特開 2024-87131 電解めっき装置および電解めっき装置の運転方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024087131

(43)【公開日】2024-07-01

(54)【発明の名称】電解めっき装置および電解めっき装置の運転方法

(51)【国際特許分類】

   C25D 17/08 20060101AFI20240624BHJP

   C25D 21/12 20060101ALI20240624BHJP

   C25D 7/06 20060101ALI20240624BHJP

【ＦＩ】

C25D17/08 J

C25D21/12 G

C25D7/06 E

C25D7/06 H

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022201750

(22)【出願日】2022-12-19

(71)【出願人】

【識別番号】000183303

【氏名又は名称】住友金属鉱山株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001704

【氏名又は名称】弁理士法人山内特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】白石 潤一

【テーマコード（参考）】

4K024

【Ｆターム（参考）】

4K024CB24

4K024EA04

(57)【要約】

【課題】挟持片を固定するボルトが脱落してもめっき処理を継続できる電解めっき装置を提供する。
【解決手段】電解めっき装置は、基材Ｆを把持して電解めっき装置内を搬送する複数のクランプ２０と、脱落検知装置５０とを有する。クランプ２０は、ヒンジ２１を介して連結された一対のアーム２２Ａ、２２Ｂと、アーム２２Ａの先端に２本のボルトで固定された挟持片３０Ａと、挟持片３０Ａをアーム２２Ａに対して回り止めする係止部とを有する。脱落検知装置５０は挟持片３０Ａを固定するボルトの脱落を検知する。挟持片３０Ａを固定する２本のボルトのうち１本が脱落しても係止部により挟持片３０Ａの傾きが抑制されるため、基材Ｆを正常に把持でき、めっき処理を継続できる。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

長尺帯状の基材に対して電解めっきを行う電解めっき装置であって、
前記基材を把持して前記電解めっき装置内を搬送する複数のクランプと、
脱落検知装置と、を備え、
前記クランプは、
ヒンジを介して連結された一対のアームと、
前記アームの先端に２本のボルトで固定された挟持片と、
前記挟持片を前記アームに対して回り止めする係止部と、を備え、
前記脱落検知装置は、前記挟持片を固定する前記ボルトの脱落を検知する
ことを特徴とする電解めっき装置。

【請求項2】

前記係止部は、前記挟持片の幅方向に沿った突条であり、前記挟持片における前記アームの先端縁に係止する位置に設けられている
ことを特徴とする請求項１記載の電解めっき装置。

【請求項3】

前記係止部は、前記アームの幅方向に沿った突条であり、前記アームにおける前記挟持片の基端縁に係止する位置に設けられている
ことを特徴とする請求項１記載の電解めっき装置。

【請求項4】

前記脱落検知装置は、前記挟持片の前記アームに対する傾きに基づき、前記ボルトの脱落を検知する
ことを特徴とする請求項１記載の電解めっき装置。

【請求項5】

前記脱落検知装置は、
前記アームを検知するアームセンサと、
前記挟持片を検知する挟持片センサと、
前記アームセンサおよび前記挟持片センサの検知位置のずれ量に基づき前記挟持片が傾いているか否かを判断する判断部と、を備える
ことを特徴とする請求項４記載の電解めっき装置。

【請求項6】

請求項１～５のいずれかに記載の電解めっき装置の運転方法であって、
ロールツーロールにより前記基材を搬送しつつめっき被膜を成膜するとともに、前記脱落検知装置で前記ボルトの脱落を検知する電解めっき工程を備え、
前記脱落検知装置が前記ボルトの脱落を検知した場合に、１ロールの前記基材に対するめっき処理が終了するまで前記電解めっき装置の運転を継続し、前記めっき処理の終了後に前記電解めっき装置を停止して前記ボルトの脱落を解消する
ことを特徴とする電解めっき装置の運転方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電解めっき装置および電解めっき装置の運転方法に関する。さらに詳しくは、本発明は、基材に対して電解めっきを行う電解めっき装置およびその運転方法に関する。

