特開 2025-21671 搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025021671

(43)【公開日】2025-02-14

(54)【発明の名称】搬送システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20250206BHJP

   G05D 1/43 20240101ALI20250206BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

G05D1/02 X

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023125547

(22)【出願日】2023-08-01

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】小谷 将也

(72)【発明者】

【氏名】添島 義勝

【テーマコード（参考）】

5F131

5H301

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131AA03

5F131BA31

5F131BA32

5F131BA52

5F131CA09

5F131DA02

5F131DA23

5F131DA43

5F131DC06

5H301AA01

5H301BB05

5H301CC03

5H301CC06

5H301CC10

5H301GG08

(57)【要約】

【課題】加工済みの被加工物を搬送車によって搬送する過程で該被加工物を破損させることがない搬送システムを提供すること。
【解決手段】複数の加工装置１００Ａ，１００Ｂ…の上方に設置された走行レーン５０上を走行して被加工物を加工装置１００Ａ，１００Ｂ…に搬送する搬送車１０の走行を制御する制御部３０を備えた搬送システム１において、制御部３０は、加工装置１００Ａ，１００Ｂ…によって加工された被加工物を搬送するときの搬送車１０の第２走行速度Ｖ２を、未加工の被加工物を搬送するときの搬送車１０の第１走行速度Ｖ１よりも遅くなるように搬送車１０の走行を制御する。ここで、搬送車１０には、制御部３０と受信部３１が設けられ、加工装置１００Ａ，１００Ｂ…には、速度変更部１１１と発信部１２０が設けられ、制御部３０は、受信部３１が受信した走行速度で搬送車１０を走行させる。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の加工装置の上方に設置された走行レーン上を走行して被加工物を前記加工装置に搬送する搬送車の走行を制御する制御部を備えた搬送システムであって、
前記制御部は、前記加工装置によって加工された被加工物を搬送するときの前記搬送車の第２走行速度を、未加工の被加工物を搬送するときの前記搬送車の第１走行速度よりも遅くなるように前記搬送車の走行を制御することを特徴とする搬送システム。

【請求項2】

前記搬送車には、前記制御部と受信部が設けられ、
前記加工装置には、前記搬送車の走行速度を変更する速度変更部と、該速度変更部によって変更された走行速度を前記搬送車に設けられた前記受信部に向けて発信する発信部が設けられ、
前記制御部は、前記受信部が受信した走行速度で前記搬送車を走行させることを特徴とする請求項１記載の搬送システム。

【請求項3】

前記加工装置には、タッチパネルが設けられ、
該タッチパネルは、前記速度変更部と、該速度変更部によって変更された走行速度を前記発信部から前記受信部に送信する送信ボタンを備えることを特徴とする請求項１記載の搬送システム。

【請求項4】

前記速度変更部は、被加工物の加工内容ごとに前記第２走行速度を設定することを特徴とする請求項２または３記載の搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数の加工装置の間を走行レーンに沿って走行して被加工物を各加工装置に搬送する搬送車と該搬送車の走行を制御する制御部を備える搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、被加工物としてのウェーハを加工する研削装置などの加工装置は、クリーンルーム内に複数設置されているが、ウェーハを保持した搬送車を走行レーンに沿って走行させてウェーハを各加工装置に搬送する搬送システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

ところで、ウェーハを保持した搬送車を複数の加工装置の間で走行レーンに沿って走行させる場合、従来はウェーハの加工状態（未加工状態であるか加工済み状態であるか）とは無関係に一定の速度で搬送車を走行させていた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２２－１３０１６０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、例えば、研削装置によって裏面か研削された薄いウェーハ（加工済みのウェーハ）を保持する搬送車を従来のように比較的速い一定の速度で走行レーン上を走行させると、該搬送車の走行振動によってウェーハに欠けや割れなどが発生する可能性がある。

【0006】

また、テープによってリングフレームに保持されたウェーハが切削装置の切削ブレードによって切削することによって得られる複数のチップは、テープによって支持されているが、これらの複数のチップを保持する搬送車が従来のように比較的速い一定の速度で走行レーン上を走行すると、該搬送車の走行振動によってテープが揺れ、隣接するチップ同士が接触してチップに欠けが発生する可能性もある。

