知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
特開2024-63994熱遮蔽体位置決め治具、熱遮蔽体位置決め方法及びシリコン単結晶の製造方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024063994
(43)【公開日】2024-05-14
(54)【発明の名称】熱遮蔽体位置決め治具、熱遮蔽体位置決め方法及びシリコン単結晶の製造方法
(51)【国際特許分類】
C30B 29/06 20060101AFI20240507BHJP
C30B 15/00 20060101ALI20240507BHJP
【ＦＩ】
C30B29/06 502C
C30B15/00 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022172240
(22)【出願日】2022-10-27
(71)【出願人】
【識別番号】302006854
【氏名又は名称】株式会社ＳＵＭＣＯ
(74)【代理人】
【識別番号】110000637
【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所
(72)【発明者】
【氏名】宗実 賢二
(72)【発明者】
【氏名】沖田 憲治
【テーマコード（参考）】
4G077
【Ｆターム（参考）】
4G077AA02
4G077BA04
4G077CF10
4G077EG19
4G077EG20
4G077EG25
(57)【要約】
【課題】熱遮蔽体の水平方向の位置決めを容易にかつ適切に行うことができる熱遮蔽体位置決め治具を提供すること。
【解決手段】熱遮蔽体位置決め治具は、チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め治具であって、前記チャンバに対して着脱自在に構成された治具本体を備え、前記治具本体には、前記チャンバに対する前記治具本体の水平方向の位置決めを行う治具用位置決め部と、前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の水平方向の位置決めを行う熱遮蔽体用位置決め部と、が設けられている。
【選択図】図４
【解決手段】熱遮蔽体位置決め治具は、チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め治具であって、前記チャンバに対して着脱自在に構成された治具本体を備え、前記治具本体には、前記チャンバに対する前記治具本体の水平方向の位置決めを行う治具用位置決め部と、前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の水平方向の位置決めを行う熱遮蔽体用位置決め部と、が設けられている。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め治具であって、
前記チャンバに対して着脱自在に構成された治具本体を備え、
前記治具本体には、
前記チャンバに対する前記治具本体の水平方向の位置決めを行う治具用位置決め部と、
前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の水平方向の位置決めを行う熱遮蔽体用位置決め部と、が設けられている、熱遮蔽体位置決め治具。
前記チャンバに対して着脱自在に構成された治具本体を備え、
前記治具本体には、
前記チャンバに対する前記治具本体の水平方向の位置決めを行う治具用位置決め部と、
前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の水平方向の位置決めを行う熱遮蔽体用位置決め部と、が設けられている、熱遮蔽体位置決め治具。
【請求項2】
請求項１に記載の熱遮蔽体位置決め治具において、
前記治具本体における鉛直方向側の部位には、水平方向の大きさが互いに異なる複数種類の熱遮蔽体の水平方向の位置決めをそれぞれ行うための、複数の前記熱遮蔽体用位置決め部が設けられ、
前記治具本体は、位置決め対象の前記熱遮蔽体に対応する前記熱遮蔽体用位置決め部が前記熱遮蔽体の上側に対向する姿勢で、前記チャンバに装着される、熱遮蔽体位置決め治具。
前記治具本体における鉛直方向側の部位には、水平方向の大きさが互いに異なる複数種類の熱遮蔽体の水平方向の位置決めをそれぞれ行うための、複数の前記熱遮蔽体用位置決め部が設けられ、
前記治具本体は、位置決め対象の前記熱遮蔽体に対応する前記熱遮蔽体用位置決め部が前記熱遮蔽体の上側に対向する姿勢で、前記チャンバに装着される、熱遮蔽体位置決め治具。
【請求項3】
請求項２に記載の熱遮蔽体位置決め治具において、
前記治具本体における鉛直方向の一方側の部位には、少なくとも１つの前記熱遮蔽体用位置決め部が設けられ、
前記治具本体における鉛直方向の他方側の部位には、残りの前記熱遮蔽体用位置決め部が設けられている、熱遮蔽体位置決め治具。
前記治具本体における鉛直方向の一方側の部位には、少なくとも１つの前記熱遮蔽体用位置決め部が設けられ、
前記治具本体における鉛直方向の他方側の部位には、残りの前記熱遮蔽体用位置決め部が設けられている、熱遮蔽体位置決め治具。
【請求項4】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の熱遮蔽体位置決め治具において、
前記治具本体は、基部と、前記基部から互いに異なる方向に水平方向に延びる複数の腕部と、を備え、
前記複数の腕部には、前記治具用位置決め部及び前記熱遮蔽体用位置決め部がそれぞれ設けられている、熱遮蔽体位置決め治具。
前記治具本体は、基部と、前記基部から互いに異なる方向に水平方向に延びる複数の腕部と、を備え、
前記複数の腕部には、前記治具用位置決め部及び前記熱遮蔽体用位置決め部がそれぞれ設けられている、熱遮蔽体位置決め治具。
【請求項5】
請求項４に記載の熱遮蔽体位置決め治具において、
前記基部及び前記複数の腕部のうち少なくとも１つには、前記治具本体を把持するための把持部が設けられている、熱遮蔽体位置決め治具。
前記基部及び前記複数の腕部のうち少なくとも１つには、前記治具本体を把持するための把持部が設けられている、熱遮蔽体位置決め治具。
【請求項6】
請求項５に記載の熱遮蔽体位置決め治具において、
前記把持部は、当該把持部が設けられた部位を貫通する貫通孔により構成されている、熱遮蔽体位置決め治具。
前記把持部は、当該把持部が設けられた部位を貫通する貫通孔により構成されている、熱遮蔽体位置決め治具。
【請求項7】
請求項１に記載の熱遮蔽体位置決め治具を用いて、チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め方法であって、
前記熱遮蔽体を前記チャンバ内に仮配置し、
