出方向に配置され、液滴Ｌ１が付着する。付着部３０は、液の吐出目的に応じた種々の材質及び形状を有する構造物を選択することができる。
付着部３０は、吐出部１０から吐出される液滴Ｌ１の吐出方向に配置され、液滴Ｌ１が付着する。付着部３０は、液の吐出目的に応じた種々の材質及び形状を有する構造物を選択することができる。
【0057】
《載置部》
載置部４０は、付着部３０を載置する。載置部４０は、ｘステージ４１と、ｙステージ４２と、基台４３を有する。
載置部４０は、付着部３０を載置する。載置部４０は、ｘステージ４１と、ｙステージ４２と、基台４３を有する。
【0058】
ｘステージ４１は、付着部３０を支持し固定する。また、ｘステージ４１は、付着部３０をｘ軸方向に水平移動させる。
【0059】
ｙステージ４２は、ｘステージ４１をｙ軸方向に水平移動させる。
基台４３は、ｙステージ４２を支持する。
基台４３は、ｙステージ４２を支持する。
【0060】
載置部４０は、ｘｙステージとして公知の構成を採用することができる。
【0061】
《制御部》
制御部５０Ａは、液滴形成装置１の各部を動作させる電気信号を作成し、各部に供給して制御する。制御部５０Ａは、例えば、吐出部１０、載置部４０に供給する駆動信号を作成し、各部に供給して各部の動作を制御する。
制御部５０Ａは、液滴形成装置１の各部を動作させる電気信号を作成し、各部に供給して制御する。制御部５０Ａは、例えば、吐出部１０、載置部４０に供給する駆動信号を作成し、各部に供給して各部の動作を制御する。
【0062】
より詳細には、制御部５０Ａは、吐出ヘッド１１の加振手段１１３に対し、以下の３種の電気信号のうちいずれか１つを選択的に供給する。これにより、吐出ヘッド１１は次のように動作する。
（ｉ）ノズルプレート１１２を振動させ液滴Ｌ１を形成する吐出信号Ｓ１
（ii）液滴Ｌ１を形成しない範囲でノズルプレート１１２を振動させる撹拌信号Ｓ２
（iii）撹拌信号Ｓ２により生じる振動よりも弱くノズルプレート１１２を振動させる微振動信号Ｓ３
（ｉ）ノズルプレート１１２を振動させ液滴Ｌ１を形成する吐出信号Ｓ１
（ii）液滴Ｌ１を形成しない範囲でノズルプレート１１２を振動させる撹拌信号Ｓ２
（iii）撹拌信号Ｓ２により生じる振動よりも弱くノズルプレート１１２を振動させる微振動信号Ｓ３
【0063】
まず、図２に示すように、制御部５０Ａから加振手段１１３に対し電気信号が供給されると、加振手段１１３が振動しノズルプレート１１２を振動させる。このとき、加振手段１１３に吐出信号Ｓ１が供給されると、ノズルプレート１１２の吐出口１１２ｘ近傍には、振動Ｖ１が生じる。この振動Ｖ１により、液室１１０Ａに貯留される液Ｌは液滴Ｌ１として吐出される。
【0064】
次いで、図３に示すように、制御部５０Ａから加振手段１１３に撹拌信号Ｓ２が供給されると、ノズルプレート１１２の吐出口１１２ｘ近傍には、振動Ｖ１よりも小さい振幅の振動Ｖ２が生じる。振動Ｖ２により、液室１１０Ａに貯留される液Ｌには対流Ｃが生じる。これにより、液Ｌが撹拌され、液Ｌにおいて粒子Ｐが均一に分散する。
【0065】
このような撹拌信号Ｓ２は、例えば、信号波形の駆動電圧を吐出信号Ｓ１よりも小さくすることにより作成できる。その他、液滴Ｌ１を形成しない範囲でノズルプレート１１２を振動させることができれば、撹拌信号Ｓ２は、電気信号の駆動電圧、信号波形の周波数及び電気信号の印加間隔からなる群から選ばれる少なくとも１つを制御して作成してもよい。
【0066】
さらに、図４に示すように、制御部５０Ａから加振手段１１３に微振動信号Ｓ３が供給されると、ノズルプレート１１２の吐出口１１２ｘ近傍には、振動Ｖ２よりも小さい振幅の振動Ｖ３が生じる。振動Ｖ３により、吐出口１１２ｘ近傍の液Ｌは振動し、粒子Ｐが巻き上げられる。これにより、粒子Ｐは液室１１０Ａの底部（ノズルプレート１１２の上面）に堆積しにくくなる。
【0067】
