特開 2025-163032 膜形成方法、電極の製造方法、蓄電デバイス、発電デバイスまたは太陽光発電デバイスの製造方法、及び膜形成装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025163032

(43)【公開日】2025-10-28

(54)【発明の名称】膜形成方法、電極の製造方法、蓄電デバイス、発電デバイスまたは太陽光発電デバイスの製造方法、及び膜形成装置

(51)【国際特許分類】

   B05D 1/26 20060101AFI20251021BHJP

   H01M 4/04 20060101ALI20251021BHJP

   H01M 4/88 20060101ALI20251021BHJP

   H10F 77/20 20250101ALI20251021BHJP

   H10F 10/00 20250101ALI20251021BHJP

【ＦＩ】

B05D1/26 Z

H01M4/04 Z

H01M4/04 A

H01M4/88 Z

H10F77/20 100

H10F10/00

【審査請求】有

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2025114003

(22)【出願日】2025-07-04

(62)【分割の表示】P 2021021106の分割

【原出願日】2021-02-12

(71)【出願人】

【識別番号】000006747

【氏名又は名称】株式会社リコー

(74)【代理人】

【識別番号】110004381

【氏名又は名称】弁理士法人ＩＴＯＨ

(72)【発明者】

【氏名】上田 哲人

(57)【要約】

【課題】形成される膜の均一性を向上させること。
【解決手段】本発明の一態様に係る膜形成方法は、被塗布材に膜を形成する膜形成方法であって、搬送される前記被塗布材の搬送方向に沿って設けられた複数の吐出ヘッドのそれぞれから液体を吐出し、前記被塗布材に塗布する塗布工程を備え、 前記複数の吐出ヘッドのそれぞれは、前記搬送方向と交差する方向に沿って配列される複数の液体吐出ノズルを有し、前記塗布工程において、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれは、少なくとも第１液体と、第２液体と、第３液体と、を塗布し、前記第２液体は、前記幅方向に沿って前記第１液体が塗布される位置と略等しい位置に塗布され、前記第３液体は、前記搬送方向に沿って前記第１液体が塗布される位置と前記第２液体が塗布される位置との間の位置であり、前記幅方向に沿って前記第１液体が塗布される位置とは異なる位置に塗布される。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送される電極に膜を形成する膜形成方法であって、
前記電極の搬送方向に沿って設けられた少なくとも第１の吐出ヘッド、第２の吐出ヘッドから液体を吐出し、前記電極に前記液体を塗布する塗布工程を備え、
前記第１の吐出ヘッド及び前記第２の吐出ヘッドのそれぞれは、前記搬送方向と交差する方向である幅方向に沿って並ぶ複数のノズルを有し、
前記第１の吐出ヘッドは、第１のノズルと、前記第１のノズルとは前記幅方向において異なる位置に配置される第３のノズルと、を有し、
前記第２の吐出ヘッドは、第２のノズルを有し、
前記塗布工程において、前記第１の吐出ヘッド及び前記第２の吐出ヘッドのそれぞれから吐出された前記液体は、前記搬送方向に沿って前記電極の異なる位置に塗布され、
前記第１のノズルは、
前記電極における第１の領域と、
前記電極において、前記第１の領域とは前記搬送方向に離間した位置である第２の領域と、に前記液体を塗布し、
前記第２のノズルは、前記電極において、前記第１の領域と前記第２の領域との間の位置である第３の領域に塗布し、
前記第３のノズルは、前記電極において、前記幅方向における前記第１の領域および前記第２の領域とは異なる位置であり、かつ前記搬送方向における前記第１の領域と前記第２の領域との間の位置である第４の領域に塗布する、膜形成方法。

【請求項2】

前記第２のノズルは、前記電極において、前記第３の領域とは前記搬送方向に離間した位置であり、前記第３の領域との間に前記第２の領域が位置するような第５の領域に塗布し、
前記第２の吐出ヘッドが有する第４のノズルは、前記電極において、前記幅方向における前記第３の領域および前記第５の領域とは異なる位置であり、前記搬送方向における前記第３の領域と前記第５の領域との間の位置である第６の領域に塗布する、請求項１に記載の膜形成方法。

【請求項3】

前記第２のノズルは、前記第１のノズルとは前記幅方向において略等しい位置にある、請求項１に記載の膜形成方法。

【請求項4】

前記第３の領域は前記搬送方向において前記第１の領域と前記第２の領域との間に位置する、請求項１に記載の膜形成方法。

【請求項5】

前記第４のノズルは、前記第３のノズルとは前記幅方向において略等しい位置にある、請求項２に記載の膜形成方法。

【請求項6】

前記第１の吐出ヘッド、前記第２の吐出ヘッドのそれぞれから吐出される前記液体の種類は、同じである、請求項１に記載の膜形成方法。

【請求項7】

前記第１の吐出ヘッド、前記第２の吐出ヘッドのそれぞれから吐出される前記液体により、前記電極に機能層を形成する、請求項１に記載の膜形成方法。

【請求項8】

前記機能層は絶縁層である、請求項７に記載の膜形成方法。

【請求項9】

前記複数のノズルは、前記幅方向に沿ってずれた少なくとも２列のノズル列を含む、請求項１に記載の膜形成方法。

【請求項10】

前記複数のノズルのそれぞれは、前記幅方向に沿って一定のノズル間隔で配置され、且つ前記幅方向に沿って前記ノズル間隔の半分の距離ずれた少なくとも２列のノズル列を含む請求項１に記載の膜形成方法。

【請求項11】

請求項１に記載の膜形成方法を含む、膜を有する電極の製造方法。

【請求項12】

請求項１１に記載の電極の製造方法を含む、蓄電デバイス、発電デバイス、または太陽光発電デバイスの製造方法。

【請求項13】

電極を搬送する搬送手段と、
前記搬送される前記電極に液体を吐出し、前記液体を塗布する液体塗布手段と、
前記液体塗布手段による前記電極の吐出を制御する制御部と、を備え、
前記液体塗布手段は、少なくとも第１の吐出ヘッド及び第２の吐出ヘッドを含み、
前記第１の吐出ヘッド及び前記第２の吐出ヘッドのそれぞれは、前記電極の搬送方向と交差する方向である幅方向に沿って並ぶ複数のノズルを有し、
前記第１の吐出ヘッドは、第１のノズルと、前記第１のノズルとは前記幅方向において異なる位置に配置される第３のノズルと、を有し、
前記第２の吐出ヘッドは、第２のノズルを有し、
前記制御部は、前記液体塗布手段により前記電極に前記液体を塗布するときに、
前記第１の吐出ヘッド及び前記第２の吐出ヘッドのそれぞれから吐出された前記液体が、前記搬送方向に沿って前記電極の異なる位置に塗布され、
前記第１のノズルが、
前記電極における第１の領域と、
前記電極において、前記第１の領域とは前記搬送方向に離間した位置である第２の領域と、に前記液体を塗布し、
前記第２のノズルが、前記電極において、前記第１の領域と前記第２の領域との間の位置である第３の領域に塗布し、
前記第３のノズルが、前記電極において、前記幅方向における前記第１の領域および前記第２の領域とは異なる位置であり、かつ前記搬送方向における前記第１の領域と前記第２の領域との間の位置である第４の領域に塗布する、よう制御する膜形成装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、膜形成方法、電極の製造方法、蓄電デバイス、発電デバイスまたは太陽光発電デバイスの製造方法、及び膜形成装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、被塗布材に膜を形成する膜形成方法が知られている。