前記治具用位置決め部による前記チャンバに対する前記治具本体の水平方向の位置決めと、前記熱遮蔽体用位置決め部による前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の水平方向の位置決めと、を同時に行い、又はいずれか一方の位置決めを行った後に他方の位置決めを行い、
前記熱遮蔽体位置決め治具を前記チャンバ及び前記熱遮蔽体から離間させる、熱遮蔽体位置決め方法。
前記熱遮蔽体を前記チャンバ内に仮配置し、
前記治具用位置決め部による前記チャンバに対する前記治具本体の水平方向の位置決めと、前記熱遮蔽体用位置決め部による前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の水平方向の位置決めと、を同時に行い、又はいずれか一方の位置決めを行った後に他方の位置決めを行い、
前記熱遮蔽体位置決め治具を前記チャンバ及び前記熱遮蔽体から離間させる、熱遮蔽体位置決め方法。
【請求項8】
請求項７に記載の熱遮蔽体位置決め方法を用いて、チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行い、
前記チャンバ内でシリコン単結晶を引き上げる、シリコン単結晶の製造方法。
前記チャンバ内でシリコン単結晶を引き上げる、シリコン単結晶の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、熱遮蔽体位置決め治具、熱遮蔽体位置決め方法及びシリコン単結晶の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、シリコン単結晶を製造するシリコン単結晶製造装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
このようなシリコン単結晶製造装置には、坩堝内のシリコン融液から引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体が配置されている。熱遮蔽体は、例えば、その上端部が、坩堝及び熱遮蔽体を囲む保温筒により支持されている。
このようなシリコン単結晶製造装置には、坩堝内のシリコン融液から引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体が配置されている。熱遮蔽体は、例えば、その上端部が、坩堝及び熱遮蔽体を囲む保温筒により支持されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２２－０８３４９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
シリコン単結晶製造装置は、ワイヤ又はシャフトにより引き上げられるシリコン単結晶の中心軸と、チャンバの中心軸とが一致するように構成されている。そして、熱遮蔽体は、その中心軸と、シリコン単結晶の中心軸とが一致するように配置されることが好ましい。熱遮蔽体の中心軸とシリコン単結晶の中心軸とを一致させないと、シリコン単結晶と熱遮蔽体との間を流れる不活性ガスの流量の偏りによりシリコン単結晶が揺れたり、シリコン単結晶周囲の熱環境に偏りが発生したりするおそれがあるからである。
【0005】
従来、熱遮蔽体の配置位置を、作業者が目視で決定したりメジャーを用いて決定したりしていたが、これらの方法では、熱遮蔽体の位置決めを容易に行うことができず、また、作業者により配置位置のばらつきが生じるおそれがある。
【0006】
本発明は、熱遮蔽体の水平方向の位置決めを容易にかつ適切に行うことができる熱遮蔽体位置決め治具、熱遮蔽体位置決め方法及びシリコン単結晶の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の熱遮蔽体位置決め治具は、チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め治具であって、前記チャンバに対して着脱自在に構成された治具本体を備え、前記治具本体には、前記チャンバに対する前記治具本体の水平方向の位置決めを行う治具用位置決め部と、前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の水平方向の位置決めを行う熱遮蔽体用位置決め部と、が設けられている。
【0008】
本発明の熱遮蔽体位置決め治具において、前記治具本体における鉛直方向側の部位には、水平方向の大きさが互いに異なる複数種類の熱遮蔽体の水平方向の位置決めをそれぞれ行うための、複数の前記熱遮蔽体用位置決め部が設けられ、前記治具本体は、位置決め対象の前記熱遮蔽体に対応する前記熱遮蔽体用位置決め部が前記熱遮蔽体の上側に対向する姿勢で、前記チャンバに装着される、ことが好ましい。
【0009】
本発明の熱遮蔽体位置決め治具において、前記治具本体における鉛直方向の一方側の部位には、少なくとも１つの前記熱遮蔽体用位置決め部が設けられ、前記治具本体における鉛直方向の他方側の部位には、残りの前記熱遮蔽体用位置決め部が設けられている、ことが好ましい。
【0010】
本発明の熱遮蔽体位置決め治具において、前記治具本体は、基部と、前記基部から互いに異なる方向に水平方向に延びる複数の腕部と、を備え、前記複数の腕部には、前記治具用位置決め部及び前記熱遮蔽体用位置決め部がそれぞれ設けられている、ことが好ましい。
【0011】
本発明の熱遮蔽体位置決め治具において、前記基部及び前記複数の腕部のうち少なくとも１つには、前記治具本体を把持するための把持部が設けられている、ことが好ましい。
【0012】
本発明の熱遮蔽体位置決め治具において、前記把持部は、当該把持部が設けられた部位を貫通する貫通孔により構成されている、ことが好ましい。
【0013】
本発明の熱遮蔽体位置決め方法は、上述の熱遮蔽体位置決め治具を用いて、チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め方法であって、前記熱遮蔽体を前記チャンバ内に仮配置し、前記治具用位置決め部による前記チャンバに対する前記治具本体の水平方向の位置決めと、前記熱遮蔽体用位置決め部による前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の水平方向の位置決めと、を同時に行い、又はいずれか一方の位置決めを行った後に他方の位置決めを行い、前記熱遮蔽体位置決め治具を前記チャンバ及び前記熱遮蔽体から離間させる。
【0014】
本発明のシリコン単結晶の製造方法は、上述の熱遮蔽体位置決め方法を用いて、チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行い、前記チャンバ内でシリコン単結晶を引き上げる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】本発明の一実施形態におけるシリコン単結晶製造装置の構成を示す模式図である。
