特開 2024-78377 流体紫外光処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024078377

(43)【公開日】2024-06-10

(54)【発明の名称】流体紫外光処理装置

(51)【国際特許分類】

   B01J 19/12 20060101AFI20240603BHJP

   C02F 1/32 20230101ALI20240603BHJP

   A61L 9/20 20060101ALI20240603BHJP

   A61L 2/10 20060101ALI20240603BHJP

【ＦＩ】

B01J19/12 C

C02F1/32

A61L9/20

A61L2/10

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023091003

(22)【出願日】2023-06-01

(31)【優先権主張番号】P 2022190639

(32)【優先日】2022-11-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(31)【優先権主張番号】P 2023063967

(32)【優先日】2023-04-11

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000226057

【氏名又は名称】日亜化学工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】今井 正裕

(72)【発明者】

【氏名】中村 直記

【テーマコード（参考）】

4C058

4C180

4D037

4G075

【Ｆターム（参考）】

4C058AA20

4C058BB06

4C058KK02

4C058KK12

4C058KK23

4C058KK46

4C058KK50

4C180AA07

4C180DD03

4C180HH19

4C180HH20

4D037AA01

4D037AB03

4D037BA18

4G075AA02

4G075AA37

4G075BB10

4G075CA33

4G075DA02

4G075EB33

4G075FC04

(57)【要約】

【課題】処理効果を高めることができる流体紫外光処理装置を提供する。
【解決手段】流体紫外光処理装置は、流体が第１方向に流れる第１流路と、前記第１流路の下流側に接続され、流体が前記第１方向と反対の第２方向に流れる第２流路と、前記第１流路と前記第２流路との間に位置する第１部材と、前記第１流路および前記第２流路の少なくとも一方に紫外光を照射する光源と、前記第１流路の下流端と、前記第２流路の上流端と、を接続する第１接続部と、を備え、前記第１部材は、前記第１流路と、前記第２流路と、を接続する第１開口を有し、前記第１部材を平面視した場合に、前記第１開口の面積は、前記第１接続部の面積よりも小さい。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

流体が第１方向に流れる第１流路と、
前記第１流路の下流側に接続され、流体が前記第１方向と反対の第２方向に流れる第２流路と、
前記第１流路と前記第２流路との間に位置する第１部材と、
前記第１流路および前記第２流路の少なくとも一方に紫外光を照射する光源と、
前記第１流路の下流端と、前記第２流路の上流端と、を接続する第１接続部と、を備え、
前記第１部材は、前記第１流路と、前記第２流路と、を接続する第１開口を有し、
前記第１部材を平面視した場合に、前記第１開口の面積は、前記第１接続部の面積よりも小さい、流体紫外光処理装置。

【請求項2】

前記第１開口は、前記第１部材の前記第１方向における中央部よりも下流側の領域のみに配置される、請求項１に記載の流体紫外光処理装置。

【請求項3】

前記第１部材は、前記第１開口に近接する領域から前記第２流路側に延出する第１部分を有する、請求項１に記載の流体紫外光処理装置。

【請求項4】

前記第１部分は、前記第２方向に対して傾斜する面を含む、請求項３に記載の流体紫外光処理装置。

【請求項5】

前記第２流路の下流側に接続され、流体が前記第２方向と反対の第３方向に流れる第３流路と、
前記第２流路と前記第３流路との間に位置する第２部材と、
前記第２流路の下流端と、前記第３流路の上流端と、を接続する第２接続部と、を有し、
前記第２部材は、前記第２流路と、前記第３流路と、を接続する第２開口を有し、
前記第２部材を平面視した場合に、前記第２開口の面積は、前記第２接続部の断面積よりも小さい、請求項１に記載の流体紫外光処理装置。

【請求項6】

前記第２開口は、前記第２部材の前記第２方向における中央部よりも下流側の領域のみに配置される、請求項５に記載の流体紫外光処理装置。

【請求項7】

前記第２部材は、前記第２開口に近接する領域から前記第３流路側に延出する第２部分を有する、請求項５に記載の流体紫外光処理装置。

【請求項8】

前記第２部分は、前記第３方向に対して傾斜する面を含む、請求項７に記載の流体紫外光処理装置。

【請求項9】

前記第２開口は、前記第１部材を平面視した場合に、前記第１開口と重ならない位置に配置される、請求項７に記載の流体紫外光処理装置。

【請求項10】

前記第１部材は、
前記第１部材の前記第１方向における前記第１開口よりも上流側に配置され、前記第１流路と前記第２流路とを接続する第３開口と、
前記第３開口に近接する領域から前記第１流路側に延出する第３部分と、を有する、請求項１または請求項２に記載の流体紫外光処理装置。

【請求項11】

前記第３部分は、前記第１方向に対して傾斜する面を含む、請求項１０に記載の流体紫外光処理装置。

【請求項12】

前記第１部材は、前記第１流路と前記第２流路とを接続する複数の第４開口をさらに有し、
前記第１開口は、前記第１部材の前記第１方向における中央部よりも下流側の領域のみに複数配置されるとともに、前記複数の第４開口は、前記第１部材の前記第１方向における中央部よりも上流側の領域のみに配置され、
前記第１部材を平面視した場合に、複数の前記第１開口の面積の総和は、前記複数の第４開口の面積の総和よりも大きい、請求項１に記載の流体紫外光処理装置。

【請求項13】

前記流体の流入部と、前記流体の流出部と、前記流入部と前記流出部とを繋ぐ流路部と、を有し、
前記流路部は、前記流入部から分岐する複数の分岐流路部と、前記複数の分岐流路部の下流側に接続される合流流路部と、を含み、
前記複数の分岐流路部のそれぞれは、前記第１流路と、前記第２流路と、前記第１部材と、を備える、請求項１または請求項２に記載の流体紫外光処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、流体紫外光処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、特許文献１には、発光素子が発する紫外線を、流体が流れる流路内へ照射する装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１８－１４０００１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明は、処理効果を高めることができる流体紫外光処理装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の一態様によれば、流体紫外光処理装置は、流体が第１方向に流れる第１流路と、前記第１流路の下流側に接続され、流体が前記第１方向と反対の第２方向に流れる第２流路と、前記第１流路と前記第２流路との間に位置する第１部材と、前記第１流路および前記第２流路の少なくとも一方に紫外光を照射する光源と、前記第１流路の下流端と、前記第２流路の上流端と、を接続する第１接続部と、を備え、前記第１部材は、前記第１流路と、前記第２流路と、を接続する第１開口を有し、前記第１部材を平面視した場合に、前記第１開口の面積は、前記第１接続部の面積よりも小さい。

【発明の効果】

【0006】

本発明によれば、処理効果を高めることができる流体紫外光処理装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】第１実施形態に係る流体紫外光処理装置の一例を示す模式的斜視図である。

【図2】図１のII-II線における模式的断面図である。

【図3A】第１実施形態に係る光源の第１例を示す模式的斜視図である。

【図3B】第１実施形態に係る光源の第２例を示す模式的斜視図である。

【図3C】第１実施形態に係る光源の第３例を示す模式的斜視図である。

【図4】図１の流体紫外光処理装置における第１部材を示す模式的平面図である。

【図5】図１の流体紫外光処理装置における第２部材を示す模式的平面図である。

【図6】図１の流体紫外光処理装置における第３部材を示す模式的平面図である。

【図7】図１の流体紫外光処理装置における第４部材を示す模式的平面図である。

【図8】第２実施形態に係る流体紫外光処理装置の一例を示す模式的斜視図である。

【図9】図８のIX－IX線における模式的断面図である。

【図10】図８の流体紫外光処理装置における第１部材を示す模式的平面図である。

【図11】図９における領域Ｌの拡大図である。

【図12】図９における領域Ｍの拡大図である。

【図13】図８の流体紫外光処理装置における第２部材を示す模式的平面図である。

【図14】図９における領域Ｎの拡大図である。

【図15】図８の流体紫外光処理装置における第３部材を示す模式的平面図である。

【図16】図８の流体紫外光処理装置における第４部材を示す模式的平面図である。

【図17】第３実施形態に係る流体紫外光処理装置における第１部材を示す模式的平面図である。

【図18】溝部を含む第１部材の一例を示す模式的平面図である。

【図19】実施形態に係る光源のジャッキ機構を示す斜視図である。

【図20】実施形態に係る光源のジャッキ機構を示す上面図である。

【図21】実施形態に係る光源のジャッキ機構を示す側面図である。

【図22】光源が第１光源配置部の第１隔壁に押圧される前の状態を示す図である。

【図23】光源が第１光源配置部の第１隔壁に押圧された状態を示す図である。

【図24】実施形態に係る流体紫外光処理装置に対するジャッキ機構の配置方法の第１例を示す分解斜視図である。

【図25】実施形態に係る流体紫外光処理装置に対するジャッキ機構の配置方法の第２例を示す分解斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、図面を参照し、実施形態について説明する。各図面中、同じ構成には同じ符号を付している。なお、各図面は、実施形態を模式的に示したものであるため、各部材のスケール、間隔若しくは位置関係等が誇張、または部材の一部の図示を省略する場合がある。断面図として、切断面のみを示す端面図を用いる場合がある。

【0009】

各図面において、方向表現として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を有する直交座標を用いる。Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は互いに直交する。本明細書では、実施形態に係る流体紫外光処理装置が有する第１部材の法線方向に沿う軸をＺ軸とする。該第１部材の法線方向に直交する軸をＸ軸およびＹ軸とする。本明細書および特許請求の範囲において、平面視とは、Ｚ軸方向、すなわち実施形態に係る流体紫外光処理装置が有する第１部材の法線方向から、対象を見ることをいう。該第１部材の法線方向は、該第１部材のうち、実施形態に係る流体紫外光処理装置が有する第１流路または第２流路に向かい合う面の法線方向を意味する。

【0010】

［第１実施形態］
＜全体構成例＞
図１および図２を参照して、第１実施形態に係る流体紫外光処理装置の全体構成について説明する。図１は、本実施形態に係る流体紫外光処理装置１の一例を示す斜視図である。図２は、図１のII-II線における模式的断面図である。図２に示す断面は、Ｘ軸およびＺ軸に平行であり、且つＹ軸に直交する断面を示す。

【0011】

流体紫外光処理装置１は、液体や気体等の流体に対して紫外光を照射することで流体を処理する。流体紫外光処理装置１は、例えば、流体紫外光処理装置１内を流れる水に紫外光を照射することで、処理前に比べて処理後の水の中の菌やウイルスの数を減らすことができる。流体紫外光処理装置１の大きさは、例えば、Ｘ軸方向の長さが１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下、Ｙ軸方向の長さが３０ｍｍ以上４００ｍｍ以下、Ｚ軸方向の長さが５０ｍｍ以上８００ｍｍ以下である。流体紫外光処理装置１の大きさの一例としては、Ｘ軸方向の長さが３５０ｍｍ、Ｙ軸方向の長さが１００ｍｍ、Ｚ軸方向の長さが２２０ｍｍである。

【0012】

流体紫外光処理装置１は、第１端部１０と、第２端部２０と、第１端部１０と第２端部２０との間に位置する中間部５０と、を有する。また、流体紫外光処理装置１は、第１光源７１と、第２光源７２と、を有する。さらに、流体紫外光処理装置１は、排液口１２０と、排液機構１２１と、排気口１３０と、排気機構１３５と、を有する。図１および図２に示す例では、第１光源７１は第１端部１０に配置され、第２光源７２は第２端部２０に配置される。

【0013】

第１端部１０、第２端部２０および中間部５０の材料は、金属であり、例えばステンレス鋼である。第１端部１０、第２端部２０および中間部５０は、互いに別体の部材でもよいし、一体に構成されてもよい。なお、別体の部材とは、２つの部材があると想定したときに、２つの部材それぞれが接して接合していないもの、または２つの部材それぞれが接着部材等を介して接合しているものをいう。

【0014】

図２において、流体の流れを白抜きの矢印で表す。液体や気体等の流体は、流体紫外光処理装置１の外部から第１端部１０に流入する。さらに、流体は、第１端部１０から中間部５０を経て第２端部２０に流れ、第２端部２０から流体紫外光処理装置１の外部に流出する。

【0015】

第１端部１０は、流体の流入部１１と、上流側流路部１２と、第１光源配置部１３と、第１窓部１４と、を有する。

【0016】

流入部１１は、流体紫外光処理装置１の外部から第１端部１０の内部に通じる孔部を含む。流入部１１には外部の配管が接続され、その配管から流入部１１に流体が流入する。流入部１１の流体の流れる方向に直交する断面の形状は、例えば円形である。流入部１１は、例えば円形の開口として形成された流入口１１ａを有する。流入部１１の円形の断面形状の中心を通る中心軸Ｃ１はＸ軸方向に平行である。

【0017】

上流側流路部１２は、第１端部１０の内部で流入部１１に接続している。上流側流路部１２は、分岐する複数の流路を有している。流入部１１から上流側流路部１２に流入した流体は、それぞれ分岐した流路に流入する。図２に示す例においては、上流側流路部１２は、流入部１１から２つに分岐している。例えば、中心軸Ｃ１に直交するＺ軸方向において互いに逆方向に上流側流路部１２は流入部１１から分岐している。