【0003】

また、相補印刷モードによりシングルパスで記録媒体上に複数個の画素を印刷するインクジェットプリンタ用のプリントヘッドであって、互いに略平行になるよう、且つ印刷プロセス方向ノズル位置が揃うように本プリントヘッド内に配置された第１及び第２ノズルアレイを備えるプリントヘッドを用いる方法が開示されている（例えば、特許文献１参照）。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら特許文献１の方法では、プリントヘッド等の吐出ユニットを複数用いて吐出した液体を塗布した場合に、形成される膜の均一性に改善の余地がある。

【0005】

本発明は、形成される膜の均一性を向上させることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様に係る膜形成方法は、被塗布材に膜を形成する膜形成方法であって、搬送される前記被塗布材の搬送方向に沿って設けられた複数の吐出ヘッドのそれぞれから液体を吐出し、前記被塗布材に塗布する塗布工程を備え、 前記複数の吐出ヘッドのそれぞれは、前記搬送方向と交差する方向に沿って配列される複数の液体吐出ノズルを有し、前記塗布工程において、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれは、少なくとも第１液体と、第２液体と、第３液体と、を塗布し、前記第２液体は、前記幅方向に沿って前記第１液体が塗布される位置と略等しい位置に塗布され、前記第３液体は、前記搬送方向に沿って前記第１液体が塗布される位置と前記第２液体が塗布される位置との間の位置であり、前記幅方向に沿って前記第１液体が塗布される位置とは異なる位置に塗布される。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、形成される膜の均一性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施形態に係る膜形成装置の構成例を示す図である。

【図2】実施形態に係るインクジェットヘッドの構成例を示す図である。

【図3】実施形態に係る制御部の機能構成例を示すブロック図である。

【図4】実施形態に係る膜形成装置の動作例を示すフローチャ－トである。

【図5】第１実施形態に係る膜形成方法によるインク塗布例を示す図である。

【図6】第１インクと第２インク間に偶数個の画素を含む例の図である。

【図7】第１実施形態に係る膜形成方法の作用の図であり、図７（ａ）は比較例の図、図７（ｂ）は図７（ａ）で塗布位置誤差が生じた図、図７（ｃ）は本実施形態の図、図７（ｄ）は図７（ｃ）で塗布位置誤差が生じた図である。

【図8】第２実施形態に係る膜形成方法によるインク塗布例を示す図である。

【図9】第３実施形態に係る膜形成方法によるにインク塗布例を示す図である。

【図10】第４実施形態に係る膜形成方法によるインク塗布例を示す図である。

【図11】第５実施形態に係る膜形成方法によるインク塗布例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一の構成部分には同一符号を付し、重複した説明を適宜省略する。

【0010】

また以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための膜形成方法及び膜形成装置を例示するものであって、本発明を以下に示す実施形態に限定するものではない。以下に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、特定的な記載がない限り、本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、例示することを意図したものである。また図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張している場合がある。

【0011】

実施形態に係る膜形成方法は、被塗布材に膜を形成するものである。なお、膜としては、厚さは特に限定されず、被塗布材に対して層となるようなものであればよい。被塗布材は、例えば、電池等の蓄電デバイス、燃料電池等の発電デバイス、太陽光発電デバイス等に用いられる電極基材（集電体）等を含む。膜形成方法は、粉体状の活物質や触媒組成物をはじめとする各種材料を液体中に分散した液体を被塗布材に塗布し、固定及び乾燥させることで被塗布材上に当該各種材料を含む膜を有する電極等を形成できる。

【0012】

被塗布材に液体を塗布して膜を形成する方法には、スプレー、ディスペンサ、ダイコータ又は引き上げ塗工、或いはインクジェットヘッドを用いた印刷等の方法が挙げられる。

【0013】

しかし、上記のデバイスの生産性と品質はトレードオフの関係があり、市場拡大に伴う要求に対し、生産性を上げると電極の位置精度を低下させたり、欠陥が増加したりしてデバイスの品質が低下する場合がある。

【0014】

例えば、電極表面や電極端面、或いは電極界面に生じる欠陥について、放置したまま市場に出荷した際、経時や振動によって、欠陥部位への特定の物質の堆積や、電極界面への機械接触による短絡、或いはリーク等が発生し、デバイスの発火や寿命低下に繋がる場合がある。

【0015】

実施形態では、搬送される被塗布材の搬送方向に沿って設けられた複数の吐出ヘッドのそれぞれが吐出した液体を被塗布材に塗布する工程を行う。また、複数の吐出ヘッドのそれぞれは、搬送方向と交差する幅方向に沿って配列されて液体を吐出する複数の液体吐出ノズルを有する。

【0016】

塗布工程では、複数の吐出ヘッドのそれぞれは、第１液体と、第２液体と、第３液体とを塗布する。第２液体は、幅方向に沿って第１液体が塗布される位置と略等しい位置に塗布され、第３液体は、搬送方向に沿って第１液体が塗布される位置と第２液体が塗布される位置との間の位置であり、幅方向に沿って第１液体が塗布される位置とは異なる位置に塗布される。

【0017】

これにより、複数の吐出ヘッドによる被塗布材への液体の塗布位置誤差が生じた場合でも、塗布位置誤差を分散させ、被塗布材に液体が塗布されない隙間領域を抑制することで、形成される膜の均一性を向上させる。

【0018】

ここで、等しい位置とは、被塗布材上に塗布された液体の略中心となる位置同士が略等しいことを意味する。また異なる位置とは、被塗布材上に塗布された液体の略中心となる位置同士が異なることを意味する。塗布位置誤差とは、吐出ヘッドが吐出したインクを被塗布材上に塗布した位置の所望の位置からの誤差を意味する。また異なる位置とは、液体の中心が離れていれば、液体の一部が重なっていてもよい。

【0019】

以下、実施形態に係る膜形成方法及び膜形成装置について詳細に説明する。

【0020】

［実施形態］
＜膜形成装置１００の構成例＞
まず、実施形態に係る膜形成装置１００の構成を説明する。図１は、膜形成装置１００の構成の一例を説明する図である。図１は、被塗布材１０２の搬送方向１０と略直交する方向から透視した膜形成装置１００の内部を示している。

【0021】

図１に示すように、膜形成装置１００は、巻出部１０１と、インクジェットヘッド１０３と、プラテン１０４と、ヒートドラム１０５と、温風乾燥部１０６と、搬送ローラ１０７と、巻取部１０８と、制御部４００とを備えている。これらは被塗布材１０２の搬送方向１０に沿って上流から下流に順に設けられている。

【0022】

膜形成装置１００は、巻出部１０１及び巻取部１０８により被塗布材１０２を搬送しながら、インクジェットヘッド１０３が吐出したインクを被塗布材１０２に塗布し、被塗布材１０２上にインクによる膜を一様に形成するものである。以下、各構成部について詳細に説明する。

【0023】

（巻出手段、巻取手段）
本実施形態では、被塗布材１０２の巻出手段には巻出部１０１を、被塗布材１０２の巻取手段には巻取部１０８を用いる。巻出部１０１は、ロール状に収納された被塗布材１０２を回転させることで、被塗布材１０２を膜形成装置１００の搬送経路に供給する。