【図2】熱遮蔽体位置決め治具を示す平面図であり、（Ａ）は前記一実施形態の熱遮蔽体位置決め治具を示し、（Ｂ）は変形例の熱遮蔽体位置決め治具を示す。
【図3】前記一実施形態の熱遮蔽体位置決め治具を示す側面図であり、（Ａ）は熱遮蔽体位置決め治具の全体を示し、（Ｂ）は熱遮蔽体位置決め治具の一部を示す。
【図4】前記一実施形態における熱遮蔽体のチャンバに対する水平方向の位置決め状態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
［実施形態］
以下、本発明の一実施形態について説明する。
以下、本発明の一実施形態について説明する。
【0017】
【0018】
図１に示すシリコン単結晶製造装置１は、チョクラルスキー法を用いてシリコン単結晶ＳＭを製造する。シリコン単結晶製造装置１は、直胴部の直径が、例えば２００ｍｍ以上４５０ｍｍ以下のシリコン単結晶ＳＭを製造する。
シリコン単結晶製造装置１は、チャンバ１１と、坩堝１２と、ヒータ１３と、保温筒１４と、熱遮蔽体１５と、引き上げ部１６と、坩堝駆動部１７と、を備える。
シリコン単結晶製造装置１は、チャンバ１１と、坩堝１２と、ヒータ１３と、保温筒１４と、熱遮蔽体１５と、引き上げ部１６と、坩堝駆動部１７と、を備える。
【0019】
チャンバ１１は、メインチャンバ１１１と、トップチャンバ１１２と、プルチャンバ１１３と、を備える。
【0020】
メインチャンバ１１１は、有底円筒状に形成されている。メインチャンバ１１１は、坩堝１２、ヒータ１３、保温筒１４及び熱遮蔽体１５を収容する。
【0021】
トップチャンバ１１２は、上端の直径が下端の直径よりも小さい略円錐台筒状に形成されている。トップチャンバ１１２は、その下端がメインチャンバ１１１の上端に気密に接続されており、メインチャンバ１１１の上方を覆う。
【0022】
プルチャンバ１１３は、円筒状に形成されている。プルチャンバ１１３は、その下端がトップチャンバ１１２の上端に気密に接続されている。プルチャンバ１１３は、引き上げられたシリコン単結晶ＳＭを一時収容する。
【0023】
このように、メインチャンバ１１１とトップチャンバ１１２とプルチャンバ１１３とがそれぞれ気密に接続されることにより、チャンバ１１内の密閉空間が形成されている。
【0024】
プルチャンバ１１３の上部には、アルゴン（Ａｒ）ガス等の不活性ガスをチャンバ１１内に導入するガス導入口１１３Ａが設けられている。メインチャンバ１１１の下部には、図示しない真空ポンプの駆動により、当該チャンバ１１内のガスを排出するガス排出口１１１Ａが設けられている。
【0025】
坩堝１２は、メインチャンバ１１１内に配置され、シリコン融液にドーパントが添加されたドーパント添加融液ＭＤを貯留する。なお、シリコン単結晶ＳＭの抵抗率に応じて、シリコン融液にドーパントを添加しなくても良い。
【0026】
ヒータ１３は、円筒状に形成されている。ヒータ１３は、坩堝１２の外側に所定間隔を隔てて配置され、坩堝１２内のシリコン原料を融解する。
【0027】
保温筒１４は、円筒状に形成されている。保温筒１４は、ヒータ１３の外側に所定間隔を隔てて配置されている。
【0028】
熱遮蔽体１５は、上端の直径が下端の直径よりも大きい円錐台筒状の熱遮蔽体本体１５１と、熱遮蔽体本体１５１の上端全周から外方にフランジ状に突出する被支持部１５２と、を備える。熱遮蔽体１５は、ドーパント添加融液ＭＤから引き上げ中のシリコン単結晶ＳＭを囲むように、被支持部１５２が保温筒１４の上端に載置された状態で支持される。熱遮蔽体１５は、ヒータ１３からシリコン単結晶ＳＭへの放射熱を遮断する。
【0029】
引き上げ部１６は、一端に種結晶ＳＣが取り付けられるケーブル１６１と、このケーブル１６１を昇降及び回転させる引き上げ駆動部１６２と、を備える。
【0030】
坩堝駆動部１７は、坩堝１２を下方から支持する支持軸１７１を備え、坩堝１２を所定の速度で回転及び昇降させる。
【0031】
以上の構成を有するシリコン単結晶製造装置１は、ケーブル１６１と、当該ケーブル１６１により引き上げられるシリコン単結晶ＳＭの中心軸と、チャンバ１１の中心軸とが一致するように構成されている。
【0032】
＜熱遮蔽体位置決め治具の構成＞
次に、熱遮蔽体１５のチャンバ１１に対する方向の水平方向の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め治具について説明する。
図２は熱遮蔽体位置決め治具を示す平面図であり、（Ａ）は本実施形態の熱遮蔽体位置決め治具を示し、（Ｂ）は変形例の熱遮蔽体位置決め治具を示す。図３は、本実施形態の熱遮蔽体位置決め治具を示す側面図であり、（Ａ）は熱遮蔽体位置決め治具の全体を示し、（Ｂ）は熱遮蔽体位置決め治具の一部を示す。
次に、熱遮蔽体１５のチャンバ１１に対する方向の水平方向の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め治具について説明する。
図２は熱遮蔽体位置決め治具を示す平面図であり、（Ａ）は本実施形態の熱遮蔽体位置決め治具を示し、（Ｂ）は変形例の熱遮蔽体位置決め治具を示す。図３は、本実施形態の熱遮蔽体位置決め治具を示す側面図であり、（Ａ）は熱遮蔽体位置決め治具の全体を示し、（Ｂ）は熱遮蔽体位置決め治具の一部を示す。
【0033】
図２（Ａ）に示す熱遮蔽体位置決め治具２は、熱遮蔽体１５のメインチャンバ１１１（チャンバ１１）に対する方向の水平方向の位置決めを行う際に用いられる。熱遮蔽体位置決め治具２は、治具本体２１を備える。
【0034】
治具本体２１は、メインチャンバ１１１に対して着脱自在に構成されている。
治具本体２１は、剛性が確保され、且つメインチャンバ１１１内の金属汚染が発生しない材料で構成されることが好ましい。また、治具本体２１は、室温環境下で用いられるため耐熱性は必要ないが、作業者により運搬されるため軽量であることが好ましい。これらのような機能を有する材料としては、テフロン（登録商標）又は黒鉛を例示することができる。
なお、メインチャンバ１１１内の金属汚染を回避するためには、治具本体２１の熱遮蔽体１５と接触する部位における金属の使用を避ければ良い。このため、治具本体２１の熱遮蔽体１５と接触しない部位を金属で構成しても良い。
治具本体２１は、剛性が確保され、且つメインチャンバ１１１内の金属汚染が発生しない材料で構成されることが好ましい。また、治具本体２１は、室温環境下で用いられるため耐熱性は必要ないが、作業者により運搬されるため軽量であることが好ましい。これらのような機能を有する材料としては、テフロン（登録商標）又は黒鉛を例示することができる。
なお、メインチャンバ１１１内の金属汚染を回避するためには、治具本体２１の熱遮蔽体１５と接触する部位における金属の使用を避ければ良い。このため、治具本体２１の熱遮蔽体１５と接触しない部位を金属で構成しても良い。
【0035】
