特開 2024-91633 被試験デバイス試験方法及び試験測定システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024091633

(43)【公開日】2024-07-05

(54)【発明の名称】被試験デバイス試験方法及び試験測定システム

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/28 20060101AFI20240628BHJP

   G01R 31/319 20060101ALI20240628BHJP

   G01R 13/00 20060101ALI20240628BHJP

   G01R 13/20 20060101ALI20240628BHJP

   G06F 11/22 20060101ALI20240628BHJP

【ＦＩ】

G01R31/28 H

G01R31/319

G01R13/00 Z

G01R13/20 R

G06F11/22 607Z

G06F11/22 673F

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2023208588

(22)【出願日】2023-12-11

(31)【優先権主張番号】202221072283

(32)【優先日】2022-12-14

(33)【優先権主張国・地域又は機関】IN

(31)【優先権主張番号】18/534,495

(32)【優先日】2023-12-08

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】391002340

【氏名又は名称】テクトロニクス・インコーポレイテッド

【氏名又は名称原語表記】ＴＥＫＴＲＯＮＩＸ，ＩＮＣ．

(74)【代理人】

【識別番号】100090033

【弁理士】

【氏名又は名称】荒船 博司

(74)【代理人】

【識別番号】100093045

【弁理士】

【氏名又は名称】荒船 良男

(72)【発明者】

【氏名】スワプニル・ジャワール

(72)【発明者】

【氏名】チャンドラ・セカール・カッパガントゥ

(72)【発明者】

【氏名】マヘシャ・グッタハリ・ラクシュミパシー

(72)【発明者】

【氏名】スリラム・マンディヤム・クリシュナクマール

(57)【要約】

【課題】メモリ・デバイスの検証試験を改善する。
【解決手段】試験測定システム１００は、複数の試験測定装置１０４Ａ～Ｄを含むマルチ・スタック試験サブシステム１０２を有し、各試験測定装置は、被試験デバイス（ＤＵＴ）１０６に結合され、試験モードで動作中にＤＵＴ１０６から複数の試験信号を受信する。試験測定装置１０４Ａ～Ｄの中の１つをマスターとし、残りを拡張試験測定装置とする。マスターは、拡張試験測定装置の夫々と制御信号を通信して、試験測定装置１０４Ａ～Ｄを同期させて、ＤＵＴ１０６が供給する複数の試験信号を同時に取得する。自動化エンジン１０８は、マルチ・スタック試験サブシステム１０２に結合されて、取得した複数の試験信号をマスターから受信し、取得した試験信号を分析して、複数の試験信号の夫々について検証試験を行い、複数の試験信号に関する検証試験の結果を同時に表示する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

試験測定システムにおいて被試験デバイス（ＤＵＴ）を試験する方法であって、
試験モードで動作中に複数の試験信号を供給する上記ＤＵＴを上記試験モードの動作に設定する処理と、
上記複数の試験信号の中の選択された試験信号を受けるように上記ＤＵＴに夫々結合される複数の試験測定装置を同期させる処理と、
同期された上記複数の試験測定装置によって上記ＤＵＴが供給する上記複数の試験信号を同時に取得する処理と、
上記複数の試験信号の夫々について検証試験を行うために取得した上記複数の試験信号を分析する処理と、
上記複数の試験信号の夫々についての上記検証試験の結果を同時に表示する処理と
を具えるＤＵＴ試験方法。

【請求項2】

上記試験信号が、複数のデータ信号とデータ・ストローブ信号とを含む請求項１のＤＵＴ試験方法。

【請求項3】

上記試験信号が、複数のコマンド・アドレス信号と、チップ・セレクト信号とを含む請求項１のＤＵＴ試験方法。

【請求項4】

上記ＤＵＴがダブル・データ・レート（ＤＤＲ）メモリである請求項１のＤＵＴ試験方法。

【請求項5】

上記複数の試験測定装置によって上記ＤＵＴが供給する上記複数の試験信号を同時に取得する処理が、上記複数の試験信号の夫々についてアイ・ダイアグラムを生成する処理を更に有し、
取得した上記複数の試験信号を分析する処理が、上記複数の試験信号の夫々について、生成された上記アイ・ダイアグラムのアイ高さ、アイ幅及びマスクを決定する処理を更に有する
請求項１のＤＵＴ試験方法。

【請求項6】

上記複数の試験測定装置を同期させる処理が、
上記複数の試験測定装置の中の１つをマスター試験測定装置として指定し、上記複数の試験測定装置の残りの部分を拡張試験測定装置として指定する処理と、
上記マスター試験測定装置からの制御信号を上記複数の拡張試験測定装置の夫々に通信して、上記ＤＵＴが供給する上記複数の試験信号の同時取得を制御する処理とを有し、
上記マスター試験測定装置から上記複数の拡張試験測定装置の夫々に制御信号を通信する処理が、
上記ＤＵＴが供給する上記複数の試験信号を上記複数の試験測定装置が同期した状態で同時に取得するために用いるサンプリング・クロック信号を上記マスター試験測定装置が供給する処理と、
上記複数の試験測定装置による上記複数の試験信号の取得の開始及び停止を制御するトリガ信号を供給する処理と、
上記複数の拡張試験測定装置の夫々から上記マスター試験測定装置へのデータの転送を制御する処理とを有し、上記複数の拡張試験測定装置の夫々に関する転送される上記データが、上記拡張試験測定装置が取得した上記複数の試験信号に関するデータに対応する
請求項１のＤＵＴ試験方法。

【請求項7】

試験測定システムであって、
被試験デバイス（ＤＵＴ）に夫々結合され、試験モードで動作中に上記ＤＵＴから複数の試験信号を受信するように夫々構成される複数の試験測定装置であって、上記複数の試験測定装置の中の１つがマスター試験測定装置として指定され、上記複数の上記試験測定装置の残りのものが拡張試験測定装置として指定され、上記マスター試験測定装置は、上記複数の拡張試験測定装置の夫々と制御信号を通信して上記複数の試験測定装置を同期させて上記ＤＵＴが供給する上記複数の試験信号を同時に取得するようにする上記複数の試験測定装置を有するマルチ・スタック試験サブシステムと、
該マルチ・スタック試験サブシステムに結合され、上記複数の試験測定装置の中の上記マスター試験測定装置から取得された上記複数の試験信号を受信するように構成された自動化エンジンであって、取得された上記複数の試験信号を分析して、上記複数の試験信号の夫々について検証試験を行い、上記複数の試験信号についての上記検証試験の結果を同時に表示するように構成される上記自動化エンジンと
を具える試験測定システム。

【請求項8】

上記自動化エンジンは、取得された上記複数の試験信号の夫々についてアイ・ダイアグラムを生成し、上記複数の試験信号について、生成された上記アイ・ダイアグラムのアイ高さ、アイ幅及びマスクを決定するように構成される請求項７の試験測定システム。

