特開 2024-90000 光学式測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024090000

(43)【公開日】2024-07-04

(54)【発明の名称】光学式測定装置

(51)【国際特許分類】

   G01B 11/02 20060101AFI20240627BHJP

【ＦＩ】

G01B11/02 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022205610

(22)【出願日】2022-12-22

(71)【出願人】

【識別番号】000137694

【氏名又は名称】株式会社ミツトヨ

(74)【代理人】

【識別番号】110001612

【氏名又は名称】弁理士法人きさらぎ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】今泉 良一

(72)【発明者】

【氏名】林 拓実

(72)【発明者】

【氏名】成宮 浩平

【テーマコード（参考）】

2F065

【Ｆターム（参考）】

2F065AA12

2F065AA22

2F065AA26

2F065FF02

2F065GG04

2F065HH04

2F065HH13

2F065JJ09

2F065JJ18

2F065LL10

2F065MM16

2F065QQ04

2F065QQ25

2F065SS13

(57)【要約】

【課題】測定対象物の配置に際して作業性の低下を招くことなく測定精度の低下を抑制可能な光学式測定装置を提供する。
【解決手段】光学式測定装置は、測定対象物が配置される測定領域と、測定領域に光ビームを照射し、光ビームの照射方向と交差する走査方向に光ビームを走査する光ビーム走査部と、測定領域を通過した光ビームを受光して受光信号を出力する受光部と、受光信号に基づいて、測定対象物の走査方向における寸法を示すデータを出力する信号処理部と、光ビーム走査部の筐体に着脱可能に構成され、筐体から測定対象物までの範囲において光ビームの光路を覆う光路カバーと、を備える。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

測定対象物が配置される測定領域と、
前記測定領域に光ビームを照射し、前記光ビームの照射方向と交差する走査方向に前記光ビームを走査する光ビーム走査部と、
前記測定領域を通過した前記光ビームを受光して受光信号を出力する受光部と、
前記受光信号に基づいて、前記測定対象物の前記走査方向における寸法を示すデータを出力する信号処理部と、
前記光ビーム走査部の筐体に着脱可能に構成され、前記筐体から前記測定対象物までの範囲において前記光ビームの光路を覆う光路カバーと
を備える光学式測定装置。

【請求項2】

前記光路カバーは、前記照射方向と交差する着脱方向から前記筐体に着脱可能に構成されている
請求項１記載の光学式測定装置。

【請求項3】

前記光路カバーの前記筐体への着脱に際して、前記光路カバーの前記筐体に対する前記照射方向への移動を制限可能である
請求項２記載の光学式測定装置。

【請求項4】

前記着脱方向は、前記走査方向と交差し、
前記光路カバーの、前記筐体に対する前記着脱方向の位置が調整可能であり、
前記着脱方向の位置が調整された状態で前記光路カバーを前記筐体に対して固定可能である
請求項３記載の光学式測定装置。

【請求項5】

前記筐体の前記光ビームの出射口に設けられた部材と、
前記部材に前記照射方向から螺合され、前記部材と共に前記光路カバーの一部を挟持可能な雄ネジと
を更に備え、
前記部材は、前記光路カバーの着脱に際して、前記光路カバーと摺動可能である
請求項１記載の光学式測定装置。

【請求項6】

前記光路カバーは、
前記照射方向と交差する着脱方向から前記筐体に着脱可能に構成され、
前記光ビームの光路を覆うカバー部と、
前記筐体への着脱に際して前記部材と摺動可能な装着部と
を備え、
前記装着部は、前記雄ネジと対応する位置に設けられ、前記着脱方向に延伸する溝部を備える
請求項５記載の光学式測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、測定対象物が配置される測定領域と、この測定領域に光ビームを照射し、この光ビームを走査方向に走査して、この走査方向における測定対象物の寸法等を測定する光学式測定装置に関する。

【背景技術】

【0002】

測定対象物が配置される測定領域と、この測定領域に光ビームを照射して光ビームの照射方向と交差する走査方向に光ビームを走査する光ビーム走査部と、測定領域を通過した光ビームを受光して受光信号を出力する受光部と、受光信号に基づいて測定対象物の走査方向における寸法を示すデータを出力する信号処理部と、を備える光学式測定装置が知られている。