【0007】

本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、加工済みの被加工物を搬送車によって搬送する過程で該被加工物を破損させることがない搬送システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するための請求項１記載の発明は、複数の加工装置の上方に設置された走行レーン上を走行して被加工物を前記加工装置に搬送する搬送車の走行を制御する制御部を備えた搬送システムであって、前記制御部は、前記加工装置によって加工された被加工物を搬送するときの前記搬送車の第２走行速度を、未加工の被加工物を搬送するときの前記搬送車の第１走行速度よりも遅くなるように前記搬送車の走行を制御することを特徴とする。

【0009】

請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記搬送車には、前記制御部と受信部が設けられ、前記加工装置には、前記搬送車の走行速度を変更する速度変更部と、該速度変更部によって変更された走行速度を前記搬送車に設けられた前記受信部に向けて発信する発信部が設けられ、前記制御部は、前記受信部が受信した走行速度で前記搬送車を走行させることを特徴とする。

【0010】

請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記加工装置には、タッチパネルが設けられ、該タッチパネルは、前記速度変更部と、該速度変更部によって変更された走行速度を前記発信部から前記受信部に送信する送信ボタンを備えることを特徴とする。

【0011】

請求項４記載の発明は、請求項２または３記載の発明において、前記速度変更部は、被加工物の加工内容ごとに前記第２走行速度を設定することを特徴とする。

【発明の効果】

【0012】

請求項１記載の発明によれば、加工装置によって加工された被加工物を搬送するときの搬送車の第２走行速度を、未加工の被加工物（搬送車の走行振動によって破損する可能性が低い被加工物）を搬送するときの搬送車の第１走行速度よりも遅くなるようにしたため、加工済みの破損し易い被加工物を搬送するときの搬送車の走行振動が小さく抑えられ、該被加工物の走行振動による破損（欠けや割れなど）が効果的に防がれる。

【0013】

また、未加工の被加工物を搬送する際の搬送車の第１走行速度を加工済みの被加工物を搬送する際の第２走行速度よりも速くしたため、未加工の被加工物を間違えて搬送した場合には、この被加工物を素早く回収することができる。

【0014】

請求項２及び３記載の発明によれば、加工装置に設けられたタッチパネルの速度変更部を操作して搬送車の走行速度を適正な値に変更した後に送信ボタンを押すと、変更速度の信号が搬送車の受信部によって受信され、この受信された信号に基づいて制御部が搬送車の走行速度が変更後の値になるように制御するため、搬送車の走行速度が変更後の値に設定される。

【0015】

請求項４記載の発明によれば、速度変更部によって搬送車の第２走行速度が被加工物の加工内容に応じた適正な値に設定される。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明に係る搬送システムの全体構成を示すブロック図である。

【図2】本発明に係る搬送システムの一部の構成を示す部分破断側面図である。

【図3】搬送車を斜め上方から見た斜視図である。

【図4】搬送レーンの一部を示す平面図である。

【図5】走行レーンに沿って複数の加工装置間を搬送車が移動する状態を示す部分側断面図である。

【図6】図５のＡ－Ａ線断面図である。

【図7】搬送車の移動距離と時間との関係を示す図である。

【図8】搬送車の走行速度と時間との関係を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。

【0018】

［搬送システムの構成］
まず、本発明に係る搬送システムの全体構成を図１に基づいて説明する。

【0019】

図１に示す搬送システム１は、ローダ・アンローダ装置２と、複数の加工装置１００Ａ，１００Ｂ…と、複数の搬送車１０…と、これらのローダ・アンローダ装置２と加工装置１００Ａ，１００Ｂ…及び搬送車１０…の動作を制御する制御ユニット３を含んで構成されており、ローダ・アンローダ装置２と加工装置１００Ａ，１００Ｂ…及び搬送車１０…は、制御ユニット３に無線で接続されている。