【0018】

第１光源配置部１３は、第１端部１０の内部に第１光源７１を配置可能な空間として形成されている。図１に示すように、第１端部１０の側面１０ａには、第１光源配置部１３に通じる第１光源開口１３ａが形成されている。第１光源開口１３ａを通じて、第１光源７１を第１光源配置部１３に対して着脱可能となっている。第１光源配置部１３は、流体紫外光処理装置１の各流路部から分離された空間であり、第１光源７１は流体に晒されず、流体から保護される。例えば、流体が液体である場合、第１光源７１に防水構造が不要となる。また、流体紫外光処理装置１に流体を流した状態のまま、第１光源７１を着脱して、交換やメンテナンスを行うことができる。なお、第１光源配置部１３は、中間部５０の内部に配置されていてもよい。この場合、後述する中間部５０の第３壁部５３または第４壁部５４に、第１光源配置部１３に通じる第１光源開口１３ａが形成される。

【0019】

第１光源７１は、紫外光を発する。第１光源７１が発する紫外光のピーク波長は、例えば、１０ｎｍ以上４００ｎｍ以下である。第１光源７１は、発光素子を含む。発光素子として、例えば、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）またはＬＤ（Ｌａｓｅｒ Ｄｉｏｄｅ）を用いることができる。第１光源７１は、配線基板等の上に発光素子が載置された発光装置、配線基板等の上に発光素子を含む筐体が載置された発光装置等を用いることができる。第１光源７１は、第１面７１ａと、第１面７１ａの反対側に位置する第２面７１ｂとを有する。第１面７１ａは光出射面であり、紫外光は主に第１面７１ａから出射される。

【0020】

第１光源７１の第１面７１ａに対向して第１窓部１４が配置されている。Ｘ軸方向において、第１窓部１４と第１光源７１の第２面７１ｂとの間に第１面７１ａが位置し、第２面７１ｂと流入部１１との間に上流側流路部１２の一部が位置する。第１窓部１４は、第１光源７１が発する光の波長に対して透光性を有する材料からなる。第１窓部１４の材料としては、例えば、石英ガラス、ホウ珪酸ガラス、フッ化カルシウムガラス、アルミノホウ珪酸ガラス、オキシナイトライドガラス、カルコゲナイドガラス、およびサファイアからなる群から選択された少なくとも１種からなる無機材料を用いることができる。

【0021】

第２端部２０は、流体の流出部１５と、第２光源配置部１６と、第２窓部１７とを有する。

【0022】

流出部１５は、第２端部２０の内部から流体紫外光処理装置１の外部へと通じる孔部を含む。流出部１５には外部の配管が接続される。流体紫外光処理装置１の内部を流れた流体は、流出部１５から外部の配管に流出する。流出部１５の流体の流れる方向に直交する断面の形状は、例えば円形である。流出部１５は、例えば円形の開口として形成された流出口１５ａを有する。

【0023】

流出部１５の円形の断面形状の中心を通る中心軸Ｃ２は、流入部１１の中心軸Ｃ１に一致することが好ましい。これにより、流体紫外光処理装置１を、既存の直線状の配管の途中に容易に接続することができる。

【0024】

第２光源配置部１６は、第２端部２０の内部に第２光源７２を配置可能な空間として形成されている。第２端部２０の内部には、複数の第２光源７２が配置される。第２端部２０の内部に、例えば２つの第２光源７２が配置される。したがって、第２端部２０の内部に２つの第２光源配置部１６が形成されている。２つの第２光源配置部１６がＺ軸方向において流出部１５を挟むように位置している。

【0025】

図１に示すように９、第２端部２０の側面２０ａには、それぞれの第２光源配置部１６に通じる第２光源開口１６ａが形成されている。第２光源開口１６ａを通じて、第２光源７２を第２光源配置部１６に対して着脱可能となっている。第２光源配置部１６は、流体紫外光処理装置１の各流路部から分離された空間であり、第２光源７２は流体に晒されず、流体から保護される。例えば、流体が液体である場合、第２光源７２に防水構造が不要となる。また、流体紫外光処理装置１に流体を流した状態のまま、第２光源７２を着脱して、交換やメンテナンスを行うことができる。なお、第２光源配置部１６は、中間部５０の内部に配置されていてもよい。この場合、後述する中間部５０の第３壁部５３または第４壁部５４に、第２光源配置部１６に通じる第２光源開口１６ａが形成される。

【0026】

第２光源７２は、紫外光を発する。第２光源７２として、第１光源７１と同じ光源を用いることができる。第２光源７２は、第１光源７１と発光ピーク波長が異なるものを用いてもよい。第２光源７２も、第１面７２ａと、第１面７２ａの反対側に位置する第２面７２ｂとを有する。第１面７２ａは光出射面であり、紫外光は主に第１面７２ａから出射される。

【0027】

それぞれの第２光源７２の第１面７２ａに対向して第２窓部１７が配置されている。第２窓部１７は、第２光源７２が発する光の波長に対して透光性を有する材料からなる。第２窓部１７は、例えば、石英ガラス、ホウ珪酸ガラス、フッ化カルシウムガラス、アルミノホウ珪酸ガラス、オキシナイトライドガラス、カルコゲナイドガラス、およびサファイアからなる群から選択された少なくとも１種からなる無機材料を用いることができる。第２窓部１７は、第１窓部１４と同じ材料を用いてもよい。Ｘ軸方向において、第２窓部１７と第２光源７２の第２面７２ｂとの間に第１面７２ａが位置する。

【0028】

図１に示すように、第２光源７２は、例えば、配線基板７２ｄと、配線基板７２ｄ上に実装された複数の発光素子７２ｅと、配線基板７２ｄおよび発光素子７２ｅを覆う保持部材７２ｆとを有する。保持部材７２ｆには、配線基板７２ｄと電気的に接続されるコネクタの挿入口７２ｃが形成されている。上述した第１光源７１も、第２光源７２と同様に構成することができる。第１光源７１および第２光源７２は、防水構造を有していてもよい。この場合、第１光源配置部１３および第２光源配置部１６は、流体紫外光処理装置１の流路部１００内に配置してもよい。また、第１窓部１４および第２窓部１７を構成する透光性の部材を省略し、第１光源配置部１３および第２光源配置部１６から流路部１００内に第１光源７１および第２光源７２からの紫外光が直接照射されるようにしてもよい。

【0029】

第２端部２０は、さらに、下流側流路部１１０を有する。下流側流路部１１０は、流出部１５から、Ｚ軸方向に分岐して、第２光源配置部１６に対向する流路部を有する。流出部１５を流れる流体の一部は下流側流路部１１０へと流れ、第２光源７２を第２面７２ｂ側から冷却することができる。これにより、第２光源７２の発光に伴う発熱による発光効率の低下を低減することができる。

【0030】

また、第１端部１０の上流側流路部１２を流れる流体は、第１光源７１を第２面７１ｂ側から冷却することができる。これにより、第１光源７１の発光に伴う発熱による発光効率の低下を低減することができる。

【0031】

図１に示す例では、中間部５０は、中間部５０の筐体を構成する４つの壁部（第１壁部５１、第２壁部５２、第３壁部５３および第４壁部５４）を有する。第１壁部５１と第２壁部５２は、Ｚ軸方向において互いに離隔している。第３壁部５３と第４壁部５４は、Ｙ軸方向において互いに離隔している。

【0032】

さらに、中間部５０は、第１壁部５１、第２壁部５２、第３壁部５３および第４壁部５４に囲まれた空間内に配置された複数の部材６１～６４を有する。例えば、４つの部材（第１部材６１、第２部材６２、第３部材６３および第４部材６４）が中間部５０に配置されている。

【0033】

第１部材６１は、第１流路８１ａと第２流路８２ａとの間に位置する。第２部材６２は、第２流路８２ａと第３流路９０との間に位置する。第３部材６３は、第３流路９０と第２流路８２ｂとの間に位置する。第４部材６４は、第２流路８２ｂと第１流路８１ｂとの間に位置する。

【0034】

第１部材６１は、第１流路８１ａと第２流路８２ａを区画する。第２部材６２は、第２流路８２ａと第３流路９０を区画する。第３部材６３は、第３流路９０と第２流路８２ｂを区画する。第４部材６４は、第２流路８２ｂと第１流路８１ｂを区画する。

【0035】

第１部材６１、第２部材６２、第３部材６３および第４部材６４は、Ｘ軸方向に延びる長方形の板部材である。平面視において、第１部材６１、第２部材６２、第３部材６３および第４部材６４の大きさは、例えば、Ｘ軸方向の長さが２０ｍｍ以上５００ｍｍ以下、Ｙ軸方向の長さが１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下である。第１部材６１、第２部材６２、第３部材６３および第４部材６４の大きさの一例としては、Ｘ軸方向の長さが１８３ｍｍ、Ｙ軸方向の長さが５０ｍｍである。本実施形態では、第１部材６１は、第１流路８１ａと、第２流路８２ａと、を接続する第１開口６１０を有する。第１開口６１０は、第１部材６１をその厚さ方向であるＺ軸方向に貫通する孔である。第２部材６２は、第２流路８２ａと、第３流路９０と、を接続する第２開口６２０を有する。第２開口６２０は、第２部材６２をその厚さ方向であるＺ軸方向に貫通する孔である。第３部材６３は、第３流路９０と、第２流路８２ｂと、を接続する第２開口６２０を有する。第２開口６２０は、第３部材６３をその厚さ方向であるＺ軸方向に貫通する孔である。第４部材６４は、第２流路８２ｂと、第１流路８１ｂと、を接続する第１開口６１０を有する。第１開口６１０は、第４部材６４をその厚さ方向であるＺ軸方向に貫通する孔である。平面視において、第１開口６１０、第２開口６２０の径は、３ｍｍ以上３０ｍｍ以下である。第１開口６１０、第２開口６２０の径の一例としては、１０ｍｍである。

【0036】

第１壁部５１、第１部材６１、第２部材６２、第３部材６３、第４部材６４および第２壁部５２は、Ｚ軸方向において互いに離隔している。

【0037】

Ｚ軸方向において、第１部材６１は第１壁部５１と第２部材６２との間に位置し、第２部材６２は第１部材６１と第３部材６３との間に位置し、第３部材６３は第２部材６２と第４部材６４との間に位置し、第４部材６４は第３部材６３と第２壁部５２との間に位置する。

【0038】

第１部材６１、第２部材６２、第３部材６３および第４部材６４は、Ｙ軸方向において、第３壁部５３と第４壁部５４との間に配置されている。第１部材６１、第２部材６２、第３部材６３および第４部材６４のＹ軸方向の両端部がそれぞれ第３壁部５３と第４壁部５４に支持されている。

【0039】

第１部材６１の一端は第１端部１０に接続し、第１部材６１は第１端部１０との接続部から第２端部２０に向かって延伸している。第１部材６１の他端は、第２端部２０から離隔している。

【0040】

第２部材６２の一端は第２端部２０に接続し、第２部材６２は第２端部２０との接続部から第１端部１０に向かって延伸している。第２部材６２の他端は、第１端部１０から離隔している。

【0041】

第３部材６３の一端は第２端部２０に接続し、第３部材６３は第２端部２０との接続部から第１端部１０に向かって延伸している。第３部材６３の他端は、第１端部１０から離隔している。

【0042】

第４部材６４の一端は第１端部１０に接続し、第４部材６４は第１端部１０との接続部から第２端部２０に向かって延伸している。第４部材６４の他端は、第２端部２０から離隔している。

【0043】

中間部５０は、流入部１１と流出部１５とを繋ぎ、上記各壁部５１～５４および各部材６１～６４によって画定される流路部１００を有する。流路部１００は、複数の分岐流路部８０ａ、８０ｂと、第３流路９０と、を有する。複数の分岐流路部８０ａ、８０ｂは、流入部１１から分岐する流路部である。第３流路９０は、複数の分岐流路部８０ａ、８０ｂの下流側に接続される流路であり、複数の分岐流路部８０ａ、８０ｂが合流する合流流路部に対応する。第３流路９０では、流体が第２方向ｄ２と反対の第３方向ｄ３に流れる。図１に示す例では、Ｚ軸方向において、分岐流路部８０ａと、分岐流路部８０ｂとの間に、第３流路９０が位置している。

【0044】

分岐流路部８０ａ、８０ｂの少なくとも１つは、第１流路８１ａ、８１ｂと、第２流路８２ａ、８２ｂと、を有する。図１に示す例では、２つの分岐流路部８０ａ、８０ｂのそれぞれが、第１流路８１ａ、８１ｂと、第２流路８２ａ、８２ｂと、を有する。

【0045】

分岐流路部８０ａは、第１流路８１ａと第２流路８２ａとを有する。第１流路８１ａは第２流路８２ａよりも上流側に配置され、第２流路８２ａは第１流路８１ａよりも下流側に配置される。上流側とは、流入部１１から流出部１５へ向かう各流路において、相対的に流入部１１に近い側を表し、下流側とは相対的に流出部１５に近い側を表す。換言すると、上流側とは、流体が流入部１１から流出部１５へ流れる各流路において、流体が流入部１１から流れる距離が相対的に短くなる側を表し、下流側とは流体が流出部１５まで流れる距離が相対的に短くなる側を表す。

