特開 2024-62825 液体吐出ヘッドおよび液体を吐出する装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024062825

(43)【公開日】2024-05-10

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッドおよび液体を吐出する装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20240501BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 603

B41J2/14 301

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022170924

(22)【出願日】2022-10-25

(71)【出願人】

【識別番号】000006747

【氏名又は名称】株式会社リコー

(74)【代理人】

【識別番号】100107423

【弁理士】

【氏名又は名称】城村 邦彦

(72)【発明者】

【氏名】塚本 竜児

(72)【発明者】

【氏名】森 尚子

(72)【発明者】

【氏名】木名瀬 裕太

(72)【発明者】

【氏名】楠 雅統

【テーマコード（参考）】

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C057AF23

2C057AF40

2C057AG14

2C057AG45

2C057AG75

2C057AN01

2C057AN05

2C057BA05

2C057BA14

2C057DB03

2C057DB04

(57)【要約】

【課題】同時に複数のノズルから吐出される液体の滴速度や滴量のばらつきを低減する。
【解決手段】液体を収容する共通液室と、前記共通液室と連通する複数のノズルと、前記複数のノズルを個別に振動させる振動発生手段と、前記共通液室に配置され、前記液体の振動を抑制する可撓性部材と、を備え、前記共通液室は、前記ノズルに対し形成される液室を有するとともに、前記液室の前記ノズルと対向する位置に前記可撓性部材を備える液体吐出ヘッド。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体を収容する共通液室と、
前記共通液室と連通する複数のノズルと、
前記複数のノズルを個別に振動させる振動発生手段と、
前記共通液室に配置され、前記液体の振動を抑制する可撓性部材と、
を備え、
前記共通液室は、前記ノズルに対し形成される液室を有するとともに、前記液室の前記ノズルと対向する位置に前記可撓性部材を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項2】

前記可撓性部材は、前記共通液室に配置された状態において前記複数のノズルと対向する側の面である第一面と、前記第一面と反対側の面である第二面とを有し、少なくとも前記第一面は前記共通液室に収容された前記液体と接していることを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッド。

【請求項3】

前記可撓性部材は、前記第一面および前記第二面が前記共通液室に収容された前記液体と接していることを特徴とする請求項２記載の液体吐出ヘッド。

【請求項4】

前記可撓性部材は、前記第一面は前記共通液室に収容された前記液体と接し、前記第二面は前記共通液室内の気体と接していることを特徴とする請求項２記載の液体吐出ヘッド。

【請求項5】

前記可撓性部材は、樹脂フィルムを含むことを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッド。

【請求項6】

前記可撓性部材は、金属フィルムを含むことを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッド。

【請求項7】

前記可撓性部材は、前記第一面と前記第二面とを貫通した複数の開口部を備えることを特徴とする請求項２記載の液体吐出ヘッド。

【請求項8】

前記可撓性部材は、前記第一面と前記第二面との間に空気層を備えることを特徴とする請求項２記載の液体吐出ヘッド。

【請求項9】

前記可撓性部材の前記第一面と対向する側に、前記複数のノズルの隣接するノズル間を仕切るための仕切り部材を有し、前記仕切り部材の、前記可撓性部材の前記第一面に近い側の端部を第一端部としたとき、前記可撓性部材の前記第一面と前記仕切り部材の前記第一端部との距離を１０μｍ～６００μｍの範囲に規定したことを特徴とする請求項２記載の液体吐出ヘッド。

【請求項10】

前記可撓性部材の前記第一面と対向する側に、前記複数のノズルの隣接するノズル間を仕切るための仕切り部材を有し、前記仕切り部材の、前記可撓性部材の前記第一面に近い側の端部を第一端部としたとき、前記可撓性部材の前記第一面が前記仕切り部材の前記第一端部と接触していることを特徴とする請求項２記載の液体吐出ヘッド。

【請求項11】

液体を吐出する装置において、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする液体を吐出する装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体吐出ヘッドおよび液体を吐出する装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、内側に液体インクを保持させた円筒形ノズルと、円筒形ノズルに形成された振動発生手段を有し、振動発生手段を液体インクの表面に対して垂直方向に振動させることにより液体インクに表面張力波を発生させ、表面張力波を液体インク表面中央で波高が最も高くなるように干渉させ、液体インクの表面中央部から液滴を飛翔させる記録装置が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平９－２２６１１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、同時に複数のノズルから液体を吐出させた場合に、ノズルから吐出される液体の滴速度や滴量がばらつくという課題があった。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明は、液体を収容する共通液室と、前記共通液室と連通する複数のノズルと、前記複数のノズルを個別に振動させる振動発生手段と、前記共通液室に配置され、前記液体の振動を抑制する可撓性部材と、を備え、前記共通液室は、前記ノズルに対し形成される液室を有するとともに、前記液室の前記ノズルと対向する位置に前記可撓性部材を備えることを特徴とする。

【発明の効果】

【0006】

本発明によれば、同時に複数のノズルから吐出される液体の滴速度や滴量のばらつきを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】ノズル振動方式の液体吐出ヘッドの一例を示す一部断面斜視図。