【0020】

而して、本実施形態に係る搬送システム１は、搬送車１０がローダ・アンローダ装置２から受け取った被加工物である不図示のウェーハを保持して各加工装置１００Ａ，１００Ｂ…の間を走行することによって、各加工装置１００Ａ，１００Ｂ…に対してウェーハを受け渡すシステムである。具体的には、図２に示すように、加工装置１００Ａ，１００Ｂ…（図２には、１つの加工装置（例えば、研削装置）１００Ａのみを示す）の上方に水平に設置された走行レーン５０に沿って走行する搬送車１０によって不図示のウェーハを加工装置（例えば、研削装置）１００Ａへと搬送するとともに、加工装置１００Ａによって加工されたウェーハを受け取った搬送車１０を他の加工装置（例えば、研磨装置や切削装置）１００Ｂ（図１、図４及び図５参照）に向けて走行させ、このような動作を繰り返すことによって、加工済みのウェーハを複数の加工装置１００Ａ，１００Ｂ…の間で順次搬送するものである。ここで、図２に示すように、複数の搬送車１０…や走行レーン５０、複数の加工装置１００Ａ，１００Ｂ…（図２には、１つの加工装置１００Ａのみを図示）などは、クリーンルームＲ内に設置されている。

【0021】

なお、各搬送車１０によって搬送されるウェーハは、例えば、単結晶のシリコン（Ｓｉ）で構成された薄い円板状の部材であって、搬送車１０に昇降動可能に吊り下げ支持されたカセット４１（図６参照）に収容された状態で搬送される。ここで、走行レーン５０の各加工装置１００Ａ，１００Ｂ…のカセットステージ１０１の真上の箇所には、図２、図４～図６に示すように、矩形の開口部５０ａが形成されており、走行レーン５０に沿って走行する搬送車１０によって搬送されるカセット（図６参照）は、走行レーン５０の開口部５０ａを通過して昇降することによって各加工装置１００Ａ，１００Ｂ…のカセットステージ１０１に対してウェーハを受け渡しする。

【0022】

［搬送車の構成］
次に、各搬送車１０の構成を図３に基づいて以下に説明する。なお、以下の説明においては、図３に矢印にて示すように、搬送車１０の走行方向を「前後」方向、走行方向に直交する車幅方向を「左右」方向とする。

【0023】

各搬送車１０は、多角形の金属製プレートで構成されたシャーシ１１と、該シャーシ１１の上面側に配置された多角形の樹脂製の基板１２によって構成された上下二重構造の車体１０Ａを備えており、この車体１０Ａは、その前端部の左右に配置された回転可能な一対の前輪１３と、後端部の左右に配置された回転可能な一対の後輪１４によって図２に示す走行レーン５０上を矢印方向に走行可能に支持されている。ここで、左右一対の前輪１３は、駆動輪及び操舵輪として機能するものであり、左右一対の後輪１４は、垂直軸を中心として自由に回転することができるキャスタによって構成されている。

【0024】

そして、シャーシ１１の前端部の左右に配置された一対の前輪１３は、回転可能な車軸１５によってそれぞれ支持されており、各車軸１５には、ギヤプーリ１６（図３には、一方のみ図示）がそれぞれ結着されている。また、シャーシ１１の後端部下面の左右には、左右の各後輪（キャスタ）１４が不図示の垂直軸を中心としてそれぞれ回転可能に支持されている。

【0025】

また、搬送車１０の車体１０Ａ（基板１２）上には、左右一対の前輪１３をそれぞれ独立に回転駆動する駆動ユニット２０と、矩形プレート状の支持台１７上に配置された制御部３０と受信部３１及び発信部３２と、支持台１７と車体１０Ａ（基板１２）との間に設けられた昇降ユニット４０が配置されている。なお、基板１２の下面の前端部と後端部には、不図示の第１センサがそれぞれ配置され、基板１２の下面の前後方向中間部の左右には、不図示の第２センサがそれぞれ配置されているが、これらの第１センサと第２センサは、図４に示す走行レーン５０の上面に敷設された帯状の第１マークＭ１と第２マークＭ２をそれぞれ非接触で光学的に検知するものであって、本実施形態では、反射型フォトセンサによって構成されている。

【0026】

さらに、基板１２上の前端部と後端部の左右には、当該搬送車１０の障害物への衝突を検知するための第３センサ１８がそれぞれ配置されている。なお、第３センサ１８は、制御部３０に電気的に接続されており、この第３センサ１８には、タッチセンサや近接スイッチなどが用いられる。