治具本体２１は、基部２１１と、４本の腕部２１２と、を備える。４本の腕部２１２は、平面視において、基部２１１から放射状に、同じ長さだけ延びるように配置されている。つまり、４本の腕部２１２は、平面視において、基部２１１から互いに異なる水平方向に同じ長さだけ延びるように、且つ隣り合う腕部２１２のなす角度が等しくなるように（９０°になるように）配置されている。
なお、図２（Ｂ）に示すように、治具本体２１を３本の腕部２１２を備えるように構成しても良い。この場合、３本の腕部２１２は、平面視において、基部２１１から互いに異なる水平方向に同じ長さだけ延びるように、且つ隣り合う腕部２１２のなす角度が等しくなるように（１２０°になるように）配置されることが好ましい。また、治具本体２１を２本又は５本以上の腕部２１２を備えるように構成しても良い。また、隣り合う腕部２１２のなす角度は等しくなくても良いが、重量バランスを良くするという観点から、隣り合う腕部２１２のなす角度を等しくすることが好ましい。
なお、図２（Ｂ）に示すように、治具本体２１を３本の腕部２１２を備えるように構成しても良い。この場合、３本の腕部２１２は、平面視において、基部２１１から互いに異なる水平方向に同じ長さだけ延びるように、且つ隣り合う腕部２１２のなす角度が等しくなるように（１２０°になるように）配置されることが好ましい。また、治具本体２１を２本又は５本以上の腕部２１２を備えるように構成しても良い。また、隣り合う腕部２１２のなす角度は等しくなくても良いが、重量バランスを良くするという観点から、隣り合う腕部２１２のなす角度を等しくすることが好ましい。
【0036】
図３（Ａ）に示すように、基部２１１は、例えば、円板状に形成されており、基部２１１の外周面には、４本の腕部２１２が固定されている。
【0037】
治具本体２１には、治具用位置決め部２２が設けられている。治具用位置決め部２２は、メインチャンバ１１１に対する治具本体２１の水平方向の位置決めを行う機能を有する。治具用位置決め部２２は、各腕部２１２の延出方向の先端により構成されている。つまり、治具本体２１には、４つの治具用位置決め部２２が設けられている。
治具用位置決め部２２を構成する各腕部２１２の延出方向の先端は、側面視において、略円弧形に形成されている。なお、治具用位置決め部２２は、側面視において、直線状又は凸凹状に形成されても良い。図２（Ａ）に示すように、４本の腕部２１２は、４つの治具用位置決め部２２に外接する仮想外接円Ｐの直径Ｒが、メインチャンバ１１１の内径以下となるように形成されている。例えば、４本の腕部２１２は、仮想外接円Ｐの直径Ｒとメインチャンバ１１１の内径との差が、０ｍｍ以上１ｍｍ以下となるように形成されている。
熱遮蔽体位置決め治具２の外径（図２（Ａ）に示す仮想外接円Ｐの直径Ｒ）は、例えば、１ｍ以上２．５ｍ以下の範囲の大きさにすることができる。
治具用位置決め部２２を構成する各腕部２１２の延出方向の先端は、側面視において、略円弧形に形成されている。なお、治具用位置決め部２２は、側面視において、直線状又は凸凹状に形成されても良い。図２（Ａ）に示すように、４本の腕部２１２は、４つの治具用位置決め部２２に外接する仮想外接円Ｐの直径Ｒが、メインチャンバ１１１の内径以下となるように形成されている。例えば、４本の腕部２１２は、仮想外接円Ｐの直径Ｒとメインチャンバ１１１の内径との差が、０ｍｍ以上１ｍｍ以下となるように形成されている。
熱遮蔽体位置決め治具２の外径（図２（Ａ）に示す仮想外接円Ｐの直径Ｒ）は、例えば、１ｍ以上２．５ｍ以下の範囲の大きさにすることができる。
【0038】
詳しくは後述するが、４本の腕部２１２の延出方向が水平方向と平行になり、且つ各治具用位置決め部２２がメインチャンバ１１１の内周面に当接する状態、又は対向する状態で、治具本体２１がメインチャンバ１１１内に挿入されることにより、メインチャンバ１１１に対する治具本体２１の水平方向の位置決めが行われる。
【0039】
図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、治具本体２１における鉛直方向側の部位には、第１熱遮蔽体用位置決め部２３と、第２熱遮蔽体用位置決め部２４と、第３熱遮蔽体用位置決め部２５と、が設けられている。
【0040】
第１，第２，第３熱遮蔽体用位置決め部２３，２４，２５は、治具本体２１に対する熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めを行う機能を有する。
第１熱遮蔽体用位置決め部２３は、被支持部１５２の外径が第１長さの熱遮蔽体１５（以下、「第１熱遮蔽体１５」という場合がある）の位置決めを行う。
第２熱遮蔽体用位置決め部２４は、被支持部１５２の外径が第１長さよりも短い第２長さの熱遮蔽体１５（以下、「第２熱遮蔽体１５」という場合がある）の位置決めを行う。
第３熱遮蔽体用位置決め部２５は、被支持部１５２の外径が第１，第２長さよりも短い第３長さの熱遮蔽体１５（以下、「第３熱遮蔽体１５」という場合がある）の位置決めを行う。つまり、治具本体２１には、水平方向の大きさが互いに異なる複数種類の熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めをそれぞれ行うための、複数の熱遮蔽体用位置決め部（第１，第２，第３熱遮蔽体用位置決め部２３，２４，２５）が設けられている。
なお、以下において、第１熱遮蔽体１５の被支持部１５２を第１被支持部１５２、第２熱遮蔽体１５の被支持部１５２を第２被支持部１５２、第３熱遮蔽体１５の被支持部１５２を第３被支持部１５２という場合がある。
第１熱遮蔽体用位置決め部２３は、被支持部１５２の外径が第１長さの熱遮蔽体１５（以下、「第１熱遮蔽体１５」という場合がある）の位置決めを行う。
第２熱遮蔽体用位置決め部２４は、被支持部１５２の外径が第１長さよりも短い第２長さの熱遮蔽体１５（以下、「第２熱遮蔽体１５」という場合がある）の位置決めを行う。
第３熱遮蔽体用位置決め部２５は、被支持部１５２の外径が第１，第２長さよりも短い第３長さの熱遮蔽体１５（以下、「第３熱遮蔽体１５」という場合がある）の位置決めを行う。つまり、治具本体２１には、水平方向の大きさが互いに異なる複数種類の熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めをそれぞれ行うための、複数の熱遮蔽体用位置決め部（第１，第２，第３熱遮蔽体用位置決め部２３，２４，２５）が設けられている。
なお、以下において、第１熱遮蔽体１５の被支持部１５２を第１被支持部１５２、第２熱遮蔽体１５の被支持部１５２を第２被支持部１５２、第３熱遮蔽体１５の被支持部１５２を第３被支持部１５２という場合がある。
【0041】
第１熱遮蔽体用位置決め部２３は、各腕部２１２における鉛直方向の一方側の部位（図３（Ａ），（Ｂ）における上端）に１つずつ設けられている。第２熱遮蔽体用位置決め部２４及び第３熱遮蔽体用位置決め部２５は、各腕部２１２における鉛直方向の他方側の部位（図３（Ａ），（Ｂ）における下端）にそれぞれ１つずつ設けられている。