【請求項9】

試験測定システムであって、
被試験デバイス（ＤＵＴ）に夫々結合され、検証試験モードで動作中に上記ＤＵＴから複数の試験信号を受信するように夫々構成される複数の拡張試験測定装置と、
上記複数の拡張試験測定装置に結合されるとともに、上記ＤＵＴに結合されて上記検証試験モードで動作中に上記ＤＵＴから複数の試験信号を受信するように構成されるマスター試験測定装置であって、上記複数の拡張試験測定装置の夫々と制御信号を通信して、上記複数の試験測定装置を同期させて上記ＤＵＴが供給する上記複数の試験信号を同時に取得するように更に構成される上記マスター試験測定装置と
を有するマルチ・スタック試験サブシステムと、
該マルチ・スタック試験サブシステムに結合され、上記複数の試験測定装置の中の上記マスター試験測定装置から取得された上記複数の試験信号を受信するように構成された自動化エンジンであって、取得された上記複数の試験信号を分析して、上記複数の試験信号の夫々について検証試験を行い、上記複数の試験信号についての上記検証試験の結果を同時に表示するように構成される上記自動化エンジンと
を具える試験測定システム。

【請求項10】

上記マスター試験測定装置は、
上記ＤＵＴが供給する上記複数の試験信号を上記複数の試験測定装置が同期状態で同時に取得するために用いるためのサンプリング・クロック信号と、
上記複数の試験測定装置による上記複数の試験信号の取得の開始及び停止を制御するトリガ信号と、
上記複数の拡張試験測定装置の夫々から上記マスター試験測定装置へのデータの転送を制御する信号と、
を含む制御信号を通信するように構成され、
上記複数の拡張試験測定装置の夫々に関して転送される上記データは、上記拡張試験測定装置によって取得された上記複数の試験信号のデータに対応する
請求項９の試験測定システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、概して、集積回路又は半導体チップの検証試験に関し、より詳細には、検証試験中に被試験デバイス（ＤＵＴ）からの信号の並行な捕捉を同期させるための方法及びシステムに関する。

【背景技術】

【0002】

電子デバイスは、自動車、産業オートメーション、電気通信、コンピュータ・システムなどの産業において、様々な用途で利用されている。これらの電子デバイスの多くは、システム動作のためのファームウェアとソフトウェアを保存するために加えて、及びデータ取得、データ・ロギング及びその他の無数のアプリケーションなどのデータの保存のために、何らかのタイプのメモリ・システムを有している。これらのメモリ・システムとしては、ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ（ＤＲＡＭ）、スタティック・ランダム・アクセス・メモリ（ＳＲＡＭ）と、これら２つの中心となる形式のメモリ・デバイスの多数のバリエーションである、シンクロナスＤＲＡＭ（ＳＤＲＡＭ）、ダブル・データ・レート（ＤＤＲ）ＳＤＲＡＭ、クワッド・データ・レート（ＱＤＲ）ＳＲＡＭなどに加えて、特定のアプリケーションに適した他のタイプのメモリを含む多種多様な形式のメモリ・デバイスの中の１つ以上が含まれることがある。

【0003】

ＤＤＲ ＳＤＲＡＭなど、これらのメモリ・デバイスの多くは、デバイスの動作中にデータ信号ＤＱとともに通信されるデータ・ストローブ信号（ＤＱＳ）信号を利用する。データ・ストローブ信号ＤＱＳは、データ信号ＤＱの遷移と適切に位置合わせされ、ＤＱ信号を受信するデバイスが、リード（読み出し）及びライト（書き込み）動作中に、ＤＱ信号を適切に捕捉（キャプチャ）できるようにする。リード動作中、ＤＤＲ ＳＤＲＡＭは、ＤＤＲ ＳＤＲＡＭのデータ・バスにＤＱＳ信号とＤＱ信号を供給し、データ・バスに結合されたプロセッサなどの別の電子デバイスは、ＤＱＳ信号を利用してＤＱ信号を捕捉する。ライト動作中、ＤＤＲ ＳＤＲＡＭは、ＤＱＳ信号と、プロセッサから書き込まれるＤＱ信号とを受信し、ＤＱＳ信号を使用して受信したＤＱ信号を捕捉する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００９－５３０３２号公報

【非特許文献】

【0005】

【非特許文献1】「テクトロニクス社製オシロスコープ」の紹介サイト、テクトロニクス、［online］、［２０２３年１２月９日検索］、インターネット<https://www.tek.com/ja/products/oscilloscopes>

【非特許文献2】「スケーラブル・パフォーマンス・オシロスコープ」の紹介サイト、「UltraSync」に言及、テクトロニクス、［online］、［２０２３年１２月１０日検索］、インターネット<https://www.tek.com/ja/datasheet/scalable-performance-oscilloscopes>

【非特許文献3】トランジスタ技術ＳＰＥＣＩＡＬ編集部編、「ディジタル・オシロスコープ活用ノート」、「５－２ トリガ回路のしくみ」、第８５～８７頁、図２（回路ブロック図）、トランジスタ技術ＳＰＥＣＩＡＬ ｆｏｒ フレッシャーズ Ｎｏ．９９、ＣＱ出版株式会社、２００７年７月１日発行

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

データ・ストローブ信号ＤＱＳやデータ信号を含むデータ・バスを利用する、ＤＤＲ ＳＤＲＡＭやその他のタイプのメモリ・デバイス、その他のタイプの集積回路の試験は、複数のデータ信号ＤＱをデータ・ストローブ信号ＤＱＳとともに取得する必要があるために複雑になる。被試験デバイスは、メモリ・デバイスでも、他のタイプの集積回路でも、本説明ではＤＵＴと呼ぶことがある。既存の試験手順では、通常、複数のＤＱ信号の中の１つのＤＱ信号と共にＤＱＳ信号を同時に捕捉又はアクイジション（波形データ取得）する。

【0007】

このため、一度にアクイジションされるのは、２つ信号から成る１ペアのみ、つまり、１つのＤＱＳ信号と１つのＤＱ信号の１ペアのみで、１つのＤＱＳ信号と、複数のＤＱ信号の全ての適切な動作を試験及び検証するのに必要な時間が長くなる。例えば、現在のＤＤＲ ＳＤＲＡＭには、３２個のＤＱ信号がある。この試験プロセスでは、選択したＤＱ信号をオシロスコープなどの試験測定装置の試験ポートに手動で接続することがあり、必要な試験時間が更に長くなり、各データ信号ＤＱを新たに接続するときに、エラーが発生しやすくなる。

【0008】

ＤＱＳ信号は、この信号の生成が異なるときに行われると、変動することがあるため、現在生成されているＤＱＳ信号と複数のＤＱ信号の中の１つとをシーケンシャルにアクイジションするアプローチでは、シーケンシャルに生成されたＤＱＳ信号の変動によるエラーが発生する可能性がある。例えば、温度、電源電圧及びその他の動作パラメータの変動により、試験中に連続して（シーケンシャルに）生成されるＤＱＳ信号に変動が生じる可能性がある。更に、現在の技術の中には、ＤＱＳ信号とともに、２つ以上のデータ信号ＤＱを同時にアクイジションするものもあるが、これらの技術には限界があり、これらのメモリ・デバイスや他の集積回路のユーザが望む包括的な検証試験ができない。

