特開 2024-7367 保護包装アセンブリ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024007367

(43)【公開日】2024-01-18

(54)【発明の名称】保護包装アセンブリ

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240110BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20240110BHJP

   B65D 81/02 20060101ALI20240110BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

B65D85/30 500

B65D81/02

【審査請求】有

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023097862

(22)【出願日】2023-06-14

(31)【優先権主張番号】63/357,011

(32)【優先日】2022-06-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(31)【優先権主張番号】112115403

(32)【優先日】2023-04-25

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(71)【出願人】

【識別番号】506017182

【氏名又は名称】家登精密工業股▲ふん▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＧＵＤＥＮＧ ＰＲＥＣＩＳＩＯＮ ＩＮＤＵＳＴＲＩＡＬ ＣＯ．，ＬＴＤ

(71)【出願人】

【識別番号】500262038

【氏名又は名称】台湾積體電路製造股▲ふん▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】Ｔａｉｗａｎ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ，Ｌｔｄ．

【住所又は居所原語表記】Ｎｏ．８， Ｌｉ－Ｈｓｉｎ Ｒｄ．６， Ｈｓｉｎｃｈｕ Ｓｃｉｅｎｃｅ Ｐａｒｋ， Ｈｓｉｎｃｈｕ， ＴＡＩＷＡＮ

(74)【代理人】

【識別番号】100165157

【弁理士】

【氏名又は名称】芝 哲央

(74)【代理人】

【識別番号】100182143

【弁理士】

【氏名又は名称】赤川 誠一

(72)【発明者】

【氏名】邱 銘乾

(72)【発明者】

【氏名】沈 恩年

(72)【発明者】

【氏名】莊 家和

(72)【発明者】

【氏名】李 國華

(72)【発明者】

【氏名】呂 俊明

(72)【発明者】

【氏名】江 子昂

(72)【発明者】

【氏名】黄 乙峯

(72)【発明者】

【氏名】林 宗毅

【テーマコード（参考）】

3E066

3E096

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E066AA02

3E066BA02

3E066CA01

3E066DA01

3E066DB01

3E066HA01

3E066JA01

3E066KA20

3E066NA43

3E096AA01

3E096BA15

3E096BA16

3E096BB08

3E096CA02

3E096DA03

3E096EA03X

3E096FA09

3E096GA03

5F131AA02

5F131AA03

5F131AA32

5F131AA33

5F131CA09

5F131DA02

5F131DA05

5F131DA08

5F131DA09

5F131DA24

5F131DA25

5F131DA42

5F131DA43

5F131GA09

5F131GA18

5F131GA22

5F131GA53

5F131GA69

5F131GA82

5F131GA87

5F131GA99

(57)【要約】

【課題】保護包装アセンブリを提供する。
【解決手段】保護包装アセンブリは、中間包装部材、上部包装部材及び下部包装部材を備える。中間包装部材は複数のサイド緩衝板を含む。サイド緩衝板はリング状に連結されて、上開口及び下開口を連通する収容空間を形成する。上部包装部材は上部緩衝板及び複数の上部緩衝体を含む。上部緩衝板は、上開口にカバーするように配置される。上部緩衝体は、間隔をあけて分布しており、上部緩衝板の表面から突出してなる。上部緩衝体は収容空間内に向かって配置される。下部包装部材は下部緩衝板及び複数の下部緩衝体を含む。下部緩衝板は、下開口にカバーするように配置される。下部緩衝体は、間隔をあけて分布しており、下部緩衝板の表面から突出してなる。下部緩衝体は収容空間内に向かって配置される。
【選択図】図１Ａ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

リング状に連結されて、上開口及び下開口を連通する収容空間を形成する複数のサイド緩衝板を含む中間包装部材と、
前記上開口にカバーするように配置される上部緩衝板、及び
間隔をあけて分布しており、前記上部緩衝板の表面から突出してなり、前記収容空間内に向かって配置される複数の上部緩衝体を含む上部包装部材と、
前記下開口にカバーするように配置される下部緩衝板、及び
間隔をあけて分布しており、前記下部緩衝板の表面から突出してなり、前記収容空間内に向かって配置される複数の下部緩衝体を含む下部包装部材と、
を備える保護包装アセンブリ。