各第１，第２，第３熱遮蔽体用位置決め部２３，２４，２５は、第１，第２，第３被支持部１５２，１５２，１５２の上端縁部に当接することにより、第１，第２，第３熱遮蔽体１５，１５，１５の水平方向の位置決めを行う。
各第１，第２，第３熱遮蔽体用位置決め部２３，２４，２５は、第１，第２，第３被支持部１５２，１５２，１５２の上端縁部に当接することにより、第１，第２，第３熱遮蔽体１５，１５，１５の水平方向の位置決めを行う。
【0042】
各第１熱遮蔽体用位置決め部２３は、第１水平面２３１と、第１鉛直面２３２と、をそれぞれ備える。各第１熱遮蔽体用位置決め部２３は、さらに第１傾斜面２３３を備えることが好ましい。
第１水平面２３１は、面方向が水平方向に平行になるように形成され、第１被支持部１５２の上面に当接可能に構成されている。
第１鉛直面２３２は、第１水平面２３１における腕部２１２の先端側の端部から鉛直方向に延びるように形成され、第１被支持部１５２の側面に当接可能又は対向可能に構成されている。第１鉛直面２３２は、第１被支持部１５２の側面に対応する円弧面状に形成されても良いし、平面状に形成されても良い。各第１鉛直面２３２は、各第１鉛直面２３２に内接する第１仮想内接円の直径Ｒ１が、第１被支持部１５２の外径以上となるように形成されている。例えば、各第１鉛直面２３２は、第１仮想内接円の直径Ｒ１と第１被支持部１５２の外径との差が、０ｍｍ以上１ｍｍ以下となるように形成されている。
第１傾斜面２３３は、第１鉛直面２３２における第１水平面２３１と反対側の端部から鉛直方向に対して傾斜するように形成されている。第１傾斜面２３３は、第１鉛直面２３２から離れるにしたがって、基部２１１から離れるように傾斜している。
第１水平面２３１は、面方向が水平方向に平行になるように形成され、第１被支持部１５２の上面に当接可能に構成されている。
第１鉛直面２３２は、第１水平面２３１における腕部２１２の先端側の端部から鉛直方向に延びるように形成され、第１被支持部１５２の側面に当接可能又は対向可能に構成されている。第１鉛直面２３２は、第１被支持部１５２の側面に対応する円弧面状に形成されても良いし、平面状に形成されても良い。各第１鉛直面２３２は、各第１鉛直面２３２に内接する第１仮想内接円の直径Ｒ１が、第１被支持部１５２の外径以上となるように形成されている。例えば、各第１鉛直面２３２は、第１仮想内接円の直径Ｒ１と第１被支持部１５２の外径との差が、０ｍｍ以上１ｍｍ以下となるように形成されている。
第１傾斜面２３３は、第１鉛直面２３２における第１水平面２３１と反対側の端部から鉛直方向に対して傾斜するように形成されている。第１傾斜面２３３は、第１鉛直面２３２から離れるにしたがって、基部２１１から離れるように傾斜している。
【0043】
各第２熱遮蔽体用位置決め部２４は、第２水平面２４１と、第２鉛直面２４２と、をそれぞれ備える。各第３熱遮蔽体用位置決め部２５は、第３水平面２５１と、第３鉛直面２５２と、をそれぞれ備える。各第２熱遮蔽体用位置決め部２４は、さらに第２傾斜面２４３を備えることが好ましい。各第３熱遮蔽体用位置決め部２５は、さらに第３傾斜面２５３を備えることが好ましい。
第２，第３水平面２４１，２５１は、面方向が水平方向に平行になるように形成され、第２，第３被支持部１５２，１５２の上面に当接可能に構成されている。
第２，第３鉛直面２４２，２５２は、第２，第３水平面２４１，２５１における腕部２１２の先端側の端部から鉛直方向に延びるように形成され、第２，第３被支持部１５２，１５２の側面に当接可能又は対向可能に構成されている。第２，第３鉛直面２４２，２５２は、第２，第３被支持部１５２，１５２の側面に対応する円弧面状に形成されても良いし、平面状に形成されても良い。各第２，第３鉛直面２４２，２５２は、各第２，第３鉛直面２４２，２５２に内接する第２，第３仮想内接円の直径Ｒ２，Ｒ３が、第２，第３被支持部１５２，１５２の外径以上となるように形成されている。例えば、各第２，第３鉛直面２４２，２５２は、第２，第３仮想内接円の直径Ｒ２，Ｒ３と第２，第３被支持部１５２，１５２の外径との差が、０ｍｍ以上１ｍｍ以下となるように形成されている。
第２，第３傾斜面２４３，２５３は、第２，第３鉛直面２４２，２５２における第２，第３水平面２４１，２５１と反対側延出方向の端部から鉛直方向に対して傾斜するように形成されている。第２，第３傾斜面２４３，２５３は、第２，第３鉛直面２４２，２５２から離れるにしたがって、基部２１１から離れるように傾斜している。
第２，第３水平面２４１，２５１は、面方向が水平方向に平行になるように形成され、第２，第３被支持部１５２，１５２の上面に当接可能に構成されている。
第２，第３鉛直面２４２，２５２は、第２，第３水平面２４１，２５１における腕部２１２の先端側の端部から鉛直方向に延びるように形成され、第２，第３被支持部１５２，１５２の側面に当接可能又は対向可能に構成されている。第２，第３鉛直面２４２，２５２は、第２，第３被支持部１５２，１５２の側面に対応する円弧面状に形成されても良いし、平面状に形成されても良い。各第２，第３鉛直面２４２，２５２は、各第２，第３鉛直面２４２，２５２に内接する第２，第３仮想内接円の直径Ｒ２，Ｒ３が、第２，第３被支持部１５２，１５２の外径以上となるように形成されている。例えば、各第２，第３鉛直面２４２，２５２は、第２，第３仮想内接円の直径Ｒ２，Ｒ３と第２，第３被支持部１５２，１５２の外径との差が、０ｍｍ以上１ｍｍ以下となるように形成されている。
第２，第３傾斜面２４３，２５３は、第２，第３鉛直面２４２，２５２における第２，第３水平面２４１，２５１と反対側延出方向の端部から鉛直方向に対して傾斜するように形成されている。第２，第３傾斜面２４３，２５３は、第２，第３鉛直面２４２，２５２から離れるにしたがって、基部２１１から離れるように傾斜している。
【0044】
各第１，第２，第３熱遮蔽体用位置決め部２３，２４，２５は、熱遮蔽体位置決め治具２の中心から等距離（仮想外接円Ｐと同心円上）の位置に設けられても良い。このような構成により、確実に熱遮蔽体１５の中心軸をチャンバ１１の中心軸に一致させて熱遮蔽体１５を設置することができる。
【0045】
詳しくは後述するが、例えば、第１熱遮蔽体用位置決め部２３が下側に位置する姿勢で治具本体２１がメインチャンバ１１１内に挿入され、保温筒１４に載置された第１被支持部１５２の上面に第１水平面２３１が当接し、且つ第１被支持部１５２の側面に第１鉛直面２３２が当接又は対向することにより、メインチャンバ１１１に対する第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めが行われる。
【0046】
また、基部２１１における上面及び下面には、取っ手２１３がそれぞれ固定されている。取っ手２１３は、作業者が治具本体２１を把持して運搬する際に利用される。つまり、取っ手２１３は、本発明の把持部として機能する。
【0047】
