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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024080946
(43)【公開日】2024-06-17
(54)【発明の名称】製造装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20240610BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022194317
(22)【出願日】2022-12-05
(71)【出願人】
【識別番号】302046920
【氏名又は名称】株式会社デザインネットワーク
(71)【出願人】
【識別番号】301021533
【氏名又は名称】国立研究開発法人産業技術総合研究所
(74)【代理人】
【識別番号】100104776
【弁理士】
【氏名又は名称】佐野 弘
(74)【代理人】
【識別番号】100119194
【弁理士】
【氏名又は名称】石井 明夫
(72)【発明者】
【氏名】原 史朗
(72)【発明者】
【氏名】山本 匡彦
(72)【発明者】
【氏名】福田 孝弘
【テーマコード（参考）】
5F131
【Ｆターム（参考）】
5F131AA02
5F131AA03
5F131BA00
5F131BB03
5F131BB13
5F131DA05
5F131DA22
5F131DB92
5F131DB93
5F131DD33
5F131DD43
5F131KA12
5F131KB22
(57)【要約】
【課題】複数の製造装置で複数の工程を行う場合の工程間の待ち時間の増大を抑止し、生産性を向上させることができる製造装置を提供する。
【解決手段】半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃは、筐体３に設けられた凹部７に、ウェハ４が収容されたウェハ搬送容器１０を、筐体３の内部でウェハ４の処理を行うために載置する容器載置台９と、ウェハ搬送容器１０を仮置きするための仮置き台８と、ウェハ搬送容器１０を、容器載置台９、及び仮置き台８、及び隣接する複数の半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃの間で搬送する搬送ユニット１１とを設け、搬送ユニット１１は、ウェハ搬送容器１０を容器載置台９から仮置き台８に搬送する基本動作１と、ウェハ搬送容器１０を仮置き台８から容器載置台９に搬送する基本動作２と、ウェハ搬送容器１０を複数の仮置き台８，８のうちの一の仮置き台８から他の仮置き台８に搬送する基本動作３と、をそれぞれ行うように構成される。
【選択図】図１
【解決手段】半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃは、筐体３に設けられた凹部７に、ウェハ４が収容されたウェハ搬送容器１０を、筐体３の内部でウェハ４の処理を行うために載置する容器載置台９と、ウェハ搬送容器１０を仮置きするための仮置き台８と、ウェハ搬送容器１０を、容器載置台９、及び仮置き台８、及び隣接する複数の半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃの間で搬送する搬送ユニット１１とを設け、搬送ユニット１１は、ウェハ搬送容器１０を容器載置台９から仮置き台８に搬送する基本動作１と、ウェハ搬送容器１０を仮置き台８から容器載置台９に搬送する基本動作２と、ウェハ搬送容器１０を複数の仮置き台８，８のうちの一の仮置き台８から他の仮置き台８に搬送する基本動作３と、をそれぞれ行うように構成される。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
筐体の内部において、基板に対する各種の処理を行う製造装置であって、
該筐体の一部に凹部が設けられ、
この凹部に、
前記基板が収容された収容容器を、前記筐体の内部で前記基板の処理を行うために載置する容器載置台と、
該容器載置台に載置する前後の前記収容容器を仮置きするための仮置き台と、
前記収容容器を、前記容器載置台、及び前記仮置き台、及び隣接する複数の前記製造装置の間で搬送する搬送ユニットとを設け、
前記搬送ユニットは、
前記収容容器を前記容器載置台から前記仮置き台に搬送する第一の動作と、
前記収容容器を前記仮置き台から前記容器載置台に搬送する第二の動作と、
前記収容容器を複数の前記仮置き台のうちの一の前記仮置き台から他の前記仮置き台に搬送する第三の動作と、をそれぞれ行うように構成されたことを特徴とする製造装置。
該筐体の一部に凹部が設けられ、
この凹部に、
前記基板が収容された収容容器を、前記筐体の内部で前記基板の処理を行うために載置する容器載置台と、
該容器載置台に載置する前後の前記収容容器を仮置きするための仮置き台と、
前記収容容器を、前記容器載置台、及び前記仮置き台、及び隣接する複数の前記製造装置の間で搬送する搬送ユニットとを設け、
前記搬送ユニットは、
前記収容容器を前記容器載置台から前記仮置き台に搬送する第一の動作と、
前記収容容器を前記仮置き台から前記容器載置台に搬送する第二の動作と、
前記収容容器を複数の前記仮置き台のうちの一の前記仮置き台から他の前記仮置き台に搬送する第三の動作と、をそれぞれ行うように構成されたことを特徴とする製造装置。
【請求項2】
前記搬送ユニットは、複数の前記製造装置が併設された状態において、一方向側に隣接された前記製造装置の前記仮置き台、及び／又は、他方向側に隣接された前記製造装置の前記仮置き台に前記収容容器を搬送できる距離まで移動可能に構成されたことを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項3】
前記仮置き台は、一の前記製造装置において、前記容器載置台の一方向側又は他方向側に設けられ、
前記第三の動作は、一の前記製造装置の前記仮置き台と、該一の製造装置に隣接された他の前記製造装置の前記仮置き台との間で前記収容容器を搬送することで行われることを特徴とする請求項１又は２に記載の製造装置。
前記第三の動作は、一の前記製造装置の前記仮置き台と、該一の製造装置に隣接された他の前記製造装置の前記仮置き台との間で前記収容容器を搬送することで行われることを特徴とする請求項１又は２に記載の製造装置。
【請求項4】
前記仮置き台は、一の前記製造装置において、前記容器載置台の一方向側及び他方向側に設けられ、
前記第三の動作は、一の前記製造装置の前記それぞれの仮置き台の間で前記収容容器を搬送することで行われることを特徴とする請求項１又は２に記載の製造装置。
前記第三の動作は、一の前記製造装置の前記それぞれの仮置き台の間で前記収容容器を搬送することで行われることを特徴とする請求項１又は２に記載の製造装置。
【請求項5】
前記第一の動作、及び／又は、前記第三の動作において、
隣接する複数台の前記製造装置の間で前記収容容器の搬送を行う場合、前記収容容器の搬送先側にある前記搬送ユニットが前記収容容器を取得して搬送する、又は、前記収容容器の搬送元側にある前記搬送ユニットが前記収容容器を取得して搬送する、ように構成されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の製造装置。
隣接する複数台の前記製造装置の間で前記収容容器の搬送を行う場合、前記収容容器の搬送先側にある前記搬送ユニットが前記収容容器を取得して搬送する、又は、前記収容容器の搬送元側にある前記搬送ユニットが前記収容容器を取得して搬送する、ように構成されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の製造装置。
【請求項6】
前記第三の動作において、
同一の前記製造装置の間で前記収容容器の搬送を行う場合、前記一方向側の前記仮置き台、前記容器載置台、前記他方向側の前記仮置き台のうちの何れを搬送元とし、何れを搬送先とできることを特徴とする請求項４に記載の製造装置。
同一の前記製造装置の間で前記収容容器の搬送を行う場合、前記一方向側の前記仮置き台、前記容器載置台、前記他方向側の前記仮置き台のうちの何れを搬送元とし、何れを搬送先とできることを特徴とする請求項４に記載の製造装置。
【請求項7】
前記第三の動作において、
前記容器載置台に一の前記収容容器が載置された状態で、前記容器載置台の一方向側の前記仮置き台に載置された他の前記収容容器を他方向側の前記仮置き台に搬送する順方向側の追越し搬送、及び／又は、
前記容器載置台に一の前記収容容器が載置された状態で、前記容器載置台の前記他方向側の前記仮置き台に載置された他の前記収容容器を前記一方向側の前記仮置き台に搬送する逆方向側の追越し搬送をそれぞれ行えるように構成されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の製造装置。
前記容器載置台に一の前記収容容器が載置された状態で、前記容器載置台の一方向側の前記仮置き台に載置された他の前記収容容器を他方向側の前記仮置き台に搬送する順方向側の追越し搬送、及び／又は、
前記容器載置台に一の前記収容容器が載置された状態で、前記容器載置台の前記他方向側の前記仮置き台に載置された他の前記収容容器を前記一方向側の前記仮置き台に搬送する逆方向側の追越し搬送をそれぞれ行えるように構成されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の製造装置。
【請求項8】
