特開 2024-69299 摩耗量計測装置及び摩耗量計測方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024069299

(43)【公開日】2024-05-21

(54)【発明の名称】摩耗量計測装置及び摩耗量計測方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20240514BHJP

   B24B 49/10 20060101ALI20240514BHJP

   B23Q 17/09 20060101ALI20240514BHJP

   B23D 47/00 20060101ALI20240514BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 F

B24B49/10

B23Q17/09 C

B23D47/00 Z

【審査請求】有

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024032895

(22)【出願日】2024-03-05

(62)【分割の表示】P 2023000396の分割

【原出願日】2018-09-25

(71)【出願人】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100083116

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 憲三

(74)【代理人】

【識別番号】100140992

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 憲政

(74)【代理人】

【識別番号】100170069

【弁理士】

【氏名又は名称】大原 一樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128635

【弁理士】

【氏名又は名称】松村 潔

(72)【発明者】

【氏名】西山 真生

(57)【要約】

【課題】ノコ刃ブレードの刃先摩耗量の計測誤差を低減することができる摩耗量計測装置及び摩耗量計測方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの切刃２９Ａを有するノコ刃ブレード２８を、切刃２９Ａの刃部分が向く方向とは反対方向に回転させるスピンドル３０と、反対方向に回転しているノコ刃ブレード２８の刃先２９Ａがワークテーブル１８に接触したことを検知することにより、刃先２９Ａの摩耗量を計測するコントローラ２４と、を備える。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

少なくとも１つの切刃を有するノコ刃ブレードを、前記切刃の刃部分が向く方向とは反対方向に回転させる回転手段と、
前記反対方向に回転している前記ノコ刃ブレードの刃先が被接触部に接触したことを検知することにより、前記刃先の摩耗量を計測する計測手段と、
を備える、摩耗量計測装置。

【請求項2】

少なくとも１つの切刃を有するノコ刃ブレードを、前記切刃の刃部分が向く方向とは反対方向に回転させる回転工程と、
前記反対方向に回転している前記ノコ刃ブレードの刃先が被接触部に接触したことを検知することにより、前記刃先の摩耗量を計測する摩耗量計測工程と、
を備える、摩耗量計測方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ダイシング装置及びカッターセット方法に関する。

【背景技術】

【0002】

電子デバイスを有する複数の半導体素子が形成されたウェーハは、ダイシング装置によって切断又は溝入れ加工（以下、ダイシング加工と言う。）が施される。ダイシング装置は、スピンドルによって高速回転される薄い円盤状のブレードと、ウェーハを吸着保持するテーブルと、を備え、高速回転するブレードの外周端の刃先をウェーハに接触させることにより加工を行う。テーブルとブレードは、ダイシング装置に備えられたＸ、Ｙ、Ｚ、θの各軸の移動機構部によって相対的に移動される。これによって、ダイシング装置はウェーハに対して様々な形状のダイシング加工を施すことができる。

【0003】

ダイシング装置では、ブレードによるウェーハの切り残し量を、予め設定された設定値と一致させることが重要である。そこで、従来では、ウェーハの切り残し量を設定値に一致させるために、ブレードの回転軸のＺ軸位置（Ｚ軸座標とも言う。）を高精度で位置決めする処理、すなわち、カッターセットと称される処理が定期的に実施されている。このカッターセットにおいては、ブレードの刃先の摩耗量を計測し、刃先の摩耗量に基づいてブレードの回転軸のＺ軸位置を補正することにより、ウェーハの切り残し量を設定値に一致させている。

【0004】

ブレードの刃先の摩耗量を計測する装置としては、接触式カッターセット装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この接触式カッターセット装置によれば、ブレードをテーブルに向けてＺ軸方向に下降させ、ブレードの刃先がテーブルに接触したことを電気的導通により検知し、このときのブレードの回転軸のＺ軸位置に基づいて摩耗量を計測する。接触式カッターセット装置によれば、ブレードの刃先をテーブルに直接接触させるので、ブレードの刃先の摩耗量を直接計測することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００３－２１１３５０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、表面に樹脂がモールドされたウェーハに対しダイシング加工を行う場合には、通常のダイシングブレードではなく、ノコ刃タイプのブレード（以下、「ノコ刃ブレード」と言う。）が使用される場合がある。