【0009】

従来の検証試験技術で経験される上記の欠点の少なくとも一部を克服する、メモリ・デバイス及びその他の集積回路の検証試験の改良された技術が必要である。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本開示技術の実施形態は、同期された複数の試験測定装置を利用して、ＤＵＴからの複数の試験信号を並行して捕捉又はアクイジション（波形データ取得）し、これらの取得された試験信号を分析してＤＵＴについて検証試験を実行し、この分析の結果をユーザに表示する。これらの試験信号は、例えば、ＤＤＲ ＳＤＲＡＭのようなメモリ・デバイスのデータ信号ＤＱ及びデータ・ストローブ信号ＤＱＳであっても良い。

【0011】

このようにして、本開示技術の実施形態による方法及びシステムは、ユーザが、ＤＵＴ内の関心のある各データ信号について、データ信号が、対応する検証試験に合格したか不合格かを示すステータスを見ることを可能にする。これにより、ユーザの試験プロセスが簡素化され、対象となるデータ信号のシーケンシャルなアクイジションや、そのようなシーケンシャルなアクイジションによって生じる可能性のあるエラーが排除されるだけでなく、試験システムの手動再設定やそれに伴うエラーも排除される。

【0012】

ユーザは、１回の試験サイクルで、特定のＤＵＴが検証試験に合格するかどうかを確認でき、このとき、１回の試験サイクルとは、この期間中にシステムがＤＵＴから試験信号をアクイジション（波形データを取得）し、これらの取得した信号を分析し、この分析結果をユーザに表示する時間である。これにより、ＤＵＴの試験に必要な時間が短縮される。しかし、ユーザは、特定のＤＵＴについて、複数の試験サイクルを実行し、検証試験に不合格となった各試験信号の特性を補正又は調整するためのアクションを実行しても良い。適切な修正アクションを実行した後、ユーザは、ＤＵＴについて検証試験を再度実行して、これらのアクションによって試験信号又は最初に検証試験に不合格となった信号が修正されているかどうかを確認できる。

【0013】

本開示技術の実施例の態様、特徴及び効果は、添付の図面を参照して実施例の以下の説明から明らかになるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、本開示のいくつかの実施形態による被試験デバイス（ＤＵＴ）の検証試験中に、ＤＵＴから並行して複数の信号を捕捉するために同期される複数の試験測定装置を含むマルチ・スタック試験サブシステムを含む試験測定システムの簡略化された機能ブロック図である。

【図2】図２は、本開示のいくつかの実施形態による図１の試験測定システムの構成要素の動作プロセスを示すシーケンス図である。

【図3】図３は、本開示のいくつかの実施形態による図１の試験測定システムのマルチ・スタック試験サブシステムによって取得され、自動化エンジンによって表示されたデータ信号及びデータ・ストローブ信号の例を示す。

【図4A】図４Ａは、本開示のいくつかの実施形態による、図１のＤＵＴから取り込まれたデータ信号の夫々について計算されるアイ・ダイアグラムのパラメータをより明確に示すために、図３のアイ・ダイアグラムの中から選択されたもののアイ・ダイアグラムを示す。

【図4B】図４Ｂは、本開示のいくつかの実施形態による、図１のＤＵＴから取り込まれたデータ信号の夫々について計算されるアイ・ダイアグラムのパラメータをより明確に示すために、図３のアイ・ダイアグラムの中から選択されたもののアイ・ダイアグラムを示す。

【図4C】図４Ｃは、本開示のいくつかの実施形態による、図１のＤＵＴから取り込まれたデータ信号の夫々について計算されるアイ・ダイアグラムのパラメータをより明確に示すために、図３のアイ・ダイアグラムの中から選択されたもののアイ・ダイアグラムを示す。

【図5】図５は、本開示のいくつかの実施形態による、図１のＤＵＴから取り込まれた、複数のデータ信号とデータ・ストローブ信号との間のスキューを示すアイ・ダイアグラムを示す。

【図6】図６は、本開示のいくつかの実施形態による、図１の試験測定システムの自動化エンジンによって生成された例示的なグラフィカル表示を示しており、これは、ＤＵＴから捕捉されたデータ信号について計算されたパラメータが関連する試験基準に合格であるか又は不合格であるかに関する情報をユーザに同時に提供する。

【図7】図７は、図１の試験測定システムの自動化エンジンによって生成された別の例示的なグラフィカル表示を示しており、これは、本開示のいくつかの実施形態によるＤＵＴから捕捉されたデータ信号について計算されたパラメータが関連する試験基準に合格であるか又は不合格であるかに関する情報をユーザに同時に提供する。

【図8】図８は、図１の試験測定システムの自動化エンジンによって生成された更に別の例示的なグラフィカル表示を示しており、これは、本開示のいくつかの実施形態によるＤＵＴから捕捉されたデータ信号について計算されたパラメータが関連する試験基準に合格であるか又は不合格であるかに関する情報をユーザに同時に提供する。

【発明を実施するための形態】

【0015】

当業者であれば、本願の任意のブロック図が、本開示の原理を具体化する例示的方法の概念図を表すことを理解できよう。同様に、任意のフローチャート、フロー図などは、コンピュータ可読媒体の形で実質的に表現され、コンピュータ又はプロセッサ（こうしたコンピュータ又はプロセッサが明示的に示されているかどうかにかかわらず）によって実行されても良い様々なプロセスを表すことが理解できよう。

【0016】

図１は、本開示のいくつかの実施形態による検証試験中に被試験デバイス（ＤＵＴ）１０６からの並行する試験信号を捕捉するために同期される複数の試験測定装置１０４Ａ～１０４Ｄを含むマルチ・スタック試験サブシステム１０２を含む試験測定システム１００の簡略化された機能ブロック図である。このマルチ・スタック試験サブシステムは、個数Ｎ個の試験測定装置１０４Ａ～Ｄを含み、図１の例の実施形態では、Ｎ＝４である。システム１００の別の実施形態では、もっと多数又はもっと少数の試験測定装置１０４Ａ～Ｎ（即ち、Ｎ＜４又はＮ＞４）を有していても良い。試験測定装置１０４の夫々は、例えば、オシロスコープ（スコープ）であってもよく、試験モードで動作中にＤＵＴから複数の試験信号を受信するために、ＤＵＴ１０６に結合されるように構成されている。

【0017】

図１の実施形態の例では、ＤＵＴ１０６は、１つ以上のＤＤＲ ＳＤＲＡＭを含む試験ボードであり、試験測定装置１０４Ａ～Ｄによって受信される試験信号は、データ信号ＤＱ０～ＤＱ１４及びデータ・ストローブ信号ＤＱＳを含む。ＤＵＴ１０６は、いくつかの実施形態において、様々なタイプのメモリ・デバイスを含んでもよく、試験測定装置１０４Ａ～Ｄに供給される試験信号は、ＤＵＴの１つ以上のＤＤＲ ＳＤＲＡＭからの様々な信号を含んでもよい。例えば、いくつかの実施形態では、ＤＵＴ１０６のＤＤＲ ＳＤＲＡＭからの試験信号は、コマンド・アドレス信号ＣＡ及びチップ・セレクト信号ＣＳを含む。