【請求項2】

前記中間包装部材の前記収容空間はリング状内表面を有し、前記複数の上部緩衝体は第１の上部緩衝体及び第２の上部緩衝体を含み、前記第１の上部緩衝体の高さは前記第２の上部緩衝体の高さより大きく、且つ前記第２の上部緩衝体から前記リング状内表面までの最短距離は前記第１の上部緩衝体から前記リング状内表面までの最短距離より大きい請求項１に記載の保護包装アセンブリ。

【請求項3】

前記複数の上部緩衝体は複数の第１の上部緩衝体及び第２の上部緩衝体を含み、前記複数の第１の上部緩衝体の高さは前記第２の上部緩衝体の高さより大きく、且つ前記複数の第１の上部緩衝体は前記第２の上部緩衝体の周縁を取り囲むように配列する請求項１に記載の保護包装アセンブリ。

【請求項4】

前記複数の下部緩衝体の頂面は面一である請求項１に記載の保護包装アセンブリ。

【請求項5】

前記複数の上部緩衝体は異なる面積の組合わせであり、且つ間隔を空けて配置される請求項１に記載の保護包装アセンブリ。

【請求項6】

前記複数の下部緩衝体は同等な面積の組合わせである請求項１に記載の保護包装アセンブリ。

【請求項7】

前記保護包装アセンブリは重量が１０キロ未満の物体を収容し、高度が１０センチより大きい落下試験を行う場合、前記保護包装アセンブリの総緩衝作用力は前記保護包装アセンブリの角、エッジ及び面の緩衝作用力より大きく、且つ前記角と前記エッジの緩衝作用力は前記面の緩衝作用力より大きい請求項１に記載の保護包装アセンブリ。

【請求項8】

前記保護包装アセンブリは前記中間包装部材と、前記上部包装部材と、前記下部包装部材との組み合わせ構造である請求項１に記載の保護包装アセンブリ。

【請求項9】

前記中間包装部材、前記上部包装部材及び前記下部包装部材の材料は発泡ポリエチレンである請求項１に記載の保護包装アセンブリ。

【請求項10】

前記複数のサイド緩衝板のうちの少なくとも１つの板厚はその他の前記複数のサイド緩衝板の板厚より小さい請求項１に記載の保護包装アセンブリ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は半導体キャリアに適用する保護包装アセンブリに関する。

【背景技術】

【0002】

現在、半導体業界では、基板容器を使用して基板を載置する。基板は、プリント回路基板（ＰＣＢ）、ウェーハ（ｗａｆｅｒ）などの半導体素子であってもよい。基板容器は、輸送中、上下の振動が大きすぎて、基板が割れたり、基板容器内の素子同士が緩んだりすることが発生する。または、基板容器内の素子同士が摩擦して粉塵が発生し、基板容器内の清浄度に大きな影響を及ぼす可能性もある。また、基板容器は、設備のインターフェイスと合わせて搬送位置決め操作を行う過程で粉塵の問題が発生する可能性もある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

基板容器を運ぶ過程で基板容器を緩衝保護するために、従来の方法は、緩衝機能を持つ包装材を使用して基板容器を被覆することである。従来の包装材の構造設計は、基板容器の縁と隅を被覆し、基板容器の表面全体を貼り合う態様を採用することが多く、基板容器が振動を受けた場合、包装材の緩衝機能が被覆と保護の役割を果たすことができる。しかし、前述の方法は、小さな振動に対して多少の効用しか生じず、大きな振動に対して、或いは基板容器を例えば１０センチ以上の高さから落とした場合には、保護と緩衝の役割を果たさない。

【0004】

したがって、上記課題を解決できる保護包装アセンブリを如何に提案するかは、現在業界では早急に研究開発資源を投入して解決したい課題の一つである。

【0005】

これに鑑みて、本開示の一目的は、上記課題を効果的に解決できる保護包装アセンブリを提案することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成するために、本開示の一実施形態によれば、保護包装アセンブリは、複数のサイド緩衝板を含み、リング状に連結されて、上開口及び下開口を連通する収容空間を形成する中間包装部材と、上開口にカバーするように配置される上部緩衝板、及び、間隔をあけて分布しており、上部緩衝板の表面から突出してなり、収容空間内に向かって配置される複数の上部緩衝体を含む上部包装部材と、下開口にカバーするように配置される下部緩衝板、及び、間隔をあけて分布しており、下部緩衝板の表面から突出してなり、収容空間内に向かって配置される複数の下部緩衝体を含む下部包装部材と、を備える。