【0024】

巻取部１０８は、インクが塗布されて膜が形成された被塗布材１０２を巻き取ってロール状に収納する。

【0025】

（搬送手段）
プラテン１０４は、被塗布材１０２を、搬送経路に沿って搬送されるようにガイドする。また搬送ローラ１０７の他、符号のつけられていない搬送ローラ等も搬送手段として用いている。搬送手段と巻出手段及び巻取手段とによって、被塗布材１０２の搬送手段を構成する。

【0026】

他の工程にも関連するが、膜形成装置１００における塗布速度としては、３０［ｍ／分］～１００［ｍ／分］であることが好ましい。これにより、高速の膜形成が求められる場合にも好適に用いることができる。

【0027】

被塗布材１０２は、搬送方向１０に沿って連続する基材である。膜形成装置１００は、巻出部１０１と巻取部１０８の間の搬送経路に沿って被塗布材１０２を搬送する。また被塗布材１０２の搬送方向１０に沿う長さは、少なくとも巻出部１０１と巻取部１０８の間の搬送経路より長い。膜形成装置１００は、搬送方向１０に沿って連続する被塗布材１０２に対し、連続して膜形成を実行できるようになっている。

【0028】

（インク）
インクは、膜の機能を実現する液体で構成され、複数のインクジェットヘッドのそれぞれが吐出する液体の一例である。インクジェットヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を備えるものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０［ｍＰａ・ｓ］以下となるものであることが好ましい。

【0029】

より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料、顔料、活物質などの電極材料、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料等を含む溶液、懸濁液、エマルジョン等である。これらは例えば、印刷用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターン等の各種デバイスの形成用液等の用途で用いることができる。

【0030】

また、インク中の不揮発成分が多い場合や金属酸化物粒子を主成分とするインクを用いた場合、均一な膜形成が特に難しいため、本実施形態が特に大きく効果を発揮する。

【0031】

（液体塗布手段）
液体塗布手段は、インクを吐出して、被塗布材１０２上にインクを塗布する手段である。膜形成装置１００は、図１に示すように、液体塗布手段としてインクジェットヘッド１０３を備えている。

【0032】

膜形成装置１００は、インクジェットヘッド１０３として、被塗布材１０２の搬送方向１０に沿ってインクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄを設けている。但し、これに限定されるものではなく、膜形成装置１００は、搬送方向１０に沿って２つ以上のインクジェットヘッドを設けることができる。なお、インクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄは同じ構成を有し、インクジェットヘッド１０３は、インクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄを特に区別しない場合の総称表記である。

【0033】

インクジェットヘッド１０３は、被塗布材１０２の幅方向（搬送方向１０と略直交する方向）に沿って複数のノズルが配列されたノズル列を複数有する。膜形成装置１００は、ノズルからのインクの吐出方向が被塗布材１０２に向くようにインクジェットヘッド１０３を設けている。また、インクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄは、搬送される被塗布材１０２の搬送方向１０に沿って設けられた複数の吐出ヘッドの一例である。

【0034】

インクジェットヘッド１０３は、ライン型のインクジェットヘッドである。「ライン型のインクジェットヘッド」とは、被塗布材１０２の幅方向の全幅にわたってインクを吐出するノズルが配置されたインクジェットヘッドである。なお、インクジェットヘッド１０３の幅は必ずしも被塗布材１０２の幅方向の全幅でなくてもよく、適宜決定できる。

【0035】

産業用途では、大量の被塗布材に高速で膜形成を行うため、図１に示すようなライン型のインクジェットヘッドを用いたインクジェット方式が好ましい。一方で、産業用途では、長時間連続して膜形成を行うため、ライン型のヘッドを用いた場合、膜の形態によっては、長時間インクの吐出が行われない一部のノズルが存在する。それらのノズルでは、ノズル中のインクの乾燥やインク中の粒子成分の沈降等により、インク中のインク成分が不均一になり、吐出不良が生じる場合がある。

【0036】

そのため、インク塗布工程では、インクを吐出しないノズルにおいて、ノズル内のインクの界面を振動させることや吐出ヘッド中のインクを常時循環させることが好ましい。ノズル内のインクの界面を振動させることや吐出ヘッド中のインクを常時循環させることにより、ノズル内のインクと、ノズルに連通する圧力室等のインクジェットヘッドにおけるインク流路内のインクとを均一な状態にでき、ノズル内におけるインクの不均一性を抑制できる。これにより、吐出不良による異常な膜発生をより抑制できる。なお、ノズル内のインクの界面とは、大気又は気体と接するインクの界面である。

【0037】

インクジェットヘッド１０３において、インクに刺激を印加してインクを吐出させる手段としては、目的に応じて適宜選択でき、例えば、加圧装置、圧電素子、振動発生装置、超音波発振器、ライト等を使用できる。具体的には、圧電素子等の圧電アクチュエータ、温度変化による金属相変化を用いる形状記憶合金アクチュエータ、静電力を用いる静電アクチュエータ等がある。

【0038】

これらの中でも、特にインクジェットヘッド１０３内のインク流路内にある圧力室（液室等とも称する）と呼ばれる位置に接着された圧電素子に電圧を印加するものが好ましい。このインクジェットヘッド１０３は、電圧の印加により圧電素子が撓み、圧力室の容積が縮小することで圧力室中のインクを加圧し、ノズルからインクを液滴として吐出する。

【0039】

インクジェットヘッド１０３は、インクジェット吐出ユニットを備える。インクジェット吐出ユニットとは、インクジェットヘッド１０３からのインク吐出に関連する機能部品、機構の集合体である。インクジェット吐出ユニットは、供給機構、維持回復機構、液体吐出ヘッド移動機構の構成の少なくとも一つをインクジェットヘッド１０３と組み合わせたもの等を含む。

【0040】

（被塗布材）
被塗布材１０２には、金属シート等の非浸透性の基材上に粒子を主成分とした層が設けられたものを用いることができる。非浸透性基材上に設けられた粒子を主成分とした層は、例えばグラファイトを主成分とした層等である。

【0041】

非浸透性の基材は、アルミニウム、酸化アルミニウム、銅、ステンレス、ニッケル、白金等の金属シート、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ナイロンフィルムの樹脂フィルム等を含む。

【0042】

（乾燥手段）
乾燥手段は、インクが吐出された後に、被塗布材１０２上のインクを乾燥させる手段である。図１では、ヒートドラム１０５と、温風乾燥部１０６とを含んで乾燥手段２００を構成している。

【0043】

ヒートドラム１０５は回転可能なドラムである。ヒートドラム１０５はインクが塗布されて搬送される被塗布材１０２に外周面を接触させ、被塗布材１０２を加熱又は冷却する温度調節部材の一例である。

【0044】

ヒートドラム１０５による温度調節方法は、ヒートドラム１０５の内部に充填した液体又は気体を熱交換媒体として被塗布材１０２を加熱又は冷却する方法やヒートドラム１０５の内部に熱源装置を設ける方法等である。乾燥手段２００は、ヒートドラム１０５の内部に充填した液体又は気体を熱交換媒体として用い、ヒートドラム１０５の外部に設けられたチラー等の外部装置との間を循環させることで、熱交換媒体を所定の温度に維持する。乾燥手段２００は、この熱交換媒体との熱交換により被塗布材１０２を加熱又は冷却して所定の温度に調節する。