また、各腕部２１２における延出方向の先端側には、各腕部２１２を水平方向に貫通する貫通孔２１２Ａが形成されている。貫通孔２１２Ａは、作業者が手を入れることができる大きさに形成されており、作業者が治具本体２１を把持して運搬する際に利用される。貫通孔２１２Ａは、本発明の把持部として機能する。また、貫通孔２１２Ａは、治具本体２１の軽量化に寄与する。
【0048】
＜熱遮蔽体位置決め方法＞
次に、熱遮蔽体位置決め治具２を用いて熱遮蔽体１５のチャンバ１１に対する水平方向の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め方法について説明する。
なお、熱遮蔽体位置決め治具２の第１熱遮蔽体用位置決め部２３により第１熱遮蔽体１５の位置決めを行う方法について説明するが、第２熱遮蔽体用位置決め部２４により第２熱遮蔽体１５の位置決めを行う方法、又は第３熱遮蔽体用位置決め部２５により第３熱遮蔽体１５の位置決めを行う方法も、以下の説明と同様に行われる。また、以下の説明における作業者が行う作業は、少なくとも一人の作業者が行っても良いし、装置が行っても良い。
図４は、熱遮蔽体のチャンバに対する水平方向の位置決め状態を示す模式図である。
次に、熱遮蔽体位置決め治具２を用いて熱遮蔽体１５のチャンバ１１に対する水平方向の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め方法について説明する。
なお、熱遮蔽体位置決め治具２の第１熱遮蔽体用位置決め部２３により第１熱遮蔽体１５の位置決めを行う方法について説明するが、第２熱遮蔽体用位置決め部２４により第２熱遮蔽体１５の位置決めを行う方法、又は第３熱遮蔽体用位置決め部２５により第３熱遮蔽体１５の位置決めを行う方法も、以下の説明と同様に行われる。また、以下の説明における作業者が行う作業は、少なくとも一人の作業者が行っても良いし、装置が行っても良い。
図４は、熱遮蔽体のチャンバに対する水平方向の位置決め状態を示す模式図である。
【0049】
まず、作業者は、図４に示すように、第１熱遮蔽体１５の第１被支持部１５２を保温筒１４の上端に仮置きする。
次に、作業者は、第１熱遮蔽体用位置決め部２３が設けられた側と反対側に位置する取っ手２１３を掴み、又は貫通孔２１２Ａ内に手を入れて、第１熱遮蔽体用位置決め部２３が下側に位置する姿勢で、つまり第１熱遮蔽体用位置決め部２３が位置決め対象の第１熱遮蔽体１５の上側に対向する姿勢で、熱遮蔽体位置決め治具２をメインチャンバ１１１内に挿入する。
次に、作業者は、第１熱遮蔽体用位置決め部２３が設けられた側と反対側に位置する取っ手２１３を掴み、又は貫通孔２１２Ａ内に手を入れて、第１熱遮蔽体用位置決め部２３が下側に位置する姿勢で、つまり第１熱遮蔽体用位置決め部２３が位置決め対象の第１熱遮蔽体１５の上側に対向する姿勢で、熱遮蔽体位置決め治具２をメインチャンバ１１１内に挿入する。
【0050】
熱遮蔽体位置決め治具２がメインチャンバ１１１内に挿入されると、腕部２１２の先端に位置する治具用位置決め部２２がメインチャンバ１１１の内周面に当接することにより、治具用位置決め部２２によるメインチャンバ１１１に対する熱遮蔽体位置決め治具２の水平方向の位置決めが行われる。
【0051】
さらに、熱遮蔽体位置決め治具２がメインチャンバ１１１内に挿入されると、少なくとも１つの第１熱遮蔽体用位置決め部２３の第１傾斜面２３３が第１被支持部１５２の上端角部に当接する。その後、熱遮蔽体位置決め治具２の挿入に伴い、第１傾斜面２３３と第１被支持部１５２の上端角部との当接位置が徐々に第１鉛直面２３２側に移動することにより、第１熱遮蔽体１５が水平方向に移動する。そして、第１鉛直面２３２と第１被支持部１５２の側面とが当接するまで熱遮蔽体位置決め治具２が挿入されることにより、第１熱遮蔽体用位置決め部２３によるメインチャンバ１１１に対する第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めが行われる。その後、熱遮蔽体位置決め治具２は、第１水平面２３１が第１被支持部１５２の上面に当接するまで挿入される。
【0052】
この後、作業者は、上側に位置する取っ手２１３を掴み、又は貫通孔２１２Ａ内に手を入れて、第１熱遮蔽体１５をずらさないようにしながら熱遮蔽体位置決め治具２をメインチャンバ１１１内から取り出す。つまり、作業者は、熱遮蔽体位置決め治具２をメインチャンバ１１１及び第１熱遮蔽体１５から離間させる。
以上の作業により、第１熱遮蔽体１５の中心軸と、メインチャンバ１１１の中心軸とが一致するように、つまり第１熱遮蔽体１５の中心軸と、シリコン単結晶ＳＭの中心軸とが一致するように、第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置が調整される。
以上の作業により、第１熱遮蔽体１５の中心軸と、メインチャンバ１１１の中心軸とが一致するように、つまり第１熱遮蔽体１５の中心軸と、シリコン単結晶ＳＭの中心軸とが一致するように、第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置が調整される。
【0053】
なお、仮置きされた第１熱遮蔽体１５の中心軸がメインチャンバ１１１の中心軸上に位置している場合、第１傾斜面２３３と第１被支持部１５２の上端角部とが当接せずに、熱遮蔽体位置決め治具２の挿入に伴い第１熱遮蔽体１５が水平方向に移動しない。
【0054】
また、４つの治具用位置決め部２２に外接する仮想外接円Ｐの直径Ｒとメインチャンバ１１１の内径との差が０ｍｍでない場合、少なくとも１つの治具用位置決め部２２がメインチャンバ１１１に当接しない状態で、熱遮蔽体位置決め治具２がメインチャンバ１１１内に挿入される。また、４つの第１鉛直面２３２に内接する第１仮想内接円の直径Ｒ１と第１被支持部１５２の外径との差が０ｍｍでない場合、少なくとも１つの第１鉛直面２３２が第１被支持部１５２に当接しない状態で、熱遮蔽体位置決め治具２がメインチャンバ１１１内に挿入される。
【0055】
少なくとも１つの治具用位置決め部２２がメインチャンバ１１１に当接しない状態と、少なくとも１つの第１鉛直面２３２が第１被支持部１５２に当接しない状態と、のうち少なくとも一方の状態で、第１熱遮蔽体１５が位置決めされた場合、仮想外接円Ｐの直径Ｒとメインチャンバ１１１の内径との差、及び第１仮想内接円の直径Ｒ１と第１被支持部１５２の外径との差が、ともに１ｍｍ以下であるため、第１熱遮蔽体１５の中心軸のメインチャンバ１１１の中心軸からのずれ量は、最大で２ｍｍとなる。
【0056】
第１熱遮蔽体１５の中心軸のメインチャンバ１１１の中心軸からのずれ量が２ｍｍ以下であれば、シリコン単結晶ＳＭと第１熱遮蔽体１５との間を流れる不活性ガスの流量の偏りによりシリコン単結晶ＳＭが揺れたり、シリコン単結晶ＳＭ周囲の熱環境が偏ったりすることを抑制できる。