【0018】

試験測定装置１０４Ａ～Ｄの中の１つは、マスター試験測定装置に指定され、残りの試験測定装置は、拡張試験測定装置に指定される。試験測定装置１０４Ａは、マスターであり、試験測定装置１０４Ｂ～Ｄは試験測定システム１００における拡張である。マスター又は拡張としての指定により、試験測定装置１０４Ａ～Ｄの夫々が、それに応じてマスター又は拡張の試験測定装置のいずれかとして機能するように設定される。試験測定装置１０４Ａ～Ｄは、マスター（これは、図１では、試験測定装置１０４Ａである）として指定されると、拡張試験測定装置１０４Ｂ～Ｄの夫々と制御信号を通信して、全ての試験測定装置を同期させることで、ＤＵＴ１０６が供給するＤＱＳ信号とＤＱ０～ＤＱ１４信号を同時にアクイジション（波形データ取得）するように構成されている。

【0019】

マスター試験測定装置１０４Ａと拡張試験測定装置１０４Ｂ～Ｄの夫々との間の通信は、試験測定システム１００内の通信リンク１０７を介して行われる。いくつかの実施形態では、通信リンク１０７は、テクトロニクス社によるUltraSyncマルチ・ユニット・タイミング同期バスである。マスター試験測定装置１０４Ａは、マスターから拡張試験測定装置１０４Ｂ～Ｄの夫々に通信リンク１０７を介して制御信号を通信し、全ての装置を同期させる。試験測定システム１００のいくつかの実施形態では、ＤＵＴ１０６によって供給されるＤＱＳ及びＤＱ信号を、試験測定装置１０４Ａ～Ｄの夫々が同期状態で同時に取得するために使用するサンプリング・クロック信号を、マスター試験測定装置１０４Ａが通信リンク１０７を介して供給する。また、マスター試験測定装置１０７は、トリガ信号を供給して、試験サイクルの開始及び停止、即ち、試験測定装置１０４Ａ～ＤによるＤＱＳ及びＤＱ信号の取得の開始及び停止を制御する。また、マスター試験測定装置は、拡張試験測定装置１０４Ｂ～Ｄの夫々からマスター試験測定装置への通信リンク１０７を介したデータの転送を制御する。拡張試験測定装置の夫々に関して、通信リンク１０７を介して転送されるデータは、拡張試験測定装置１０４Ｂ～Ｄによって取得されたＤＱ０～ＤＱ１４信号のデータに対応する。

【0020】

一旦、試験測定装置１０４Ａ～Ｄが、試験測定システム１００の現在の試験サイクルにおいて、ＤＵＴ１０６からＤＱＳ及びＤＱ０～ＤＱ１４信号を取得すると、拡張試験測定装置１０４Ｂ～Ｄの夫々は、ＤＱＳ及びＤＱ０～ＤＱ１４信号の対応するサブセットをマスター試験測定装置１０４Ａに供給する。マスター試験測定装置１０４Ａは、拡張試験測定装置１０４Ｂ～Ｄから受信したＤＱ３～１４信号と、マスター試験測定装置で取得したＤＱＳ信号及びＤＱ０～２信号とを集約し、これらの集約された取得信号を、マルチ・スタック試験サブシステム１０２に結合された自動化エンジン１０８に供給する。自動化エンジン１０８は、試験測定装置１０４Ａから取得したＤＱＳ信号及びＤＱ０～ＤＱ１４信号を受信すると、取得したＤＱＳ及びＤＱ０～ＤＱ１４信号を解析して、これらの信号の夫々について検証試験を行い、その後、これらの信号について検証試験の結果を同時に表示するように構成される。ユーザは、自動化エンジン１０８によって供給されるこれらの表示された結果を見て、ＤＵＴ１０６が検証試験に合格したか不合格であったかを即座に判断し、もしある場合には、ＤＱＳ及びＤＱ０～ＤＱ１４信号のどれが試験に不合格となったかを特定しても良い。

【0021】

自動化エンジン１０８は、分析アルゴリズム１１０を実行して、取得されたＤＱＳ及びＤＱ０～ＤＱ１４信号を分析する。取得されたＤＱＳ及びＤＱ０～ＤＱ１４信号を分析するために自動化エンジン１０８によって実行される特定の分析アルゴリズム１１０は、試験測定システム１００の異なる実施形態では変化しても良い。ユーザは、ＤＵＴ１０６のＤＱＳ及びＤＱ０～ＤＱ１４信号の夫々が検証試験に合格したか不合格であったかを判断するために、自動化エンジン１０８によって供給されるこれらの同時に表示された結果を見ることができ、また、これらの信号の夫々について分析アルゴリズム１１０によって計算された様々なパラメータを見ることができる。例えば、自動化エンジン１０８は、分析アルゴリズム１１０を実行して、取得されたＤＱＳ及びＤＱ０～ＤＱ１４信号の夫々についてアイ・ダイアグラムを生成しても良く、また、これらの信号の夫々について生成されたアイ・ダイアグラムについて、アイ高さ、アイ幅及びマスクを求めても良い。本開示技術の実施形態では、自動化エンジン１０８は、１つ以上のプロセッサを使用して実装することができ、様々な実施形態では、１つ以上のプロセッサが、複数の試験測定装置１０４Ａ～Ｄの中の１つ以上に存在しても良いし、クラウド・ベースのプロセッサを含む１つ以上の外部コンピューティング・デバイス上に存在しても良いし、複数の試験測定装置１０４Ａ～Ｄの中の１つ以上及び１つ以上の外部コンピューティング・デバイスの間に分散されていても良い。

【0022】

図２は、本開示のいくつかの実施形態による図１の試験測定システム１００の構成要素の動作のシーケンスを示すシーケンス図である。本開示のいくつかの実施形態による試験測定システム１００の全体的な動作について、図１及び図２を参照して、より詳細に説明する。ＤＵＴ１０６の試験サイクルを開始するために、ＤＵＴは、検証試験モードの動作に設定される。これは、図２には明示的に示されておらず、試験されるＤＵＴ１０６のタイプに応じて変化することになろう。ＤＵＴがＤＤＲ ＳＤＲＡＭである場合、当業者であれば、デバイスを検証試験モード動作にすることは、わかるであろうから、本願では詳細には説明しない。簡単に説明すると、ＤＤＲ ＳＤＲＡＭでは、典型的なメモリのアクセス動作には、メモリ・デバイス中の特定のバンクの特定の行（row）にアクセスするためのアクティブ化コマンドがあり、リード（読み取り）又はライト（書き込み）コマンドに関連付けられたアドレス・ビットが、アクティブ行中のメモリ・セルから、バースト・データ転送に関する開始列（column）を特定する。バースト・データ転送における各バーストは、データ・バスのデータ信号ＤＱ０～ＤＱ１４に対応するデータ・ワードとして供給され、ＤＱＳ信号は、これらデータ信号とともに供給されて、これらデータ信号を受信するデバイスが信号を適切に捕捉又は取得できるようにする。ＤＱＳ信号は、差動「バースト・クロック」として機能し、リード及びライト動作中にデータ・バス上のデータ信号ＤＱ０からＤＱ１４と共に供給される。データは、ＤＱＳ信号の立ち上がりエッジと立ち下がりエッジの両方で転送され、このため、ＤＱＳ信号の各サイクルで２回転送されるので、ダブル・データ・レート（ＤＤＲ）と呼ばれる。