【背景技術】

【0002】

液晶パネル、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話などの電子機器には、樹脂フィルムの表面に配線パターンが形成されたフレキシブルプリント配線板が用いられる。フレキシブルプリント配線板は樹脂フィルムに銅箔を積層した銅張積層板から製造される。

【0003】

銅張積層板の製造方法としてメタライジング法が知られている。メタライジング法による銅張積層板の製造は、例えば、つぎの手順で行われる。まず、樹脂フィルムの表面にニッケルクロム合金からなる下地金属層を成膜する。つぎに、下地金属層の上に銅薄膜層を成膜する。つぎに、銅薄膜層の上に銅めっき被膜を成膜する。銅めっきにより、配線パターンを形成するのに適した膜厚となるまで導体層を厚膜化する。メタライジング法により、樹脂フィルム上に直接導体層が形成された、いわゆる２層基板と称されるタイプの銅張積層板が得られる。

【0004】

銅めっき被膜は電解めっき装置を用いて成膜される。電解めっき装置として、ロールツーロールにより長尺帯状の基材を搬送しつつ、基材に対して電解めっきを行う装置が知られている（例えば、特許文献１）。この種の電解めっき装置は複数のクランプが設けられた上下一対のエンドレスベルトを有する。基材はその幅方向が鉛直方向に沿う懸垂姿勢となり、両縁が上下のクランプに把持される。エンドレスベルトの動作により基材はめっき槽内を搬送される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０２１－１２３７４１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

基材を把持するクランプはヒンジを介して連結された一対のアームを有する。両アームそれぞれの先端には挟持片が固定されている。２つの挟持片が基材を表裏から挟むことで基材を把持でき、また、基材の表裏両面に給電できる。

【0007】

挟持片はアームに対してボルトで固定される。電解めっき装置の操業を継続すると、クランプの開閉動作が繰り返され、その振動により挟持片を固定するボルトが緩み脱落することがある。挟持片を２本のボルトで固定した場合、１本のボルトが脱落しても挟持片の脱落は免れる。しかし、挟持片は残る１本のボルトを中心に回転して傾く。そうすると、表裏の挟持片が噛み合わなくなり基材を把持できなくなる。ひどい場合には基材が破損する。また、基材の表裏両面に均一に給電できなくなる。さらに、傾いた挟持片が電解めっき装置の他の構成部材と接触し、その部材が損傷することがある。

【0008】

挟持片を固定するボルトが脱落した場合に、電解めっき装置を停止することも考えられる。しかし、長尺帯状の基材に対してめっき処理している途中で装置を停止すると、その基材の全てが不良品となるため、生産性が大幅に低下する。

【0009】

本発明は上記事情に鑑み、挟持片を固定するボルトが脱落してもめっき処理を継続できる電解めっき装置、およびその電解めっき装置の運転方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の電解めっき装置は、長尺帯状の基材に対して電解めっきを行う電解めっき装置であって、前記基材を把持して前記電解めっき装置内を搬送する複数のクランプと、脱落検知装置と、を備え、前記クランプは、ヒンジを介して連結された一対のアームと、前記アームの先端に２本のボルトで固定された挟持片と、前記挟持片を前記アームに対して回り止めする係止部と、を備え、前記脱落検知装置は、前記挟持片を固定する前記ボルトの脱落を検知することを特徴とする。
本発明の電解めっき装置の運転方法は、ロールツーロールにより前記基材を搬送しつつめっき被膜を成膜するとともに、前記脱落検知装置で前記ボルトの脱落を検知する電解めっき工程を備え、前記脱落検知装置が前記ボルトの脱落を検知した場合に、１ロールの前記基材に対するめっき処理が終了するまで前記電解めっき装置の運転を継続し、前記めっき処理の終了後に前記電解めっき装置を停止して前記ボルトの脱落を解消することを特徴とする。

【発明の効果】

【0011】

本発明の電解めっき装置によれば、挟持片を固定する２本のボルトのうち１本が脱落しても係止部により挟持片の傾きが抑制されるため、基材を正常に把持できる。そのため、めっき処理を継続できる。
本発明の電解めっき装置の運転方法によれば、挟持片を固定するボルトが脱落しても１ロールの基材に対するめっき処理が終了するまで電解めっき装置の運転を継続するため、基材が不良品とならず、生産性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の一実施形態に係る電解めっき装置の斜視図である。

