特開 2025-22047 搬送アームの位置設定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025022047

(43)【公開日】2025-02-14

(54)【発明の名称】搬送アームの位置設定方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20250206BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】1

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023126275

(22)【出願日】2023-08-02

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110004185

【氏名又は名称】インフォート弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】政田 孝行

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA52

5F131CA18

5F131DA13

5F131DA22

5F131DA42

5F131DB22

5F131DB54

5F131DB57

5F131DB72

5F131EB03

5F131EB32

5F131EC33

5F131KB53

(57)【要約】

【課題】搬送調整の工数を削減する。
【解決手段】搬送アーム４０の位置設定方法は、接近、挟持試行、判定、設定の各ステップを有する。搬送アーム４０は押さえプレート４２１と支持プレート４２２を含むフレーム挟持部４２と、押さえプレート４２１と支持プレート４２２の位置関係を検出するセンサ４４、４５を有する。接近ステップで、搬送アーム４０を環状のフレームＦへ近づける。その後の挟持試行ステップで、押さえプレート４２１と支持プレート４２２の間隔を縮めてフレームＦの挟持を試行する。その後の判定ステップで、センサ４４、４５で検出した位置関係に基づきフレーム挟持部４２がフレームＦを挟持したかを判定する。設定ステップで、繰り返し行われた上記ステップのうちの判定ステップで挟持したと判定したときの搬送アーム４０の位置からフレームＦに所定距離近づけた位置を搬出位置として設定する。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物が保持されたフレームユニットに用いられる環状フレームを保持機構から搬出する搬送アームの位置設定方法であって、
該搬送アームは、
該保持機構に保持された該環状フレームの厚さ方向である第１方向に整列した押さえプレートと支持プレートとを含むフレーム挟持部と、
該押さえプレートに対して該支持プレートを該第１方向へ相対的に移動させる第１移動部と、
該押さえプレートと該支持プレートとの該第１方向の位置関係を検出するセンサと、を有し、
該保持機構に保持された該環状フレームが、該第１方向において該押さえプレートと該支持プレートの間に位置し、且つ、該第１方向と直交する第２方向において該押さえプレートと該支持プレートの間に位置しない状態で、該搬送アームを該第２方向へ移動させる第２移動部を用いて該搬送アームを該環状フレームへ近づける接近ステップと、
該接近ステップ後に、該第１移動部を用いて該押さえプレートと該支持プレートの間の該第１方向の間隔を縮めて該環状フレームの挟持を試行する挟持試行ステップと、
該挟持試行ステップ後に、該センサで検出した該位置関係に基づいて該フレーム挟持部が該環状フレームを挟持したか否かを判定する判定ステップと、
繰り返し行われる該接近ステップと該挟持試行ステップと該判定ステップとのうちの該判定ステップで該フレーム挟持部が該環状フレームを挟持したと判定したときの該搬送アームの位置である基準位置から該搬送アームをさらに該環状フレームに所定距離近づけた位置を、該保持機構に保持された該環状フレームを該搬送アームが搬出する際に該搬送アームを位置付ける搬出位置として設定する設定ステップと、を備える
ことを特徴とする位置設定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送アームの位置設定方法に関する。

【背景技術】

【0002】

処理装置内における被加工物の搬送方法の一つとして、テープを介して被加工物を保持する環状フレームを、挟持部を有する搬送アームで挟持して搬送する搬送方法が知られている。挟持部を有する搬送アームは、例えば、特許文献１に記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２３－０２７９２０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記の搬送方法では、予め搬出位置の調整が行われる。搬出位置は、保持機構に保持された環状フレームを搬出する際に搬送アームが位置付けられる位置をいう。

【0005】

従来は、作業者が搬送アームを動かしながら、環状フレームに対する挟持部の高さや水平方向の位置を目視で確認することで、搬出位置の調整が行われている。このため、調整作業における作業者の負担を軽減する新たな技術の提案が期待されている。

