特開 2024-71429 加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024071429

(43)【公開日】2024-05-24

(54)【発明の名称】加工装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 45/00 20060101AFI20240517BHJP

   B24B 41/047 20060101ALI20240517BHJP

   B24D 7/02 20060101ALI20240517BHJP

   B23Q 11/00 20060101ALI20240517BHJP

   B23B 31/06 20060101ALI20240517BHJP

   H01L 21/304 20060101ALN20240517BHJP

【ＦＩ】

B24B45/00 Z

B24B41/047

B24B45/00 A

B24D7/02 B

B23Q11/00 Z

B23B31/06

H01L21/304 631

【審査請求】有

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024040651

(22)【出願日】2024-03-15

(62)【分割の表示】P 2020037294の分割

【原出願日】2020-03-04

(71)【出願人】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100169960

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 貴光

(72)【発明者】

【氏名】白鳥 宰

(57)【要約】

【課題】砥石交換の際に、砥石を簡単に取り外すことができる加工装置を提供する。
【解決手段】スピンドルに連結されたスピンドルフランジ１７と、スピンドルフランジ１７の下面に略密着してスピンドルフランジ１７に着脱自在に取り付けられた台金部３７と、台金部３７の下面に設置されて台金部３７と一体化された砥石部３８と、を備える砥石１４と、スピンドルフランジ１７と台金部３７との密着箇所にエア１００を吹き付けるエア吹出口２９ａ、２９ｂと、を備える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

スピンドルフランジと、
前記スピンドルフランジの一面に略密着して前記スピンドルフランジに着脱自在に取り付けられた台金部と、前記台金部の一面に設置されて前記台金部と一体化された砥石部と、を備える砥石と、
前記スピンドルフランジと前記台金部との密着箇所にエアを吹き付けるエア吹出口と、
を備え、
前記エア吹出口は、
前記台金部に水平方向に亘って密着する前記スピンドルフランジの第１の密着面との境界部分から外部に向けて前記第１の密着面に沿って前記エアを噴出する第１のエア吹出口と、
前記台金部に垂直方向に亘って密着する前記スピンドルフランジの第２の密着面との境界部分から外部に向けて前記第２の密着面に沿って前記エアを噴出する第２のエア吹出口と、
を備えている、ことを特徴とする加工装置。

【請求項2】

前記スピンドルフランジ内に、前記エア吹出口に連通するエア回路が形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。

【請求項3】

前記エア吹出口から吹き出すエアの流量を調整可能な調整弁を更に備える、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、砥石でウエハを加工する加工装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体製造分野では、シリコンウエハ等の半導体ウエハ（以下、「ウエハ」という）を薄膜に形成するために、ウエハの裏面を研削する裏面研削が行われている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

特許文献１には、スピンドルの先端に連結されたスピンドルフランジにカップ型砥石が取り付けられた研削装置が開示されている。カップ型砥石は、スピンドルフランジに、図示しない１０本程度のボルトで締結されており、スピンドルフランジに対して着脱自在に構成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平１１－３０９６７３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１記載の研削装置では、作業員が手作業で１０本程度のボルトを締結することによって、カップ型砥石がスピンドルフランジに取り付けられるため、カップ型砥石の着脱作業が煩雑になりがちであった。

【0006】

また、ボルトで締結されたカップ型砥石は、スピンドルフランジとの間にスラリー等の水が入り易い。そのため、従来では摩耗した砥石交換の際に、水の表面張力よってカップ型砥石とスピンドルフランジが吸着し合い、カップ型砥石がスピンドルフランジから外れにくい場合がある。そして、無理に外そうとして、カップ型砥石をチャックに当ててしまい、チャックが破損する虞や、カップ型砥石がスピンドルフランジに噛んでしまい外せなくなる虞もある。また、その結果として、研削装置のメンテナンス時間が長くなってしまい、一日当たりの製品生産量が落ちてしまうという問題点があった。

