(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024099962
(43)【公開日】2024-07-26
(54)【発明の名称】測定システムおよび測定方法
(51)【国際特許分類】
G01B 21/00 20060101AFI20240719BHJP
G01B 5/00 20060101ALI20240719BHJP
【ＦＩ】
G01B21/00 Z
G01B5/00 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023003619
(22)【出願日】2023-01-13
(71)【出願人】
【識別番号】000137694
【氏名又は名称】株式会社ミツトヨ
(74)【代理人】
【識別番号】110000637
【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所
(72)【発明者】
【氏名】日高 和彦
【テーマコード（参考）】
2F062
2F069
【Ｆターム（参考）】
2F062AA04
2F062AA51
2F062BB09
2F062CC27
2F062DD23
2F062EE66
2F062FF02
2F062HH01
2F069AA04
2F069AA61
2F069AA66
2F069CC08
2F069DD15
2F069FF07
2F069GG65
2F069HH01
2F069JJ04
(57)【要約】
【課題】プローブ可換式の測定機を用いても測定作業を迅速に行える測定システムおよび測定方法を提供する。
【解決手段】測定システム１は、測定機１０と、測定機１０に装着可能な複数の候補プローブ１３１～１３３と、候補プローブ１３１～１３３から選択されて測定機１０に装着された選択プローブ１３０と、測定機１０を制御してワークの測定動作を実行させる制御装置２０と、を有し、制御装置２０は、候補プローブ１３１～１３３の各々の測定機１０に対する校正値を記録する校正値記録部２３１と、校正値記録部２３１から選択プローブ１３０に対応する校正値を取得する校正値処理部２２３と、を有する。
【選択図】図２
【解決手段】測定システム１は、測定機１０と、測定機１０に装着可能な複数の候補プローブ１３１～１３３と、候補プローブ１３１～１３３から選択されて測定機１０に装着された選択プローブ１３０と、測定機１０を制御してワークの測定動作を実行させる制御装置２０と、を有し、制御装置２０は、候補プローブ１３１～１３３の各々の測定機１０に対する校正値を記録する校正値記録部２３１と、校正値記録部２３１から選択プローブ１３０に対応する校正値を取得する校正値処理部２２３と、を有する。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
測定機と、前記測定機に装着可能な複数の候補プローブと、前記候補プローブから選択されて前記測定機に装着された選択プローブと、前記測定機を制御してワークの測定動作を実行させる制御装置と、を有し、
前記制御装置は、前記候補プローブの各々の前記測定機に対する校正値を記録する校正値記録部と、前記校正値記録部から前記選択プローブに対応する前記校正値を取得する校正値処理部と、を有する測定システム。
前記制御装置は、前記候補プローブの各々の前記測定機に対する校正値を記録する校正値記録部と、前記校正値記録部から前記選択プローブに対応する前記校正値を取得する校正値処理部と、を有する測定システム。
【請求項2】
請求項１に記載の測定システムにおいて、
前記校正値記録部は、前記制御装置の内部の記憶装置、または前記制御装置と通信可能に接続された外部の記憶装置に配置され、複数の前記候補プローブに対応する複数の前記校正値が記録されている測定システム。
前記校正値記録部は、前記制御装置の内部の記憶装置、または前記制御装置と通信可能に接続された外部の記憶装置に配置され、複数の前記候補プローブに対応する複数の前記校正値が記録されている測定システム。
【請求項3】
請求項１に記載の測定システムにおいて、
前記校正値記録部は、前記候補プローブの各々に配置され、前記候補プローブごとの前記校正値が記録されている測定システム。
前記校正値記録部は、前記候補プローブの各々に配置され、前記候補プローブごとの前記校正値が記録されている測定システム。
【請求項4】
請求項１に記載の測定システムにおいて、
前記校正値は、前記測定機に設置された基準球を用いて取得する測定システム。
前記校正値は、前記測定機に設置された基準球を用いて取得する測定システム。
【請求項5】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の測定システムにおいて、
前記校正値は、複数の前記測定機の各々に設定された測定機校正値と、複数の前記候補プローブの各々に設定されたプローブ校正値と、から演算される値であり、
前記測定機校正値は、所定の基準測定機に対して前記測定機の各々を校正する値であり、前記プローブ校正値は、前記基準測定機に対して前記候補プローブの各々を校正する値である測定システム。
前記校正値は、複数の前記測定機の各々に設定された測定機校正値と、複数の前記候補プローブの各々に設定されたプローブ校正値と、から演算される値であり、
前記測定機校正値は、所定の基準測定機に対して前記測定機の各々を校正する値であり、前記プローブ校正値は、前記基準測定機に対して前記候補プローブの各々を校正する値である測定システム。
【請求項6】
複数の候補プローブから選択プローブを選択して測定機に装着し、前記測定機を制御してワークの測定動作を実行させる測定方法であって、
前記測定動作の前に、前記候補プローブの校正値をそれぞれ記録しておき、
前記測定動作の際に、前記候補プローブの校正値のうち前記選択プローブに対応するものを前記選択プローブの校正値として取得する測定方法。
前記測定動作の前に、前記候補プローブの校正値をそれぞれ記録しておき、
前記測定動作の際に、前記候補プローブの校正値のうち前記選択プローブに対応するものを前記選択プローブの校正値として取得する測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明はプローブ可換式の測定機を用いる測定システムおよび測定方法に関する。
【背景技術】