【図2】図１のＸ部拡大図。

【図3】第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部断面斜視図。

【図4】図３のＸ１部拡大図。

【図5】第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部断面斜視図。

【図6】図５のＸ２部拡大図。

【図7】第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部断面斜視図。

【図8】図７のＸ３部拡大図。

【図9】第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部断面斜視図。

【図10】図９のＸ４部拡大図。

【図11】可撓性部材の説明図。

【図12】可撓性部材の説明図。

【図13】第１実施形態と比較例との比較を示す説明図。

【図14】第２実施形態と比較例との比較を示す説明図。

【図15】第３実施形態と比較例との比較を示す説明図。

【図16】第４実施形態と比較例との比較を示す説明図。

【図17】第５実施形態と比較例との比較を示す説明図。

【図18】第６実施形態と比較例との比較を示す説明図。

【図19】液体吐出ヘッドの変形例を示す説明図。

【図20】液体吐出ヘッドの変形例を示す説明図。

【図21】液体吐出ヘッドの変形例を示す説明図。

【図22】実施形態に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の概略構成図。

【図23】実施形態の印刷装置におけるヘッドユニットの一例を示す平面図。

【図24】実施形態に係る液体を吐出する装置としての他の印刷装置の要部平面図。

【図25】図２４に示した印刷装置の要部側面図。

【図26】実施形態に係る液体吐出ユニットの要部平面図。

【図27】実施形態に係る液体吐出ユニットの他の例を示す正面図。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、図面を参照しながら発明を実施するための形態を説明する。図面の説明において同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。なお、本発明は、以下に示す実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。

【0009】

＜ノズル振動方式液体吐出ヘッドの構成＞
はじめに図１を用いてノズル振動方式の液体吐出ヘッドの構成を説明する。図１は、ノズル振動方式の液体吐出ヘッドの一例を示す一部断面斜視図である。

【0010】

液体吐出ヘッド１（以下、ヘッドという）は、複数のノズルを個別に振動させて液室内の液体をノズルから吐出させるノズル振動方式のヘッドである。

【0011】

ヘッド１は、流路基板１００、振動膜１０３、液体を吐出する複数のノズル２、各ノズル２の周囲に配置された環状の圧電素子５、および流路基板１００を支持するフレーム部材１２０を備える。圧電素子５は振動発生手段の一例である。流路基板１００は、その内部に液室４（個別液室ともいう）が圧電素子５と対向する位置関係で形成されており、ノズル２は液室４に連通している。

【0012】

フレーム部材１２０は、その内部に共通液室３が形成されている。共通液室３は、フレーム部材１２０に設けた液体供給口１２１から共通液室３内に供給される液体を各液室４に供給する。なお、液室４は、一般的なユニモルフ型ピエゾヘッド（液室のノズルを有する面に対向する面を振動させて液体を吐出するもの）が有するような密閉状の空間は形成していない。液室４は、必ずしもノズル２に対して１対１の関係である必要はなく、複数のノズル２で１つの液室４を共有する構成であってもよい。

【0013】

ヘッド１は、液体を吐出する装置において実際に使用する場合は、図１において上下が反転され、ノズル面を下に向けて使用されるのが一般的である。その場合、共通液室３の液体は各液室４に行き渡るように流れ、各液室４に流れ込んだ液体は仕切り部材の一例である各液室４の内壁４ａによって液室４内に保持される。なお、液室４の内壁４ａの形状は、図示のような平面に限るものではない。例えば、内壁４ａを曲面にして円筒形状の液室４を形成してもよい。また、上記説明においては、共通液室３と液室４に区別して説明しているが、これは液体が供給される部分を特定するための意図であり、液室４は共通液室３の一部と捉えることもできる。

【0014】

上記の構成を有するヘッド１は、ノズル２の周囲を圧電素子５によって振動させて、液室４内の液体をノズル２から液滴Ｄとして吐出する。このようなノズル振動方式は、ユニモルフ型ピエゾヘッドに比べて小さい力で液滴が飛ばせるという特徴があり、ヘッドの省電力化を図ることができる。

【0015】

ノズル密度を高くすると電圧印加のための配線をレイアウトするスペースが限られ、基板表面での配線構築が困難となる。基板内に配線や駆動回路を構築することで、ノズル密度が高い構成でも、配線をレイアウトすることができる。一般的に圧電素子の材料としてはＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）が、その圧電特性の高さから広く利用されているが、ＰＺＴの成膜・結晶化温度は６００°Ｃ以上を要する。圧電素子の材料としてＰＺＴを用いると、基板内の駆動回路とその配線が高温に耐えられないため、圧電材料として、ＰＺＴよりも成膜温度が低い圧電材料が求められる。その場合、ＰＺＴに比べ圧電特性が低い材料を選択することを余儀なくされる。

【0016】

しかし、上述のようにノズル振動方式は、一般的なユニモルフ型ピエゾヘッドに比べて小さい力で液滴が飛ばせるという特徴があるため、ＰＺＴに比べ圧電特性が低い材料を選択しても良好に液滴を飛ばすことができる。よって、非鉛材料など成膜・結晶化温度は低いがパワーは小さい圧電材料でも良好に液滴を飛ばすことができる。これにより、基板内に配線や駆動回路を構築することができ、高密度化が可能となる。さらに、ノズル振動方式は、液室の容積を小さくできることから、ヘッドの小型化も可能となる。

【0017】

なお、図１では複数のノズル２および圧電素子５を縦横に二次元配置したヘッド構成に基づいて説明したが、ノズル２および圧電素子５の配列はこれに限るものではない。例えばヘッドは、ノズル２および圧電素子５をアレイ状に一列に配置したヘッド構成としてもよい。

【0018】

次に、図１のＸ部の詳細を説明する。図２は、図１のＸ部拡大図である。

【0019】

流路基板１００は、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｎ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板であり、振動膜１０３が成膜される側に駆動回路１０１および配線部１０２を有している。駆動回路１０１は、トランジスタや抵抗などを含む回路である。配線部１０２は、第一電極５１にバイアスを印加するための配線部と、第二電極５３にバイアスを印加するための配線部とを有している。

【0020】

また、配線部１０２は、振動膜１０３に開けられた孔状の第一コンタクト７ａを介して電気接続パッド６に電気的に接続されている。振動膜１０３は、もう一方の端部（図２において図示を省略した左側端部）にも孔状の第二コンタクト７ｂ（図示省略）を有し、配線部１０２は第二コンタクト７ｂを介してもう一方の端部に設けられた電気接続パッド６に電気的に接続されている。