【0023】

ＤＤＲ ＳＤＲＡＭには、通常、８個、１６個又は３２個のデータ信号ＤＱを含むデータ・バスがある。ＤＵＴ１０６のＤＱ０～ＤＱ１４は、本説明において一例として使用されており、また、実施形態の一例を表し、ここでは、ＤＵＴ１０６が、データ信号ＤＱ０～ＤＱ１５を伝送する１６ビットのデータ・バスを有するＤＤＲ ＳＤＲＡＭである。試験測定装置１０４Ａ～１０４Ｄの夫々は、４つの入力試験ポートを有しており、これは、多くの従来のオシロスコープに当てはまる。試験測定装置１０４Ａ～Ｄ上の各試験ポートは、ＤＵＴ１０６上の試験ポイントに結合され、ＤＵＴが試験ポイントに供給する試験信号を取得するように構成される。ＤＱＳ信号に加えて１５個のＤＱ信号ＤＱ０～ＤＱ１４は、１６個の試験信号に等しく、これは、４台の試験測定装置１０４Ａ～１０４Ｄで利用可能な試験ポートの数である。ＤＵＴ１０６のこの構成は、単に例として提示されるものであり、他の構成としては、本開示の更なる実施形態において、もっと多数又はもっと少数のデータ信号ＤＱに加えて、もっと多数又はもっと少数の試験測定装置１０４、即ち、もっと多数又はもっと少数の試験ポートを含む試験測定装置があっても良い。

【0024】

検証試験モードの動作に入ると、ＤＵＴ１０６は、ＤＱＳ信号とともにＤＱ０～ＤＱ１４信号の夫々について試験データ・パターンの供給を開始する。ＤＱＳ信号の周波数は、通常、メモリ・デバイスに供給されるクロック信号と同じである。典型的には、ＤＱ０～ＤＱ１４信号の夫々についての試験データ・パターンは、論理零及び論理１が交互するシリーズ（例えば、１０１０１０１０１０...）、又は、他の何らかの擬似ランダム・ビット・シーケンスである。図２の工程２００において、自動化エンジン１０８は、取得要求（acquire request）をマスター試験測定装置１０４Ａに送信して試験サイクルを開始する。取得要求に応答して、工程２０２において、マスター試験測定装置１０４Ａは、拡張試験測定装置１０４Ｂ、１０４Ｃ及び１０４Ｄに取得命令を送信する。自動化エンジン１０８からの取得要求と、マスター試験測定装置１０４Ａから拡張試験測定装置１０４Ｂ～Ｄに供給される取得命令に応答して、工程２０２～２０８では、マスター及び拡張試験測定装置１０４Ａ～Ｄの夫々は、ＤＵＴ１０６によって供給される対応するＤＱＳ及びＤＱ０～ＤＱ１４信号を取得（アクイジション）する。各試験測定装置は、対応する取得されたＤＱＳ及びＤＱ０～ＤＱ１４信号のデータを、工程２１０においてデータ・ストアに保存し、これは、試験測定装置１０４Ａ～Ｄの夫々による対応する取得された信号の蓄積（ストレージ）を表す。

【0025】

対応する取得されたＤＱＳ及びＤＱ信号を保存した後、各拡張試験測定装置１０４Ｂ～Ｄは、応答をマスター試験測定装置１０４Ａに供給するが、これは、その拡張試験測定装置に関して取得された信号に対応するデータを含む。次に、マスター試験測定装置１０４Ａは、拡張試験測定装置１０４Ｂ～Ｄからの応答を集約するが、これは、マスター試験測定装置１０４Ａによって取得されたＤＱＳ及びＤＱ０～２信号に対応するデータとともに、取得されたＤＱ３～１４信号のデータに対応する。全ての試験測定装置１０４Ａ～Ｄからのこれらの集約された応答は、次いで、工程２１２でブローカーに供給される。ブローカー（broker：仲介役）は、マスター試験測定装置１０４Ａからの集約された応答の転送を容易にし、これらの集約された応答を自動化エンジン１０８に供給する機能を持つ図１の自動化エンジン１０８のコンポーネントであると見なすことができる。自動化エンジン１０８では、集約された応答が、分析アルゴリズム１１０に供給されて分析され、取得されたＤＱＳ及びＤＱ信号の検証試験を実行する。

【0026】

図３は、本開示のいくつかの実施形態によるマルチ・スタック試験サブシステム１０２によって取得され、図１の試験測定システム１００の自動化エンジン１０８によって表示されるデータ信号ＤＱ０～７及びデータ・ストローブ信号ＤＱＳの例のアイ・ダイアグラムを示す。図３では、単に図を簡略化するということから、データ信号ＤＱ０～ＤＱ７のアイ・ダイアグラムのみを示し、データ信号ＤＱ８～ＤＱ１４は省略している。これらアイ・ダイアグラムは、各信号の縦軸に電圧、横軸に時間を示す。これらアイ・ダイアグラムは、図１の自動化エンジン１０８によって生成される表示の例であり、検証試験中にＤＵＴ１０６から取得されたＤＱ０～ＤＱ７及びＤＱＳ信号についての検証試験結果に関する情報をユーザに同時に供給する。図３は、データ信号ＤＱ０～ＤＱ７の夫々のアイ・ダイアグラムを、これらの各信号のアイ・マスクとともに示し、また、ＤＱＳ信号のアイ・ダイアグラムも示している。アイ・ダイアグラムは、複数のタイム・インターバルでデジタル信号を繰り返しアクイジション（波形データ取得）し、これらの複数のアクイジションしたデジタル信号を重ね合わせることによって生成される。アイ・マスクは、アイ・ダイアグラムの許容範囲（acceptable limits）を定義し、アイ・ダイアグラムの一部がアイ・マスク内に存在する場合、信号の検証を不合格とするような「許容できない領域」を効果的に示す。デジタル信号のアイ・ダイアグラム及びアイ・マスクは、当業者にはよく理解されているので、本願では詳細には説明しない。