【0002】
位置測定や形状測定などの測定分野では、プローブ可換式の測定機を用いた測定システムおよび測定方法が多用されている。例えば、ワークの形状寸法の測定には三次元測定機が多用され、三次元測定機に装着される接触式プローブとしては、ワークの形状や測定内容に応じて好適なものが選択される。
測定機に装着されたプローブに対して、測定に先立って校正動作が行われる。例えば、三次元測定機のテーブルに基準球（マスターボール）を設置しておき、三次元測定機を動作させてプローブを基準球の複数点に当接させ、これにより測定機に対するプローブごとの微小な誤差を測定し、校正値として記録しておく。測定時には、校正値を参照することで、誤差が補正された測定値を得ることができる（特許文献１など参照）。
測定機に装着されたプローブに対して、測定に先立って校正動作が行われる。例えば、三次元測定機のテーブルに基準球（マスターボール）を設置しておき、三次元測定機を動作させてプローブを基準球の複数点に当接させ、これにより測定機に対するプローブごとの微小な誤差を測定し、校正値として記録しておく。測定時には、校正値を参照することで、誤差が補正された測定値を得ることができる（特許文献１など参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１４－８５１６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
前述のような校正動作は、測定機にプローブを装着するつど行う必要がある。つまり、プローブを交換した際には、測定機を動作させて基準球に対する当接を複数回繰り返す必要があり、作業時間が必要になり、作業効率の向上に支障があった。
【0005】
本発明の目的は、プローブ可換式の測定機を用いても測定作業を迅速に行える測定システムおよび測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の測定システムは、測定機と、前記測定機に装着可能な複数の候補プローブと、前記候補プローブから選択されて前記測定機に装着された選択プローブと、前記測定機を制御してワークの測定動作を実行させる制御装置と、を有し、前記制御装置は、前記候補プローブの各々の前記測定機に対する校正値を記録する校正値記録部と、前記校正値記録部から前記選択プローブに対応する前記校正値を取得する校正値処理部と、を有する。
【0007】
このような本発明では、測定動作に先立って、複数の候補プローブのそれぞれについて、測定機に装着した際の校正値を測定し、校正値記録部に記録しておく。測定動作の際には、複数の候補プローブからワークの測定に適したものを選択プローブとして選択し、測定機に装着する。制御装置においては、校正値処理部により、選択プローブに対応する校正値が校正値記録部から読み出され、測定動作における選択プローブの校正値として用いられる。
このように、本発明においては、予め複数の候補プローブの校正値を測定して記録しておくことで、測定動作の際に選択プローブに対応した校正値を取得でき、測定動作のつど校正動作を行う必要がなく、プローブ可換式の測定機を用いても測定作業を迅速に行うことができる。
このように、本発明においては、予め複数の候補プローブの校正値を測定して記録しておくことで、測定動作の際に選択プローブに対応した校正値を取得でき、測定動作のつど校正動作を行う必要がなく、プローブ可換式の測定機を用いても測定作業を迅速に行うことができる。
【0008】
本発明の測定システムにおいて、前記校正値記録部は、前記制御装置の内部の記憶装置、または前記制御装置と通信可能に接続された外部の記憶装置に配置され、複数の前記候補プローブに対応する複数の前記校正値が記録されてもよい。
【0009】
このような本発明では、制御装置の内部の記憶装置または制御装置と通信可能な外部の記憶装置を確保することで校正値記録部を設置できる。そして、候補プローブおよび測定機には何ら加工などが必要ない。さらに、複数の候補プローブの校正値を校正値記録部に一括して記録でき、データのバックアップなどの保守作業が容易である。とくに、制御装置と通信可能な外部の記憶装置に校正値記録部を設置する場合、制御装置が変更された場合でも、外部の記録領域上の校正値記録部をそのまま利用できる。
【0010】
本発明の測定システムにおいて、前記校正値記録部は、前記候補プローブの各々に配置され、前記候補プローブごとの前記校正値が記録されてもよい。
【0011】
このような本発明では、測定機またはその周辺に有線式または無線通信式の読取手段を設置しておくことで、選択プローブとして選択された候補プローブの校正値を読み出し、制御装置に取り込んで利用できる。さらに、校正値が候補プローブに付随することになるので、校正値と候補プローブとの対応を確実にできる。また、後述のように基準測定機に対する校正値を記録する場合、別の測定機で校正値を測定しておくこともできる。
【0012】
本発明の測定システムにおいて、前記校正値は、前記測定機に設置された基準球を用いて取得することができる。
このような本発明では、測定機で一般的な基準球を利用して複数の候補プローブの校正値を容易かつ十分な校正精度で取得することができる。
このような本発明では、測定機で一般的な基準球を利用して複数の候補プローブの校正値を容易かつ十分な校正精度で取得することができる。
【0013】
本発明の測定システムにおいて、前記校正値は、複数の前記測定機の各々に設定された測定機校正値と、複数の前記候補プローブの各々に設定されたプローブ校正値と、から演算される値であり、前記測定機校正値は、所定の基準測定機に対して前記測定機の各々を校正する値であり、前記プローブ校正値は、前記基準測定機に対して前記候補プローブの各々を校正する値であるとしてもよい。
【0014】
本発明において、測定機校正値およびプローブ校正値は、１箇所の記憶装置にまとめて記録されてもよいし、測定機校正値を各測定機に記録し、プローブ校正値を各プローブに記録してもよい。
このような本発明では、校正値が測定機校正値とプローブ校正値とに分離されることで、測定機の変更などがあった際には、測定機校正値による校正値の差し替えを行うことで、測定機側の校正値を一定に保つことができる。従って、測定機が変更された場合でも、候補プローブごとのプローブ校正値はそのまま利用できる。また、例えば製造工場の測定機で候補プローブごとのプローブ校正値を測定しておき、ユーザの測定現場に候補プローブとその校正値を搬送し、測定現場の測定機で使用することもでき、測定作業の一層の迅速化が図れる。