【0021】

ヘッド１は、複数のノズル２を備えると共に、圧電素子５を覆うノズル形成部（膜）１１１を有している（ノズル形成部１１１については、図の煩雑化を避けるため図１では図示が省略されている）。ノズル形成部１１１は、ノズルを有するノズル面の表面に撥液膜（撥水膜）を設けてもよい。ノズル面に撥液膜を設けることで、ノズル面への液体の付着が抑制される。これにより、ノズル２から吐出した液体が、ノズル面に付着していた液体から影響を受けることなく吐出することができる。なお、液体の溶剤が水性の場合は、撥液膜の材料として、パーフルオロデシルトリクロロシランやパーフルオロオクチルトリクロロシランを用いることができる。

【0022】

圧電素子５は、第一電極５１（下部電極ともいう）、圧電膜５２、および第二電極５３（上部電極ともいう）を備える。圧電素子５は、振動膜１０３の液室４側に向いた面とは反対側の面に積層され、圧電素子５は絶縁膜８によって覆われている。絶縁膜８は、第一電極５１に電気的に接続するための孔状の第五コンタクト７ｅと、第二電極５３に電気的に接続するための孔状の第六コンタクト７ｆとが形成されている。さらに、絶縁膜８には、第一電極５１と流路基板１００の配線部１０２とを電気的に連結する第一引出配線９ａと、第二電極５３と配線部１０２とを電気的に連結する第二引出配線９ｂとが形成されている。

【0023】

第一引出配線９ａは、その一方の端部が、絶縁膜８に設けた第五コンタクト７ｅを介して第一電極５１に電極的に接続され、もう一方の端部が、振動膜１０３に設けた第三コンタクト７ｃを介して配線部１０２に電極的に接続されている。第二引出配線９ｂは、その一方の端部が、絶縁膜８に設けた第六コンタクト７ｆを介して第二電極５３に電極的に接続され、もう一方の端部が、振動膜１０３に設けた第四コンタクト７ｄを介して配線部１０２に電極的に接続されている。

【0024】

また、第一引出配線９ａおよび第二引出配線９ｂは、防湿膜１１で覆われている。これにより、樹脂からなるノズル形成部１１１に侵入した湿気が第一引出配線９ａおよび第二引出配線９ｂに侵入するのを防止して、各引出配線９ａ，９ｂの腐食を抑制することができる。

【0025】

防湿膜１１は、電気絶縁性を有する材質であることが好ましい。例えば、半導体の防湿膜として広く用いられているＳｉＮ（窒化ケイ素）を用いることで、防湿膜１１として絶縁性と防湿性の２つの機能を有することができ、好ましい。また、防湿膜１１の材質としては、他にもＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ Ｌａｙｅｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）にて緻密な膜を形成しやすいＡｌ（アルミ）、Ｔａ（タンタル）、Ｎｂ（ニオブ）、Ｔｉ（チタン）、Ｈｆ（ハフニウム）、Ｚｒ（ジルコニウム）、Ｗ（タングステン）の酸化物を用いることができる。防湿膜１１として、絶縁性と防湿性の２つの機能を有することで、防湿膜１１の下に絶縁膜を別に形成する場合に比べて厚さを薄くすることができる。これにより、振動膜１０３が変形しやすくなり、振動効率を高めることができる。

【0026】

なお、圧電素子５の第一電極５１と第二電極５３は、Ｉｒ（イリジウム）やＭｏ（モリブデン）などの耐腐食性の高い金属で構成される。そのため、電極５１，５３がノズル形成部１１１に侵入した湿気により腐食することはほぼない。

【0027】

流路基板１００の裏側（図２では下側）にはフレーム部材１２０が接合されており、フレーム部材１２０は、その内部に複数の液室４に通じる共通液室３を形成する。

【0028】

上記の構成において、ヘッド１は、圧電素子５の電極５１，５３に所定の駆動波形（電圧）を印加することで、圧電膜５２が振動し、振動膜１０３が図２中、上下方向に振動する。振動膜１０３が振動することで液室４内の液体に圧力変化が発生し、ノズル２から液体が吐出される。

【0029】

ここで、ノズル振動方式のヘッド１において同時に複数のノズル（以降、チャネルともいう）を駆動させた場合、隣接するノズル間の吐出状態に悪影響を及ぼし得る流体クロストークを生じさせることがある。流体クロストークは、圧電素子５の振動で発生した圧力が、液体を通じて隣接する液室４に伝播し、吐出状態（滴速度Ｖｊ、滴量Ｍｊ等）を変化させてしまう。同時に駆動させるノズル数（チャネル数）が多くなるほど液体を通じた流体クロストークが大きくなり、チャネル間での吐出状態のばらつきは顕著となる。その結果、対象物に対して液体を均一、かつ精度よく塗布することができなくなる。

【0030】

そこで本発明は、共通液室３の内部に液体の振動を吸収する部材を設けて、流体クロストークを低減させるようにしている。以下、実施形態について説明する。

【0031】

＜第１実施形態＞
図３および図４を用いて第１実施形態を説明する。図３は第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部断面斜視図、図４は図３のＸ１部拡大図である。なお、既に説明済みの同一部材もしくは同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0032】

第１実施形態において、共通液室３は、その内部に可撓性部材の一例である弾性フィルム１２２を備える。共通液室３は、弾性フィルム１２２を境に共通液室３－１と共通液室３－２とに区切られている。ここで、弾性フィルム１２２について、共通液室３の内部に配置した状態においてノズル２と対向する側の面を第一面１２２－１とし、この第一面１２２－１と反対側の面を第二面１２２－２と定義する。上記のように定義した場合、第１実施形態の弾性フィルム１２２は、第一面１２２－１および第二面１２２－２が共に共通液室３に収容された液体と接するように配置される。つまり、弾性フィルム１２２は液体中に配置されている。なお、弾性フィルム１２２のフィルム面は、必ずしもノズル面と平行である必要はない。フィルム面は、ノズル２から吐出される液体の滴速度や滴量のばらつきを低減することを満足する範囲であれば、ノズル面に対して傾斜していてもよい。