【図2】クランプの側面図である。

【図3】クランプの正面図である。

【図4】図（Ａ）は挟持片の正面図である。図（Ｂ）は挟持片の側面図である。

【図5】図（Ａ）は挟持片の変形例の正面図である。図（Ｂ）は挟持片の変形例の側面図である。

【図6】図（Ａ）はボルトが脱落していない場合における脱落検知装置の検知状態の説明図である。図（Ｂ）はボルトが脱落している場合における脱落検知装置の検知状態の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

つぎに、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。
〔電解めっき装置〕
図１に示すように、本発明の一実施形態に係る電解めっき装置ＡＡは、ロールツーロールにより長尺帯状の基材Ｆを搬送しつつ、基材Ｆに対して電解めっきを行う装置である。基材Ｆは薄膜状であり、その両面または片面にめっき被膜が成膜される。

【0014】

電解めっき装置ＡＡはロール状に巻回された基材Ｆを繰り出す供給装置１１と、めっき後の製品をロール状に巻き取る巻取装置１２とを有する。また、電解めっき装置ＡＡは基材Ｆを搬送する上下一対のエンドレスベルト１３（下側のエンドレスベルト１３は図示省略）を有する。エンドレスベルト１３は各種のローラで画定された経路を周回する。エンドレスベルト１３には基材Ｆを把持する複数のクランプ２０が設けられている。供給装置１１から繰り出された基材Ｆは、その幅方向が鉛直方向に沿う懸垂姿勢となり、両縁が上下のクランプ２０に把持される。基材Ｆはエンドレスベルト１３の動作により電解めっき装置ＡＡ内を周回した後、クランプ２０から開放され、巻取装置１２で巻き取られる。

【0015】

基材Ｆの搬送経路には、前処理槽１４、めっき槽１５、および後処理槽１６が配置されている。基材Ｆは、前処理槽１４、めっき槽１５、および後処理槽１６の内部をこの順に通過する。

【0016】

前処理槽１４は、基材Ｆの表面を清浄化したり、濡れ性を高めたりする前処理を行う槽である。

【0017】

めっき槽１５は基材Ｆの搬送方向に沿った横長の槽である。めっき槽１５にはめっき液が貯留されている。めっき槽１５内を搬送される基材Ｆは、その全体がめっき液に浸漬されている。めっき槽１５の内部には、基材Ｆの搬送方向に沿ってアノードが配置されている。また、後述のごとく、上側のエンドレスベルト１３に設けられたクランプ２０は基材Ｆに電流を供給する給電端子としての機能も有する。基材Ｆとアノードとの間に電流を流すことで、基材Ｆの表面にめっき被膜を成膜できる。

【0018】

後処理槽１６は、めっき被膜が成膜された基材Ｆの洗浄などの後処理を行う槽である。

【0019】

図２に示すように、クランプ２０は所謂バネクランプである。クランプ２０はヒンジ２１を介して連結された一対のアーム２２Ａ、２２Ｂを有する。一対のアーム２２Ａ、２２Ｂのうちの一方は可動アーム２２Ａであり、他方は固定アーム２２Ｂである。可動アーム２２Ａはヒンジ２１を中心として固定アーム２２Ｂに対して回動可能である。また、各アーム２２Ａ、２２Ｂの先端（図２における下端）には挟持片３０Ａ、３０Ｂが固定されている。可動アーム２２Ａが固定アーム２２Ｂに対して回動することにより、２つの挟持片３０Ａ、３０Ｂの間が開閉する。

【0020】

ヒンジ２１はアーム２２Ａ、２２Ｂのそれぞれに設けられたブラケットと、両ブラケットを連結するピンとからなる。また、ピンにはねじりコイルバネ２３が介装されている。ねじりコイルバネ２３は２つの挟持片３０Ａ、３０Ｂの間が閉じる方向にアーム２２Ａ、２２Ｂを付勢している。

