発明の名称 薄膜アセンブリを製造する方法
出願人 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. (識別番号 504151804)
特許公開件数ランキング 225 位(141件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 346 位(76件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2024-83433
公報発行日 2024年6月21
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-83433
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