【0046】

分岐流路部８０ｂは、第１流路８１ｂと第２流路８２ｂとを有する。第１流路８１ｂは第２流路８２ｂよりも上流側に配置され、第２流路８２ｂは第１流路８１ｂよりも下流側に配置される。

【0047】

分岐流路部８０ａの第１流路８１ａは、第１壁部５１、第１部材６１、第３壁部５３および第４壁部５４によって画定される。分岐流路部８０ａの第２流路８２ａは、第１部材６１、第２部材６２、第３壁部５３および第４壁部５４によって画定される。

【0048】

分岐流路部８０ｂの第１流路８１ｂは、第２壁部５２、第４部材６４、第３壁部５３および第４壁部５４によって画定される。分岐流路部８０ｂの第２流路８２ｂは、第３部材６３、第４部材６４、第３壁部５３および第４壁部５４によって画定される。

【0049】

それぞれの第１流路８１ａ、８１ｂの一端は、第１端部１０の内部に形成された上流側流路部１２に接続している。第１流路８１ａ、８１ｂは、上流側流路部１２との接続部から第１方向ｄ１に向かって延伸している。第１方向ｄ１は、例えば、Ｘ軸方向に平行な方向である。流体は、それぞれの第１流路８１ａ、８１ｂを、第１方向ｄ１に流れる。また、第１方向ｄ１は、Ｘ軸方向に対して傾斜した方向であってもよい。

【0050】

分岐流路部８０ａの第１流路８１ａは、第１部材６１と第２端部２０との間の空間を通じて第２流路８２ａと接続し、他方の分岐流路部８０ｂの第１流路８１ｂは、第４部材６４と第２端部２０との間の空間を通じて第２流路８２ｂと連通している。

【0051】

それぞれの第２流路８２ａ、８２ｂは、第１流路８１ａ、８１ｂと連通する部分から第１方向ｄ１と異なる方向に延伸し、流体はそれぞれの第２流路８２ａ、８２ｂを、第２方向ｄ２に流れる。第２方向ｄ２は、第１方向ｄ１の反対方向である。

【0052】

第１流路８１ａ、８１ｂ、第２流路８２ａ、８２ｂおよび第３流路９０は、Ｚ軸方向において、互いに隣接して配置される。分岐流路部８０ａの第１流路８１ａは、第１部材６１を介して分岐流路部８０ａの第２流路８２ａと隣接している。分岐流路部８０ｂの第１流路８１ｂは、第４部材６４を介して分岐流路部８０ｂの第２流路８２ｂと隣接している。第３流路９０は、第２部材６２を介して分岐流路部８０ａの第２流路８２ａと隣接し、第３部材６３を介して分岐流路部８０ｂの第２流路８２ｂと隣接している。Ｚ軸方向において、２つの第１流路８１ａ、８１ｂの間に２つの第２流路８２ａ、８２ｂが位置し、２つの第２流路８２ａ、８２ｂの間に第３流路９０が位置する。

【0053】

分岐流路部８０ａの第２流路８２ａは、第２部材６２と第１端部１０との間の空間を通じて第３流路９０と接続している。分岐流路部８０ｂの第２流路８２ｂは、第３部材６３と第１端部１０との間の空間を通じて第３流路９０と接続している。第３流路９０は、２つの第２流路８２ａ、８２ｂと連通する部分からＸ軸方向に延伸して流出部１５に接続されている。それぞれの第２流路８２ａ、８２ｂを流れた流体は、第３流路９０に合流して第３流路９０を第３方向ｄ３に流れる。

【0054】

第１接続部１８ａは、第１流路８１ａの下流端と、第２流路８２ａの上流端と、を接続する部分である。第１接続部１８ａは、例えば、分岐流路部８０ａにおける第１部材６１と第２端部２０との間の空間内に位置する。第１接続部１８ｂは、第１流路８１ｂの下流端と、第２流路８２ｂの上流端と、を接続する部分である。第１接続部１８ｂは、例えば、分岐流路部８０ｂにおける第４部材６４と第２端部２０との間の空間内に位置する。

【0055】

第２接続部１９ａは、第２流路８２ａの下流端と、第３流路９０の上流端と、を接続する部分である。第２接続部１９ａは、例えば、分岐流路部８０ａにおける第２部材６２と第１端部１０との間の空間内に位置する。第２接続部１９ｂは、第２流路８２ｂの下流端と、第３流路９０の上流端と、を接続する部分である。第２接続部１９ｂは、分岐流路部８０ｂにおける第３部材６３と第１端部１０との間の空間内に位置する。

【0056】

第１開口６１０は、分岐流路部それぞれにおける第１流路と第２流路を区画する部材に形成され、第１流路と第２流路とを接続する開口である。第２開口６２０は、分岐流路部における第２流路と合流流路部である第３流路を区画する部材に形成され、第２流路と第３流路とを接続する開口である。分岐流路部が、２つの流路（分岐流路部８０ａと分岐流路部８０ｂ）を有することに限らず、１つまたは３つ以上の流路を有してもよい。この場合には、第１開口６１０は、１つまたは３つ以上の第１流路と第２流路のそれぞれを区画する部材に形成され、第２開口６２０は、第２流路と合流流路部である第３流路を区画する部材に形成される。

【0057】

第１光源７１は、第３流路９０に紫外光を照射可能な位置に配置される。例えば、第１光源７１は第１端部１０に配置された第１光源配置部１３に配置され、第１光源７１の第１面７１ａは第１窓部１４を介して、第３流路９０における２つの第２流路８２ａ、８２ｂとの合流部に対向する。第１光源７１の第１面７１ａから出射された紫外光は、第２流路８２ａ、８２ｂとの合流部側から第３流路９０に照射される。

【0058】

１つの分岐流路部に対して、１つ以上の第２光源７２が紫外光を照射可能な位置に配置される。第２光源７２は、第１流路８１ａ、８１ｂおよび第２流路８２ａ、８２ｂの少なくとも一方に紫外光を照射する。図２に示す例では、それぞれの第２光源７２は、それぞれの分岐流路部８０ａ、８０ｂに紫外光を照射可能な位置に配置される。例えば、第２光源７２は第２端部２０に配置された第２光源配置部１６に配置される。２つの第２光源７２の少なくとも１つは、第１流路８１ａ、８１ｂおよび第２流路８２ａ、８２ｂに紫外光を照射可能な位置に配置される。本実施形態では、第２光源７２が第２窓部１７を介して、分岐流路部８０ａの第１流路８１ａと第２流路８２ａとが連通する部分に対向する位置に配置される。また第２光源７２が第２窓部１７を介して、分岐流路部８０ｂの第１流路８１ｂと第２流路８２ｂとが連通する部分に対向する位置に配置される。第２光源７２の第１面７２ａから出射された紫外光は、第１流路８１ａと第２流路８２ａとの連通部側から、第１流路８１ａおよび第２流路８２ａに照射される。第２光源７２の第１面７２ａから出射された紫外光は、第１流路８１ｂと第２流路８２ｂとの連通部側から、第１流路８１ｂおよび第２流路８２ｂに照射される。

【0059】

排液口１２０は、流体紫外光処理装置１において中間部５０の鉛直下方側に位置する第２壁部５２に形成された貫通孔である。排液口１２０は、栓により開閉可能になっている。排液口１２０の栓が開放された状態では、流体紫外光処理装置１内部の液体は、重力の作用により鉛直下方に流れ、排液口１２０を通って排出される。排液口１２０の栓が閉塞された状態では、流体紫外光処理装置１内部の液体は排出されない。なお、排液口１２０が形成される位置は、第２壁部５２内であれば特に制限されない。

【0060】

排液機構１２１は、排液口１２０から排出される液体の量を調節可能な機構である。例えば、排液機構１２１は、排液口１２０の開閉状態を調節可能な栓を有するドレン装置である。流体紫外光処理装置１のドレン装置における栓の開閉状態が調節されることによって、排液口１２０を通って排出される液体の量が調節可能となる。排液機構１２１は必須の構成部ではないが、排液作業の作業性を向上させる観点では、流体紫外光処理装置１は、排液機構１２１を有することが好ましい。

【0061】

排気口１３０は、流体紫外光処理装置１において中間部５０の鉛直上方側に位置する第１壁部５１に形成された貫通孔である。排気口１３０は、栓により開閉可能になっている。排気口１３０の栓が開放された状態では、流体紫外光処理装置１内部の液体内の気泡は、浮力の作用により鉛直上方に移動し、排気口１３０を通って排出される。排気口１３０の栓が閉塞された状態では、流体紫外光処理装置１内部の液体内の気泡は排出されない。なお、排気口１３０が形成される位置は、第１壁部５１内であれば特に制限されない。

【0062】

排気機構１３５は、排気口１３０から排出される気泡の量を調節可能な機構である。例えば、排気機構１３５は、排気口１３０の開閉状態を調節可能な栓を有するドレン装置である。流体紫外光処理装置１の栓の開閉状態を調節することによって、排気口１３０を通って排出される液体の量が調節可能となる。排気機構１３５は必須の構成部ではないが、排液作業の作業性を向上させる観点では、流体紫外光処理装置１は、排気機構１３５を有することが好ましい。

【0063】

ここで、流体紫外光処理装置では、例えば、装置内部に液体が収容された状態で一定期間使用されなかったりすると、装置内部にカビや細菌が発生する場合がある。カビや細菌は、流体紫外光処理装置による処理効果を低下させる。したがって、流体紫外光処理装置では、カビや細菌の発生を防止するために、定期的に、或いは使用しない期間に入る前等に、装置内部の液体を排出し、装置内部に液体が残留していない状態である空の状態にすることが好ましい。

【0064】

本実施形態では、流体紫外光処理装置１は、排液口１２０を鉛直下方に有するため、装置内部の液体を排出して装置内部を空の状態にする際に、排液口１２０を通じて液体を外部に排出しやすくなる。これにより、流体紫外光処理装置１の内部を空の状態にする際に、装置内部に液体が残留することを低減できるため、装置内部におけるカビや細菌の発生を低減し、流体紫外光処理装置１による処理効果がカビや細菌によって低下することを低減することができる。

【0065】

また、流体紫外光処理装置では、例えば、その処理時に装置内の流路部を流れる液体に気泡が含まれると、気泡の体積分の液体に対して流体紫外光処理装置による処理が施されないことにより、流体紫外光処理装置による処理効率が低下する場合がある。なお、気泡とは、液体内において気体が含まれる泡をいう。

【0066】

本実施形態では、流体紫外光処理装置１は、排気口１３０を中間部５０の鉛直上方に有することにより、装置内部に充填された液体内の気泡を低減できるため、流体紫外光処理装置１による処理効率の低下を低減することができる。

【0067】

＜第１光源７１および第２光源７２の詳細構成例＞
上記第１光源７１や第２光源７２としては、図３Ａに示す光源１７０を用いることもできる。図３Ａは、光源１７０の第１例を示す模式的斜視図である。図１および図２も適宜参照しつつ、光源１７０の詳細構成について説明する。

【0068】

図３Ａに示すように、光源１７０は、配線基板１７１と、複数の発光素子とを有する。発光素子は、配線基板１７１の表面に載置される。平面視において、配線基板１７１は例えば四角形であり、この四角形における２本の対角線の交点に配線基板１７１の中心が位置する。配線基板１７１は、第１領域１８１と、第２領域１８２とを有する。第１領域１８１と第２領域１８２は、配線基板１７１の一方向に並ぶように配置されている。配線基板１７１は、さらに、第３領域１８３を有することができる。第３領域１８３は、配線基板１７１の表面に平行な面内において第１領域１８１と第２領域１８２との間に位置する。第３領域１８３は、配線基板１７１の中心を含む。第３領域１８３を配置しない場合は、例えば第１領域１８１と第２領域１８２との境界に配線基板１７１の中心が位置する。第１領域１８１または第２領域１８２が配線基板１７１の中心を含んでいてもよい。

【0069】

図３Ａに示す例においては、第１領域１８１に複数の筐体１７２が載置されている。第２領域１８２に複数の筐体１７２が載置されている。１つの筐体１７２は、少なくとも１つの発光素子を含む。また、筐体１７２は、発光素子上に配置されるレンズを含むこともできる。または、筐体１７２に収容されない状態の発光素子を第１領域１８１および第２領域１８２に配置してもよい。第３領域１８３には、発光素子が配置されていない。

【0070】

第１領域１８１、第３領域１８３、第２領域１８２が並ぶ方向における第３領域１８３の幅は、第１部材６１、第４部材６４の厚みと同じか、それよりも広いことが好ましい。これにより、第１部材６１、第４部材６４によって反射されて発光素子側に戻る光を低減することができる。

【0071】

光源１７０は、配線基板１７１を保持する保持部材１７３を有することができる。保持部材１７３は、配線基板１７１が載置される表面１７３ｅと、表面１７３ｅと反対側に位置する面とを有する。配線基板１７１は、例えば、ネジ止め、接着剤等により、保持部材１７３の表面１７３ｅに固定されている。配線基板１７１における発光素子を含む筐体１７２が載置された面が光源１７０の第１面１７０ａであり、保持部材１７３における表面１７３ｅと反対側に位置する面が光源１７０の第２面１７０ｂである。保持部材１７３は、光源１７０の第１面１７０ａ側に配線基板１７１の端部を覆う壁部１７３ｂを有している。例えば、一対の壁部１７３ｂが、平面視において配線基板１７１を挟むように位置している。