すなわち、微振動信号Ｓ３は、ノズルプレート１１２を撹拌信号Ｓ２により生じる振動よりも弱く振動させる。また、微振動信号Ｓ３は、液室１１０Ａに貯留される液Ｌの量が使用上の最小量である場合にも、液滴Ｌ１を形成しない範囲でノズルプレート１１２を振動させる。
【0068】
このような微振動信号Ｓ３は、例えば、信号波形の駆動電圧を撹拌信号Ｓ２よりも小さくすることにより作成できる。その他、振動Ｖ２よりも弱くノズルプレート１１２を振動させることができれば、微振動信号Ｓ３は、電気信号の駆動電圧、信号波形の周波数及び電気信号の印加間隔からなる群から選ばれる少なくとも１つを制御して作成してもよい。
【0069】
微振動信号Ｓ３による振動Ｖ３は、液Ｌを均一に撹拌する振動Ｖ２ほどの強さを必要とせず、吐出口１１２ｘ近傍の液Ｌを振動させることができれば足りる。そのため、振動Ｖ３は、液室１１０Ａに貯留される液Ｌの量が変化しても、目的とする振動を液Ｌに加え、吐出口１１２ｘ近傍の粒子Ｐを巻き上げることができる。
【0070】
また、微振動信号Ｓ３による振動Ｖ３は、液室１１０Ａに貯留される液Ｌが減少したとしても、誤って液滴Ｌ１を形成することがない。これにより、吐出不良を抑制し、沈降性の粒子Ｐを含む液滴を安定的に吐出させることができる。
【0071】
制御部５０Ａは、吐出ヘッド１１から液滴Ｌ１を断続的に吐出させる際、次のように各電気信号を供給するとよい。
【0072】
まず、制御部５０Ａは、微振動信号Ｓ３を、液滴Ｌ１の吐出から次の液滴Ｌ１の吐出までの待機時間において継続的に供給するとよい。これにより、吐出ヘッド１１では、待機時間においても粒子Ｐが液室１１０Ａの底部に堆積しにくく、吐出不良が生じにくい。
【0073】
また、制御部５０Ａは、吐出不良が生じる前に、撹拌信号Ｓ２を加振手段１１３に供給し、液室１１０Ａ内の液Ｌを撹拌するとよい。これにより、吐出ヘッド１１では、液室１１０Ａの底部に粒子Ｐが堆積していたとしても、液Ｌにおいて再度粒子Ｐを分散させ、好適に吐出することができる。
【0074】
例えば、制御部５０Ａは、予め設定された時間の経過に基づいて加振手段１１３に撹拌信号Ｓ２を供給し、液保持部に保持される液Ｌを撹拌することとしてもよい。撹拌信号Ｓ２を供給する時間は、用いる液Ｌの種類に応じて、粒子Ｐが堆積するまでの時間を求め、求めた時間に応じて設定するとよい。制御部５０Ａが上述のように求めた時間で撹拌信号Ｓ２を供給することにより、吐出ヘッド１１は、粒子Ｐが堆積し吐出不良が生じるおそれが高くなる前に液Ｌを撹拌し、好適に吐出することができる。
【0075】
また、制御部５０Ａは、実際に吐出不良が生じたことを検出した場合に、撹拌信号Ｓ２を供給し液Ｌを撹拌することとしてもよい。このような検出を行うため、制御部５０Ａは、吐出される液滴Ｌ１の吐出状態を検出する検出手段５８を有していてもよい。
【0076】
検出手段５８は、吐出ヘッド１１の吐出口１１２ｘの近傍に設けられ、吐出口１１２ｘから吐出される液滴Ｌ１を検出する。検出手段５８としては、液滴Ｌ１を撮像する撮像装置や、飛翔する液滴Ｌ１を検出する光センサを採用することができる。撮像装置及び光センサは、公知の構成を採用することができる。
【0077】
図５は、制御部５０Ａを説明するブロック図である。図５に示すように、制御部５０Ａは、検出部５１１と、指示部５１２とを有する制御装置５１を備える。さらに制御部５０Ａは、入力部（入力手段）５５と、検出手段５８とを有してもよい。
【0078】
制御装置５１としては、公知の情報処理端末を用いることができる。
【0079】
入力部５５は、制御装置５１に吐出ヘッド１１の駆動条件を入力するインターフェースである。入力部５５としては、キーボード及びマウス等が挙げられる。
【0080】
制御部５０Ａにおいて、検出部５１１は、検出手段５８による検出結果に基づいて、吐出不良の有無、詳しくは吐出ヘッド１１に供給した吐出信号Ｓ１に対応する液滴Ｌ１の吐出の有無を検出する。