【0007】

ノコ刃ブレードにおいては、カッターセットを行うに際し、ノコ刃ブレードを回転させた状態でテーブルに接触させることで刃先の摩耗量を計測する。その際、テーブルがステンレス製のような粘性材料製である場合、カッターセット時にノコ刃ブレードによって削られた切削片の一部が、ノコ刃ブレードの刃先に付着しバリとなって残存するという現象が発生する。このバリは、カッターセット後に行われるダイシング加工時においても刃先から剥離し難く、このため、次回に行われるカッターセット時には、刃先よりも先にテーブルに接触してしまう。つまり、ノコ刃ブレードのカッターセット時には、バリがテーブルに接触したときのＺ軸位置に基づいて刃先の摩耗量を計測する場合があるので、計測誤差が大きくなるという問題があった。

【0008】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ノコ刃ブレードの刃先摩耗量の計測誤差を低減することができるダイシング装置及びカッターセット方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明のダイシング装置は、本発明の目的を達成するために、ワークを保持するワークテーブルと、ワークを加工するノコ刃ブレードと、ノコ刃ブレードを回転可能なスピンドルと、スピンドルとワークテーブルとを相対移動させる相対移動手段と、を備え、スピンドルとワークテーブルとを相対移動させて、ノコ刃ブレードの刃先をワークテーブルに接触させることにより刃先の摩耗量を計測するカッターセットを行うダイシング装置であって、スピンドルは、正転方向及び逆転方向に回転可能に構成され、スピンドルの回転方向を制御することにより、ワークを加工するときにはノコ刃ブレードを正転方向に回転させ、カッターセットを行うときにはノコ刃ブレードを逆転方向に回転させるブレード回転制御手段と、逆転方向に回転しているノコ刃ブレードの刃先がワークテーブルに接触したことを検知することにより、刃先の摩耗量を計測する計測手段を備える。

【0010】

本発明のカッターセット方法は、本発明の目的を達成するために、ワークを保持するワークテーブルにノコ刃ブレードの刃先を接触させることにより刃先の摩耗量を計測するカッターセット方法において、ノコ刃ブレードの回転方向を、ワークを加工するときの回転方向である正転方向から、正転方向とは反対方向である逆転方向に切り替えるブレード回転切替工程と、逆転方向に回転しているノコ刃ブレードとワークテーブルとを相対的に近づく方向に移動させる移動工程と、逆転方向に回転しているノコ刃ブレードの刃先がワークテーブルに接触したことを検知することにより、刃先の摩耗量を計測する計測工程と、を備える。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、ノコ刃ブレードの刃先摩耗量の計測誤差を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明が適用されたダイシング装置の斜視図

【図2】図１に示したダイシング装置の加工部の構造を示す斜視図

【図3】テーブルの平面図

【図4】ノコ刃ブレードの一例を示す正面図

【図5】カッターセット装置の構成と動作を説明する概念図

【図6】カッターセット位置を示す平面図

【図7】ノコ刃ブレードを逆転方向に回転させてカッターセットを行った場合の刃先状態を示した要部拡大図

【図8】ノコ刃ブレードを正転方向に回転させてカッターセットを行った場合の刃先状態を示した要部拡大図

【図9】ノコ刃ブレードを逆転方向に回転させてカッターセットを実施したときの刃先総摩耗量を示したグラフ

【図10】ノコ刃ブレードを正転方向に回転させてカッターセットを実施したときの刃先総摩耗量を示したグラフ

【図11】バリ除去装置の概略側面図

【図12】バリ除去装置の概略断面図

【図13】図１１のバリ除去装置を用いてカッターセットを実施したときの刃先総摩耗量を示したグラフ

【図14】図１２のバリ除去装置を用いてカッターセットを実施したときの刃先総摩耗量を示したグラフ

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、添付図面に従って本発明に係るダイシング装置及びカッターセット方法の実施形態について詳説する。

