特開2024-69652高アスペクト比の誘電体エッチングを達成するための３つ以上の状態

発明の名称　高アスペクト比の誘電体エッチングを達成するための３つ以上の状態

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 126 位（253件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 136 位（202件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-69652

公報発行日　2024年5月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-69652

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