【0007】

そこで、砥石交換の際に、砥石を簡単に取り外すことができる加工装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載の発明は、スピンドルフランジと、前記スピンドルフランジの一面に略密着して前記スピンドルフランジに着脱自在に取り付けられた台金部と、前記台金部の一面に設置されて前記台金部と一体化された砥石部と、を備える砥石と、前記スピンドルフランジと前記台金部との密着箇所にエアを吹き付けるエア吹出口と、を備え、前記エア吹出口は、前記台金部に水平方向に亘って密着する前記スピンドルフランジの第１の密着面との境界部分から外部に向けて前記第１の密着面に沿って前記エアを噴出する第１のエア吹出口と、前記台金部に垂直方向に亘って密着する前記スピンドルフランジの第２の密着面との境界部分から外部に向けて前記第２の密着面に沿って前記エアを噴出する第２のエア吹出口と、を備えている、加工装置を提供する。

【0009】

この構成によれば、交換等で砥石を取り外す際、エア吹出口からエアを吹き出すと、エアはスピンドルフランジと台金部との密着箇所に吹き付けられる。そして、スピンドルフランジと台金部との密着箇所に砥石をスピンドルフランジから引き剥す力が作用し、砥石をスピンドルフランジから簡単に取り外すことができる。さらに、交換等で砥石を取り外す際、第１のエア吹出口からエアを吹き出すと、エアはスピンドルフランジと台金部との密着箇所に吹き付けられて、砥石をスピンドルフランジ部から引き剥す力が作用する。また、第２のエア吹出口からエアを吹き出すと、吹き出されたエアが砥石をスピンドルフランジから外す方向に力を作用する。したがって、第１のエア吹出口から吹き出されたエアの力と、第２のエア吹出口から吹き出されたエアの力とで、砥石をスピンドルフランジから簡単に取り外すことができる。

【0010】

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成において、前記スピンドルフランジ内に、前記エア吹出口に連通するエア回路が形成されている、加工装置を提供する。

【0011】

この構成によれば、エア吹出口に連通するエア回路を、スピンドルフランジ内の空いているスペース等を利用してスピンドルフランジ内にコンパクトに設けることができる。したがって、加工装置自体の形状を大きく変えずに、加工装置内にエア回路を設けることができる。

【0012】

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成において、前記エア吹出口から吹き出すエアの流量を調整可能な調整弁を更に備える、加工装置を提供する。

【0013】

この構成によれば、調整弁により、エア吹出口から吹き出すエアの流量、すなわちエアの力を調整して、砥石をスピンドルフランジから取り外すのに最適な力を簡単に得ることができる。

【発明の効果】

【0014】

発明によれば、交換等で砥石を取り外す際、エア吹出口からスピンドルフランジと台金部との密着箇所に吹き付けて、砥石をスピンドルフランジ部から強制的に引き剥がして簡単に取り外すことができる。これにより、加工装置のメンテナンス時間の短縮が図れるとともに、一日当たりの製品生産量の向上が期待できる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の実施の形態に係る加工装置を模式的に示す斜視図である。

【図2】図１に示すメインユニット及び搬送ユニットの内部構造を示す縦断側面図である。

【図3】前記加工装置に適用された砥石を、スピンドルフランジの下面に取り付けた状態で斜め下方から見た斜視図である。

【図4】スピンドルフランジに砥石を取り付けた状態で示す、スピンドルフランジと砥石の構造を説明する縦断面図ある。

【図5】スピンドルフランジから砥石を取り外した状態で示す、スピンドルフランジと砥石の構造を説明する縦断面図ある。

【図6】図５に示すスピンドルフランジの一部を拡大して示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

本発明は、砥石交換の際に、砥石を簡単に取り外すことができる加工装置を提供するという目的を達成するために、ウエハを加工する加工装置であって、円板状のスピンドルフランジと、前記スピンドルフランジの一面に略密着して前記スピンドルフランジに着脱自在に取り付けられた環状の台金部と、前記台金部の一面に設置されて前記台金部と一体化された砥石部と、を備える砥石と、前記スピンドルフランジと前記台金部との密着箇所にエアを吹き付けるエア吹出口と、を備える構成としたことにより実現した。

【実施例0017】

以下、本発明の実施形態に係る一実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例において、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