【0014】

図１は、本発明のカッターセット方法が適用されたダイシング装置１０の全体斜視図である。

【0015】

ダイシング装置１０は、円盤状の複数枚のウェーハ（ワーク）Ｗが収納されたカセットを外部装置との間で受け渡すロードポート１２と、吸着パッド１４を有し、ウェーハＷを装置各部に搬送する搬送装置１６と、ウェーハＷを吸引保持するワークワークテーブル１８と、ウェーハＷをダイシング加工する加工部２０と、ダイシング加工後のウェーハＷを洗浄し、乾燥させるスピンナ２２と、を備えている。ダイシング装置１０の各部の動作は、コントローラ２４によって制御される。

【0016】

加工部２０には、カメラ２６が設けられる。このカメラ２６は、ウェーハＷの表面を撮像して、ウェーハＷを既知のパターンマッチング法によりアライメントするための装置として使用される。

【0017】

加工部２０の内部には、対向配置された一対のノコ刃ブレード２８、２８と、ノコ刃ブレード２８、２８を回転させる高周波モータ内蔵型のスピンドル３０、３０とが設けられている。

【0018】

図２は、加工部２０の構造を示す斜視図である。

【0019】

図２に示すように、加工部２０は、Ｘテーブル３２を備える。Ｘテーブル３２は、Ｘベース３４に設けられたＸガイド３６、３６によってガイドされ、リニアモータ３８を有するＸ移動機構部４０によって矢印Ｘ－Ｘで示すＸ方向に駆動される。また、Ｘテーブル３２の上面にはθ方向に回転する回転テーブル４２が固定され、この回転テーブル４２にワークテーブル１８が設けられている。よって、ワークテーブル１８は、Ｘテーブル３２によってＸ方向に移動され、かつ回転テーブル４２によってθ方向に回転される。

【0020】

また、加工部２０は、Ｘベース３４を跨ぐように門型に構成されたＹベース４４を備える。Ｙベース４４の壁面には、一対のＹテーブル４６、４６が設けられる。一対のＹテーブル４６、４６は、Ｙベース４４の壁面に固定されたＹガイド４８、４８によってガイドされ、図示しないステッピングモータとボールスクリューとからなるＹ移動機構部５０によって矢印Ｙ－Ｙで示すＹ方向に駆動される。

【0021】

Ｙテーブル４６、４６には、それぞれＺテーブル５２、５２が設けられる。Ｚテーブル５２、５２は、Ｙテーブル４６に設けられた不図示のＺガイドにガイドされ、図示しないステッピングモータとボールスクリューとからなるＺ移動機構部５４によって矢印Ｚ－Ｚで示すＺ方向に駆動される。Ｚテーブル５２、５２にはスピンドル３０、３０が対向した状態で固定され、スピンドル３０、３０の先端部に装着されたノコ刃ブレード２８、２８が対向配置される。ノコ刃ブレード２８はスピンドル３０によって、６０００ｒｐｍ～８００００ｒｐｍで高速回転される。また、スピンドル３０は、正転方向及び逆転方向に回転可能に構成されている。

【0022】

上記の加工部２０の構成により、ノコ刃ブレード２８、２８は、Ｙ移動機構部５０によってＹ方向にインデックス送りされるとともに、Ｚ移動機構部５４によってＺ方向に切り込み送りされ、ワークテーブル１８はＸ移動機構部４０によってＸ方向に切削送りされるとともに、不図示のθ回転機構部によってθ方向に回転される。これらの動作はコントーラ２４（図１参照）によって制御される。なお、実施例に記載のＸ移動機構部４０、Ｙ移動機構部５０、Ｚ移動機構部５４、及び不図示のθ回転機構部が、本発明の相対移動手段を構成している。

【0023】

コントローラ２４は、後述するカッターセット部６０（図５参照）によって計測されたノコ刃ブレード２８の刃先２９（図４参照）の摩耗量に基づき、Ｚ移動機構部５４によるＺ方向の切り込み送り量を制御し、ウェーハＷの切断量又は切り残し量を設定値に一致させる。

【0024】

図３は、ワークテーブル１８の平面図である。ワークテーブル１８は、ウェーハＷを吸着保持する平面視円形状の吸着部５６と、吸着部５６の外側に配置されて吸着部５６を支持する平面視リング状の本体５８とを備える。

