特開 2024-64938 超音波発生装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024064938

(43)【公開日】2024-05-14

(54)【発明の名称】超音波発生装置

(51)【国際特許分類】

   H04R 1/34 20060101AFI20240507BHJP

【ＦＩ】

H04R1/34 330Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023029211

(22)【出願日】2023-02-28

(31)【優先権主張番号】P 2022172901

(32)【優先日】2022-10-28

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000004547

【氏名又は名称】日本特殊陶業株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】504137912

【氏名又は名称】国立大学法人 東京大学

(74)【代理人】

【識別番号】110000497

【氏名又は名称】弁理士法人グランダム特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 諭

(72)【発明者】

【氏名】横山 広大

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 遼

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 伸介

(72)【発明者】

【氏名】笠島 崇

(72)【発明者】

【氏名】森田 剛

(72)【発明者】

【氏名】山田 恭平

【テーマコード（参考）】

5D019

【Ｆターム（参考）】

5D019FF03

5D019GG00

(57)【要約】

【課題】用途に応じて最適な導波路を用いやすい超音波発生装置を提供する。
【解決手段】超音波発生源１１と、超音波集束部１２と、導波路１３と、を備え、超音波集束部１２は、超音波発生源１１と対向して配置された第一反射面１６と、第一反射面１６と対向して配置された第二反射面１７とを有し、第一反射面１６は、超音波発生源１１から発生した超音波を第二反射面１７に向かって反射させ、第二反射面１７は、第一反射面１６にて反射された超音波を導波路１３に向かって反射して導波路の内部に導入する超音波発生装置１０であって、導波路１３は、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部２２にて超音波集束部１２に接合され、接合部２２は、超音波発生源１１の外周縁１１Ｂを、対向方向に延長した領域Ｒよりも内周側の領域に配置されている。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

超音波を発生する超音波発生源と、
前記超音波発生源から発生した超音波を集束する超音波集束部と、
前記超音波集束部によって集束された超音波を伝送する導波路と、を備え、
前記超音波集束部は、前記超音波発生源と対向して配置された第一反射面と、前記第一反射面と対向して配置された第二反射面とを有し、 前記第一反射面は、前記超音波発生源とは反対側に凸な湾曲面であり、前記超音波発生源から発生した超音波を前記第二反射面に向かって反射させ、前記第二反射面は、前記第一反射面にて反射された超音波を前記導波路に向かって反射して前記導波路の内部に導入する超音波発生装置であって、
前記導波路は、前記超音波集束部と別の部材であって、接合部にて前記超音波集束部に接合され、
前記接合部は、前記超音波発生源の外周縁を、前記超音波発生源と前記第一反射面との対向方向に延長した領域よりも内周側の領域に配置されている、超音波発生装置。

【請求項2】

前記第二反射面は、前記第一反射面とは反対側に凸な湾曲面であり、
前記超音波発生源は、前記対向方向に直交する径方向における前記第二反射面の周囲を囲う形状をなし、
前記接合部は、前記超音波発生源の内周縁を、前記対向方向に延長した第一領域よりも内周側の領域に配置されている、請求項１に記載の超音波発生装置。

【請求項3】

前記導波路は、導入部を有し、
前記接合部は、前記第一反射面から前記第二反射面側へ凹んだ凹部を有し、
前記第一領域と前記第一反射面とが交差する線を第一仮想線とし、前記第一仮想線から前記第一反射面の焦点へと延びる領域を第二領域としたとき、前記凹部は前記第二領域よりも内周側の領域に配置されており、
前記導入部は、前記凹部に差し込まれている、請求項１又は請求項２に記載の超音波発生装置。

【請求項4】

前記導入部の外周面及び前記凹部の内周面は、螺旋状の溝を有し、
前記導入部は、締め付けによって前記凹部に固定されている、請求項３に記載の超音波発生装置。

【請求項5】

前記超音波集束部は、前記第一反射面から前記第二反射面とは反対側へ突出する突出部を有し、
前記導波路は、前記突出部の突出端に接合されている、請求項１又は請求項２に記載の超音波発生装置。

【請求項6】

前記導波路は、導入部を有し、
前記導波路と前記突出部の突出端とを突き合せた状態において、前記導入部の外周面から前記突出部の外周面まで延びる筒状の保持部材を備えている、請求項５に記載の超音波発生装置。

【請求項7】

前記導波路は、外周縁から前記第一反射面側に突出した筒状部を有し、
前記筒状部は、前記突出部の外周側に嵌まっている、請求項５に記載の超音波発生装置。

【請求項8】

前記導波路は、前記第一反射面に接合されている、請求項１又は請求項２に記載の超音波発生装置。

【請求項9】

前記超音波集束部は、前記導波路と接合する接合面を有し、
前記導波路と前記接合面との間は、超音波を伝搬する媒質で満たされている、請求項１又は請求項２に記載の超音波発生装置。

【請求項10】

前記導波路と前記超音波集束部とは、それぞれ導入面と接合面とが対向して接合されており、
前記導入面及び前記接合面は、平坦面である、請求項１又は請求項２に記載の超音波発生装置。

【請求項11】

前記導波路を固定する固定部材を備えている、請求項１又は請求項２に記載の超音波発生装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、超音波発生装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、診断や治療などの様々な用途で用いられる超音波発生装置が知られている。例えば下記特許文献１には、超音波を発生する超音波発生源と、超音波発生源で発生した超音波を集束する超音波集束部と、超音波集束部によって集束された超音波を伝送する導波路と、を備えた超音波発生装置が記載されている。超音波発生源で発生した超音波は、導波路の先端まで伝送される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２００６／０２８２４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記のような超音波発生装置は、用途に応じて、導波路の長さ寸法、導波路の先端形状、及び導波路の材質等を最適なものにしたいという要望がある。

【0005】

本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、用途に応じて最適な導波路を用いやすい超音波発生装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の超音波発生装置は、超音波を発生する超音波発生源と、前記超音波発生源から発生した超音波を集束する超音波集束部と、前記超音波集束部によって集束された超音波を伝送する導波路と、を備え、前記超音波集束部は、前記超音波発生源と対向して配置された第一反射面と、前記第一反射面と対向して配置された第二反射面とを有し、前記第一反射面は、前記超音波発生源とは反対側に凸な湾曲面であり、前記超音波発生源から発生した超音波を前記第二反射面に向かって反射させ、前記第二反射面は、前記第一反射面にて反射された超音波を前記導波路に向かって反射して前記導波路の内部に導入する超音波発生装置であって、前記導波路は、前記超音波集束部と別の部材であって、接合部にて前記超音波集束部に接合され、前記接合部は、前記超音波発生源の外周縁を、前記超音波発生源と前記第一反射面との対向方向に延長した領域よりも内周側の領域に配置されているものである。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、導波路は、超音波集束部と別の部材であるから、超音波発生源及び超音波集束部を共通化しつつ、用途に応じて導波路を変えることができる。したがって、用途に応じて最適な導波路を用いやすくできる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】超音波発生装置の基本構成を説明する図であって、超音波発生源から発生した超音波が第一反射面に向かって直進するイメージを示す図

