特開 2024-92150 赤外線検出装置、温度測定装置及び赤外線検出方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024092150

(43)【公開日】2024-07-08

(54)【発明の名称】赤外線検出装置、温度測定装置及び赤外線検出方法

(51)【国際特許分類】

   G01J 1/02 20060101AFI20240701BHJP

   G01J 5/0806 20220101ALI20240701BHJP

   G01J 1/04 20060101ALI20240701BHJP

【ＦＩ】

G01J1/02 C

G01J5/0806

G01J1/04 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022207879

(22)【出願日】2022-12-26

【公序良俗違反の表示】

（特許庁注：以下のものは登録商標）

１．ブルートゥース

(71)【出願人】

【識別番号】000155023

【氏名又は名称】株式会社堀場製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110000729

【氏名又は名称】弁理士法人ユニアス国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】古川 泰生

(72)【発明者】

【氏名】大須賀 直博

【テーマコード（参考）】

2G065

2G066

【Ｆターム（参考）】

2G065AA04

2G065AB02

2G065BB11

2G065BB12

2G065BC28

2G065BC33

2G065BC35

2G066BA25

2G066BC15

(57)【要約】

【課題】 検出視野の第２方向の長さが長くなることを抑制することができる赤外線検出装置を提供する。
【解決手段】 赤外線検出装置においては、第１検出部の光軸は、第１方向視において対象面と傾斜して交差し、第１検出部は、第１検出光路から入射する赤外線の量を検出する第１センサと、対象面から入射する赤外線を第１センサへ向けて出射する第１光学系と、を備え、第１光学系は、入射側の第１検出光路における第２方向視の第１入射視野角度を、出射側の第１検出光路の第１出射視野角度へ変換し、第１入射視野角度は、第１出射視野角度よりも、小さい。
【選択図】 図９

【特許請求の範囲】

【請求項1】

互いに直交する第１方向及び第２方向にそれぞれ沿う対象面からの赤外線を検出する赤外線検出装置であって、
前記対象面へ向けて広がる第１検出光路を有し、前記第１検出光路から入射する赤外線の量を検出する第１検出部を備え、
前記第１検出部の光軸は、前記第１方向視において前記対象面と傾斜して交差し、
前記第１検出部は、
前記第１検出光路から入射する赤外線の量を検出する第１センサと、
前記対象面から入射する赤外線を前記第１センサへ向けて出射する第１光学系と、を備え、
前記第１光学系は、入射側の前記第１検出光路における前記第１方向視の第１入射視野角度を、出射側の前記第１検出光路の第１出射視野角度へ変換し、
前記第１入射視野角度は、前記第１出射視野角度よりも、小さい、赤外線検出装置。

【請求項2】

前記対象面へ向けて広がる第２検出光路を有し、前記第２検出光路から入射する赤外線の量を検出する第２検出部をさらに備え、
前記第２検出部の光軸は、前記第１方向視において前記対象面と傾斜して交差し、
前記第２検出部は、
前記第２検出光路から入射する赤外線の量を検出する第２センサと、
前記対象面から入射する赤外線を前記第２センサへ向けて出射する第２光学系と、を備え、
前記第２光学系は、入射側の前記第２検出光路における前記第１方向視の第２入射視野角度を、出射側の前記第２検出光路の第２出射視野角度へ変換し、
前記第２入射視野角度は、前記第２出射視野角度よりも、小さい、請求項１に記載の赤外線検出装置。

【請求項3】

前記第１方向視において、前記第１検出部の光軸と前記対象面との間の交差角度は、前記第２検出部の光軸と前記対象面との間の交差角度よりも、小さく、
前記第１入射視野角度は、前記第２入射視野角度よりも、小さい、請求項２に記載の赤外線検出装置。

【請求項4】

前記対象面は、前記第１方向に沿って搬送される対象物の表面であり、
前記第１光学系は、入射側の前記第１検出光路における前記第２方向視の第３入射視野角度を、出射側の前記第１検出光路の第３出射視野角度へ変換し、
前記第３入射視野角度は、前記第３出射視野角度よりも、大きい、請求項１～３の何れか１項に記載の赤外線検出装置。

【請求項5】

前記第１光学系は、前記対象面から入射する赤外線を前記第１センサへ向けて反射する反射面を備える、一つの反射材であり、
前記反射面は、前記第１方向視において凹状に形成される、請求項１～４の何れか１項に記載の赤外線検出装置。

【請求項6】

前記第１光学系は、前記対象面から入射する赤外線を前記第１センサへ向けて反射する反射面を備える、一つの反射材であり、
前記反射面は、前記第１方向視において凹状に形成され、且つ、前記第１方向及び前記第２方向を含む面による断面において凸状に形成される、請求項４に記載の赤外線検出装置。

【請求項7】

前記第１センサ及び前記第１光学系間で熱伝導するために、前記第１センサ及び前記第１光学系にそれぞれ連結される第１伝熱部をさらに備える、請求項１～６の何れか１項に記載の赤外線検出装置。

【請求項8】

前記第１センサ及び前記第１光学系間で熱伝導するために、前記第１センサ及び前記第１光学系にそれぞれ連結される第１伝熱部と、
前記第２センサ及び前記第２光学系間で熱伝導するために、前記第２センサ及び前記第２光学系にそれぞれ連結される第２伝熱部と、をさらに備え、
前記第１伝熱部と前記第２伝熱部とは、前記第１伝熱部及び前記第２伝熱部間で熱伝導するために、互いに連結される、請求項２又は３に記載の赤外線検出装置。

【請求項9】

請求項１～８の何れか１項に記載の赤外線検出装置と、
前記第１検出部及び前記第２検出部が検出する赤外線の量に基づいて、前記対象面の温度を演算する処理部と、を備える、温度測定装置。

【請求項10】

請求項１～８の何れか１項に記載の赤外線検出装置を用いて、前記対象面からの赤外線を検出する、赤外線検出方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本出願は、赤外線検出装置、温度測定装置及び赤外線検出方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、例えば、赤外線検出装置は、互いに直交する第１方向及び第２方向にそれぞれ沿う対象面から入射する赤外線の量を検出する第１センサ及び第２センサを備えている（例えば、特許文献１）。そして、第１方向視において、第１センサの光軸と対象面との間の第１交差角度は、第２センサの光軸と対象面との間の第２交差角度よりも、小さくなっている。

