特開2024-96048遠隔固体補充チャンバ

発明の名称　遠隔固体補充チャンバ

出願人　エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー　（識別番号 519237203）

　　　　特許公開件数ランキング 308 位（97件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 377 位（63件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-96048

公報発行日　2024年7月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-96048

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