【0006】

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、搬送調整の工数を削減することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様の方法は、被加工物が保持されたフレームユニットに用いられる環状フレームを保持機構から搬出する搬送アームの位置設定方法であって、該搬送アームは、該保持機構に保持された該環状フレームの厚さ方向である第１方向に整列した押さえプレートと支持プレートとを含むフレーム挟持部と、該押さえプレートに対して該支持プレートを該第１方向へ相対的に移動させる第１移動部と、該押さえプレートと該支持プレートとの該第１方向の位置関係を検出するセンサと、を有し、該保持機構に保持された該環状フレームが、該第１方向において該押さえプレートと該支持プレートの間に位置し、且つ、該第１方向と直交する第２方向において該押さえプレートと該支持プレートの間に位置しない状態で、該搬送アームを該第２方向へ移動させる第２移動部を用いて該搬送アームを該環状フレームへ近づける接近ステップと、該接近ステップ後に、該第１移動部を用いて該押さえプレートと該支持プレートの間の該第１方向の間隔を縮めて該環状フレームの挟持を試行する挟持試行ステップと、該挟持試行ステップ後に、該センサで検出した該位置関係に基づいて該フレーム挟持部が該環状フレームを挟持したか否かを判定する判定ステップと、繰り返し行われる該接近ステップと該挟持試行ステップと該判定ステップとのうちの該判定ステップで該フレーム挟持部が該環状フレームを挟持したと判定したときの該搬送アームの位置である基準位置から該搬送アームをさらに該環状フレームに所定距離近づけた位置を、該保持機構に保持された該環状フレームを該搬送アームが搬出する際に該搬送アームを位置付ける搬出位置として設定する設定ステップと、を備える。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、搬送調整の工数を削減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】一実施形態に係る処理装置の斜視図である。

【図2】図１に示す処理装置に含まれる搬送アームの構成例を示す斜視図である。

【図3】図２に示す搬送アームの挟持機構の構成例を示す図である。

【図4】図２に示す搬送アームの吸引保持機構の構成例を示す斜視図である。

【図5】図３に示す挟持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの搬出位置の設定例について説明する図である。

【図6】図３に示す挟持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの搬出位置の設定例について説明する図である。

【図7】図３に示す挟持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの搬出位置の設定例について説明する図である。

【図8】図４に示す吸引保持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの移動例について説明する図である。

【図9】測定結果の一例を示す図である。

【図10】図４に示す吸引保持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの搬出位置の設定例について説明する図である。

【図11】図４に示す吸引保持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの搬出位置の設定例について説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

図１は、一実施形態に係る処理装置１の斜視図である。図２は、処理装置１に含まれる搬送アーム４０の構成例を示す斜視図である。図３は、搬送アーム４０の挟持機構４０１の構成例を示す斜視図である。図４は、搬送アーム４０の吸引保持機構４０２の構成例を示す斜視図である。以下では、処理装置１の構成について、図１から図４を参照しながら、説明する。なお、図面に示すＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向は互いに垂直な関係にある。Ｘ軸方向とＹ軸方向は略水平な方向であり、Ｚ軸方向は上下方向（略鉛直な方向）である。

【0011】

図１に示す処理装置１では、被加工物であるウェーハＷは、フレームユニットＦＵの状態で取り扱われる。フレームユニットＦＵは、図１に示すように、環状のフレームＦの開口を塞いだテープＴにウェーハＷを貼着して、フレームＦとウェーハＷとを一体化したものである。

【0012】

処理装置１は、環状のフレームＦを吸引保持する搬送アーム（後述する搬送アーム４０、搬送アーム１００）と環状のフレームＦを挟持して保持する搬送アーム（後述する搬送アーム４０）の少なくとも一方を備えるものであればよく、両方を備えるものであることが望ましい。処理装置１がウェーハＷに対して切削加工を行う切削加工装置である場合を例にして説明するが、処理装置１は、切削加工を行う加工装置に限らず、例えば、レーザ加工、研削、研磨などを行う任意の加工装置であってもよい。処理装置１は、特定の加工のみを行う専用加工装置であってもよく、例えば、研削加工、研磨加工、切削加工、レーザ加工、洗浄加工等の一連の加工が全自動で実施されるフルオートタイプの加工装置に組み込まれてもよい。また、処理装置１は、被加工物（この例では、ウェーハＷ）が加工する加工装置に限らず、例えば、テープマウンタなどであってもよい。