【0045】

ヒートドラム１０５の内部に流す液体は、水やオイル等の流動性を有するものであれば、特に制限はないが、取り扱いが容易である水が望ましい。ヒートドラム１０５内部に流す気体としては加温された空気を用いることがコストや安全面で望ましい。

【0046】

乾燥手段２００は、チラー等の外部装置との間で循環する液体又は気体を、ヒートドラム１０５の両端部（搬送方向１０と直交する方向の端部）に設けられたバルブを介して、ヒートドラム１０５の内部に吸入し、また外部に排出する。

【0047】

またヒートドラム１０５の内部に熱源装置を設ける方法は、熱源装置としてハロゲンヒーターや赤外線ヒータや、ニクロムヒータ等を含む。

【0048】

温風乾燥部１０６は、ヒートドラム１０５の外周面に対向して設けられ、幅方向に延伸する開口を備えたノズルを含む。温風乾燥部１０６は、ヒートドラム１０５に巻き付けられた被塗布材１０２にノズルから温風を吹き送ることで、被塗布材１０２を加熱して被塗布材１０２上のインクを乾燥させる。また温風乾燥部１０６に代え、又は温風乾燥部１０６に加えて赤外線加熱器を備え、被塗布材１０２の表面に赤外線を照射して被塗布材１０２上のインクを乾燥させることもできる。

【0049】

ヒートドラム１０５の温度や、温風乾燥部１０６による温風温度、温風乾燥部１０６が吹き送る温風の風速が、インクに用いる溶剤の乾燥性や使用する被塗布材へのダメージの影響に応じて適切な範囲に設定されると、乾燥に必要な消費電力が低減する。

【0050】

（制御部）
制御部４００は、膜形成装置１００の動作を制御する。制御部４００は、膜形成装置１００の内部又は外部の任意の位置に設置可能である。

【0051】

＜インクジェットヘッド１０３の構成例＞
次に図２を参照して、インクジェットヘッド１０３の構成について説明する。図２は、インクジェットヘッド１０３の構成の一例を説明する図である。図２は、搬送方向１０に沿って配置されたインクジェットヘッド１０３Ａ及び１０３Ｂを、インクの吐出方向側から視た模式的な拡大図である。

【0052】

図２に示すように、インクジェットヘッド１０３Ａは、幅方向１１に沿って略一定のノズル間隔ｄで配列する複数のノズル３０１が形成されたノズル板３０２Ａを有する。複数のノズル３０１は、２個のノズル列であるノズル列３０３Ａ１及び３０３Ａ２を構成している。インクジェットヘッド１０３Ａは、ノズル列３０３Ａ１とノズル列３０３Ａ２を、ノズル間隔ｄの略半分の距離だけ幅方向１１に沿ってずらして配置する。

【0053】

同様に、インクジェットヘッド１０３Ｂは、幅方向１１に沿って略一定の間隔で配列する複数のノズル３０１が形成されたノズル板３０２Ｂを有する。ノズル板３０２Ｂには複数のノズル３０１を含むノズル列が２列形成されている。複数のノズル３０１は、２個のノズル列であるノズル列３０３Ｂ１及び３０３Ｂ２を構成している。インクジェットヘッド１０３Ｂは、ノズル列３０３Ｂ１とノズル列３０３Ｂ２を、ノズル間隔ｄの略半分の距離だけ幅方向１１に沿ってずらして配置する。

【0054】

膜形成装置１００は、ノズル列３０３Ａ１とノズル列３０３Ｂ１を、幅方向１１において略等しい位置に配置し、ノズル列３０３Ａ２とノズル列３０３Ｂ２を幅方向１１において略等しい位置に配置する。

【0055】

図２では、インクジェットヘッド１０３Ａ及び１０３Ｂがそれぞれ２列のノズル列を備える構成を例示したが、ノズル列の数はこれに限定されるものではない。インクジェットヘッド１０３Ａ及び１０３Ｂは、それぞれ１列又は３列以上のノズル列を備えてもよい。また、図２ではインクジェットヘッド１０３のうちのインクジェットヘッド１０３Ａ及び１０３Ｂのみを例示したが、インクジェットヘッド１０３Ｃ及び１０３Ｄにおいても同様である。

【0056】

＜制御部４００の機能構成例＞
次に図３を参照して、制御部４００の機能構成について説明する。図３は、制御部４００の機能構成の一例を説明するブロック図である。

【0057】

図３に示すように、制御部４００は、搬送制御部４０１と、吐出制御部４０２とを有する。これらの機能は電気回路で実現される他、これらの機能の一部をソフトウェア（ＣＰＵ；Central Processing Unit）によって実現することもできる。また複数の回路又は複数のソフトウェアによってこれらの機能が実現されてもよい。

【0058】

搬送制御部４０１は、巻出部１０１及び巻取部１０８による被塗布材１０２の搬送の開始及び停止、或いは搬送速度等を制御する。吐出制御部４０２は、インクジェットヘッド１０３によるインクの吐出タイミングを制御する。

【0059】

＜膜形成装置１００の動作例＞
次に、膜形成装置１００の動作について説明する。膜形成装置１００による膜の形成では、搬送方向１０に設けられたインクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄが、同じ種類のインクを順次吐出し、被塗布材１０２上にインクを塗布する。

【0060】

図４は、膜形成装置１００による動作の一例を示すフローチャートである。図４は、ユーザが膜形成装置１００の操作部に対して形成開始の操作を行い、膜形成装置１００が操作を受け付けた時点を起点にした動作を示している。

【0061】

まず、ステップＳ４１において、膜形成装置１００は、巻出部１０１に被塗布材１０２の巻き出しを開始させ、巻取部１０８に被塗布材１０２の巻き取りを開始させて、被塗布材１０２の搬送を開始する。

【0062】

続いて、ステップＳ４２において、インクジェットヘッド１０３Ａは、搬送される被塗布材１０２に向けて全てのノズルから並行してインクを吐出し、被塗布材１０２が所定距離だけ搬送された後で、全てのノズルによるインクの吐出を停止する。これにより、インクジェットヘッド１０３Ａは、搬送方向１０における所定距離及び幅方向における全幅にそれぞれ対応する被塗布材１０２上の領域にインクを塗布する。

【0063】

続いて、ステップＳ４３において、膜形成装置１００は、膜形成を終了するか否かを判定する。膜形成装置１００は、予め定められた終了条件を満たすか否かを判定すること、或いは膜形成装置１００が操作部を介してユーザから終了操作を受け付けたか否かを判定すること等により、膜形成を終了するか否かを判定する。この点は以下の終了の判定においても同様である。

【0064】

ステップＳ４３で膜形成を終了すると判定された場合には（ステップＳ４３、Ｙｅｓ）、動作はステップＳ５０に移行する。一方、膜形成を終了しないと判定された場合には（ステップＳ４３、Ｎｏ）、動作はステップＳ４４に移行する。