【0003】

この様な構成においては、光ビームの光源からの熱や、光ビームを走査する機構からの微弱な風等の影響により、光ビーム走査部の筐体の内部において、光ビームの光路における空気揺らぎが発生し、測定精度の低下を招いてしまうおそれがある。

【0004】

そこで、特許文献１及び特許文献２では、光ビーム走査部の筐体の内部に、光ビームの光路を覆う光路カバーを設けている。この様な構成によれば、光ビーム走査部の筐体の内部において、光ビームの光路における空気揺らぎを抑制し、測定精度の低下を抑制することが出来る。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１８－１７９８３７号公報

【特許文献2】特開昭５８－４８８０５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上述した様な空気揺らぎは、光ビーム走査部の筐体の内部だけでなく、外部においても発生しうる。従って、光学式測定装置においては、筐体の内部だけでなく、筐体の外部にも光路カバーを設けることが望ましい。

【0007】

ここで、筐体外部の空気揺らぎを好適に抑制するためには、光路カバーが、光ビーム走査部から測定対象物の近傍までの範囲において光ビームの光路を覆うことが望ましい。しかしながら、この様な光路カバーが測定対象物に近接すると、測定領域に、測定対象物を配置したり、これを支持する支持具を配置したりする際の妨げとなってしまい、作業性の低下に繋がってしまうおそれがある。

【0008】

本発明は、この様な点に鑑みなされたもので、測定対象物の配置に際して作業性の低下を招くことなく測定精度の低下を抑制可能な光学式測定装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0009】

かかる課題を解決すべく、本発明の一の実施形態に係る光学式測定装置は、測定対象物が配置される測定領域と、測定領域に光ビームを照射し、光ビームの照射方向と交差する走査方向に光ビームを走査する光ビーム走査部と、測定領域を通過した光ビームを受光して受光信号を出力する受光部と、受光信号に基づいて、測定対象物の走査方向における寸法を示すデータを出力する信号処理部と、光ビーム走査部の筐体に着脱可能に構成され、筐体から測定対象物までの範囲において光ビームの光路を覆う光路カバーと、を備える。

【0010】

この様な構成によれば、測定対象物や支持具の配置に際しては光ビーム走査部の筐体から光路カバーを取り外し、且つ、測定対象物や支持具の配置後に筐体に光路カバーを取り付けることによって、作業性の低下を招くことなく、測定精度の低下を抑制可能である。

【0011】

上記光路カバーは、照射方向と交差する着脱方向から筐体に着脱可能に構成されていても良い。また、上記光路カバーの筐体への着脱に際して、光路カバーの筐体に対する照射方向への移動を制限可能であっても良い。

【0012】

この様な構成によれば、光路カバーの筐体への着脱に際して、光路カバーが測定対象物や支持具に接触することを防止可能である。従って、本実施形態に係る光路カバーは、測定対象物や支持具の配置後であっても、筐体に容易に装着可能である。

【0013】

また、上記着脱方向は、走査方向と交差していても良い。また、上記光路カバーの、筐体に対する着脱方向の位置は、調整可能であっても良い。また、上記着脱方向の位置が調整された状態で、光路カバーを筐体に対して固定可能であっても良い。

【0014】

この様な構成によれば、光ビームの位置が設計と異なってしまっても、光路カバーの着脱方向における位置を調整することにより、光ビームを測定領域に好適に出射可能である。従って、光路カバーの幅を小さくして、空気揺らぎの影響が少なく、且つ、耐環境性の高い光学式測定装置を提供可能である。

【0015】

また、上記光学式測定装置は、筐体の光ビームの出射口に設けられた部材と、この部材に照射方向から螺合され、この部材と共に光路カバーの一部を挟持可能な雄ネジと、を更に備えていても良い。また、この部材は、光路カバーの着脱に際して、光路カバーと摺動可能であっても良い。

【0016】

また、上記光路カバーは、照射方向と交差する着脱方向から筐体に着脱可能に構成され、光ビームの光路を覆うカバー部と、筐体への着脱に際して上記部材と摺動可能な装着部と、を備えていても良い。また、装着部は、雄ネジと対応する位置に設けられ、着脱方向に延伸する溝部を備えていても良い。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、測定対象物の配置に際して作業性の低下を招くことなく測定精度の低下を抑制可能な光学式測定装置を提供することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の第１の実施形態に係る光学式測定装置の構成を示す斜視図である。