【0081】
指示部５１２は、検出部５１１において吐出不良と判定された場合には、撹拌信号Ｓ２を吐出ヘッド１１（加振手段１１３）に供給する。これにより、制御部５０Ａは、実際に吐出不良が生じたことを検出した場合に、検出結果に基づいて加振手段１１３に撹拌信号Ｓ２を供給し、液保持部に保持される液Ｌを撹拌することができる。
【0082】
その他、指示部５１２は、入力部５５から入力される指示に基づいて、撹拌信号Ｓ２を吐出ヘッド１１に供給してもよい。
【0083】
さらに、制御部５０Ａ（制御装置５１）は、記憶部５１３を備えていてもよい。記憶部５１３は、吐出する液Ｌの種類と駆動条件との対応関係、及び入力部５５から入力される指示に対する詳細な駆動条件を記憶する。
【0084】
液Ｌの種類は、液Ｌに含まれる粒子Ｐ及び分散媒の種類によって分類される。液滴形成装置１においては、種々の液Ｌに対する適切な駆動条件を予め予備実験で求めておき、求められた駆動条件を記憶部５１３に記憶しておくとよい。
【0085】
記憶部５１３は、液Ｌの種類と駆動条件との対応関係を、関係式や参照テーブルの形で記憶しておいてもよい。また、「入力部５５から入力される指示」について、予め複数条件をまとめたうえで、「モード１」「モード２」等の総称を用いてもよい。
【0086】
このような制御部５０Ａでは、入力部５５を用いて液Ｌの種類を入力することにより、記憶部５１３から液Ｌの種類に応じた駆動条件を指示部５１２に呼び出し、適切な電気信号を吐出ヘッド１１に供給することができる。
【0087】
なお、制御部５０Ａにおいては、入力部５５を用い、駆動条件として、加振手段１１３に供給する電気信号の駆動電圧、信号波形の周波数、及び電気信号の印加間隔からなる群から選ばれる少なくとも１つを入力可能であると好ましい。これにより、例えば、記憶部５１３に記憶されていない種類の液Ｌを吐出する際、適切な駆動条件を自由に入力可能となる。
【0088】
これらの操作により、液室１１０Ａで保持する液Ｌでは、粒子Ｐが好適に分散した状態となる。さらに液Ｌでは、粒子Ｐの沈降及び粒子Ｐの液室１１０Ａの底部への堆積が抑制される。そのため、以上のような構成の液滴形成装置１によれば、分散液を安定して吐出することが可能となる。
【0089】
［第２実施形態］
図６，７は、本発明の第２実施形態に係る液滴形成装置２の説明図である。本実施形態の液滴形成装置２の構成は、第１実施形態の液滴形成装置１と一部共通している。したがって、本実施形態において第１実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
図６，７は、本発明の第２実施形態に係る液滴形成装置２の説明図である。本実施形態の液滴形成装置２の構成は、第１実施形態の液滴形成装置１と一部共通している。したがって、本実施形態において第１実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
【0090】
【0091】
図６，７に示すように、液滴形成装置２は、吐出部１０と、載置部４０と、制御部５０Ｂとを有する。制御部５０Ｂは、上述の制御部５０Ａが有する検出手段５８の代わりに検出手段５９を有する。
【0092】
検出手段５９は、ターゲット部５９１と、撮像手段５９２とを有する。
【0093】
ターゲット部５９１は、吐出ヘッド１１の吐出口１１２ｘに対向し、例えば載置部４０に載置されることで吐出口１１２ｘとの相対位置を変更可能に構成されている。ターゲット部５９１は、吐出ヘッド１１から液滴Ｌ１を試し打ちするために用いる。ターゲット部５９１には、吐出口１１２ｘから理想的な吐出状態で吐出された液滴Ｌ１が着滴する位置に、基準となる印（基準点）が付されているとよい。
【0094】