このような本発明では、校正値が測定機校正値とプローブ校正値とに分離されることで、測定機の変更などがあった際には、測定機校正値による校正値の差し替えを行うことで、測定機側の校正値を一定に保つことができる。従って、測定機が変更された場合でも、候補プローブごとのプローブ校正値はそのまま利用できる。また、例えば製造工場の測定機で候補プローブごとのプローブ校正値を測定しておき、ユーザの測定現場に候補プローブとその校正値を搬送し、測定現場の測定機で使用することもでき、測定作業の一層の迅速化が図れる。
【0015】
本発明の測定方法は、複数の候補プローブから選択プローブを選択して測定機に装着し、前記測定機を制御してワークの測定動作を実行させる測定方法であって、前記測定動作の前に、前記候補プローブの校正値をそれぞれ記録しておき、前記測定動作の際に、前記候補プローブの校正値のうち前記選択プローブに対応するものを前記選択プローブの校正値として取得する。
このような本発明においては、前述した本発明の測定システムで説明した通りの作用効果を得ることができる。
このような本発明においては、前述した本発明の測定システムで説明した通りの作用効果を得ることができる。
【発明の効果】
【0016】
本発明によれば、予め複数の候補プローブの校正値を測定して記録しておくことで、測定動作の際に選択プローブに対応した校正値を取得でき、測定動作のつど校正動作を行う必要がなく、プローブ可換式の測定機を用いても測定作業を迅速に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【図1】本発明の第１実施形態を示す模式図。
【図2】第１実施形態の要部を示すブロック図。
【図3】第１実施形態での校正動作を示すフローチャート。
【図4】第１実施形態での校正値テーブルを示す模式図。
【図5】第１実施形態での測定動作を示すフローチャート。
【図6】本発明の第２実施形態を示すブロック図。
【図7】第２実施形態での校正値テーブルを示す模式図。
【図8】本発明の第３実施形態を示すブロック図。
【発明を実施するための形態】
【0018】
〔第１実施形態〕
図１から図５の各図には本発明の第１実施形態が示されている。
図１には本発明に基づく測定システム１が示されている。
測定システム１は、測定機１０およびこれを制御する制御装置２０で構成される。
図１から図５の各図には本発明の第１実施形態が示されている。
図１には本発明に基づく測定システム１が示されている。
測定システム１は、測定機１０およびこれを制御する制御装置２０で構成される。
【0019】
測定機１０は、本実施形態では既存の三次元測定機であり、テーブル１１には測定対象のワーク１２が載置されている。測定機１０は、門型のフレームを含む移動機構１４を有し、移動機構１４には接触式のプローブ１３が装着されている。測定機１０は、制御装置２０の制御のもとで移動機構１４に装着されたプローブ１３を３軸移動させ、ワーク１２の表面に接触させることで当該表面の三次元位置を測定可能である。
測定機１０は、テーブル１１上に基準球１５を有し、プローブ１３の校正動作に利用することができる。
測定機１０は、テーブル１１上に基準球１５を有し、プローブ１３の校正動作に利用することができる。
【0020】
測定機１０は、プローブ１３を交換可能な可換式である。測定機１０の一部または外部にはプローブストッカ１６が設置されている。プローブストッカ１６には、測定機１０に装着可能な複数のプローブ（例えば候補プローブ１３１，１３２，１３３）が格納されている。候補プローブ１３１～１３３は、いずれかが選択されて測定機１０に装着される（選択プローブ１３０）。
選択プローブ１３０の取り出しおよび測定機１０への装着を自動化するために、プローブストッカ１６はオートプローブチェンジャ機能を備えてもよく、オートプローブチェンジャ機能は制御装置２０で制御されてもよい。
選択プローブ１３０の取り出しおよび測定機１０への装着を自動化するために、プローブストッカ１６はオートプローブチェンジャ機能を備えてもよく、オートプローブチェンジャ機能は制御装置２０で制御されてもよい。
【0021】
制御装置２０は、動作制御装置２１と制御用コンピュータ２２とを有する。
動作制御装置２１は、測定機１０の基本的な動作制御を行うものである。
制御用コンピュータ２２は、オペレータの操作を受け付けて動作制御装置２１を介して測定機１０に測定動作などを実行させるとともに、測定結果あるいは測定機１０の状態などを表示あるいは出力することができる。
制御用コンピュータ２２は、通信回線を介してネットワーク２４に接続され、ネットワーク２４上に設置された外部の記憶装置２３（いわゆるクラウド上のストレージ）とデータ入出力が可能である。
動作制御装置２１は、測定機１０の基本的な動作制御を行うものである。
制御用コンピュータ２２は、オペレータの操作を受け付けて動作制御装置２１を介して測定機１０に測定動作などを実行させるとともに、測定結果あるいは測定機１０の状態などを表示あるいは出力することができる。
制御用コンピュータ２２は、通信回線を介してネットワーク２４に接続され、ネットワーク２４上に設置された外部の記憶装置２３（いわゆるクラウド上のストレージ）とデータ入出力が可能である。
【0022】
図２には測定システム１の詳細が示されている。
前述した通り、測定機１０には、候補プローブ１３１～１３３から選択された１つが選択プローブ１３０として装着される。
候補プローブ１３１，１３２，１３３には、それぞれ個体識別用のプローブＩＤ「Ｐ１」「Ｐ２」「Ｐ３」が設定されている。測定機１０には、個体識別用の測定機ＩＤ「Ｍ１」が設定されている。
制御用コンピュータ２２には、測定制御部２２１、測定値処理部２２２、および校正値処理部２２３が設置される。これらは、制御用コンピュータ２２上で実行されるソフトウェアおよび制御用コンピュータ２２の入出力回路により実現される。
前述した通り、測定機１０には、候補プローブ１３１～１３３から選択された１つが選択プローブ１３０として装着される。