【0033】

弾性フィルム１２２は、フレーム部材１２０に設けた液体供給口１２１の位置よりも図３において上側に位置するようにフレーム部材１２０に固定されている。つまり、弾性フィルム１２２は、共通液室３の内部において液室４と液体供給口１２１との間に配置されている。弾性フィルム１２２は、フィルム面に貫通孔などを備えていない。従って、共通液室３の面積と同じ面積で弾性フィルム１２２を設置してしまうと、共通液室３の内部が弾性フィルム１２２を境に上段と下段に分断された状態となり、液体供給口１２１から共通液室３に供給された液体を液室４へ送り込むことができなくなる。そのため、第１実施形態では、一部（本実施形態では図３中、左部分）に隙間を設け、この隙間を経由して共通液室３の液体を液室４側へ送り込めるようにしている。

【0034】

弾性フィルム１２２は、共通液室３内に生じる振動に応じて変形するものであればよく、材質は特に制限されない。材質の一例として、ポリイミド、ポリプロピレン、ポリエチレン、ナイロンなどのプラスチック材料、ＳＵＳ（ステンレス）、チタン、ニッケルなどの金属材料が挙げられる。

【0035】

また、弾性フィルム１２２は、第一面１２２－１側を、液室４の内壁４ａの端部４ａ－１から所定の距離Ｌ１だけ離して設けられている。端部４ａ－１は、仕切り部材の第一端部の一例である。

【0036】

距離Ｌ１は、１０μｍ～６００μｍの範囲が好ましい。１０μｍよりも小さい場合は、共通液室３から液室４への液体の送り込みが良好に行えない場合があり、６００μｍよりも大きい場合は、弾性フィルム１２２による振動吸収効果が低下し、流体クロストークの低減が不十分になる。

【0037】

なお、弾性フィルム１２２は、１枚のシート材からなる構成に限るものではない。例えば、共通液室３の内部を複数の領域に分け、領域毎もしくは各領域に求められる効果に応じて弾性フィルムを多数設置してもよい。また、弾性フィルムは、例えば２枚の弾性フィルムを対向させて２段構成とするなど、複数枚の弾性フィルムを多段構成にして備えられていてもよい。

【0038】

ここで、図１１を用いて第１実施形態で使用される弾性フィルム１２２の構造を補足する。図１１は、可撓性部材の説明図であり、図１１（ａ）は可撓性部材の一部平面図、図１１（ｂ）および図１１（ｃ）は図１１（ａ）のＡ－Ａ線矢視断面図である。

【0039】

図１１（ｂ）と図１１（ｃ）は平面図では同様の外観であるが、断面構造において相違する。図１１（ｂ）に示された可撓性部材の一例である弾性フィルム１２２は断面が中実材であるのに対し、図１１（ｃ）に示された弾性フィルム１２２は断面が中空部１２２ａを有する中空材である。中空部１２２ａの内部には空気が封入され、空気層が形成されている。

【0040】

第１実施形態においては、図１１（ｂ）および図１１（ｃ）に示された弾性フィルム１２２を用いることが可能であり、図１１（ｃ）の空気層を有する弾性フィルム１２２を用いた場合には、液体の振動をより効果的に減衰させることができる。

【0041】

上述のように本実施形態は、液体を収容する共通液室３と、共通液室３と連通する複数のノズル２と、複数のノズル２を個別に振動させる圧電素子５と、共通液室３に配置され、液体の振動を抑制する弾性フィルム１２２と、を備え、共通液室３は、ノズル２に対し形成される液室４を有するとともに、液室４のノズル２と対向する位置に弾性フィルム１２２を備える。

【0042】

また、上述のように、弾性フィルム１２２は、共通液室３に配置された状態において複数のノズル２と対向する側の面である第一面１２２－１と、第一面１２２－１と反対側の面である第二面１２２－２とを有し、弾性フィルム１２２は、第一面１２２－１および第二面１２２－２が共通液室３に収容された液体と接している。

【0043】

また、上述のように、弾性フィルム１２２は、樹脂フィルムを含む。

【0044】

また、上述のように、弾性フィルム１２２は、金属フィルムを含む。

【0045】

これらにより、同時に複数の圧電素子５が駆動されて液体中に発生した振動は、弾性フィルム１２２によって吸収（減衰）され、隣接する液室４にまで伝播しにくくなり、流体クロストークがもたらすチャネル間での吐出状態のばらつきを抑制することができる。その結果、対象物に対して液体を均一、かつ精度よく塗布することができるようになる。

【0046】

また、上述のように、弾性フィルム１２２は、第一面１２２－１と第二面１２２－２との間に空気層（空気を封入した中空部１２２ａ）を備える。

【0047】

また、上述のように、弾性フィルム１２２の第一面１２２－１と対向する側に、複数のノズル２の隣接するノズル間を仕切るための内壁４ａを有し、内壁４ａの、弾性フィルム１２２の第一面１２２－１に近い側の端部を第一端部４ａ－１としたとき、弾性フィルム１２２の第一面１２２－１と内壁４ａの第一端部４ａ－１との距離Ｌ１を１０μｍ～６００μｍの範囲に規定した。

【0048】

これらにより、液体の振動をより効果的に吸収（減衰）させることができる。

【0049】

＜第２実施形態＞
次に、図５および図６を用いて第２実施形態を説明する。図５は第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部断面斜視図、図６は図５のＸ２部拡大図である。なお、既に説明済みの同一部材もしくは同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0050】