【0027】

図３の左上には、ＤＱ０信号に関するアイ・ダイアグラム３００が、ＤＱ０信号に関するアイ・マスク３０２とともに示され、また、ＤＱＳ信号に関するアイ・ダイアグラム３０４も示されている。図３では、図を簡略化するために、アイ・パターン３００、３０４と、データ信号ＤＱ０のアイ・マスク３０２（Ｒｘマスク）についてのみ符号を付けている。これらのアイ・ダイアグラムの表示は、試験対象の各ＤＱ０～７信号及びＤＱＳ信号についての検証試験の結果の視覚的な表現をユーザに提示し、これによって、ユーザは、これらの各信号の特性をより詳細に調べ、ＤＱ０信号のアイ・ダイアグラム３００の一部がアイ・マスク３０２中に存在するなど、いずれかの信号が不合格である理由を調べることができる。図３に例示されたアイ・ダイアグラムでは、いずれにも不合格（failures）は存在していない。図３は、また、ＤＱＳ信号のアイ・ダイアグラムとともにデータ信号ＤＱ０～７のアイ・ダイアグラムを示し、これらのアイ・ダイアグラムの夫々についてアイ高さパラメータＥＨを示す。図３は、また、データ信号ＤＱ０～７のアイ・ダイアグラムを、ＤＱＳ信号のアイ・ダイアグラムとともに示し、これらのアイ・ダイアグラムの夫々のアイ幅パラメータＥＷを示す。いくつかの実施形態では、自動化エンジン１０８が、ＤＱ０～７信号の夫々について、アイ・マスク３０２（Ｒｘマスク）、アイ高さパラメータＥＨ及びアイ幅パラメータＥＷを示すアイ・ダイアグラムを示す別個の表示を生成しても良い。

【0028】

図４Ａ～図４Ｃは、アイ・ダイアグラムのパラメータをより明確に示すために、図３のアイ・ダイアグラムの中から選択されたものを分解したアイ・ダイアグラムであり、これらパラメータは、本開示のいくつかの実施形態によって、図１のＤＵＴ１０６から取り込まれたＤＱ０～ＤＱ１４及びＤＱＳ信号の夫々について、自動化エンジン１０８の分析アルゴリズム１１０によって計算されても良い。図４Ａ～図４Ｃは、ＤＱ０信号のアイ・ダイアグラムを具体的に示す。再度、これらのアイ・ダイアグラムは、各信号に関して、垂直軸で電圧、横軸で時間を示している。図４Ａは、ＤＱ０信号に関するアイ・ダイアグラム４００を、ＤＱＳ信号に関するアイ・ダイアグラム４０２とともに示す。アイ・ダイアグラム４００のアイ高さＥＨパラメータが示され、ＤＱ０信号のアイ開口部の最低及び最高測定電圧の間の範囲を与え、ここで、信号のアイ開口部は、図４Ｂに示されるように、垂直のアイ高さＥＨパラメータ及び水平のアイ幅ＥＷパラメータによって定義される。図４Ｂは、ＤＱ０信号に関するアイ・ダイアグラム４００を、ＤＱＳ信号に関するアイ・ダイアグラム４０２と共に示し、アイ・ダイアグラム４００のアイ幅ＥＷは、アイ・ダイアグラムのアイ開口の持続時間を示す。図４Ｃは、アイ・ダイアグラム４００のアイ・マスクＥＭ（即ち、Ｒｘマスク）を示しており、これは、上述したように、ＤＱ０信号のアイ・ダイアグラム４００の禁止領域に効果的に対応している。アイ・ダイアグラム４００のいずれかの部分がアイ・マスクＥＭ内に存在する場合、ＤＱ０信号の検証は、不合格となる。

【0029】

図５は、ＤＱ０～ＤＱ７信号の夫々についてのアイ・ダイアグラム５００-ＤＱ０から５００-ＤＱ７を、ＤＱＳ信号５０２のアイ・ダイアグラム（一番上のダイアグラムにおいてのみ、符号を付けている）とともに示している。図を簡略化するため、ＤＱ０～ＤＱ７のみ図示し、ＤＱ０～ＤＱ１４の全ては図示していない。図５の各ダイアグラムにおいて、縦軸で電圧、横軸で時間を示している。図５は、最も悪いスキューを特定できるように、ＤＱＳ信号と５００-ＤＱ０から５００-ＤＱ７の各アイ・ダイアグラムとの間のスキューを示している。図５において、ＤＱＳ信号の遷移は、垂直線５０４によって示され、各ＤＱ０～ＤＱ７信号のスキューは、垂直線５０４における時点と、対応するアイ・ダイアグラム５００-ＤＱ０～５００-ＤＱ７で示される対応するＤＱ０～ＤＱ７信号の遷移との間の時間差によって定義される。この例では、最も悪いスキューは、ＤＱＳ信号とアイ・ダイアグラム５００-ＤＱ６との間で発生し、最短のスキューは、アイ・ダイアグラム５００-ＤＱ２で発生する。いくつかの実施形態では、図１の自動化エンジン１０８によって実行される分析アルゴリズム１１０は、最短スキューと最長スキューとの差の大きさとして定義されるスキュー・オフセットも計算する。ここでも、アイ・ダイアグラム５００-ＤＱ０から５００-ＤＱ７の表示により、ユーザは、ＤＵＴ１０６からのＤＱ及びＤＱＳ信号の全てについての検証試験の結果を同時に表示し、これらの視覚的表示に基づいて、検証試験の結果を迅速に評価することができる。

【0030】

図６～図８は、本開示のいくつかの実施形態に従って分析アルゴリズム１１０を実行する際に、図１の自動化エンジン１０８によって生成されるいくつかの例示的なグラフィカル表示を示す。これらのグラフィカル表示は、ＤＵＴ１０６から取り込まれたＤＱＳ及びＤＱ０～ＤＱ１４信号について計算されたパラメータが、分析アルゴリズム１１０によって分析されて、関連する試験基準に合格するか不合格であるかを視覚的に示すために、自動化エンジン１０８がユーザに提供することがある検証試験情報の形式を例示するために提示される。図６は、ＤＱ信号の入力電圧振幅ViHLAc、ＤＱ信号の入力パルス幅の高値TdiPW_High及び入力パルス幅の低値TdiPW_Lowと、ＤＱ信号の立上りエッジのスルーレートSRIN-diVW_Riseを示す。図７及び図８は、図５との関係で上述したように、ＤＱ信号とＤＱＳ信号の夫々との間で計算されたスキュー値を示す表を図示している。図７は、ＤＱ０～ＤＱ５信号に関する２列目に、スキュー値をピコ秒単位で示している。図８は、ＤＱ３～ＤＱ７信号に関するスキュー値を示す。図７及び図８の表に示すスキュー値を比較すると、ＤＱ６信号に関して、６０１.６４０８７６７６ピコ秒（ｐｓ）の最大スキュー値が発生していることが分かる。最短スキュー値５６０.７７１０３５３３ｐｓが、ＤＱ２に関して、図５に示されている。４０.８６９８４１４ｐｓに等しいスキュー・オフセット・パラメータｔＤＱ２ＤＱが、図８に示され、最短スキュー値と最長スキュー値との差の大きさに対応している（即ち、（６０１.６４０８７６７６ｐｓ－５６０.７７１０３５３３ｐｓ）＝４０.８６９８４１４ｐｓ）。