【0021】

挟持片３０Ａの先端部と挟持片３０Ｂの先端部との間に基材Ｆの上縁が把持される。ねじりコイルバネ２３の付勢力により２つの挟持片３０Ａ、３０Ｂの間を閉じることで、基材Ｆを把持できる。また、２つの挟持片３０Ａ、３０Ｂの間を開くことで、把持していた基材Ｆを開放できる。

【0022】

固定アーム２２Ｂの上部には表裏両面にローラ２４が軸支されている。ローラ２４は電解めっき装置ＡＡ内の固定部材であるレール２５上を転動する。また、固定アーム２２Ｂにはエンドレスベルト１３（図２において図示省略）が結合されている。そのため、エンドレスベルト１３が移動すると、クランプ２０が一定の高さを保ちつつ移動する。

【0023】

可動アーム２２Ａの上端にはブラケットを介してローラ２６が回転自在に設けられている。ローラ２６を押し上げると２つの挟持片３０Ａ、３０Ｂの間が開く。基材Ｆの搬送経路のうち、前処理槽１４の直前および後処理槽１６の直後には、ローラ２６を押し上げるレールが配置されている。前処理槽１４の直前でローラ２６を押し上げ、開いた挟持片３０Ａ、３０Ｂの間に基材Ｆを挿入した後、挟持片３０Ａ、３０Ｂを閉じることで基材Ｆを把持できる。また、後処理槽１６の直後にローラ２６を押し上げ挟持片３０Ａ、３０Ｂを開くことで基材Ｆを開放できる。

【0024】

固定アーム２２Ｂの上端には略水平に配置された板状の接触板２７が設けられている。接触板２７は給電装置４０と接触し、給電装置４０から電流の供給を受ける。アーム２２Ａ、２２Ｂおよび挟持片３０Ａ、３０Ｂは金属などの導電体で形成されている。また、固定アーム２２Ｂと可動アーム２２Ａとはヒンジ２１で接触しており、導通している。給電装置４０から供給された電流は、アーム２２Ａ、２２Ｂおよび挟持片３０Ａ、３０Ｂを流れて、基材Ｆに供給される。この際、基材Ｆの一方の主面には可動アーム２２Ａ側の挟持片３０Ａが接触し、挟持片３０Ａから給電される。また、基材Ｆの他方の主面には固定アーム２２Ｂ側の挟持片３０Ｂが接触し、挟持片３０Ｂから給電される。

【0025】

図３に示すように、エンドレスベルト１３（図３において図示省略）には、上記構成のクランプ２０が複数並んで設けられている。めっき槽１５の上方には給電装置４０が設けられている。給電装置４０は基材Ｆの搬送経路に沿って略水平に設けられたブスバー４１を有する。ブスバー４１は図示しない整流器に接続されている。ブスバー４１の下方には複数の給電ブラシ４２が並べて配置されている。各給電ブラシ４２は圧縮バネ４３を介してブスバー４１に取り付けられている。圧縮バネ４３の付勢により給電ブラシ４２は固定アーム２２Ｂの接触板２７に押し付けられている。

【0026】

エンドレスベルト１３の動作にともない、複数のクランプ２０は略水平方向に移動する。この際、クランプ２０の接触板２７は給電装置４０の給電ブラシ４２に順次接触する。整流器から供給された電流は、ブスバー４１および給電ブラシ４２を介して各クランプ２０に供給される。また、各クランプ２０から基材Ｆに電流が供給される。このように、給電装置４０はクランプ２０を介して基材Ｆに給電する。

【0027】

図４（Ａ）および図４（Ｂ）に示すように、挟持片３０Ａはアーム２２Ａの先端に２本のボルト３１、３１で固定されている。挟持片３０Ａは基材Ｆへの給電を継続すると劣化するため、定期的にまたは不定期で交換する必要がある。挟持片３０Ａを交換可能とするため、挟持片３０Ａはアーム２２Ａに一体形成されておらず、別部材としてボルト３１で固定されている。