前記第一の動作、及び、前記第二の動作、及び、前記第三の動作において、
一方向側の前記容器載置台、又は、一方向側の前記仮置き台に第一の前記収容容器が載置された状態で、前記第一の前記収容容器を他方向側の前記仮置き台、又は、他方向側の容器載置台に搬送する順方向側の搬送と、
他方向側の前記仮置き台、又は、他方向側の前記容器載置台に第二の前記収容容器が載置された状態で、前記第二の前記収容容器を前記一方向側の前記容器載置台、又は、前記一方向側の前記仮置き台に搬送する逆方向側の搬送と、
を有するすれ違い搬送を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の製造装置。
一方向側の前記容器載置台、又は、一方向側の前記仮置き台に第一の前記収容容器が載置された状態で、前記第一の前記収容容器を他方向側の前記仮置き台、又は、他方向側の容器載置台に搬送する順方向側の搬送と、
他方向側の前記仮置き台、又は、他方向側の前記容器載置台に第二の前記収容容器が載置された状態で、前記第二の前記収容容器を前記一方向側の前記容器載置台、又は、前記一方向側の前記仮置き台に搬送する逆方向側の搬送と、
を有するすれ違い搬送を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の製造装置。
【請求項9】
前記凹部には、二次元コードを読み取るための読取手段が設けられ、
前記読取手段は、前記収容容器に記録された、該収容容器の搬送手順を決定するための搬送情報が記録された二次元コードを読み取ることで前記収容容器の搬送制御を行うことを特徴とする請求項１乃至８の何れか一つに記載の製造装置。
前記読取手段は、前記収容容器に記録された、該収容容器の搬送手順を決定するための搬送情報が記録された二次元コードを読み取ることで前記収容容器の搬送制御を行うことを特徴とする請求項１乃至８の何れか一つに記載の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体集積回路など、複数の製造装置間で処理対象を搬送して製造するための製造装置の技術に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体集積回路等の各種デバイスは、複数の製造工程を経て製造される。たとえば、半導体ウェハを基板としてデバイスとしての半導体チップを製造する場合、複数の工程のそれぞれに用いる複数の製造装置間で基板を搬送しながら製造が行われる。このような製造工程においては、製造装置間で基板を安全かつ自動的に搬送する技術が求められる。
【0003】
従来、基板にデバイスを製造する工程において、複数の製造装置を併設し、これらの製造装置に搬送ユニットを設け、基板の収容容器にウェハを収容し、搬送ユニットによって製造装置間で収容容器を搬送する技術が知られている。
【0004】
図１２に、この従来の技術の概略図を示す。同図に示すとおり、この技術においては、複数併設された半導体製造装置１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃに、処理対象のウェハがそれぞれ収容された収容容器１００１，１００２，１００３，を順次搬送しながら基板を製造する。図１２には、半導体製造装置１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃの搬送経路１０４１，１０４２，１０４３，１０４４，１０４５，１０４６を模式的に示している。半導体製造装置１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃには、収容容器１００１，１００２，１００３，を載置する仮置き台１０２と処理対象のウェハが収容された収容容器１００１，１００２，１００３を載置する容器載置台１０３とが設けられている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０１６－１１１０３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかし、引用文献１に記載の発明においては、複数の半導体製造装置１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃの間の収容容器１００１，１００２，１００３の搬送経路１０４１，１０４２，１０４３，１０４４，１０４５，１０４６に分岐や合流がない。そして、１つの搬送経路１０４１，１０４２，１０４３，１０４４，１０４５，１０４６上で複数の収容容器１００１，１００２，１００３，を順次搬送することになる。また、それぞれの収容容器１００１，１００２，１００３は、それぞれの半導体製造装置１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃにおいて、仮置き台１０２と容器載置台１０３とを順に経由して搬送される。
【0007】
このため、例えば図１２に示すように、特定の装置たとえば半導体製造装置１０１Ｃで基板への処理が長時間行われる場合や、半導体製造装置１０１Ｃで故障が起きた場合には、半導体製造装置１０１Ｃの容器載置台１０３に載置された収容容器１００１の搬送が停止する。そして、収容容器１００１よりも搬送順序の遅い収容容器１００２，１００３の搬送は滞留してしまい、収容容器１００２，１００３に収容されたウェハの処理は遅延する。それゆえ、無駄な待機時間の発生により製造工程が無駄に長くなり、生産性が低下するという問題がある。また、複数の半導体製造装置１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃは順方向（図１２における右側から左側）のみに収容容器１００１，１００２，１００３を搬送するため、搬送経路と逆方向の工程を混在させることはできず、多様なデバイスを製造することに支障を来たし、生産性が低下するという問題がある。
【0008】
本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、複数の製造装置で複数の工程を行う場合の工程間の待ち時間の増大を抑止し、生産性を向上させることができる製造装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【0009】
かかる課題を達成するために、請求項１に記載の発明は、筐体の内部において、基板に対する各種の処理を行う製造装置であって、該筐体の一部に凹部が設けられ、この凹部に、前記基板が収容された収容容器を、前記筐体の内部で前記基板の処理を行うために載置する容器載置台と、該容器載置台に載置する前後の前記収容容器を仮置きするための仮置き台と、前記収容容器を、前記容器載置台、及び前記仮置き台、及び隣接する複数の前記製造装置の間で搬送する搬送ユニットとを設け、前記搬送ユニットは、前記収容容器を前記容器載置台から前記仮置き台に搬送する第一の動作と、前記収容容器を前記仮置き台から前記容器載置台に搬送する第二の動作と、前記収容容器を複数の前記仮置き台のうちの一の前記仮置き台から他の前記仮置き台に搬送する第三の動作と、をそれぞれ行うように構成されたことを特徴とする。
【0010】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成に加え、前記搬送ユニットは、複数の前記製造装置が併設された状態において、一方向側に隣接された前記製造装置の前記仮置き台、及び／又は、他方向側に隣接された前記製造装置の前記仮置き台に前記収容容器を搬送できる距離まで移動可能に構成されたことを特徴とする
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成に加え、前記仮置き台は、一の前記製造装置において、前記容器載置台の一方向側又は他方向側に設けられ、前記第三の動作は、一の前記製造装置の前記仮置き台と、該一の製造装置に隣接された他の前記製造装置の前記仮置き台との間で前記収容容器を搬送することで行われることを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成に加え、前記仮置き台は、一の前記製造装置において、前記容器載置台の一方向側又は他方向側に設けられ、前記第三の動作は、一の前記製造装置の前記仮置き台と、該一の製造装置に隣接された他の前記製造装置の前記仮置き台との間で前記収容容器を搬送することで行われることを特徴とする。
【0011】
請求項４に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成に加え、前記仮置き台は、一の前記製造装置において、前記容器載置台の前記一方向側及び前記他方向側に設けられ、前記第三の動作は、一の前記製造装置の前記それぞれの仮置き台の間で前記収容容器を搬送することで行われることを特徴とする。
【0012】
請求項５に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成に加え、前記第一の動作、及び／又は、前記第三の動作において、隣接する複数台の前記製造装置の間で前記収容容器の搬送を行う場合、前記収容容器の搬送先側にある前記搬送ユニットが前記収容容器を取得して搬送する、又は、前記収容容器の搬送元側にある前記搬送ユニットが前記収容容器を取得して搬送する、ように構成されたことを特徴とする。
【0013】
請求項６に記載の発明は、請求項４に記載の構成に加え、前記第三の動作において、同一の前記製造装置の間で前記収容容器の搬送を行う場合、前記一方向側の前記仮置き台、前記容器載置台、前記他方向側の前記仮置き台のうちの何れを搬送元とし、何れを搬送先とできることを特徴とする。