【0013】

処理装置１が加工するウェーハＷは、特に限定しない。ウェーハＷは、例えば、シリコン、ガリウム砒素等の半導体ウェーハであり、略板状に形成されている。なお、ウェーハＷは、半導体ウェーハに限らず、セラミック、ガラス、サファイア系の光デバイスウェーハでもよい。

【0014】

処理装置１は、図１に示すように、装置本体２と、門型の支持台３及び支持台４と、を備えている。装置本体２の上面には、Ｘ軸方向に延在する長方形状の開口が形成されていて、支持台３及び支持台４は、その開口を跨ぐように装置本体２の上面に設けられている。また、装置本体２に形成された開口は、後述するチャックテーブル６０と共に移動可能な蛇腹状のカバー５に覆われている。さらに、装置本体２のカバー５の下方には、チャックテーブル６０をＸ軸方向に移動させる図示しないＸ軸方向移動機構と、チャックテーブル６０をＺ軸方向周りに回転させる図示しないテーブル回転機構と、が設けられている。

【0015】

処理装置１は、さらに、図１に示すように、カセットステージ２０と、搬送アーム４０を有する搬送機構３０と、一対のガイドレール５０と、チャックテーブル６０と、一対の切削ユニット７０と、一対の移動機構８０と、搬送アーム１００を有する搬送機構９０と、洗浄ユニット１３０と、制御ユニット１５０を備えている。

【0016】

カセットステージ２０には、フレームユニットＦＵを収容したカセット１０が載置されている。カセットステージ２０に載置されるカセット１０は、フレームＦを保持する保持機構の一例である。カセット１０には、フレームユニットＦＵを収容する収容部がＺ軸方向に複数段設けられている。カセット１０は、フレームユニットＦＵを収容部へ搬入出するための開口を有し、開口を搬送アーム４０に設けられたフレーム挟持部４２に向けた状態、つまり、＋Ｙ軸方向に向けた状態で、カセットステージ２０に載置される。

【0017】

カセットステージ２０は、装置本体２内部に設けられた昇降機構によりＺ軸方向に昇降可能に構成されている。カセットステージ２０が昇降してカセット１０をフレーム挟持部４２に対して相対的に移動させることで、カセット１０の任意の収容部に対してフレームユニットＦＵの搬入出が可能となっている。

【0018】

搬送機構３０は、カセット１０と装置本体２、より詳細には、カセット１０と一対のガイドレール５０との間でフレームユニットＦＵの搬入出を行う。さらに、搬送機構３０は、一対のガイドレール５０からチャックテーブル６０へのフレームユニットＦＵの搬出も行う。搬送機構３０は、支持台３に支持されている。搬送機構３０は、搬送アーム４０と、搬送アーム４０をＺ軸方向（鉛直方向）へ移動させる昇降駆動部３１と、搬送アーム４０をＹ軸方向（水平方向）へ移動させる水平駆動部３２と、を備えている。

【0019】

搬送アーム４０は、図２に示すように、昇降駆動部３１の下方端部に固定された円板状の支持部材４００を有し、さらに支持部材４００に支持された挟持機構４０１と吸引保持機構４０２とを有している。

【0020】

挟持機構４０１は、フレームユニットＦＵのフレームＦを挟持する機構であり、カセット１０と一対のガイドレール５０との間でのフレームユニットＦＵの搬入出に用いられる。これに対して、吸引保持機構４０２は、フレームユニットＦＵのフレームＦを吸引保持する機構であり、一対のガイドレール５０からチャックテーブル６０へのフレームユニットＦＵの搬出に用いられる。

【0021】

挟持機構４０１は、フレームＦを挟持するフレーム挟持部４２と、フレーム挟持部４２を支持するアーム部４１を備えている。フレーム挟持部４２がフレームユニットＦＵを挟持した状態で、水平駆動部３２と昇降駆動部３１が搬送アーム４０を移動させることで、カセット１０と一対のガイドレール５０の間でのフレームユニットＦＵの移動が発生し、搬送機構３０によりフレームユニットＦＵの搬入出が行われる。

【0022】

挟持機構４０１は、より詳細には、図３に示すように、上述したアーム部４１とフレーム挟持部４２に加えて、第１移動部４３と、センサ（センサ４４、センサ４５）を備えている。