【0072】

光源１７０は、配線基板１７１の表面に、発光素子と電気的に接続される配線１７４を配置することができる。また、配線基板１７１の表面に、配線１７４と電気的に接続されるコネクタ１７５を配置することができる。保持部材１７３の１つの壁部１７３ｂには、コネクタ１７５を保持部材１７３から露出させる挿入口１７３ａが配置されている。

【0073】

光源１７０の第１面１７０ａ側にバネ部材１７６が配置されている。バネ部材１７６は、例えば金属の板状のバネである。例えば、平面視において、２つのバネ部材１７６の間に、配線基板１７１が位置し、保持部材１７３に固定されている。バネ部材１７６の数は２つに限らず１以上の任意の数であってもよい。また、バネ部材の形状は図３に示す例の形状に限らず任意の形状であってもよい。

【0074】

光源１７０は、第１光源として、図２に示す第１光源配置部１３に配置することができる。第１光源配置部１３に配置された光源１７０の第１面１７０ａは第１窓部１４に対向する。第１面１７０ａから出射する紫外光は、第１窓部１４を介して、第３流路９０を流れる流体に照射される。

【0075】

光源１７０は、バネ部材１７６を自然状態から弾性変形させた状態で第１光源配置部１３に配置される。第１面１７０ａ側に配置されたバネ部材１７６は第１窓部１４に当接する。バネ部材１７６と第１窓部１４との間にスペーサを挿入し、バネ部材１７６を第１窓部１４にスペーサを介して当接させてもよい。バネ部材１７６の復元力により、光源１７０は、上流側流路部１２と第１光源配置部１３とを隔てる第１隔壁１３ｂに向かって付勢され、第２面１７０ｂが第１隔壁１３ｂに押し付けられる。これにより、上流側流路部１２を流れる流体による光源１７０の冷却効率を高くすることができる。

【0076】

また、光源１７０は、第２光源として、図２に示す第２光源配置部１６に配置することができる。第２光源配置部１６に配置された光源１７０の第１面１７０ａは第２窓部１７に対向する。第１面１７０ａから出射する紫外光は、第２窓部１７を介して、分岐流路部８０ａ、８０ｂを流れる流体に照射される。

【0077】

光源１７０は、バネ部材１７６を自然状態から弾性変形させた状態で第２光源配置部１６に配置される。第１面１７０ａ側に設けられたバネ部材１７６は第２窓部１７に当接する。バネ部材１７６と第２窓部１７との間にスペーサを挿入し、バネ部材１７６を第２窓部１７にスペーサを介して当接させてもよい。バネ部材１７６の復元力により、光源１７０は、下流側流路部１１０と第２光源配置部１６とを隔てる第２隔壁１６ｂに向かって付勢され、第２面１７０ｂが第２隔壁１６ｂに押し付けられる。これにより、下流側流路部１１０を流れる流体による光源１７０の冷却効率を高くすることができる。

【0078】

分岐流路部８０ａに対向する第２光源配置部１６に配置された光源１７０の第１領域１８１は第１流路８１ａに対向し、第１領域１８１に配置された発光素子は第１流路８１ａを流れる流体に紫外光を照射する。分岐流路部８０ａに対向する第２光源配置部１６に配置された光源１７０の第２領域１８２は第２流路８２ａに対向し、第２領域１８２に配置された発光素子は第２流路８２ａを流れる流体に紫外光を照射する。

【0079】

分岐流路部８０ｂに対向する第２光源配置部１６に配置された光源１７０の第１領域１８１は第２流路８２ｂに対向し、第１領域１８１に配置された発光素子は第２流路８２ｂを流れる流体に紫外光を照射する。分岐流路部８０ｂに対向する第２光源配置部１６に配置された光源１７０の第２領域１８２は第１流路８１ｂに対向し、第２領域１８２に配置された発光素子は第１流路８１ｂを流れる流体に紫外光を照射する。第１流路８１ａ、８１ｂ、第２流路８２ａ、８２ｂのそれぞれの延伸方向に発光素子からの紫外光を照射することができるため、積算照度を大きくすることができる。第１領域１８１に配置される発光素子と第２領域１８２に配置される発光素子は、同じ発光素子を用いることができる。第１領域１８１に配置される発光素子と第２領域１８２に配置される発光素子は、発光ピーク波長が異なるものを用いてもよい。

【0080】

分岐流路部８０ａに対向する第２光源配置部１６に配置された光源１７０の第３領域１８３は、分岐流路部８０ａの第１流路８１ａと第２流路８２ａが連通する部分を介して第１部材６１に対向する。第１部材６１に対向する第３領域１８３には発光素子が配置されていない。分岐流路部８０ｂに対向する第２光源配置部１６に配置された光源１７０の第３領域１８３は、分岐流路部８０ｂの第１流路８１ｂと第２流路８２ｂが連通する部分を介して第４部材６４に対向する。第４部材６４に対向する第３領域１８３には発光素子が配置されていない。第１領域１８１および第２領域１８２に配置する発光素子からの紫外光によって、各分岐流路部８０ａ、８０ｂを流れる流体の紫外光による積算照度を十分に得ることができるため、第３領域１８３に発光素子を配置しない構造とすることで、流体に対する紫外光による処理効果を確保しつつ、発光素子の数を減らすことができる。

【0081】

光源１７０において発光素子を配置しない第３領域１８３には、図３Ａに示すネジ１７７を配置することができる。このネジ１７７により、配線基板１７１における中心を含む領域である第３領域１８３を保持部材１７３に対して固定することができる。その他に、例えば配線基板１７１の四隅がネジにより保持部材１７３に固定される。配線基板１７１の中心を含む第３領域１８３をネジ１７７で保持部材１７３に固定することで、配線基板１７１の中央部が保持部材１７３から浮くことを防いで配線基板１７１を保持部材１７３に密着させることができる。これにより、配線基板１７１と第１隔壁１３ｂとの間に隙間が生じることを低減して、上流側流路部１２を流れる流体による光源１７０の冷却効率を高くすることができる。また、配線基板１７１と第２隔壁１６ｂとの間の隙間を低減して、下流側流路部１１０を流れる流体による光源１７０の冷却効率を高くすることができる。

【0082】

また、光源１７０は光反射性部材を有してもよい。図３Ｂは、光源１７０の第２例であり、光反射性部材１７８を有する光源１７０を示す模式的斜視図である。

【0083】

光反射性部材１７８は、平面視において、例えば多角形、円形等の形状を有する。図３Ｂに示す例では、光反射性部材１７８は、平面視において略矩形枠状の形状を有する。また、光反射性部材１７８は、配線基板１７１の表面から所定の高さを有する部材である。光反射性部材１７８は、平面視において、第１領域１８１、第２領域１８２および第３領域１８３を囲むように配置される。

【0084】

光反射性部材１７８は、例えば金属材料または樹脂材料等を含んで構成される。金属材料には、アルミニウムに表面処理を施したものや、ステンレス鋼等を使用でき、樹脂材料には、フッ素樹脂等を使用できる。

【0085】

光反射性部材１７８は、第１領域１８１および第２領域１８２に含まれる発光素子からの光を内側面１７８ａによって光反射性部材１７８の内側に反射することにより、発光素子からの光のうち、光反射性部材１７８の外側に出る光を低減できる。これにより、光源１７０の光取り出し効率を高めることができる。

【0086】

光反射性部材１７８の内側面１７８ａは、光吸収または光散乱等による光損失を低減するために、発光素子から発せられる紫外光に対して高い反射率を有する面であることが好ましい。このような面は、例えば、発光素子から発せられる紫外光に対して６０％以上の反射率、好ましくは９０％以上の反射率を有する面とすることができる。なお、光反射性部材１７８に代えて、発光素子から発せられる紫外光に対して光吸収性を有する部材を配置してもよい。

【0087】

また、光源１７０における発光素子を含む筐体の配置は、図３Ａおよび図３Ｂに示したものに限らない。図３Ｃは、光源１７０の第３例を示す模式的斜視図である。図３Ｃは、光源１７０における発光素子を含む筐体の配置に関し、図３Ａおよび図３Ｂに示したものとは異なるものを示している。

【0088】

図３Ｃに示すように、光源１７０における保持部材１７３は、図３Ａおよび図３Ｂに示した壁部１７３ｂを備える構成ではなく、壁部１７３ｂを備えずに平板を有する構成であってもよい。このように、光源１７０における発光素子を含む筐体の配置は、図３Ａおよび図３Ｂに示したものに限らず、適宜変更可能である。

【0089】

＜流体紫外光処理装置１を用いた詳細な流体処理例＞
次に、図１～図３Ｂを引き続き参照して、本実施形態に係る流体紫外光処理装置１を用いた流体処理の一例について詳細に説明する。

【0090】

流入部１１は、直接または継手部材を介して、外部の上流側の配管に接続される。流出部１５は、直接または継手部材を介して、外部の下流側の配管に接続される。外部の上流側の配管を流れてきた流体は流入部１１に流入し、上流側流路部１２で２つに分岐する。２つに分岐した流体の一部は一方の分岐流路部８０ａの第１流路８１ａに流入し、分岐した流体の他の一部は他方の分岐流路部８０ｂの第１流路８１ｂに流入する。

【0091】

第１流路８１ａ、８１ｂに流入した流体は、それぞれの第１流路８１ａ、８１ｂを第１方向ｄ１に流れ、第１流路８１ａ、８１ｂの第２端部２０側の端で第２流路８２ａ、８２ｂに流入する。第２流路８２ａ、８２ｂに流入した流体は、それぞれの第２流路８２ａ、８２ｂを第２方向ｄ２に流れる。第１流路８１ａ、８１ｂおよび第２流路８２ａ、８２ｂを流れる流体は、第２光源７２から紫外光の照射を受ける。

【0092】

それぞれの第２流路８２ａ、８２ｂを第２方向ｄ２に流れた流体は、第３流路９０に合流して流入する。第３流路９０に流入した流体は、第３流路９０を第３方向ｄ３に流れる。第３流路９０を流れる流体は、第１光源７１から紫外光の照射を受ける。第３流路９０を流れた流体は、流出部１５を介して、流出部１５に接続された配管へと流出する。

【0093】

本実施形態によれば、流入部１１から流体紫外光処理装置１の内部に流入した流体を複数に分岐させ、再び合流させて流出部１５から流出させる。そして、それぞれの分岐流路部８０ａ、８０ｂを流れる流体に第２光源７２から紫外光を照射し、さらに分岐流路部８０ａ、８０ｂから第３流路９０に合流して第３流路９０を流れる流体に第１光源７１から紫外光を照射する。これにより、流体紫外光処理装置１の内部を流れる流体の紫外光による積算照度を大きくでき、流体に対する紫外光による処理効果を高めることができる。

【0094】

第１流路８１ａ、８１ｂを流体が流れる第１方向ｄ１と、第２流路８２ａ、８２ｂを流体が流れる第２方向ｄ２とが異なる方向にすることで、流路部１００の流入部１１と流出部１５との間のＸ軸方向における間隔の増大を低減しつつ、分岐流路部８０ａ、８０ｂの流路長を長くすることができる。さらに、第１方向ｄ１と第２方向ｄ２が互いに反対方向になるようにすることで、流路部１００のＸ軸方向およびＺ軸方向のサイズの増大を低減しつつ、分岐流路部８０ａ、８０ｂの流路長を長くすることができる。

【0095】

流路部１００における各流路部は、流体の流れる方向における断面視において、Ｚ軸方向においてのみ重なって配置されていることが好ましい。このような構成は、例えば流路部１００の各流路部を同心円状に重ねて配置した構成に比べて、流体紫外光処理装置１を小型化しやすい。また、各流路部を同心円状に重ねて配置した構成では、各流路部を画定する円環状の部材同士が分離し、部品管理や組み立て性が低下する。各部材６１～６４は、それらのＹ軸方向の両端部が中間部５０の筐体を構成する第３壁部５３と第４壁部５４とに支持され、一体構成とすることができる。

【0096】

各分岐流路部８０ａ、８０ｂは、それぞれ２つの流路（第１流路８１ａ、８１ｂと第２流路８２ａ、８２ｂ）を有することに限らず、１つまたは３つ以上の流路を有してもよい。各分岐流路部８０ａ、８０ｂが有する流路の数が多くなると各分岐流路部８０ａ、８０ｂの流路長が長くなり、各分岐流路部８０ａ、８０ｂを流れる流体の紫外光による積算照度を大きくできる。各分岐流路部８０ａ、８０ｂが有する流路部の数が少なくなると、流体紫外光処理装置１の内部を流れる流体の圧力損失を低減できる。

【0097】

各分岐流路部８０ａ、８０ｂがそれぞれ複数の流路を有する場合、第２光源７２は、各分岐流路部８０ａ、８０ｂが有する複数の流路のうちの少なくとも１つの流路に紫外光を照射することで、各分岐流路部８０ａ、８０ｂを流れる流体に対して紫外光による処理を行うことができる。各分岐流路部８０ａ、８０ｂが有する複数の流路の２以上またはすべての流路に第２光源７２が紫外光を照射するようにすることで、分岐流路部８０ａ、８０ｂを流れる流体に対する紫外光による処理効果をより高めることができる。