【0007】

本開示の１つまたは複数の実施形態において、中間包装部材の収容空間はリング状内表面を有する。上部緩衝体は第１の上部緩衝体及び第２の上部緩衝体を有する。第１の上部緩衝体の高さは第２の上部緩衝体の高さより大きい。第２の上部緩衝体からリング状内表面までの最短距離は第１の上部緩衝体からリング状内表面までの最短距離より大きい。

【0008】

本開示の１つまたは複数の実施形態において、上部緩衝体は複数の第１の上部緩衝体及び第２の上部緩衝体を含む。第１の上部緩衝体の高さは第２の上部緩衝体の高さより大きい。第１の上部緩衝体は第２の上部緩衝体の周縁を取り囲むように配列する。

【0009】

本開示の１つまたは複数の実施形態において、下部緩衝体の頂面は面一である。

【0010】

本開示の１つまたは複数の実施形態において、上部緩衝体は異なる面積の組合わせであり、且つ間隔を空けて配置される。

【0011】

本開示の１つまたは複数の実施形態において、下部緩衝体は同等な面積の組合わせである。

【0012】

本開示の１つまたは複数の実施形態において、保護包装アセンブリは重量が１０キロ未満の物体を収容し、高度が１０センチより大きい落下試験を行う場合、保護包装アセンブリの総緩衝作用力は保護包装アセンブリの角、エッジ及び面の緩衝作用力より大きく、且つ角とエッジの緩衝作用力は面の緩衝作用力より大きい。

【0013】

本開示の１つまたは複数の実施形態において、保護包装アセンブリは中間包装部材、上部包装部材及び下部包装部材の組合わせ構造である。

【0014】

本開示の１つまたは複数の実施形態において、上部包装部材、上部包装部材及び下部包装部材の材料は発泡ポリエチレンである。

【0015】

本開示の１つまたは複数の実施形態において、サイド緩衝板のうちの少なくとも１つの板厚は他のサイド緩衝板の板厚より小さい。

【発明の効果】

【0016】

以上のように、本開示の保護包装アセンブリでは、中間包装部材、上部包装部材及び下部包装部材の組合わせ構造により、基板容器の外周縁を完全に被覆することができる。特に、上部包装部材の上部緩衝板に複数の上部緩衝体が設けられ、且つ下部包装部材の下部緩衝板に複数の下部緩衝体が設けられる。これらの上部緩衝体と下部緩衝体の高さを、保護包装アセンブリによって包装された基板容器の頂部構造と底面構造に応じて対応的に調整することができ、さらに、上部包装部材と下部包装部材をそれぞれ基板容器の頂面及び底部の不規則な起伏のある輪廓に密着させることができる。また、本開示の上部包装部材と下部包装部材が受ける緩衝力は、基板容器に全体的に貼り合わせる従来の構造設計より大きいため、緩衝防振の効果をより効果的に達成することができる。

【0017】

上記は、ただ本開示が解決しようとする課題、課題を解決するための手段、及び生じた効果等を述べるためのものであり、本開示の具体的な細部については、下文の実施形態及び関連図面において詳しく紹介する。

【図面の簡単な説明】

【0018】

下記図面の説明は、本開示の前記や他の目的、特徴、メリット及び実施例をより分かりやすくするためのものである。

【図1A】本開示の一実施形態による保護包装アセンブリを示す斜視分解図である。

【図1B】図１Ａの保護包装アセンブリを示す斜視組み合わせ図である。

【図2】本開示の一実施形態による保護包装アセンブリと基板容器の斜視分解図である。

【図3】図２の保護包装アセンブリが基板容器を包装する様子を示す側面図である。

【図4】図２の保護包装アセンブリが基板容器を包装する様子を示す正面図である。

【図5】図３の構造が線分５－５に沿って切断した断面図である。

【図6】図４の構造が線分６－６に沿って切断した断面図である。

【図7】図３の構造が線分７－７に沿って切断した断面図である。

【図8】図３の構造が線分８－８に沿って切断した断面図である

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、図面で本開示の複数の実施形態を開示し、明らかに説明するために、数多くの実務上の細部を下記の記述で合わせて説明する。しかしながら、理解すべきなのは、これらの実際の細部が、本開示を制限するためのものではない。つまり、本開示の実施形態の一部において、これらの実際の細部は、必ずしも必要ではない。また、図面を簡略化するために、ある従来慣用の構造及び素子は、図面において簡単で模式的に示される。