【図2】超音波発生装置の基本構成を説明する図であって、第一反射面にて反射された超音波が焦点に向かって集束するイメージを示す図

【図3】実施例１における超音波発生装置を示す概略断面図

【図4】下側から見た超音波発生装置を示す底面図

【図5】実施例２における超音波発生装置を示す概略断面図

【図6】実施例３における超音波発生装置を示す概略断面図

【図7】実施例４における超音波発生装置を示す概略断面図

【図8】実施例５における超音波発生装置を示す概略断面図

【図9】実施例６における超音波発生装置を示す概略断面図

【図10】実施例７における超音波発生装置を示す概略断面図

【図11】実施例８における超音波発生装置を示す概略断面図

【図12】他の実施例（１）における超音波発生装置を示す概略断面図

【図13】他の実施例（２）における超音波発生装置を示す概略断面図

【図14】他の実施例（３）における超音波発生装置を示す概略断面図

【図15】他の実施例（４）における超音波発生装置を示す概略断面図

【図16】他の実施例（５）における超音波発生装置を示す概略断面図

【図17】他の実施例（６）における超音波発生装置を示す概略断面図

【発明を実施するための形態】

【0009】

本発明の好ましい形態を以下に示す。

【0010】

（１）本発明の超音波発生装置は、超音波を発生する超音波発生源と、前記超音波発生源から発生した超音波を集束する超音波集束部と、前記超音波集束部によって集束された超音波を伝送する導波路と、を備え、前記超音波集束部は、前記超音波発生源と対向して配置された第一反射面と、前記第一反射面と対向して配置された第二反射面とを有し、前記第一反射面は、前記超音波発生源とは反対側に凸な湾曲面であり、前記超音波発生源から発生した超音波を前記第二反射面に向かって反射させ、前記第二反射面は、前記第一反射面にて反射された超音波を前記導波路に向かって反射して前記導波路の内部に導入する超音波発生装置であって、前記導波路は、前記超音波集束部と別の部材であって、接合部にて前記超音波集束部に接合され、前記接合部は、前記超音波発生源の外周縁を、前記超音波発生源と前記第一反射面との対向方向に延長した領域よりも内周側の領域に配置されているものである。このような構成によれば、導波路は、超音波集束部と別の部材であるから、超音波発生源及び超音波集束部を共通化しつつ、用途に応じて導波路を変えることができる。したがって、用途に応じて最適な導波路を用いやすくできる。

【0011】

（２）上記（１）に記載の超音波発生装置において、前記第二反射面は、前記第一反射面とは反対側に凸な湾曲面であり、前記超音波発生源は、前記対向方向に直交する径方向における前記第二反射面の周囲を囲う形状をなし、前記接合部は、前記超音波発生源の内周縁を、前記対向方向に延長した第一領域よりも内周側の領域に配置されていてもよい。このような構成によれば、導波路と超音波集束部との接合部は、第一領域よりも内周側の領域に配置されているから、超音波発生源から発生して第一反射面へ向かう超音波の伝播領域に重ならない。したがって、接合部は、超音波発生源から発生する超音波の伝播を妨げない。

【0012】

（３）上記（１）又は（２）に記載の超音波発生装置において、前記導波路は、導入部を有し、前記接合部は、前記第一反射面から前記第二反射面側へ凹んだ凹部を有し、前記第一領域と前記第一反射面とが交差する線を第一仮想線とし、前記第一仮想線から前記第一反射面の焦点へと延びる領域を第二領域としたとき、前記凹部は前記第二領域よりも内周側の領域に配置されており、前記導入部は、前記凹部に差し込まれているものとしてもよい。このような構成によれば、締結部品等を用いることなく、導波路と超音波集束部とを接合できる。したがって、締結部品等を用いる場合と比べて部品点数を少なくできる。凹部は、第二領域よりも内周側に配置されているから、第一反射面から焦点に集束する超音波の伝播領域に重ならない。したがって、凹部は、第一反射面から焦点に集束する超音波の伝搬を妨げない。

【0013】

（４）上記（３）に記載の超音波発生装置において、前記導入部の外周面及び前記凹部の内周面は、螺旋状の溝を有し、前記導入部は、締め付けによって前記凹部に固定されているものとしてもよい。このような構成によれば、抵抗溶接や接着剤などを用いることなく、導波路と超音波集束部とを接合できる。

【0014】

（５）上記（１）又は（２）に記載の超音波発生装置において、前記超音波集束部は、前記第一反射面から前記第二反射面とは反対側へ突出する突出部を有し、前記導波路は、前記突出部の突出端に接合されているものとしてもよい。このような構成によれば、超音波集束部において導波路と接合する面を平らに成形しやすいから、超音波特性を良くできる。

【0015】

（６）上記（５）に記載の超音波発生装置において、前記導波路は、導入部を有し、前記導波路と前記突出部の突出端とを突き合せた状態において、前記導入部の外周面から前記突出部の外周面まで延びる筒状の保持部材を備えているものとしてもよい。このような構成によれば、保持部材によって、突出部と導入部との結合が保持される。したがって、導波路と超音波集束部との結合強度を向上できる。

【0016】

（７）上記（５）に記載の超音波発生装置において、前記導波路は、外周縁から前記第一反射面側に突出した筒状部を有し、前記筒状部は、前記突出部の外周側に嵌まっているものとしてもよい。このような構成によれば、筒状部を突出部の外周側に嵌めることによって、突出部と導波路との結合が保持される。したがって、他の部品を用いることなく、導波路と超音波集束部との結合強度を向上できる。

【0017】

（８）上記（１）又は（２）に記載の超音波発生装置において、前記導波路は、前記第一反射面に接合されているものとしてもよい。このような構成によれば、超音波集束部に凹部や突出部などを成形することなく、導波路と超音波集束部とを接合できる。

【0018】

（９）上記（１）から（８）のいずれかに記載の超音波発生装置において、前記超音波集束部は、前記導波路と接合する接合面を有し、前記導波路と前記接合面との間は、超音波を伝搬する媒質で満たされているものとしてもよい。このような構成によれば、導波路と接合面との間に隙間が形成されにくいから、導波路と接合面との間の隙間によって超音波が変化することを抑制できる。