撮像手段５９２は、ターゲット部５９１に着滴した液滴Ｌ１を撮像する。撮像手段５９２は、下方を撮像可能な姿勢で支持部材１０３ａに設けられている。図６では、撮像手段５９２は、複数の吐出ヘッド１１に対して１つ設けることとしたが、例えば複数の吐出ヘッド１１毎に撮像手段を設けることとしてもよい。その場合、撮像手段５９２は、吐出ヘッド１１の吐出口１１２ｘの近傍に設けられているとよい。
【0095】
撮像手段５９２としては、ＣＣＤカメラやＣＭＯＳカメラなどの公知の撮像装置を用いることができる。
【0096】
図７に示すように、液滴形成装置２においては、吐出ヘッド１１の吐出状態を確認する際、まず吐出ヘッド１１に対向させたターゲット部５９１に液滴Ｌ１を吐出する。次いで、ターゲット部５９１を撮像手段５９２に対向する位置に移動させ、ターゲット部５９１における液滴Ｌ１の着滴位置を撮像する。
【0097】
制御部５０Ｂにおいて、検出部５１１は、ターゲット部５９１に着滴した液滴Ｌ１の位置Ｐ１と、吐出口１１２ｘとターゲット部５９１との相対位置に基づいて想定される液滴Ｌ１の想定着滴位置Ｐ２とに基づいて、位置Ｐ１と想定着滴位置Ｐ２とのずれ量Ｗを検出し、吐出状態を検出する。吐出口１１２ｘから理想的な吐出状態で吐出された液滴Ｌ１が吐出された場合、想定着滴位置Ｐ２はターゲット部５９１が有する基準点と一致し、位置Ｐ１は基準点と重なると考えられる。
【0098】
検出部５１１では、実際に着滴した位置Ｐ１と想定着滴位置Ｐ２とが一致する、またはずれ量Ｗが予め定めた基準範囲内に収まれば、吐出不良は無いと判断する。一方で、検出されたずれ量Ｗが基準範囲から外れていれば、吐出不良が生じていると判断する。
【0099】
記憶部５１３は、ずれ量Ｗの基準範囲について記憶しておくとよい。なお、ずれ量Ｗの基準範囲は、用いる装置の吐出ヘッドの構成、液Ｌの種類等により異なる。そのため、ずれ量Ｗの基準範囲については、予備実験を行い適宜設定するとよい。
【0100】
指示部５１２は、検出部５１１において吐出不良と判定された場合には、撹拌信号Ｓ２を吐出ヘッド１１（加振手段１１３）に供給する。これにより、制御部５０Ｂは、実際に吐出不良が生じたことを検出した場合に、検出結果に基づいて加振手段１１３に撹拌信号Ｓ２を供給し、液保持部に保持される液Ｌを撹拌することができる。
【0101】
以上のような構成の液滴形成装置２であっても、分散液を安定して吐出することが可能となる。
【0102】
［第３実施形態］
図８は、第３実施形態の液滴形成装置３の説明図であり、液滴形成装置３が有する吐出ヘッドの説明図である。
図８は、第３実施形態の液滴形成装置３の説明図であり、液滴形成装置３が有する吐出ヘッドの説明図である。
【0103】
吐出ヘッド１１５は、液保持部１１１と、ノズルプレート１１２と、加振手段１１３と、撹拌手段１３０とを有する。
【0104】
＜撹拌手段＞
撹拌手段１３０は、液室１１０Ａへの液Ｌの供給と、液室１１０Ａからの液Ｌの除去とを行う。撹拌手段１３０は、第１貯留部１３１、第１流路１３２、第１ポンプ１３３、第２貯留部１３６、第２流路１３７及び第２ポンプ１３８を有する。
撹拌手段１３０は、液室１１０Ａへの液Ｌの供給と、液室１１０Ａからの液Ｌの除去とを行う。撹拌手段１３０は、第１貯留部１３１、第１流路１３２、第１ポンプ１３３、第２貯留部１３６、第２流路１３７及び第２ポンプ１３８を有する。
【0105】
第１貯留部１３１及び第２貯留部１３６は、それぞれ液Ｌを貯留する。
【0106】
第１流路１３２は、一端が第１貯留部１３１に接続され、他端が液保持部１１１に設けられた貫通孔１１１ａに接続されている。これにより、第１流路１３２は、第１貯留部１３１と液室１１０Ａとを接続する。貫通孔１１１ａは、液室１１０Ａ内の液Ｌの液面ＬＳより下方に位置する。
【0107】
第２流路１３７は、一端が第２貯留部１３６に接続され、他端が液保持部１１１に設けられた貫通孔１１１ｂに接続されている。これにより、第２流路１３７は、第２貯留部１３６と液室１１０Ａとを接続する。貫通孔１１１ｂは、液室１１０Ａ内の液Ｌの液面ＬＳより下方に位置する。