候補プローブ１３１，１３２，１３３には、それぞれ個体識別用のプローブＩＤ「Ｐ１」「Ｐ２」「Ｐ３」が設定されている。測定機１０には、個体識別用の測定機ＩＤ「Ｍ１」が設定されている。
制御用コンピュータ２２には、測定制御部２２１、測定値処理部２２２、および校正値処理部２２３が設置される。これらは、制御用コンピュータ２２上で実行されるソフトウェアおよび制御用コンピュータ２２の入出力回路により実現される。
【0023】
測定制御部２２１は、オペレータが指定した動作プログラムに従って動作制御装置２１を制御し、後述する校正動作および測定動作を含む各種動作を測定機１０に実行させる。
測定値処理部２２２は、測定機１０で測定動作が実行された際に、得られた測定値を処理して表示あるいは出力する。
校正値処理部２２３は、後述する校正動作で得られたプローブ１３の校正値を外部の校正値記録部２３１に記録するとともに、測定動作に際して装着されたプローブ１３の校正値を校正値記録部２３１から読み出して測定制御部２２１に設定する。
本実施形態では、校正値記録部２３１は制御装置２０の外部の記憶装置２３に設定され、記憶装置２３は前述の通りネットワーク２４上に設置されている。
測定値処理部２２２は、測定機１０で測定動作が実行された際に、得られた測定値を処理して表示あるいは出力する。
校正値処理部２２３は、後述する校正動作で得られたプローブ１３の校正値を外部の校正値記録部２３１に記録するとともに、測定動作に際して装着されたプローブ１３の校正値を校正値記録部２３１から読み出して測定制御部２２１に設定する。
本実施形態では、校正値記録部２３１は制御装置２０の外部の記憶装置２３に設定され、記憶装置２３は前述の通りネットワーク２４上に設置されている。
【0024】
本実施形態の測定システム１では、測定機１０で使用する複数の候補プローブ１３１～１３３について、予め校正動作（図３参照）を実行して校正値テーブル（図４参照）を作成して記録しておく。
そして、測定動作（図５参照）では、測定機１０に選択プローブ１３０を交換する際に、校正値テーブルから対応する校正値を読み出し、選択プローブ１３０の交換ごとの校正動作は省略する。
そして、測定動作（図５参照）では、測定機１０に選択プローブ１３０を交換する際に、校正値テーブルから対応する校正値を読み出し、選択プローブ１３０の交換ごとの校正動作は省略する。
【0025】
図３には測定システム１における校正動作が示されている。
校正動作では、測定機１０で使用する複数の候補プローブ１３１～１３３を準備し（手順Ｓ１１）、測定機１０に装着した際の各々の校正値を測定する（手順Ｓ１２～Ｓ１５）。すなわち、候補プローブ１３１～１３３のいずれかを選択して測定機１０に装着し（手順Ｓ１２）、選択プローブ１３０で校正動作を行って校正値セットを取得し（手順Ｓ１３）、得られた校正値セットを選択プローブ１３０のプローブＩＤとともに記録する（手順Ｓ１４）。これらの手順Ｓ１２～Ｓ１４を繰り返すことで、全ての候補プローブ１３１～１３３の校正動作を終了する。
これらの校正動作は、制御装置２０の校正値処理部２２３により制御される。
校正動作では、測定機１０で使用する複数の候補プローブ１３１～１３３を準備し（手順Ｓ１１）、測定機１０に装着した際の各々の校正値を測定する（手順Ｓ１２～Ｓ１５）。すなわち、候補プローブ１３１～１３３のいずれかを選択して測定機１０に装着し（手順Ｓ１２）、選択プローブ１３０で校正動作を行って校正値セットを取得し（手順Ｓ１３）、得られた校正値セットを選択プローブ１３０のプローブＩＤとともに記録する（手順Ｓ１４）。これらの手順Ｓ１２～Ｓ１４を繰り返すことで、全ての候補プローブ１３１～１３３の校正動作を終了する。
これらの校正動作は、制御装置２０の校正値処理部２２３により制御される。
【0026】
図４には図３の校正動作で得られる校正値テーブルの一例が示されている。
校正値テーブル２３１１は、横方向に測定機ＩＤ、プローブＩＤ、校正値セットである校正値Ｖ１～Ｖ４が配置され、縦方向に校正したプローブ毎のデータが順次配置される。
測定機ＩＤには、校正動作を行った測定機１０の測定機ＩＤ「Ｍ１」が記録される。
プローブＩＤには、校正したプローブのプローブＩＤ「Ｐ１」「Ｐ２」「Ｐ３」がそれぞれ記録される。
校正値Ｖ１～Ｖ４には、校正したプローブの校正値がそれぞれ記録される。校正値セットは４項目に限らず、３以下または５以上であってもよい。
校正値Ｖ１～Ｖ４としては、例えば測定機１０に設置された基準球１５に対して、その表面の頂点および赤道上の３点の測定値から取得することができる。
校正値テーブル２３１１は、横方向に測定機ＩＤ、プローブＩＤ、校正値セットである校正値Ｖ１～Ｖ４が配置され、縦方向に校正したプローブ毎のデータが順次配置される。
測定機ＩＤには、校正動作を行った測定機１０の測定機ＩＤ「Ｍ１」が記録される。
プローブＩＤには、校正したプローブのプローブＩＤ「Ｐ１」「Ｐ２」「Ｐ３」がそれぞれ記録される。
校正値Ｖ１～Ｖ４には、校正したプローブの校正値がそれぞれ記録される。校正値セットは４項目に限らず、３以下または５以上であってもよい。
校正値Ｖ１～Ｖ４としては、例えば測定機１０に設置された基準球１５に対して、その表面の頂点および赤道上の３点の測定値から取得することができる。
【0027】
校正値テーブル２３１１は、測定機１０ごとに校正動作を行って作成される。校正値記録部２３１には、測定機１０が異なる複数の校正値テーブル２３１２，２３１３を記録してもよい。例えば、異なる測定機１０において同様な校正動作を行い、校正値テーブル２３１２，２３１３を作成してもよい。校正値テーブル２３１２，２３１３には、それぞれ校正動作を実行した測定機１０を示す測定機ＩＤ「Ｍ２」「Ｍ３」が記録される。
これらの校正値テーブル２３１１～２３１３は、それぞれ校正値処理部２２３により作成され、一括して校正値記録部２３１に記録される。
これらの校正値テーブル２３１１～２３１３は、それぞれ校正値処理部２２３により作成され、一括して校正値記録部２３１に記録される。
【0028】
図５には測定システム１における測定動作が示されている。
測定動作では、ワーク１２に対する測定内容を指定した動作プログラムを制御装置２０に設定し、測定制御部２２１の制御のもとで測定機１０を動作させる。
測定制御部２２１は、動作プログラムから測定項目を取得し（手順Ｓ２１）、選択プローブ１３０の交換要否を判定する（手順Ｓ２２）。