【図2】測定部１００及び制御部２００の構成を示すブロック図である。

【図3】光路カバー１３０が取り外された状態の測定部１００の構成を示す側面図である。

【図4】光路カバー１３０が取り付けられた状態の測定部１００の構成を示す側面図である。

【図5】光路カバー１３０が取り外された状態の測定部１００の構成を示す斜視図である。

【図6】光路カバー１３０が取り付けられた状態の測定部１００の構成を示す斜視図である。

【図7】光路カバー１３０のカバー部１３１の構成を示す正面図である。

【図8】光路カバー１３０の装着部１３２の構成を示す正面図である。

【図9】部材１４０の構成を示す正面図である。

【図10】光路カバー１３０が取り外された状態の測定部１００の構成を示す上面図である。

【図11】光路カバー１３０が取り付けられた状態の測定部１００の構成を示す上面図である。

【図12】本発明の第２の実施形態に係る光路カバー２３０の装着部２３２の構成を示す正面図である。

【図13】本発明の第２の実施形態に係る部材２４０の構成を示す正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

［第１の実施形態］
以下、図面を参照しながら本発明の第１の実施形態に係る光学式測定装置について説明する。

【0020】

［概略構成］
図１は、本発明の第１の実施形態に係る光学式測定装置の構成を示す斜視図である。

【0021】

図１に示す様に、本実施形態に係る光学式測定装置は、測定部１００と、測定部１００を制御する制御部２００（信号処理部）と、制御部２００に接続されたＰＣ３００と、を備える。測定部１００は、測定対象物Ｗが配置される測定領域１０１と、測定領域１０１に光ビーム（レーザ光Ｌ）を照射してこの光ビームを走査方向（－Ｚ方向）に走査する光ビーム走査部１１０と、測定領域１０１を通過した光ビームを受光する受光部１５０と、光ビーム走査部１１０及び受光部１５０を連結する連結部１６０と、を備える。

【0022】

尚、図１の例では、光ビーム走査部１１０及び受光部１５０がＸ方向に離間しており、光ビーム走査部１１０及び受光部１５０の間の空間が測定領域１０１となっている。また、測定領域１０１にはＹ方向に延伸する円柱状の測定対象物Ｗと、この測定対象物Ｗを支持する支持具１７０と、が配置されている。支持具１７０は、連結部１６０の上面に載置される台座部１７１と、測定対象物Ｗを支持する支持部１７２と、これら台座部１７１と支持部１７２との位置関係をＸ方向及びＺ方向に調整可能な図示しない調整機構と、を備える。また、光ビーム走査部１１０は、光ビーム走査部１１０の筐体１２０に設けられた出射口１２０ａを介して－Ｘ方向に進行するレーザ光Ｌを出射し、－Ｚ方向に走査する。

【0023】

図２は、測定部１００及び制御部２００の構成を示すブロック図である。

【0024】

光ビーム走査部１１０は、レーザ光Ｌを出射するレーザ光源１１１と、出射されたレーザ光Ｌを反射するミラー１１２と、ミラー１１２で反射されたレーザ光Ｌを更に反射するポリゴンミラー１１３と、ポリゴンミラー１１３で反射されたレーザ光Ｌを測定領域１０１に導くｆθレンズ１１４と、レーザ光Ｌの走査終了時にリセット信号ＲＳＴを出力するフォトダイオード等の受光素子１１５と、を備える。また、光ビーム走査部１１０は、ポリゴンミラー１１３を回転させるモータ１１６と、モータ１１６を駆動するモータ駆動回路１１７と、クロック信号ＣＬＫに応じてモータ駆動回路１１７に同期信号を入力するモータ同期回路１１８と、を備える。

【0025】

受光部１５０は、測定領域１０１を通過したレーザ光Ｌを集光する集光レンズ１５１と、集光されたレーザ光Ｌを受光するフォトダイオード等の受光素子１５２と、受光素子１５２の出力信号を増幅して受光信号Ｓ１として出力するアンプ１５３と、を備える。