【0003】

ところで、第１方向視において、第１交差角度が小さいため、第１センサで赤外線を検出される対象面の領域（検出視野）の第２方向の長さは、長くなる。このように、第１方向視における第１交差角度が小さいほど、対象面において必要な第２方向の長さは、長くなる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】国際公開第２０２１／０８００２号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

そこで、課題は、検出視野の第２方向の長さが長くなることを抑制することができる赤外線検出装置、温度測定装置及び赤外線検出方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

赤外線検出装置は、互いに直交する第１方向及び第２方向にそれぞれ沿う対象面からの赤外線を検出する赤外線検出装置であって、前記対象面へ向けて広がる第１検出光路を有し、前記第１検出光路から入射する赤外線の量を検出する第１検出部を備え、前記第１検出部の光軸は、前記第１方向視において前記対象面と傾斜して交差し、前記第１検出部は、前記第１検出光路から入射する赤外線の量を検出する第１センサと、前記対象面から入射する赤外線を前記第１センサへ向けて出射する第１光学系と、を備え、前記第１光学系は、入射側の前記第１検出光路における前記第１方向視の第１入射視野角度を、出射側の前記第１検出光路の第１出射視野角度へ変換し、前記第１入射視野角度は、前記第１出射視野角度よりも、小さい。

【0007】

温度測定装置は、前記の赤外線検出装置と、前記第１検出部及び前記第２検出部が検出する赤外線の量に基づいて、前記対象面の温度を演算する処理部と、を備える。

【0008】

赤外線検出方法は、前記の赤外線検出装置を用いて、前記対象面からの赤外線を検出する。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】一実施形態に係る温度測定装置の概要図

【図2】同実施形態に係る赤外線検出装置の第１方向視の概要図

【図3】同実施形態に係る赤外線検出装置の第２方向視の概要図（（ａ）：全体図、（ｂ）：第１検出部のみの図、（ｃ）：第２検出部のみの図）

【図4】同実施形態に係るセンサの概要図

【図5】同実施形態に係る反射材の斜視図

【図6】同実施形態に係る反射材の第１方向視の図

【図7】図６のVII－VII線断面図

【図8】第１検出部の検出光路及び検出視野を説明する第１方向視図

【図9】第１及び第２検出部の検出光路及び検出視野を説明する第１方向視図

【図10】第１検出部の検出光路を説明する図（（ａ）：図８の第４方向視図、（ｂ）：第２方向視図）

【図11】第１検出部の検出光路及び検出視野を説明する第３方向視図

【発明を実施するための形態】

【0010】

各図面において、構成要素の寸法は、例えば、理解を容易にするために、実際の寸法に対して拡大、縮小して示す場合があり、また、各図面の間での寸法比は、一致していない場合がある。なお、各図面において、例えば、理解を容易にするために、構成要素の一部を省略して示す場合がある。

【0011】

第１、第２等の序数を含む用語は、多様な構成要素を説明するために用いられるが、この用語は、一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的でのみ用いられ、構成要素は、この用語によって特に限定されるものではない。なお、序数を含む構成要素の個数は、特に限定されず、例えば、一つでもよい場合がある。また、以下の明細書及び図面で用いられる序数は、特許請求の範囲に記載された序数と異なる場合がある。

【0012】

以下、温度測定装置及び赤外線検出装置における一実施形態について、図１～図１１を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態は、温度測定装置及び赤外線検出装置の構成等の理解を助けるために例示するものであり、温度測定装置及び赤外線検出装置の構成を限定するものではない。

【0013】

図１に示すように、例えば、温度測定装置１は、測定の対象である対象物Ｘ１の対象面Ｘ２からの赤外線を検出する赤外線検出装置（以下、単に「検出装置」ともいう）２と、検出装置２と通信可能な装置本体３と、検出装置２と装置本体３とを通信可能な通信手段４とを備えていてもよい。装置本体３は、例えば、本実施形態のように、情報が入力される入力部３ａと、情報を処理する処理部３ｂと、情報を出力する出力部３ｃとを備えていてもよい。

【0014】

通信手段４は、例えば、Ｗｉ－Ｆｉ、ブルートゥース等の無線通信手段であってもよく、また、例えば、通信ケーブル等の有線通信手段であってもよい。なお、例えば、検出装置２及び装置本体３が、共通の筐体の内部に配置されることによって、検出装置２及び装置本体３は、一体的に構成されていてもよい。

【0015】

入力部３ａは、特に限定されないが、例えば、ボタン、タッチパネル等とすることができる。そして、入力部３ａには、例えば、対象面Ｘ２の温度の測定を開始する指示の情報等が入力されてもよい。

【0016】

処理部３ｂは、例えば、ＣＰＵ及びＭＰＵ等のプロセッサ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等のメモリ、各種インターフェイス等を備えていてもよい。具体的には、処理部３ｂは、例えば、検出装置２及び入力部３ａ等から情報を取得する取得部と、情報を記憶する記憶部と、情報（例えば、対象面Ｘ２の温度）を演算する演算部と、温度測定装置１の各部（例えば、出力部３ｃ）を制御する制御部とを備えていてもよい。

【0017】

出力部３ｃは、特に限定されないが、例えば、表示装置等とすることができる。なお、出力部３ｃは、例えば、温度測定装置１の外部へ信号を出力（送信）する送信手段としてもよい。そして、出力部３ｃは、測定した結果（例えば、対象面Ｘ２の温度）等を出力してもよい。

【0018】

図２及び図３に示すように、対象物Ｘ１は、例えば、第１方向Ｄ１に沿って搬送される（第１方向Ｄ１に平行な方向へ搬送される構成だけでなく、第１方向Ｄ１と１０°以内で交差する方向へ搬送される構成も含む）金属材、より具体的には、金属シート材であってもよく、そして、対象面Ｘ２は、金属材の表面であって、例えば、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２にそれぞれ沿う面であってもよい。なお、対象物Ｘ１は、特に限定されず、例えば、停止している金属材であってもよい。

【0019】

また、特に限定されないが、例えば、本実施形態においては、第１方向Ｄ１は、第１横方向Ｄ１であり、第２方向Ｄ２は、第１方向Ｄ１と直交する第２横方向Ｄ２であり、第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２と直交する上下方向Ｄ３である。

【0020】

検出装置２は、例えば、本実施形態のように、対象面Ｘ２からの赤外線の量を検出する第１検出部５及び第２検出部６と、第１検出部５及び第２検出部６を固定する固定手段７とを備えていてもよい。なお、対象面Ｘ２からの赤外線は、例えば、対象面Ｘ２から輻射（放射）された赤外線と、対象物Ｘ１の周辺の物から輻射（放射）されて対象面Ｘ２で反射された赤外線とを含んでいる。