【0028】

２本のボルト３１、３２は、いずれも、挟持片３０Ａが正常な姿勢でアーム２２Ａに取り付けられている場合において、挟持片３０Ａの重心Ｇを通る鉛直線上以外の位置に設けられている。例えば、２本のボルト３１、３２は挟持片３０Ａの左右に設けられている。したがって、いずれか１本のボルト３１が脱落すると、挟持片３０Ａは残る１本のボルト３１を中心に回転して傾く。

【0029】

挟持片３０Ａにはこの傾きを抑制する係止部３２が設けられている。係止部３２は挟持片３０Ａをアーム２２Ａに対して回り止めする部材であればよく、種々の構成を採用できる。図示の例では、係止部３２は挟持片３０Ａの幅方向に沿った突条である。係止部３２（突条）は挟持片３０Ａの裏面であって、アーム２２Ａの先端縁２２ｅに係止する位置に設けられている。係止部３２がアーム２２Ａの先端縁２２ｅに係止することで、挟持片３０Ａの傾きが抑制される。

【0030】

もう一方の挟持片３０Ｂも同様の構成である。すなわち、挟持片３０Ｂはアーム２２Ｂの先端に２本のボルト３１、３１で固定されている。また、挟持片３０Ｂに係止部３２が設けられている。係止部３２がアーム２２Ｂの先端縁２２ｅに係止することで、挟持片３０Ｂの傾きが抑制される。

【0031】

図５（Ａ）および図５（Ｂ）に示すように、係止部３２をアーム２２Ａに設けてもよい。すなわち、係止部３２はアーム２２Ａの幅方向に沿った突条である。係止部３２（突条）はアーム２２Ａの表面であって、挟持片３０Ａの基端縁３０ｅに係止する位置に設けられている。係止部３２が挟持片３０Ａの基端縁３０ｅに係止することで、挟持片３０Ａの傾きが抑制される。

【0032】

もう一方のアーム２２Ｂも同様の構成である。すなわち、アーム２２Ｂに係止部３２が設けられている。係止部３２が挟持片３０Ｂの基端縁３０ｅに係止することで、挟持片３０Ｂの傾きが抑制される。

【0033】

以上のように、クランプ２０は係止部３２を有するため、挟持片３０Ａまたは３０Ｂを固定する２本のボルト３１、３１のうち１本が脱落しても係止部３２により挟持片３０Ａ、３０Ｂの傾きが抑制される。そのため、表裏の挟持片３０Ａ、３０Ｂが噛み合う状態を維持でき、基材Ｆを正常に把持できる。換言すれば、係止部３２は挟持片３０Ａ、３０Ｂが噛み合う状態を維持できる程度に挟持片３０Ａ、３０Ｂの傾きを抑制できればよい。挟持片３０Ａ、３０Ｂの形状にもよるが、傾きを３°以下、好ましくは２°以下に抑制できればよい。ボルト３１が脱落しても基材Ｆを正常に把持できることから、めっき処理を継続しても基材Ｆの破損、不均一な給電、部材の損傷などの問題が生じることがない。

【0034】

また、係止部３２があれば、挟持片３０Ａ、３０Ｂをアーム２２Ａ、２２Ｂに取り付ける際に挟持片３０Ａ、３０Ｂを位置決めできる。そのため、取付作業が容易になり作業時間を短縮できる。

【0035】

図２に示すように、本実施形態の電解めっき装置ＡＡは、挟持片３０Ａを固定するボルト３１の脱落を検知する脱落検知装置５０を有する。脱落検知装置５０はボルト３１の脱落を直接的または間接的に検知できればよく、どのような構成でもよい。図示の例では、脱落検知装置５０は、アーム２２Ｂに対する挟持片３０Ａの傾きに基づき、間接的にボルト３１の脱落を検知する構成である。

【0036】

脱落検知装置５０は、アーム２２Ｂを検知するアームセンサ５１と、挟持片３０Ａ、３０Ｂを検知する挟持片センサ５２とを有する。アームセンサ５１および挟持片センサ５２として光電センサ、超音波センサなどの非接触式センサが好適に用いられる。非接触式センサは検知軸上の物体との距離を測定する。アームセンサ５１の検知軸は固定アーム２２Ｂが通過する位置に設定される。挟持片センサ５２の検知軸は挟持片３０Ａ、３０Ｂが通過する位置に設定される。