【0026】

制御部２００は、受光信号Ｓ１を２値化してエッジ検出信号Ｓ２を出力するエッジ検出回路２０１と、エッジ検出信号Ｓ２の立ち上がり及び立ち下がりに応じてエッジ選択信号Ｓ３を立ち上げるセグメント選択回路２０２と、エッジ選択信号Ｓ３及びクロック信号ＣＬＫのＡＮＤ信号を一又は複数のゲート信号Ｓ４として出力するゲート回路２０３と、一又は複数のゲート信号Ｓ４に含まれるクロックパルスの数を数えるカウント回路２０４と、補正テーブルが記録されるメモリ２０５と、を備える。また、制御部２００は、バス２０６を介してこれらの構成に接続されたＣＰＵ２０７と、これらの構成にクロック信号ＣＬＫを出力するクロック信号出力回路２０８と、を備える。

【0027】

［寸法測定時の動作］
寸法測定に際しては、例えば、測定領域１０１に、支持具１７０及び測定対象物Ｗを配置する。測定対象物Ｗは、例えば、ｆθレンズ１１４の焦点位置に配置する。

【0028】

次に、レーザ光源１１１からレーザ光Ｌを出射し、ポリゴンミラー１１３を回転させる。例えばポリゴンミラー１１３が正１６角柱状の形状を有し、１６個の反射面を備えている場合、ポリゴンミラー１１３を１回転させるごとに、レーザ光Ｌは１６回ずつ走査される。

【0029】

レーザ光Ｌの走査が開始されると、レーザ光Ｌが測定領域１０１を通過して受光部１５０に受光される。また、受光信号Ｓ１がしきい値よりも大きい値となり、エッジ検出信号Ｓ２が立ち上がる。また、カウント回路２０４は、測定対象物Ｗの上方領域に対応するクロックパルスの計数を開始する。

【0030】

レーザ光Ｌが測定対象物Ｗに到達すると、レーザ光Ｌが測定対象物Ｗによって遮光され、測定領域１０１を通過しなくなる。また、受光信号Ｓ１がしきい値よりも小さい値となり、エッジ検出信号Ｓ２が立ち下がる。また、カウント回路２０４は、測定対象物Ｗに対応するクロックパルスの計数を開始する。

【0031】

レーザ光Ｌが測定対象物Ｗを通過すると、レーザ光Ｌが測定領域１０１を通過して受光部１５０に受光される。また、受光信号Ｓ１がしきい値よりも大きい値となり、エッジ検出信号Ｓ２が立ち上がる。また、カウント回路２０４は、測定対象物Ｗの下方領域に対応するクロックパルスの計数を開始する。

【0032】

レーザ光Ｌが受光素子１１５によって受光されると、リセット信号ＲＳＴが立ち上がる。カウント回路２０４は、リセット信号ＲＳＴを受信して、クロックパルスの計数結果を、エッジカウント値としてＣＰＵ２０７に出力する。また、カウント回路２０４は、保持していたエッジカウント値をリセットする。ＣＰＵ２０７は、例えば、メモリ２０５に記録された補正テーブルを参照し、エッジカウント値を補正して、補正後のエッジカウント値を取得する。その後、例えば補正後のエッジカウント値のうち、測定対象物Ｗに対応するものから、測定対象物Ｗの下方領域に対応するものを減算して差分値を取得する。また、この差分値と、レーザ光Ｌが１クロックあたりに－Ｚ方向に走査される距離と、を乗算し、その結果を測定対象物Ｗの外径を示す寸法データとしてＰＣ３００に出力する。ＰＣ３００は、出力された寸法データを記録し、寸法データが示す外径をディスプレイに表示する。

【0033】

［光路カバー１３０］
次に、図３及び図４を参照して、光路カバー１３０について説明する。図３は、光路カバー１３０が取り外された状態の測定部１００の構成を示す側面図である。図４は、光路カバー１３０が取り付けられた状態の測定部１００の構成を示す側面図である。