【0098】

流路部１００に渦や乱流が発生すると流体の圧力損失をまねきやすい。このため、流体の圧力損失を低減したい場合には、それぞれの分岐流路部８０ａ、８０ｂから第３流路９０に流入する流体の流速差や流量差を小さくすることが好ましい。

【0099】

例えば、第１流路８１ａ、８１ｂの流体の流れる第１方向ｄ１に直交する方向における断面形状は矩形である。第２流路８２ａ、８２ｂの流体の流れる第２方向ｄ２に直交する方向における断面形状は矩形である。第３流路９０の流体の流れる第３方向ｄ３に直交する方向における断面形状は矩形である。

【0100】

また、第１流路８１ａの流体の流れる第１方向ｄ１に直交する方向における断面積、第１流路８１ｂの流体の流れる第１方向ｄ１に直交する方向における断面積、第２流路８２ａの流体の流れる第２方向ｄ２に直交する方向における断面積および第２流路８２ｂの流体の流れる第２方向ｄ２に直交する方向における断面積は同じである。したがって、分岐流路部８０ａの流体の流れる方向に直交する方向における断面積と、分岐流路部８０ｂの流体の流れる方向に直交する方向における断面積とが同じである。

【0101】

また、分岐流路部８０ａの上流側の一端８０ａ１から下流側の他端８０ａ２までの長さと、分岐流路部８０ｂの上流側の一端８０ｂ１から下流側の他端８０ｂ２までの長さとが同じである。

【0102】

したがって、本実施形態によれば、それぞれの分岐流路部８０ａ、８０ｂから第３流路９０に流入する流体の流速差や流量差を小さくすることができる。これにより、流体の流速差や流量差により流路部１００に渦や乱流が発生することによる流体の圧力損失を低減できる。

【0103】

また、分岐流路部８０ａの第１流路８１ａの流体の流れる方向に直交する断面の面積は、流入部１１の流体の流れる方向に直交する断面の面積以上である。例えば、第１流路８１ａの流体の流れる方向に直交する断面の面積は、流入部１１の流体の流れる方向に直交する断面の面積と同じである。分岐流路部８０ｂの第１流路８１ｂの流体の流れる方向に直交する断面の面積は、流入部１１の流体の流れる方向に直交する断面の面積以上である。例えば、第１流路８１ｂの流体の流れる方向に直交する断面の面積は、流入部１１の流体の流れる方向に直交する断面の面積と同じである。これにより、流入部１１から分岐してそれぞれの第１流路８１ａ、８１ｂに流入した流体の流速を、流入部１１を流れる流体の流速の１／２以下の流速にすることができる。第１流路８１ａ、８１ｂを流れる流体の流速を低下させることで、第１流路８１ａ、８１ｂを流れる流体に対する第２光源７２からの紫外光による積算照度を大きくすることができ、第１流路８１ａ、８１ｂを流れる流体に対する紫外光による処理効果を高めることができる。

【0104】

また、分岐流路部８０ａの第２流路８２ａの流体の流れる方向に直交する断面の面積は、流入部１１の流体の流れる方向に直交する断面の面積以上である。例えば、第２流路８２ａの流体の流れる方向に直交する断面の面積は、流入部１１の流体の流れる方向に直交する断面の面積と同じである。分岐流路部８０ｂの第２流路８２ｂの流体の流れる方向に直交する断面の面積は、流入部１１の流体の流れる方向に直交する断面の面積以上である。例えば、第２流路８２ｂの流体の流れる方向に直交する断面の面積は、流入部１１の流体の流れる方向に直交する断面の面積と同じである。これにより、流入部１１から分岐してそれぞれの第１流路８１ａ、８１ｂに流入し、さらに第２流路８２ａ、８２ｂを流れる流体の流速を、流入部１１を流れる流体の流速の１／２以下の流速にすることができる。第２流路８２ａ、８２ｂを流れる流体の流速を低下させることで、第２流路８２ａ、８２ｂを流れる流体に対する第２光源７２からの紫外光による積算照度を大きくすることができ、第２流路８２ａ、８２ｂを流れる流体に対する紫外光による処理効果を高めることができる。

【0105】

第３流路９０には、２つの分岐流路部８０ａ、８０ｂのそれぞれの第２流路８２ａ、８２ｂからの流体が合流して流入する。そのため、第３流路９０を流れる流体の流速を低下させるために、第３流路９０の流体の流れる方向に直交する断面の面積を、第２流路８２ａ、８２ｂの流体の流れる方向に直交する断面の面積よりも大きくすることが好ましい。これにより、第３流路９０を流れる流体に対する第１光源７１からの紫外光による積算照度を大きくすることができ、第３流路９０を流れる流体に対する紫外光による処理効果を高めることができる。

【0106】

例えば、第３流路９０の流体の流れる方向に直交する断面の面積は、第２流路８２ａの流体の流れる方向に直交する断面の面積と、第２流路８２ｂの流体の流れる方向に直交する断面の面積とを合計した面積である。したがって、それぞれの第２流路８２ａ、８２ｂを流れる流体の流速と、第３流路９０を流れるに流体の流速とをほぼ同じにできる。流速を一定にする、または流速の変化を小さくすることで、渦や乱流が発生することによる流体の圧力損失を低減できる。

【0107】

第３流路９０は、分岐流路部８０ａ、８０ｂの間に配置されることに限らない。例えば、図２において２つの分岐流路部８０ａ、８０ｂをＺ軸方向において第３流路９０の第１壁部５１側（図２における上側）または第２壁部５２側（図２における下側）に配置してもよい。例えば、第３流路９０の第１壁部５１側または第２壁部５２側において、２つの分岐流路部８０ａ、８０ｂをＹ軸方向に隣接するように配置してもよい。

【0108】

＜部材６１～６４の詳細構成と、その主な作用効果＞
（第１部材６１）
図４は、流体紫外光処理装置１における第１部材６１の一例を示す模式的平面図である。図４は、平面視において、流体紫外光処理装置１の内部に位置する第１部材６１および第１接続部１８ａを透視して示している。

【0109】

図４に示した例では、第１部材６１は、複数の第１開口６１０を有する。本実施形態では、第１開口６１０は、第１部材６１の第１方向ｄ１における中央部Ｍ１よりも下流側の領域のみに配置される。したがって、第１部材６１の第１方向ｄ１における中央部Ｍ１よりも上流側には、第１開口６１０は配置されない。

【0110】

また、第１部材６１を第１流路８１ａ側から平面視した場合に、複数の第１開口６１０それぞれの面積は、第１接続部１８ａの面積よりも小さい。平面視における１つの第１開口６１０の面積は、図４においてドットハッチングで示した１つの領域の面積を意味する。平面視における第１接続部１８ａの面積は、図４において斜線ハッチングで示した領域の面積を意味する。第１部材６１を第１流路８１ａ側から平面視した場合に、１つの第１開口６１０の面積は、第１接続部１８ａの面積よりも小さい。

【0111】

図４に示した例では、複数の第１開口６１０は、平面視における形状が略円形であるものと、平面視における形状が略半円形であるものと、を含む。また、平面視において、複数の第１開口６１０は千鳥状に配置されている。なお、千鳥状の配置とは、複数の対象が縦または横に揃って配置されず、上下左右へ交互にずらしながら配置されることをいう。

【0112】

第１開口６１０の個数に制限はなく、第１部材６１は、少なくとも１つの第１開口６１０を有してもよい。また、少なくとも１つの第１開口６１０の第１部材６１上での配置、隣接する第１開口６１０同士の間隔等も流体紫外光処理装置１の使用用途等に応じて適宜変更可能である。平面視における第１開口６１０の形状は、略円形または略半円形に限らず、略矩形、略楕円形、略多角形等であってもよい。略矩形には、平面視において、第１方向ｄ１と直交する方向を長手とする略長方形が含まれる。また、複数の第１開口６１０の中に、平面視における形状が異なる第１開口６１０が混在していてもよい。

【0113】

本実施形態では、第１部材６１が第１開口６１０を有するため、例えば第１部材６１を介して第１流路８１ａの下方に位置する第２流路８２ａ内に気泡が存在する場合に、該気泡が第１開口６１０を通って第１流路８１ａ内に移動した後、排気口１３０を通って装置の外部に排出されやすくなる。これにより、第１流路８１ａおよび第２流路８２ａの内部に気泡が溜まることを低減できるため、気泡による処理効率の低下を低減し、処理効果を高めることができる。

【0114】

また、本実施形態では、第１部材６１が第１開口６１０を有するため、カビや細菌の発生を防止するために、定期的に、或いは使用しない期間に入る前等に、装置内を空の状態にする際に、流体が第１開口６１０を通って排出されやすくなる。これにより、装置内に残った流体に基づく装置内部のカビや細菌の発生を低減できるため、カビや細菌によって処理効果が低下することを低減し、流体紫外光処理装置１による処理効果を高めることができる。

【0115】

さらに、本実施形態では、第１部材６１が第１開口６１０を有するため、例えば第１流路８１ａを流れる流体の一部が第１開口６１０を通って第２流路８２ａ内に流れる。これにより、第２流路８２ａにおける流れを平滑化でき、第１部材６１が第１開口６１０を有していない場合と比較して、流路内を流れる流体の速度の偏りを低減することができる。これにより、流体に紫外光が照射される時間が長くなるため、積算照度を大きくし、流体紫外光処理装置１による処理効果を高めることができる。

【0116】

また、本実施形態では、第１部材６１を第１流路８１ａ側から平面視した場合に、第１開口６１０の面積は第１接続部１８ａの面積よりも小さい。そのため、流体が第１流路８１ａから主に第１接続部１８ａを通って第２流路８２ａに流れ、第１開口６１０の存在により流体の流れが乱れることを低減できる。これにより、流体の流れを乱すことなく、上記の処理効果を高める効果を得ることができる。

【0117】

また、例えば、第１部材６１の第１方向ｄ１における中央部Ｍ１よりも上流側に第１開口６１０があると、該上流側において第１流路８１ａから第２流路８２ａに第１開口６１０を通って流れる流体が多くなる。中央部Ｍ１よりも上流側に配置した第１開口６１０を通って流れた流体は流れる距離が短かいことで、光源１７０から紫外光を照射される時間が短くなるため、該流体への積算照度が減少して処理効果が低下する。本実施形態では、第１部材６１の第１方向ｄ１における中央部Ｍ１よりも下流側の領域のみに第１開口６１０を配置するため、第１流路８１ａにおける流体の流れる距離が短くなることを低減できる。これにより、積算照度の減少を低減し、流体紫外光処理装置１による処理効果を高めることができる。

【0118】

また、本実施形態では、流体紫外光処理装置１は、複数の分岐流路部８０ａ、８０ｂを有することにより、多くの流体に対して処理を実行できるとともに、複数の分岐流路部８０ａ、８０ｂのそれぞれにおいて、処理効果を高めることができる流体紫外光処理装置１を提供することができる。

【0119】

（第２部材６２）
図５は、図１の流体紫外光処理装置１における第２部材６２の一例を示す模式的平面図である。図５は、平面視において、流体紫外光処理装置１の内部に位置する第２部材６２および第２接続部１９ａを透視して示している。

【0120】

図５に示した例では、第２部材６２は、複数の第２開口６２０を有する。本実施形態では、第２開口６２０は、第２部材６２の第２方向ｄ２における中央部Ｍ２よりも下流側の領域のみに配置されている。したがって、第２部材６２の第２方向ｄ２における中央部Ｍ１よりも上流側には、第２開口６２０は配置されない。

【0121】

また、第２部材６２を第２流路８２ａ側から平面視した場合に、複数の第２開口６２０それぞれの面積は、第２接続部１９ａの面積よりも小さい。平面視における１つの第２開口６２０の面積は、図５においてドットハッチングで示した１つの領域の面積を意味する。平面視における第２接続部１９ａの面積は、図５において斜線ハッチングで示した領域の面積を意味する。第２部材６２を第２流路８２ａ側から平面視した場合に、１つの第２開口６２０の面積は、第２接続部１９ａの面積よりも小さい。

【0122】

また、本実施形態では、第２開口６２０は、第１部材６１を第１流路８１ａ側から平面視した場合に、第１開口６１０と重ならない位置に配置されている。具体的には、第１開口６１０は、図４で示したように、第１部材６１の第１方向ｄ１における中央部Ｍ１よりも下流側に配置されている。一方、第２開口６２０は、図５に示すように、第２部材６２の第２方向ｄ２における中央部Ｍ２よりも下流側に配置されている。第２開口６２０は、第１開口６１０に対し、Ｘ軸方向における反対側に配置されているため、第１部材６１を第１流路８１ａ側から平面視した場合に、第１開口６１０と重ならない。

【0123】

図５に示した例では、複数の第２開口６２０は、平面視における形状が略円形であるものと、平面視における形状が略半円形であるものと、を含む。また、平面視において、複数の第２開口６２０は千鳥状に配置されている。