【0065】

続いて、ステップＳ４４において、インクジェットヘッド１０３Ｂは、搬送される被塗布材１０２に向けて全てのノズルから並行してインクを吐出し、被塗布材１０２が所定距離だけ搬送された後で、全てのノズルによるインクの吐出を停止する。これにより、インクジェットヘッド１０３Ｂは、インクジェットヘッド１０３Ａがインクを塗布した領域の搬送方向１０に沿って下流側で、搬送方向１０における所定距離及び幅方向における全幅にそれぞれ対応する被塗布材１０２上の領域にインクを塗布する。

【0066】

インクジェットヘッド１０３Ｂは、インクジェットヘッド１０３Ａとは搬送方向１０における異なる位置にインクを塗布するため、インクは連続的ではなく間欠的に被塗布材１０２上に塗布される。インクジェットヘッド１０３Ｂは、インクジェットヘッド１０３Ａがインクを塗布した領域に対して隙間なくインクを塗布する。

【0067】

また、インクジェットヘッド１０３Ｂは、インクジェットヘッド１０３Ｂがインクを塗布した領域の面積が、インクジェットヘッド１０３Ａがインクを塗布した領域の面積と均等になるように、被塗布材１０２上にインクを塗布する。

【0068】

続いて、ステップＳ４５において、膜形成装置１００は、膜形成を終了するか否かを判定する。

【0069】

ステップＳ４５で膜形成を終了すると判定された場合には（ステップＳ４５、Ｙｅｓ）、動作はステップＳ５０に移行する。一方、膜形成を終了しないと判定された場合には（ステップＳ４５、Ｎｏ）、動作はステップＳ４６に移行する。

【0070】

続いて、ステップＳ４６において、インクジェットヘッド１０３Ｃは、搬送される被塗布材１０２に向けて全てのノズルから並行してインクを吐出し、被塗布材１０２が所定距離だけ搬送された後で、全てのノズルによるインクの吐出を停止する。これにより、インクジェットヘッド１０３Ｃは、インクジェットヘッド１０３Ｂがインクを塗布した領域の搬送方向１０に沿って下流側で、搬送方向１０における所定距離及び幅方向における全幅にそれぞれ対応する被塗布材１０２上の領域にインクを塗布する。

【0071】

インクジェットヘッド１０３Ｃは、インクジェットヘッド１０３Ｂとは搬送方向１０に沿って異なる位置にインクを塗布するため、インクは連続的ではなく間欠的に被塗布材１０２上に塗布される。インクジェットヘッド１０３Ｃは、インクジェットヘッド１０３Ｂがインクを塗布した領域に対して隙間なくインクを塗布する。

【0072】

また、インクジェットヘッド１０３Ｃは、インクジェットヘッド１０３Ｃがインクを塗布した領域の面積が、インクジェットヘッド１０３Ｂがインクを塗布した領域の面積と均等になるように、被塗布材１０２上にインクを塗布する。

【0073】

続いて、ステップＳ４７において、膜形成装置１００は、膜形成を終了するか否かを判定する。

【0074】

ステップＳ４７で膜形成を終了すると判定された場合には（ステップＳ４７、Ｙｅｓ）、動作はステップＳ５０に移行する。一方、膜形成を終了しないと判定された場合には（ステップＳ４７、Ｎｏ）、動作はステップＳ４８に移行する。

【0075】

続いて、ステップＳ４８において、インクジェットヘッド１０３Ｄは、搬送される被塗布材１０２に向けて全てのノズルから並行してインクを吐出し、被塗布材１０２が所定距離だけ搬送された後で、全てのノズルによるインクの吐出を停止する。これにより、インクジェットヘッド１０３Ｄは、インクジェットヘッド１０３Ｃがインクを塗布した領域の搬送方向１０に沿って下流側で、搬送方向１０における所定距離及び幅方向における全幅にそれぞれ対応する被塗布材１０２上の領域にインクを塗布する。

【0076】

インクジェットヘッド１０３Ｄは、インクジェットヘッド１０３Ｃとは搬送方向１０に沿って異なる位置にインクを塗布するため、インクは連続的ではなく間欠的に被塗布材１０２上に塗布される。インクジェットヘッド１０３Ｄは、インクジェットヘッド１０３Ｃがインクを塗布した領域に対して隙間なくインクを塗布する。

【0077】

また、インクジェットヘッド１０３Ｄは、インクジェットヘッド１０３Ｄがインクを塗布した領域の面積が、インクジェットヘッド１０３Ｃがインクを塗布した領域の面積と均等になるように、被塗布材１０２上にインクを塗布する。

【0078】

続いて、ステップＳ４９において、膜形成装置１００は、膜形成を終了するか否かを判定する。

【0079】

ステップＳ４９で膜形成を終了すると判定された場合には（ステップＳ４９、Ｙｅｓ）、動作はステップＳ５０に移行する。一方、膜形成を終了しないと判定された場合には（ステップＳ４９、Ｎｏ）、動作はステップＳ４２に戻り、ステップＳ４２以降の動作が再度行われる。

【0080】

続いて、ステップＳ５０において、膜形成装置１００は、巻出部１０１に被塗布材１０２の巻き出しを停止させ、巻取部１０８に被塗布材１０２の巻き取りを停止させて、被塗布材１０２の搬送を停止する。

【0081】

このようにして、膜形成装置１００は被塗布材１０２上にインクを塗布できる。

【0082】

［第１実施形態］
＜第１実施形態に係る膜形成方法によるインクの塗布例＞
次に図５を参照して、第１実施形態に係る膜形成方法による被塗布材１０２へのインクの塗布について説明する。図５は、本実施形態に係るインク塗布の一例を説明する図であり、図５（ａ）は比較例を示す図、図５（ｂ）は本実施形態を示す図である。比較例は、本実施形態が適用されない例である。

【0083】

また図５は、インクジェットヘッド１０３のうちのインクジェットヘッド１０３Ａとインクジェットヘッド１０３Ｂがそれぞれ吐出したインクが、被塗布材１０２に塗布される位置を示している。図５に示した各升目は、被塗布材１０２上でインクが１滴ずつ塗布される画素５１を表している。複数の画素５１は搬送方向１０及び幅方向１１のそれぞれに沿って配列し、搬送方向１０を列、幅方向１１を行とする行列を構成している。なお、画素５１は複数の画素の総称表記である。また画素５１として正方形状のものを例示するが、画素５１の形状は、これに限定されるものではなく、任意の形状でよい。

【0084】

画素５１内に示した「Ａ」は、インクジェットヘッド１０３Ａがインクを塗布した画素であることを表し、画素５１内に示した「Ｂ」はインクジェットヘッド１０３Ｂがインクを塗布した画素であることを表す。この点は以降においても同様とする。

【0085】

図５（ａ）に示すように、比較例では、搬送方向１０に沿う下流側（図中上側）から順に、第１行目にはインクジェットヘッド１０３Ａ、第２行目にはインクジェットヘッド１０３Ｂ、第３行目にはインクジェットヘッド１０３Ａ、第４行目にはインクジェットヘッド１０３Ｂがそれぞれインクを塗布する。行ごとでインクを塗布するインクジェットヘッドが異なる。インクジェットヘッド１０３Ｃ及び１０３Ｄにおいても同様である。