測定項目で指定される選択プローブ１３０が、現状で測定機１０に装着されている選択プローブ１３０である場合、測定の実行（手順Ｓ２５）へ移行する。
測定項目で指定される選択プローブ１３０が、現状で測定機１０に装着されている選択プローブ１３０と異なる場合、選択プローブ１３０の交換を行う。
測定動作では、ワーク１２に対する測定内容を指定した動作プログラムを制御装置２０に設定し、測定制御部２２１の制御のもとで測定機１０を動作させる。
測定制御部２２１は、動作プログラムから測定項目を取得し（手順Ｓ２１）、選択プローブ１３０の交換要否を判定する（手順Ｓ２２）。
測定項目で指定される選択プローブ１３０が、現状で測定機１０に装着されている選択プローブ１３０である場合、測定の実行（手順Ｓ２５）へ移行する。
測定項目で指定される選択プローブ１３０が、現状で測定機１０に装着されている選択プローブ１３０と異なる場合、選択プローブ１３０の交換を行う。
【0029】
選択プローブ１３０の交換の際には、測定制御部２２１の制御により、測定機１０から現状の選択プローブ１３０を取り外したのち、複数の候補プローブ１３１～１３３から測定項目で指定されるものを選択し、新たな選択プローブ１３０として測定機１０に装着する（手順Ｓ２３）。
さらに、測定制御部２２１は新たな選択プローブ１３０のプローブＩＤを取得し、校正値処理部２２３を経由して校正値記録部２３１から選択プローブ１３０の校正値セットを取得する（手順Ｓ２４）。
具体的には、測定機１０の測定機ＩＤから校正値テーブル２３１１～２３１３（図４参照）のいずれかを選択し、選択プローブ１３０のプローブＩＤ（Ｐ１～Ｐ３）に対応する校正値Ｖ１～Ｖ４を読み出す。
読み出された校正値Ｖ１～Ｖ４は、測定制御部２２１に返され、現在の選択プローブ１３０の校正値として測定機１０の動作制御に反映される。
さらに、測定制御部２２１は新たな選択プローブ１３０のプローブＩＤを取得し、校正値処理部２２３を経由して校正値記録部２３１から選択プローブ１３０の校正値セットを取得する（手順Ｓ２４）。
具体的には、測定機１０の測定機ＩＤから校正値テーブル２３１１～２３１３（図４参照）のいずれかを選択し、選択プローブ１３０のプローブＩＤ（Ｐ１～Ｐ３）に対応する校正値Ｖ１～Ｖ４を読み出す。
読み出された校正値Ｖ１～Ｖ４は、測定制御部２２１に返され、現在の選択プローブ１３０の校正値として測定機１０の動作制御に反映される。
【0030】
選択プローブ１３０の交換（手順Ｓ２３～Ｓ２４）ののち、測定制御部２２１の制御のもとで測定機１０により測定項目に応じた測定が実行される（手順Ｓ２５）。
測定制御部２２１は、動作プログラムを判定し（手順Ｓ２６）、未処理の測定項目があれば手順Ｓ２１～Ｓ２５を繰返し、全ての測定項目が処理済であれば動作プログラムに基づく測定動作を終了する。
測定制御部２２１は、動作プログラムを判定し（手順Ｓ２６）、未処理の測定項目があれば手順Ｓ２１～Ｓ２５を繰返し、全ての測定項目が処理済であれば動作プログラムに基づく測定動作を終了する。
【0031】
以上述べた通り、測定システム１は、測定機１０と、測定機１０に装着可能な複数の候補プローブ１３１，１３２，１３３と、候補プローブ１３１，１３２，１３３から選択されて測定機１０に装着された選択プローブ１３０と、測定機１０を制御してワークの測定動作を実行させる制御装置２０と、を有する。
そして、制御装置２０は、候補プローブ１３１，１３２，１３３の各々の測定機１０に対する校正値を記録する校正値記録部２３１と、校正値記録部２３１から選択プローブ１３０に対応する校正値を取得する校正値処理部２２３と、を有する。
そして、制御装置２０は、候補プローブ１３１，１３２，１３３の各々の測定機１０に対する校正値を記録する校正値記録部２３１と、校正値記録部２３１から選択プローブ１３０に対応する校正値を取得する校正値処理部２２３と、を有する。
【0032】
そして、本実施形態においては、測定方法として、複数の候補プローブ１３１～１３３から選択プローブ１３０を選択して測定機１０に装着し、測定機１０を制御してワーク１２の測定動作を実行させるとともに、測定動作の前に、候補プローブ１３１～１３３の校正値をそれぞれ記録しておき、測定動作の際に、候補プローブ１３１～１３３の校正値のうち選択プローブ１３０に対応するものを選択プローブ１３０の校正値として取得している。
【0033】
このような本実施形態によれば、次のような効果が得られる。
本実施形態では、測定動作に先立って、複数の候補プローブ１３１～１３３のそれぞれについて校正動作（図３参照）を行い、測定機１０に装着した際の校正値を測定し、校正値記録部２３１に記録しておく（図４参照）。測定動作（図５参照）の際には、複数の候補プローブ１３１～１３３からワーク１２の測定に適したものを選択プローブ１３０として選択し、測定機１０に装着する。制御装置２０においては、校正値処理部２２３により、選択プローブ１３０に対応する校正値が校正値記録部２３１から読み出され、測定動作における選択プローブ１３０の校正値として用いられる。
このように、本実施形態においては、予め複数の候補プローブ１３１～１３３の校正値を測定して記録しておくことで、測定動作の際に選択プローブ１３０に対応した校正値を取得でき、測定動作のつど校正動作を行う必要がなく、プローブ可換式の測定機１０を用いても測定作業を迅速に行うことができる。
本実施形態では、測定動作に先立って、複数の候補プローブ１３１～１３３のそれぞれについて校正動作（図３参照）を行い、測定機１０に装着した際の校正値を測定し、校正値記録部２３１に記録しておく（図４参照）。測定動作（図５参照）の際には、複数の候補プローブ１３１～１３３からワーク１２の測定に適したものを選択プローブ１３０として選択し、測定機１０に装着する。制御装置２０においては、校正値処理部２２３により、選択プローブ１３０に対応する校正値が校正値記録部２３１から読み出され、測定動作における選択プローブ１３０の校正値として用いられる。
このように、本実施形態においては、予め複数の候補プローブ１３１～１３３の校正値を測定して記録しておくことで、測定動作の際に選択プローブ１３０に対応した校正値を取得でき、測定動作のつど校正動作を行う必要がなく、プローブ可換式の測定機１０を用いても測定作業を迅速に行うことができる。