【0124】

第２開口６２０の個数に制限はなく、第２部材６２は、少なくとも１つの第１開口６１０を有してもよい。また、少なくとも１つの第２開口６２０の第２部材６２上での配置、隣接する第２開口６２０同士の間隔等も、流体紫外光処理装置１の使用用途等に応じて適宜変更可能である。平面視における第２開口６２０の形状は、略円形または略半円形に限らず、略矩形、略楕円形、略多角形等であってもよい。略矩形には、平面視において、第１方向ｄ１と直交する方向を長手とする略長方形が含まれる。また、複数の第２開口６２０の中に、平面視における形状が異なる第２開口６２０が混在していてもよい。

【0125】

本実施形態では、第２部材６２が第２開口６２０を有するため、例えば第２部材６２を介して第２流路８２ａの下方に位置する第３流路９０内に気泡が存在する場合に、該気泡が第２開口６２０を通って第２流路８２ａ内に移動する。さらに該気泡が第２流路８２ａから第１開口６１０を通って第１流路８１ａに移動した後、排気口１３０を通って装置の外部に排出されやすくなる。これにより、第２流路８２ａおよび第３流路９０の内部に気泡が溜まることを低減できるため、気泡による処理効率の低下を低減し、流体紫外光処理装置１による処理効果を高めることができる。

【0126】

また、本実施形態では、第２部材６２が第２開口６２０を有するため、カビや細菌の発生を防止するにあたって装置内を空の状態にする際に、流体が第２開口６２０を通って排出されやすくなる。これにより装置内に残った流体に基づく装置内部のカビや細菌の発生を低減できるため、カビや細菌による処理効果の低下を低減し、流体紫外光処理装置１による処理効果を高めることができる。

【0127】

さらに、本実施形態では、第２部材６２が第２開口６２０を有するため、例えば第２流路８２ａを流れる流体の一部が第２開口６２０を通って第３流路９０内に流れる。これにより、第３流路９０における流れを平滑化でき、第２部材６２が第２開口６２０を有していない場合と比較して、流路内を流れる流体の速度の偏りを低減することができる。これにより、流体紫外光処理装置１による処理効果を高めることができる。

【0128】

また、本実施形態では、第２部材６２を第２流路８２ａ側から平面視した場合に、第２開口６２０の面積は第２接続部１９ａの面積よりも小さい。そのため、流体が第２流路８２ａから主に第２接続部１９ａを通って第３流路９０内に流れ、第２開口６２０の存在により流体の流れが乱れることを低減できる。これにより、流体の流れを乱すことなく、上記の処理効果を高める効果を得ることができる。

【0129】

また、例えば、第２部材６２の第２方向ｄ２における中央部Ｍ２よりも上流側に第２開口６２０があると、該上流側において第２流路８２ａから第３流路９０に第２開口６２０を通って流れる流体が多くなる。中央部Ｍ２よりも上流側に配置した第２開口６２０を通って流れた流体は流れる距離が短かいことで、光源１７０から紫外光を照射される時間が短くなるため、該流体への積算照度が減少して処理効果が低下する。本実施形態では、第２部材６２の第２方向ｄ２における中央部Ｍ２よりも下流側の領域のみに第２開口６２０を配置することで、第２流路８２ａにおける流体の流れる距離が短くなることを低減できる。これにより、積算照度の減少を低減し、流体紫外光処理装置１による処理効果を高めることができる。

【0130】

また、本実施形態では、第２開口６２０は、第１部材６１を第１流路８１ａ側から平面視した場合に、第１開口６１０と重ならない位置に配置されているため、平面視において第１開口６１０と第２開口６２０とを離隔させることができる。これにより、第１開口６１０から第２開口６２０へ最短経路で流れる流体に紫外光を照射する場合と比較して、照射される紫外光の積算照度を大きくすることができるため、流体紫外光処理装置１処理効果を高めることができる。

【0131】

（第３部材６３、第４部材６４）
図６は、流体紫外光処理装置１における第３部材６３の一例を示す模式的平面図である。図６は、平面視において、流体紫外光処理装置１の内部に位置する第３部材６３および第２接続部１９ｂを透視して示している。図７は、流体紫外光処理装置１における第４部材６４の一例を示す模式的平面図である。図７は、平面視において、流体紫外光処理装置１の内部に位置する第４部材６４および第１接続部１８ｂを透視して示している。

【0132】

第３部材６３の構成は、第３部材６３を第２流路８２ｂ側から平面視した場合に、第２開口６２０の面積が第２接続部１９ｂの面積よりも小さい点を除き、第２部材６２の構成とほぼ同じである。第３部材６３の作用効果は、第２部材６２の作用効果とほぼ同じである。第４部材６４の構成は、第４部材６４を第１流路８１ｂ側から平面視した場合に、第１開口６１０の面積が第１接続部１８ｂの面積よりも小さい点を除き、第１部材６１の構成とほぼ同じである。第４部材６４の作用効果は、第１部材６１の作用効果とほぼ同じである。したがって、ここでは第３部材６３および第４部材６４についての重複する説明を省略する。

【0133】

［第２実施形態］
次に、第２実施形態に係る流体紫外光処理装置について説明する。なお、既に説明した実施形態および変形例と同一の名称、符号については、同一もしくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。この点は以降に示す実施形態においても同様とする。

【0134】

本実施形態では、第１部材が、第１部分と、第３開口と、第３部分と、を有し、第２部材が、第２部分を有する点が、第１実施形態と主に異なる。

【0135】

図８は、本実施形態に係る流体紫外光処理装置１Ａの一例を示す模式的斜視図である。図９は、図８のIX－IX線における模式的断面図である。

【0136】

図８および図９に示すように、流体紫外光処理装置１Ａは、第１部材６１Ａと、第２部材６２Ａと、第３部材６３Ａと、第４部材６４Ａと、を有する。

【0137】

第１部材６１Ａは、第１流路８１ａと第２流路８２ａとを接続する第１開口６１０Ａと、第１開口６１０Ａに近接する領域から第２流路８２ａ側に延出する第１部分６１１Ａと、を有する。また第１部材６１Ａは、第１部材６１Ａの第１方向ｄ１における第１開口６１０Ａよりも上流側に配置され、第１流路８１ａと第２流路８２ａとを接続する第３開口６１２Ａと、第３開口６１２Ａに近接する領域から第１流路８１ａ側に延出する第３部分６１３Ａと、を有する。第１開口６１０Ａおよび第３開口６１２Ａは、それぞれ第１部材６１Ａをその厚さ方向に貫通する孔である。

【0138】

第２部材６２Ａは、第２流路８２ａと第３流路９０とを接続する第２開口６２０Ａと、第２開口６２０Ａに近接する領域から第３流路９０側に延出する第２部分６２１Ａと、を有する。第２開口６２０Ａは、第２部材６２Ａをその厚さ方向に貫通する孔である。

【0139】

第３部材６３Ａは、第２流路８２ｂと第３流路９０とを接続する第２開口６２０Ａと、第２開口６２０Ａに近接する領域から第３流路９０側に延出する第２部分６２１Ａと、を有する。第２開口６２０Ａは、第３部材６３Ａをその厚さ方向に貫通する孔である。

【0140】

第４部材６４Ａは、第１流路８１ｂと第２流路８２ｂとを接続する第１開口６１０Ａと、第１開口６１０Ａに近接する領域から第２流路８２ａ側に延出する第１部分６１１Ａと、を有する。また第４部材６４Ａは、第４部材６４Ａの第１方向ｄ１における第１開口６１０Ａよりも上流側に配置され、第１流路８１ｂと第２流路８２ｂとを接続する第３開口６１２Ａと、第３開口６１２Ａに近接する領域から第１流路８１ｂ側に延出する第３部分６１３Ａと、を有する。第１開口６１０Ａおよび第３開口６１２Ａは、それぞれ第４部材６４Ａをその厚さ方向に貫通する孔である。

【0141】

＜部材６１Ａ～６４Ａの詳細構成と、その主な作用効果＞
（第１部材６１Ａ）
図１０～図１２を参照して、第１部材６１Ａの詳細構成を説明する。図１０は、流体紫外光処理装置１Ａにおける第１部材６１Ａの一例を示す模式的平面図である。図１０は、平面視において、流体紫外光処理装置１Ａの内部に位置する第１部材６１Ａおよび第１接続部１８ａを透視して示している。図１１は、図９における領域Ｌの拡大図である。図１２は、図９における領域Ｍの拡大図である。

【0142】

図１０に示すように、第１部材６１Ａは、３個の第１開口６１０Ａを有する。また第１部材６１Ａは、第３部分６１３Ａが配置されている各領域において、第３部分６１３Ａの下方（第２流路８２ａ側）に配置された第３開口６１２Ａを有する。第１部材６１Ａは、６個の第３開口６１２Ａと、６個の第３部分６１３Ａとを有する。なお、図１０では、第３部分６１３Ａと第３開口６１２Ａとが重なっているため、第３開口６１２Ａの符号を括弧書きにし、第３部分６１３Ａの符号に併記している。

【0143】

第１開口６１０Ａおよび第３開口６１２Ａの平面視における形状は、第１方向ｄ１および第２方向ｄ２と直交する方向を長手とする略長方形である。３個の第１開口６１０Ａと６個の第３開口６１２Ａは、第１方向ｄ１における第１部材６１Ａのほぼ全体にわたって並んで配置されている。第１部材６１Ａを平面視した場合に、３個の第１開口６１０Ａのそれぞれの面積は、第１接続部１８ａの面積よりも小さい。

【0144】

第１開口６１０Ａおよび第３開口６１２Ａそれぞれの個数に制限はなく、第１部材６１Ａは、少なくとも１つの第１開口６１０と、少なくとも１つの第３開口６１２Ａと、を有してもよい。また、少なくとも１つの第１開口６１０Ａおよび少なくとも１つの第３開口６１２Ａの第１部材６１Ａ上での配置、隣接する第１開口６１０Ａ同士の間隔、隣接する第３開口６１２Ａ同士の間隔等も、流体紫外光処理装置１Ａの使用用途等に応じて適宜変更可能である。平面視における第１開口６１０Ａおよび第３開口６１２Ａの形状は、略長方形に限らず、略円形、略正方形、略楕円形、略多角形等であってもよい。また、複数の第１開口６１０Ａまたは複数の第３開口６１２Ａの中に、平面視における形状が異なる第１開口６１０Ａまたは第３開口６１２Ａが混在していてもよい。

【0145】

第１部分６１１Ａは、平面視において第１開口６１０Ａと重なるように配置される。図１０に示した例では、第１部分６１１Ａは、第１方向ｄ１における下流側の３個の第１開口６１０Ａの下方（第２流路８２ａ側）に配置されている。第１部分６１１Ａは、第１開口６１０Ａに近接する領域から第２流路８２ａ側に延出する。図１１に示した例では、第１部分６１１Ａは、第１開口６１０Ａの第２方向ｄ２における下流側の領域から第２方向ｄ２と反対方向に延出している。第１開口６１０Ａの長手方向と直交する第１部分６１１Ａの断面形状は、第２方向ｄ２と反対方向に向かうにつれて第１開口６１０Ａとの距離が大きくなるように湾曲し、第２流路８２ａ側に凸となる湾曲形状である。

【0146】

第１部分６１１Ａは、第２方向ｄ２に対して傾斜する面６１４Ａを含む。面６１４Ａは、第１部分６１１Ａの形状に応じて、曲率を有する面である。但し、第１開口６１０Ａの長手方向と直交する第１部分６１１Ａの断面形状は、湾曲形状に限らず任意の形状であってもよい。また面６１４Ａは、曲率をほぼ有さない平面であってもよい。第１部材６１Ａは、第１部分６１１Ａを平板状とすることもできる。

【0147】

第３部分６１３Ａは、平面視において第３開口６１２Ａと重なるように配置される。図１０に示した例では、第３部分６１３Ａは、第１方向ｄ１における上流側の６個の第３開口６１２Ａの上方（第１流路８１ａ側）に配置されている。第３部分６１３Ａは、第３開口６１２Ａに近接する領域から第１流路８１ａ側に延出する。図１２に示した例では、第３部分６１３Ａは、第３開口６１２Ａの第１方向ｄ１における上流側の領域から第１方向に延出している。第３開口６１２Ａの長手方向と直交する第３部分６１３Ａの断面形状は、第１方向に向かうにつれて第３開口６１２Ａから離れるように傾斜し、第１流路８１ａ側に凸となる湾曲形状である。

【0148】

また、第３部分６１３Ａは、第１方向ｄ１に対して傾斜する面６１５Ａを含む。面６１５Ａは、第３部分６１３Ａの形状に応じて、曲率を有する面である。但し、第３開口６１２Ａの長手方向と直交する第１部分６１１Ａの断面形状は、湾曲形状に限らず任意の形状であってもよい。また面６１５Ａは、曲率をほぼ有さない平面であってもよい。第１部材６１Ａは、第３部分６１３Ａを平板状とすることもできる。

【0149】

本実施形態では、第１部材６１Ａが第１部分６１１Ａを有するため、第２流路８２ａから第１流路８１ａへ流れる流体の量よりも、第１流路８１ａから第２流路８２ａへ流れる流体の量が多くなる。これにより、接続部における第１流路８１ａから第２流路８２ａへの流れに対する影響を少なくしつつ、第２流路８２ａ内における流体の流れが平滑化される。この結果、流体に紫外光が照射される時間が長くなるため、流体に対する積算照度を大きくし、流体紫外光処理装置１Ａによる処理効果を高めることができる。