【0018】

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

【0019】

また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、構成要素の断面構造を分かり易くするために、一部の構成要素のハッチングを省略することがある。

【0020】

また、以下の説明において、上下や左右等の方向を示す表現は、絶対的なものではなく、本発明の加工装置の各部が描かれている姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。また、実施例の説明の全体を通じて同じ要素には同じ符号を付している。

【0021】

図１及び図２は本発明の実施形態に係る加工装置１０の一実施例を示すものである。なお、図１は、図２に示すスピンドル送り機構１１Ｃ及び搬送ユニット１２を省略して、加工装置１０の基本的構成を模式的に示す斜視図である。図２は、図１に示すメインユニット１１及び搬送ユニット１２の内部構造を示す縦断側面図である。

【0022】

図１及び図２において、加工装置１０は、ウエハＷの裏面を研磨するものであり、具体的には、サファイア又は炭化ケイ素等の難削材製基板の裏面（デバイスが形成された表面とは反対側の面）を研磨するものである。しかしながら、加工装置１０の加工対象はこれらに限定されず、例えば、ガラス又はシリコン等であっても良く、若しくは支持基板に取り付けられた複合基板等であっても構わない。

【0023】

加工装置１０は、メインユニット１１と、搬送ユニット１２と、加工装置１０の全体の動作を制御する制御ユニット１３と、を備えている。

【0024】

メインユニット１１は、図１及び図２に示すようにアーチ状をしたコラム１１Ａと、砥石１４が取り付けられたスピンドル１５と、スピンドル１５を垂直方向Ｖに摺動可能に支持する３つのリニアガイド１１Ｂと、スピンドル１５を垂直方向Ｖに昇降させるスピンドル送り機構１１Ｃと、を備えている。

【0025】

コラム１１Ａは図１に示すように前面１１Ａａに開口を設けて垂直方向Ｖに、上下に貫通して凹設された溝１１Ａｂを有する。

【0026】

スピンドル１５は、スピンドルケーシング１６を介してコラム１１Ａの溝１１Ａｂ内に、上下方向（垂直方向Ｖ）摺動可能に収容されている。スピンドル１５には、図２に示すように、下端部に連結されるスピンドルフランジ１７を介して砥石１４が着脱自在に取り付けられている。また、図示しないがスピンドル１５は、図示しないモータによって回転され、砥石１４と共に一体に回転する。砥石１４及びスピンドルフランジ１７の詳しい構成については後述する。

【0027】

リニアガイド１１Ｂは、図１に示すように、コラム１１Ａ内で、溝１１Ａｂの前方部に配置された、スピンドルケーシング１６の前側左右両端部を支持する左右２つの前方リニアガイド１１Ｂａと、溝１１Ａｂの後方部（後面）に配置された、スピンドルケーシング１６の後方中央を支持する１つの後方リニアガイド１１Ｂｂと、で構成される。その前方リニアガイド１１Ｂａ及び後方リニアガイド１１Ｂｂは、スピンドル１５の軸線（垂直方向Ｖ）に沿って互いに平行に設けられている。これにより、前方リニアガイド１１Ｂａと後方リニアガイド１１Ｂｂとは、スピンドルケーシング１６の案内レールとして機能する。

【0028】

スピンドル送り機構１１Ｃは、図２に示すように、スピンドルケーシング１６に連結されたスライダ１８と、スピンドルケーシング１６を上下（垂直方向Ｖ）に昇降させるボールネジ１９と、ボールネジ１９を回転させるスピンドル用モータ２０と、を備えている。そして、スピンドル用モータ２０が駆動してボールネジ１９が正又は負方向に回転すると、そのボールネジ１９の回転方向に応じて、スライダ１８がスピンドルケーシング１６及びスピンドル１５と共に垂直方向Ｖに下降又は上昇する。これにより、スピンドル１５の下端に取り付けられている砥石１４も一緒に下降又は上昇し、砥石１４の下降によりウエハＷが研削される。