【0025】

吸着部５６は、ワークテーブル１８の中心軸１８Ａを中心とする円形状に構成される。また、吸着部５６は、多孔質部材によって構成されており、不図示の真空源に真空経路を介して接続されている。真空源を駆動することにより、真空経路の空気が吸引され、これによってウェーハＷが吸着部５６の表面に真空吸着保持される。

【0026】

本体５８は、ステンレス製であり、本体５８の表面は、吸着部５６の表面に対して同一面上に位置される。この本体５８は、ノコ刃ブレード２８の切刃２９Ａ（図４参照）が接触される被接触部であり、すなわち、カッターセットの際には、この本体５８の表面にノコ刃ブレード２８の切刃２９Ａが接触される。

【0027】

図４は、ノコ刃ブレード２８の一例を示す正面図であり、ノコ刃ブレード２８の特徴を強調するために、切刃２９Ａを誇張して示している。

【0028】

ノコ刃ブレード２８は、外周端の刃先２９を構成する複数の切刃２９Ａ、２９Ａ…が所定の間隔で配置されており、切刃２９Ａの一方面には、所定角度に傾斜したすくい面２９Ｂが形成され、他方面には逃げ面２９Ｄが形成されている。ノコ刃ブレード２８の回転方向において、矢印Ａで示す回転方向がウェーハＷをダイシング加工するときの回転方向である。以下、矢印Ａで示す回転方向を「正転方向」と称し、この反対の方向である矢印Ｂで示す回転方向を「逆転方向」と称する。なお、「正転方向」を定義するに当たり、すくい面２９Ｂが向く回転方向を「正転方向」と称することもできる。

【0029】

次に、図１に示したダイシング装置１０の作用について説明する。

【0030】

ダイシング装置１０では、まず、複数枚のウェーハＷが収納されたカセットが、不図示の搬送装置、又は手動によってロードポート１２に載置される。載置されたカセットからウェーハＷが搬送装置１６によって１枚ずつ取り出され、搬送装置１６によってワークテーブル１８の表面に載置される。この後、ウェーハＷの裏面が、ワークテーブル１８の吸着部５６の表面に真空吸着保持される。これにより、ウェーハＷがワークテーブル１８に保持される。

【0031】

ワークテーブル１８に保持されたウェーハＷは、図１のカメラ２６によってその表面が撮像され、その後、Ｘ移動機構部４０及び不図示のθ回転機構部によりワークテーブル１８の姿勢を調整することで、ウェーハＷの表面に形成されたカットラインの位置とノコ刃ブレード２８の位置とが位置合わせされる。

【0032】

位置合わせが終了し、ダイシング加工が開始されると、スピンドル３０が正転方向の回転を開始し、ノコ刃ブレード２８が正転方向に高速に回転するとともに、不図示のノズルから加工点に切削液が供給される。この状態でウェーハＷは、ワークテーブル１８とともにＸ方向へ切削送りされるとともに、スピンドル３０が所定の高さまでＺ方向へ下がり、ダイシング加工が行われる。以上がダイシング装置１０の大まかな作用である。

【0033】

図５は、カッターセット部６０の構成及び動作を説明する概念図である。以下、カッターセット部６０の構成について説明するが、上記したダイシング装置１０の構成と重複する構成についても繰り返し説明する。

【0034】

図５に示すカッターセット部６０は、ワークテーブル１８、コントローラ２４、ノコ刃ブレード２８及びスピンドル３０等から構成される。

【0035】

コントローラ２４は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）６２、メモリ６４、入出力インターフェース６８、カッターセット回路部７０、Ｚ移動機構部５４、Ｘ移動機構部４０及びＹ移動機構部５０等を備えている。コントローラ２４は、メモリ６４に記憶されている制御プログラム等の各種プログラムを展開し、展開したプログラムをＣＰＵ６２によって実行させることにより、コントローラ２４の各部の機能を実現し、入出力インターフェース６８を介して各種の演算処理や制御処理を実行する。また、カッターセット回路部７０には、ノコ刃ブレード２８の切刃２９Ａがワークテーブル１８の本体５８に接触したことを検出する接触検出回路部７２が備えられている。