【0027】

ここで、左右の前輪１３をそれぞれ独立に回転駆動する駆動ユニット２０は、駆動源である左右一対の電動モータ２１と、各電動モータ２１に電力を供給するバッテリ２２などを備えており、各電動モータ２１の出力軸（モータ軸）２１ａ（図６参照）の外端部には、前記ギヤプーリ１６よりも小径のギヤプーリ２３（図５及び図６参照）がそれぞれ結着されており、これらのギヤプーリ２３と前記ギヤプーリ１６には、無端状のタイミングベルト２４がそれぞれ巻き掛けられている。

【0028】

したがって、バッテリ２２から各電動モータ２１に電力がそれぞれ供給されて両電動モータ２１が起動されると、各電動モータ２１の出力軸（モータ軸２１ａ）に結着された小径側のギヤプーリ２３がそれぞれ回転駆動され、各ギヤプーリ２３の回転は、各タイミングベルト２４を経て減速されて（トルクアップされて）左右の大径側のギヤプーリ２３へとそれぞれ伝達される。すると、左右の各ギヤプーリ２３と各車軸１５がそれぞれ回転し、各車軸１５に結着された前輪１３がそれぞれ独立に回転駆動されるため、これらの前輪１３の回転によって搬送車１０が図３に示す走行レーン５０上を矢印方向に走行することができる。なお、バッテリ２２には、リチウムイオン電池などが用いられる。また、各電動モータ２１は、制御部３０に電気的に接続されており、その駆動が制御部３０によって制御される。

【0029】

ここで、搬送車１０に設けられた制御部３０は、制御プログラムにしたがって演算処理を行うＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶部などを備えており、後述のように、搬送車１０が加工前（未加工）のウェーハを保持して走行しているときの該搬送車１０の走行速度（第１走行速度）と、加工済みのウェーハを保持して走行しているときの搬送車１０の走行速度（第２走行速度）を所定の値になるように制御する。その他、制御部３０は、不図示の第１センサと第２センサから送信される検知信号に基づいて駆動ユニット２０や昇降ユニット４０の駆動を制御する。また、受信部３１は、外部からの信号を受信して制御部３０に送信する機能を果たすものであり、発信部３２は、制御部３０から受信した信号を外部に送信する機能を果たすものである。

【0030】

また、昇降ユニット４０は、ウェーハを収容したカセット４１（図６参照）を昇降させる機構であって、ベルトなどの４本の吊り下げ部材４２（図６参照）を巻き取り或いは巻き戻すことによって、これらの吊り下げ部材４２によって吊り下げられたカセット４１を昇降させるものである。なお、この昇降ユニット４０は、制御部３０に電気的に接続されており、前述のように、その駆動が制御部３０によって制御されるが、その具体的な構成についての図示及び説明は省略する。

【0031】

［加工装置の構成］
例えば、加工装置（研削装置）１００Ａには、図２及び図５に示すように、タッチパネル１１０と発信部１２０が設けられており、タッチパネル１１０には、作業者が搬送車１０の走行速度を変更することができる速度変更部１１１と、変更された走行速度の信号（速度信号）を発信部１２０に向けて送信する送信ボタン１１２が備えられている。この送信ボタン１１２から発信部１２０に向けて速度信号が送信されると、この速度信号を受信した発信部１２０は、搬送車１０の受信部３１に向けて速度信号を発信する。なお、他の加工装置１００Ｂ…にも、加工装置１００Ａと同様に、タッチパネル１１０と発信部１２０がそれぞれ設けられている（図５参照）。

【0032】

［走行レーンの構成］
各加工装置１００Ａ，１００Ｂ…の上方に設置された走行レーン５０の上面は、塗装または表面加工によって黒色艶消し処理が施されており、図４に示すように、この走行レーン５０の上面の幅方向中央には、銀色の反射テープなどによって構成された第１マークＭ１が搬送車１０の走行方向（図４の上下方向）に沿って敷設されている。

【0033】

ところで、図４に示すように、走行レーン５０の各加工装置１００Ａ，１００Ｂ…の上方に位置する部位には、各加工装置１００Ａ，１００Ｂ…に対してウェーハを受け渡すための受け渡しステーションＳ１，Ｓ２…が形成されており、各受け渡しステーションＳ１，Ｓ２…には、矩形の開口部５０ａがそれぞれ開口している。そして、走行レーン５０の上面には、第１マークＭ１を直角に横切って各受け渡しステーションＳ１，Ｓ２…に向かう第２マークＭ２がそれぞれ敷設されている。ここで、各第２マークＭ２は、銀色の反射テープなどによって構成されている。