【0029】

また、メインユニット１１には、ウエハＷの厚みを計測する図示しないインプロセスゲージが設けられている。そして、インプロセスゲージが計測したウエハＷの厚みが所望の値に達すると、スピンドル用モータ２０の駆動によりボールネジ１９が逆回転され、スライダ１８がスピンドルケーシング１６及びスピンドル１５と共に上昇する。また、スピンドル１５の下端に取り付けられている砥石１４もウエハＷから離れるようになっている。

【0030】

搬送ユニット１２は、ウエハＷを吸着保持可能なチャックテーブル２１と、チャックテーブル２１を載置するスライダ２２と、スライダ２２を駆動させるスライダ駆動機構２３と、を備えている。

【0031】

チャックテーブル２１は、図示しない負圧源に接続されており、ウエハＷをチャックテーブル２１上に吸着保持することができる。また、チャックテーブル２１は、チャックテーブル用モータ２４によってチャックテーブル２１の軸中心回りに回動可能である。

【0032】

スライダ駆動機構２３は、スライダ２２とレール２５とベルト・プーリ機構２６とスライダ用モータ２７を備える。そして、スライダ用モータ２７の駆動を、ベルト・プーリ機構２６を介してスライダ２２に伝え、スライダ２２をチャックテーブル２１と共にレール２５上を一体に、図２中の左右方向にスライドできるようになっている。

【0033】

加工装置１０の動作は、制御ユニット１３によって制御される。制御ユニット１３は、加工装置１０を構成する構成要素をそれぞれ決められた手順に従って制御するものである。制御ユニット１３は、例えば、ＣＰＵ、メモリ等により構成される。なお、制御ユニット１３の機能は、ソフトウェアを用いて制御することにより実現されても良く、ハードウェアを用いて動作することにより実現されても良い。

【0034】

このような構成による加工装置１０は、制御ユニット１３の制御の下で、以下の手順によりウエハＷを研削する。まず、ウエハＷをチャックテーブル２１上に吸着保持する。

【0035】

次に、スライダ２２によってウエハＷを砥石１４の下方まで搬入した後、スピンドル用モータ２０が駆動される。スピンドル用モータ２０が駆動すると、ボールネジ１９が順回転し、スライダ２２に連結されたスピンドルケーシング１６がスピンドル１５及び砥石１４と共に下降して、砥石１４をウエハＷの近傍まで接近させる。また、スピンドル用モータ２０に加えてチャックテーブル用モータ２４も駆動させ、砥石１４及びチャックテーブル２１をそれぞれ回転させながら、砥石１４がウエハＷの一面（裏面）に押し当てられ、ウエハＷが研削される。

【0036】

ウエハＷが所望の厚みまで研削されると、制御ユニット１３は、スピンドル用モータ２０の駆動及びチャックテーブル用モータ２４の駆動を各々停止させる。これにより、砥石１４及びチャックテーブル２１の回転も停止する。

【0037】

次いで、スピンドル用モータ２０が逆転駆動され、ボールネジ１９を逆回転させる。ボールネジ１９の逆回転により、スピンドル送り機構１１Ｃに連結されたスピンドルケーシング１６がスピンドル１５と砥石１４を伴って上昇し、砥石１４をウエハＷから離間させる。次に、スライダ２２によりウエハＷをチャックテーブル２１と共にメインユニット１１の後方まで搬送する。その後、チャックテーブル２１によるウエハＷの吸着保持を解除し、加工装置１０によるウエハＷの研削加工が終了する。

【0038】

次に、砥石１４をスピンドルフランジ１７に着脱する機構、特にスピンドルフランジ１７から砥石１４をスムーズに取り外す機構について、図３乃至図６を使用して詳しく説明する。

【0039】

図３は、スピンドルフランジ１７の下面に砥石１４を取り付けた状態で、砥石１４の下方向より見た斜視図である。図４及び図５は、図３の縦断面図あり、図４はスピンドルフランジ１７に砥石１４を取り付けた状態で示している図、図５はスピンドルフランジ１７から砥石１４が外れた状態で示している図である。また、図６は、図５に示すスピンドルフランジ１７の一部を拡大して示している図である。

【0040】

図３乃至図６において、スピンドルフランジ１７は図２に示したスピンドル１５の下端に連結固定されて、スピンドル１５と一体化されて設けられるものであり、略円板状に形成されている。