【0021】

第１検出部５は、例えば、本実施形態のように、入射する赤外線の量を検出する第１センサ８と、対象面Ｘ２から入射する赤外線を第１センサ８へ向けて出射する第１光学系９とを備えていてもよい。これにより、対象面Ｘ２からの赤外線は、第１光学系９を経由して、第１センサ８に入射する。

【0022】

第２検出部６は、例えば、本実施形態のように、入射する赤外線の量を検出する第２センサ１０と、対象面Ｘ２から入射する赤外線を第２センサ１０へ向けて出射する第２光学系１１とを備えていてもよい。これにより、対象面Ｘ２からの赤外線は、第２光学系１１を経由して、第２センサ１０に入射する。

【0023】

固定手段７は、例えば、本実施形態のように、ベース部７ａと、第１センサ８をベース部７ａに固定する第１固定部７ｂと、第１光学系９をベース部７ａに固定する第２固定部７ｃと、第２センサ１０をベース部７ａに固定する第３固定部７ｄと、第２光学系１１をベース部７ａに固定する第４固定部７ｅとを備えていてもよい。

【0024】

これにより、ベース部７ａと第１及び第２固定部７ｂ，７ｃとは、第１センサ８及び第１光学系９にそれぞれ連結される第１伝熱部７ｆを構成し、第１伝熱部７ｆは、第１センサ８及び第１光学系９間で熱伝導させる。加えて、ベース部７ａと第３及び第４固定部７ｄ，７ｅとは、第２センサ１０及び第２光学系１１にそれぞれ連結される第２伝熱部７ｇを構成し、第２伝熱部７ｇは、第２センサ１０及び第２光学系１１間で熱伝導させる。

【0025】

したがって、センサ８，１０と光学系９，１１との間に温度差が生じることを抑制することができる。その結果、センサ８，１０及び光学系９，１１間で赤外線の受け渡しが生じることを抑制することができるため、対象面Ｘ２からの赤外線の量をセンサ８，１０で正確に検出することができる。

【0026】

なお、ベース部７ａが第１伝熱部７ｆ及び第２伝熱部７ｇを構成しているため、第１伝熱部７ｆと第２伝熱部７ｇとは、互いに連結されていることになる。これにより、第１センサ８、第２センサ１０、第１光学系９、及び第２光学系１１間で熱伝導がされるため、第１センサ８、第２センサ１０、第１光学系９、及び第２光学系１１間に温度差が生じることを抑制することができる。

【0027】

したがって、第１センサ８、第２センサ１０、第１光学系９、及び第２光学系１１で赤外線の受け渡しが生じることを抑制することができる。その結果、例えば、第１センサ８、第２センサ１０、第１光学系９、及び第２光学系１１が近くに配置された場合でも、対象面Ｘ２からの赤外線の量を第１及び第２センサ８，１０で正確に検出することができる。

【0028】

例えば、各伝熱部７ｆ，７ｇ（具体的には、ベース部７ａ及び各固定部７ｂ～７ｅ）の熱伝導率は、各検出部５，６及び固定手段７を内部に収容する筐体２ａの熱伝導率よりも、大きいことが好ましい。特に限定されないが、伝熱部７ｆ，７ｇは、例えば、アルミニウムで形成されていてもよく、また、筐体２ａは、例えば、硬質樹脂で形成されていてもよい。

【0029】

特に限定されないが、各伝熱部７ｆ，７ｇの熱伝導率は、例えば、１００（Ｗ／ｍ・Ｋ）以上であってもよく、また、例えば、２００（Ｗ／ｍ・Ｋ）以上であることが好ましい。なお、検出装置２は、筐体２ａの内部に、熱媒体（例えば、一定の温度のガス）を導入する装置を備えていてもよい。これにより、センサ８，１０及び光学系９，１１間に温度差が生じることをさらに抑制することができる。

【0030】

第１光学系９は、例えば、本実施形態のように、第１反射面９ｂを有する、一つの第１反射材（例えば、ミラー）９ａで構成されていてもよい。これにより、対象面Ｘ２から第１反射材９ａへ向かう赤外線は、第１反射面９ｂに入射した後に、第１反射面９ｂで反射され、第１センサ８へ向かう。

【0031】

第２光学系１１は、例えば、本実施形態のように、第２反射面１１ｂを有する、一つの第２反射材（例えば、ミラー）１１ａで構成されていてもよい。これにより、対象面Ｘ２から第２反射材１１ａへ向かう赤外線は、第２反射面１１ｂに入射した後に、第２反射面１１ｂで反射され、第２センサ１０へ向かう。

【0032】

特に限定されないが、反射材９ａ，１１ａの反射面９ｂ，１１ｂが入射された赤外線を反射する割合（反射面９ｂ，１１ｂの赤外線の反射率）は、例えば、９０％としてもよく、また、例えば、９５％以上であることが好ましく、また、例えば、９８％以上であることがさらに好ましい。これにより、赤外線が反射材９ａ，１１ａに吸収されることを抑制することができるため、対象面Ｘ２からの赤外線をセンサ８，１０で正確に検出することができる。

【0033】

なお、特に限定されないが、例えば、本実施形態のように、第１センサ８及び第１光学系９は、上下方向Ｄ３視において、対象物Ｘ１（対象面Ｘ２）から離れて配置されていてもよい。また、特に限定されないが、例えば、本実施形態のように、第２センサ１０及び第２光学系１１は、上下方向Ｄ３視において、対象物Ｘ１（対象面Ｘ２）から離れて配置されていてもよい。

【0034】

そして、検出部５，６は、それぞれ光軸５ａ，６ａを備えている。なお、検出部５，６の光軸５ａ，６ａは、センサ８，１０に入射される赤外線の光軸でもある。そして、各検出部５，６の光軸５ａ，６ａは、例えば、本実施形態のように、第１横方向Ｄ１視において対象面Ｘ２と傾斜して交差していてもよい。

【0035】

これにより、第１横方向Ｄ１視において、第１検出部５の光軸５ａと対象面Ｘ２との間の第１交差角度θ１は、９０°未満（例えば、４５°以下）となり、第２検出部６の光軸６ａと対象面Ｘ２との間の第２交差角度θ２は、９０°未満（例えば、４５°以下）となる。なお、第１交差角度θ１は、例えば、本実施形態のように、第２交差角度θ２よりも、小さくてもよい。