【0014】
請求項７に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成に加え、前記第三の動作において、前記容器載置台に一の前記収容容器が載置された状態で、前記容器載置台の一方向側の前記仮置き台に載置された他の前記収容容器を他方向側の前記仮置き台に搬送する順方向側の追越し搬送、及び／又は、前記容器載置台に一の前記収容容器が載置された状態で、前記容器載置台の前記他方向側の前記仮置き台に載置された他の前記収容容器を前記一方向側の前記仮置き台に搬送する逆方向側の追越し搬送をそれぞれ行えるように構成されたことを特徴とする。
【0015】
請求項８に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成に加え、前記第一の動作、及び、前記第二の動作、及び、前記第三の動作において、一方向側の前記容器載置台、又は、一方向側の前記仮置き台に第一の前記収容容器が載置された状態で、前記第一の前記収容容器を他方向側の前記仮置き台、又は、他方向側の容器載置台に搬送する順方向側の搬送と、
他方向側の前記仮置き台、又は、他方向側の前記容器載置台に第二の前記収容容器が載置された状態で、前記第二の前記収容容器を前記一方向側の前記容器載置台、又は、前記一方向側の前記仮置き台に搬送する逆方向側の搬送と、を有するすれ違い搬送を行うことを特徴とする。
他方向側の前記仮置き台、又は、他方向側の前記容器載置台に第二の前記収容容器が載置された状態で、前記第二の前記収容容器を前記一方向側の前記容器載置台、又は、前記一方向側の前記仮置き台に搬送する逆方向側の搬送と、を有するすれ違い搬送を行うことを特徴とする。
【0016】
請求項９記載の発明は、請求項１乃至８の何れか一つに記載の構成に加え、前記凹部には、二次元コードを読み取るための読取手段が設けられ、前記読取手段は、前記収容容器に記録された、該収容容器の搬送手順を決定するための搬送情報が記録された二次元コードを読み取ることで前記収容容器の搬送制御を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【0017】
請求項１に記載の発明によれば、収容容器を、容器載置台、及び仮置き台、及び隣接する複数の製造装置の間で搬送する搬送ユニットを設け、搬送ユニットは、前記収容容器を前記容器載置台から前記仮置き台に搬送する第一の動作と、前記収容容器を前記仮置き台から前記容器載置台に搬送する第二の動作と、前記収容容器を複数の前記仮置き台のうちの一の前記仮置き台から他の前記仮置き台に搬送する第三の動作と、をそれぞれ行うように構成されている。そのため、製造装置を複数台直列状に並べて製造装置間で収容容器を搬送させて複数の工程を行う場合に、複数の収容容器の順序を入れ替えたり、特定の収容容器を特定の容器載置台を飛び越して搬送させたり、特定の収容容器を逆方向に搬送させたりと、多様な搬送を実現できる。また、そのような収容容器の多様な搬送を実現することで、複数の収容容器の搬送の滞留が生じる事態を抑止できる。これにより、複数の製造装置で複数の工程を行う場合の工程間の待ち時間の増大を抑止し、生産性を向上させることができる製造装置を提供することができる。
【0018】
請求項２に記載の発明によれば、搬送ユニットは、複数の製造装置が併設された状態において、一方向側に隣接された製造装置の仮置き台、及び／又は、他方向側に隣接された製造装置の仮置き台に収容容器を搬送できる距離まで移動可能に構成されている。そのため、複数の製造装置間での、搬送ユニットによる仮置き台と容器載置台との間での収容容器の搬送や、搬送ユニットによる仮置き台と仮置き台との間での収容容器の搬送を支障なく行うことができる。
【0019】
請求項３に記載の発明によれば、複数の製造装置の間で、仮置き台と仮置き台との間での収容容器の搬送を支障なく行うことができる。
【0020】
請求項４に記載の発明によれば、一の製造装置において、仮置き台と仮置き台との間での収容容器の搬送を支障なく行うことができる。
【0021】
請求項５に記載の発明によれば、収容容器の搬送先側にある搬送ユニットが収容容器を取得して搬送する、又は、収容容器の搬送元側にある搬送ユニットが収容容器を取得して搬送する、ように構成されたことにより、搬送ユニットを画一的な制御手順によって制御できる。そのため、制御用のプログラムや制御用の機構を画一化、簡略化することができ、搬送制御の煩雑化を抑止できる。
【0022】
請求項６に記載の発明によれば、同一の製造装置における、一方向側の仮置き台、容器載置台、他方向側の仮置き台のうちの何れを搬送元とし、何れを搬送先とできることにより、同一の製造装置において、第一の動作、第二の動作、第三の動作を支障なく行うことができる。これにより、同一の製造装置において、多様な搬送を実現し、複数の収容容器の搬送の滞留が生じる事態を抑止できる。
【0023】
請求項７に記載の発明によれば、容器載置台に一の収容容器が載置された状態で、仮置き台に載置された他の収容容器を順方向側、及び／又は、逆方向側に追越し搬送を行わせる。そのため、特定の製造装置における製造工程の最中に、複数の収容容器の順序を入れ替えたり、特定の収容容器を特定の容器載置台を飛び越して搬送させたり、特定の収容容器を逆方向に搬送させたりすることを実現できる。これにより、製造工程中の製造装置において、多様な搬送を実現し、複数の収容容器の搬送の滞留が生じる事態を抑止できる。
【0024】
請求項８に記載の発明によれば、第一の収容容器を順方向側に、第二の収容容器を逆方向側に搬送させることにより、複数の収容容器の多様な搬送を迅速に支障なく行うことができる。
【0025】
請求項９に記載の発明によれば、収容容器に記録された二次元コードによって収容容器の搬送制御を行うことにより、個々の収容容器に収容された基板ごとの製造工程に基づいて、収容容器ごとに搬送順序や搬送先を容易かつ確実に制御できる。
【図面の簡単な説明】
【0026】
【図1】この実施の形態１の生産ラインを示す図であって、（ａ）はその正面図、（ｂ）はその左側面図、（ｃ）はウェハが収容されたウェハ搬送容器である。
【図2】同上生産ラインにおける、基本動作１、基本動作２によるウェハ搬送容器の搬送工程を示す図である。
【図3】同上生産ラインにおける、基本動作３によるウェハ搬送容器の搬送工程を示す図である。
【図4】同上生産ラインにおける追越し搬送を示す概略図である。
【図5】同上生産ラインにおける追越し搬送の第１の例を示す概略図である。
【図6】同上生産ラインにおける追越し搬送の第２の例を示す概略図である。
【図7】同上生産ラインにおける追越し搬送の第３の例を示す概略図である。
【図8】この実施の形態２の生産ラインを示す図であって、（ａ）はその正面図、（ｂ）はその左側面図、（ｃ）はウェハが収容されたウェハ搬送容器である。
【図9】同上生産ラインにおける、ルール１、ルール２によるウェハ搬送容器の搬送工程を示す図である。
【図10】同上生産ラインにおけるウェハ搬送容器の追越し搬送を示す図である。
【図11】同上生産ラインにおけるウェハ搬送容器のすれ違い搬送を示す図である。
【図12】引用文献１に示す従来技術の問題点を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0027】
【0028】
実施の形態１に係る生産ライン１Ａは、図１の（ａ）に示すように、複数、この実施の形態１では３個の「製造装置」としての半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃが床面上に一直線上に隣接して並設されている。それぞれの半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃは、小型、たとえば直径約１２．５ｍｍの「基板」としてのウェハ４により半導体チップを製造するための個々の製造工程を行うための装置である。図１の（ｃ）に示すように、この実施の形態１のウェハ４は、直径約４０ｍｍ、高さ約１５ｍｍほどの略円筒形で気密性を有する「収容容器」としてのウェハ搬送容器１０に収容された状態で、半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃ相互間で搬送される。
【0029】
なお、ウェハ４やウェハ搬送容器１０の形状や大きさや上述のもののみに限定されず、本実施の形態１を実現できる形状や大きさならどのようなものでもよい。また、ウェハ４の材質は、半導体チップの材料となるものであれば、シリコン、酸化ガリウム、サファイア、各種化合物半導体等、どのようなものでもよい。
【0030】
図１における右側の半導体製造装置２Ａ、中央の半導体製造装置２Ｂ、左側の半導体製造装置２Ｃは、互いに所定間隔（例えば、６ｍｍ）の隙間を挟んで横向きに対向している。
【0031】
なお、以下は説明を簡略化するため、特に区別の必要がある場合を除き、半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃ等を半導体製造装置２と記載する。
【0032】