【0019】

（１０）上記（１）から（９）のいずれかに記載の超音波発生装置において、前記導波路と前記超音波集束部とは、それぞれ導入面と接合面とが対向して接合されており、前記導入面及び前記接合面は、平坦面であるものとしてもよい。このような構成によれば、超音波特性を良くできる。

【0020】

（１１）上記（１）から（１０）のいずれかに記載の超音波発生装置において、前記導波路を固定する固定部材を備えているものとしてもよい。このような構成によれば、固定部材によって、導波路と超音波集束部との結合を保持できる。したがって、導波路と超音波集束部との結合強度を向上できる。

【0021】

＜実施例１＞
以下、本発明を具体化した実施例１について、図１～図４を参照しつつ詳細に説明する。本実施例における超音波発生装置１０は、超音波診断装置、超音波治療装置、キャビテーション発生装置、などに用いられる。

【0022】

まず、超音波発生装置１０の基本構成について説明する。超音波発生装置１０は、図１に示すように、超音波発生源１１と、超音波集束部１２と、導波路１３と、を備えている。超音波発生源１１は、超音波を発生する。超音波集束部１２は、超音波発生源１１から発生した超音波を集束する。導波路１３は、超音波集束部１２によって集束された超音波を伝送する。導波路１３によって伝送された超音波は、対象物に照射される。対象物は特に限定されず、例えば生体内であってもよい。対象物に照射された超音波は、対象物で反射し、対象物の画像情報を乗せた超音波として導波路１３内に戻る。対象物の画像情報を乗せた超音波は、導波路１３及び超音波集束部１２を介して超音波発生源１１に戻る。画像情報を乗せた超音波に応じた電気信号は、信号送受信回路によって受信され、受信された信号に含まれる画像情報は、信号表示装置に表示される。なお、画像情報を含む超音波に基づいて画像表示を行う技術は、超音波診断装置などに用いられる公知技術を採用し得る。

【0023】

超音波発生源１１は、例えば、圧電素子である。超音波発生源１１は、所定の厚さ寸法を有する板状に形成されている。超音波発生源１１は、第一主面１４と、第一主面１４とは反対側の第二主面１５とを有している。第一主面１４及び第二主面１５には、図示しない電極が配置されている。第一主面１４は、図示しない接着剤によって超音波集束部１２に接着されている。第一主面１４は、上下方向において、第二反射面１７の外周縁１７Ｂと同じ位置に配置されている。

【0024】

超音波発生源１１は、図示しない信号送受信回路から電気信号を与えられると超音波を発生する。超音波発生源１１から発生した超音波は、図１に示すように、矢印Ａ２方向に直進する平面波である。矢印Ａ２は、超音波発生源１１から発生した超音波の進行方向を示す。矢印Ａ２は、軸Ａ１と平行である。超音波発生源１１は、例えば、３０ｋＨｚ以上の周波数で超音波を発生させる。以下、各構成部材において、図１の矢印Ａ２が指し示す方向を上方、その反対方向を下方として説明する。

【0025】

超音波集束部１２は、第一反射面１６及び第二反射面１７を備えている。第一反射面１６は、超音波発生源１１と対向して配置されている。第一反射面１６と超音波発生源１１との対向方向は、軸Ａ１の延び方向と平行である。第一反射面１６は、超音波集束部１２の外部から見ると、上側（超音波発生源１１とは反対側）に凸な放物面である。第一反射面１６は、超音波集束部１２の内部から見ると凹型である。第一反射面１６の中心部は、第一反射面１６の外周縁１６Ｂよりも上方に位置している。第一反射面１６は、軸Ａ１を回転軸として構成される回転放物面である。

【0026】

第二反射面１７は、第一反射面１６と対向して配置されている。第二反射面１７は、超音波集束部１２の外部から見ると、下側（第一反射面１６とは反対側）に凸な湾曲面（例えば放物面）である。第二反射面１７は、超音波集束部１２の内部から見ると凹型である。第二反射面１７の中心部は、第二反射面１７の外周縁１７Ｂよりも下方に位置している。第二反射面１７は、軸Ａ１を回転軸として構成される回転放物面である。

【0027】

超音波発生源１１から発生した超音波は、図２に示すように、第一反射面１６で反射し、第一反射面１６の焦点Ｆｓに向かって集束する。焦点Ｆｓを通過した超音波は、第二反射面１７で反射し、第二反射面１７の焦点Ｆｓに向かって集束する。第二反射面１７の焦点Ｆｓは、第一反射面１６の焦点Ｆｓと一致している。第二反射面１７で反射し、焦点Ｆｓを通過した超音波は、平面波として導波路１３の内部に導入される。焦点Ｆｓは、軸Ａ１上に位置している。

【0028】

次に、超音波発生装置１０の詳細を説明する。超音波発生源１１は、図３及び図４に示すように、第二反射面１７の周囲を囲っている。超音波発生源１１は、軸Ａ１を中心とする円環状である。超音波発生源１１の内周縁１１Ａは、第二反射面１７の外周縁１７Ｂから、軸Ａ１と直交する径方向の外側に離間している。超音波発生源１１の外周縁１１Ｂは、第一反射面１６の外周縁１６Ｂから軸Ａ１と直交する径方向の内側に離間している。第一反射面１６の外周縁１６Ｂ及び第二反射面１７の外周縁１７Ｂは、下側から見ると、軸Ａ１を中心とする同心の円形状である。超音波発生源１１の内周縁１１Ａ及び外周縁１１Ｂは、図３に示すように、第一主面１４の外周縁及び内周縁である。超音波発生源１１の外周縁１１Ｂは、超音波発生源１１と超音波集束部１２との接触面の外周縁を構成する。

【0029】

超音波集束部１２は、中実の金属（例えばジェラルミン）によって形成されている。超音波集束部１２は、超音波発生源１１との接着面１８を有している。接着面１８は、第二反射面１７の外周縁１７Ｂから第一反射面１６の外周縁１６Ｂまで軸Ａ１に直交する径方向外側に広がっている。接着面１８は、軸Ａ１に直交する平坦面である。接着面１８は、軸Ａ１を中心として第二反射面１７の周囲を囲う円環状である。

【0030】

導波路１３は、図３に示すように、超音波集束部１２と別の部材である。導波路１３は、中実の柱状である。導波路１３は、第一反射面１６の中心部から軸Ａ１に沿って上方に延びている。導波路１３の下端面は、導入面１９である。超音波は、導入面１９から導波路１３の内部に導入される。導入面１９は、軸Ａ１と直交する平坦面である。