【0034】
本実施形態では、制御装置２０と通信可能な外部の記憶装置２３に校正値記録部２３１を設置しており、候補プローブ１３１～１３３および測定機１０には何ら加工などが必要ない。さらに、複数の候補プローブ１３１～１３３の校正値を校正値記録部２３１に一括して記録でき、データのバックアップなどの保守作業が容易である。とくに、制御装置２０の外部の記憶装置２３に校正値記録部２３１を設置したので、制御装置２０が変更された場合でも、外部の記録領域上の校正値記録部２３１をそのまま利用できる。
【0035】
〔第２実施形態〕
図６および図７には本発明の第２実施形態が示されている。
図６において、本実施形態の測定システム１Ａは、基本構成が前述した第１実施形態と同様である。このため、共通の構成については同じ符号を付して重複する説明を省略し、以下には相違点について説明する。
図６および図７には本発明の第２実施形態が示されている。
図６において、本実施形態の測定システム１Ａは、基本構成が前述した第１実施形態と同様である。このため、共通の構成については同じ符号を付して重複する説明を省略し、以下には相違点について説明する。
【0036】
前述した第１実施形態では、制御装置２０の外部の記憶装置２３に校正値記録部２３１が設置され、校正値記録部２３１には測定機１０ごとの校正値テーブル２３１１～２３１３が記録されていた。そして、校正値テーブル２３１１～２３１３の各々には、複数の測定機１０の各々に対して、複数の候補プローブ１３１～１３３を校正して得られた校正値が記録されていた。
これに対し、本実施形態では、制御装置２０の外部の記憶装置２３Ａに、測定機校正値記録部２３２およびプローブ校正値記録部２３３という２つの校正値記録部が設置されている。
これに対し、本実施形態では、制御装置２０の外部の記憶装置２３Ａに、測定機校正値記録部２３２およびプローブ校正値記録部２３３という２つの校正値記録部が設置されている。
【0037】
図７において、記憶装置２３Ａには測定機校正値記録部２３２およびプローブ校正値記録部２３３が設置されている。
測定機校正値記録部２３２には測定機校正値テーブル２３２１が記録されており、プローブ校正値記録部２３３にはプローブ校正値テーブル２３３１が記録されている。
測定機校正値テーブル２３２１には、測定機ＩＤごとの校正値Ｕ１～Ｕ４が記録されている。測定機ＩＤごとの校正値Ｕ１～Ｕ４は、測定機１０のいずれか１つ（例えば測定機「Ｍ１」）を基準測定機として、この基準測定機に対する他の測定機１０（例えば測定機「Ｍ２」「Ｍ３」）を校正した校正値である。従って、例えば測定機「Ｍ２」の動作制御を行う際に、測定機ＩＤ「Ｍ２」の校正値Ｕ１～Ｕ４を参照することで、模擬的に測定機「Ｍ１」の動作制御が実現できる。
校正値Ｕ１～Ｕ４は４項目に限らず、３以下または５以上であってもよい。基準測定機は測定機「Ｍ１」などの実際の測定機１０に限らず、仮想的な測定機を設定して基準測定機としてもよい。
測定機校正値記録部２３２には測定機校正値テーブル２３２１が記録されており、プローブ校正値記録部２３３にはプローブ校正値テーブル２３３１が記録されている。
測定機校正値テーブル２３２１には、測定機ＩＤごとの校正値Ｕ１～Ｕ４が記録されている。測定機ＩＤごとの校正値Ｕ１～Ｕ４は、測定機１０のいずれか１つ（例えば測定機「Ｍ１」）を基準測定機として、この基準測定機に対する他の測定機１０（例えば測定機「Ｍ２」「Ｍ３」）を校正した校正値である。従って、例えば測定機「Ｍ２」の動作制御を行う際に、測定機ＩＤ「Ｍ２」の校正値Ｕ１～Ｕ４を参照することで、模擬的に測定機「Ｍ１」の動作制御が実現できる。
校正値Ｕ１～Ｕ４は４項目に限らず、３以下または５以上であってもよい。基準測定機は測定機「Ｍ１」などの実際の測定機１０に限らず、仮想的な測定機を設定して基準測定機としてもよい。
【0038】
プローブ校正値テーブル２３３１には、プローブＩＤごとの校正値Ｖ１～Ｖ４が記録されている。測定機ＩＤごとの校正値Ｖ１～Ｖ４は、前述した測定機校正値テーブル２３２１の作成の際に基準とした基準測定機（例えば測定機「Ｍ１」）において、複数の候補プローブ１３１～１３３の校正動作（図３参照）を行うことで作成される。従って、プローブ校正値テーブル２３３１は、前述した第１実施形態の校正値テーブル２３１１～２３１３のうち測定機ＩＤの項目を除いたものと同様である。
プローブ校正値テーブル２３３１には、校正の対象とした基準測定機を示す測定機ＩＤを記録してもよく、測定機校正値テーブル２３２１での校正値Ｕ１～Ｕ４の選択の際に参照することができる。
これらの測定機校正値テーブル２３２１およびプローブ校正値テーブル２３３１は、それぞれ校正値処理部２２３により作成され、測定機校正値記録部２３２およびプローブ校正値記録部２３３に記録される。
プローブ校正値テーブル２３３１には、校正の対象とした基準測定機を示す測定機ＩＤを記録してもよく、測定機校正値テーブル２３２１での校正値Ｕ１～Ｕ４の選択の際に参照することができる。
これらの測定機校正値テーブル２３２１およびプローブ校正値テーブル２３３１は、それぞれ校正値処理部２２３により作成され、測定機校正値記録部２３２およびプローブ校正値記録部２３３に記録される。
【0039】
このような本実施形態においては、例えば測定機１０が測定機「Ｍ２」であれば、制御装置２０には測定機校正値記録部２３２から、測定機校正値テーブル２３２１における測定機ＩＤ「Ｍ２」に該当する校正値Ｕ１～Ｕ４が読み込まれる。そして、測定動作に選択プローブ１３０として「Ｐ１」を用いる場合、制御装置２０にはプローブ校正値記録部２３３から、プローブ校正値テーブル２３３１におけるプローブＩＤ「Ｐ１」に該当する校正値Ｖ１～Ｖ４が読み込まれる。
その結果、制御装置２０においては、測定機ＩＤ「Ｍ２」に該当する校正値Ｕ１～Ｕ４により測定機１０が「Ｍ２」であっても基準測定機「Ｍ１」が模擬的に実現され、基準測定機「Ｍ１」に対する校正値であるプローブＩＤ「Ｐ１」に該当する校正値Ｖ１～Ｖ４によって、適切に校正された測定動作が実行される。
このように、基準測定機に対する個々の測定機１０の測定機校正値Ｕ１～Ｕ４と、基準測定機に対する各候補プローブ１３１～１３３のプローブ校正値Ｖ１～Ｖ４とを併せることにより、個々の測定機１０に対する各候補プローブ１３１～１３３の校正値とすることができる。