したがって、熱遮蔽体位置決め治具２は、仮想外接円Ｐの直径Ｒとメインチャンバ１１１の内径との差、及び第１仮想内接円の直径Ｒ１と第１被支持部１５２の外径との差のうち、少なくとも一方の差が０ｍｍでなくても、当該少なくとも一方の差が所定値（本実施形態では１ｍｍ）以下であれば、第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めを適切に行うことができる。
したがって、熱遮蔽体位置決め治具２は、仮想外接円Ｐの直径Ｒとメインチャンバ１１１の内径との差、及び第１仮想内接円の直径Ｒ１と第１被支持部１５２の外径との差のうち、少なくとも一方の差が０ｍｍでなくても、当該少なくとも一方の差が所定値（本実施形態では１ｍｍ）以下であれば、第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めを適切に行うことができる。
【0057】
＜シリコン単結晶の製造方法＞
次に、上述の熱遮蔽体位置決め方法を含むシリコン単結晶の製造方法について説明する。
まず、作業者は、上述の熱遮蔽体位置決め方法により、メインチャンバ１１１内に仮置きされた第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めを行う。
作業者によりメインチャンバ１１１内から熱遮蔽体位置決め治具２が取り出された後、シリコン単結晶製造装置１は、周知の方法により、チャンバ１１内でシリコン単結晶ＳＭを引き上げる。この引き上げの際、第１熱遮蔽体１５の中心軸と、シリコン単結晶ＳＭの中心軸とが一致しているため、シリコン単結晶ＳＭが揺れたり、シリコン単結晶ＳＭ周囲の熱環境が偏ったりすることを抑制した状態で、シリコン単結晶ＳＭを引き上げることができる。
次に、上述の熱遮蔽体位置決め方法を含むシリコン単結晶の製造方法について説明する。
まず、作業者は、上述の熱遮蔽体位置決め方法により、メインチャンバ１１１内に仮置きされた第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めを行う。
作業者によりメインチャンバ１１１内から熱遮蔽体位置決め治具２が取り出された後、シリコン単結晶製造装置１は、周知の方法により、チャンバ１１内でシリコン単結晶ＳＭを引き上げる。この引き上げの際、第１熱遮蔽体１５の中心軸と、シリコン単結晶ＳＭの中心軸とが一致しているため、シリコン単結晶ＳＭが揺れたり、シリコン単結晶ＳＭ周囲の熱環境が偏ったりすることを抑制した状態で、シリコン単結晶ＳＭを引き上げることができる。
【0058】
［実施形態の効果］
熱遮蔽体位置決め治具２は、メインチャンバ１１１に対して着脱自在に構成された治具本体２１を備える。治具本体２１には、メインチャンバ１１１に対する治具本体２１の水平方向の位置決めを行う治具用位置決め部２２と、治具本体２１に対する第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めを行う第１熱遮蔽体用位置決め部２３と、が設けられている。
このため、第１熱遮蔽体１５をメインチャンバ１１１内に仮配置し、治具用位置決め部２２によるメインチャンバ１１１に対する治具本体２１の水平方向の位置決めと、第１熱遮蔽体用位置決め部２３による治具本体２１に対する第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めと、を行った後、熱遮蔽体位置決め治具２をメインチャンバ１１１及び第１熱遮蔽体１５から離間させるだけで、メインチャンバ１１１に対する第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めを再現性良く行うことができる。
したがって、第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めを容易にかつ適切に行うことができる熱遮蔽体位置決め治具２を提供することができる。
また、メインチャンバ１１１が小さければ、作業者が目視で第１熱遮蔽体１５の適切な位置を判定できるが、直胴部の直径が３００ｍｍ以上のシリコン単結晶ＳＭを製造するためのシリコン単結晶製造装置１では、メインチャンバ１１１が大きいため、作業者が目視で第１熱遮蔽体１５の適切な位置を判定することが困難になる。このような大きいメインチャンバ１１１に対する第１熱遮蔽体１５の位置決めをする際に、熱遮蔽体位置決め治具２は有用である。
熱遮蔽体位置決め治具２は、メインチャンバ１１１に対して着脱自在に構成された治具本体２１を備える。治具本体２１には、メインチャンバ１１１に対する治具本体２１の水平方向の位置決めを行う治具用位置決め部２２と、治具本体２１に対する第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めを行う第１熱遮蔽体用位置決め部２３と、が設けられている。
このため、第１熱遮蔽体１５をメインチャンバ１１１内に仮配置し、治具用位置決め部２２によるメインチャンバ１１１に対する治具本体２１の水平方向の位置決めと、第１熱遮蔽体用位置決め部２３による治具本体２１に対する第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めと、を行った後、熱遮蔽体位置決め治具２をメインチャンバ１１１及び第１熱遮蔽体１５から離間させるだけで、メインチャンバ１１１に対する第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めを再現性良く行うことができる。
したがって、第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めを容易にかつ適切に行うことができる熱遮蔽体位置決め治具２を提供することができる。
また、メインチャンバ１１１が小さければ、作業者が目視で第１熱遮蔽体１５の適切な位置を判定できるが、直胴部の直径が３００ｍｍ以上のシリコン単結晶ＳＭを製造するためのシリコン単結晶製造装置１では、メインチャンバ１１１が大きいため、作業者が目視で第１熱遮蔽体１５の適切な位置を判定することが困難になる。このような大きいメインチャンバ１１１に対する第１熱遮蔽体１５の位置決めをする際に、熱遮蔽体位置決め治具２は有用である。
【0059】
治具本体２１における鉛直方向側の部位には、水平方向の大きさが互いに異なる第１，第２，第３熱遮蔽体１５，１５，１５の水平方向の位置決めをそれぞれ行うための、第１，第２，第３熱遮蔽体用位置決め部２３，２４，２５が設けられている。治具本体２１は、例えば位置決め対象の第１熱遮蔽体１５に対応する第１熱遮蔽体用位置決め部２３が第１熱遮蔽体１５の上側に対向する姿勢で、メインチャンバ１１１に装着される。
このため、１つの熱遮蔽体位置決め治具２を準備するだけで、水平方向の大きさが互いに異なる第１，第２，第３熱遮蔽体１５，１５，１５の位置決めを行うことができる。
このため、１つの熱遮蔽体位置決め治具２を準備するだけで、水平方向の大きさが互いに異なる第１，第２，第３熱遮蔽体１５，１５，１５の位置決めを行うことができる。