【0031】

導入面１９は、図４に示すように、軸Ａ１を中心とする円形状である。導入面１９の軸Ａ１に直交する径寸法Ｂ１は、第二反射面１７の軸Ａ１に直交する径寸法Ｂ２よりも小さい。導入面１９の外周縁１９Ｂは、軸Ａ１と直交する方向において第二反射面１７の外周縁１７Ｂよりも内側に位置している。

【0032】

導波路１３は、図３に示すように、接合部２２にて超音波集束部１２に接合されている。接合部２２は、超音波発生源１１の外周縁１１Ｂを、超音波発生源１１と第一反射面１６との対向方向に延長した領域Ｒよりも内周側の領域に配置されている。領域Ｒは、超音波発生源１１の外周縁１１Ｂを通って軸Ａ１と平行をなす全ての直線によって構成されている。領域Ｒは、軸Ａ１を中心とした円筒形状をなしている。

【0033】

接合部２２は、第一反射面１６から下側（第二反射面１７側）へ凹んだ凹部２３を有している。凹部２３は、接合面２４と内周面２５とを有している。接合面２４は、凹部２３の底面である。接合面２４は、軸Ａ１と直交する平坦面である。

【0034】

接合面２４は、図４に示すように、軸Ａ１を中心とする円形状である。接合面２４の軸Ａ１に直交する径寸法Ｂ３は、導入面１９の径寸法Ｂ１及び第二反射面１７の径寸法Ｂ２よりも大きい。内周面２５は、軸Ａ１を中心とした円筒状である。内周面２５の軸Ａ１に直交する径寸法Ｂ４は、第一領域２７の軸Ａ１に直交する径寸法Ｂ６よりも小さい。内周面２５の径寸法Ｂ４は、接合面２４の径寸法Ｂ３と等しい。内周面２５の径寸法Ｂ４は、上下方向に一定である。

【0035】

導波路１３の下端部は、図３に示すように、導入部２１である。導入部２１は、導入面１９を含んでいる。導入部２１は、凹部２３に差し込まれている。導入部２１と凹部２３とは、接着剤２２Ａによって固定されている。接着剤２２Ａは、熱によって軟化したり、融解したりしにくい材料を用いている。接合部２２において導入面１９と接合面２４とは対向する。導入面１９と接合面２４との間は、超音波を伝搬する媒質２６で満たされている。これによって、導入面１９と接合面２４との間に空隙が形成されることを防止できる。超音波を伝搬する媒質２６は、接着剤２２Ａの一部であってもよい。

【0036】

次に、接合部２２の配置について説明する。接合部２２は、図３に示すように、超音波の伝播領域に重ならないように配置されている。具体的には、接合部２２は、超音波発生源１１から発生して第一反射面１６へ向かう超音波の伝播領域と、第一反射面１６から焦点Ｆｓに集束する超音波の伝播領域と、に重ならない。

【0037】

超音波発生源１１から発生して第一反射面１６へ向かう超音波の伝播領域は、第一領域２７よりも外周側の領域である。第一領域２７は、超音波発生源１１の内周縁１１Ａを、超音波発生源１１と第一反射面１６との対向方向に延長した領域である。第一領域２７は、超音波発生源１１の内周縁１１Ａを通って軸Ａ１と平行をなす全ての直線によって構成されている。第一領域２７は、軸Ａ１を中心とした円筒形状をなしている。

【0038】

接合部２２は、第一領域２７よりも内周側に配置されている。接合部２２の全体は、第一領域２７から内側に離間している。

【0039】

第一反射面１６から焦点Ｆｓに集束する超音波の伝播領域は、第二領域２９よりも外周側の領域である。第二領域２９は、第一仮想線２８から第一反射面１６の焦点Ｆｓへと延びる領域である。第二領域２９は、第一仮想線２８上の全ての点と焦点Ｆｓとを通る線分によって構成されている。第一仮想線２８は、第一領域２７と第一反射面１６とが交差する線である。第一仮想線２８は、超音波発生源１１の内周縁１１Ａを、第一反射面１６上に軸Ａ１と平行に投影した線である。第一仮想線２８は、軸Ａ１を中心とした円形状をなしている。第二領域２９は、軸Ａ１を中心とした直円錐の側面形状をなしている。第二領域２９の軸Ａ１に直交する径寸法Ｂ５は、下側から上側へ向かって次第に大きくなっている。

【0040】

凹部２３は、第二領域２９よりも内周側の領域の上部に配置されている。凹部２３の全体は、第二領域２９から離間している。凹部２３の内周面２５の径寸法Ｂ４は、少なくとも接合面２４より上側の第二領域２９の径寸法Ｂ５よりも小さい。

【0041】

上記のように構成された実施例１によれば、以下の効果を奏する。実施例１の超音波発生装置１０は、超音波発生源１１と、超音波集束部１２と、導波路１３と、を備えている。超音波発生源１１は、超音波を発生する。超音波集束部１２は、超音波発生源１１から発生した超音波を集束する。導波路１３は、超音波集束部１２によって集束された超音波を伝送する。超音波集束部１２は、放物面状の第一反射面１６と、放物面状の第二反射面１７とを有している。第一反射面１６は、超音波発生源１１と対向して配置されている。第二反射面１７は、第一反射面１６と対向して配置されている。第一反射面１６は、超音波発生源１１から発生した超音波を第二反射面１７に向かって反射する。第二反射面１７は、第一反射面１６にて反射された超音波を導波路１３に向かって反射して導波路１３の内部に導入する。超音波発生源１１は、超音波発生源１１と第一反射面１６との対向方向に直交する径方向における第二反射面１７の周囲を囲う。導波路１３は、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部２２にて超音波集束部１２に接合されている。接合部２２は、超音波発生源１１の内周縁１１Ａを、対向方向に延長した第一領域２７よりも内周側の領域に配置されている。

【0042】

この構成によれば、導波路１３は、超音波集束部１２と別の部材であるから、超音波発生源１１及び超音波集束部１２を共通化しつつ、用途に応じて導波路１３を変えることができる。したがって、用途に応じて最適な導波路１３を用いやすくできる。導波路１３と超音波集束部１２との接合部２２は、第一領域２７よりも内周側の領域に配置されているから、超音波発生源１１から発生して第一反射面１６へ向かう超音波の伝播領域に重ならない。したがって、接合部２２は、超音波発生源１１から発生する超音波の伝播を妨げない。