各半導体製造装置２はそれぞれ、図１に示すように、所定の大きさ（例えば、幅３０ｃｍ、奥行き４５ｃｍ、高さ１４４ｃｍ）の略直方体状の筐体３を有している。半導体製造装置２の形状や大きさは、上述のものに限定されず、本実施の形態１を実現できる形状や大きさであればどのようなものでもよい。また、半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃの形状や大きさは同一であることが望ましいが、本実施の形態１を実現できるものであれば、それぞれの形状や大きさに相違があってもよい。
【0033】
筐体３の内部には、図１の（ｂ）に示すように、ウェハ４に各種の処理を行う処理機器（図示せず）が内蔵された処理室５と、処理室５の前方に位置して、処理前と処理後のウェハ４を前後方向及び上下方向に搬送する内部搬送装置（図示せず）が設けられた前室６が配設されている。
【0034】
また、筐体３の前部には、図１の（ａ）（ｂ）に示すように、凹部７が前室６の上方に形成されている。この凹部７は、使用者が操作を行う前面側、および、複数の半導体製造装置２が連接されてウェハ４が搬送される方向である側面側が開放され、前面から奥行きに向けて凹んでいる。凹部７には、ウェハ搬送容器１０を載置するための容器載置台９と、ウェハ搬送容器１０を一時的に保持するための仮置き台８が設置されている。
【0035】
容器載置台９は、載置されたウェハ搬送容器１０の底面を開放させる開放装置（図示せず）を備え、ウェハ搬送容器１０に収容されたウェハ４を前室６の内部搬送装置（図示せず）に載置したり、内部搬送装置（図示せず）に載置されたウェハ４をウェハ搬送容器１０に収容する機能を備える。
【0036】
仮置き台８は、図１の（ａ）に示すように、半導体製造装置２の正面視の状態で、容器載置台９よりも一方向側である右側に配設されている。この仮置き台８は、ウェハ搬送容器１０とほぼ同径の略円板状の台で、容器載置台９に載置される前後のウェハ搬送容器１０が一時的に載置される。
【0037】
図１の（ａ）に示すように、半導体製造装置２が複数並設されたときの正面視において、任意の半導体製造装置２の仮置き台８は、その半導体製造装置２の容器載置台９と、その隣の半導体製造装置２の容器載置台９との間に位置するように設けられている。図１の（ｂ）に示すように、容器載置台９と仮置き台８とは前後方向（図１の（ｂ）の矢印Ｙ方向）が同じ位置に配設されている。
【0038】
また、半導体製造装置２が複数並設されたときには、これら複数の半導体製造装置２の並設方向（図１（ａ）の矢印Ｘ方向）に延伸する複数の凹部７が、ウェハ搬送容器１０の搬送経路１１ａを形成する。
【0039】
図２に示すとおり、筐体３には、凹部７に搬送ユニット１１が設けられている。この搬送ユニット１１は、半導体製造装置２の併設方向に延伸する。
【0040】
搬送ユニット１１は、図２に示すように、Ｘ軸モータ（図示せず）によってＸ方向に移動する搬送アーム１２と、この搬送アーム１２の一端（図２右端）に回転自在に取り付けられた駆動側プーリ１３と、搬送アーム１２の他端（図２左端）に回転自在に取り付けられた従動側プーリ１４と、駆動側プーリ１３および従動側プーリ１４に架け渡されたベルト１５と、このベルト１５の一部に固定され、ウェハ搬送容器１０の上部を吸着して把持する容器把持部材１６とから構成されている。そして、Ｘ軸モータ（図示せず）を回転駆動すると、搬送アーム１２がＸ方向に移動するとともに駆動側プーリ１３が転動し、ベルト１５が回転して、容器把持部材１６がＸ方向に移動するように構成されている。搬送アーム１２と容器把持部材１６との間には、ピニオン・ラック構造（図示せず）により搬送アーム１２のＸ方向の移動を増速して容器把持部材１６に伝える増速機構が設けられている。この増速機構により、例えば、搬送アーム１２がＸ方向に２５ｃｍ移動すると、容器把持部材１６はＸ方向に３０ｃｍ移動する。
【0041】
搬送ユニット１１は、複数の半導体製造装置２が併設された状態において、一の半導体製造装置２の容器載置台９の一方向側に設けられた仮置き台８と、この半導体製造装置２の他方向側に隣接された半導体製造装置２の仮置き台８とにウェハ搬送容器１０を搬送できる距離まで移動可能に構成されている。即ち、搬送ユニット１１の容器把持部材１６は、図２の（ａ）に示す、一方向側の半導体製造装置２の仮置き台８の位置から、図２の（ｃ）に示す、他方向側の半導体製造装置２の仮置き台８の位置までの距離Ｄ１を移動可能に構成されている。
【0042】
図１の（ａ）に示すとおり、この実施の形態１の生産ライン１Ａは、搬送制御装置１７を有する。搬送制御装置１７は、たとえばパーソナルコンピュータ、サーバコンピュータ、タブレット等の機器であり、ＣＰＵ等の演算機能と、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ＥＰＲＯＭ等のデータやプログラムの演算処理領域や記録手段としての機能を有する。また、搬送制御装置１７は、通信インターフェース機能を有し、個々の半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃとデータや信号の送受信を行う。
【0043】
搬送制御装置１７は、個々の半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃの搬送ユニット１１の搬送を統括的に制御する。搬送制御装置１７は、プログラムの実行等によって構成される、機能手段としての搬送制御部１７ａを備える。搬送制御部１７ａは、個々のウェハ搬送容器１０に収容された個々のウェハ４の製造工程や、その製造工程を実現するための、それぞれの半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃにおけるウェハ搬送容器１０の搬送制御を行う。
【0044】
具体的には、例えば、搬送制御部１７ａは、それぞれの半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃにおいて、どのウェハ搬送容器１０がどの仮置き台８や容器載置台９に載置されているかについての載置位置情報、それぞれの半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃでの処理開始の情報や処理終了の情報を、それぞれの半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃから受領する。そして、搬送制御部１７ａは、搬送ユニット１１に対し、個々の半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃの搬送ユニット１１に対し、ウェハ搬送容器１０を搬送させるための搬送命令を出力し、搬送ユニット１１に、半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃの内部、あるいは半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃ相互間でのウェハ搬送容器１０の搬送を行わせる。
【0045】
なお、搬送制御装置１７は、半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃの何れか一つに内蔵されてもよい。また、搬送制御装置１７は、個々の半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃに分散して設けられたものがネットワーク接続されて連携動作する構成や、クラウドシステム上の構成であってもよい。
【0046】
［ウェハ搬送容器の構成等］
図１の（ｃ）に示すように、ウェハ搬送容器１０の表面には、ＱＲコード（登録商標）、バーコード等の二次元コード１８が付されている。この二次元コード１８には、それぞれのウェハ搬送容器１０に収容されたウェハ４によって製造される製品の製造工程に関する情報、たとえば、製品の製造に用いる半導体製造装置２や、複数の半導体製造装置２間の搬送順序等を決定するための搬送情報が記録されている。
図１の（ｃ）に示すように、ウェハ搬送容器１０の表面には、ＱＲコード（登録商標）、バーコード等の二次元コード１８が付されている。この二次元コード１８には、それぞれのウェハ搬送容器１０に収容されたウェハ４によって製造される製品の製造工程に関する情報、たとえば、製品の製造に用いる半導体製造装置２や、複数の半導体製造装置２間の搬送順序等を決定するための搬送情報が記録されている。
【0047】
この実施の形態１の生産ライン１Ａには、二次元コード運用手段１９が設けられている。この二次元コード運用手段１９は、カメラ２０と二次元コード解析部２１とを備える。
【0048】
カメラ２０は、それぞれの半導体製造装置２、例えば容器載置台９の上方に設けられて、搬送中のウェハ搬送容器１０の二次元コード１８を撮影する。カメラ２０は、半導体製造装置２のどの部分に設けられていてもよく、たとえば容器把持部材１６に設けられていてもよい。
【0049】
二次元コード解析部２１は、搬送制御装置１７においてプログラムの実行等による機能手段として実現される。二次元コード解析部２１は、カメラ２０が撮影した二次元コード１８を解析し、二次元コード１８に記録されている、それぞれのウェハ搬送容器１０の搬送順序等を認識し、認識した情報を搬送制御装置１７における個々のウェハ搬送容器１０の搬送制御に用いる。
【0050】
なお、二次元コード１８と二次元コード解析部２１に替えて、ＲＦＩＤタグ、三次元コード等、情報を記録できるコードや部材、及びそれらの読取装置や識別装置等、搬送順序や製造工程等を記録し認識できる他の手段を用いることもできる。
【0051】
［工程と基板搬送の順序］