第２実施形態において、共通液室３は、その内部に可撓性部材の一例である弾性フィルム１２３を備える。ここで、弾性フィルム１２３について、共通液室３の内部に配置した状態においてノズル２と対向する側の面を第一面１２３－１とし、この第一面１２３－１と反対側の面を第二面１２３－２と定義する。上記のように定義した場合、第２実施形態の弾性フィルム１２３は、第一面１２３－１および第二面１２３－２が共に共通液室３に収容された液体と接するように配置される。つまり、弾性フィルム１２３は液体中に配置されている。

【0051】

弾性フィルム１２３は、フレーム部材１２０に設けた液体供給口１２１の位置よりも図５において上側の位置するようにフレーム部材１２０に固定されている。弾性フィルム１２３には、図６に示すように第一面１２３－１と第二面１２３－２とを貫通した複数の開口部１２３ｂが形成されている。開口部１２３ｂのサイズは特に制限されないが、本実施形態では直径数１０μｍオーダーの円形状の孔としている。第２実施形態では、開口部１２３ｂを通して共通液室３の液体を液室４へ送り込むことができるため、第１実施形態のように隙間を設ける必要はなく、共通液室３の面積と同じ面積で弾性フィルム１２３を設置することが可能になる。

【0052】

弾性フィルム１２３は、共通液室３内に生じる振動に応じて変形するものであればよく、材質は特に制限されない。材質の一例として、ポリイミド、ポリプロピレン、ポリエチレン、ナイロンなどのプラスチック材料、ＳＵＳ（ステンレス）、チタン、ニッケルなどの金属材料が挙げられる。

【0053】

また、弾性フィルム１２３は、第一面１２３－１側を、液室４の内壁４ａの端部４ａ－１から所定の距離Ｌ２だけ離して設けられている。端部４ａ－１は、仕切り部材の第一端部の一例である。

【0054】

距離Ｌ２は、１０μｍ～６００μｍの範囲が好ましく、本実施形態では距離Ｌ２を１００μｍとしている。１０μｍよりも小さい場合は、共通液室３から液室４への液体の送り込みが良好に行えない場合があり、６００μｍよりも大きい場合は、弾性フィルム１２３による振動吸収効果が低下し、流体クロストークの低減が不十分になる。

【0055】

なお、弾性フィルム１２３は、１枚のシート材からなる構成に限るものではない。例えば、共通液室３の内部を複数の領域に分け、領域毎もしくは各領域に求められる効果に応じて弾性フィルムを多数設置してもよい。

【0056】

ここで、図１２を用いて第２実施形態で使用される弾性フィルム１２３の構造を補足する。図１２は、可撓性部材の説明図であり、図１２（ａ）は可撓性部材の一部平面図、図１２（ｂ）および図１２（ｃ）は図１２（ａ）のＢ－Ｂ線矢視断面図である。

【0057】

図１２（ｂ）と図１２（ｃ）は平面図では同様の外観であるが、断面構造において相違する。図１２（ｂ）に示された可撓性部材の一例である弾性フィルム１２３は、開口部１２３ｂを除いた部分の断面が中実材であるのに対し、図１２（ｃ）に示された弾性フィルム１２３は、開口部１２３ｂを除いた部分の断面が中空部１２３ａを有する中空材である。中空部１２３ａの内部には空気が封入され、空気層が形成されている。

【0058】

弾性フィルム１２３の一例として、弾性フィルム１２３には厚さ１００μｍのポリイミド製フィルムを用い、当該フィルムに直径数１０μｍオーダーの開口部１２３ｂが開口率７５％の割合で形成されている。なお、弾性フィルム１２３に形成される開口部１２３ｂのサイズ、形状、配列は、液体の吐出状態等に応じて適宜変更可能である。また、弾性フィルム１２３に形成される開口部１２３ｂのサイズや形状は一種に限らない。例えば一枚の弾性フィルム１２３の中に二種以上のサイズや形状の異なる開口部１２３ｂを混在させてもよい。

【0059】

第２実施形態においては、図１２（ｂ）および図１２（ｃ）に示された弾性フィルム１２３を用いることが可能であり、図１２（ｃ）の空気層を有する弾性フィルム１２３を用いた場合には、液体の振動をより効果的に減衰させることができる。

【0060】

上述のように本実施形態は、液体を収容する共通液室３と、共通液室３と連通する複数のノズル２と、複数のノズル２を個別に振動させる圧電素子５と、共通液室３に配置され、液体の振動を抑制する弾性フィルム１２３と、を備え、共通液室３は、ノズル２に対し形成される液室４を有するとともに、液室４のノズル２と対向する位置に弾性フィルム１２３を備える。

【0061】

また、上述のように、弾性フィルム１２３は、共通液室３に配置された状態において複数のノズル２と対向する側の面である第一面１２３－１と、第一面１２３－１と反対側の面である第二面１２３－２とを有し、弾性フィルム１２３は、第一面１２３－１および第二面１２３－２が共通液室３に収容された液体と接している。

【0062】

また、上述のように、弾性フィルム１２３は、樹脂フィルムを含む。

【0063】

また、上述のように、弾性フィルム１２３は、金属フィルムを含む。

【0064】

これらにより、同時に複数の圧電素子５が駆動されて液体中に発生した振動は、弾性フィルム１２３によって吸収（減衰）され、隣接する液室４にまで伝播しにくくなり、流体クロストークがもたらすチャネル間での吐出状態のばらつきを抑制することができる。その結果、対象物に対して液体を均一、かつ精度よく塗布することができるようになる。

【0065】

また、上述のように、弾性フィルム１２３は、第一面１２３－１と第二面１２３－２とを貫通した複数の開口部１２３ｂを備える。

【0066】

また、上述のように、弾性フィルム１２３は、第一面１２３－１と第二面１２３－２との間に空気層（空気を封入した中空部１２３ａ）を備える。

【0067】

また、上述のように、弾性フィルム１２３の第一面１２３－１と対向する側に、複数のノズル２の隣接するノズル間を仕切るための内壁４ａを有し、内壁４ａの、弾性フィルム１２３の第一面１２３－１に近い側の端部を第一端部４ａ－１としたとき、弾性フィルム１２３の第一面１２３－１と内壁４ａの第一端部４ａ－１との距離Ｌ２を１０μｍ～６００μｍの範囲に規定した。