【0036】

特に限定されないが、例えば、対象物Ｘ１がアルミニウム材である場合には、第１交差角度θ１が２°～６°とされ、第２交差角度θ２が８°～１５°とされてもよい。また、特に限定されないが、例えば、第１交差角度θ１と第２交差角度θ２との差は、４°～１０°とされてもよい。

【0037】

また、各検出部５，６の光軸５ａ，６ａは、例えば、本実施形態のように、第２横方向Ｄ２視において対象面Ｘ２と垂直に交差していてもよい。これにより、第２横方向Ｄ２視において、第１検出部５の光軸５ａと対象面Ｘ２との間の第３交差角度θ３は、９０°となり、第２検出部６の光軸６ａと対象面Ｘ２との間の第４交差角度θ４は、９０°となる。

【0038】

なお、第１～第４交差角度θ１～θ４で対象面Ｘ２と交差する光軸５ａ，６ａは、対象面Ｘ２から検出部５，６へ入射する赤外線の光軸であり、入射光軸や入射側の光軸ともいう。具体的には、入射光軸は、検出部５，６の光軸５ａ，６ａのうち、対象面Ｘ２及び光学系９，１１（具体的には、反射材９ａ，１１ａの反射面９ｂ，１１ｂ）間の光軸のことである。

【0039】

また、特に限定されないが、例えば、本実施形態のように、第１検出部５の光軸５ａの長さは、第２検出部６の光軸６ａの長さと、同じでもよい。具体的には、例えば、第１検出部５の光軸５ａのうち、第１センサ８及び第１反射材９ａ間の距離は、第２検出部６の光軸６ａのうち、第２センサ１０及び第２反射材１１ａ間の距離と、同じでもよく、且つ、第１検出部５の光軸５ａのうち、対象面Ｘ２及び第１反射材９ａ間の距離は、第２検出部６の光軸６ａのうち、対象面Ｘ２及び第２反射材１１ａ間の距離と、同じでもよい。

【0040】

ところで、対象物Ｘ１の反射率及び放射率が対象面Ｘ２に対する角度で異なるため、検出部５，６の光軸５ａ，６ａと対象面Ｘ２との間の交差角度θ１，θ２が異なると、検出部５，６で検出する赤外線の量も異なる。これにより、第１交差角度θ１と第２交差角度θ２とが異なっているため、処理部３ｂ（図１参照）は、第１検出部５及び第２検出部６が検出する赤外線の量に基づいて、対象面Ｘ２の温度を演算する。

【0041】

なお、処理部３ｂの演算方法は、特に限定されない。例えば、処理部３ｂは、第１検出部５及び第２検出部６が検出する赤外線の量と、各交差角度θ１，θ２での既知な反射率及び放射率の少なくとも一方とから、連立方程式や２分法等によって、対象面Ｘ２の温度を演算してもよい。これにより、対象面Ｘ２の温度を測定することができる。このように、温度測定装置１は、例えば、本実施形態のように、非接触式の放射温度計であってもよい。

【0042】

図４に示すように、第１センサ８は、例えば、赤外線を検出する受光素子８ａと、赤外線が透過するレンズ８ｂと、レンズ８ｂを透過した赤外線が通過する絞り８ｃと、受光素子８ａ及びレンズ８ｂを収容するセンサ本体８ｄとを備えていてもよい。これにより、赤外線は、レンズ８ｂを透過して絞り８ｃを通過することによって、受光素子８ａで受けられる。

【0043】

なお、受光素子８ａは、例えば、赤外線を吸収したときの温度変化を起電力の変化として検出してもよい。特に限定されないが、受光素子８ａは、例えば、熱電対を多数直列に並べて薄膜化したサーモパイル等の熱型であってもよく、また、例えば、量子型であってもよい。

【0044】

なお、図示していないが、第２センサ１０も、例えば、第１センサ８と同様に、受光素子、レンズ、絞り、及びセンサ本体を備えていてもよい。特に限定されないが、第１センサ８及び第２センサ１０は、例えば、同じ検出光路である、即ち、同じセンサであってもよい。

【0045】

図５～図７に示すように、第１反射材９ａの第１反射面９ｂは、例えば、第１横方向Ｄ１視において、凹状に形成されていてもよい。また、第１反射材９ａの第１反射面９ｂは、例えば、本実施形態のように、第１横方向Ｄ１及び第２横方向Ｄ２を含む面による断面において、即ち、上下方向Ｄ３視において、凸状に形成されていてもよい。

【0046】

なお、第２反射材１１ａの第２反射面１１ｂは、例えば、本実施形態のように、第１横方向Ｄ１視において、凹状に形成されていてもよい（図２及び図９参照）。また、第２反射材１１ａの第２反射面１１ｂは、例えば、本実施形態のように、第１横方向Ｄ１及び第２横方向Ｄ２を含む面による断面において、即ち、上下方向Ｄ３視において、凸状に形成されていてもよい（図３参照）。

【0047】

ここで、検出部５，６の検出光路５ｂ，５ｄ，６ｂ，６ｄ及び検出視野５ｃ，６ｃについて、図８～図１１を参照しながら説明する。

【0048】

図８に示すように、第１検出部５は、対象面Ｘ２へ向けて広がる第１検出光路５ｂ，５ｄを備えており、第１センサ８は、第１検出光路５ｂ，５ｄから入射する赤外線の量を検出する。なお、対象面Ｘ２及び第１光学系９間の第１検出光路５ｂは、入射側の第１検出光路５ｂといい、第１光学系９及び第１センサ８間の第１検出光路５ｄは、出射側の第１検出光路５ｄという。即ち、出射側の第１検出光路５ｄは、第１センサ８が有する検出光路と同じである。

【0049】

そして、第１光学系９は、入射側の第１検出光路５ｂにおける第１横方向Ｄ１視の角度（以下、「第１入射視野角度」という）θ６を、出射側の第１検出光路５ｄの第１出射視野角度θ５に変換している。なお、本実施形態においては、第１光学系９が、一つの第１反射材９ａであり、且つ、第１検出部５の入射側の光軸５ａだけでなく、出射側の光軸５ａも、第２横方向Ｄ２視において対象面Ｘ２と垂直に交差しているため、第１出射視野角度θ５は、出射側の第１検出光路５ｄにおける第１横方向Ｄ１視の角度となる。