【0043】

また、導波路１３は、導入部２１を有している。接合部２２は、第一反射面１６から第二反射面１７側へ凹んだ凹部２３を有している。第一領域２７と第一反射面１６とが交差する線を第一仮想線２８とし、第一仮想線２８から第一反射面１６の焦点Ｆｓへと延びる領域を第二領域２９としたとき、凹部２３は第二領域２９よりも内周側の領域に配置されている。導入部２１は、凹部２３に差し込まれている。この構成によれば、締結部品等を用いることなく、導波路１３と超音波集束部１２とを接合できる。したがって、締結部品等を用いる場合と比べて部品点数を少なくできる。凹部２３は、第二領域２９よりも内周側の領域に配置されているから、第一反射面１６から焦点Ｆｓに集束する超音波の伝播領域に重ならない。したがって、凹部２３は、第一反射面１６から焦点Ｆｓに集束する超音波の伝搬を妨げない。

【0044】

また、超音波集束部１２は、導波路１３と接合する接合面２４を有している。導波路１３と接合面２４との間は、超音波を伝搬する媒質２６で満たされている。この構成によれば、導波路１３と接合面２４との間に隙間が形成されにくいから、導波路１３と接合面２４との間の隙間によって超音波が変化することを抑制することができる。

【0045】

また、導波路１３と超音波集束部１２とは、それぞれ導入面１９と接合面２４とが対向して接合されている。導入面１９及び接合面２４は、平坦面である。このような構成によれば、超音波特性を良くできる。

【0046】

＜実施例２＞
次に、本発明を具体化した実施例２に係る超音波発生装置４０を図５によって説明する。本実施例の超音波発生装置４０は、接合部４１に筒状部４２を設けた点で、実施例１とは相違する。なお、実施例１と同様の構成には同一符号を付して重複する説明を省略する。

【0047】

本実施例に係る超音波発生装置４０は、実施例１と同様に、超音波を発生する超音波発生源１１と、超音波発生源１１から発生した超音波を集束する超音波集束部１２と、超音波集束部１２によって集束された超音波を伝送する導波路１３と、を備えている。導波路１３は、実施例１と同様に、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部４１にて超音波集束部１２に接合されている。

【0048】

接合部４１は、実施例１と同様、第一反射面１６から下側へ凹んだ凹部２３を有し、導入部２１は、凹部２３に差し込まれている。筒状部４２は、凹部２３の上端から上側に突出している。筒状部４２は、軸Ａ１を中心とする円筒状である。筒状部４２は、導波路１３の外周側に嵌っている。筒状部４２の軸Ａ１に直交する外径寸法Ｂ１０は、上下方向に一定である。

【0049】

接合部４１は、実施例１と同様、第一領域２７の内周側の領域に配置されている。筒状部４２の外径寸法Ｂ１０は、第一領域２７の径寸法Ｂ６よりも小さい。接合部４１の全体は、第一領域２７から内側に離間している。

【0050】

以上のように本実施例においては、実施例１と同様、導波路１３は、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部４１にて超音波集束部１２に接合されているから、超音波発生源１１及び超音波集束部１２を共通化しつつ、用途に応じて導波路１３を変えることができる。また、実施例１と同様、導波路１３と超音波集束部１２との接合部４１は、超音波発生源１１から発生して第一反射面１６へ向かう超音波の伝播領域に重ならない。したがって、接合部４１が超音波発生源１１から発生する超音波の伝播を妨げることを防止できる。

【0051】

加えて、凹部２３は、凹部２３の上端縁から上側に突出した筒状部４２を有し、筒状部４２は、導波路１３の外周側に嵌まっている。この構成によれば、筒状部４２を導波路１３の外周側に嵌めることによって、凹部２３と導入部２１との結合が保持される。したがって、他の部品を用いることなく、導波路１３と超音波集束部１２との結合強度を向上できる。

【0052】

＜実施例３＞
次に、本発明を具体化した実施例３に係る超音波発生装置５０を図６によって説明する。本実施例の超音波発生装置５０は、接合部５１に螺合構造５２を設けた点で、実施例１とは相違する。なお、実施例１と同様の構成には同一符号を付して重複する説明を省略する。

【0053】

本実施例に係る超音波発生装置５０は、実施例１と同様に、超音波を発生する超音波発生源１１と、超音波発生源１１から発生した超音波を集束する超音波集束部１２と、超音波集束部１２によって集束された超音波を伝送する導波路１３と、を備えている。導波路１３は、実施例１と同様に、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部５１にて超音波集束部１２に接合されている。

【0054】

接合部５１は、実施例１と同様、第一反射面１６から下側へ凹んだ凹部２３を有し、導入部２１は、凹部２３に差し込まれている。導入部２１の外周面及び凹部２３の内周面２５は、螺旋状の溝を有している。導入部２１は雄ネジ、凹部２３は雌ネジである。導入部２１は、螺合構造５２によって凹部２３に固定されている。導入部２１と凹部２３との間には、超音波を伝搬する媒質５３が充填されている。超音波を伝搬する媒質５３は、液状、ゲル状、固体状等、各種材料を用いることができる。接合部５１は、実施例１と同様、第一領域２７の内周側の領域に配置されている。

【0055】

以上のように本実施例においては、実施例１と同様、導波路１３は、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部５１にて超音波集束部１２に接合されているから、超音波発生源１１及び超音波集束部１２を共通化しつつ、用途に応じて導波路１３を変えることができる。また、実施例１と同様、導波路１３と超音波集束部１２との接合部５１は、超音波発生源１１から発生して第一反射面１６へ向かう超音波の伝播領域に重ならない。したがって、接合部５１が超音波発生源１１から発生する超音波の伝播を妨げることを防止できる。

【0056】

加えて、導入部２１の外周面及び凹部２３の内周面２５は、螺旋状の溝を有し、導入部２１は、締め付けによって凹部２３に固定されている。この構成によれば、抵抗溶接や接着剤などを用いることなく、導波路１３と超音波集束部１２とを接合できる。

【0057】

＜実施例４＞
次に、本発明を具体化した実施例４に係る超音波発生装置６０を図７によって説明する。本実施例の超音波発生装置６０は、接合部６１に突出部６２を設けた点で、実施例１とは相違する。なお、実施例１と同様の構成には同一符号を付して重複する説明を省略する。

【0058】

本実施例に係る超音波発生装置６０は、実施例１と同様に、超音波を発生する超音波発生源１１と、超音波発生源１１から発生した超音波を集束する超音波集束部１２と、超音波集束部１２によって集束された超音波を伝送する導波路１３と、を備えている。導波路１３は、実施例１と同様に、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部６１にて超音波集束部１２に接合されている。

