特開2025-152517静電チャック装置、基台の製造方法及び静電チャック装置の製造方法

発明の名称　静電チャック装置、基台の製造方法及び静電チャック装置の製造方法

出願人　住友大阪セメント株式会社　（識別番号 183266）

　　　　特許公開件数ランキング 592 位（15件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 578 位（13件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2025-152517

公報発行日　2025年10月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2025-152517

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