その結果、制御装置２０においては、測定機ＩＤ「Ｍ２」に該当する校正値Ｕ１～Ｕ４により測定機１０が「Ｍ２」であっても基準測定機「Ｍ１」が模擬的に実現され、基準測定機「Ｍ１」に対する校正値であるプローブＩＤ「Ｐ１」に該当する校正値Ｖ１～Ｖ４によって、適切に校正された測定動作が実行される。
このように、基準測定機に対する個々の測定機１０の測定機校正値Ｕ１～Ｕ４と、基準測定機に対する各候補プローブ１３１～１３３のプローブ校正値Ｖ１～Ｖ４とを併せることにより、個々の測定機１０に対する各候補プローブ１３１～１３３の校正値とすることができる。
【0040】
このような本実施形態では、校正値が測定機校正値（測定機校正値テーブル２３２１に記録された校正値Ｕ１～Ｕ４）とプローブ校正値（プローブ校正値テーブル２３３１に記録された校正値Ｖ１～Ｖ４）とに分離されることで、測定機１０の変更などがあった際には、測定機校正値による校正値の差し替えを行うことで、測定機側の校正値を一定に保つことができる。
従って、測定機１０が変更された場合でも、候補プローブ１３１～１３３ごとのプローブ校正値（校正値Ｖ１～Ｖ４）はそのまま利用できる。
また、例えば製造工場の測定機１０で候補プローブ１３１～１３３ごとのプローブ校正値を測定しておき、ユーザの測定現場に候補プローブ１３１～１３３とその校正値（プローブ校正値テーブル２３３１）を搬送し、測定現場の測定機１０で使用することもでき、測定作業の一層の迅速化が図れる。
従って、測定機１０が変更された場合でも、候補プローブ１３１～１３３ごとのプローブ校正値（校正値Ｖ１～Ｖ４）はそのまま利用できる。
また、例えば製造工場の測定機１０で候補プローブ１３１～１３３ごとのプローブ校正値を測定しておき、ユーザの測定現場に候補プローブ１３１～１３３とその校正値（プローブ校正値テーブル２３３１）を搬送し、測定現場の測定機１０で使用することもでき、測定作業の一層の迅速化が図れる。
【0041】
〔第３実施形態〕
図８には本発明の第３実施形態が示されている。
図８において、本実施形態の測定システム１Ｂは、基本構成が前述した第１実施形態と同様である。このため、共通の構成については同じ符号を付して重複する説明を省略し、以下には相違点について説明する。
図８には本発明の第３実施形態が示されている。
図８において、本実施形態の測定システム１Ｂは、基本構成が前述した第１実施形態と同様である。このため、共通の構成については同じ符号を付して重複する説明を省略し、以下には相違点について説明する。
【0042】
前述した第１実施形態では、制御装置２０の外部の記憶装置２３に校正値記録部２３１が設置され、校正値記録部２３１には測定機１０ごとの校正値テーブル２３１１～２３１３が記録されていた。そして、校正値テーブル２３１１～２３１３の各々には、複数の測定機１０の各々に対して、複数の候補プローブ１３１～１３３を校正して得られた校正値が記録されていた。
一方、前述した第２実施形態では、第１実施形態の記憶装置２３に代えて、制御装置２０の外部の記憶装置２３Ａに、測定機校正値記録部２３２およびプローブ校正値記録部２３３という２つの校正値記録部が設置されていた。そして、測定機校正値記録部２３２には測定機校正値テーブル２３２１が記録されており、プローブ校正値記録部２３３にはプローブ校正値テーブル２３３１が記録されていた。
一方、前述した第２実施形態では、第１実施形態の記憶装置２３に代えて、制御装置２０の外部の記憶装置２３Ａに、測定機校正値記録部２３２およびプローブ校正値記録部２３３という２つの校正値記録部が設置されていた。そして、測定機校正値記録部２３２には測定機校正値テーブル２３２１が記録されており、プローブ校正値記録部２３３にはプローブ校正値テーブル２３３１が記録されていた。
【0043】
このような第１実施形態および第２実施形態に対し、本実施形態では記憶装置２３，２３Ａが省略されている。そして、第２実施形態で述べた測定機ＩＤごとの校正値Ｕ１～Ｕ４が測定機１０に記録され、プローブＩＤごとの校正値Ｖ１～Ｖ４が候補プローブ１３１～１３３にそれぞれ記録されている。
【0044】
測定機１０には、装置内の記憶領域に測定機校正値記録部３２０が設置されている。
測定機校正値記録部３２０には、所定の基準測定機に対する当該測定機１０の校正値Ｕ１～Ｕ４が記録されている。これらの校正値Ｕ１～Ｕ４は、第２実施形態の測定機校正値テーブル２３２１における、いずれかの測定機ＩＤの校正値Ｕ１～Ｕ４（例えば測定機ＩＤ「Ｍ２」の校正値Ｕ１～Ｕ４）に該当する。
測定機校正値記録部３２０には、所定の基準測定機に対する当該測定機１０の校正値Ｕ１～Ｕ４が記録されている。これらの校正値Ｕ１～Ｕ４は、第２実施形態の測定機校正値テーブル２３２１における、いずれかの測定機ＩＤの校正値Ｕ１～Ｕ４（例えば測定機ＩＤ「Ｍ２」の校正値Ｕ１～Ｕ４）に該当する。
【0045】
候補プローブ１３１～１３３には、機器内の記憶領域にプローブ校正値記録部３１１，３１２，３１３が設置されている。
プローブ校正値記録部３１１，３１２，３１３には、それぞれ所定の基準測定機に対する当該候補プローブ１３１～１３３の校正値Ｖ１～Ｖ４が記録されている。これらの校正値Ｖ１～Ｖ４は、第２実施形態のプローブ校正値テーブル２３３１における、いずれかのプローブＩＤの校正値Ｖ１～Ｖ４（例えばプローブＩＤ「Ｐ１」の校正値Ｖ１～Ｖ４）に該当する。
プローブ校正値記録部３１１，３１２，３１３には、それぞれ所定の基準測定機に対する当該候補プローブ１３１～１３３の校正値Ｖ１～Ｖ４が記録されている。これらの校正値Ｖ１～Ｖ４は、第２実施形態のプローブ校正値テーブル２３３１における、いずれかのプローブＩＤの校正値Ｖ１～Ｖ４（例えばプローブＩＤ「Ｐ１」の校正値Ｖ１～Ｖ４）に該当する。
【0046】
制御装置２０は、動作制御装置２１を介して測定機１０と通信を行い、測定機校正値記録部３２０に記録された校正値Ｕ１～Ｕ４を取得可能である。
また、制御装置２０は、候補プローブ１３１～１３３のいずれかが選択プローブ１３０として測定機１０に装着された際に、選択プローブ１３０のプローブ校正値記録部３１０（候補プローブ１３１～１３３のプローブ校正値記録部３１１～３１３のいずれかに相当）に記録された校正値Ｖ１～Ｖ４を取得可能である。