【0023】

フレーム挟持部４２は、ガイドレール５０に保持されたフレームＦの厚さ方向であるＺ軸方向（第１方向）に整列した、押さえプレート４２１と支持プレート４２２とを含む。押さえプレート４２１は、アーム部４１の所定の位置に固定されている。これに対して、支持プレート４２２は、第１移動部４３によって押さえプレート４２１に対して移動自在に設けられている。

【0024】

第１移動部４３は、シリンダ４３１と、シリンダ４３１内に設けられたピストン４３２を含んでいる。第１移動部４３は、シリンダ４３１内に設けられたピストン４３２の直線運動を支持プレート４２２に伝達することで、押さえプレート４２１に対して支持プレート４２２をＹ軸方向へ相対的に移動させる。第１移動部４３が支持プレート４２２を十分に押さえプレート４２１へ近づけることで、フレーム挟持部４２は、押さえプレート４２１と支持プレート４２２の間にフレームＦを挟持することができる。

【0025】

センサ４４及びセンサ４５は、押さえプレート４２１と支持プレート４２２とのＹ軸方向の位置関係を検出するセンサである。センサ４４及びセンサ４５は、例えば磁気センサである。ピストン４３２には予め磁石が埋め込まれていて、センサ４４及びセンサ４５は、それぞれピストン４３２が近接した位置に配置されることでピストン４３２を検出し、それによって、押さえプレート４２１と支持プレート４２２の位置関係を検出する。

【0026】

より詳細には、図３（ａ）に示すように押さえプレート４２１と支持プレート４２２が接触した状態では、センサ４４とセンサ４５の両方がピストン４３２を検出し、図３（ｂ）に示すように押さえプレート４２１と支持プレート４２２がフレームＦの厚さ程度離間した状態では、センサ４５のみがピストン４３２を検出するように、予めセンサ４４とセンサ４５が配置されている。これにより、後述するフレームＦの挟持を試行したときに、制御ユニット１５０は、フレームＦを挟持したか否かをセンサ４４及びセンサ４５の出力に基づいて判定することが可能である。

【0027】

吸引保持機構４０２は、図４に示すように、Ｘ軸方向に延びる第１アーム部４６１と、第１アーム部４６１に接続されたＹ軸方向に延びる一対の第２アーム部４６２と、一対の第２アーム部４６２の両端に設けられた計４つの吸着部４６３と、を備えている。吸着部４６３がフレームユニットＦＵを吸引保持した状態で、水平駆動部３２と昇降駆動部３１が搬送アーム４０を移動させることで、一対のガイドレール５０からチャックテーブル６０へのフレームユニットＦＵの移動が発生し、搬送機構３０によりフレームユニットＦＵの搬出が行われる。

【0028】

第１アーム部４６１には、複数の被嵌合部４６４が形成されている。第２アーム部４６２の底面には図示しないプランジャが設けられていて、プランジャが被嵌合部４６４に篏合することで、第２アーム部４６２が第１アーム部４６１に固定される。プランジャが篏合する被嵌合部４６４を変更することで、第２アーム部４６２の位置を矢印４６５に示すようにＸ軸方向に変更可能であり、これにより、第２アーム部４６２間の間隔をフレームＦのサイズに応じた間隔に調整することができる。

【0029】

４つの吸着部４６３の各々は、例えば、弾性部材で構成された吸着パッドである。４つの吸着部４６３は、吸引路を介して吸引源４７０に連通している。また、４つの吸着部４６３と吸引源４７０の間の吸引路には、圧力計４８０が接続されている。圧力計４８０は、吸引源４７０の吸引動作中に吸着部４６３に生じる負圧（以降、単に吸着部４６３の負圧と記す。）を測定する。

【0030】

吸着部４６３は、吸着パッドに限らない。吸着部４６３は、環状のフレームＦに接触して吸引保持するものであればよく、吸引路に接続された、第２アーム部４６２に形成された貫通孔であってもよい。