【0150】

また、本実施形態では、第１部分６１１Ａが第２方向ｄ２に対して傾斜する面６１４Ａを含むため、第２流路８２ａから第１流路８１ａへ流れる流体の量と、第１流路８１ａから第２流路８２ａへ流れる流体の量と、の差を、第１部分６１１Ａが傾斜する面６１４Ａを含まない場合と比較して、大きくすることができる。これにより、第２流路８２ａ内における流体の流れの平滑化効果が大きくなるため、上記と同様に、流体に対する積算照度を大きくし、流体紫外光処理装置１Ａによる処理効果を高めることができる。

【0151】

また、本実施形態では、第１部材６１Ａが第３部分６１３Ａを有するため、第１流路８１ａから第３開口６１２Ａを通って第２流路８２ａへ流れる流体の量を少なくすることができる。これにより、第１流路８１ａを流れる流体に対する積算照度を大きくし、流体紫外光処理装置１Ａによる処理効果を高めることができる。また、本実施形態では、第１部材６１Ａが第３部分６１３Ａを有するため、カビや細菌の発生を防止するにあたって装置内を空の状態にする際に、流体が第３開口６１２Ａを通って排出されやすくなる。これにより、排出されずに装置内に残った流体に基づく装置内部のカビや細菌の発生を低減し、カビや細菌による処理効果の低下を低減して、流体紫外光処理装置１Ａによる処理効果を高めることができる。

【0152】

（第２部材６２Ａ）
図１３および図１４を参照して、第２部材６２Ａの詳細構成を説明する。図１３は、流体紫外光処理装置１Ａにおける第２部材６２Ａの一例を示す模式的平面図である。図１３は、平面視において、流体紫外光処理装置１Ａの内部に位置する第２部材６２Ａおよび第２接続部１９ａを透視して示している。図１４は、図９における領域Ｎの拡大図である。

【0153】

図１３に示すように、第２部材６２Ａは、３個の第２開口６２０Ａを有する。第２開口６２０Ａは、第２部材６２Ａをその厚さ方向に貫通する孔である。第２開口６２０Ａの平面視における形状は、第１方向ｄ１および第２方向ｄ２と直交する方向を長手とする略長方形である。３個の第２開口６２０Ａは、第２部材６２Ａの第２方向ｄ２における中央部Ｍ２Ａよりも下流側において並んで配置されている。第２部材６２Ａを平面視した場合に、３個の第２開口６２０Ａのそれぞれの面積は、第２接続部１９ａの面積よりも小さい。

【0154】

第２開口６２０Ａの個数に制限はなく、第２部材６２Ａは、少なくとも１つの第２開口６２０を有してもよい。また、少なくとも１つの第２開口６２０Ａの第２部材６２Ａ上での配置、隣接する第２開口６２０Ａ同士の間隔等も、流体紫外光処理装置１Ａの使用用途等に応じて適宜変更可能である。平面視における第２開口６２０Ａの形状は、略長方形に限らず、略円形、略正方形、略楕円形、略多角形等であってもよい。また、複数の第２開口６２０Ａの中に、平面視における形状が異なる第２開口６２０Ａが混在していてもよい。

【0155】

第２部分６２１Ａは、平面視において第２開口６２０Ａと重なるように配置される。図１３に示した例では、第２部分６２１Ａは、第１方向ｄ２における下流側の３個の第２開口６２０Ａの下方（第３流路９０側）に配置されている。第２部分６２１Ａは、第２開口６２０Ａに近接する領域から第３流路９０側に延出する。図１４に示した例では、第２部分６２１Ａは、第２開口６２０Ａの第３方向ｄ３における下流側の領域から延出している。第２開口６２０Ａの長手方向と直交する第２部分６２１Ａの断面形状は、第３方向ｄ３の下流側にアーチ形状を有する半アーチ型である。

【0156】

第２部分６２１Ａは、第３方向ｄ３に対して傾斜する面６２４Ａを含む。面６２４Ａは、第２部分６２１Ａの形状に応じて、曲率を有する面である。但し、第２開口６２０Ａの長手方向と直交する第２部分６２１Ａの断面形状は、湾曲形状に限らず任意の形状であってもよい。また面６２４Ａは、曲率をほぼ有さない平面であってもよい。第２部材６２Ａは、第２部分６２１Ａを平板状とするルーバー構造を有するということもできる。

【0157】

本実施形態では、第２部材６２Ａが第２部分６２１Ａを有するため、第３流路９０から第２流路８２ａへ流れる流体の量よりも、第２流路８２ａから第３流路９０へ流れる流体の量が多くなる。これにより、第２流路８２ａから第３流路９０への流れが安定化するため、第３流路９０内における流体の流れが平滑化され、第３流路９０内を速い速度で流れる流体の量を減らすことができる。この結果、流体に紫外光が照射される時間が長くなるため、流体に対する積算照度を大きくし、流体紫外光処理装置１Ａによる処理効果を高めることができる。

【0158】

また、本実施形態では、第２部分６２１Ａが第３方向ｄ３に対して傾斜する面６２４Ａを含むため、第３流路９０から第２流路８２ａへ流れる流体の量と、第２流路８２ａから第３流路９０へ流れる流体の量と、の差を、第２部分６２１Ａが傾斜する面６２４Ａを含まない場合と比較して、大きくすることができる。これにより、第３流路９０内における流体の流れの平滑化効果が大きくなるため、上記と同様に、流体に対する積算照度を大きくし、流体紫外光処理装置１Ａによる処理効果を高めることができる。

【0159】

（第３部材６３Ａ、第４部材６４Ａ）
図１５は、流体紫外光処理装置１Ａにおける第３部材６３Ａの一例を示す模式的平面図である。図１５は、平面視において、流体紫外光処理装置１Ａの内部に位置する第３部材６３Ａおよび第２接続部１９ｂを透視して示している。図１６は、流体紫外光処理装置１Ａにおける第４部材６４Ａの一例を示す模式的平面図である。図１６は、平面視において、流体紫外光処理装置１Ａの内部に位置する第４部材６４Ａおよび第１接続部１８ｂを透視して示している。

【0160】

第３部材６３Ａの構成および作用効果は、第２部材６２Ａの構成および作用効果とほぼ同じであり、第４部材６４Ａの構成および作用効果は、第１部材６１Ａの構成および作用効果とほぼ同じである。そのため、ここでは第３部材６３Ａおよび第４部材６４Ａについての重複する説明を省略する。

【0161】

［第３実施形態］
次に、第３実施形態に係る流体紫外光処理装置について説明する。本実施形態では、第１部材は、第１流路と第２流路とを接続する複数の第４開口をさらに有し、第１開口は、第１部材の第１方向における中央部よりも下流側の領域のみに複数配置されるとともに、複数の第４開口は、第１部材の第１方向における中央部よりも上流側の領域のみに配置される点が、上述した実施形態と異なる。

【0162】

図１７は、本実施形態に係る流体紫外光処理装置１Ｂにおける第１部材６１Ｂを示す模式的平面図である。流体紫外光処理装置１Ｂは、第１実施形態に係る流体紫外光処理装置１において、第１部材６１に代えて第１部材６１Ｂを有する点以外は、流体紫外光処理装置１と同じ構成を有する。図１７は、平面視において、流体紫外光処理装置１Ｂの内部に位置する第１部材６１Ｂおよび第１接続部１８ａを透視して示している。以下、図１および図２も適宜参照して説明する。

【0163】

図１７に示すように、流体紫外光処理装置１Ｂが有する第１部材６１Ｂは、１２個の第１開口６１０Ｂと、１２個の第４開口６１６Ｂと、を有する。第１開口６１０Ｂおよび第４開口６１６Ｂは、それぞれ第１流路８１ａと第２流路８２ａとを接続する。第１開口６１０Ｂおよび第４開口６１６Ｂは、それぞれ第１部材６１Ｂをその厚さ方向に貫通する孔である。第１開口６１０Ｂおよび第４開口６１６Ｂそれぞれの平面視における形状は、略円形である。但し、第１開口６１０Ｂおよび第４開口６１６Ｂそれぞれの平面視における形状は、略矩形、略楕円形、略多角形等であってもよい。略矩形には、平面視において、第１方向ｄ１と直交する方向を長手とする略長方形が含まれる。

【0164】

１２個の第１開口６１０Ｂは、第１部材６１Ｂの第１方向ｄ１における中央部Ｍ１Ｂよりも下流側の領域のみに配置される。したがって、第１部材６１Ｂの第１方向ｄ１における中央部Ｍ１Ｂよりも上流側には、第１開口６１０Ｂは配置されない。１２個の第４開口６１６Ｂは、第１部材６１Ｂの第１方向ｄ１における中央部Ｍ１Ｂよりも上流側の領域のみに配置される。したがって、第１部材６１Ｂの第１方向ｄ１における中央部Ｍ１Ｂよりも下流側には、第４開口６１６Ｂは配置されない。

【0165】

１２個の第１開口６１０Ｂは、それぞれ同じ形状を有する。また１２個の第４開口６１６Ｂは、それぞれ同じ形状を有する。第１部材６１Ｂを第１流路８１ａ側から平面視した場合に、１つ当たりの第１開口６１０Ｂの面積は、１つ当たりの第４開口６１６Ｂの面積よりも大きい。したがって、１２個の第１開口６１０Ｂの面積の総和は、１２個の第４開口６１６Ｂの面積の総和よりも大きい。

【0166】

第１開口６１０Ｂおよび第４開口６１６Ｂそれぞれの個数、隣接する第１開口６１０Ｂ同士の間隔、隣接する第４開口６１６Ｂ同士の間隔等は、流体紫外光処理装置１Ｂの使用用途等に応じて適宜変更可能である。第１開口６１０Ｂの配置は、第１部材６１Ｂの第１方向ｄ１における中央部Ｍ１Ｂよりも下流側の領域内において、適宜変更可能である。第４開口６１６Ｂの配置は、第１部材６１Ｂの第１方向ｄ１における中央部Ｍ１Ｂよりも上流側の領域内において、適宜変更可能である。

【0167】

本実施形態では、上記構成により、第１部材６１Ｂの第１方向ｄ１における中央部Ｍ１Ｂよりも下流側において第１開口６１０Ｂを通って第１流路８１ａから第２流路８２ａに流れる流体の量が、第１部材６１Ｂの第１方向ｄ１における中央部Ｍ１Ｂよりも上流側において第４開口６１６Ｂを通って第１流路８１ａから第２流路８２ａに近道して流れる流体の量よりも多くなる。これにより、積算照度を大きくして処理された流体の量が多くなるため、流体紫外光処理装置１Ｂによる処理効果を高めることができる。

【0168】

［その他の好適な実施形態］
（第１例）
実施形態に係る流体紫外光処理装置は、第１部材６１、第２部材６２、第３部材６３および第４部材６４の少なくとも１つに溝部を含んでもよい。図１８は、上記溝部を含む第１部材６１の一例を示す模式的平面図である。図１８は、平面視において、流体紫外光処理装置１の内部に位置する第１部材６１および第１接続部１８ａを透視して示している。第１部材６１および第１接続部１８ａは、Ｘ軸に沿う方向において第１端部１０と第２端部２０の間に位置し、Ｙ軸に沿う方向において第３壁部５３と第４壁部５４の間に位置している。

【0169】

図１８に示すように、第１部材６１は、第１部材６１における第２端部２０が位置する側の端部に３つの溝部６３０を含む。３つの溝部６３０のそれぞれは、平面視において略矩形の形状を有する。３つの溝部６３０は、Ｙ軸に沿う方向に略等間隔に並んで配置されている。実施形態に係る流体紫外光処理装置では、第１部材６１に溝部６３０を含むことにより、流体紫外光処理装置内を流れる流体を平滑化しやすくなる。

【0170】

溝部６３０の数は３つに限らず１以上の任意の数であってもよい。平面視における溝部６３０の形状は、略矩形に限らず任意の形状であってもよい。第１部材６１が複数の溝部６３０を含む場合には、複数の溝部６３０は必ずしも等間隔に並んで設けられなくてもよい。また複数の溝部６３０ごとに、平面視における形状が異なっていてもよい。

【0171】

第１部材６１は、溝部６３０の他に、第１開口６１０、第１開口６１０Ａ、第２開口６２０、第２開口６２０Ａ等を含んでもよい。実施形態に係る流体紫外光処理装置は、第１部材６１、第２部材６２、第３部材６３および第４部材６４の少なくとも１つに、溝部６３０を含んでもよい。

【0172】

（第２例）
実施形態に係る流体紫外光処理装置は、流体紫外光処理装置の姿勢を９０度回転させて設置する場合にも対応できるように、排液口１２０および排気口１３０の少なくとも一方を第３壁部５３または第４壁部５４のどちらか一方に備えてもよい。なお、流体紫外光処理装置の姿勢を９０度回転させて設置する場合とは、例えば、第３壁部５３または第４壁部５４のどちらか一方が鉛直下方を向くように、流体紫外光処理装置を設置する場合をいう。

【0173】

（第３例）
図３Ａ～３Ｃに示した光源１７０は、バネ部材１７６に代えて、ジャッキ機構により、図２に示した上流側流路部１２と第１光源配置部１３とを隔てる第１隔壁１３ｂに第２面１７０ｂが押し付けられてもよい。