【0034】

［搬送システムの作用］
次に、以上のように構成された搬送システム１の作用、つまり、搬送車１０による被加工物であるウェーハの加工装置１００Ａ，１００Ｂ…への搬送方法について説明する。

【0035】

搬送車１０は、図５に示す初期位置Ｐ０において、図１に示すローダ・アンローダ装置２からカセット４１（図６参照）に加工前（未加工）のウェーハを受け取る。すると、図１に示す制御ユニット３から送信される制御信号を受信部３１によって受信した搬送車１０は、従来の走行速度Ｖよりも速い第１走行速度Ｖ１で走行レーン５０に沿って加工装置１００Ａに向かって図５の矢印方向に移動する。なお、本実施形態では、搬送車１０の第１走行速度Ｖ１は、４００ｍｍ／ｓｅｃに設定されているが、この値は、制御ユニット３によって予め設定されている。

【0036】

ここで、搬送車１０は、これの前後に設けられた不図示の第１センサによって図４に示す走行レーン５０の第１マークＭ１を光学的に非接触で検知しながら該第１マークＭ１に沿って図示矢印方向に走行（自走）する。すなわち、図２に示す制御部３０によって駆動ユニット２０が駆動制御され、左右の電動モータ２１が起動されて前輪１３が回転駆動されると、搬送車１０は、走行レーン５０を第１マークＭ１に沿って走行（自走）する。

【0037】

したがって、カセット４１（図６参照）に未加工のウェーハを収容保持した搬送車１０は、図５に示す初期位置Ｐ０から第１走行速度Ｖ１で加工装置１００Ａに向かって走行し、加工装置１００Ａの上方の第１位置Ｐ１において停止するが、該搬送車１０が初期位置Ｐ０に位置している時間ｔを０（ｔ＝０）とし、加工装置１００Ａの上方の第１位置（カセット４１を下降させてウェーハを加工装置１００Ａに受け渡す位置）Ｐ１に到達する時間をｔ１、搬送車１０の移動距離をＬ１とすると、図７及び図８に示すように、時間ｔ＝０～ｔ１の間（Ｔ１）においては、搬送車１０は、従来の走行速度Ｖよりも速い第１走行速度Ｖ１（＝Ｌ１／Ｔ１）で第１位置Ｐ１まで移動する。

【0038】

ここで、従来の走行速度Ｖ（＜Ｖ１）で走行する搬送車１０が加工装置１００Ａの上方の第１位置Ｐ１に到達する時間は、図７においてｔ１’（＞ｔ１）にて示される。したがって、本実施形態のように、搬送車１０が従来の走行速度Ｖよりも速い第１走行速度Ｖ１（＞Ｖ）で走行する場合には、該搬送車１０が第１位置Ｐ１まで到達する所要時間Ｔ１が従来の所要時間Ｔ１’よりもΔＴ（＝ｔ１’－ｔ１）だけ短縮される。このため、例えば、初期位置Ｐ０から加工装置１００Ａの上方の第１位置Ｐ１へと向かって走行する搬送車１０が保持している未加工のウェーハに間違いがあることに気づいた場合には、従来の走行速度Ｖよりも速い第１走行速度Ｖ１で搬送車１０を初期位置Ｐ０へと戻してウェーハを回収することができる。

【0039】

以上のように、未加工のウェーハを保持する搬送車１０が初期位置Ｐ０から第１位置Ｐ１へと移動する際の第１走行速度Ｖ１を従来の走行速度Ｖよりも速く設定（Ｖ１＞Ｖ）した場合であっても、該搬送車１０に保持された未加工のウェーハは、その厚みが比較的厚いため、搬送車１０の走行振動によっても破損（欠けや割れなど）することがない。

【0040】

搬送車１０が加工装置１００Ａの上方の第１位置Ｐ１に到達したことが該搬送車１０の左右に配置された第２センサが第２マークＭ２を検知することによって確認されると、該搬送車１０の制御部３０は、駆動ユニット２０の電動モータ２１の駆動を停止し、搬送車１０を加工装置１００Ａの上方の第１位置Ｐ１で停止させる。このように、搬送車１０が第１位置Ｐ１において停止すると、図４に鎖線にて示すように、搬送車１０が角度９０°だけ旋回し、受け渡しステーションＳ１に向かって前進し、該搬送車１０に保持されたカセット４１（図６参照）が開口部５０ａに合致する位置で当該搬送車１０が停止する。そして、この状態から、図３に示す制御部３０が昇降ユニット４０を駆動制御し、図６に示すように、ウェーハが収納されたカセット４１を、開口部５０ａを通過させて下降させ、該カセット４１を加工装置１００Ａのカセットステージ１０１へと受け渡す。