【0034】

図１及び図２を参照して説明した様な光学式測定装置では、光ビーム走査部１１０から測定対象物Ｗまでの範囲に空気の流れや熱勾配等が存在すると、図３に示す様に、光ビームの光路において空気揺らぎが発生する。空気揺らぎが発生すると、空気の粗密の状態に応じて空気中の屈折率が変化してしまい、測定精度の低下を招いてしまうおそれがある。これを抑制するためには、例えば図４に示す様に、光ビーム走査部１１０から測定対象物Ｗまでの範囲においてレーザ光Ｌの光路を覆う光路カバー１３０を設けることが考えられる。

【0035】

ここで、空気揺らぎを好適に抑制するためには、光路カバー１３０が、光ビーム走査部１１０から測定対象物Ｗの近傍までの範囲においてレーザ光Ｌの光路を覆うことが望ましい。しかしながら、この様な光路カバー１３０が測定対象物Ｗに近接すると、測定領域１０１に支持具１７０を配置したり、支持具１７０上に測定対象物Ｗを配置したりする際の妨げとなってしまい、作業性の低下に繋がってしまうおそれがある。

【0036】

そこで、本実施形態に係る光学式測定装置は、光ビーム走査部１１０の筐体１２０に容易に着脱可能な光路カバー１３０（図５～図９）を備える。この様な構成によれば、支持具１７０及び測定対象物Ｗの配置に際しては図３に示す様に筐体１２０から光路カバー１３０を取り外し、且つ、支持具１７０及び測定対象物Ｗの配置後に筐体１２０に図４に示す様に光路カバー１３０を取り付けることが可能である。従って、支持具１７０及び測定対象物Ｗの配置に際して作業性の低下を招くことなく、測定精度の低下を抑制可能である。

【0037】

［光路カバー１３０等の構成］
次に、図５～図９を参照し、光路カバー１３０等の構成について説明する。図５は、光路カバー１３０が取り外された状態の測定部１００の構成を示す斜視図である。図６は、光路カバー１３０が取り付けられた状態の測定部１００の構成を示す斜視図である。図７は、光路カバー１３０のカバー部１３１の構成を示す正面図である。図８は、光路カバー１３０の装着部１３２の構成を示す正面図である。図９は、部材１４０の構成を示す正面図である。

【0038】

図５に示す様に、本実施形態に係る光学式測定装置は、光路カバー１３０と、光路カバー１３０を筐体１２０に着脱可能に構成された部材１４０と、を備える。

【0039】

光路カバー１３０は、光ビーム走査部１１０から測定対象物Ｗまでの範囲においてレーザ光Ｌの光路を覆うカバー部１３１と、部材１４０に対して着脱可能に構成された装着部１３２と、を備える。

【0040】

カバー部１３１は、レーザ光Ｌの照射方向（－Ｘ方向）及び走査方向（－Ｚ方向）に延伸する略四角筒型の形状を備える。図７に示す様に、カバー部１３１は、Ｙ方向に離間する一対の壁部１３１ａと、Ｚ方向に離間する一対の壁部１３１ｂと、を備える。一対の壁部１３１ａは、それぞれ、Ｘ方向及びＺ方向に延伸する。一対の壁部１３１ｂは、それぞれ、Ｘ方向及びＹ方向に延伸する。これら一対の壁部１３１ａ及び一対の壁部１３１ｂで囲まれた領域１３１ｃは、レーザ光Ｌが通過する領域である。

【0041】

装着部１３２は、Ｙ方向及びＺ方向に延伸する略矩形型の形状を備える。図８に示す様に、装着部１３２の中心には、Ｚ方向に延伸する貫通孔１３２ａが設けられている。貫通孔１３２ａは、レーザ光Ｌが通過する領域である。また、装着部１３２の上端及び下端には、それぞれ、溝部１３２ｂ，１３２ｃが設けられている。溝部１３２ｂ，１３２ｃは、それぞれ、後述する雄ネジ１４２ｂ，１４２ｃ（図９）に対応する位置から、装着部１３２のＹ方向の一方側の端部（図示の例では、Ｙ方向正側の端部）にかけてＹ方向に延伸し、一方側の端部が解放されている。