【0086】

これに対し、図５（ｂ）に示すように、本実施形態では、インクジェットヘッド１０３Ａ及び１０３Ｂのそれぞれは、千鳥状にインクを塗布する。

【0087】

千鳥状にインクを塗布することについてより詳しく説明する。インクジェットヘッド１０３Ａは、図５（ｂ）に示すように、第１インク５１１と、第２インク５１２と、第３インク５１３とを塗布する。なお、図５（ｂ）における第１インク５１１、第２インク５１２及び第３インク５１３は、それぞれ画素５１に塗布されたインクを表している。

【0088】

第２インク５１２は、幅方向１１に沿って第１インク５１１と等しい位置に塗布される。つまり、第２インク５１２が塗布される画素と、第１インク５１１が塗布される画素は、幅方向１１に沿う座標が等しい。

【0089】

また、第３インク５１３は、搬送方向１０に沿う第１インク５１１と第２インク５１２との中間であって、幅方向１１に沿って第１インク５１１とは異なる位置に塗布される。つまり、第３インク５１３が塗布される画素と、搬送方向１０に沿う第１インク５１１と第２インク５１２との中間にある画素は、搬送方向１０に沿う座標が等しい。そして第３インク５１３が塗布される画素と、第１インク５１１が塗布される画素は、幅方向１１に沿う座標が異なる。

【0090】

「千鳥状にインクを塗布する」とは、以上説明したように、第１インク５１１、第２インク５１２及び第３インク５１３を塗布することをいう。ここで、第１インク５１１は第１液体の一例であり、第２インク５１２は第２液体の一例であり、第３インク５１３は第１液体の一例である。

【0091】

なお、インクジェットヘッド１０３Ａが塗布するインクのうち、第１インク５１１、第２インク５１２及び第３インク５１３のみを説明したが、インクジェットヘッド１０３Ａは、第１インク５１１、第２インク５１２及び第３インク５１３以外のインクも同様に被塗布材１０２に千鳥状に塗布する。

【0092】

インクジェットヘッド１０３Ｂも同様に被塗布材１０２にインクを千鳥状に塗布する。但し、図５（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド１０３Ａが塗布したインクとは画素５１が重ならないように塗布する。インクジェットヘッド１０３Ｃ及び１０３Ｄも同様にして、他のインクジェットヘッドと画素５１が重ならないようにして、被塗布材１０２にインクを千鳥状に塗布する。

【0093】

また、第１インク５１１が塗布される画素と第３インクが塗布される画素が幅方向１１に沿って隣接する例を示したが、幅方向１１に沿う両画素間に１個以上の画素が含まれてもよい。

【0094】

また、図５（ｂ）では、搬送方向１０に沿う第１インク５１１が塗布される画素と第２インク５１２が塗布される画素との間に１個の画素が介在する例を示したが、これに限定されるものではなく、両画素間に２個以上の画素が介在してもよい。

【0095】

ここで、搬送方向１０に沿う第１インク５１１が塗布される画素と第２インク５１２が塗布される画素の間に奇数個の画素が介在する場合には、第３インク５１３は、両画素の中間に介在する画素に塗布される。図５（ｂ）の例では、搬送方向１０に沿う第１インク５１１が塗布される画素と第２インク５１２が塗布される画素の間には、奇数である１個の画素が介在し、この画素に第３インク５１３が塗布されている。

【0096】

しかし、搬送方向１０に沿う第１インク５１１が塗布される画素と第２インク５１２が塗布される画素の間に偶数個の画素が介在する場合には、両画素の中間位置を中心位置とする画素は存在しない。この場合には、両画素の中間位置に対し、搬送方向１０に沿って０．５画素だけ上流側又は下流側にずれた位置を中心とする画素に、第３インク５１３が塗布される。

【0097】

図６は、搬送方向１０に沿う第１インク５１１が塗布される画素と第２インク５１２が塗布される画素の間に偶数個の画素が介在する場合を示す図である。図６の例では、第１インク５１１が塗布される画素と第２インク５１２が塗布される画素の間に偶数個である２個の画素が介在している。両画素の中間位置Ｍに対し、搬送方向１０に沿って０．５画素だけ下流側にずれた位置を中心とする画素に、第３インク５１３が塗布されている。

【0098】

換言すると、搬送方向１０に沿う第１インク５１１と第２インク５１２との中間に塗布される第３インク５１３は、両画素の中間位置Ｍに対し、搬送方向１０に沿って０．５画素だけ上流側又は下流側にずれた位置を中心とする画素に塗布されるインクを含む。

【0099】

＜第１実施形態に係る膜形成方法の作用＞
次に図７を参照して、本実施形態に係る膜形成方法の作用について説明する。図７は、本実施形態に係る作用を説明する図である。図７（ａ）は、比較例に係る被塗布材１０２に塗布されたインクを示す図、図７（ｂ）は図７（ａ）で塗布位置誤差が生じた場合を示す図である。図７（ａ）及び図７（ｂ）は、図５（ａ）に示した位置に塗布されたインクに対応する。

【0100】

図７では、搬送方向１０に沿って塗布位置誤差が生じた場合を示している。インクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄは、搬送方向１０に沿って離隔して配置されているため、このような搬送方向１０に沿う塗布位置誤差が生じやすい。

【0101】

また、図７（ｃ）は、本実施形態に係る被塗布材１０２に塗布されたインクの一例を示す図、図７（ｄ）は図７（ｃ）で塗布位置誤差が生じた場合を示す図である。図７（ｃ）及び図７（ｄ）は、図５（ｂ）に示した位置に塗布されたインクに対応する。

【0102】

図７では、網点ハッチングで示したドット６１は、インクジェットヘッド１０３Ａが被塗布材１０２に塗布したインクを示している。また斜線ハッチングで示したドット６２はインクジェットヘッド１０３Ｂが被塗布材１０２に塗布したインクを示している。

【0103】

塗布位置誤差がない理想的な塗布が行われた場合には、図７（ａ）に示す比較例と図７（ｃ）に示す本実施形態との間で、被塗布材１０２に塗布されたインクの状態に差は生じず、被塗布材１０２に形成される膜にも差は生じない。

【0104】

しかし、塗布位置誤差が生じた場合には、比較例では、図７（ｂ）に示すように、インクが塗布されていない隙間領域６３が幅方向１１に沿ってスジ状に延伸するように生じる。

【0105】

これに対し、本実施形態では、図７（ｄ）に示すように、隙間領域６４は、隙間領域６３と比較して面積が小さくなる。被塗布材１０２上に千鳥状にインクを塗布することで、塗布位置誤差が分散され、隙間領域が抑制されるためである。隙間領域６４の抑制により、被塗布材１０２に形成される膜の厚みが均一になる。

【0106】

例えば、搬送方向１０及び幅方向１１のそれぞれに沿うドット間隔が解像度１２００［dpi；dot per inch］に対応するとし、ドットの直径が３０［μｍ］であるとする。インクジェットヘッド１０３Ａが塗布するインクに対し、インクジェットヘッド１０３Ｂが塗布するインクが搬送方向１０に沿って１５［μｍ］位置ずれすると、被塗布材１０２上のインクの被覆率は比較例では約７８［％］となる。これに対し、本実施形態では９７［％］となる。このように本実施形態では、塗布位置誤差が生じた場合にも、比較例と比較して被覆率を高く維持でき、隙間領域を抑制できる。