この実施の形態１においては、基本的に、ウェハ４を収容したウェハ搬送容器１０が、まず図１に示す半導体製造装置２Ａ、次に半導体製造装置２Ｂ、次に半導体製造装置２Ｃ、と、右側から左側に向かって順次搬送されて工程が行われる。
この実施の形態１においては、基本的に、ウェハ４を収容したウェハ搬送容器１０が、まず図１に示す半導体製造装置２Ａ、次に半導体製造装置２Ｂ、次に半導体製造装置２Ｃ、と、右側から左側に向かって順次搬送されて工程が行われる。
【0052】
ただし、工程の少なくとも一部が図１の左側から右側に進行してもよい。たとえば、一つのウェハ４に対し、まず半導体製造装置２Ａ、次に半導体製造装置２Ｂ、の順に処理工程が行われたのち、再度半導体製造装置２Ａで工程が行われてもよい。またたとえば、一つのウェハ４に対し、まず半導体製造装置２Ａ、次に半導体製造装置２Ｂを飛ばして半導体製造装置２Ｃで工程が行われてもよい。さらに、順次工程が行われる複数のウェハ４には、それぞれ異なる処理が行われてもよい。
【0053】
以上により、この実施の形態１においては、半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃに搬送される複数のウェハ搬送容器１０は、相互間の搬送順序や、それぞれの半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃでの工程の回数等がそれぞれ異なっていてもよい。
【0054】
【0055】
【0056】
［搬送制御２．前提動作］
生産ライン１Ａにおける生産工程の開始前は、半導体製造装置２の容器載置台９、及び仮置き台８にウェハ搬送容器１０は載置されていない（図示せず）。
生産ライン１Ａにおける生産工程の開始前は、半導体製造装置２の容器載置台９、及び仮置き台８にウェハ搬送容器１０は載置されていない（図示せず）。
【0057】
ここで、生産工程が開始され、図２の（ａ）に示すように、ウェハ４が収容されたウェハ搬送容器１０が一方向側の半導体製造装置２の仮置き台８に載置された場合を考える。半導体製造装置２の搬送ユニット１１は、搬送制御装置１７の搬送制御部１７ａの制御により、容器把持部材１６を、デフォルト位置である容器載置台９の上方から、図２の（ａ）に示すように、仮置き台８の上方に移動させる。二次元コード運用手段１９のカメラ２０が把持されたウェハ搬送容器１０の二次元コード１８を撮影し、二次元コード解析部２１が、このウェハ搬送容器１０の搬送順序や搬送先を決定する。
【0058】
この状態で、容器把持部材１６が下方に移動し、容器把持部材１６が仮置き台８上のウェハ搬送容器１０を把持する。この状態で、搬送ユニット１１は、容器把持部材１６を上方に移動させ、さらに他方向側に移動させる。この状態で、容器把持部材１６は、一方向側の半導体製造装置２の容器載置台９の上方まで移動される。搬送ユニット１１が容器把持部材１６を下方に移動させ、図２の（ｂ）の矢印Ａに示すように、ウェハ搬送容器１０を容器載置台９に載置すると、容器載置台９はウェハ搬送容器１０の下方からウェハ４を取り出して半導体製造装置２内に取り込み、半導体製造装置２はウェハ４への処理工程を行う。
【0059】
一方向側の半導体製造装置２で処理工程が完了すると、ウェハ４は半導体製造装置２内からウェハ搬送容器１０内に収容される。
【0060】
［搬送制御３．基本動作１］
このウェハ搬送容器１０を一方向側の半導体製造装置２から他方向側の半導体製造装置２に搬送する場合、「第一の動作」としての基本動作１が行われる。
このウェハ搬送容器１０を一方向側の半導体製造装置２から他方向側の半導体製造装置２に搬送する場合、「第一の動作」としての基本動作１が行われる。
【0061】
基本動作１とは、搬送ユニット１１が、ウェハ搬送容器１０を容器載置台９から仮置き台８に搬送する工程である。
【0062】
図２において、基本動作１の一例を示す。一方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１は、容器把持部材１６を容器載置台９上で下方に移動させて容器載置台９上のウェハ搬送容器１０を把持する。搬送ユニット１１は、図２の（ｃ）の矢印Ｂに示すように容器把持部材１６を上方、さらに他方向側に移動させ、図２の（ｃ）に示すように、容器把持部材１６を他方向側の半導体製造装置２の仮置き台８の上方まで移動させる。図２の（ｃ）の矢印Ｃに示すように、搬送ユニット１１は、容器把持部材１６を下方に移動させて、他方向側の半導体製造装置２の仮置き台８にウェハ搬送容器１０を載置する。このように、基本動作１が行われる。
【0063】
［搬送制御４．基本動作２］
一の半導体製造装置２内でウェハ搬送容器１０を搬送する場合、搬送ユニット１１は、「第二の動作」としての基本動作２を行う。
一の半導体製造装置２内でウェハ搬送容器１０を搬送する場合、搬送ユニット１１は、「第二の動作」としての基本動作２を行う。
【0064】
基本動作２とは、搬送ユニット１１が、ウェハ搬送容器１０を仮置き台８から容器載置台９に搬送する工程である。
【0065】
図２において、基本動作２の一例を示す。たとえば、図２の（ｄ）に示す、他方向側の半導体製造装置２の仮置き台８にウェハ搬送容器１０が載置された場合を考える。この場合、搬送制御装置１７の制御により、容器把持部材１６はデフォルト位置である容器載置台９の上方から、図２の（ｄ）に示す、仮置き台８の上方に移動される。この状態で、搬送ユニット１１は容器把持部材１６を下方に移動させて、容器把持部材１６によって仮置き台８上のウェハ搬送容器を把持し、図２の（ｅ）の矢印Ｄに示すように、容器把持部材１６を上方、次いで他方向側に移動させる。そして、図２の（ｅ）の矢印Ｅに示すように、容器把持部材１６が容器載置台９上にウェハ搬送容器１０を載置する。このように、基本動作２が行われ、他方向側の半導体製造装置２内でウェハ４に対する処理工程が行われる。
【0066】
［搬送制御５．基本動作１と基本動作２のバリエーション］
上記とは逆に、まず他方向側の半導体製造装置２、次いで一方向側の半導体製造装置２で処理工程を行う場合も、基本動作１と基本動作２が用いられる。ただし、上述の説明とは逆に、図２の（ｅ）→（ｄ）→（ｃ）→（ｂ）→（ａ）の順番に工程が行われる。
上記とは逆に、まず他方向側の半導体製造装置２、次いで一方向側の半導体製造装置２で処理工程を行う場合も、基本動作１と基本動作２が用いられる。ただし、上述の説明とは逆に、図２の（ｅ）→（ｄ）→（ｃ）→（ｂ）→（ａ）の順番に工程が行われる。
【0067】
［搬送制御６．基本動作３］
この実施の形態１の生産ライン１Ａにおいて、一方向側の半導体製造装置２の仮置き台８に載置されたウェハ搬送容器１０に収容されたウェハ４を、一方向側の半導体製造装置２での処理工程を飛ばして他方向側の半導体製造装置２での処理工程を行う場合を考える。この場合、「第三の動作」としての基本動作３が行われる。
この実施の形態１の生産ライン１Ａにおいて、一方向側の半導体製造装置２の仮置き台８に載置されたウェハ搬送容器１０に収容されたウェハ４を、一方向側の半導体製造装置２での処理工程を飛ばして他方向側の半導体製造装置２での処理工程を行う場合を考える。この場合、「第三の動作」としての基本動作３が行われる。
【0068】
基本動作３とは、搬送ユニット１１が、ウェハ搬送容器１０を一の仮置き台８から他の仮置き台８に搬送する工程である。
【0069】
なお、一のウェハ搬送容器１０が、容器載置台９に載置された他のウェハ搬送容器１０を飛び越して搬送経路上の一方向側や他方向側に搬送される工程を「追越し搬送」と称する（以下、本明細書において同じ。）。
【0070】
基本動作３の一例を説明する。図３の（ａ）に示すように、一方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１は、容器把持部材１６を仮置き台８の上方に移動させる。容器把持部材１６が仮置き台８上のウェハ搬送容器１０を把持すると、図３の（ｂ）の矢印Ａに示すように、搬送ユニット１１は容器把持部材１６を他方向側の半導体製造装置２の仮置き台８の上方まで移動させる。そして、搬送ユニット１１は、矢印Ｂに示すように、ウェハ搬送容器１０を他方向側の半導体製造装置２の仮置き台８に載置する。このように、基本動作３による追越し搬送が行われる。
【0071】
図３の（ｃ）に示すように、他方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１は、仮置き台８の上方まで移動し、仮置き台８に載置されたウェハ搬送容器１０を把持し、矢印Ｃ、矢印Ｄに示すようにウェハ搬送容器１０を容器載置台９に搬送して、他方向側の半導体製造装置２での処理工程を行わせる。一方向側の搬送ユニット１１は、矢印Ｅに示すように、容器載置台９上のウェハ搬送容器１０を持ち上げて、他方向側の半導体製造装置２の仮置き台８に搬送する。
【0072】
［搬送制御７．基本動作３の具体例（１）］
図４は、この実施の形態１の追越し搬送を示す概略図である。図５は、この実施の形態１の追越し搬送の第１の例を示す概略図である。図４，図５では、一例として、４つの半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄが併設された場合を示している。
図４は、この実施の形態１の追越し搬送を示す概略図である。図５は、この実施の形態１の追越し搬送の第１の例を示す概略図である。図４，図５では、一例として、４つの半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄが併設された場合を示している。