【0020】

図１Ａ、図１Ｂ及び図２を参照されたい。図１Ａは本開示の一実施形態による保護包装アセンブリ１００を示す斜視分解図である。図１Ｂは図１Ａの保護包装アセンブリ１００を示す斜視組み合わせ図である。図２は本開示の一実施形態による保護包装アセンブリ１００と基板容器２００を示す斜視分解図である。具体的な構造を明らかに説明するために、中間包装部材１１０は、図１Ａと図２において透視的に示される。図１Ａ～図２に示すように、本実施形態において、保護包装アセンブリ１００は中間包装部材１１０、上部包装部材１２０及び下部包装部材１３０を含む。中間包装部材１１０は複数のサイド緩衝板１１１を含む。サイド緩衝板１１１はリング状に連結されて、上開口１１０ａ及び下開口１１０ｂを連通する収容空間Ｓを形成する。具体的に、中間包装部材１１０の収容空間Ｓはリング状内表面１１０ｃを有する。上部包装部材１２０は上部緩衝板１２１を含む。上部緩衝板１２１は、中間包装部材１１０の上開口１１０ａにカバーするように配置される。下部包装部材１３０は下部緩衝板１３１を含む。下部緩衝板１３１は中間包装部材１１０の下開口１１０ｂにカバーするように配置される。これによって、上部包装部材１２０と下部包装部材１３０は中間包装部材１１０の収容空間Ｓを密封して、基板容器２００を保護包装アセンブリ１００内部に完全に包装する目的を達成することができる。換言すれば、保護包装アセンブリ１００は中間包装部材１１０、上部包装部材１２０及び下部包装部材１３０の組み合わせ構造である。

【0021】

実際の使用では、基板容器２００は、前開きの基準ウェハカセット（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ、 ＦＯＵＰ）、基準メカニカルインターフェース（Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ、 ＳＭＩＦ）または前開きのウェーハシッピングボックス（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｓｈｉｐｐｉｎｇ Ｂｏｘ、 ＦＯＳＢ）などであってもよい。本開示が適用可能な保護包装アセンブリ１００であれば、本開示の範囲に含まれるべきであり、本開示は、基板容器２００の種類を制限しない。

【0022】

図３、図４、図５及び図６を参照されたい。図３は図２の保護包装アセンブリ１００が基板容器２００を包装する様子を示す側面図である。図４は図２の保護包装アセンブリ１００が基板容器２００を包装する正面図である。図５は図３の構造が線分５－５に沿って切断した断面図である。図６は図４の構造が線分６－６に沿って切断した断面図である。図３～図６に示すように、本実施形態において、上部包装部材１２０は複数の上部緩衝体１２２ａ、１２２ｂをさらに含む。上部緩衝体１２２ａ、１２２ｂは、間隔をあけて分布しており、上部緩衝板１２１の表面１２１ａから突出してなる。上部緩衝体１２２ａ、１２２ｂは収容空間Ｓ内に向かって配置される。下部包装部材１３０は複数の下部緩衝体１３２をさらに含む。下部緩衝体１３２は、間隔をあけて分布しており、下部緩衝板１３１の表面１３１ａから突出してなる。下部緩衝体１３２は収容空間Ｓ内に向かって配置される。間隔をあけて分布している上部緩衝体１２２ａ、１２２ｂが基板容器２００の上表面２００ａに当接することにより、上部緩衝体１２２ａ、１２２ｂの間の間隙は基板容器２００によって押圧される際（例えば、保護包装アセンブリ１００が衝突、圧迫または落下した場合）の側方変形空間として使用できる。同様に、間隔をあけて分布している下部緩衝体１３２が基板容器２００の底部に当接することにより、下部緩衝体１３２の間の間隙は基板容器２００によって押圧された際の側方変形空間として使用できる。したがって、本実施形態による上部包装部材１２０と下部包装部材１３０が受ける緩衝力は、基板容器２００に全体的に貼り合わせる従来の構造設計より大きいため、緩衝防振の効果をより効果的に達成することができる。これによって、全体構造設計で側方変形空間を提供せず、効果的に防振、保護できないという従来の技術における欠点を解決する。