【0050】

そして、第１反射材９ａの第１反射面９ｂは、第１横方向Ｄ１視において、凹状に形成されている。これにより、第１入射視野角度θ６は、第１出射視野角度θ５よりも、小さくなる。したがって、第１検出部５の検出視野５ｃ（第１検出部５で赤外線を検出される対象面Ｘ２の領域）における第２横方向Ｄ２の長さが長くなることを抑制することができる。

【0051】

なお、図８において、破線は、第１入射視野角度θＹ６が第１出射視野角度θ５と同じである場合における、入射側の第１検出光路Ｙ５ｂを図示している。そして、第１入射視野角度θ６が第１出射視野角度θ５より小さい（θ６＜θ５）構成における、検出視野５ｃの第２横方向Ｄ２の長さは、第１入射視野角度θＹ６が第１出射視野角度θ５と同じ（θＹ６＝θ５）構成における、検出視野Ｙ５ｃの第２横方向Ｄ２の長さよりも、短くなっている（図１１も参照）。

【0052】

しかも、対象物Ｘ１の反射率及び放射率が対象面Ｘ２に対する角度で異なることに対して、対象面Ｘ２に対する第１検出光路５ｂ内の赤外線の角度の範囲は、小さくなる。これにより、第１検出部５の光軸５ａに対する、第１検出光路５ｂ内の赤外線の角度の範囲は、小さくなる。したがって、第１検出光路５ｂ内の赤外線の反射率及び放射率の差が小さくなるため、例えば、赤外線量の検出の精度を向上させることができる。

【0053】

また、図９に示すように、第２検出部６は、対象面Ｘ２へ向けて広がる第２検出光路６ｂ，６ｄを備えており、第２センサ１０は、第２検出光路６ｂ，６ｄから入射する赤外線の量を検出する。なお、対象面Ｘ２及び第２光学系１１間の第２検出光路６ｂは、入射側の第２検出光路６ｂといい、第２光学系１１及び第２センサ１０間の第２検出光路６ｄは、出射側の第２検出光路６ｄという。即ち、出射側の第２検出光路６ｄは、第２センサ１０が有する検出光路と同じである。

【0054】

そして、第２光学系１１は、入射側の第２検出光路６ｂにおける第１横方向Ｄ１視の角度（以下、「第２入射視野角度」という）θ８を、出射側の第２検出光路６ｄの第２出射視野角度θ７に変換している。なお、本実施形態においては、第２光学系１１が、一つの第２反射材１１ａであり、且つ、第２検出部６の入射側の光軸６ａだけでなく、出射側の光軸６ａも、第２横方向Ｄ２視において対象面Ｘ２と垂直に交差しているため、第２出射視野角度θ７は、出射側の第２検出光路６ｄにおける第１横方向Ｄ１視の角度となる。

【0055】

そして、第２反射材１１ａの第２反射面１１ｂは、第１横方向Ｄ１視において、凹状に形成されている。これにより、第２入射視野角度θ８は、第２出射視野角度θ７よりも、小さくなる。したがって、第２検出部６の検出視野６ｃ（第２検出部６で赤外線を検出される対象面Ｘ２の領域）における第２横方向Ｄ２の長さが長くなることを抑制することができる。

【0056】

ところで、第１交差角度θ１が第２交差角度θ２よりも小さいことに対して、例えば、本実施形態のように、第１横方向Ｄ１視において、第１反射面９ｂの凹状の曲率半径は、第２反射面１１ｂの凹状の曲率半径よりも、小さくてもよい。これにより、第１入射視野角度θ６は、第２入射視野角度θ８よりも、小さくなる。

【0057】

したがって、例えば、第１検出部５の検出視野５ｃ及び第２検出部６の検出視野６ｃ間で、第２横方向Ｄ２の長さの差が大きくなることを抑制することができる。なお、特に限定されないが、例えば、第１検出部５の検出視野５ｃにおける第２横方向Ｄ２の長さと、第２検出部６の検出視野６ｃにおける第２横方向Ｄ２の長さとを同じにすることもできる。

【0058】

また、図１０に示すように、第１光学系９は、入射側の第１検出光路５ｂにおける第２横方向Ｄ２視の角度（以下、「第３入射視野角度」という）θ１０を、出射側の第１検出光路５ｄの第３出射視野角度θ９に変換している。なお、本実施形態においては、第３出射視野角度θ９は、図８の第４方向Ｄ４視における出射側の第１検出光路５ｄの角度となる。

【0059】

なお、本実施形態においては、第１光学系９が、一つの第１反射材９ａであり、且つ、第１検出部５の入射側の光軸５ａだけでなく、出射側の光軸５ａも、第２横方向Ｄ２視において対象面Ｘ２と垂直に交差しているため、第１方向Ｄ１視において、第４方向Ｄ４と出射側の光軸５ａとの交差角度は、第２横方向Ｄ２と入射側の光軸５ａとの交差角度と、同じである。

【0060】

そして、第１反射材９ａの第１反射面９ｂは、第１横方向Ｄ１及び第２横方向Ｄ２を含む面による断面において、凸状に形成されている。これにより、第３入射視野角度θ１０が、第３出射視野角度θ９よりも、大きくなるため、対象面Ｘ２が第１横方向Ｄ１に沿って搬送される金属材の表面であることに対して、第１検出部５の検出視野５ｃにおける第１横方向Ｄ１の長さを長くすることができる。

【0061】

したがって、検出視野５ｃにおける第１横方向Ｄ１の長さが長いため、例えば、対象物Ｘ１が第１横方向Ｄ１に沿って搬送されつつ、対象面Ｘ２が部分的に振動したときに、第１センサ８で検出する赤外線の量に、誤差が生じることを抑制することができる。その結果、例えば、当該振動によって第１センサ８で生じる検出誤差を小さくすることができる。

【0062】

なお、図１０（ｂ）及び図１１において、破線は、第３入射視野角度θＹ１０が第３出射視野角度θ９と同じである場合の第１検出光路Ｙ５ｂ及び第１検出視野Ｙ５ｃを図示している。そして、第３入射視野角度θ１０が第３出射視野角度θ９より大きい（θ１０＞θ９）構成の、検出視野５ｃの第１横方向Ｄ１の長さは、第３入射視野角度θＹ１０が第３出射視野角度θ９と同じ（θＹ１０＝θ９）構成の、検出視野Ｙ５ｃの第２横方向Ｄ２の長さよりも、長くなっている。