【0042】

部材１４０は、図９に示す様に、Ｙ方向及びＺ方向に延伸する略矩形型の形状を備える。部材１４０の中心には、Ｚ方向に延伸する貫通孔１４１が設けられている。貫通孔１４１は、レーザ光Ｌが通過する領域である。貫通孔１４１のＸ方向の幅は、領域１３１ｃ（図７）のＸ方向の幅及び貫通孔１３２ａ（図８）のＸ方向の幅と等しくても良いし、これらの幅より大きくても良い。また、部材１４０の四隅には、それぞれ、部材１４０を筐体１２０に固定する雄ネジ１４２ａが設けられている。また、貫通孔１４１の上方及び下方の領域には、それぞれ、Ｘ方向負側から部材１４０に螺合された雄ネジ１４２ｂ，１４２ｃが設けられている。

【0043】

［光路カバー１３０の着脱］
次に、図１０及び図１１を参照して、光路カバー１３０の着脱について説明する。図１０は、光路カバー１３０が取り外された状態の測定部１００の構成を示す上面図である。図１１は、光路カバー１３０が取り付けられた状態の測定部１００の構成を示す上面図である。

【0044】

光路カバー１３０の取り付けに際しては、図１０に示す様に、雄ネジ１４２ｂ，１４２ｃを、Ｘ方向負側に突出した状態とする。次に、光路カバー１３０の装着部１３２を、部材１４０と、雄ネジ１４２ｂ，１４２ｃの頭部と、の間の領域に、Ｙ方向正側に挿入する。この際、装着部１３２は、部材１４０に対して摺動する。また、雄ネジ１４２ｂ，１４２ｃのネジ部は、溝部１３２ｂ，１３２ｃに挿入される。次に、図１１に示す様に、光路カバー１３０の筐体１２０に対するＹ方向の位置を調整する。次に、雄ネジ１４２ｂ，１４２ｃを締め、部材１４０及び雄ネジ１４２ｂ，１４２ｃの頭部によって装着部１３２を挟持することにより、光路カバー１３０を、筐体１２０に対して固定する。

【0045】

光路カバー１３０の取り外しに際しては、雄ネジ１４２ｂ，１４２ｃを緩める。次に、図１０に示す様に、光路カバー１３０の装着部１３２を、部材１４０と、雄ネジ１４２ｂ，１４２ｃの頭部と、の間の領域から、Ｙ方向負側に引き抜く。

【0046】

即ち、本実施形態においては、光路カバー１３０が、レーザ光Ｌの照射方向（－Ｘ方向）と交差する着脱方向（本実施形態においては、Ｙ方向）から筐体１２０に着脱可能に構成されている。また、光路カバー１３０の筐体１２０への着脱に際して、光路カバー１３０の筐体１２０に対する照射方向（－Ｘ方向）への移動を制限可能である。

【0047】

この様な構成によれば、光路カバー１３０の筐体１２０への着脱に際して、光路カバー１３０が支持具１７０（図１）及び測定対象物Ｗに接触することを防止可能である。従って、本実施形態に係る光路カバー１３０は、支持具１７０（図１）及び測定対象物Ｗの配置後であっても、筐体１２０に容易に装着可能である。

【0048】

また、この様な構成によれば、例えば、光路カバー１３０を取り外した状態で測定を行い、測定結果のバラつきが大きかった場合に、高精度化のために光路カバー１３０を取り付けることも可能である。この様な場合、光路カバー１３０が支持具１７０（図１）及び測定対象物Ｗに接触しないため、同一の条件で測定を行うことが可能である。

【0049】

また、本実施形態においては、光路カバー１３０の筐体１２０に対するＹ方向の位置が調整可能であり、且つ、着脱方向の位置が調整された状態で光路カバー１３０を筐体１２０に対して固定可能である。

【0050】

ここで、以上において説明した様な光学式測定装置では、領域１３１ｃ（図７）及び貫通孔１３２ａ（図８）の、Ｘ方向の幅が小さい程、空気揺らぎの影響を低減可能である。また、外部からの異物等の侵入を抑制可能である。

【0051】

一方、以上において説明した様な光学式測定装置では、ポリゴンミラー１１３（図２）の製造誤差や、各構成の組付誤差等に起因して、レーザ光ＬのＹ方向における位置が、設計と異なってしまう場合がある。従って、領域１３１ｃ（図７）及び貫通孔１３２ａ（図８）のＸ方向の幅を、ある程度大きくしないと、光路カバー１３０によってレーザ光Ｌを遮ってしまい、好適な測定が実行出来ないおそれがある。