【0037】

アームセンサ５１および挟持片センサ５２は、クランプ２０の移動経路のいずれかの位置に固定される。アームセンサ５１および挟持片センサ５２の配置は特に限定されないが、他の部材との干渉を避けるため、前処理槽１４、めっき槽１５、および後処理槽１６の外部であることが好ましい。

【0038】

クランプ２０はエンドレスベルト１３の動作により移動するため、アームセンサ５１および挟持片センサ５２をいずれかの位置に固定しておけば、全てのクランプ２０に対して、アーム２２Ｂおよび挟持片３０Ａ、３０Ｂを検知できる。

【0039】

アームセンサ５１および挟持片センサ５２の検知結果は判断部５３に入力されている。判断部５３としてコンピュータ、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）などを用いることができる。判断部５３はアームセンサ５１および挟持片センサ５２の検知位置のずれ量に基づき挟持片３０Ａ、３０Ｂが傾いているか否かを判断する機能を有する。

【0040】

図６（Ａ）は、挟持片３０Ａ、３０Ｂを固定するボルト３１がいずれも脱落していない正常な状態を示す。アームセンサ５１は検知軸上においてアーム２２Ｂが存在する範囲、すなわちアーム２２Ｂの幅Ｌ１を検知する。また、挟持片センサ５２は検知軸上において挟持片３０Ａ、３０Ｂが存在する範囲、すなわち挟持片３０Ａと挟持片３０Ｂとを合わせた幅Ｌ２を検知する。

【0041】

判断部５３はアームセンサ５１の検知結果からアーム２２Ｂの中心位置Ｃ１を特定する。また、判断部５３は挟持片センサ５２の検知結果から挟持片３０Ａ、３０Ｂの中心位置Ｃ２を特定する。挟持片３０Ａおよび挟持片３０Ｂのいずれも傾いていない状態では、アーム２２Ｂの中心位置Ｃ１と挟持片３０Ａ、３０Ｂの中心位置Ｃ２とが一致するはずである。したがって、判断部５３はアーム２２Ｂの中心位置Ｃ１と挟持片３０Ａ、３０Ｂの中心位置Ｃ２とのずれ量が閾値未満の場合に、挟持片３０Ａおよび挟持片３０Ｂのいずれも傾いていないと判断する。

【0042】

図６（Ｂ）は、挟持片３０Ａを固定する２本のボルト３１、３１のうちの片方が脱落して挟持片３０Ａが傾いた状態を示す。なお、図６（Ｂ）は、説明の便宜のため、挟持片３０Ａの傾きを誇張している。挟持片３０Ａが傾くと、挟持片センサ５２が検知する挟持片３０Ａと挟持片３０Ｂとを合わせた幅Ｌ２が全体的に横ずれする。したがって、挟持片３０Ａ、３０Ｂの中心位置Ｃ２はアーム２２Ｂの中心位置Ｃ１に対してずれる。判断部５３はアーム２２Ｂの中心位置Ｃ１と挟持片３０Ａ、３０Ｂの中心位置Ｃ２とのずれ量が閾値以上の場合に、挟持片３０Ａまたは挟持片３０Ｂが傾いていると判断する。なお、閾値は挟持片３０Ａ、３０Ｂの傾きを検知できる値に設定される。

【0043】

挟持片３０Ａの傾きの判断は、アーム２２Ｂの中心位置Ｃ１と挟持片３０Ａ、３０Ｂの中心位置Ｃ２とを比較する方法に限定されない。例えば、判断部５３はアーム２２Ｂの側部と挟持片３０Ａ、３０Ｂの側部との位置関係から挟持片３０Ａまたは挟持片３０Ｂが傾いているか否かを判断してもよい。また、アームセンサ５１はアーム２２Ａを検知してもよい。この場合、判断部５３はアーム２２Ａと挟持片３０Ａ、３０Ｂとの位置関係に基づき挟持片３０Ａ、３０Ｂが傾いているか否かを判断する。