【0041】

上述のように、加工装置１００Ａのカセットステージ１０１に受け渡された加工前のウェーハは、研削装置である加工装置１００Ａにおいて研削加工されて薄化される。そして、研削加工によって薄化されたウェーハ（加工済みのウェーハ）は、カセットステージ１０１において待機するカセット４１へと収納される。すると、制御部３０によって昇降ユニット４０が再び駆動制御され、カセット４１が上昇して受け渡しステーションＳ１において開口する開口部５０ａを通過して搬送車１０に戻されて回収される。その後、搬送車１０は、スイッチバックして元の位置に戻された後、角度９０°だけ旋回して元の状態（図４に実線にて示す状態）に戻る。

【0042】

ここで、加工装置１００Ａにおいては、作業者によるタッチパネル１１０の速度変更部１１１の操作によって、搬送車１０の走行速度が第１走行速度Ｖ１よりも遅い第２走行速度Ｖ２（＜Ｖ１）に設定された後、送信ボタン１１２が押されると、その信号は、発信部１２０へと送信され、発信部１２０から搬送車１０の受信部３１に向けて発信される。なお、本実施形態では、搬送車１０の第２走行速度Ｖ２は、３００ｍｍ／ｓｅｃに設定されるが、図７及び図８に示すように、この第２走行速度Ｖ２は、従来の走行速度Ｖよりも遅い速度に設定される（Ｖ２＜Ｖ）。

【0043】

すると、搬送車１０の制御部３０は、駆動ユニット２０の左右一対の電動モータ２１を駆動制御し、左右一対の前輪１３の回転速度を制御（減速）して搬送車１０を加工装置１００Ａの上方の第１位置Ｐ１から加工装置（例えば、研磨装置）１００Ｂに向けて第１走行速度Ｖ１及び従来の走行速度Ｖよりも遅い第２走行速度Ｖ２（＜Ｖ＜Ｖ１）で走行させる。ここで、加工装置１００Ａの上方の第１位置Ｐ１から加工装置１００Ｂの上方の第２位置Ｐ２までの距離を図５に示すようにＬ２とすると、搬送車１０の第２走行速度Ｖ２は、Ｌ２／Ｔ２となり、この第２走行速度Ｖ２で走行する搬送車１０は、時間ｔ２において加工装置１００Ｂの上方の第２位置（加工装置１００Ｂに対して加工済みのウェーハを受け渡す位置）Ｐ２に到達する。すなわち、搬送車１０は、図７及び図８に示す時間ｔ１から加工装置１００Ｂに向かって第２走行速度Ｖ２で走行し、時間ｔ２において加工装置１００Ｂの上方の第２位置Ｐ２に到達するが、その所要時間Ｔ２（＝ｔ２－ｔ１）は、従来の走行速度Ｖで走行する搬送車１０の所要時間Ｔ２’よりも図７に示す時間ΔＴだけ長くなる。なお、図７において、Ｔ１’は、従来の走行速度Ｖで走行する搬送車１０が初期位置Ｐ０から第１位置Ｐ１へと移動するまでの所要時間であり、Ｔ２’は、従来の走行速度Ｖで走行する搬送車１０が第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２へと移動するまでの所要時間である。

【0044】

ところで、図７に示す例では、第２走行速度Ｖ２で走行する搬送車１００が加工装置１００Ｂの上方の第２位置Ｐ２へと到達する時間と、従来の走行速度Ｖで走行する搬送車１０が第２位置Ｐ２へと到達する時間とが同じ時間ｔ２であるものとしたが、両時間は必ずしも同じである必要はない。なお、搬送車１０の第２走行速度Ｖ２は、従来の走行速度Ｖに設定してもよい。また、ウェーハの加工中にエラーが発生した場合には、そのウェーハを素早く回収するために、搬送車１０を、走行速度Ｖ２よりも速い第１走行速度Ｖ１で走行させるようにしてもよい。