【0023】

図２に示すように、基板容器２００の上表面２００ａにリブ部２１０及び把持部２２０が設けられる。把持部２２０は上表面２００ａの中央に位置し、リブ部２１０は把持部２２０を取り囲む。これから、基板容器２００の頂部構造は不規則な起伏のある輪廓を有する。実際の使用では、基板容器２００の把持部２２０は、オーバーヘッドリフティングコンベアシステム（図示せず）に把持されて昇降し、基板容器２００を所定の位置に搬送して載置することができる。

【0024】

図７を参照されたい。それは、図３の構造が線分７－７に沿って切断した断面図である。図５～図７に示すように、本実施形態において、基板容器２００のリブ部２１０は上表面２００ａを複数の領域に分割する。基板容器２００の把持部２２０はリブ部２１０の分割された１つの領域、例えば中央領域に位置する。以上のように、上部緩衝体１２２ａ、１２２ｂが間隔をあけて分布しているため、上部緩衝体１２２ａ、１２２ｂの間の間隙はリブ部２１０を譲る退避空間として使用できる。また、上部緩衝体１２２ａ、１２２ｂは上部緩衝板１２１の中間包装部材１１０に向かう表面１２１ａに対して異なる高さを有する。本実施例では、表面１２１ａから突出した上部緩衝体１２２ａの高さは上部緩衝体１２２ｂより大きい。詳しくは、高さが大きい上部緩衝体１２２ａは、リブ部２１０を譲って基板容器２００の上表面２００ａに当接するように配置される。高さが小さい上部緩衝体１２２ｂは、基板容器２００の把持部２２０に当接するように配置される。図７に示すように、把持部２２０は上表面２００ａの中央領域に位置するため、把持部２２０に当接する上部緩衝体１２２ｂの周縁はその他の上部緩衝体１２２ａによって取り囲まれる。

【0025】

具体的に、図７では、基板容器２００のリブ部２１０は上表面２００ａを７つの領域に分割し、左上部領域、中上部領域、右上部領域、左中部領域、中央領域、右中部領域及び下部領域を含む。上表面２００ａの左上部領域、中上部領域、右上部領域、左中部領域及び右中部領域などの５つの領域の面積が近いため、それぞれ５つの上部緩衝体１２２ａにより当接することができる。上表面２００ａの下部領域の面積はその他の領域より大きく、且つ形状が長方形に近似し、２つの上部緩衝体１２２ａにより当接することができる。このため、合計で７つの上部緩衝体１２２ａは中央の上部緩衝体１２２ｂの周縁を取り囲むように配列する。

【0026】

図７に示すように、本実施形態において、上部緩衝体１２２ａ、１２２ｂは異なる面積の組合わせであり、且つ間隔を空けて配置される。また、上部緩衝体１２２ａ、１２２ｂの間に複数の異なるピッチを有する。例えば、上表面２００ａの下部領域に当接する２つの上部緩衝体１２２ａの間にピッチＧ１があり、上表面２００ａの右中部領域に当接する上部緩衝体１２２ａと上表面２００ａの中央領域に当接する上部緩衝体１２２ｂとの間にピッチＧ２があり、且つピッチＧ２はピッチＧ１より大きい。上部緩衝体１２２ａ、１２２ｂの間のピッチはピッチＧ１、Ｇ２に制限されず、リブ部２１０の位置に応じて柔軟に調整できる。これによって、上部包装部材１２０は上部緩衝体１２２ａ、１２２ｂによって基板容器２００の頂部構造に対して最大きい面密着面積となるようにすることができる。

【0027】

また、上部緩衝体１２２ｂが上表面２００ａの中央領域に当接するため、上部緩衝体１２２ｂからリング状内表面１１０ｃまでの最短距離Ｄ１はその他の上部緩衝体１２２ａからリング状内表面１１０ｃまでの最短距離Ｄ２より大きい。例えば、図７に示すように、上表面２００ａの中上部領域に当接する上部緩衝体１２２ａの最短距離Ｄ２は最短距離Ｄ１より小さい。