【0107】

＜第１実施形態に係る膜形成方法の効果＞
次に、本実施形態に係る膜形成方法の効果について説明する。

【0108】

以上説明したように、本実施形態では、搬送される被塗布材１０２の搬送方向１０に沿って設けられたインクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄ（複数の吐出ヘッド）のそれぞれが吐出したインク（液体）を被塗布材１０２に塗布する工程を行う。

【0109】

インクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄのそれぞれは、幅方向１１に沿って配列されてインクを吐出する複数のノズル３０１を有する。塗布する工程では、インクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄのそれぞれは、第１インク５１１（第１液体）と、第２インク５１２（第２液体）と、第３インク５１３（第３液体）とを塗布する。

【0110】

そして、第２インク５１２は、幅方向１１に沿って第１インク５１１が塗布される位置と略等しい位置に塗布され、第３インク５１３は、搬送方向１０に沿って第１インク５１１が塗布される位置と第２インク５１２が塗布される位置との間の位置であり、幅方向１１に沿って第１インク５１１が塗布される位置とは異なる位置に塗布される。

【0111】

これにより、インクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄによる被塗布材への液体の塗布位置誤差が生じた場合でも、塗布位置誤差を分散させ、隙間領域を抑制できる。そして、形成される膜の均一性を向上させることができる。

【0112】

例えば、被塗布材１０２上に形成された膜の欠陥を検出し、検出された結果を補修する処理を行う場合にも、補修処理時間を短縮するとともに、補修のために使用するインク量を低減し、低コストで膜を形成できる。

【0113】

［第２実施形態］
次に、第２実施形態に係る膜形成方法について説明する。本実施形態及び以降に示す各実施形態に係る膜形成方法には、何れも膜形成装置１００を適用可能である。また、上述した実施形態で説明した構成部と同一のものには、同一の部品番号を付し、重複する説明を適宜省略する。この点は以降で示す各実施形態でも同様とする。

【0114】

本実施形態では、複数の吐出ヘッドのうちの複数の吐出ヘッドが吐出した液体を被塗布材上の同じ領域に重ねて塗布することで、被塗布材上の所定領域内における液体の塗布量を増やし、厚い膜を形成可能にする。

【0115】

図８は、本実施形態に係る膜形成方法によるインク塗布の一例を説明する図である。図８は、４つのインクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄのうち、インクジェットヘッド１０３Ａ及び１０３Ｃは、被塗布材１０２上の同じ画素５１内にインクを塗布し、インクジェットヘッド１０３Ｂ及び１０３Ｄは、被塗布材１０２上の同じ画素５１内に塗布した様子を示している。

【0116】

画素５１内に示した「Ｃ」は、インクジェットヘッド１０３Ｃがインクを塗布した画素であることを表し、画素５１内に示した「Ｄ」は、インクジェットヘッド１０３Ｄがインクを塗布した画素であることを表す。この点は以降においても同様とする。

【0117】

４つのインクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄのそれぞれが吐出したインクは、被塗布材１０２上に千鳥状に塗布される。

【0118】

本実施形態では、４つのインクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄのうち、インクジェットヘッド１０３Ａ及び１０３Ｃが吐出したインクを被塗布材１０２上の同じ領域に重ねて塗布する。

【0119】

これにより、４つのインクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄのそれぞれが吐出したインクを重ねずに被塗布材１０２上に塗布する場合と比較して、被塗布材１０２上のインクの塗布量を増やし、厚い膜を形成できる。例えば、高い絶縁性が要求される絶縁層を電極上に形成する用途において、インクの塗布量を増やし、厚い膜を形成することで、絶縁性を高く確保できるため、本実施形態は特に好適である。

【0120】

なお、上記以外の効果は第１実施形態で説明したものと同様である。

【0121】

［第３実施形態］
次に、第３実施形態に係る膜形成方法について説明する。

【0122】

本実施形態では、複数の吐出ヘッドは、第１吐出ヘッドと、搬送方向に沿って第１吐出ヘッドと隣り合う第２吐出ヘッドとを含む４個以上の吐出ヘッドを有し、第１吐出ヘッドが吐出した液体は、第２吐出ヘッドが吐出した液体とは搬送方向に沿って異なる位置に塗布される。これにより、形成される膜を均一化する。

【0123】

図９は、本実施形態に係る膜形成方法によるインク塗布の一例を説明する図である。図９（ａ）は例を示す図、図９（ｂ）は本実施形態を示す図である。なお、例は、第１乃至第３実施形態が何れも適用されない場合のものである。

【0124】

図９において、網点ハッチングで示した画素は、インクジェットヘッド１０３Ａ又は１０３Ｂの何れか一方が吐出したインクが塗布された画素を示す。

【0125】

図９（ａ）に示すように、例では、インクジェットヘッド１０３Ａ及び１０３Ｂは同じ行にインクを塗布し、インクジェットヘッド１０３Ｃ及び１０３Ｄは同じ行にインクを塗布する。インクジェットヘッド１０３Ａ及び１０３Ｂがインクを塗布した行は、インクジェットヘッド１０３Ｃ及び１０３Ｄがインクを塗布した行とは異なる。

【0126】

これに対し、図９（ｂ）に示すように、本実施形態では、インクジェットヘッド１０３Ａとインクジェットヘッド１０３Ｂは異なる行にインクを塗布する。また、インクジェットヘッド１０３Ｃとインクジェットヘッド１０３Ｄは異なる行にインクを塗布する。

【0127】

換言すると、インクジェットヘッド１０３は、インクジェットヘッド１０３Ａと、搬送方向１０に沿ってインクジェットヘッド１０３Ａと隣り合うインクジェットヘッド１０３Ｂとを含む４個以上の吐出ヘッドを有する。インクジェットヘッド１０３Ａが吐出したインクは、インクジェットヘッド１０３Ｂが吐出したインクとは搬送方向１０に沿って異なる位置に塗布される。

【0128】

また第１インク５１１と、第２インク５１２と、第３インク５１３は被塗布材１０２に千鳥状に塗布される。

【0129】

ここで、インクジェットヘッド１０３Ａに対するインクジェットヘッド１０３Ｂの距離は、インクジェットヘッド１０３Ａに対するインクジェットヘッド１０３Ｃ又は１０３Ｄの距離と比較して短い。従って、インクジェットヘッド１０３Ａに対するインクジェットヘッド１０３Ｂの塗布位置誤差は、インクジェットヘッド１０３Ａに対するインクジェットヘッド１０３Ｃ又は１０３Ｄの塗布位置誤差より小さくなりやすい。

【0130】

例えば、膜形成装置１００全体が熱膨張すると、インクジェットヘッド１０３Ａに対するインクジェットヘッド１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄの位置も膨張に伴ってずれる。この場合のずれ量はインクジェットヘッド間の距離に比例するため、インクジェットヘッド１０３Ｃ及び１０３Ｄと比較して、インクジェットヘッド１０３Ｂはずれ量が小さくなる。

【0131】

このずれ量は、そのまま塗布位置誤差となる。そのため、インクジェットヘッド１０３Ａとインクジェットヘッド１０３Ｂが搬送方向１０に沿って異なる位置にインクを塗布することで、塗布位置誤差を小さくでき、インクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ及び１０３Ｄ全体での塗布位置誤差を抑制できる。これにより、形成される膜を均一化できる。