【0174】

図１９～２３は、光源１７０のジャッキ機構１９０を示す図である。図１９は斜視図である。図２０は上面図である。図２１は側面図である。図２２は、光源１７０が第１光源配置部１３の第１隔壁１３ｂに押圧される前の状態を示す断面図である。図２３は、光源１７０が第１隔壁１３ｂに押圧された状態を示す断面図である。

【0175】

図１９～図２０に示すように、光源１７０の第１面１７０ａ側にジャッキ機構１９０が配置されている。例えば、平面視において、２つのジャッキ機構１９０の間に、配線基板１７１が位置し、保持部材１７３に固定されている。ジャッキ機構１９０は、上面１９１ａを含む支持部材１９１と、ネジ部材１９２と、補助バネ部材１９３と、を有する。

【0176】

支持部材１９１は、例えば樹脂材料または金属材料等から構成される。支持部材１９１は、ネジ部材１９２に結合している。図２１に示すように、支持部材１９１は、ネジ部材１９２の回転により、上面１９１ａの法線方向に上面１９１ａが移動可能である。図２１に示す移動量Δｈは、ネジ部材１９２の回転による支持部材１９１の上面１９１ａの移動量を示している。なお、移動量Δｈを示す破線の指示線は、支持部材１９１の上面１９１ａが下がった状態（支持部材１９１を第２面１７０ｂ側に移動させた状態）の上面１９１ａの位置を表している。移動量Δｈを示す実線の指示線は、支持部材１９１の上面１９１ａが上がった状態（支持部材１９１を第２面１７０ｂと反対側に移動させた状態）の上面１９１ａの位置を表している。移動量Δｈは、例えば１ｍｍである。補助バネ部材１９３は、ネジ部材１９２のネジ頭部側への付勢力を支持部材１９１に付与する。

【0177】

図２２に示すように、光源１７０は、上面１９１ａの法線方向において、上面１９１ａが下がった状態、すなわち第１光源配置部１３において上面１９１ａに向き合う第１窓部１４と、上面１９１ａと、の間に隙間がある状態で、第１光源配置部１３に配置し得る。本実施形態では、上面１９１ａが下がった状態で光源１７０を第１光源配置部１３に配置することで、光源１７０の配置が簡単になる。光源１７０が第１光源配置部１３に配置された後、作業者がネジ部材１９２を回転させると、上面１９１ａが第１窓部１４の方向に移動し、上面１９１ａが第１窓部１４に当接する。上面１９１ａが第１窓部１４に当接した状態でさらにネジ部材１９２が回転されると、第２面１７０ｂが第１隔壁１３ｂに押し付けられる。これにより、本実施形態では、上流側流路部１２を流れる流体による光源１７０の冷却効率を高くすることができる。

【0178】

光源１７０は、第２光源配置部１６に配置されてもよい。光源１７０は、第２光源配置部１６において上面１９１ａに向き合う第２窓部１７と、上面１９１ａと、の間に隙間がある状態で、第２光源配置部１６に配置し得る。本実施形態では、上面１９１ａが下がった状態で光源１７０を第２光源配置部１６に配置することで、光源１７０の配置が簡単になる。光源１７０が第２光源配置部１６に配置された後、作業者がネジ部材１９２を回転させると、上面１９１ａが第２窓部１７の方向に移動して、上面１９１ａが第２窓部１７に当接する。上面１９１ａが第２窓部１７に当接した状態でさらにネジ部材１９２が回転されると、第２面１７０ｂが第２隔壁１６ｂに押し付けられる。これにより、本実施形態では、下流側流路部１１０を流れる流体による光源１７０の冷却効率を高くすることができる。

【0179】

一方、図１９～２０に示したように、本例では、発光素子を含む複数の筐体１７２は、発光素子から光が出射される方向から視て略矩形状に配置されるとともに、矩形の各辺の外側に筐体１７２が１つずつ配置されている。なお、筐体１７２は、上記矩形の各辺の外側に２つ以上配置されてもよい。実施形態に係る流体紫外光処理装置において、流体が流れる方向に交差する方向における流路の断面形状が略円形である場合には、発光素子を含む複数の筐体１７２は、図１９～２０に示したように配置されることが好ましい。実施形態に係る流体紫外光処理装置は、流路内の流体に発光素子からの光を効率的に照射することができる。

【0180】

但し、複数の筐体１７２の配置は、流路の形状等に応じて適宜変更可能である。例えば、流路の上記断面形状が略円形である場合に、複数の筐体１７２は、発光素子から光が出射される方向から視て同心円状に配置されてもよい。

【0181】

図２４～２５は、実施形態に係る流体紫外光処理装置１に対するジャッキ機構１９０の配置方法を示す分解斜視図である。図２５は、第１光源配置部１３と第１窓部１４とを一部断面にして示している。図２４は配置方法の第１例、図２５は配置方法の第２例である。なお、図２４～２５は、流体紫外光処理装置１の第１窓部１４周辺の構成のみを抜粋して表示している。図２４～２５に示す例では、ジャッキ機構１９０は、光源１７０と一体の部材ではなく、別体の部材として流体紫外光処理装置１に配置されている。

【0182】

図２４に示す例では、まず光源１７０が流体紫外光処理装置１の第１光源配置部１３に挿入され、その後、ジャッキ機構１９０が第１光源配置部１３に挿入される。ジャッキ機構１９０は、上面１９１ａが下がった状態で第１光源配置部１３に挿入される。ジャッキ機構１９０が第１光源配置部１３に挿入された後、ネジ部材１９２を回転させることで、第２面１７０ｂが第１隔壁１３ｂに押し付けられる。一方、図２５に示す例では、ジャッキ機構１９０が第１光源配置部１３に固定されている。光源１７０は、第１光源配置部１３に配置されたジャッキ機構１９０と第１隔壁１３ｂとの間に挿入される。ジャッキ機構１９０は、図１に示した側面１０ａに設けられた第１光源開口１３ａを通して第１光源配置部１３に挿入される構成に限らず、側面１０ａの反対側に設けられた開口を通して第１光源配置部１３に挿入される構成であってもよい。また、ジャッキ機構１９０は、第１窓部１４側に上面１９１ａを当接させる構成に限らず、第１光源配置部１３における第１窓部１４の反対側の面に上面１９１ａを当接させる構成であってもよい。第１光源配置部１３における第１窓部１４の反対側の面は、保持部材１７３の表面１７３ｅや光源１７０の第１面１７０ａ等である。

【0183】

以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。本発明の上述した実施形態を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての形態も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例および修正例に想到し得るものであり、それら変更例および修正例についても本発明の範囲に属するものである。

【0184】

例えば、上述した各実施形態では、第３流路９０を通った流体が、流出部１５および下流側流路部１１０のそれぞれに流れる構成を例示したが、第３流路９０を通った流体の全てが下流側流路部１１０に流れる構成にしてもよい。例えば、第３流路９０を通った流体が流出部１５および下流側流路部１１０のそれぞれに流れる構成にすると、下流側流路部１１０における鉛直上方側または鉛直下方側の各端部付近まで流体が到達しない場合がある。流体が到達しなかった領域では第２光源７２の冷却効果が十分に得られなくなる。第３流路９０を通った流体の全てが下流側流路部１１０に流れるようにすることにより、下流側流路部１１０における鉛直上方側または鉛直下方側の各端部付近まで流体を到達させることができる。これにより、第２光源７２の冷却効果を適切に得ることができる。

【0185】

本発明の態様は、例えば、以下のとおりである。
＜項１＞ 流体が第１方向に流れる第１流路と、前記第１流路の下流側に接続され、流体が前記第１方向と反対の第２方向に流れる第２流路と、前記第１流路と前記第２流路との間に位置する第１部材と、前記第１流路および前記第２流路の少なくとも一方に紫外光を照射する光源と、前記第１流路の下流端と、前記第２流路の上流端と、を接続する第１接続部と、を備え、前記第１部材は、前記第１流路と、前記第２流路と、を接続する第１開口を有し、前記第１部材を平面視した場合に、前記第１開口の面積は、前記第１接続部の面積よりも小さい、流体紫外光処理装置である。
＜項２＞ 前記第１開口は、前記第１部材の前記第１方向における中央部よりも下流側の領域のみに配置される、前記＜項１＞に記載の流体紫外光処理装置である。
＜項３＞ 前記第１部材は、前記第１開口に近接する領域から前記第２流路側に延出する第１部分を有する、前記＜項１＞または前記＜項２＞に記載の流体紫外光処理装置である。
＜項４＞ 前記第１部分は、前記第２方向に対して傾斜する面を含む、前記＜項３＞に記載の流体紫外光処理装置である。
＜項５＞ 前記第２流路の下流側に接続され、流体が前記第２方向と反対の第３方向に流れる第３流路と、前記第２流路と前記第３流路との間に位置する第２部材と、前記第２流路の下流端と、前記第３流路の上流端と、を接続する第２接続部と、を有し、前記第２部材は、前記第２流路と、前記第３流路と、を接続する第２開口を有し、前記第２部材を平面視した場合に、前記第２開口の面積は、前記第２接続部の断面積よりも小さい、前記＜項１＞から前記＜項４＞のいずれか１つに記載の流体紫外光処理装置である。
＜項６＞ 前記第２開口は、前記第２部材の前記第２方向における中央部よりも下流側の領域のみに配置される、前記＜項５＞に記載の流体紫外光処理装置である。
＜項７＞ 前記第２部材は、前記第２開口に近接する領域から前記第３流路側に延出する第２部分を有する、前記＜項５＞に記載の流体紫外光処理装置である。
＜項８＞ 前記第２部分は、前記第３方向に対して傾斜する面を含む、前記＜項７＞に記載の流体紫外光処理装置である。
＜項９＞ 前記第２開口は、前記第１部材を平面視した場合に、前記第１開口と重ならない位置に配置される、前記＜項７＞に記載の流体紫外光処理装置である。
＜項１０＞ 前記第１部材は、前記第１部材の前記第１方向における前記第１開口よりも上流側に配置され、前記第１流路と前記第２流路とを接続する第３開口と、前記第３開口に近接する領域から前記第１流路側に延出する第３部分と、を有する、前記＜項１＞から前記＜項９＞のいずれか１つに記載の流体紫外光処理装置である。
＜項１１＞ 前記第３部分は、前記第１方向に対して傾斜する面を含む、前記＜項１０＞に記載の流体紫外光処理装置である。
＜項１２＞ 前記第１部材は、前記第１流路と前記第２流路とを接続する複数の第４開口をさらに有し、前記第１開口は、前記第１部材の前記第１方向における中央部よりも下流側の領域のみに複数配置されるとともに、前記複数の第４開口は、前記第１部材の前記第１方向における中央部よりも上流側の領域のみに配置され、前記第１部材を平面視した場合に、複数の前記第１開口の面積の総和は、前記複数の第４開口の面積の総和よりも大きい、前記＜項１＞に記載の流体紫外光処理装置である。
＜項１３＞ 前記流体の流入部と、前記流体の流出部と、前記流入部と前記流出部とを繋ぐ流路部と、を有し、前記流路部は、前記流入部から分岐する複数の分岐流路部と、前記複数の分岐流路部の下流側に接続される合流流路部と、を含み、前記複数の分岐流路部のそれぞれは、前記第１流路と、前記第２流路と、前記第１部材と、を備える、前記＜項１＞から前記＜項１２＞のいずれか１つに記載の流体紫外光処理装置である。

【符号の説明】

【0186】

１、１Ａ、１Ｂ 流体紫外光処理装置
１０ 第１端部
１１ 流入部
１３ 第１光源配置部
１４ 第１窓部
１５ 流出部
１６ 第２光源配置部
１８ａ、１８ｂ 第１接続部
１９ａ、１９ｂ 第２接続部
２０ 第２端部
５０ 中間部
５１ 第１壁部
５２ 第２壁部
５３ 第３壁部
５４ 第４壁部
６１、６１Ａ 第１部材
６２、６２Ａ 第２部材
６３、６３Ａ 第３部材
６４、６４Ａ 第４部材
７１ 第１光源
７２ 第２光源
８０ａ、８０ｂ 分岐流路部
８１ａ、８１ｂ 第１流路
８２ａ、８２ｂ 第２流路
９０ 第３流路
１００ 流路部
１２０ 排液口
１２１ 排液機構
１３０ 排気口
１３５ 排気機構
１７０ 光源
１７１ 配線基板
１７２ 発光素子を含む筐体
１７３ 保持部材
１７４ 配線
１７６ バネ部材
１８１ 第１領域
１８２ 第２領域
１８３ 第３領域
１９０ ジャッキ機構
１９１ 支持部材
１９１ａ 上面
１９２ ネジ部材
１９３ 補助バネ部材
６１０、６１０Ａ 第１開口
６２０、６２０Ａ 第２開口
６３０ 溝部
６１１Ａ 第１部分
６１２Ａ 第３開口
６１３Ａ 第３部分
６２１Ａ 第２部分
６１４Ａ、６１５Ａ、６２４Ａ 面
６１６Ｂ 第４開口
ｄ１ 第１方向
ｄ２ 第２方向
ｄ３ 第３方向
Ｍ１、Ｍ１Ｂ、Ｍ２、Ｍ２Ａ、Ｍ３、Ｍ４ 中央部

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】