【0068】

これらにより、液体の振動をより効果的に吸収（減衰）させることができる。

【0069】

＜第３実施形態＞
次に、図７および図８を用いて第３実施形態を説明する。図７は第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部断面斜視図、図８は図７のＸ３部拡大図である。なお、既に説明済みの同一部材もしくは同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0070】

第３実施形態は、上述の第２実施形態に対して弾性フィルム１２３の設置位置が異なっている。弾性フィルム１２３は、その第一面１２３－１が、液室４を形成する内壁４ａの第一端部４ａ－１と接触するように設けてもよい。

【0071】

また、第３実施形態の場合も、図１２（ｂ）および図１２（ｃ）に示された弾性フィルム１２３を用いることが可能であり、図１２（ｃ）の空気層を有する弾性フィルム１２３を用いた場合には、液体の振動をより効果的に減衰させることができる。

【0072】

上述のように本実施形態は、弾性フィルム１２３の第一面１２３－１と対向する側に、複数のノズル２の隣接するノズル間を仕切るための内壁４ａを有し、内壁４ａの、弾性フィルム１２３の第一面１２３－１に近い側の端部を第一端部４ａ－１としたとき、弾性フィルム１２３の第一面１２３－１が内壁４ａの第一端部４ａ－１と接触している。

【0073】

これにより、同時に複数の圧電素子５が駆動されて液体中に発生した振動は、弾性フィルム１２３によって吸収（減衰）され、隣接する液室４にまで伝播しにくくなり、流体クロストークがもたらすチャネル間での吐出状態のばらつきを抑制することができる。その結果、対象物に対して液体を均一、かつ精度よく塗布することができるようになる。

【0074】

＜第４実施形態＞
次に、図９および図１０を用いて第４実施形態を説明する。図９は第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部断面斜視図、図１０は図９のＸ４部拡大図である。なお、既に説明済みの同一部材もしくは同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0075】

第４実施形態は、上述の第１実施形態に対して弾性フィルムの液体との接し方が異なっている。弾性フィルム１２２は、共通液室３内において第一面１２２－１のみを共通液室３に収容された液体に接触させ、第二面１２２－２が共通液室３内の空気に触れるように設けてもよい。この場合、弾性フィルム１２２は、フレーム部材１２０に設けた液体供給口１２１の位置よりも図９において下側に位置するようにフレーム部材１２０に固定され、液体が弾性フィルム１２２の第一面１２２－１側に供給されるようにする。なお、共通液室３内の圧力を適度に保つことができるものであれば、弾性フィルム１２２の第二面１２２－２側は、空気以外の任意の気体（例えばガス）と触れる構成としてもよい。

【0076】

上記の構成により弾性フィルム１２２の第二面１２２－２側から第一面１２２－１側に液体を送るための隙間は不要になり、共通液室３の面積と同じ面積で弾性フィルム１２３を設置することが可能になる。また、弾性フィルム１２２の第二面１２２－２側は空気に接しているため、弾性フィルム自体は簡素な構成としつつ、空気を封入した中空部を有する弾性フィルムと同等の効果が得られる。

【0077】

また、第４実施形態の場合も、図１１（ｂ）および図１１（ｃ）に示された弾性フィルム１２２を用いることが可能であり、図１１（ｃ）の空気層を有する弾性フィルム１２２を用いた場合には、液体の振動を、より効果的に減衰させることができる。

【0078】

上述のように本実施形態において、弾性フィルム１２２は、第一面１２２－１は共通液室３に収容された液体と接し、第二面１２２－２は共通液室３内の気体と接している。

【0079】

これにより、同時に複数の圧電素子５が駆動されて液体中に発生した振動は、弾性フィルム１２２によって吸収（減衰）され、隣接する液室４にまで伝播しにくくなり、流体クロストークがもたらすチャネル間での吐出状態のばらつきを抑制することができる。その結果、対象物に対して液体を均一、かつ精度よく塗布することができるようになる。

【0080】

＜各実施形態と比較例との比較＞
以下、図１３～図１８に各実施形態と比較例との比較結果を示す。比較結果は、同時に駆動させるノズル数（チャネル数）を増加させて行った場合の、ノズルからの液滴吐出速度（滴速度Ｖｊ）の変化を表している。比較の対象としている比較例は、共通液室３に可撓性部材（弾性フィルム１２２，１２３）を有していない構成の液体吐出ヘッドである。

【0081】

図１３は、図３および図４において図１１（ｂ）に示した断面が中実材の弾性フィルム１２２を用いてなる第１実施形態と、比較例とを比較した場合の比較結果を示したものである。

【0082】

図１４は、図５および図６において図１２（ｂ）に示した開口部１２３ｂを除いた断面が中実材の弾性フィルム１２３を用いてなる第２実施形態と、比較例とを比較した場合の比較結果を示したものである。

【0083】

図１５は、図７および図８において図１２（ｂ）に示した開口部１２３ｂを除いた断面が中実材の弾性フィルム１２３を用いてなる第３実施形態と、比較例とを比較した場合の比較結果を示したものである。

【0084】

図１６は、図９および図１０において図１１（ｂ）に示した断面が中実材の弾性フィルム１２２を用いてなる第４実施形態と、比較例とを比較した場合の比較結果を示したものである。

【0085】

図１７は、図５および図６において図１２（ｃ）に示した開口部１２３ｂを除いた断面が中空材の弾性フィルム１２３を用いてなる第５実施形態と、比較例とを比較した場合の比較結果を示したものである。