【0028】

実際の使用では、上部緩衝体１２２ａ、１２２ｂの実際の数と配置方式は、基板容器２００の上表面２００ａの構造に合わせて設計される。また、上記の上表面２００ａは７つの領域に分割されるのは、ただ好ましい実施例であるが、この構造設計に制限されず、実際の用途に応じて調整できる。

【0029】

いくつかの実施形態において、図７に示すように、上部緩衝体１２２ａ、１２２ｂの横断面の輪廓は矩形（正方形と長方形を含む）であるが、本開示はこれに制限されない。例えば、図５と図７を併せて参照されたい。前述横断面は上部緩衝板１２１の中間包装部材１１０に向かう表面１２１ａに平行である。

【0030】

図８を参照されたい。それは、図３の構造が線分８－８に沿って切断した断面図である。図５、図６及び図８に示すように、本実施形態において、基板容器２００は底板２３０をさらに含む。底板２３０は基板容器２００の底部に設けられ、且つ下表面２３０ａを有する。下表面２３０ａは、平面から凹んで不規則的な起伏のある輪廓を形成する表面に相当する。下部包装部材１３０の下部緩衝体１３２は下部緩衝板１３１の中間包装部材１１０に向かう表面１３１ａに対して同じ高さを有する。底板２３０の下表面２３０ａによりスムーズに当接するために、下部緩衝体１３２の頂面１３２ａ（図２も参照）は底板２３０の下表面２３０ａにより多くの部位の面に密着するように、面一である。

【0031】

いくつかの実施形態において、下部緩衝体１３２は同等な面積の組合わせである。また、下部緩衝体１３２の間に同等なピッチがある。例えば、図８に示すように、いずれかの隣り合う下部緩衝体１３２の間にピッチＧ３があるが、本開示はこれに制限されない。

【0032】

いくつかの実施形態において、下部緩衝体１３２の数は９つであるが、本開示はこれに制限されない。実際の使用では、下部緩衝体１３２の実際の数は柔軟に変更でき、図８に示すような実施形態の数に制限されない。

【0033】

いくつかの実施形態において、下部緩衝体１３２はマトリクスに配列される。例えば、図８に示すように、前述マトリクスを構成する２つの次元は互いに垂直であるが、本開示はこれに制限されない。

【0034】

いくつかの実施形態において、図８に示すように、下部緩衝体１３２の横断面の輪廓はいずれも矩形（例えば、正方形）であるが、本開示はこれに制限されない。例えば、図５と図８を併せて参照し、前述横断面は下部緩衝板１３１の中間包装部材１１０に向かう表面１３１ａに平行である。

【0035】

いくつかの実施形態において、サイド緩衝板１１１のうちの少なくとも１つの板厚はその他のサイド緩衝板１１１の板厚より小さい。例えば、図７と図８に示すように、上方のサイド緩衝板１１１が有する板厚Ｔ１は隣接側、反対側のサイド緩衝板１１１が有する板厚Ｔ２より小さい。これによって、その他のサイド緩衝板１１１に対して、上方のサイド緩衝板１１１は小さい板厚Ｔ１を有し、基板容器２００からの距離を増加でき、これにより、緩衝空間を拡大する効果を達成する。

【0036】

いくつかの実施形態において、中間包装部材１１０は単体構造であり、且つ単体構造の材料は発泡綿を含む。

【0037】

いくつかの実施形態において、上部包装部材１２０は単体構造であり、且つ単体構造の材料は発泡綿を含む。

【0038】

いくつかの実施形態において、下部包装部材１３０は単体構造であり、且つ単体構造の材料は発泡綿を含む。

【0039】

いくつかの実施形態において、前述発泡綿は帯電防止発泡綿、例えば発泡ポリエチレン（Ｆｏａｍｅｄ Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ）であるが、本開示はこれに制限されない。発泡ポリエチレンは軽量で柔らかく、弾性に優れ且つ良好な緩衝性能を持つ材料である。通常、ポリエチレン（ＰＥ）樹脂を加工、発泡及び成形したものである。発泡ポリエチレンの主な特性は、軽量、柔軟、耐久性、耐水性及び成形しやすいなどである。