【0073】
図４及び図５の第一の搬送経路２２１，２２２，２２３，２２４，２２５，２２６，２２７，２２８，２２９は、上述の、基本動作１と、基本動作２のみによるウェハ搬送容器１０１，１０２の搬送経路を模式的に示したものである。この第一の搬送経路２２１，２２２，２２３，２２４，２２５，２２６，２２７，２２８，２２９において、複数のウェハ搬送容器１０１，１０２は、順次搬送が行われ、複数のウェハ搬送容器１０１，１０２の搬送の順序が途中で入れ替わることはない。また、すべてのウェハ搬送容器１０１，１０２は、必ず、それぞれの半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄの容器載置台９を通過する。
【0074】
そのため、図４において、第一の搬送経路２２１，２２２，２２３，２２４，２２５，２２６，２２７，２２８，２２９のみで搬送が行われる場合、搬送先側の一のウェハ搬送容器１０１と搬送元側の他のウェハ搬送容器１０２の搬送順序が入れ替わることはない。
【0075】
図５は、半導体製造装置２Ｃが搬送トラブルを起こし、半導体製造装置２Ｃの容器載置台９上で、一のウェハ搬送容器１０１の搬送が止まった状態を示している。この場合、図５に示すように、第１の搬送経路２２６，２２７（図４参照）がなくなってしまう。そのため、残りの第一の搬送経路２２１，２２２，２２３，２２４，２２５，２２８，２２９のみでは、後続の他のウェハ搬送容器１０２は、半導体製造装置２Ｃの仮置き台８よりも先に搬送できなくなってしまう。そして、一のウェハ搬送容器１０１の搬送が再開するまで、他のウェハ搬送容器１０２の搬送は無駄に停滞してしまう。
【0076】
一方、図４に模式的に示すように、基本動作３に基づく第二の搬送経路２３１，２３２，２３３がさらに設けられた場合は、図５の状況において、他のウェハ搬送容器１０２は、第二の搬送経路２３３を用いてウェハ搬送容器１０１を追越す追越し搬送を行い、半導体製造装置２Ｄに搬送できる。そして、半導体製造装置２Ｃの容器載置台９上で、一のウェハ搬送容器１０１の搬送が止まった場合であっても、他のウェハ搬送容器１０２の追越し搬送を行い、半導体製造装置２Ｄに搬送できる。これにより、ウェハ搬送容器１０２の搬送の無駄な停滞や処理の遅滞を防ぐことができる。
【0077】
［搬送制御８．基本動作３の具体例（２）］
図６は、この実施の形態１の追越し搬送の第２の例を示す概略図である。図６も、４つの半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄが併設された場合を示し、図４と同一の構成に同一の符号を付している。
図６は、この実施の形態１の追越し搬送の第２の例を示す概略図である。図６も、４つの半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄが併設された場合を示し、図４と同一の構成に同一の符号を付している。
【0078】
図６において、一のウェハ搬送容器１０１に収容したウェハ４は半導体製造装置２Ｃでの処理が必要で、他のウェハ搬送容器１０２に収容したウェハ４は半導体製造装置２Ｃでの処理が不要であるとする。
【0079】
図６の（ａ）には、一のウェハ搬送容器１０１が半導体製造装置２Ｃの容器載置台９に載置され、他のウェハ搬送容器１０２が半導体製造装置２Ｂの容器載置台９に載置された状態を示している。
【0080】
図６の（ｂ）に示すように、他のウェハ搬送容器１０２は、半導体製造装置２Ｃの仮置き台８に載置されたのち、第二の搬送経路２３３により、一のウェハ搬送容器１０１を追越して搬送される。そして、他のウェハ搬送容器１０２は、半導体製造装置２Ｄの仮置き台８に載置される。図６の（ｃ）に示すように、他のウェハ搬送容器１０２は、第一の搬送経路２２８により、半導体製造装置２Ｄの仮置き台８から容器載置台９に搬送される。その後、一のウェハ搬送容器１０１は、基本動作１により、半導体製造装置２Ｃの容器載置台９から半導体製造装置２Ｄの仮置き台８に搬送される。これにより、ウェハ搬送容器１０２の搬送の無駄な停滞や処理の遅滞を防ぐことができる。
【0081】
［搬送制御９．基本動作３の具体例（３）］
図７は、この実施の形態１の追越し搬送の第３の例を示す概略図である。図７も、４つの半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄが併設された場合を示し、図４と同一の構成に同一の符号を付している。
図７は、この実施の形態１の追越し搬送の第３の例を示す概略図である。図７も、４つの半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄが併設された場合を示し、図４と同一の構成に同一の符号を付している。
【0082】
図７において、一のウェハ搬送容器１０１に収容したウェハ４は半導体製造装置２Ｃでの工程が不要である。他のウェハ搬送容器１０２に収容したウェハ４は半導体製造装置２Ｂでの工程が不要である。
【0083】
図７の（ａ）には、一のウェハ搬送容器１０１が半導体製造装置２Ｂの容器載置台９に載置され、他のウェハ搬送容器１０２が半導体製造装置２Ａの容器載置台９に載置された状態を示している。
【0084】
図７の（ｂ）に示すように、一のウェハ搬送容器１０１は、半導体製造装置２Ｂの容器載置台９に載置されている。この状態で、半導体製造装置２Ａの容器載置台９から半導体製造装置２Ｂの仮置き台８には、第一の搬送経路２２３により、他のウェハ搬送容器１０２が搬送される。
【0085】
図７の（ｂ）に示すように、他のウェハ搬送容器１０２は、第二の搬送経路２３２を用いた基本動作３により、一のウェハ搬送容器１０１への追越し搬送が行われて、半導体製造装置２Ｃの仮置き台８に載置される。さらに、他のウェハ搬送容器１０２は、第一の搬送経路２２６により容器載置台９に搬送され、図７の（ｃ）に示す状態となる。
【0086】
さらに、図７の（ｄ）に示すように、一のウェハ搬送容器１０１は、第一の搬送経路２２５により、半導体製造装置２Ｂの容器載置台９から半導体製造装置２Ｃの仮置き台８に搬送される。そして、一のウェハ搬送容器１０１は、第二の搬送経路２３３を用いた基本動作３により、他のウェハ搬送容器１０２への追越し搬送が行われ、半導体製造装置２Ｄの仮置き台８に載置される。さらに、一のウェハ搬送容器１０１は、第一の搬送経路２２８により容器載置台９に搬送される。
【0087】
以上の追越し搬送により、一のウェハ搬送容器１０１、他のウェハ搬送容器１０２の搬送の無駄な停滞や処理の遅滞を防ぐことができる。
【0088】
［搬送制御１０．基本動作３のバリエーション］
なお、他方向側の半導体製造装置２の仮置き台８に載置されたウェハ搬送容器１０に収容されたウェハ４を一方向側に搬送し、一方向側の半導体製造装置２で基本動作３による追越し搬送を行うこともできる。この場合は、上記とは逆に、図３の（ｃ）→（ｂ）→（ａ）の順番に工程が行われる。
なお、他方向側の半導体製造装置２の仮置き台８に載置されたウェハ搬送容器１０に収容されたウェハ４を一方向側に搬送し、一方向側の半導体製造装置２で基本動作３による追越し搬送を行うこともできる。この場合は、上記とは逆に、図３の（ｃ）→（ｂ）→（ａ）の順番に工程が行われる。
【0089】
［作用効果］
以下、この実施の形態１においては、ウェハ搬送容器１０を、容器載置台９、及び仮置き台８、及び隣接する複数の半導体製造装置２の間で搬送する搬送ユニット１１を設ける。搬送ユニット１１は、ウェハ搬送容器１０を容器載置台９から仮置き台８に搬送する基本動作１と、ウェハ搬送容器１０を仮置き台８から容器載置台９に搬送する基本動作２と、ウェハ搬送容器１０を複数の仮置き台８，８のうちの一の仮置き台８から他の仮置き台８に搬送する基本動作３と、をそれぞれ行うように構成されている。
以下、この実施の形態１においては、ウェハ搬送容器１０を、容器載置台９、及び仮置き台８、及び隣接する複数の半導体製造装置２の間で搬送する搬送ユニット１１を設ける。搬送ユニット１１は、ウェハ搬送容器１０を容器載置台９から仮置き台８に搬送する基本動作１と、ウェハ搬送容器１０を仮置き台８から容器載置台９に搬送する基本動作２と、ウェハ搬送容器１０を複数の仮置き台８，８のうちの一の仮置き台８から他の仮置き台８に搬送する基本動作３と、をそれぞれ行うように構成されている。
【0090】
そのため、半導体製造装置２を複数台直列状に並べて半導体製造装置２間でウェハ搬送容器１０を搬送させて複数の工程を行う場合に、多様な搬送を実現できる。たとえば、複数のウェハ搬送容器１０の順序を入れ替えたり、特定のウェハ搬送容器１０を特定の容器載置台９を飛び越して搬送させたりできる。また、そのようなウェハ搬送容器１０の多様な搬送を実現することで、複数のウェハ搬送容器１０の搬送の滞留が生じる事態を抑止できる。
【0091】
これにより、複数の半導体製造装置２で複数の工程を行う場合の工程間の待ち時間の増大を抑止し、生産性を向上させることができる半導体製造装置２を提供できる。
【0092】
この実施の形態１においては、搬送ユニット１１は、複数の半導体製造装置２が併設された状態において、一方向側に隣接された半導体製造装置２の仮置き台８、及び／又は、他方向側に隣接された半導体製造装置２の仮置き台８に収容容器を搬送できる距離まで移動可能に構成されている。そのため、複数の半導体製造装置２間での、搬送ユニット１１による仮置き台８と容器載置台９との間でのウェハ搬送容器１０の搬送や、搬送ユニット１１による仮置き台８と仮置き台８との間でのウェハ搬送容器１０の搬送を支障なく行うことができる。