【0059】

接合部６１は、第一反射面１６から上側（第二反射面１７とは反対側）へ突出する突出部６２を有している。突出部６２は、接合面６３と外周面６４とを有している。接合面６３は、突出部６２の突出端面である。接合面６３は、軸Ａ１と直交する平坦面である。接合面６３は、軸Ａ１を中心とする円形状である。接合面６３の軸Ａ１に直交する径寸法Ｂ２０は、導入面１９の径寸法Ｂ１及び第二反射面１７の径寸法Ｂ２よりも大きい。外周面６４は、軸Ａ１を中心とした円筒状である。外周面６４の軸Ａ１に直交する径寸法は、接合面６３の径寸法Ｂ２０と等しく、上下方向に一定である。突出部６２の径寸法、すなわち外周面６４の径寸法は、第一領域２７の径寸法Ｂ６よりも小さい。

【0060】

導入部２１は、突出部６２の突出端に接合されている。導入部２１と突出部６２とは、図示しない接着剤によって固定されている。接合部６１において導入面１９と接合面６３とは対向している。導入面１９と接合面６３との間には、超音波を伝搬する媒質（図示せず）が配置されている。これによって、導入面１９と接合面６３との間に空隙が形成されることを防止できる。接合部６１は、実施例１と同様、第一領域２７の内周側の領域に配置されている。

【0061】

以上のように本実施例においては、実施例１と同様、導波路１３は、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部６１にて超音波集束部１２に接合されているから、超音波発生源１１及び超音波集束部１２を共通化しつつ、用途に応じて導波路１３を変えることができる。また、実施例１と同様、導波路１３と超音波集束部１２との接合部６１は、超音波発生源１１から発生して第一反射面１６へ向かう超音波の伝播領域に重ならない。したがって、接合部６１が超音波発生源１１から発生する超音波の伝播を妨げることを防止できる。

【0062】

加えて、超音波集束部１２は、第一反射面１６から上側（第二反射面１７とは反対側）へ突出する突出部６２を有し、導波路１３は、突出部６２の突出端に接合されている。この構成によれば、超音波集束部１２において導波路１３と接合する接合面６３を平らに成形しやすいから、超音波特性を良くできる。

【0063】

＜実施例５＞
次に、本発明を具体化した実施例５に係る超音波発生装置７０を図８によって説明する。本実施例の超音波発生装置７０は、導入部２１に筒状部７２を設けた点で、実施例４とは相違する。なお、実施例４と同様の構成には同一符号を付して重複する説明を省略する。

【0064】

本実施例に係る超音波発生装置７０は、実施例４と同様に、超音波を発生する超音波発生源１１と、超音波発生源１１から発生した超音波を集束する超音波集束部１２と、超音波集束部１２によって集束された超音波を伝送する導波路１３と、を備えている。導波路１３は、実施例４と同様に、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部７１にて超音波集束部１２に接合されている。

【0065】

接合部７１は、実施例４と同様、第一反射面１６から上側へ突出する突出部６２を有し、導入部２１は、突出部６２の突出端に接合されている。突出部６２は、実施例４と同様、接合面６３と外周面６４とを有している。接合面６３の軸Ａ１に直交する径寸法Ｂ３０－２は、導入面１９の径寸法Ｂ１及び第二反射面１７の径寸法Ｂ２よりも大きい。外周面６４の軸Ａ１に直交する径寸法は、接合面６３の径寸法Ｂ３０－２と等しく、上下方向に一定である。突出部６２の径寸法、すなわち外周面６４の径寸法は、第一領域２７の径寸法Ｂ６よりも小さい。

【0066】

筒状部７２は、導入面１９の外周縁１９Ｂから下側（第一反射面１６側）に突出している。筒状部７２は、導波路１３自身に一体に設けられている。筒状部７２は、軸Ａ１を中心とする円筒状である。筒状部７２の軸Ａ１に直交する外径寸法Ｂ３０－１は、上下方向に一定である。筒状部７２は、突出部６２の外周側に嵌っている。筒状部７２の外径寸法Ｂ３０－１は、接合面６３の径寸法Ｂ３０－２よりも大きい。接合部７１は、実施例４と同様、第一領域２７の内周側の領域に配置されている。筒状部７２の外径寸法Ｂ３０－１は、第一領域２７の径寸法Ｂ６よりも小さい。

【0067】

以上のように本実施例においては、実施例４と同様、導波路１３は、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部７１にて超音波集束部１２に接合されているから、超音波発生源１１及び超音波集束部１２を共通化しつつ、用途に応じて導波路１３を変えることができる。また、実施例４と同様、超音波集束部１２は、第一反射面１６から第二反射面１７とは反対側へ突出する突出部６２を有し、導波路１３は、突出部６２の突出端に接合されている。この構成によれば、導波路１３と接合する接合面６３を平らに成形しやすいから、超音波特性を良くできる。

【0068】

加えて、導入部２１は、第一反射面１６側に突出した筒状部７２を有し、筒状部７２は、突出部６２の外周側に嵌まっている。この構成によれば、筒状部７２を突出部６２の外周側に嵌めることによって、突出部６２と導入部２１との結合が保持される。したがって、他の部品を用いることなく、導波路１３と超音波集束部１２との結合強度を向上できる。

【0069】

＜実施例６＞
次に、本発明を具体化した実施例６に係る超音波発生装置８０を図９によって説明する。本実施例の超音波発生装置８０は、突出部６２に筒状部８２を設けた点で、実施例４とは相違する。なお、実施例４と同様の構成には同一符号を付して重複する説明を省略する。

【0070】

本実施例に係る超音波発生装置８０は、実施例４と同様に、超音波を発生する超音波発生源１１と、超音波発生源１１から発生した超音波を集束する超音波集束部１２と、超音波集束部１２によって集束された超音波を伝送する導波路１３と、を備えている。導波路１３は、実施例４と同様に、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部８１にて超音波集束部１２に接合されている。

【0071】

接合部８１は、実施例４と同様、第一反射面１６から上側へ突出する突出部６２を有し、導入部２１は、突出部６２の突出端に接合されている。筒状部８２は、突出部６２の外周縁から上側に突出している。筒状部８２は、突出部６２自身に一体に設けられている。筒状部８２は、軸Ａ１を中心とする円筒状である。筒状部８２の軸Ａ１に直交する外径寸法Ｂ４０は、上下方向に一定である。筒状部８２は、導入部２１の外周側に嵌っている。接合部８１は、実施例４と同様、第一領域２７の内周側の領域に配置されている。筒状部８２の外径寸法Ｂ４０は、第一領域２７の径寸法Ｂ６よりも小さい。

【0072】

以上のように本実施例においては、実施例４と同様、導波路１３は、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部８１にて超音波集束部１２に接合されているから、超音波発生源１１及び超音波集束部１２を共通化しつつ、用途に応じて導波路１３を変えることができる。