【0045】

ここで、図７を参照すると、第２走行速度Ｖ２で走行する搬送車１０が第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２へと移動する際の所要時間Ｔ２は、第１走行速度Ｖ１で初期位置Ｐ０から第１位置Ｐ１まで走行する搬送車１０の所要時間Ｔ１よりも長くなっているが（Ｔ２＞Ｔ１）、第１走行速度Ｖ１で走行する搬送車１０の所要時間Ｔ１が従来の走行速度Ｖで走行する搬送車１０の所要時間Ｔ１’に対して図示のΔＴだけ短縮されているため、搬送車１０が初期位置Ｐ０から第２位置Ｐ２まで走行するトータルの所要時間Ｔは、従来の値と同じとなる。

【0046】

而して、本実施形態では、加工装置１００Ａによって研削加工された薄化されたウェーハを加工装置１００Ａから次の加工装置（例えば、研磨装置）１００Ｂへと搬送する際には、搬送車１０を第１走行速度Ｖ１及び従来の走行速度Ｖよりも遅い第２走行速度Ｖ２（＜Ｖ＜Ｖ１）で走行させるようにしたため、加工済みの破損し易いウェーハを搬送するときの搬送車１０の走行振動が小さく抑えられ、該ウェーハの走行振動による破損（欠けや割れなど）が効果的に防がれる。

【0047】

以後、加工済みのウェーハを搬送車１０によって加工装置１００Ｂから加工装置１００Ｃ、加工装置１００Ｃから加工装置１００Ｄ…へと順次搬送する場合も、搬送車１０の走行速度は、第１走行速度Ｖ１と従来の走行速度Ｖよりも遅い第２走行速度Ｖ２（Ｖ＜Ｖ１）に設定されるが、この第２走行速度Ｖ２は、加工装置１００Ｂ，１００Ｃ…におけるウェーハの加工内容（例えば、切削加工、洗浄など）に応じて最適な値に設定してもよい。

【0048】

なお、以上の実施形態では、搬送車１０が被加工物であるウェーハを搬送する場合を例として説明したが、本発明に係る搬送システム１においては、搬送車１０は、ウェーハ以外の任意の被加工物を搬送するものであってもよい。

【0049】

また、以上の実施の形態では、各加工装置１００Ａ，１００Ｂ…に設けられたタッチパネル１１０の速度変更部１１１の作業者による操作によって搬送車１０の走行速度を設定するようにしたが、例えば、第１センサや第２センサによるマークの検知、或いはカメラによる撮影などによって搬送車１０の位置（加工装置１００Ａ，１００Ｂ…の位置）を認識し、それに基づいて搬送車１０の第２走行速度Ｖ２を予め設定された値に自動的に設定するようにしてもよい。

【0050】

その他、本発明は、以上説明した実施の形態に適用が限定されるものではなく、特許請求の範囲及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内で種々の変形が可能であることは勿論である。

【符号の説明】

【0051】

１：搬送システム、２：ローダ・アンローダ装置、３：制御ユニット、１０：搬送車、
１０Ａ：車体、１１：シャーシ、１２：：基板、１３：前輪、１４：後輪、１５：車軸、
１６：ギヤプーリ、１７：支持台、１８：第３センサ、２０：駆動ユニット、
２１：電動モータ、２１ａ：電動モータの出力軸、２２：バッテリ、２３：ギヤプーリ、
２４：タイミングベルト、３０：制御部、３１：受信部、３２：発信部、
４０：昇降ユニット、４１：カセット、４２：吊り下げ部材、５０：走行レーン、
５０ａ：開口部、１００Ａ，１００Ｂ…：加工装置、１０１：カセットステージ、
１１０：タッチパネル、１１１：速度変更部、１１２：送信ボタン、１２０：発信部、
Ｌ１，Ｌ２：搬送車の移動距離、Ｍ１：第１マーク、Ｍ２：第２マーク、
Ｐ０：初期位置、Ｐ１：第１位置、Ｐ２：第２位置、Ｒ：クリーンルーム、
Ｓ１，Ｓ２：受け渡しステーション、Ｖ：従来の走行速度、Ｖ１：第１走行速度、
Ｖ２：第２走行速度

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】