選択プローブ１３０のプローブ校正値記録部３１０を読み出す手段として、測定機１０に有線式または無線式の通信機能を設置することができる。
また、制御装置２０は、候補プローブ１３１～１３３のいずれかが選択プローブ１３０として測定機１０に装着された際に、選択プローブ１３０のプローブ校正値記録部３１０（候補プローブ１３１～１３３のプローブ校正値記録部３１１～３１３のいずれかに相当）に記録された校正値Ｖ１～Ｖ４を取得可能である。
選択プローブ１３０のプローブ校正値記録部３１０を読み出す手段として、測定機１０に有線式または無線式の通信機能を設置することができる。
【0047】
このような本実施形態では、基準測定機に対する測定機１０の校正値Ｕ１～Ｕ４と、基準測定機に対する各候補プローブ１３１～１３３の校正値Ｖ１～Ｖ４とを取得することにより、これらを併せて測定機１０に対する各候補プローブ１３１～１３３の校正値とすることができる。これにより第２実施形態と同様な効果を得ることができる。
さらに、選択プローブ１３０の校正値Ｖ１～Ｖ４が、選択プローブ１３０として選択される候補プローブ１３１～１３３に付随することになるので、校正値Ｖ１～Ｖ４と候補プローブ１３１～１３３との対応を確実にできる。
また、選択プローブ１３０の校正値Ｖ１～Ｖ４は基準測定機に対する校正値を記録したものであり、測定機１０に付随された測定機１０の校正値Ｕ１～Ｕ４により測定機１０ごとの校正が得られるため、選択プローブ１３０の校正値Ｖ１～Ｖ４は別の測定機１０で校正を行ったものを利用することができる。
さらに、選択プローブ１３０の校正値Ｖ１～Ｖ４が、選択プローブ１３０として選択される候補プローブ１３１～１３３に付随することになるので、校正値Ｖ１～Ｖ４と候補プローブ１３１～１３３との対応を確実にできる。
また、選択プローブ１３０の校正値Ｖ１～Ｖ４は基準測定機に対する校正値を記録したものであり、測定機１０に付随された測定機１０の校正値Ｕ１～Ｕ４により測定機１０ごとの校正が得られるため、選択プローブ１３０の校正値Ｖ１～Ｖ４は別の測定機１０で校正を行ったものを利用することができる。
【0048】
〔他の実施形態〕
なお、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形などは本発明に含まれる。
前記実施形態においては、候補プローブ１３１～１３３の３つを例示したが、候補プローブの数は２つまたは４以上であってもよい。また、校正値セットとして校正値Ｖ１～Ｖ４あるいは校正値Ｕ１～Ｕ４の４項目を例示したが、３以下または５以上の項目であってもよい。
前記実施形態では、校正値記録部の配置として、制御装置２０の外部の記憶装置２３，２３Ａ、測定機１０の記憶領域（測定機校正値記録部３２０）、および選択プローブ１３０あるいは候補プローブ１３１～１３３の記録領域（プローブ校正値記録部３１０，３１１～３１３）を用いていた。これに対し、制御装置２０の内部の記録領域、例えば制御用コンピュータ２２の記憶領域や動作制御装置２１の記録領域を用いてもよい。さらに、校正値処理部２２３は、制御用コンピュータ２２にソフトウェアで構成されるものに限らず、動作制御装置２１に組み込まれるものとしてもよい。
前記実施形態では、校正動作に測定機１０の基準球１５を用いたが、選択プローブ１３０の校正値Ｖ１～Ｖ４などが取得できる他の手段を用いてもよい。また、プローブの校正値セットは、４つの校正値Ｖ１～Ｖ４に限らず、測定システム１，１Ａ，１Ｂにおいて必要な数を準備すればよい。
なお、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形などは本発明に含まれる。
前記実施形態においては、候補プローブ１３１～１３３の３つを例示したが、候補プローブの数は２つまたは４以上であってもよい。また、校正値セットとして校正値Ｖ１～Ｖ４あるいは校正値Ｕ１～Ｕ４の４項目を例示したが、３以下または５以上の項目であってもよい。
前記実施形態では、校正値記録部の配置として、制御装置２０の外部の記憶装置２３，２３Ａ、測定機１０の記憶領域（測定機校正値記録部３２０）、および選択プローブ１３０あるいは候補プローブ１３１～１３３の記録領域（プローブ校正値記録部３１０，３１１～３１３）を用いていた。これに対し、制御装置２０の内部の記録領域、例えば制御用コンピュータ２２の記憶領域や動作制御装置２１の記録領域を用いてもよい。さらに、校正値処理部２２３は、制御用コンピュータ２２にソフトウェアで構成されるものに限らず、動作制御装置２１に組み込まれるものとしてもよい。
前記実施形態では、校正動作に測定機１０の基準球１５を用いたが、選択プローブ１３０の校正値Ｖ１～Ｖ４などが取得できる他の手段を用いてもよい。また、プローブの校正値セットは、４つの校正値Ｖ１～Ｖ４に限らず、測定システム１，１Ａ，１Ｂにおいて必要な数を準備すればよい。
【産業上の利用可能性】
【0049】
本発明はプローブ可換式の測定機を用いる測定システムおよび測定方法に利用できる。
【符号の説明】
【0050】
１，１Ａ，１Ｂ…測定システム、１０…測定機、１１…テーブル、１２…ワーク、１３…プローブ、１３０…選択プローブ、１３１…候補プローブ、１４…移動機構、１５…基準球、１６…プローブストッカ、２０…制御装置、２１…動作制御装置、２２…制御用コンピュータ、２２１…測定制御部、２２２…測定値処理部、２２３…校正値処理部、２３，２３Ａ…記憶装置、２３１…校正値記録部、２３１１、２３１２，２３１３…校正値テーブル、２３２…測定機校正値記録部、２３２１…測定機校正値テーブル、２３３…プローブ校正値記録部、２３３１…プローブ校正値テーブル、２４…ネットワーク、３１０…プローブ校正値記録部、３１１，３１２，３１３…プローブ校正値記録部、３２０…測定機校正値記録部、Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３…測定機ＩＤ、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３…プローブＩＤ、Ｓ１１～Ｓ２６…手順、Ｕ１，Ｕ２，Ｕ３，Ｕ４…校正値、Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４…校正値。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】