特開2024-92231渦電流センサ、研磨装置および膜厚検出方法

発明の名称　渦電流センサ、研磨装置および膜厚検出方法

出願人　株式会社荏原製作所　（識別番号 239）

　　　　特許公開件数ランキング 181 位（178件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 204 位（140件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-92231

公報発行日　2024年7月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-92231

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