特開2024-93324基板吸着部材、トップリング、および基板処理装置

発明の名称　基板吸着部材、トップリング、および基板処理装置

出願人　株式会社荏原製作所　（識別番号 239）

　　　　特許公開件数ランキング 182 位（174件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 199 位（139件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-93324

公報発行日　2024年7月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-93324

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