【0041】

スピンドルフランジ１７の本体部１７Ａの下面には、外径が本体部１７Ａの外径よりも小さい円形をした小径突出部１７Ｂが一定に設けられている。小径突出部１７Ｂの下面には、内周面に下方開口部から上方に進むに従って徐々に中心側に向かって傾斜している傾斜面２８を設けてなる逆摺鉢状をした凹部２９が形成されている。凹部２９内には、インナープレート３０が配設されている。

【0042】

インナープレート３０は、スピンドルフランジ１７の凹部２９内に略密着して収容可能な円板形状の部材であり、外周面には凹部２９の傾斜面２８に対応した傾斜面３０ａが設けられている。そして、インナープレート３０は、凹部２９内に収容されて、ボルト３１でスピンドルフランジ１７の下側に取り付けられている。

【0043】

また、スピンドルフランジ１７の本体部１７Ａ内には、エア１００を運ぶエア回路３２が形成されている。エア回路３２は、エア１００を取り入れるエア供給口３３ａとエア供給口３３ａから取り入れたエア１００を外部に噴出させる第１のエア吹出口であるエア吹出口３４ａとを有した第１のエア回路３２ａと、同じくエア１００を取り入れるエア供給口３３ｂとエア供給口３３ｂから取り入れたエア１００を外部に噴出させる第２のエア吹出口であるエア吹出口３４ｂとを有した第２のエア回路３２ｂと、を有する。なお、第１のエア回路３２ａのエア吹出口３４ａ及び第２のエア回路３２ｂのエア吹出口３４ｂの開口径は、各回路３２ａ、３２ｂの通路径よりも小さく設定をし、エア１００を噴き出す勢いを増大させるために絞っている。

【0044】

また、第１のエア回路３２ａのエア吹出口３４ａは、小径突出部１７Ｂと本体部１７Ａとの境界部分に形成され、エア１００が、小径突出部１７Ｂの根元から本体部１７Ａの外周底面１７ａに沿って略水平方向、すなわち砥石１４が着脱される方向に対してエア１００が略垂直に吹き出す設定になっている。一方、第２のエア回路３２ｂのエア吹出口３４ｂは、同じく小径突出部１７Ｂと本体部１７Ａとの境界部分に形成され、エア１００が、小径突出部１７Ｂの根元から小径突出部１７Ｂの外周面１７ｂに沿って略垂直方向、すなわち砥石が着脱される方向に対してエア１００が略平行に吹き出す設定になっている。第１のエア回路３２ａのエア吹出口３４ａ及び第２のエア回路３２ｂのエア吹出口３４ｂは、好ましくは、円周方向に略等間隔で各々複数個ずつ設けられる。

【0045】

また、第１のエア回路３２ａのエア供給口３３ａ及び第２のエア回路３２ｂのエア供給口３３ｂは、それぞれエア源３５と連結される。また、エア源３５とエア供給口３３ａ、及びエア源３５とエア供給口３３ｂとの間には、それぞれエア１００の流量を調整可能な流量調整弁３６ａ、３６ｂが設けられている。

【0046】

砥石１４は、環状の台金部３７と、台金部３７の一面に設置され砥石部３８と、を備える。

【0047】

台金部３７は、環状に形成されている。また、台金部３７の断面は、傾斜面３７ａと、内周面３７ｂと、外周面３７ｃと、上面３７ｄと、下面３７ｅとを有して、概略五角形の断面を呈している。台金部３７の、内径はスピンドルフランジ１７の小径突出部１７Ｂの外径に略等しく、外径はスピンドルフランジ１７の本体部１７Ａの外径に略等しく形成されている。また、台金部３７の厚み、すなわち外周面３７ｃの高さは、スピンドルフランジ１７の下面に設けられている凹部２９内にインナープレート３０を収容して取り付けた状態での、スピンドルフランジ１７の外周底面１７ａからの突出量よりも大きく設定されている。なお、傾斜面３７ａの傾斜角度は約３０度であり、内周面３７ｂから外周側に向かって下がるようにして傾斜している。