【0063】

また、図示していないが、第２光学系１１は、入射側の第２検出光路６ｂにおける第２横方向Ｄ２視の角度（以下、「第４入射視野角度」という）を、出射側の第２検出光路６ｄの第４出射視野角度に変換している。そして、第２反射材１１ａの第２反射面１１ｂは、第１横方向Ｄ１及び第２横方向Ｄ２を含む面による断面において、凸状に形成されているため（図３参照）、第４入射視野角度は、第４出射視野角度よりも、大きくなる。

【0064】

したがって、対象面Ｘ２が第１横方向Ｄ１に沿って搬送される金属材の表面であることに対して、第２検出部６の検出視野６ｃにおける第１横方向Ｄ１の長さを長くすることができる。特に限定されないが、例えば、第１検出部５の検出視野５ｃにおける第１横方向Ｄ１の長さと、第２検出部６の検出視野６ｃにおける第１横方向Ｄ１の長さとを同じにしてもよい。

【0065】

このように、第１光学系９によって、第１検出部５の検出視野５ｃを所望の領域にすることができ、また、第２光学系１１によって、第２検出部６の検出視野６ｃを所望の領域にすることができる。したがって、特に限定されないが、例えば、第１検出部５の検出視野５ｃと、第２検出部６の検出視野６ｃとを、同じ領域にすることもできる。

【0066】

なお、特に限定されないが、例えば、第１出射視野角度θ５及び第３出射視野角度θ９は、同じであってもよい。具体的には、出射側の第１検出光路５ｂ、即ち、第１センサ８が有する検出光路の広がり角度（例えば、第１出射視野角度θ５、第３出射視野角度θ９）は、第１横方向Ｄ１及び第２横方向Ｄ２だけでなく何れの横方向においても、同じであってもよい。

【0067】

また、特に限定されないが、例えば、第２出射視野角度θ７及び第４出射視野角度は、同じであってもよい。具体的には、出射側の第２検出光路６ｄ、即ち、第２センサ１０が有する検出光路の広がり角度（例えば、第３出射視野角度θ９、第４出射視野角度）は、第１横方向Ｄ１及び第２横方向Ｄ２だけでなく何れの横方向においても、同じであってもよい。

【0068】

以上より、赤外線検出装置２は、例えば、本実施形態のように、互いに直交する第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２にそれぞれ沿う対象面Ｘ２からの赤外線を検出する赤外線検出装置２であって、前記対象面Ｘ２へ向けて広がる第１検出光路５ｂ，５ｄを有し、前記第１検出光路５ｂ，５ｄから入射する赤外線の量を検出する第１検出部５を備え、前記第１検出部５の光軸５ａは、前記第１方向Ｄ１視において前記対象面Ｘ２と傾斜して交差し、前記第１検出部５は、前記第１検出光路５ｂ，５ｄから入射する赤外線の量を検出する第１センサ８と、前記対象面Ｘ２から入射する赤外線を前記第１センサ８へ向けて出射する第１光学系９と、を備え、前記第１光学系９は、入射側の前記第１検出光路５ｂにおける前記第１方向Ｄ１視の第１入射視野角度θ６を、出射側の前記第１検出光路５ｄの第１出射視野角度θ５へ変換し、前記第１入射視野角度θ６は、前記第１出射視野角度θ５よりも、小さい、という構成が好ましい。

【0069】

斯かる構成によれば、第１光学系９が、対象面Ｘ２から入射する赤外線を、第１センサ８へ向けて出射しており、第１入射視野角度θ６は、第１出射視野角度θ５よりも、小さくなっている。これにより、第１検出部５の検出視野５ｃにおける第２方向Ｄ２の長さが長くなることを抑制することができる。

【0070】

また、赤外線検出装置２は、例えば、本実施形態のように、前記対象面Ｘ２へ向けて広がる第２検出光路６ｂ，６ｄを有し、前記第２検出光路６ｂ，６ｄから入射する赤外線の量を検出する第２検出部６をさらに備え、前記第２検出部６の光軸６ａは、前記第１方向Ｄ１視において前記対象面Ｘ２と傾斜して交差し、前記第２検出部６は、前記第２検出光路６ｂ，６ｄから入射する赤外線の量を検出する第２センサ１０と、前記対象面Ｘ２から入射する赤外線を前記第２センサ１０へ向けて出射する第２光学系１１と、を備え、前記第２光学系１１は、入射側の前記第２検出光路６ｂにおける前記第１方向Ｄ１視の第２入射視野角度θ８を、出射側の前記第２検出光路６ｄの第２出射視野角度θ７へ変換し、前記第２入射視野角度θ８は、前記第２出射視野角度θ７よりも、小さい、という構成が好ましい。

【0071】

斯かる構成によれば、第２光学系１１が、対象面Ｘ２から入射する赤外線を、第２センサ１０へ向けて出射しており、第２入射視野角度θ８は、第２出射視野角度θ７よりも、小さくなっている。これにより、第２検出部６の検出視野６ｃにおける第２方向Ｄ２の長さが長くなることを抑制することができる。

【0072】

また、赤外線検出装置２においては、例えば、本実施形態のように、前記第１方向Ｄ１視において、前記第１検出部５の光軸５ａと前記対象面Ｘ２との間の交差角度（本実施形態においては、第１交差角度）θ１は、前記第２検出部６の光軸６ａと前記対象面Ｘ２との間の交差角度（本実施形態においては、第２交差角度）θ２よりも、小さく、前記第１入射視野角度θ６は、前記第２入射視野角度θ８よりも、小さい、という構成が好ましい。

【0073】

斯かる構成によれば、第１方向Ｄ１視において、第１検出部５の光軸５ａと対象面Ｘ２との間の交差角度θ１が、第２検出部６の光軸６ａと対象面Ｘ２との間の交差角度θ２よりも、小さいことに対して、第１入射視野角度θ６は、第２入射角度θ８よりも、小さくなっている。これにより、例えば、第１検出部５の検出視野５ｃ及び第２検出部６の検出視野６ｃ間で、第２方向Ｄ２の長さの差が大きくなることを抑制することができる。

【0074】

また、赤外線検出装置２においては、例えば、本実施形態のように、前記対象面Ｘ２は、前記第１方向Ｄ１に沿って搬送される対象物Ｘ１の表面であり、前記第１光学系９は、入射側の前記第１検出光路５ｂにおける前記第２方向Ｄ２視の第３入射視野角度θ１０を、出射側の前記第１検出光路５ｄの第３出射視野角度θ９へ変換し、前記第３入射視野角度θ１０は、前記第３出射視野角度θ９よりも、大きい、という構成が好ましい。