【0086】

図１８は、図９および図１０において図１１（ｃ）に示した断面が中空材の弾性フィルム１２２を用いてなる第６実施形態と、比較例とを比較した場合の比較結果を示したものである。

【0087】

いずれの実施形態においても、液室４に生じた振動を弾性フィルム１２２，１２３が吸収し、隣接する液室４への伝播が抑制されるため、同時駆動チャネル数の増加に伴う滴速度の低下度合は比較例と比べて大きく緩和される。

【0088】

＜変形例＞
続いて、液体吐出ヘッドの変形例について説明する。図１９～図２１は、液体吐出ヘッドの変形例を示す説明図である。図１９～図２１は、図１～図１０に対して上下を逆さまにして図示されている。また、フレーム部材１２０の図示は省略している。

【0089】

ヘッド１において電気接続パッド６については、種々の構成が考えられる。例えば、図１９に示すように流路基板１００の配線部１０２をヘッド１の側面の端部まで延設し、この配線部１０２の端部に、外部の電源等の電気部品と接続するための電気接続パッド６を電気的に接続する構成としてもよい。また、図示のように流路基板１００が駆動回路１０１を内蔵しない構成としてもよい。

【0090】

また、図２０に示すように、第一引出配線９ａと第二引出配線９ｂの一端を外部に露出させ、この露出した部分によって電気接続パッド６を形成する構成としてもよい。また、この場合も流路基板１００が駆動回路１０１を内蔵しない構成としてもよい。

【0091】

また、図２１に示すように、第一引出配線９ａと第二引出配線９ｂの一端をヘッド１の側面の端部まで延設し、この引出配線の端部に電気接続パッド６を電気的に接続する構成としてもよい。また、この場合も流路基板１００が駆動回路１０１を内蔵しない構成としてもよい。

【0092】

＜液体を吐出する装置について＞
次に、実施形態に係る液体を吐出する装置の一例を説明する。

【0093】

［ライン型印刷装置の例］
図２２は、実施形態に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の概略構成図、図２３は、実施形態の印刷装置におけるヘッドユニットの一例を示す平面図である。

【0094】

液体を吐出する装置の一例である印刷装置５００は、長尺に連続した記録媒体である連続体５１０を印刷手段５０５へ供給する供給手段５０１と、供給手段５０１から供給された連続体５１０を印刷手段５０５へ案内搬送する案内搬送手段５０３とを備える。また、印刷装置５００は、連続体５１０に対して液体を吐出して画像等の印刷を行う印刷手段５０５と、連続体５１０を乾燥させる乾燥手段５０７と、連続体５１０を排出する排出手段５０９を備える。

【0095】

連続体５１０は、供給手段５０１の繰り出しローラ５１１から送り出され、供給手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、排出手段５０９の各ローラによって案内、搬送されて、排出手段５０９の巻取ローラ５９１にて巻き取られる。連続体５１０は、印刷手段５０５において、搬送ガイド部材５５９上をヘッドユニット５５０に対向して搬送され、ヘッドユニット５５０から吐出される液体によって画像等が印刷される。

【0096】

本実施形態の印刷装置５００は、ヘッドユニット５５０に図２３に示すような、２つのヘッドモジュール１００Ａ，１００Ｂを搭載した共通ベース部材５５２を備えている。
本実施形態において、各ヘッドモジュール１００Ａ，１００Ｂには、連続体５１０の搬送方向と直交する方向に複数の液体吐出ヘッド１が配置され、ラインヘッドが構成されている。

【0097】

ヘッドモジュール１００Ａ，１００Ｂの搬送方向と直交する方向における液体吐出ヘッド１の並び方向をヘッド配列方向とするとき、ヘッドモジュール１００Ａのヘッド列１Ａ１，１Ａ２で同じ色の液体を吐出する。同様に、ヘッドモジュール１００Ａのヘッド列１Ｂ１、１Ｂ２を組とし、ヘッドモジュール１００Ｂのヘッド列１Ｃ１、１Ｃ２を組とし、ヘッド列１Ｄ１、１Ｄ２を組として、それぞれ所要の色の液体を吐出する。そして、上述の液体吐出ヘッド１は、これらヘッド列１Ａ１～１Ｄ２において用いられる。

【0098】

［シリアル型印刷装置の例］
図２４は、実施形態に係る液体を吐出する装置としての他の印刷装置の要部平面図、図２５は、図２４に示した印刷装置の要部側面図である。

【0099】

本例における印刷装置５００は、シリアル型の印刷装置であり、主走査移動機構４９３によってキャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ，４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。

【0100】

このキャリッジ４０３には、ヘッドタンク４４１と上述の液体吐出ヘッド１とを一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ヘッド１は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド１は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。液体吐出ヘッド１は、液体循環装置を備えた供給機構と接続されて、所要の色の液体が循環供給される。

【0101】

印刷装置５００は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４８５を備えている。搬送機構４８５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド１に対向する位置に搬送する。搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７およびタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。

【0102】

さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド１の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド１のノズル面をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。また、主走査移動機構４９３、維持回復機構４２０、搬送機構４８５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

【0103】

このように構成した印刷装置５００においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド１を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像等を形成する。

【0104】

＜液体吐出ユニットについて＞
次に、実施形態に係る液体吐出ユニットの一例を説明する。

【0105】

図２６は、実施形態に係る液体吐出ユニットの要部平面図である。

【0106】

液体吐出ユニット４４０は、図２４および図２５に示した液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ，４９１Ｂおよび背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド１で構成されている。

【0107】

なお、液体吐出ユニット４４０の例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０をさらに取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。

【0108】

図２７は、実施形態に係る液体吐出ユニットの他の例を示す正面図である。

【0109】

液体吐出ユニット４４０は、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド１と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド１と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。