【0048】

砥石部３８は、台金部３７の下面３７ｅに、台金部３７の外周に沿って複数設置されて、台金部３７と一体化されている。

【0049】

そして、砥石１４は、スピンドルフランジ１７に取り付けて使用されるとき、図３及び図５に示すように、砥石部３８を下側に向け、かつ、台金部３７の上面３７ｄをスピンドルフランジ１７の外周底面１７ａに密着当接させた状態で、図示しない取付ネジを用いてスピンドルフランジ１７に固定して取り付けられる。また、この取付状態では、台金部３７の内周面３７ｂとスピンドルフランジ１７における小径突出部１７Ｂの外周面１７ｂとの間も略密着当接した状態になる。

【0050】

このように構成された加工装置１０では、研削加工時にスラリー等の水を使用した場合には、スピンドルフランジ１７の外周底面１７ａと台金部３７の上面３７ｄとの間、及び小径突出部１７Ｂの外周面１７ｂと台金部３７の内周面３７ｂとの間に、それぞれ水が浸入することがある。水の浸入は、スピンドルフランジ１７の外周底面１７ａと台金部３７の上面３７ｄとの間、及び小径突出部１７Ｂの外周面１７ｂと台金部３７の内周面３７ｂとの間に、それぞれ表面張力により吸着力を発生させる。そのため、砥石部３８が摩耗した砥石１４の交換の際に、砥石１４がスピンドルフランジ１７から外れにくい場合がある。

【0051】

そこで、本実施例の加工装置１０では、制御ユニット１３による制御の下で、エア回路３２からエア１００を噴き出し、スピンドルフランジ１７の外周底面１７ａと台金部３７の上面３７ｄとの間、及び小径突出部１７Ｂの外周面１７ｂと台金部３７の内周面３７ｂとの間に、それぞれエア１００を吹き付け、その吹き付けたエア１００の力でそれぞれの間における表面張力等を弱めて強制的に引き剥がし、簡単に取り外しができるようにしている。

【0052】

更に詳述すると、砥石１４をスピンドルフランジ１７から取り外す場合、まず、砥石１４をスピンドルフランジ１７に取り付けている図示しない取付ネジを取り外す。次いで、図４に示すように、エア供給口３３ａを通して第１のエア回路３２ａ内に、エア源３５からエア１００を送り込む。そのエア１００の送り量は、流量調整弁３６ａにより調整される。また、第１のエア回路３２ａ内に送り込まれたエア１００は、第１のエア回路３２ａ内で圧縮されて、エア吹出口３４ａからスピンドルフランジ１７の外周底面１７ａと台金部３７の上面３７ｄとの間に向けて略水平に吹き付けられ、スピンドルフランジ１７の外周底面１７ａと台金部３７の上面３７ｄとの間の水を吹き飛ばしながら、剥離力を付与する。そして、エア１００を所定の時間供給したら第１のエア回路３２ａ内へのエア１００の供給が停止される。

【0053】

続いて、図５に示すように、エア供給口３３ｂを通して第２のエア回路３２ｂ内に、エア源３５からエア１００が送り込まれる。ここでのエア１００の送り量も、流量調整弁３６ｂにより調整される。また、第２のエア回路３２ｂ内に送り込まれたエア１００は、第２のエア回路３２ｂ内で圧縮され、エア吹出口３４ｂからスピンドルフランジ１７の外周面１７ｂと台金部３７の上面３７ｄの間に向けて略垂直に吹き付けられ、スピンドルフランジ１７の外周面１７ｂと台金部３７の上面３７ｄの間の水を吹き飛ばしながら、砥石１４に下向きの剥離力を付与する。この下向きの剥離力により、砥石１４はスピンドルフランジ１７からスムーズに取り外される。これにより、別の砥石１４と交換することができる。

【0054】

なお、第１のエア回路３２ａに通じるエア吹出口４３ａを設ける位置と第２のエア回路３２ｂに通じるエア吹出口４３ｂを設ける位置を円周方向に所定の間隔ずつずらして設け、吹き出すエア１００が互いに干渉しないようにした場合には、第１のエア回路３２ａに通じるエア吹出口４３ａと第２のエア回路３２ｂに通じるエア吹出口４３ｂからそれぞれ同時にエア１００を吹き出し、砥石１４の剥離力を付与することも可能である。