【0036】

接触検出回路部７２は、カッターセット時において、直流電源７３からスピンドル３０の後端に図示しない導電ブラシを介してプラスの電位を印加しており、ノコ刃ブレード２８はプラス電位となっている。また、ノコ刃ブレード２８と接触するワークテーブル１８の本体５８にはマイナス電位を印加しており、本体５８はマイナス電位となっている。これにより、ノコ刃ブレード２８の切刃２９Ａが本体５８に接触するとノコ刃ブレード２８と本体５８とが電気的に導通される。接触検出回路部７２は、上記の電気的導通によって切刃２９Ａが本体５８に接触したこと検出し、そしてコントローラ２４は、このときのノコ刃ブレード２８の回転軸のＺ軸位置に基づいて摩耗量を計測する。実施例においては、コントローラ２４が本発明の計測手段を構成している。

【0037】

図６は、カッターセット位置の一例を示すワークテーブル１８の本体５８の平面図である。本体５８は、全周に亘りノコ刃ブレード２８の切刃２９Ａが接触する領域となっており、切刃２９Ａが接触した位置には接触傷５８Ａ、５８Ａ…が形成されている。

【0038】

次に、図５を参照してカッターセット部６０によるカッターセット方法について説明する。

【0039】

まず、θ回転機構部（不図示）によってワークテーブル１８を回転させるとともに、Ｘ移動機構部４０によってワークテーブル１８を移動させて、ノコ刃ブレード２８の下方にワークテーブル１８の本体５８を位置決めする。この位置が１回目のカッターセット位置となる。次に、ノコ刃ブレード２８をスピンドル３０によって所定の回転速度で回転させるとともに、Ｚ移動機構部５４によって所定の速度で下降させ、切刃２９Ａが本体５８に接触したときのノコ刃ブレード２８の回転軸のＺ軸位置を取得して記憶する。その後、ノコ刃ブレード２８をＺ移動機構部５４によって上昇させて本体５８から退避させる。以上で１回目のカッターセットが終了する。なお、１回目のカッターセット時におけるノコ刃ブレード２８の回転方向は、図４の矢印Ａで示す正転方向であっても、矢印Ｂで示す逆転方向であってもよいが、実施形態では正転方向にて実施されるものとする。この後、ダイシング装置１０は、既述したウェーハＷのダイシング加工を実施する。

【0040】

そして、２回目のカッターセットを実施する場合には、１回目のカッターセットと同様に、まず、θ回転機構部（不図示）によってワークテーブル１８を回転させるとともにＸ移動機構部４０によってワークテーブル１８を移動させて、ノコ刃ブレード２８の下方に接触傷５８Ａ（図６参照）の無い本体５８の表面が位置するようにワークテーブル１８の本体５８を位置決めする。この位置が２回目のカッターセット位置となる。

【0041】

次に、コントローラ２４がスピンドル３０の回転方向を制御し、ノコ刃ブレード２８を所定の回転速度（例えば、３００００ｒｐｍ）で逆転方向に回転（ブレード回転切替工程）させるとともに、Ｚ移動機構部５４によって所定の速度（例えば、０．５ｍｍ／ｓｅｃ）で下降（移動工程）させる。そして、コントローラ２４は、切刃２９Ａが本体５８に接触したときのノコ刃ブレード２８の回転軸のＺ軸位置に基づいて摩耗量を計測（計測工程）する。この後、ノコ刃ブレード２８をＺ移動機構部５４によって上昇させて本体５８から退避させる。以上で２回目のカッターセット動作が終了する。なお、３回目以降のカッターセットにおいても同様の手順で実施する。また、実施例においては、コントローラ２４が本発明のブレード回転制御手段を構成している。

【0042】

このように、実施形態のカッターセット方法は、２回目以降のカッターセット時において、ノコ刃ブレード２８の回転方向を逆転方向に切り替えてカッターセットを実施する。以下、２回目以降のカッターセット時にノコ刃ブレード２８を逆転方向に回転させる利点について説明する。

【0043】

図７は、ノコ刃ブレード２８を逆転方向に回転させてカッターセットを行った場合のノコ刃ブレード２８の状態を示した要部拡大図である。図８は、図７の比較例であり、すなわち、ノコ刃ブレード２８を正転方向に回転させてカッターセットを行った場合のノコ刃ブレード２８の状態を示した要部拡大図である。