【0040】

申請者は、以下で、実際の試験結果を参照として提供する。試験はＩＳＴＡ ２Ａ（落下）仕様に従って実施される。ＩＳＴＡ ２Ａは、国際輸送包装テスト基準であり、包装が輸送中に受ける可能性がある落下衝撃を評価することを目的とする。前記基準では、テスト中に包装を面、エッジ及び角の３つの方向に落下させることを要求する。テスト高度は要件を満たさなければならない。包装が落下テストで破損したと、前記包装がテスト基準を満たしなく、包装が落下テストで破損しないと、前記包装がテスト基準を満たす。ＩＳＴＡ ２Ａ落下テストによって、製品が輸送中に落下衝撃の影響を受けないようにすることができ、これにより、製品の輸送安全性と信頼性を高めることができる。

【0041】

下記表１はＩＳＴＡ ２Ａ（落下）仕様に従う落下条件である。

【表1】

【0042】

例えば、本開示による保護包装アセンブリ１００は重量が１０キロ未満の物体を収容し、高度が１０センチより大きい落下試験を行う場合、保護包装アセンブリ１００の総緩衝作用力は保護包装アセンブリの角、エッジ及び面の緩衝作用力より大きく、且つ角とエッジの緩衝作用力は面の緩衝作用力より大きい。なお、本開示の保護包装アセンブリ１００は中間包装部材１１０、上部包装部材１２０及び下部包装部材１３０の組み合わせ構造であるため、保護包装アセンブリ１００が落下試験時にどの部位で衝突しても、すべての部位が互いに影響を与え、共に総緩衝作用力に貢献する。また、保護包装アセンブリ１００の角とエッジの領域は面の領域より小さいため、角とエッジとの緩衝作用力は面の緩衝作用力より大きい。

【0043】

下記表２は、本開示の保護包装アセンブリ１００により物体を被覆した後に落下テストを行ったテスト結果である。被覆された物体は、例えば前開きの基準ウェハカセットである。試験された保護包装アセンブリ１００は、長さ、幅、高さのサイズがそれぞれ異なる立方体である。

【表2】

【0044】

上の表２に示されるテスト結果によれば、本開示の保護包装アセンブリ１００は、基板容器２００を保護するための十分な緩衝を確実に提供できることが明らかに分かる。

【0045】

以上で本開示の具体的な実施形態に対する詳しい説明によると、本開示の保護包装アセンブリは、中間包装部材、上部包装部材及び下部包装部材の組合わせ構造により、基板容器の外周縁を完全に被覆することができることが明らかである。特に、上部包装部材の上部緩衝板に複数の上部緩衝体が設けられ、且つ下部包装部材の下部緩衝板に複数の下部緩衝体が設けられる。これらの上部緩衝体と下部緩衝体の高さを、保護包装アセンブリによって包装された基板容器の頂部構造と底面構造に応じて対応的に調整することができ、さらに、上部包装部材と下部包装部材をそれぞれ基板容器の頂面及び底部の不規則な起伏のある輪廓に密着させることができる。また、本開示の上部包装部材と下部包装部材が受ける緩衝力は、基板容器に全体的に貼り合わせる従来の構造設計より大きいため、緩衝防振の効果をより効果的に達成することができる。

【0046】

本開示では、実施形態を前述の通りに開示したが、実施形態は本開示を限定するものではなく、当業者なら誰でも、本開示の精神と領域から逸脱しない限り、多様の変更や修正を加えることができる。従って、本開示の保護範囲は、後の特許請求の範囲で指定した内容を基準とする。

【符号の説明】

【0047】

１００ 保護包装アセンブリ
１１０ 中間包装部材
１１０ａ 上開口
１１０ｂ 下開口
１１０ｃ リング状内表面
１１１ サイド緩衝板
１２０ 上部包装部材
１２１ 上部緩衝板
１２１ａ、１３１ａ 表面
１２２ａ、１２２ｂ 上部緩衝体
１３０ 下部包装部材
１３１ 下部緩衝板
１３２ 下部緩衝体
１３２ａ 頂面
２００ 基板容器
２００ａ 上表面
２１０ リブ部
２２０ 把持部
２３０ 底板
２３０ａ 下表面
５－５、６－６、７－７、８－８ 線分
Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３ ピッチ
Ｓ 収容空間
Ｔ１、Ｔ２ 板厚

【図1A】

【図1B】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】