【0108】
第１流路１３２及び第２流路１３７は、軟質の樹脂材料を形成材料とする管である。軟質の樹脂材料としては、ポリウレタン、シリコーンゴム、フッ素樹脂などが挙げられる。
【0109】
第１ポンプ１３３は、第１流路１３２の経路内に設けられている。第１ポンプ１３３は、第１流路１３２を介して、第１貯留部１３１から液室１１０Ａに液Ｌを供給し、又は液室１１０Ａから液Ｌを除去する。
【0110】
第２ポンプ１３８は、第２流路１３７の経路内に設けられている。第２ポンプ１３８は、第２流路１３７を介して、第２貯留部１３６から液室１１０Ａに液Ｌを供給し、又は液室１１０Ａから液Ｌを除去する。
【0111】
第１ポンプ１３３及び第２ポンプ１３８は、定量液量を吸引、保持、排出可能なポンプである。第１ポンプ１３３及び第２ポンプ１３８として、例えば、シリンジポンプやダイヤフラムポンプを用いることができる。
【0112】
《制御部》
制御部５０Ａは、液滴形成装置３の各部を動作させる電気信号を作成し、各部に供給して制御する。制御部５０Ａは、上述した各信号の他、撹拌手段１３０の動作を制御する制御信号を作成して供給する。
制御部５０Ａは、液滴形成装置３の各部を動作させる電気信号を作成し、各部に供給して制御する。制御部５０Ａは、上述した各信号の他、撹拌手段１３０の動作を制御する制御信号を作成して供給する。
【0113】
本実施形態において、制御部５０Ａは、吐出ヘッド１１の加振手段１１３に対し、以下の２種の電気信号のいずれか１つを選択的に供給する。
（ｉ）ノズルプレート１１２を振動させ液滴Ｌ１を形成する吐出信号Ｓ１
（ii）液滴Ｌ１を形成しない範囲でノズルプレート１１２を振動させる微振動信号Ｓ３
（ｉ）ノズルプレート１１２を振動させ液滴Ｌ１を形成する吐出信号Ｓ１
（ii）液滴Ｌ１を形成しない範囲でノズルプレート１１２を振動させる微振動信号Ｓ３
【0114】
加振手段１１３に微振動信号Ｓ３が供給されると、ノズルプレート１１２の吐出口１１２ｘ近傍には、液滴Ｌ１を形成しない振幅の振動Ｖ３が生じる。振動Ｖ３により、吐出口１１２ｘ近傍の液Ｌは振動し、粒子Ｐが巻き上げられる。これにより、粒子Ｐは液室１１０Ａの底部（ノズルプレート１１２の上面）に堆積しにくくなる。
【0115】
制御部５０Ａにおいて、検出部５１１（図５参照）は、検出手段５８による検出結果に基づいて、吐出不良の有無、詳しくは吐出ヘッド１１に供給した吐出信号Ｓ１に対応する液滴Ｌ１の吐出の有無を検出する。
【0116】
指示部５１２（図５参照）は、検出部５１１において吐出不良と判定された場合には、撹拌手段１３０の動作を制御する制御信号を撹拌手段１３０に供給する。これにより、制御部５０Ａは、実際に吐出不良が生じたことを検出した場合に、検出結果に基づいて撹拌手段１３０を動作させ、液保持部に保持される液Ｌを撹拌することができる。
【0117】
以上のような構成の液滴形成装置３であっても、分散液を安定して吐出することが可能となる。
【0118】
なお、本実施形態においては、検出手段５８を備えた制御部５０Ａを用いることとしたが、第２実施形態に示す制御部５０Ｂを用いてもよい。
【0119】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【0120】
上記の課題を解決するため、本発明の一態様は、以下の態様を包含する。
【0121】
［１］沈降性粒子を含む液体の液滴を吐出する吐出ヘッドと、電気信号を供給し前記吐出ヘッドの動作を制御する制御部と、を備え、前記吐出ヘッドは、前記液体を保持する液保持部と、前記液滴を吐出する吐出口を有し、前記液保持部と共に前記液体を保持する液室を形成する膜状部材と、前記電気信号に基づいて前記膜状部材を振動させる加振手段と、を有し、前記電気信号は、前記膜状部材を振動させ前記液滴を形成する吐出信号と、信号波形の駆動電圧が前記吐出信号よりも小さく、前記液滴を形成しない範囲で前記膜状部材を振動させる撹拌信号と、前記駆動電圧が前記撹拌信号よりも小さい微振動信号と、を含み、前記制御部は、前記加振手段に、前記吐出信号、前記撹拌信号及び前記微振動信号のいずれか１つを選択的に供給する液滴形成装置。