【0093】
この実施の形態１においては、複数の半導体製造装置２の間で、仮置き台８と仮置き台８との間でのウェハ搬送容器１０の搬送を支障なく行うことができる。
【0094】
この実施の形態１においては、容器載置台９に一のウェハ搬送容器１０が載置された状態で、仮置き台８に載置された他のウェハ搬送容器１０を順方向側、及び／又は、逆方向側に追越し搬送を行わせる。そのため、特定の半導体製造装置２における製造工程の最中に、複数のウェハ搬送容器１０の順序を入れ替えたり、特定のウェハ搬送容器１０を特定の容器載置台９を飛び越して搬送させたり、特定のウェハ搬送容器１０を逆方向に搬送させたりすることを実現できる。これにより、製造工程中の半導体製造装置２において、多様な搬送を実現し、複数のウェハ搬送容器１０の搬送の滞留が生じる事態を抑止できる。
【0095】
この実施の形態１においては、ウェハ搬送容器１０に記録された二次元コード１８によってウェハ搬送容器１０の搬送制御を行うことにより、個々のウェハ搬送容器１０に収容されたウェハ４ごとの製造工程に基づいて、ウェハ搬送容器１０ごとに搬送順序や搬送先を容易かつ確実に制御できる。
【0096】
［変形例］
なお、この実施の形態１の半導体製造装置２においては、容器載置台９の一方向側（図１の（ａ）における右側）に仮置き台８を設け、搬送元である一方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１が搬送先である他方向側（図１の（ａ）における左側）の仮置き台８にウェハ搬送容器１０を搬送する構成とした。しかし、これに限らず、半導体製造装置２において、容器載置台９の他方向側に仮置き台８を設け、搬送先である他方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１が搬送元である一方向側の仮置き台８からウェハ搬送容器１０を搬送する構成としてもよい。
なお、この実施の形態１の半導体製造装置２においては、容器載置台９の一方向側（図１の（ａ）における右側）に仮置き台８を設け、搬送元である一方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１が搬送先である他方向側（図１の（ａ）における左側）の仮置き台８にウェハ搬送容器１０を搬送する構成とした。しかし、これに限らず、半導体製造装置２において、容器載置台９の他方向側に仮置き台８を設け、搬送先である他方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１が搬送元である一方向側の仮置き台８からウェハ搬送容器１０を搬送する構成としてもよい。
【0097】
また、図１の（ａ）に示す、容器載置台９の一方向側に仮置き台８を設ける構成において、他方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１の容器把持部材１６が一方向側の仮置き台８まで移動できる構成とし、搬送先である他方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１が搬送元である一方向側の仮置き台８からウェハ搬送容器１０を搬送する構成としてもよい。
【0098】
【0099】
この実施の形態２の生産ライン１Ｂは、図８の（ａ）に示すように、複数たとえば３つの半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃのそれぞれが、容器載置台９の一方向側（図８の（ａ）に示す右側）の「仮置き台」としての第一の仮置き台２４と、容器載置台９の他方向側（図８の（ａ）に示す左側）の「仮置き台」としての第二の仮置き台２５を備えている。第一の仮置き台２４、第二の仮置き台２５の形状や大きさは、実施の形態１の仮置き台８の形状や大きさと同じである。
【0100】
この実施の形態２の搬送制御装置１７の搬送制御部１７ａは、それぞれの半導体製造装置２の搬送ユニット１１を、下記の（ルール１）及び（ルール２）に基づいて搬送制御を行う。この場合も、実施の形態１の基本動作１，２，３が適宜用いられる。
【0101】
（ルール１）
複数の半導体製造装置２の間でウェハ搬送容器１０を搬送する場合、搬送先である半導体製造装置２の搬送ユニット１１が、搬送元である半導体製造装置２から取得して搬送する。たとえば、図８の（ａ）において、半導体製造装置２Ａから半導体製造装置２Ｂにウェハ搬送容器１０を搬送する場合、半導体製造装置２Ｂの搬送ユニット１１が、半導体製造装置２Ａの第二の仮置き台２５に載置されたウェハ搬送容器１０を把持して半導体製造装置２Ｂ側に搬送する。
複数の半導体製造装置２の間でウェハ搬送容器１０を搬送する場合、搬送先である半導体製造装置２の搬送ユニット１１が、搬送元である半導体製造装置２から取得して搬送する。たとえば、図８の（ａ）において、半導体製造装置２Ａから半導体製造装置２Ｂにウェハ搬送容器１０を搬送する場合、半導体製造装置２Ｂの搬送ユニット１１が、半導体製造装置２Ａの第二の仮置き台２５に載置されたウェハ搬送容器１０を把持して半導体製造装置２Ｂ側に搬送する。
【0102】
（ルール２）
一の半導体製造装置２においてウェハ搬送容器１０を搬送する場合、容器載置台９、第一の仮置き台２４、第二の仮置き台２５のどれをウェハ搬送容器１０の搬送元とし、どれをウェハ搬送容器１０の搬送先としてもよい。
一の半導体製造装置２においてウェハ搬送容器１０を搬送する場合、容器載置台９、第一の仮置き台２４、第二の仮置き台２５のどれをウェハ搬送容器１０の搬送元とし、どれをウェハ搬送容器１０の搬送先としてもよい。
【0103】
この実施の形態２の搬送ユニット１１は、上記の（ルール１）（ルール２）を実現できるように構成される。
【0104】
具体的には、図９の（ｃ）に示すように、搬送ユニット１１の容器把持部材１６は、特定の半導体製造装置２の一方向側に隣接した半導体製造装置２の第二の仮置き台２５の位置から、他方向側に隣接した半導体製造装置２の第一の仮置き台２４までの距離Ｄ２を移動できるように構成される。この場合、搬送ユニット１１は、搬送制御装置１７の搬送制御部１７ａの制御により、距離Ｄ２の範囲で移動するように構成する。これにより、上記（ルール１）も（ルール２）も実行できる。
【0105】
上記以外の構成は、実施の形態１と同じである。
【0106】
［工程と基板搬送の順序］
この実施の形態２においても、実施の形態１の［工程と基板搬送の順序］と同様のウェハ４への工程と、ウェハ搬送容器１０の搬送制御が行われる。
この実施の形態２においても、実施の形態１の［工程と基板搬送の順序］と同様のウェハ４への工程と、ウェハ搬送容器１０の搬送制御が行われる。
【0107】
［搬送制御１１．概説］
図９は、この実施の形態２の生産ライン１Ｂにおけるウェハ搬送容器１０の搬送手順を模式的に示す図である。以下、同図に基づいて搬送手順を説明する。
図９は、この実施の形態２の生産ライン１Ｂにおけるウェハ搬送容器１０の搬送手順を模式的に示す図である。以下、同図に基づいて搬送手順を説明する。
【0108】
［搬送制御１２．前提動作］
生産工程開始前、及び、生産工程開始から一方向側の半導体製造装置２で処理工程を行うときは、上記（ルール２）により、実施の形態１の［搬送制御２．前提動作］と同様の工程が行われる。
生産工程開始前、及び、生産工程開始から一方向側の半導体製造装置２で処理工程を行うときは、上記（ルール２）により、実施の形態１の［搬送制御２．前提動作］と同様の工程が行われる。
【0109】
即ち、図９の（ａ）に示すとおり、一方向側の半導体製造装置２の第一の仮置き台２４にウェハ搬送容器１０が載置されると、図９の（ｂ）に示すとおり、搬送ユニット１１の容器把持部材１６がウェハ搬送容器１０を把持する。そして、基本動作２により、矢印Ａに示すように、その半導体製造装置２の容器載置台９まで搬送する。
【0110】
半導体製造装置２でのウェハ４の処理が完了すると、その半導体製造装置２の搬送ユニット１１の容器把持部材１６が容器載置台９のウェハ搬送容器１０を把持し、図９の（ｂ）の矢印Ｂに示すように、基本動作１により、その半導体製造装置２の第二の仮置き台２５まで搬送する。
【0111】
［搬送制御１３．ルール１による搬送］
一方向側の半導体製造装置２から他方向側の半導体製造装置２にウェハ搬送容器１０を搬送するときは、上記（ルール１）による工程が行われる。
一方向側の半導体製造装置２から他方向側の半導体製造装置２にウェハ搬送容器１０を搬送するときは、上記（ルール１）による工程が行われる。
【0112】
すなわち、図９の（ｃ）に示すように、搬送先である他方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１の容器把持部材１６を、搬送元である一方向側の半導体製造装置２の第二の仮置き台２５上に移動させる。そして、容器把持部材１６は、第二の仮置き台２５上のウェハ搬送容器１０を把持し、矢印Ｃに示すように上方に持ち上げる。搬送ユニット１１は、矢印Ｄに示すように容器把持部材１６を他方向側に移動させる。搬送ユニット１１は、図９の（ｄ）に示すように、ウェハ搬送容器１０を他方向側の半導体製造装置２の容器載置台９上に載置する。
【0113】
なお、さらに他方向側の半導体製造装置２（図９の（ｃ）の点線表記参照）にウェハ搬送容器１０を搬送する場合は、図９の（ｄ）の矢印Ｅに示すように、搬送ユニット１１は容器載置台９上のウェハ搬送容器１０を第二の仮置き台２５上に搬送する。その後、さらに他方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット（図示せず）は図９の（ｃ）の矢印Ｃ，Ｄと同様の搬送制御を行う。