【0044】

図８の如く、ノコ刃ブレード２８を正転方向に回転させてカッターセットを実施した場合、１回目のカッターセット時に、切刃２９Ａのすくい面２９Ｂに付着したバリ（本体５８の切削片）８０は、本体５８に接触すると、矢印Ｃで示すように、すくい面２９Ｂに押し付けられる力を本体５８から相対的に受ける。これにより、バリ８０はすくい面２９Ｂに付着した状態が維持されるので、バリ８０の長さの分だけ計測誤差が生じてしまう。また、カッターセットを複数回実施するごとに、前回付着したバリ８０に新たなバリ８０が付着する場合もあるので、刃先２９の摩耗量の計測誤差はカッターセットを実施するごとに大きくなるという問題もある。

【0045】

これに対し、図７の如く、ノコ刃ブレード２８を逆転方向に回転させてカッターセットを実施した場合、１回目のカッターセット時にすくい面２９Ｂに付着したバリ８０は、２回目以降においてカッターセットを繰り返すごとに、本体５８に徐々に押されて、その切刃２９Ａと、その切刃２９Ａに隣接した回転方向下流側の切刃２９Ａとの間の谷部２９Ｃに向けて折れ曲がっていく。つまり、カッターセットを複数回実施すると、各切刃２９Ａに付着したバリ８０が上記の如く完全に折れ曲がるので、全ての切刃２９Ａが本体５８に安定して接触するようになる。これにより、ノコ刃ブレード２８を逆転方向に回転させてカッターセットを実施した場合には、ノコ刃ブレード２８の刃先摩耗量の計測誤差を低減することができる。

【0046】

したがって、実施形態のカッターセット方法によれば、ノコ刃ブレード２８の回転方向を逆転方向に切り替えるブレード回転切替工程と、逆転方向に回転しているノコ刃ブレード２８を本体５８に向けて移動させる移動工程と、逆転方向に回転しているノコ刃ブレード２８の刃先２９が本体５８に接触したことを検知することにより、刃先２９の摩耗量を計測する計測工程と、を備えたので、ノコ刃ブレード２８の刃先摩耗量の計測誤差を低減することができる。また、２回目以降のカッターセット時において、すくい面２９Ｂに対するバリ付着を抑制することができる。

【0047】

図９は、ノコ刃ブレード２８を逆転方向に回転させてカッターセットを複数回実施したときに得られたノコ刃ブレード２８の総摩耗量を示したグラフである。図１０は、図９の比較例であり、すなわち、ノコ刃ブレード２８を正転方向に回転させてカッターセットを複数回実施したときに得られたノコ刃ブレード２８の総摩耗量を示したグラフである。図９及び図１０のグラフの横軸はカッターセット回数を示し、縦軸は総摩耗量（ｍｍ）を示している。なお、総摩耗量とは、カッターセットごとに得られた摩耗量の積算値であり、ノコ刃ブレード２８をスピンドル３０に取り付けた時からの積み重ねの摩耗量を指す。

【0048】

また、図９の試験条件は、ノコ刃ブレード２８の回転数を３００００ｒｐｍに設定し、ノコ刃ブレード２８の下降移動速度を０．５ｍｍ／ｓｅｃに設定した。そして、ノコ刃ブレード２８を本体５８に対して繰り返し昇降移動させて、本体５８に対する切刃２９Ａの接触を複数回繰り返し、そのときに計測された摩耗量が３回連続して１μｍ以内で、かつ前回のカッターセットの計測値よりも摩耗量が増えていることを計測した際に、その３回の計測値の平均値を摩耗量として取得した。なお、当然であるが、本体５８に対する切刃２９Ａの接触を繰り返すごとに、ノコ刃ブレード２８に対する本体５８の位置を変更して、接触傷５８Ａ（図６参照）の無い本体５８の表面に切刃２９Ａが接触するように設定した。