【0060】
治具本体２１における鉛直方向の一方側の部位には第１熱遮蔽体用位置決め部２３が設けられ、他方側の部位には第２，第３熱遮蔽体用位置決め部２４，２５が設けられている。
このため、第１熱遮蔽体１５の位置決めを行う際には、第１熱遮蔽体用位置決め部２３が第１熱遮蔽体１５の上側に対向する姿勢で熱遮蔽体位置決め治具２をメインチャンバ１１１に装着し、第２，第３熱遮蔽体１５の位置決めを行う際には、第２，第３熱遮蔽体用位置決め部２４，２５が第２，第３熱遮蔽体１５，１５の上側に対向する姿勢で熱遮蔽体位置決め治具２をメインチャンバ１１１に装着することにより、第１，第２，第３熱遮蔽体１５，１５，１５の水平方向の位置決めを行うことができる。
このため、第１熱遮蔽体１５の位置決めを行う際には、第１熱遮蔽体用位置決め部２３が第１熱遮蔽体１５の上側に対向する姿勢で熱遮蔽体位置決め治具２をメインチャンバ１１１に装着し、第２，第３熱遮蔽体１５の位置決めを行う際には、第２，第３熱遮蔽体用位置決め部２４，２５が第２，第３熱遮蔽体１５，１５の上側に対向する姿勢で熱遮蔽体位置決め治具２をメインチャンバ１１１に装着することにより、第１，第２，第３熱遮蔽体１５，１５，１５の水平方向の位置決めを行うことができる。
【0061】
治具本体２１は、基部２１１と、基部２１１から互いに異なる方向に水平方向に延びる複数の腕部２１２と、を備える。各腕部２１２には、治具用位置決め部２２及び第１，第２，第３熱遮蔽体用位置決め部２３，２４，２５がそれぞれ設けられている。
このように、治具本体２１を基部２１１と腕部２１２とにより構成することにより、熱遮蔽体位置決め治具２の軽量化を図ることができる。
このように、治具本体２１を基部２１１と腕部２１２とにより構成することにより、熱遮蔽体位置決め治具２の軽量化を図ることができる。
【0062】
基部２１１には、把持部として機能する取っ手２１３が設けられている。また、腕部２１２には、把持部として機能する貫通孔２１２Ａが設けられている。
このため、作業者は、取っ手２１３又は貫通孔２１２Ａを用いて、容易に熱遮蔽体位置決め治具２を移動させることができる。
このため、作業者は、取っ手２１３又は貫通孔２１２Ａを用いて、容易に熱遮蔽体位置決め治具２を移動させることができる。
【0063】
［変形例］
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の種々の改良並びに設計の変更等があっても本発明に含まれる。
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の種々の改良並びに設計の変更等があっても本発明に含まれる。
【0064】
例えば、熱遮蔽体位置決め治具２に、第１，第２，第３熱遮蔽体用位置決め部２３，２４，２５のうち１つ又は２つを設けなくても良い。また、熱遮蔽体位置決め治具２に、水平方向の大きさが互いに異なる４種類以上の熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めを行うための４つ以上の熱遮蔽体位置決め部を設けても良く、この場合、４つ以上の熱遮蔽体位置決め部を各腕部２１２における熱遮蔽体位置決め治具２の中心から等距離（仮想外接円Ｐと同心円上）の位置に設けることが好ましい。
【0065】
治具本体２１における例えば鉛直方向の一方側の部位（図３（Ａ），（Ｂ）における上端）に、第１，第２，第３熱遮蔽体用位置決め部２３，２４，２５を設けても良い。
【0066】
治具本体２１を、外径がメインチャンバ１１１の内径以下の円板状の部材により構成しても良いし、外接円の直径がメインチャンバ１１１の内径以下の多角形板状の部材により構成しても良い。この場合、円板状の部材の側面、又は多角形板状の部材の平面視における角部を、治具用位置決め部として機能させ、円板状の部材、又は多角形板状の部材の主面に、熱遮蔽体用位置決め部を設ければ良い。
【0067】
治具本体２１に、把持部として機能する取っ手２１３及び貫通孔２１２Ａのうち少なくとも一方を設けなくても良い。また、基部２１１に把持部として機能する貫通孔を設けても良いし、腕部２１２に取っ手２１３を設けても良い。
【0068】
基部２１１及び４本の腕部２１２のうち少なくとも１つに、水準器を配置しても良い。このような構成にすれば、熱遮蔽体１５が水平に配置されているか否かを判定することができる。
【0069】
治具用位置決め部２２として、メインチャンバ１１１の内周面に当接する構成を例示したが、メインチャンバ１１１の内周面及び外周面のうち少なくとも外周面に当接する構成としても良い。
【0070】
例えば第１熱遮蔽体用位置決め部２３として、第１熱遮蔽体１５を構成する熱遮蔽体本体１５１の上側又は下側の開口縁、或いは熱遮蔽体本体１５１の内周面との当接により、メインチャンバ１１１に対する第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めを行う構成を適用しても良い。
【0071】
１つの熱遮蔽体位置決め治具２で内径が互いに異なるメインチャンバ１１１に対する熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めができるように、腕部２１２の水平方向の長さを変更できるようにしても良い。例えば回動軸を介して２つの分割腕部を接続することにより１本の腕部２１２を構成し、外側に位置する分割腕部を回動させることにより腕部２１２の長さを変更しても良い。また、回動軸の代わりに、例えばラックピニオン機構を介して２つの分割腕部を接続し、外側に位置する分割腕部をスライドさせることにより腕部２１２の長さを変更しても良い。
【0072】
例えば、治具用位置決め部２２によるメインチャンバ１１１に対する治具本体２１の水平方向の位置決めと、第１熱遮蔽体用位置決め部２３による治具本体２１に対する第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めと、を同時に行えるように、熱遮蔽体位置決め治具２を構成しても良い。また、例えば、第１熱遮蔽体用位置決め部２３による治具本体２１に対する第１熱遮蔽体１５の水平方向の位置決めを行ってから、治具用位置決め部２２によるメインチャンバ１１１に対する治具本体２１の水平方向の位置決めを行えるように、熱遮蔽体位置決め治具２を構成しても良い。
【符号の説明】
【0073】
１１…チャンバ、１５…熱遮蔽体、２…熱遮蔽体位置決め治具、２１…治具本体、２１１…基部、２１２…腕部、２１２Ａ…貫通孔（把持部）、２１３…取っ手（把持部）、２２…治具用位置決め部、２３…第１熱遮蔽体用位置決め部、２４…第２熱遮蔽体用位置決め部、２５…第３熱遮蔽体用位置決め部、ＳＭ…シリコン単結晶。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】