【0122】
［２］沈降性粒子を含む液体の液滴を吐出する吐出ヘッドと、電気信号を供給し前記吐出ヘッドの動作を制御する制御部と、を備え、前記吐出ヘッドは、前記液体を保持する液保持部と、前記液滴を吐出する吐出口を有し、前記液保持部と共に前記液体を保持する液室を形成する膜状部材と、前記電気信号に基づいて前記膜状部材を振動させる加振手段と、前記液保持部に保持される前記液体を撹拌する撹拌手段と、を有し、前記電気信号は、前記膜状部材を振動させ前記液滴を形成する吐出信号と、信号波形の駆動電圧が前記吐出信号よりも小さく、前記液滴を形成しない範囲で前記膜状部材を振動させる微振動信号と、前記撹拌手段の動作を制御する制御信号と、を含み、前記制御部は、前記加振手段に、前記吐出信号及び前記微振動信号のいずれか１つを選択的に供給するとともに、前記撹拌手段に前記制御信号を付与する液滴形成装置。
【0123】
［３］前記制御部は、吐出される前記液滴の吐出状態を検出する検出手段を有し、前記吐出状態に基づいて前記液保持部に保持される前記液体を撹拌する［１］又は［２］に記載の液滴形成装置。
【0124】
［４］前記制御部は、前記吐出状態として、前記吐出信号に対応する前記液滴の吐出が無いことを検出し、検出結果に基づいて前記液保持部に保持される前記液体を撹拌する［３］に記載の液滴形成装置。
【0125】
［５］前記検出手段は、前記吐出口に対向し、前記吐出口との相対位置を変更可能とするターゲット部と、前記ターゲット部に着滴した前記液滴を撮像する撮像手段と、を有し、前記制御部は、前記ターゲット部に着滴した前記液滴の位置と、前記吐出口と前記ターゲット部との相対位置に基づいて想定される前記液滴の想定着滴位置と、に基づいて、前記吐出状態を検出し、検出結果に基づいて前記液保持部に保持される前記液体を撹拌する［３］又は［４］に記載の液滴形成装置。
【0126】
［６］前記制御部は、予め設定された時間の経過に基づいて、前記液保持部に保持される前記液体を撹拌する［１］から［５］のいずれか１項に記載の液滴形成装置。
【0127】
［７］前記制御部は、前記吐出ヘッドの駆動条件を入力する入力手段を有する［１］から［６］のいずれか１項に記載の液滴形成装置。
【0128】
［８］前記駆動条件として、前記電気信号の駆動電圧、前記信号波形の周波数、及び前記電気信号の印加間隔からなる群から選ばれる少なくとも１つを入力可能である［７］に記載の液滴形成装置。
【0129】
［９］前記制御部は、前記液体の種類と前記駆動条件との対応関係を複数記憶する記憶部を有し、前記入力手段は、前記液滴の種類を入力する［７］又は［８］に記載の液滴形成装置。
【符号の説明】
【0130】
１，２，３…液滴形成装置、１１０，１１０ａ，１１５…吐出ヘッド、５０Ａ，５０Ｂ…制御部、５５…入力部（入力手段）、５８，５９…検出手段、１１０Ａ…液室、１１１…液保持部、１１２…ノズルプレート（膜状部材）、１１２ｘ…吐出口、１１３…加振手段、１３０…撹拌手段、５１３…記憶部、５９１…ターゲット部、５９２…撮像手段、Ｌ…液、Ｌ１…液滴、Ｐ…粒子、Ｐ１…位置、Ｐ２…想定着滴位置、Ｓ１…吐出信号、Ｓ２…撹拌信号、Ｓ３…微振動信号、Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３…振動
【先行技術文献】
【特許文献】
【0131】
【特許文献1】特許第６６２７３９４号公報
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】