【0073】

加えて、突出部６２は、上側に突出した筒状部８２を有し、筒状部８２は、導入部２１の外周側に嵌まっている。この構成によれば、筒状部８２を導入部２１の外周側に嵌めることによって、突出部６２と導入部２１との結合が保持される。したがって、他の部品を用いることなく、導波路１３と超音波集束部１２との結合強度を向上できる。

【0074】

＜実施例７＞
次に、本発明を具体化した実施例７に係る超音波発生装置９０を図１０によって説明する。本実施例の超音波発生装置９０は、接合部９１に保持部材９２を設けた点で、実施例４とは相違する。なお、実施例４と同様の構成には同一符号を付して重複する説明を省略する。

【0075】

本実施例に係る超音波発生装置９０は、実施例４と同様に、超音波を発生する超音波発生源１１と、超音波発生源１１から発生した超音波を集束する超音波集束部１２と、超音波集束部１２によって集束された超音波を伝送する導波路１３と、を備えている。導波路１３は、実施例４と同様に、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部９１にて超音波集束部１２に接合されている。

【0076】

接合部９１は、実施例４と同様、第一反射面１６から上側へ突出する突出部６２を有し、導入部２１は、突出部６２の突出端に接合されている。

【0077】

保持部材９２は、超音波集束部１２及び導波路１３とは別体の部材である。保持部材９２は、突出部６２及び導入部２１の外周側に嵌っている。保持部材９２は、円筒状である。保持部材９２は、導入部２１の外周側及び突出部６２の外周側に嵌っている。保持部材９２が導入部２１及び突出部６２に嵌った状態において、導入面１９及び接合面６３は、保持部材９２の軸方向の中間に配置される。保持部材９２は、導入面１９と接合面６３とを突き合せた状態において、導入部２１の外周面から突出部６２の外周面６４まで延びている。保持部材９２は、第一反射面１６から上方に離間している。接合部９１は、実施例４と同様、第一領域２７の内周側の領域に配置されている。接合部９１に固定された状態において保持部材９２の軸Ａ１に直交する外径寸法Ｂ５０は、第一領域２７の径寸法Ｂ６よりも小さい。

【0078】

以上のように本実施例においては、実施例４と同様、導波路１３は、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部９１にて超音波集束部１２に接合されているから、超音波発生源１１及び超音波集束部１２を共通化しつつ、用途に応じて導波路１３を変えることができる。また、実施例４と同様、超音波集束部１２は、第一反射面１６から第二反射面１７とは反対側へ突出する突出部６２を有し、導波路１３は、突出部６２の突出端に接合されている。この構成によれば、導波路１３と接合する接合面６３を平らに成形しやすいから、超音波特性を良くできる。

【0079】

加えて、超音波発生装置９０は、導波路１３と突出部６２の突出端とを突き合せた状態において、導入部２１の外周面から突出部６２の外周面６４まで延びる筒状の保持部材９２を備えている。この構成によれば、保持部材９２によって、突出部６２と導入部２１との結合が保持される。したがって、導波路１３と超音波集束部１２との結合強度を向上できる。

【0080】

＜実施例８＞
次に、本発明を具体化した実施例８に係る超音波発生装置１００を図１１によって説明する。本実施例の超音波発生装置１００は、主に、導波路１３を固定する固定部材１０１を設けた点で、実施例１とは相違する。なお、実施例１と同様の構成には同一符号を付して重複する説明を省略する。

【0081】

本実施例に係る超音波発生装置１００は、実施例１と同様に、超音波を発生する超音波発生源１１と、超音波発生源１１から発生した超音波を集束する超音波集束部１２と、超音波集束部１２によって集束された超音波を伝送する導波路１３と、を備えている。

【0082】

超音波発生源１１は、円形の板状をなしている。超音波発生源１１は、超音波集束部１２に形成された貫通孔１０４の下方を塞いでいる。貫通孔１０４は、導波路１３の内部空間と連通している。第二反射面１７は、貫通孔１０４を形成する内周面に連なっている。第二反射面１７は、接着面１８よりも上側に形成されている。第二反射面１７の内周縁は、第二反射面１７の外周縁よりも上方に位置している。第二反射面１７は、下方に向けて拡開する曲面形状をなしている。

【0083】

超音波集束部１２は、鍔部１２Ｔを有している。鍔部１２Ｔは、超音波集束部１２の下端から外周側に張り出している。超音波発生源１１及び超音波集束部１２は、ベース部１０３に連結されている。

【0084】

導波路１３は、実施例１と同様、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部１０５にて超音波集束部１２に接合されている。接合部１０５は、実施例１と同様、超音波発生源１１の外周縁１１Ｂを、超音波発生源１１と第一反射面１６との対向方向に延長した領域Ｒよりも内周側の領域に配置されている。

【0085】

導波路１３は、上下方向に延びた筒状をなしている。導波路１３はフランジ部１０６を有している。フランジ部１０６は、導波路１３の下端部に設けられ、導波路１３の全周から張り出した円環状をなしている。フランジ部１０６は、第一反射面１６の上面に沿って配置されている。

【0086】

固定部材１０１は、超音波発生源１１、超音波集束部１２及び導波路１３とは別体の部材である。固定部材１０１は、押さえ部材１０８、リング部材１０７、スペーサ部材１０９及び締結部材１０２を有している。押さえ部材１０８は、円形の板状である。押さえ部材１０８には、導波路１３を上下方向に貫通させる開口部１０８Ｈが形成されている。

【0087】

リング部材１０７は、弾性を有する部材によって形成されている。リング部材１０７は、例えばニトリルゴム（ＮＢＲ）によって形成してもよい。リング部材１０７は、押さえ部材１０８の下面に装着されている。リング部材１０７は、開口部１０８Ｈを囲っている。リング部材１０７は、押さえ部材１０８とフランジ部１０６との間に挟まれている。リング部材１０７は、押さえ部材１０８及びフランジ部１０６に密着している。

【0088】

スペーサ部材１０９は、４つ設けられている。４つのスペーサ部材１０９は、押さえ部材１０８の外周縁部に周方向に等間隔で配置されている。各スペーサ部材１０９は、鍔部１２Ｔと押さえ部材１０８との間に配置されている。各スペーサ部材１０９は、上下方向に延びた筒状をなしている。各スペーサ部材１０９の下端は鍔部１２Ｔの上面に載置されている。各スペーサ部材１０９の上端は、押さえ部材１０８によって押さえられている。

【0089】

締結部材１０２は、例えばボルトである。締結部材１０２は、押さえ部材１０８の外周縁部及び各スペーサ部材１０９の内部空間に形成された挿通孔１０８Ｓを通って、ベース部１０３に締結されている。これによって、導波路１３のフランジ部１０６は、第一反射面１６側に押さえられている。