【0114】
［搬送制御１４：ルール１とルール２のバリエーション］
上記とは逆に、まず他方向側の半導体製造装置２、次いで一方向側の半導体製造装置２で処理工程を行う場合は、上述の説明とは逆に、図９の（ｄ）→（ｃ）→（ｂ）→（ａ）の順番に工程が行われる。ただしこの場合、図９の（ｄ）（ｃ）（ｂ）（ａ）においては、下記のように搬送が行われる。
図９の（ｄ）：（ルール２）により、他方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１が、矢印Ｆに示すように、容器載置台９上のウェハ搬送容器１０を第一の仮置き台２４上に搬送する。
図９の（ｃ）：（ルール１）により、一方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１が、他方向側の半導体製造装置２の第一の仮置き台２４上のウェハ搬送容器１０（図９の（ｄ）参照）を、一方向側の半導体製造装置２の容器載置台９上に搬送する。
図９の（ｂ）：（ルール２）により、一方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１が、矢印Ｇに示すように、一方向側の半導体製造装置２の容器載置台９上のウェハ搬送容器１０を第一の仮置き台２４に搬送する。これにより、図９の（ａ）に示す状態となる。
上記とは逆に、まず他方向側の半導体製造装置２、次いで一方向側の半導体製造装置２で処理工程を行う場合は、上述の説明とは逆に、図９の（ｄ）→（ｃ）→（ｂ）→（ａ）の順番に工程が行われる。ただしこの場合、図９の（ｄ）（ｃ）（ｂ）（ａ）においては、下記のように搬送が行われる。
図９の（ｄ）：（ルール２）により、他方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１が、矢印Ｆに示すように、容器載置台９上のウェハ搬送容器１０を第一の仮置き台２４上に搬送する。
図９の（ｃ）：（ルール１）により、一方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１が、他方向側の半導体製造装置２の第一の仮置き台２４上のウェハ搬送容器１０（図９の（ｄ）参照）を、一方向側の半導体製造装置２の容器載置台９上に搬送する。
図９の（ｂ）：（ルール２）により、一方向側の半導体製造装置２の搬送ユニット１１が、矢印Ｇに示すように、一方向側の半導体製造装置２の容器載置台９上のウェハ搬送容器１０を第一の仮置き台２４に搬送する。これにより、図９の（ａ）に示す状態となる。
【0115】
［搬送制御１５：追越し搬送］
図１０は、この実施の形態２における、追越し搬送を模式的に示す概略図である。
図１０は、この実施の形態２における、追越し搬送を模式的に示す概略図である。
【0116】
図１０の（ａ）～（ｄ）には、半導体製造装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃが一連に設置された状態の概略が示されている。図１０には、半導体製造装置２Ｂの容器載置台９に載置されたウェハ搬送容器１０１に対し、一方向側（図１０の右側）から他方向側（図１０の左側）に順方向側の追越し搬送が行われる場合と、他方向側から一方向側に逆方向側の追越し搬送が行われる場合を模式的に示している。
【0117】
まず、図１０の（ａ）に示すように、半導体製造装置２Ｂの容器載置台９には、ウェハ搬送容器１０１が載置され、半導体製造装置２Ａの容器載置台９には、ウェハ搬送容器１０２が載置されている。半導体製造装置２Ｂの容器載置台９のウェハ搬送容器１０１の位置が固定された状態のまま、半導体製造装置２Ａの容器載置台９のウェハ搬送容器１０２は、基本動作１により第二の仮置き台２５（図１０の（ｂ））に、基本動作３により半導体製造装置２Ｂの第二の仮置き台２５（図１０の（ｃ））に、基本動作２により半導体製造装置２Ｃの容器載置台９（図１０の（ｄ））に、と順次搬送される。このようにして、順方向側の追越し搬送が行われる。
【0118】
次に、図１０の（ａ）に示すように、半導体製造装置２Ｂの第二の仮置き台２５には、ウェハ搬送容器１０３が載置されている。半導体製造装置２Ｂの容器載置台９のウェハ搬送容器１０１の位置が固定された状態のまま、基本動作３により半導体製造装置２Ｂの第一の仮置き台２４に搬送される。このようにして、逆方向側の追越し搬送が行われる。
【0119】
［搬送制御１６：すれ違い搬送］
図１１は、この実施の形態２における、すれ違い搬送を模式的に示す概略図である。このすれ違い搬送とは、一方向側の「第一の収容容器」としてのウェハ搬送容器１０を他方向側に、他方向側の「第二の収容容器としての」ウェハ搬送容器１０を一方向側にそれぞれ搬送して並び順を入れ替える工程のことである（以下本明細書において同じ。）。
図１１は、この実施の形態２における、すれ違い搬送を模式的に示す概略図である。このすれ違い搬送とは、一方向側の「第一の収容容器」としてのウェハ搬送容器１０を他方向側に、他方向側の「第二の収容容器としての」ウェハ搬送容器１０を一方向側にそれぞれ搬送して並び順を入れ替える工程のことである（以下本明細書において同じ。）。
【0120】
図１１の（ａ）～（ｄ）には、半導体製造装置２Ａ，２Ｂが並んで設置された状態の概略が示されている。図１１の（ａ）には、一方向側（図１１の右側）の半導体製造装置２Ａの容器載置台９にウェハ搬送容器１０１が、他方向側（図１１の左側）の半導体製造装置２Ｂの容器載置台９にウェハ搬送容器１０２が、それぞれ載置された状態を模式的に示している。
【0121】
ウェハ搬送容器１０１は、基本動作１により半導体製造装置２Ａの容器載置台９（図１１の（ａ））から第二の仮置き台２５に（図１１の（ｂ））、さらに、基本動作２により半導体製造装置２Ｂの容器載置台９に、一方向側に搬送される（図１１の（ｃ）（ｄ））。一方、ウェハ搬送容器１０２は、基本動作１により半導体製造装置２Ｂの容器載置台９（図１１の（ａ））から第一の仮置き台２４に（図１１の（ｂ）（ｃ））に、さらに、基本動作２により半導体製造装置２Ａの容器載置台９に搬送される（図１１の（ｄ））。このようにして、ウェハ搬送容器１０１，１０２のすれ違い搬送が行われる。
【0122】
［作用効果］
この実施の形態２においては、上記実施の形態１に示す作用効果に加え、以下の作用効果を奏する。
この実施の形態２においては、上記実施の形態１に示す作用効果に加え、以下の作用効果を奏する。
【0123】
この実施の形態２においては、一の半導体製造装置２において、第一の仮置き台２４と第二の仮置き台２５との間でのウェハ搬送容器１０の搬送を支障なく行うことができる。
【0124】
この実施の形態２においては、ウェハ搬送容器１０の搬送先側にある搬送ユニット１１がウェハ搬送容器１０を取得して搬送する、又は、ウェハ搬送容器１０の搬送元側にある搬送ユニット１１がウェハ搬送容器１０を取得して搬送する、ように構成されている。そのため、搬送ユニット１１を画一的な制御手順によって制御することができる。そのため、搬送制御部１７ａにおける制御用のプログラムや搬送ユニット１１等の制御用の機構を画一化、簡略化することができ、搬送制御の煩雑化を抑止できる。
【0125】
この実施の形態２においては、同一の半導体製造装置２における、一方向側の第一の仮置き台２４、容器載置台９、他方向側の第二の仮置き台２５のうちの何れを搬送元とし、何れを搬送先とできることにより、同一の半導体製造装置２において、第一の動作、第二の動作、第三の動作を支障なく行うことができる。これにより、同一の半導体製造装置２において、多様な搬送を実現し、複数のウェハ搬送容器１０の搬送の滞留が生じる事態を抑止できる。
【0126】
この実施の形態２においては、第一のウェハ搬送容器１０１を順方向側に、第二のウェハ搬送容器１０２を逆方向側に搬送させることにより、複数のウェハ搬送容器１０１，１０２の多様な搬送を迅速に支障なく行うことができる。
【0127】
上記実施の形態１及び２は本発明の例示であり、本発明が上記実施の形態１及び２のみに限定されることを意味するものではないことは、いうまでもない。
【符号の説明】
【0128】
２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ，１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃ・・・半導体製造装置（製造装置）
３・・・筐体
４・・・ウェハ（基板）
７・・・凹部
８，１０２・・・仮置き台
９，１０３・・・容器載置台
１０，１０１，１０２，１００１，１００２，１００３・・・ウェハ搬送容器（収容容器）
１１・・・搬送ユニット
１８・・・二次元コード
２０・・・カメラ（読取手段）
２４・・・第一の仮置き台（仮置き台）
２５・・・第一の仮置き台（仮置き台）
３・・・筐体
４・・・ウェハ（基板）
７・・・凹部
８，１０２・・・仮置き台
９，１０３・・・容器載置台
１０，１０１，１０２，１００１，１００２，１００３・・・ウェハ搬送容器（収容容器）
１１・・・搬送ユニット
１８・・・二次元コード
２０・・・カメラ（読取手段）
２４・・・第一の仮置き台（仮置き台）
２５・・・第一の仮置き台（仮置き台）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】