【0055】

したがって、本実施例の加工装置１０によれば、交換等で砥石１４を取り外す際、エア吹出口３４ａ、３４ｂからエア１００を吹き出すと、エア１００はスピンドルフランジ１７と台金部３７との密着箇所に吹き付けられ、砥石１４をスピンドルフランジ１７から強制的に引き剥がして簡単に取り外すことができる。これにより、加工装置１０のメンテナンス時間の短縮が図れるとともに、一日当たりの製品生産量の向上が期待できる。

【0056】

また、スピンドルフランジ１７内に、エア吹出口３４ａ、３４ｂを有するエア回路３２を設けているので、スピンドルフランジ１７内にコンパクトに設けることができ、加工装置１０の大きさを変えることなくエア回路３２を設けることができる。

【0057】

また、エア回路３２は、スピンドルフランジ１７と台金部３７との密着箇所に向けてエア１００が略水平に吹き出すエア吹出口３４ａと、砥石１４が着脱される垂直方向と略平行にエア１００が吹き出すエア吹出口３４ｂとを有しているので、エア吹出口３４ａから吹き出されたエア１００の力と、エア吹出口３４ｂから吹き出されたエア１００の力とで、砥石１４をスピンドルフランジ１７から簡単に取り外すことができる。

【0058】

また、エア源３５とエア回路３２との間にエア１００を流す量を調整可能な流量調整弁３６ａ、３６ｂを設けているので、流量調整弁３６ａ、３６ｂにより、エア吹出口３４ａ、３４ｂから吹き出すエア１００の流量、すなわちエア１００の力を調整して、砥石１４をスピンドルフランジ１７から取り外すのに最適な力を簡単に得ることができる。

【0059】

なお、上記実施例では、エア回路３２は、エア供給口３３ａ及びエア吹出口３４ａを有する第１のエア回路３２ａと、エア供給口３３ｂ及びエア吹出口３４ｂを有する第２のエア回路３２ｂ、の両方を設けた構造を開示したが、第１のエア回路３２ａと第２のエア回路３２ｂのいずれか一方を設けた構造であってもよい。

【0060】

また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を成すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

【符号の説明】

【0061】

１０ ：加工装置
１１ ：メインユニット
１１Ａ ：コラム
１１Ａａ ：前面
１１Ａｂ ：溝
１１Ｂ ：リニアガイド
１１Ｂａ ：前方リニアガイド
１１Ｂｂ ：後方リニアガイド
１１Ｃ ：スピンドル送り機構
１２ ：搬送ユニット
１３ ：制御ユニット
１４ ：砥石
１５ ：スピンドル
１６ ：スピンドルケーシング
１７ ：スピンドルフランジ
１７Ａ ：本体部
１７Ｂ ：小径突出部
１７ａ ：外周底面
１７ｂ ：外周面
１８ ：スライダ
１９ ：ボールネジ
２０ ：スピンドル用モータ
２１ ：チャックテーブル
２２ ：スライダ
２３ ：スライダ駆動機構
２４ ：チャックテーブル用モータ
２５ ：レール
２６ ：プーリ機構
２７ ：スライダ用モータ
２８ ：傾斜面
２９ ：凹部
３０ ：インナープレート
３０ａ ：傾斜面
３１ ：ボルト
３２ ：エア回路
３２ａ ：第１のエア回路
３２ｂ ：第２のエア回路
３３ａ ：エア供給口
３３ｂ ：エア供給口
３４ａ ：エア吹出口
３４ｂ ：エア吹出口
３５ ：エア源
３６ａ ：流量調整弁
３６ｂ ：流量調整弁
３７ ：台金部
３７ａ ：傾斜面
３７ｂ ：内周面
３７ｃ ：外周面
３７ｄ ：上面
３７ｅ ：下面
３８ ：砥石部
１００ ：エア
Ｖ ：垂直方向
Ｗ ：ウエハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】