【0132】

上記の作用効果は、インクジェットヘッド１０３Ｃと、搬送方向１０に沿ってインクジェットヘッド１０３Ｃと隣り合うインクジェットヘッド１０３Ｄとの間でも同様に得られる。また、上記以外の効果は第１実施形態で説明したものと同様である。

【0133】

［第４実施形態］
次に、第４実施形態に係る膜形成方法について説明する。

【0134】

本実施形態では、複数の吐出ヘッドは、Ｎ個の吐出ヘッドを有し、Ｎ個の吐出ヘッドのうち、搬送方向に沿って隣り合うＭ個の吐出ヘッドが吐出する液体は、幅方向に沿って配列された全ての画素のうちの少なくとも１個の画素に塗布される。但し、Ｎは整数を表し、ＭはＮ／２以上で、且つＮ／２＋１未満の整数を表す。

【0135】

本実施形態にも膜形成装置１００を適用できるが、ここでは、膜形成装置１００が、搬送方向１０に沿って設けられた５個のインクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ、１０３Ｄ及び１０３Ｅを備える場合を一例として説明する。

【0136】

図１０は、本実施形態に係る膜形成方法によるインク塗布の一例を説明する図である。画素５１内に示した「Ｅ」は、インクジェットヘッド１０３Ｅがインクを塗布した画素であることを表す。また図１０では、インクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ及び１０３Ｃがインクを塗布した画素５１を網点ハッチングで示している。

【0137】

ここで、インクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ、１０３Ｄ及び１０３Ｅは、Ｎ個の吐出ヘッドの一例である。従ってＮ＝５である。またインクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ及び１０３Ｃは、Ｎ個の吐出ヘッドのうち、搬送方向に沿って隣り合うＭ個の吐出ヘッドの一例である。従ってＭ＝３である。

【0138】

図１０に示すように、インクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ及び１０３Ｃは、幅方向１１に沿って配列された全ての画素のうちの少なくとも１個の画素にインクを塗布する。

【0139】

図１０に示す例では、幅方向１１に沿って配列された全ての画素の画素数は４個である。搬送方向１０に沿って下流側（図中上側）から順に第１行目では、インクジェットヘッド１０３Ａは２個の画素にインクを塗布し、２行目ではインクジェットヘッド１０３Ｂは２個の画素にインクを塗布している。３行目では、インクジェットヘッド１０３Ａ及び１０３Ｃは４個の画素にインクを塗布している。このように何れの行においても、インクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ及び１０３Ｃは少なくとも１個の画素にインクを塗布している。

【0140】

このようにすることで、搬送方向１０に沿って隣り合うインクジェットヘッドは搬送方向１０に沿って異なる位置にインクを塗布できる。そのため、第３実施形態で説明したものと同様に、インクジェットヘッド１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ、１０３Ｄ及び１０３Ｅ全体での塗布位置誤差を抑制でき、形成される膜を均一化できる。なお、これ以外の効果は第１実施形態と同様である。

【0141】

なお、本実施形態では、Ｎ＝５、Ｍ＝３の場合を例示したが、これに限定されるものではなく、Ｎは整数、ＭはＮ／２以上で、且つＮ／２＋１未満の整数という条件の範囲内で適宜変更が可能である。

【0142】

［第５実施形態］
次に、第５実施形態に係る膜形成方法について説明する。

【0143】

インクを塗布する画素のうちの一部の画素を非塗布とすると、被塗布材１０２へのインクの塗布量を減らし、薄い膜を形成できる。ここで非塗布とは、塗布しないことをいう。

【0144】

しかしながら、非塗布とする画素が局所的に集中すると、集中した部分の膜の厚みが薄くなり、膜の均一性が低下する場合がある。

【0145】

そのため、本実施形態では、複数の吐出ヘッドは、複数の画素のそれぞれに液体を塗布可能であり、塗布する工程では、第１乃至前記第３液体のうちの少なくとも１つを非塗布とし、非塗布とした液体に対応する画素は、１個以上の画素を挟んで離れている。

【0146】

図１１は、本実施形態に係る膜形成方法によるインクの塗布の一例を説明する図である。第１インク５１１は第１液体に対応し、第２インク５１２は第２液体に対応する。非塗布画素５１４は、第３液体に対応する第３インクが塗布されるべき画素であるが、第３インクを非塗布としたことで、インクが塗布されなかった画素である。非塗布画素５１４は、複数の非塗布画素の総称表記である。図１１では非塗布画素５１４を網点ハッチングで示している。

【0147】

図１１に示すように、４個の非塗布画素５１４同士は、それぞれ間に１画素を挟んで離れている。このようにすることで、非塗布画素５１４を分散させ、非塗布とする画素が局所的に集中することを防げる。その結果、膜の均一性が低下することを抑制できる。また、電極上に形成する絶縁層を膜の一例とした場合、膜の均一性を上げることで短絡が生じるリスクを低減できる。

【0148】

なお、図１１の例では、非塗布画素５１４同士の間に１画素を挟む場合を例示したが、これに限定されるものではなく、１画素以上であればよい。例えば非塗布画素５１４が少ない場合等には、さらに多くの画素を挟んでもよい。また、上記以外の効果は、第１実施形態で示したものと同様である。

【0149】

以上、実施形態を説明したが、本発明は、具体的に開示された上記の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲から逸脱することなく、種々の変形や変更が可能である。

【0150】

上述した実施形態では、被塗布材上に一様に膜を形成する構成を例示したが、インクジェットヘッドによりインクを吐出して、被塗布材上に所定のパターンを形成することもできる。このパターンは、例えば被塗布材又は被塗布材にインクを塗布して製造する電極等の情報を示すバーコード又は２次元コード等の識別コードを含む。これにより、形成対象となる被塗布材又は製造対象となる電極等の情報の付与を、別工程で行うことなく効率的に行うことができる。

【0151】

また、実施形態の説明で用いた序数、数量等の数字は、全て本発明の技術を具体的に説明するために例示するものであり、本発明は例示された数字に制限されない。また、構成要素間の接続関係は、本発明の技術を具体的に説明するために例示するものであり、本発明の機能を実現する接続関係はこれに限定されない。

【0152】

さらに、上記で説明した実施形態の各機能は、一又は複数の処理回路によって実現することが可能である。ここで、本明細書における「処理回路」とは、電子回路により実装されるプロセッサのようにソフトウェアによって各機能を実行するようプログラミングされたプロセッサや、上記で説明した各機能を実行するよう設計されたASIC(Application Specific Integrated Circuit)、DSP（digital signal processor）、FPGA（field programmable gate array）や従来の回路モジュール等のデバイスを含むものとする。

【符号の説明】

【0153】

１０ 搬送方向
１１ 幅方向
５１ 画素
５１１ 第１インク（第１の液体の一例）
５１２ 第２インク（第２の液体の一例）
５１３ 第３インク（第３の液体の一例）
５１４ 非塗布画素
１００ 膜形成装置
１０１ 巻出部
１０２ 被塗布材
１０３ インクジェットヘッド
１０４ プラテン
１０５ ヒートドラム
１０６ 温風乾燥部
１０７ 搬送ローラ
１０８ 巻取部
４００ 制御部
４０１ 搬送制御部
４０２ 吐出制御部
ｄ ノズル間隔
Ｍ 中間位置

【先行技術文献】

【特許文献】

【0154】

【特許文献1】特開２００６‐１３０９２２号公報

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】