【0110】

＜補足＞
本発明において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出する装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

【0111】

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの供給、搬送、排出に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

【0112】

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

【0113】

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

【0114】

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス、アルミニウム箔や銅箔といった集電体、または集電体上に活物質層が形成された電極など、液体が一時的でも付着可能であればよい。

【0115】

また、「液体」は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、電極材料として用いられる活物質や固体電解質、導電性材料や絶縁性材料を含むインクなどを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどが挙げられる。これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液、電極、電気化学素子等の用途で用いることができる。

【0116】

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

【0117】

また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液をノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

【0118】

また、「液体を吐出する装置」は、定置型の装置に限るものではない。液体を吐出する装置は、例えば、液体吐出ヘッドが搭載された、遠隔操作や自律走行によって移動が可能なロボットであってもよく、移動可能なロボットにより建物の外壁塗装や道路の路面標示（横断歩道、停止線、速度表示等）の塗装等への適用も可能になる。この場合の建物や道路もまた「液体が付着可能なもの」に含まれる。

【0119】

以上説明したものは一例であり、本発明は、次の態様毎に特有の効果を奏する。

【0120】

［第１態様］
第１態様は、液体を収容する共通液室（例えば共通液室３）と、前記共通液室と連通する複数のノズル（例えばノズル２）と、前記複数のノズルを個別に振動させる振動発生手段（例えば圧電素子５）と、前記共通液室に配置され、前記液体の振動を抑制する可撓性部材（例えば弾性フィルム１２２，１２３）と、を備え、前記共通液室は、前記ノズルに対し形成される液室（例えば液室４）を有するとともに、前記液室の前記ノズルと対向する位置に前記可撓性部材を備えることを特徴とするものである。

【0121】

［第２態様］
第２態様は、第１態様において、前記可撓性部材（例えば弾性フィルム１２２，１２３）は、前記共通液室（例えば共通液室３）に配置された状態において前記複数のノズル（例えばノズル２）と対向する側の面である第一面（例えば第一面１２２－１，１２３－１）と、前記第一面と反対側の面である第二面（例えば第二面１２２－２，１２３－２）とを有し、少なくとも前記第一面は前記共通液室に収容された前記液体と接していることを特徴とするものである。

【0122】

［第３態様］
第３態様は、第２態様において、前記可撓性部材（例えば弾性フィルム１２２，１２３）は、前記第一面（例えば第一面１２２－１，１２３－１）および前記第二面（例えば第二面１２２－２，１２３－２）が前記共通液室（例えば共通液室３）に収容された前記液体と接していることを特徴とするものである。

【0123】

［第４態様］
第４態様は、第２態様において、前記可撓性部材（例えば弾性フィルム１２２，１２３）は、前記第一面（例えば第一面１２２－１，１２３－１）は前記共通液室（例えば共通液室３）に収容された前記液体と接し、前記第二面（例えば第二面１２２－２，１２３－２）は前記共通液室内の気体と接していることを特徴とするものである。

【0124】

［第５態様］
第５態様は、第１態様乃至第４態様のいずれかにおいて、前記可撓性部材（例えば弾性フィルム１２２，１２３）は、樹脂フィルムを含むことを特徴とするものである。

【0125】

［第６態様］
第６態様は、第１態様乃至第４態様のいずれかにおいて、前記可撓性部材（例えば弾性フィルム１２２，１２３）は、金属フィルムを含むことを特徴とするものである。

【0126】

［第７態様］
第７態様は、第２態様乃至第６態様のいずれかにおいて、前記可撓性部材（例えば弾性フィルム１２３）は、前記第一面（例えば第一面１２３－１）と前記第二面（例えば第二面１２３－２）とを貫通した複数の開口部（例えば開口部１２３ｂ）を備えることを特徴とするものである。

【0127】

［第８態様］
第８態様は、第２態様乃至第７態様のいずれかにおいて、前記可撓性部材（例えば弾性フィルム１２２，１２３）は、前記第一面（例えば第一面１２２－１，１２３－１）と前記第二面（例えば第二面１２２－２，１２３－２）との間に空気層（例えば空気を封入した中空部１２２ａ，１２３ａ）を備えることを特徴とするものである。

【0128】

［第９態様］
第９態様は、第２態様乃至第８態様のいずれかにおいて、前記可撓性部材（例えば弾性フィルム１２２，１２３）の前記第一面（例えば第一面１２２－１，１２３－１）と対向する側に、前記複数のノズルの隣接するノズル間を仕切るための仕切り部材（例えば液室４の内壁４ａ）を有し、前記仕切り部材の、前記可撓性部材の前記第一面に近い側の端部を第一端部（例えば第一端部４ａ－１）としたとき、前記可撓性部材の前記第一面と前記仕切り部材の前記第一端部との距離（例えば距離Ｌ１，Ｌ２）を１０μｍ～６００μｍの範囲に規定したことを特徴とするものである。

【0129】

［第１０態様］
第１０態様は、第２態様乃至第８態様のいずれかにおいて、前記可撓性部材（例えば弾性フィルム１２２，１２３）の前記第一面（例えば第一面１２２－１，１２３－１）と対向する側に、前記複数のノズルの隣接するノズル間を仕切るための仕切り部材（例えば液室４の内壁４ａ）を有し、前記仕切り部材の、前記可撓性部材の前記第一面に近い側の端部を第一端部（例えば第一端部４ａ－１）としたとき、前記可撓性部材の前記第一面が前記仕切り部材の前記第一端部と接触していることを特徴とするものである。

【符号の説明】

【0130】

１ 液体吐出ヘッド
２ ノズル
３ 共通液室
４ 液室
４ａ 内壁（仕切り部材の一例）
５ 圧電素子（振動発生手段の一例）
１２０ フレーム部材
１２１ 液体供給口
１２２，１２３ 弾性フィルム（可撓性部材の一例）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】