【0031】

本開示技術の態様は、特別に作成されたハードウェア、ファームウェア、デジタル・シグナル・プロセッサ又はプログラムされた命令に従って動作するプロセッサを含む特別にプログラムされた汎用コンピュータ上で動作できる。本願における「コントローラ」又は「プロセッサ」という用語は、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、ＡＳＩＣ及び専用ハードウェア・コントローラ等を意図する。本開示技術の態様は、１つ又は複数のコンピュータ（モニタリング・モジュールを含む）その他のデバイスによって実行される、１つ又は複数のプログラム・モジュールなどのコンピュータ利用可能なデータ及びコンピュータ実行可能な命令で実現できる。概して、プログラム・モジュールとしては、ルーチン、プログラム、オブジェクト、コンポーネント、データ構造などを含み、これらは、コンピュータその他のデバイス内のプロセッサによって実行されると、特定のタスクを実行するか、又は、特定の抽象データ形式を実現する。コンピュータ実行可能命令は、ハードディスク、光ディスク、リムーバブル記憶媒体、ソリッド・ステート・メモリ、ＲＡＭなどのコンピュータ可読記憶媒体に記憶しても良い。当業者には理解されるように、プログラム・モジュールの機能は、様々な実施例において必要に応じて組み合わせられるか又は分散されても良い。更に、こうした機能は、集積回路、フィールド・プログラマブル・ゲート・アレイ（ＦＰＧＡ）などのようなファームウェア又はハードウェア同等物において全体又は一部を具体化できる。特定のデータ構造を使用して、本開示技術の１つ以上の態様をより効果的に実施することができ、そのようなデータ構造は、本願に記載されたコンピュータ実行可能命令及びコンピュータ使用可能データの範囲内と考えられる。

【0032】

開示された態様は、場合によっては、ハードウェア、ファームウェア、ソフトウェア又はこれらの任意の組み合わせで実現されても良い。開示された態様は、１つ以上のプロセッサによって読み取られ、実行され得る１つ又は複数のコンピュータ可読媒体によって運搬されるか又は記憶される命令として実現されても良い。そのような命令は、コンピュータ・プログラム・プロダクトと呼ぶことができる。本願で説明するコンピュータ可読媒体は、コンピューティング装置によってアクセス可能な任意の媒体を意味する。限定するものではないが、一例としては、コンピュータ可読媒体は、コンピュータ記憶媒体及び通信媒体を含んでいても良い。

【0033】

コンピュータ記憶媒体とは、コンピュータ読み取り可能な情報を記憶するために使用することができる任意の媒体を意味する。限定するものではないが、例としては、コンピュータ記憶媒体としては、ランダム・アクセス・メモリ（ＲＡＭ）、読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）、電気消去可能プログラマブル読み出し専用メモリ（ＥＥＰＲＯＭ）、フラッシュメモリやその他のメモリ技術、コンパクト・ディスク読み出し専用メモリ（ＣＤ-ＲＯＭ）、ＤＶＤ（Digital Video Disc）やその他の光ディスク記憶装置、磁気カセット、磁気テープ、磁気ディスク記憶装置やその他の磁気記憶装置、及び任意の技術で実装された任意の他の揮発性又は不揮発性の取り外し可能又は取り外し不能の媒体を含んでいても良い。コンピュータ記憶媒体としては、信号そのもの及び信号伝送の一時的な形態は除外される。

【0034】

通信媒体とは、コンピュータ可読情報の通信に利用できる任意の媒体を意味する。限定するものではないが、例としては、通信媒体には、電気、光、無線周波数（ＲＦ）、赤外線、音又はその他の形式の信号の通信に適した同軸ケーブル、光ファイバ・ケーブル、空気又は任意の他の媒体を含んでも良い。

実施例

【0035】

以下では、本願で開示される技術の理解に有益な実施例が提示される。この技術の実施形態は、以下で記述する実施例の１つ以上及び任意の組み合わせを含んでいても良い。

【0036】

実施例１は、試験測定システムにおいて被試験デバイス（ＤＵＴ）を試験する方法である。この方法は、
試験モードで動作中に複数の試験信号を供給する上記ＤＵＴを上記試験モードの動作に設定する処理と、
上記複数の試験信号の中の選択された試験信号を受けるように上記ＤＵＴに夫々結合される複数の試験測定装置を同期させる処理と、
同期された上記複数の試験測定装置によって上記ＤＵＴが供給する上記複数の試験信号を同時に取得（アクイジション）する処理と、
上記複数の試験信号の夫々について検証試験を行うために取得した上記複数の試験信号を分析する処理と、
上記複数の試験信号の夫々についての上記検証試験の結果を同時に表示する処理とを具える。

【0037】

実施例２は、実施例１による方法であって、上記試験信号が、複数のデータ信号と、データ・ストローブ信号とを有する。

【0038】

実施例３は、実施例１による方法であって、上記試験信号が、複数のコマンド・アドレス信号と、チップ・セレクト信号とを有する。

【0039】

実施例４は、上述の実施例の方法のいずれかによる方法であって、上記ＤＵＴは、ダブル・データ・レート（ＤＤＲ）メモリである。

【0040】

実施例５は、上述の実施例の方法のいずれかによる方法であって、上記複数の試験測定装置の夫々が、オシロスコープを有する。

【0041】

実施例６は、上述の実施例の方法のいずれかによる方法であって、上記複数の試験測定装置によって上記ＤＵＴが供給する上記複数の試験信号を同時に取得する処理が、上記複数の試験信号の夫々についてアイ・ダイアグラムを生成する処理を更に有する。

【0042】

実施例７は、上述の例示方法のいずれかによる方法であって、取得した上記複数の試験信号を分析する処理が、上記複数の試験信号の夫々について、生成されたアイ・ダイアグラムのアイ高さ、アイ幅及びマスクを決定する処理を更に有する。

【0043】

実施例８は、上述した実施例の方法のいずれかによる方法であって、上記検証試験の結果を同時に表示する処理が、上記複数の試験信号の夫々について、生成されたアイ・ダイアグラムと、決定されたアイ高さ、アイ幅及びマスクを表示する処理を更に有する。

【0044】

実施例９は、上述した実施例の方法のいずれかによる方法であって、上記検証試験の結果を同時に表示する処理が、上記複数の試験信号について、上記試験信号波形が上記検証試験に合格したか又は不合格かの指示を表示する処理を更に有する。

【0045】

実施例１０は、上述した実施例の方法のいずれかによる方法であって、上記複数の試験測定装置を同期させる処理が、上記複数の試験測定装置の中の１つをマスター試験測定装置として指定し、上記複数の試験測定装置の残りの部分を拡張試験測定装置として指定する処理と、上記マスター試験測定装置からの制御信号を上記複数の拡張試験測定装置の夫々に通信して、上記ＤＵＴが供給する上記複数の試験信号の同時取得を制御する処理とを有する。

【0046】

実施例１１は、実施例１０による方法であって、上記マスター試験測定装置から上記複数の拡張試験測定装置の夫々に制御信号を通信する処理が、上記ＤＵＴが供給する上記複数の試験信号を上記複数の試験測定装置が同期した状態で同時に取得するために用いるサンプリング・クロック信号を上記マスター試験測定装置が供給する処理と、上記複数の試験測定装置による上記複数の試験信号の取得の開始及び停止を制御するトリガ信号を供給する処理と、上記複数の拡張試験測定装置の夫々から上記マスター試験測定装置へのデータの転送を制御する処理とを有し、上記複数の拡張試験測定装置の夫々に関する転送されるデータが、上記拡張試験測定装置が取得した上記複数の試験信号に関するデータに対応する。