【0044】

挟持片センサ５２をクランプ２０の表裏両側に設けて、表側の挟持片センサ５２で表側の挟持片３０Ａのみを検知し、裏側の挟持片センサ５２で裏側の挟持片３０Ｂのみを検知してもよい。そうすれば、挟持片３０Ａおよび挟持片３０Ｂのいずれのボルト３１が脱落したのかを判別できる。

【0045】

〔電解めっき装置の運転方法〕
つぎに、電解めっき装置ＡＡの運転方法を説明する。
図１に示すように、まず、基材Ｆをロール状に巻回した基材ロールを供給装置１１にセットする。例えば、基材Ｆは絶縁性を有するベースフィルムの両面または片面に金属層が形成されたものである。ベースフィルムとしてポリイミドフィルムなどの樹脂フィルムを用いることができる。金属層はスパッタリングなどの真空成膜法により成膜される。金属層は下地金属層と銅薄膜層とからなる。一般に、下地金属層はニッケル、クロム、またはニッケルクロム合金からなる。

【0046】

電解めっき装置ＡＡの運転を開始し、ロールツーロールにより基材Ｆを搬送しつつ、基材Ｆの両面または片面にめっき被膜を成膜する（電解めっき工程）。基材Ｆは供給装置１１から繰り出され、前処理槽１４、めっき槽１５、および後処理槽１６の内部をこの順に通過し、巻取装置１２で巻き取られる。めっき槽１５内において基材Ｆに対する電解めっきが行われる。基材Ｆに銅めっき被膜を成膜すれば銅張積層板が得られる。なお、電解めっき装置ＡＡは銅張積層板を製造するのに限定されず、種々の製品を製造するのに用いられる。

【0047】

基材Ｆに対してめっき処理を行う間、脱落検知装置５０で挟持片３０Ａ、３０Ｂを固定するボルト３１の脱落を検知する。複数のクランプ２０はエンドレスベルト１３の動作により移動するため、クランプ２０の搬送経路上に設けられた一つの脱落検知装置５０で全てのクランプ２０に対するボルト３１の脱落を検知できる。

【0048】

脱落検知装置５０がいずれかのクランプ２０のボルト３１の脱落を検知した場合であっても、供給装置１１にセットされている１ロールの基材Ｆに対するめっき処理が終了するまで電解めっき装置ＡＡの運転を継続することが好ましい。

【0049】

クランプ２０は係止部３２を有するため、挟持片３０Ａまたは３０Ｂを固定する２本のボルト３１、３１のうち１本が脱落しても挟持片３０Ａ、３０Ｂの傾きが抑制され、基材Ｆを正常に把持できる。そのため、ボルト３１が脱落してもめっき処理を継続することができる。

【0050】

また、ボルト３１の脱落を検知した時点で電解めっき装置ＡＡを停止すると、めっき処理の途中の基材Ｆの全てが不良品となる。挟持片３０Ａ、３０Ｂを固定するボルト３１が脱落しても１ロールの基材Ｆに対するめっき処理が終了するまで電解めっき装置ＡＡの運転を継続すれば、基材Ｆが不良品とならず、生産性が向上する。

【0051】

供給装置１１にセットされている１ロールの基材Ｆに対するめっき処理の終了後に、電解めっき装置ＡＡを停止してボルト３１の脱落を解消する。すなわち、ボルト３１の脱落を検知したクランプ２０に対して新たなボルト３１を締結する。これにより、全てのボルト３１が締結された状態で、つぎのロールの基材Ｆのめっき処理を開始できる。

【符号の説明】

【0052】

ＡＡ 電解めっき装置
２０ クランプ
２１ ヒンジ
２２Ａ、２２Ｂ アーム
３０Ａ、３０Ｂ 挟持片
３１ ボルト
３２ 係止部
５０ 脱落検知装置
５１ アームセンサ
５２ 挟持片センサ
５３ 判断部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】