【0049】

図１０のグラフによれば、正転方向の回転でカッターセットを実施すると、総摩耗量はマイナス値側に変動していることから、ノコ刃ブレード２８の刃先２９の直径が大きくなっていることが確認できる。この原因は、ノコ刃ブレード２８の切刃２９Ａに付着したバリ８０（図８参照）が本体５８に接触し、ノコ刃ブレード２８の見かけの直径が大きくなったことによるものである。したがって、ノコ刃ブレード２８を正転方向に回転させてカッターセットを実施した場合には、ノコ刃ブレード２８の刃先摩耗量の計測誤差が大きくなる。

【0050】

これに対し、図９のグラフによれば、逆転方向の回転でカッターセットを実施すると、総摩耗量はカッターセットごとにプラス値側に増加していることから、ノコ刃ブレード２８の刃先２９の直径が小さくなっていることが確認できる。この原因は、切刃２９Ａに付着したバリ８０が、ノコ刃ブレード２８の逆転方向の回転作用により、図７の如く折れ曲がり、切刃２９Ａが本体５８に接触したことによるものである。したがって、ノコ刃ブレード２８を逆転方向に回転させてカッターセットを実施した場合には、ノコ刃ブレード２８の刃先摩耗量の計測誤差を低減することができる。

【0051】

次に、ノコ刃ブレード２８の切刃２９Ａに付着したバリ８０を除去するためのバリ除去装置について説明する。

【0052】

図１１は、実施形態のバリ除去装置９０の概略側面図である。図１２は、図１１に示したバリ除去装置９０の比較例であるバリ除去装置１００の概略側面図である。

【0053】

図１２に示すバリ除去装置１００は、切削水１０２を噴射するノズル１０４と、ノコ刃ブレード２８を正転方向に回転させるスピンドル３０と、を備えている。また、ノズル１０４は、切刃２９Ａの逃げ面２９Ｄに対向する位置に配置されている。したがって、図１２のバリ除去装置１００によれば、ノズル１０４から噴射された切削水１０２は、切刃２９Ａの逃げ面９２Ｄに向けて噴射される。

【0054】

図１２に示すバリ除去装置１００によれば、すくい面９２Ｂに付着したバリ８０に対する切削水１０２の相対速度は、ノズル１０４から噴射された噴射速度からノコ刃ブレード２８の正転方向の回転速度を減算した速度となり、この速度で切削水１０２がバリ８０に衝突する。つまり、ノコ刃ブレード２８の回転速度をバリ８０の除去用の力として有効利用することができないので、バリ８０を効率よく除去することができない。

【0055】

これに対し、図１１に示した実施形態のバリ除去装置９０は、切削水９２を噴射するノズル９４と、ノコ刃ブレード２８を正転方向に回転させるスピンドル３０と、を備え、ノズル９４は、切刃２９Ａのすくい面２９Ｂに対向する位置に配置されている。

【0056】

図１１に示す実施形態のバリ除去装置９０によれば、すくい面２９Ｂに付着したバリ８０に対する切削水９２の相対速度は、ノズル９４から噴射された切削水９２の噴射速度とノコ刃ブレード２８の正転方向の回転速度とを合算した速度となり、この速度で切削水９２がバリ８０に衝突する。つまり、ノコ刃ブレード２８の回転速度をバリ８０の除去用の力として有効利用することができるので、バリ８０を効率よく除去することができる。

【0057】

したがって、実施形態のバリ除去装置９０によれば、ノコ刃ブレード２８をスピンドル３０によって正転方向に回転させるとともに、すくい面２９Ｂに対向する位置に配置されたノズル９４から切削水９２をすくい面２９Ｂに向けて噴射したので、バリ８０を効果的に除去することができる。

【0058】

このように実施形態のバリ除去装置９０によれば、ノコ刃ブレード２８の切刃２９Ａに付着したバリ８０を効果的に除去することができるので、カッターセット時における刃先２９の摩耗量の計測誤差を低減することができる。

【0059】

バリ除去装置９０によるバリ除去工程は、カッターセットごとに実施してもよく、カッターセット時に計測されたノコ刃ブレード２８の摩耗量に基づいて実施してもよい。また、ウェーハＷのダイシング加工中に実施してもよく、ダイシング加工とダイシング加工との間に行われるワークテーブル１８のＸ軸方向戻り動作中に実施してもよい。また、カッターセットの直前に実施してもよい。カッターセットの直前に実施すれば、カッターセット時におけるノコ刃ブレード２８の回転方向は、逆転方向に限定されず正転方向であってもよい。