【0075】

斯かる構成によれば、第３入射視野角度θ１０が、第３出射視野角度θ９よりも、大きくなっているため、対象面Ｘ２が第１方向Ｄ１に沿って搬送される対象物Ｘ１の表面であることに対して、第１検出部５の検出視野５ｃにおける第１方向Ｄ１の長さを長くすることができる。

【0076】

また、赤外線検出装置２においては、例えば、本実施形態のように、前記第１光学系９は、前記対象面Ｘ２から入射する赤外線を前記第１センサ８へ向けて反射する反射面（本実施形態においては、第１反射面）９ｂを備える、一つの反射材（本実施形態においては、第１反射材）９ａであり、前記反射面９ｂは、前記第１方向Ｄ１視において凹状に形成される、という構成が好ましい。

【0077】

斯かる構成によれば、反射面９ｂは、第１方向Ｄ１視において、凹状に形成されている。これにより、反射面９ｂが、対象面Ｘ２から入射する赤外線を、第１センサ８へ向けて出射することによって、第１入射視野角度θ６は、第１出射視野角度θ５よりも、小さくなる。

【0078】

また、赤外線検出装置２においては、例えば、本実施形態のように、前記第１光学系９は、前記対象面Ｘ２から入射する赤外線を前記第１センサ８へ向けて反射する反射面（本実施形態においては、第１反射面）９ｂを備える、一つの反射材（本実施形態においては、第１反射材）９ａであり、前記反射面９ｂは、前記第１方向Ｄ１視において凹状に形成され、且つ、前記第１方向Ｄ１及び前記第２方向Ｄ２を含む面による断面において凸状に形成される、という構成が好ましい。

【0079】

斯かる構成によれば、反射面９ｂは、第１方向Ｄ１視において、凹状に形成されている。これにより、反射面９ｂが、対象面Ｘ２から入射する赤外線を、第１センサ８へ向けて出射することによって、第１入射視野角度θ６は、第１出射視野角度θ５よりも、小さくなる。

【0080】

また、反射面９ｂは、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２を含む面による断面において、凸状に形成されている。これにより、反射面９ｂが、対象面Ｘ２から入射する赤外線を、第１センサ８へ向けて出射することによって、第３入射視野角度θ１０は、第３出射視野角度θ９よりも、大きくなる。

【0081】

また、赤外線検出装置２は、例えば、本実施形態のように、前記第１センサ８及び前記第１光学系９間で熱伝導するために、前記第１センサ８及び前記第１光学系９にそれぞれ連結される第１伝熱部７ｆをさらに備える、という構成が好ましい。

【0082】

斯かる構成によれば、第１伝熱部７ｆが、第１センサ８及び第１光学系９にそれぞれ連結されているため、第１センサ８及び第１光学系９間で、熱伝導が行われる。これにより、第１センサ８と第１光学系９との間に、温度差が生じることを抑制することができる。

【0083】

また、赤外線検出装置２は、例えば、本実施形態のように、前記第１センサ８及び前記第１光学系９間で熱伝導するために、前記第１センサ８及び前記第１光学系９にそれぞれ連結される第１伝熱部７ｆと、前記第２センサ１０及び前記第２光学系１１間で熱伝導するために、前記第２センサ１０及び前記第２光学系１１にそれぞれ連結される第２伝熱部７ｇと、をさらに備え、前記第１伝熱部７ｆと前記第２伝熱部７ｇとは、前記第１伝熱部７ｆ及び前記第２伝熱部７ｇ間で熱伝導するために、互いに連結される、という構成が好ましい。

【0084】

斯かる構成によれば、第１伝熱部７ｆと第２伝熱部７ｇとが互いに連結されるため、第１センサ８、第２センサ１０、第１光学系９、及び第２光学系１１間で、熱伝導が行われる。これにより、第１センサ８、第２センサ１０、第１光学系９、及び第２光学系１１間に、温度差が生じることを抑制することができる。

【0085】

また、温度測定装置１は、例えば、本実施形態のように、前記の赤外線検出装置２と、前記第１検出部５及び前記第２検出部６が検出する赤外線の量に基づいて、前記対象面Ｘ２の温度を演算する処理部３ｂと、を備える、という構成が好ましい。

【0086】

斯かる構成によれば、第１方向Ｄ１視において、第１検出部５の光軸５ａと前記対象面Ｘ２との間の交差角度θ１が、第２検出部６の光軸６ａと対象面Ｘ２との間の交差角度θ２と異なっているため、処理部３ｂは、第１検出部５及び第２検出部６が検出する赤外線の量に基づいて、対象面Ｘ２の温度を演算する。これにより、対象面Ｘ２の温度を測定することができる。

【0087】

また、赤外線検出方法は、例えば、本実施形態のように、前記の赤外線検出装置２を用いて、前記対象面Ｘ２からの赤外線を検出する、という方法が好ましい。

【0088】

斯かる方法によれば、第１検出部５の検出視野５ｃの第２方向Ｄ２の長さが長くなることを抑制することができる。

【0089】

なお、温度測定装置１、赤外線検出装置２及び赤外線検出方法は、上記した実施形態の構成に限定されるものではなく、また、上記した作用効果に限定されるものではない。また、温度測定装置１、赤外線検出装置２及び赤外線検出方法は、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、下記する各種の変更例に係る構成や方法等を任意に一つ又は複数選択して、上記した実施形態に係る構成や方法等に採用してもよいことは勿論である。

【0090】

（１）上記実施形態に係る赤外線検出装置２は、第１検出部５及び第２検出部６を備えている、いう構成である。しかしながら、赤外線検出装置２は、斯かる構成に限られない。例えば、赤外線検出装置２は、第１検出部５のみを備えており、第２検出部６を備えていない、いう構成でもよい。

【0091】

（２）また、上記実施形態に係る赤外線検出装置２においては、第２検出部６は、第２センサ１０及び第２光学系１１を備えている、いう構成である。しかしながら、赤外線検出装置２は、斯かる構成に限られない。例えば、第２検出部６は、第２センサ１０のみを備えており、第２光学系１１を備えていない、いう構成でもよい。