【0090】

以上のように本実施例においては、実施例１と同様、導波路１３は、超音波集束部１２と別の部材であって、接合部１０５にて超音波集束部１２に接合されているから、超音波発生源１１及び超音波集束部１２を共通化しつつ、用途に応じて導波路１３を変えることができる。

【0091】

加えて、超音波発生装置１００は、導波路１３を固定する固定部材１０１を備えている。この構成によれば、固定部材１０１によって、導波路１３と超音波集束部１２との結合を保持できる。したがって、導波路１３と超音波集束部１２との結合強度を向上できる。

【0092】

＜他の実施例＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施例に限定されるものではなく、例えば次のような実施例も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記実施例では、第一反射面１６に凹部２３もしくは突出部６２を設けている。これに限らず、図１２に示すように、導波路１３を第一反射面１６に接合してもよい。導波路１３は、第一反射面１６の中央部に接合されている。第一反射面１６の中央部は、放物面の一部であってもよい。導波路１３の導入面１９は、第一反射面１６に直接接合されてもよい。この構成によれば、超音波集束部１２に凹部や突出部などを成形することなく、導波路１３と超音波集束部１２とを接合できる。
（２）上記実施例において導波路１３の下端の角部は直角である。これに限らず、図１３に示すように、導波路１３の下端の角部に、面取り部（テーパ、湾曲面、フィレット等）９９を形成しても良い。面取り部９９は、平面波の伝搬を乱さないように、導波路１３の軸Ａ１に直交する径寸法Ｂ７の１割以下程度にすることが望ましい。
（３）上記実施例において導波路１３の下端の角部は直角である。これに限らず、図１４に示すように、導波路１３の下端部を導入面１９に向かって外周側に張り出した形状にしてもよい。これによって、導入面１９の軸Ａ１に直交する径寸法Ｂ８を導波路１３の他の部分の軸Ａ１に直交する径寸法Ｂ９よりも大きくできる。
（４）上記実施例において導入面１９及び接合面２４は平坦面である。これに限らず、図１５に示すように、導入面１９及び接合面２４を曲面で形成してもよい。この場合、導入面１９及び接合面２４の湾曲形状は同一である方が望ましい。また、導入面１９及び接合面２４の曲率は小さく、曲がり具合は緩やかであるほど望ましい。
（５）上記実施例７において接合部９１は保持部材９２を備えている。これに加えて、図１６に示すように、保持部材９２に螺合構造９５を設けても良い。螺旋状の溝は、導入部２１の外周面、突出部６２の外周面６４及び保持部材９２の内周面９６に形成されている。導入部２１及び突出部６２の溝は、連続している。螺旋状の溝は、導入部２１及び突出部６２のいずれか一方のみに形成してもよい。また、保持部材９２の軸Ａ１に直交する外径寸法Ｂ６０は、第一領域２７の径寸法Ｂ６より大きくても良い。
（６）上記実施例１～７において第二反射面１７は接着面１８よりも下側に突出し、超音波発生源１１は第二反射面１７の周囲を囲う形状をなしている。これに限らず、第二反射面１７は、図１７に示すように、接着面１８から上側に凹んでいてもよい。この場合、第二反射面１７の中心部は、第二反射面１７の外周縁１７Ｂよりも上方に位置している。この場合であっても、超音波発生源１１から発生した超音波は、図１７の点線矢印にて示すように、第一反射面１６及び第二反射面１７で反射し、平面波として導波路１３の内部に導入される。
（７）上記実施例において第一反射面１６及び第二反射面１７は放物面である。これに限らず、第一反射面及び第二反射面の両方もしくは一方は、厳密な放物面でなくともよく、近似的に放物面とみなせる形状であればよい。言い換えると、第一反射面及び第二反射面の両方もしくは一方は、超音波発生源から発生した超音波が第一反射面および第二反射面を経由して導波路へと到達するように湾曲した面であればよい。第一反射面及び第二反射面は、多数の微小な平面で構成されていてもよい。
（８）上記実施例において超音波発生源１１は圧電セラミック材料からなる圧電素子である。これに限らず、超音波発生源は、他の圧電材料を用いることができる。超音波発生源は、例えば圧電セラミック材料の積層体などであってもよい。
（９）上記実施例において導入面１９を第二反射面１７に平行投影すると、導入面１９の全体は第二反射面１７内に収まっている。これに限らず、導入面の一部は第二反射面の外側にはみ出してもよい。
（１０）上記実施例において凹部２３の内周面２５の径寸法Ｂ４及び突出部６２の外周面６４の径寸法Ｂ２０は、上下方向に一定である。これに限らず、凹部の内周面及び突出部の外周面の径寸法は、上下方向に増減してもよい。
（１１）上記実施例において接合面２４及び導入面１９は円形状である。これに限らず、接合面及び導入面は、略楕円形や略方形等であってもよい。
（１２）上記実施例において導波路１３と超音波集束部１２とは圧入など、加圧によって固定されてもよい。
（１３）上記実施例では、導波路１３および超音波集束部１２はそれぞれ中実であるが、導波路及び超音波集束部は中実に限られず、例えば、内部に貫通孔や閉鎖空間が形成されていてもよい。
（１４）上記実施例５において筒状部７２の外径寸法Ｂ３０－１は、第一領域２７の径寸法Ｂ６よりも小さい。これに限らず、筒状部の外径寸法の上限に関して特に制約はなく、第一領域の径寸法より大きくても良い。
（１５）上記実施例７において保持部材９２の外径寸法Ｂ５０は、第一領域２７の径寸法Ｂ６よりも小さい。これに限らず、保持部材の外径寸法の上限に関して特に制約はなく、第一領域の径寸法より大きくても良い。
（１６）上記実施例８においてスペーサ部材は４つ設けられている。これに限らず、スペーサ部材の数は適宜変更してよい。またスペーサ部材は、１つの円環状をなす部材あってもよい。

【符号の説明】

【0093】

Ｆｓ…焦点
Ｒ…領域
１０，４０，５０，６０，７０，８０，９０，１００…超音波発生装置
１１…超音波発生源
１１Ａ…超音波発生源の内周縁
１１Ｂ…超音波発生源の外周縁
１２…超音波集束部
１３…導波路
１６…第一反射面
１７…第二反射面
２１…導入部
２２，４１，５１，６１，７１，８１，９１…接合部
２３…凹部
２４…接合面
２５…凹部の内周面
２６…超音波を伝搬する媒質
２７…第一領域
２８…第一仮想線
２９…第二領域
６２…突出部
７２…筒状部
９２…保持部材
１０１…固定部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】