特開2025-100852真空チャック及びそれを備える検査装置

発明の名称　真空チャック及びそれを備える検査装置

出願人　株式会社東京精密　（識別番号 151494）

　　　　特許公開件数ランキング 279 位（37件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 219 位（45件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2025-100852

公報発行日　2025年7月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2025-100852

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