【0052】

しかしながら、本実施形態においては、レーザ光ＬのＹ方向における位置が設計と異なってしまっても、光路カバー１３０のＹ方向における位置を調整することにより、レーザ光Ｌを測定領域１０１に好適に出射可能である。従って、領域１３１ｃ（図７）のＸ方向の幅及び貫通孔１３２ａ（図８）のＸ方向の幅を小さくして、空気揺らぎの影響が少なく、且つ、耐環境性の高い光学式測定装置を提供可能である。

【0053】

［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態に係る光学式測定装置について説明する。以下の説明において、第１の実施形態と同様の部分には同一の符号を付し、説明を省略する。

【0054】

第２の実施形態に係る光学式測定装置は、基本的には、第１の実施形態に係る光学式測定装置と同様に構成されている。ただし、第２の実施形態に係る光学式測定装置は、光路カバー１３０及び部材１４０のかわりに、光路カバー２３０及び部材２４０を備える。

【0055】

図１２は、光路カバー２３０の装着部２３２の構成を示す正面図である。光路カバー２３０は、基本的には、光路カバー１３０と同様に構成されている。ただし、光路カバー２３０は、装着部１３２のかわりに、装着部２３２を備える。装着部２３２は、基本的には、装着部１３２と同様に構成されている。ただし、装着部２３２は、溝部１３２ｂ，１３２ｃを有していない。また、装着部２３２のＹ方向の一端及び他端には、それぞれ、溝部２３２ｂ，２３２ｃが設けられている。溝部２３２ｂ，２３２ｃは、それぞれ、後述する雄ネジ２４２ｂ，２４２ｃ（図１３）に対応する位置から、装着部１３２のＺ方向の一方側の端部（図示の例では、Ｚ方向負側の端部）にかけてＺ方向に延伸し、一方側の端部が解放されている。

【0056】

図１３は、部材２４０の構成を示す正面図である。部材２４０は、基本的には、部材１４０と同様に構成されている。ただし、部材２４０には、雄ネジ１４２ｂ，１４２ｃが設けられていない。また、貫通孔１４１に対してＹ方向正側及びＹ方向負側の領域には、それぞれ、Ｘ方向負側から部材２４０に螺合された雄ネジ２４２ｂ，２４２ｃが設けられている。

【0057】

第２の実施形態に係る光路カバー２３０は、基本的には、第１の実施形態に係る光路カバー１３０と同様の方法によって、筐体１２０に着脱可能である。ただし、第１の実施形態では、光路カバー１３０を筐体１２０に対して着脱する着脱方向が、Ｙ方向である。一方、第２の実施形態では、光路カバー２３０を筐体１２０に対して着脱する着脱方向が、Ｚ方向である。

【0058】

［その他の実施形態］
第１の実施形態では、光路カバー１３０を、部材１４０を介して、筐体１２０に着脱する例を示した。しかしながら、光路カバー１３０は、筐体１２０に直接着脱可能であっても良い。この様な場合、筐体１２０は、光路カバー１３０の着脱に際して装着部１３２と摺動可能な面を備えていても良い。また、雄ネジ１４２ｂ，１４２ｃは、筐体１２０に螺合されていても良い。

【符号の説明】

【0059】

１００…測定部、１０１…測定領域、１１０…光ビーム走査部、１１１…レーザ光源、１１２…ミラー、１１３…ポリゴンミラー、１１４…ｆθレンズ、１１５…受光素子、１１６…モータ、１１７…モータ駆動回路、１１８…モータ同期回路、１３０…光路カバー、１３１…カバー部、１３２…装着部、１４０…部材、１４２ａ，１４２ｂ，１４２ｃ…雄ネジ、１５０…受光部、１５１…集光レンズ、１５２…受光素子、１５３…アンプ、１６０…連結部、２００…制御部、２０１…エッジ検出回路、２０２…セグメント選択回路、２０３…ゲート回路、２０４…カウント回路、２０５…メモリ、２０６…バス、２０７…ＣＰＵ、２０８…クロック信号出力回路。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】