【0060】

図１３のグラフは、図１１に示したバリ除去装置９０を用いてバリ除去工程を実施したときのノコ刃ブレード２８の総摩耗量の変化が示されている。図１４のグラフは、図１２に示したバリ除去装置１００を用いてバリ除去工程を実施したときのノコ刃ブレード２８の総摩耗量の変化が示されている。図１３及び図１４のグラフの横軸はカッターセット回数を示し、縦軸は総摩耗量（ｍｍ）を示している。また、図１３及び図１４に示したバリ除去工程においては、双方とも毎分１．５リットルの切削水を３０秒間噴射した。

【0061】

図１４のグラフによれば、２回目に実施されたカッターセットの総摩耗量（－０．０１４ｍｍ）が１回目に実施されたカッターセットの総摩耗量（０ｍｍ）に対して大きく変動したことが示されている。これは、切刃２９Ａから外径方向に向けて約０．０１４ｍｍの長さを有するバリ８０が切刃２９Ａに付着したことによるものである。また、その後に実施された複数回のカッターセットの総摩耗量に基づけば、切刃２９Ａに約０．００８ｍｍの長さを有するバリ８０が付着したままであることが分かる。そして、６８～７０回のカッターセットの総摩耗量に基づけば、切刃２９Ａに約０．０２ｍｍの長さを有するバリ８０が付着したことが分かる。そこで、７１回目のカッターセットを行う前に、図１２に示したバリ除去装置１００を使用してバリ除去工程を行うと、約０．０２ｍｍの長さを有するバリ８０は除去することができたが、７２回目以降のカッターセットの総摩耗量に基づけば、０．００７ｍｍの長さを有するバリ８０が付着したままであり、バリ８０を有効に除去できなかった。

【0062】

一方、図１３のグラフによれば、２回目から２５回目までに実施されたカッターセットの総摩耗量に基づけば、切刃２９Ａに約０．００２ｍｍの長さを有するバリ８０が付着したままであることが分かる。そして、２６回目に実施されたカッターセットの総摩耗量に基づけば、切刃２９Ａに約０．００５ｍｍの長さを有するバリ８０が付着したことが分かる。そして、２９回目から３７回目までに実施されたカッターセットの総摩耗量に基づけば、切刃２９Ａに約０．００２ｍｍの長さを有するバリ８０が付着したままであることが分かる。そして、３８回目から４５回目に実施されたカッターセットの総摩耗量に基づけば、切刃２９Ａに約０．００５ｍｍから０．００６ｍｍの長さを有するバリ８０が付着したことが分かる。そして、４６回目から４９回目に実施されたカッターセットの総摩耗量に基づけば、切刃２９Ａに約０．００４ｍｍから０．００６ｍｍの長さを有するバリ８０が付着したことが分かる。そこで、５０回目のカッターセットを行う前に、図１１に示したバリ除去装置９０を使用してバリ除去を行うと、約０．００５ｍｍの長さを有するバリ８０を除去することができ、総摩耗量が０ｍｍ近くまで戻ることが確認できた。したがって、図１１に示したバリ除去装置９０を使用することにより、バリ８０を有効に除去することができた。

【符号の説明】

【0063】

Ｗ…ウェーハ、１０…ダイシング装置、１２…ロードポート、１４…吸着パッド、１６…搬送装置、１８…ワークテーブル、２０…加工部、２２…スピンナ、２４…コントローラ、２６…カメラ、２８…ノコ刃ブレード、２９…刃先、２９Ａ…切刃、２９Ｂ…すくい面、３０…スピンドル、３２…Ｘテーブル、３４…Ｘベース、３６…Ｘガイド、３８…リニアモータ、４０…Ｘ移動機構部、４２…回転テーブル、４４…Ｙベース、４６…Ｙテーブル、４８…Ｙガイド、５０…Ｙ移動機構部、５２…Ｚテーブル、５４…Ｚ移動機構部、５６…吸着部、５８…本体、６０…カッターセット部、６２…ＣＰＵ、６４…メモリ、６８…入出力インターフェース、７０…カッターセット回路部、７２…接触検出回路部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】