【0047】

実施例１２は、実施例１１による試験測定システムであって、
被試験デバイス（ＤＵＴ）に夫々結合され、試験モードで動作中に上記ＤＵＴから複数の試験信号を受信するように夫々構成される複数の試験測定装置であって、上記複数の試験測定装置の中の１つがマスター試験測定装置として指定され、上記複数の上記試験測定装置の残りのものが拡張試験測定装置として指定され、上記マスター試験測定装置は、上記複数の拡張試験測定装置の夫々と制御信号を通信して上記複数の試験測定装置を同期させて上記ＤＵＴが供給する上記複数の試験信号を同時に取得するようにする上記複数の試験測定装置を有するマルチ・スタック試験サブシステムと、
該マルチ・スタック試験サブシステムに結合され、上記複数の試験測定装置の中の上記マスター試験測定装置から取得された上記複数の試験信号を受信するように構成された自動化エンジンであって、取得された上記複数の試験信号を分析して、上記複数の試験信号の夫々について検証試験を行い、上記複数の試験信号についての上記検証試験の結果を同時に表示するように構成される上記自動化エンジンと
を具える。

【0048】

実施例１３は、実施例１２による試験測定システムであって、上記ＤＵＴは、ダブル・データ・レート（ＤＤＲ）メモリである。

【0049】

実施例１４は、実施例１３による試験測定システムであって、上記試験信号は、複数のデータ信号とデータ・ストローブ信号とを含む。

【0050】

実施例１５は、実施例１３による試験測定システムであって、上記試験信号は、複数のコマンド・アドレス信号及びチップ・セレクト信号を有する。

【0051】

実施例１６は、上記実施例の試験測定システムのいずれかによる試験測定システムであって、上記複数の試験測定装置の夫々は、オシロスコープを有する。

【0052】

実施例１７は、上記実施例の試験測定システムのいずれかによる試験測定システムであって、上記自動化エンジンは、取得された上記複数の試験信号の夫々についてアイ・ダイアグラムを生成するように構成されている。

【0053】

実施例１８は、上記実施例の試験測定システムのいずれかによる試験測定システムであって、上記自動化エンジンは、上記複数の試験信号について、生成されたアイ・ダイアグラムのアイ高さ、アイ幅及びマスクを決定するように構成されている。

【0054】

実施例１９は、試験測定システムであって、
被試験デバイス（ＤＵＴ）に夫々結合され、検証試験モードで動作中に上記ＤＵＴから複数の試験信号を受信するように夫々構成される複数の拡張試験測定装置と、
上記複数の拡張試験測定装置に結合されるとともに、上記ＤＵＴに結合されて上記検証試験モードで動作中に上記ＤＵＴから複数の試験信号を受信するように構成されるマスター試験測定装置であって、上記複数の拡張試験測定装置の夫々と制御信号を通信して、上記複数の試験測定装置を同期させて上記ＤＵＴが供給する上記複数の試験信号を同時に取得するように更に構成される上記マスター試験測定装置と
を有するマルチ・スタック試験サブシステムと、
該マルチ・スタック試験サブシステムに結合され、上記複数の試験測定装置の中の上記マスター試験測定装置から取得された上記複数の試験信号を受信するように構成された自動化エンジンであって、取得された上記複数の試験信号を分析して、上記複数の試験信号の夫々について検証試験を行い、上記複数の試験信号についての上記検証試験の結果を同時に表示するように構成される上記自動化エンジンと
を具える。

【0055】

実施例２０は、実施例１９の試験測定システムであって、上記マスター試験測定装置は、
上記ＤＵＴが供給する上記複数の試験信号を上記複数の試験測定装置が同期状態で同時に取得するために用いるためのサンプリング・クロック信号と、
上記複数の試験測定装置による上記複数の試験信号の取得の開始及び停止を制御するトリガ信号と、
上記複数の拡張試験測定装置の夫々から上記マスター試験測定装置へのデータの転送を制御する信号と、
を含む制御信号を通信するように構成され、
上記複数の拡張試験測定装置の夫々に関して転送される上記データは、上記拡張試験測定装置によって取得された上記複数の試験信号のデータに対応する。

【0056】

本発明の上述の説明は、単に本発明を説明するために設定されたものであり、限定することを意図するものではない。本発明の本質を組み込んだ開示された実施形態を改変することは、当業者であれば行いうるので、その発明は、本発明の範囲内の全てを含むと解釈されるべきである。

【0057】

開示された本件の上述のバージョンは、記述したか又は当業者には明らかであろう多くの効果を有する。それでも、開示された装置、システム又は方法のすべてのバージョンにおいて、これらの効果又は特徴のすべてが要求されるわけではない。

【0058】

加えて、本願の記述は、特定の特徴に言及している。特許請求の範囲、要約及び図面を含め、本明細書に開示される全ての特徴と、開示される全ての方法又は処理における全ての工程は、互いに少なくとも一部分が排他的でない限り、任意に組み合わせても良い。特許請求の範囲、要約及び図面を含め、本明細書に開示される特徴の夫々は、特に明記されていない限り、同じ、等価又は類似の目的に寄与する代替の特徴で置き換えても良い。

【0059】

また、本願において、２つ以上の定義されたステップ又は工程を有する方法に言及する場合、これら定義されたステップ又は工程は、状況的にそれらの可能性を排除しない限り、任意の順序で又は同時に実行しても良い。

【0060】

説明の都合上、本開示技術の具体的な例を図示し、説明してきたが、本発明の要旨と範囲から離れることなく、種々の変更が可能なことが理解できよう。従って、本開示技術は、添付の請求項以外では、限定されるべきではない。

【符号の説明】

【0061】

１００ 試験測定システム
１０２ マルチ・スタック試験サブシステム
１０４Ａ 試験測定装置
１０４Ｂ 試験測定装置
１０４Ｃ 試験測定装置
１０４Ｄ 試験測定装置
１０６ 被試験デバイス（ＤＵＴ）
１０７ 通信リンク
１０８ 自動化エンジン
１１０ 分析アルゴリズム
３００ ＤＱ０信号のアイ・ダイアグラム
３０２ アイ・マスク
３０４ ＤＱＳ信号のアイ・ダイアグラム
４００ ＤＱ０信号のアイ・ダイアグラム
４０２ ＤＱＳ信号のアイ・ダイアグラム
５００-ＤＱ０ ＤＱ０信号のアイ・ダイアグラム
５００-ＤＱ１ ＤＱ１信号のアイ・ダイアグラム
５００-ＤＱ２ ＤＱ２信号のアイ・ダイアグラム
５００-ＤＱ３ ＤＱ３信号のアイ・ダイアグラム
５００-ＤＱ４ ＤＱ４信号のアイ・ダイアグラム
５００-ＤＱ５ ＤＱ５信号のアイ・ダイアグラム
５００-ＤＱ６ ＤＱ６信号のアイ・ダイアグラム
５００-ＤＱ７ ＤＱ７信号のアイ・ダイアグラム
５０２ ＤＱＳ信号のアイ・ダイアグラム
５０４ 縦線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図4C】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【外国語明細書】