【0092】

（３）また、上記実施形態に係る赤外線検出装置２においては、第１検出部５の光軸５ａは、第２方向Ｄ２視において対象面Ｘ２と垂直に交差する、という構成である。しかしながら、赤外線検出装置２は、斯かる構成に限られない。例えば、第１検出部５の光軸５ａは、第２方向Ｄ２視において対象面Ｘ２と傾斜して交差する、という構成でもよい。即ち、例えば、第１検出部５の光軸５ａは、第１方向Ｄ１視及び第２方向Ｄ２視においてそれぞれ対象面Ｘ２と傾斜して交差する、という構成でもよい。

【0093】

（４）また、上記実施形態に係る赤外線検出装置２においては、第２検出部６の光軸６ａは、第１方向Ｄ１視において対象面Ｘ２と傾斜して交差し、且つ、第２方向Ｄ２視において対象面Ｘ２と垂直に交差する、という構成である。即ち、第２交差角度θ２は、９０°未満であり、且つ、第４交差角度θ４は、９０°である、という構成である。しかしながら、赤外線検出装置２は、斯かる構成に限られない。

【0094】

例えば、第２検出部６の光軸６ａは、第１方向Ｄ１視及び第２方向Ｄ２視においてそれぞれ対象面Ｘ２と傾斜して交差する、という構成でもよい。即ち、第２交差角度θ２及び第４交差角度θ４は、それぞれ９０°未満である、という構成でもよい。

【0095】

また、例えば、第２検出部６の光軸６ａは、第１方向Ｄ１視及び第２方向Ｄ２視においてそれぞれ対象面Ｘ２と垂直に交差する、という構成でもよい。即ち、第２交差角度θ２及び第４交差角度θ４は、それぞれ９０°である、という構成でもよい。

【0096】

また、例えば、第２検出部６の光軸６ａは、第１方向Ｄ１視において対象面Ｘ２と垂直に交差し、且つ、第２方向Ｄ２視において対象面Ｘ２と傾斜して交差する、という構成でもよい。即ち、第２交差角度θ２は、９０°であり、且つ、第４交差角度θ４は、９０°未満である、という構成でもよい。

【0097】

（５）また、上記実施形態に係る赤外線検出装置２においては、第２入射視野角度θ８は、第２出射視野角度θ７よりも、小さい、という構成である。しかしながら、赤外線検出装置２は、斯かる構成に限られない。例えば、第２入射視野角度θ８は、第２出射視野角度θ７よりも、大きい、という構成でもよい。また、例えば、第２入射視野角度θ８は、第２出射視野角度θ７と、同じ、という構成でもよい。

【0098】

（６）また、上記実施形態に係る赤外線検出装置２においては、第３入射視野角度θ１０は、第３出射視野角度θ９よりも、大きい、という構成である。しかしながら、赤外線検出装置２は、斯かる構成に限られない。例えば、第３入射視野角度θ１０は、第３出射視野角度θ９よりも、小さい、という構成でもよい。また、例えば、第３入射視野角度θ１０は、第３出射視野角度θ９と、同じ、という構成でもよい。

【0099】

（７）また、上記実施形態に係る赤外線検出装置２においては、光学系９，１１は、一つの光学部材であり、当該光学部材は、反射材９ａ，１１ａである、という構成である。しかしながら、赤外線検出装置２は、斯かる構成に限られない。例えば、光学系９，１１は、複数の光学部材である、という構成でもよい。また、例えば、光学部材は、少なくとも一つのレンズである、という構成でもよく、また、例えば、少なくとも一つの反射材及び少なくとも一つのレンズである、という構成でもよい。

【0100】

なお、光学系９，１１が複数の光学部材である場合には、入射側の検出光路５ｂ，６ｂとは、対象面Ｘ２と最も入射側に配置される光学部材との間の検出光路をいい、また、出射側の検出光路５ｄ，６ｄとは、センサ８，１０と最も出射側に配置される光学部材との間の検出光路をいう。また、最も入射側に配置される光学部材と最も出射側に配置される光学部材との間の検出光路は、光学系内検出光路という。

【0101】

（８）また、上記実施形態に係る赤外線検出装置２においては、第１センサ８及び第１光学系９は、第１伝熱部７ｆにそれぞれ連結され、第２センサ１０及び第２光学系１１は、第２伝熱部７ｇにそれぞれ連結され、第１伝熱部７ｆと第２伝熱部７ｇとは、互いに連結される、という構成である。しかしながら、赤外線検出装置２は、斯かる構成に限られない。

【0102】

例えば、第１伝熱部７ｆと第２伝熱部７ｇとは、熱伝導しないように、離れている、という構成でもよい。また、例えば、第１センサ８と第１光学系９とは、熱伝導しないように、離れている、という構成でもよい。また、例えば、第２センサ１０と第２光学系１１とは、熱伝導しないように、離れている、という構成でもよい。

【符号の説明】

【0103】

１…温度測定装置、２…赤外線検出装置、２ａ…筐体、３…装置本体、３ａ…入力部、３ｂ…処理部、３ｃ…出力部、４…通信手段、５…第１検出部、５ａ…光軸、５ｂ…（入射側）第１検出光路、５ｃ…検出視野、５ｄ…（出射側）第１検出光路、６…第２検出部、６ａ…光軸、６ｂ…（入射側）第２検出光路、６ｃ…検出視野、６ｄ…（出射側）第２検出光路、７…固定手段、７ａ…ベース部、７ｂ…第１固定部、７ｃ…第２固定部、７ｄ…第３固定部、７ｅ…第４固定部、７ｆ…第１伝熱部、７ｇ…第２伝熱部、８…第１センサ、８ａ…受光素子、８ｂ…レンズ、８ｃ…絞り、８ｄ…センサ本体、９…第１光学系、９ａ…第１反射材、９ｂ…第１反射面、１０…第２センサ、１１…第２光学系、１１ａ…第２反射材、１１ｂ…第２反射面、Ｄ１…第１横方向（第１方向）、Ｄ２…第２横方向（第２方向）、Ｄ３…上下方向（第３方向）、Ｄ４…第４方向、Ｘ１…対象物、Ｘ２…対象面、θ１…第１交差角度、θ２…第２交差角度、θ３…第３交差角度、θ４…第４交差角度、θ５…第１出射視野角度、θ６…第１入射視野角度（第１角度）、θ７…第２出射視野角度、θ８…第２入射視野角度（第２角度）、θ９…第３出射視野角度、θ１０…第３入射視野角度（第３角度）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】