【0031】

一対のガイドレール５０は、フレームＦを保持する保持機構の一例であり、Ｙ軸方向に沿って設けられている。一対のガイドレール５０の各々は、ＸＺ断面において断面視Ｌ字型を有し、図示しない間隔調整機構によってＸ軸方向に移動可能に構成されている。カセット１０から一対のガイドレール５０へフレームユニットＦＵが搬入される際には、ガイドレール５０の間隔は、およそフレームＦの一対の切り欠き部ＦＮ間の間隔程度でわずかに広い間隔に調整されている。これにより、一対のガイドレール５０上へ搬入されたフレームユニットＦＵは、一対のガイドレール５０によって支持される。

【0032】

また、フレームＦの切り欠き部ＦＮ間の間隔よりもある程度広い間隔であって、フレームＦを支持可能な間隔に調整された一対のガイドレール５０にフレームユニットＦＵを搬入した後、一対のガイドレール５０の間隔を狭めていき、ガイドレール５０でフレームユニットＦＵを挟持し、一対の切り欠き部ＦＮ間の間隔を処理装置１が認識するようにしてもよい。認識した間隔は、フレームＦのサイズに応じた搬送アーム４０の調整に利用されてもよい。

【0033】

また、搬送機構３０がフレームユニットＦＵをチャックテーブル６０に配置する際には、一対のガイドレール５０間の間隔は、一対の切り欠き部ＦＮ間の間隔に対して十分に広げられる。また、搬送機構９０がフレームユニットＦＵを洗浄ユニット１３０に配置する際にも、一対のガイドレール５０間の間隔は、一対の切り欠き部ＦＮ間の間隔に対して十分に広げられる。これにより、一対のガイドレール５０の間を通ってフレームユニットＦＵをチャックテーブル６０又は洗浄ユニット１３０へ移動可能とする。

【0034】

チャックテーブル６０は、フレームユニットＦＵを保持するテーブルであり、フレームＦを保持する保持機構の一例である。チャックテーブル６０は、図１に示すように、ウェーハＷを吸引保持する保持面６１と、フレームＦを保持するクランプ部６２を有している。チャックテーブル６０は、図示しないＸ軸方向移動機構により、搬送機構９０によりフレームユニットＦＵが搬入出される搬入出位置と切削ユニット７０によって切削加工が行われる切削位置との間を移動する。また、チャックテーブル６０は、図示しない回転機構によりＺ軸周りに回転し、保持したフレームユニットＦＵの向きを変更する。

【0035】

一対の切削ユニット７０は、チャックテーブル６０に保持されたフレームユニットＦＵのウェーハＷを切削する装置であり、それぞれ、Ｙ軸方向に回転軸を向けたスピンドルに固定されたブレードを備えている。一対の移動機構８０は、支持台４に支持されていて、一対の切削ユニット７０をＺ軸方向及びＹ軸方向へ移動する。切削ユニット７０は、移動機構８０によってＺ軸方向及びＹ軸方向に移動することで、ウェーハＷの任意の位置をＸ軸方向に沿って切削する。

【0036】

搬送機構９０は、洗浄ユニット１３０に対してフレームユニットＦＵを搬入出する。搬送機構９０は、支持台３に支持されている。搬送機構９０は、搬送アーム１００と、搬送アーム１００をＺ軸方向（鉛直方向）へ移動させる昇降駆動部９１と、搬送アーム１００をＹ軸方向（水平方向）へ移動させる水平駆動部９２と、を備えている。

【0037】

搬送アーム１００は、チャックテーブル６０に保持されたフレームユニットＦＵのフレームＦを吸引保持して、洗浄ユニット１３０へ搬入する。また、洗浄ユニット１３０に保持されたフレームユニットＦＵのフレームＦを吸引保持して、ガイドレール５０へ搬入する。

【0038】

なお、搬送アーム１００の構成は、図４に示す搬送アーム４０の吸引保持機構４０２と同様である。即ち、搬送アーム１００は、Ｘ軸方向に延びる第１アーム部と、第１アーム部に接続されたＹ軸方向に延びる一対の第２アーム部と、一対の第２アーム部の両端に設けられた計４つの吸着部を備えている。

【0039】

洗浄ユニット１３０は、切削ユニット７０で切削されたウェーハＷを洗浄し、乾燥する。洗浄ユニット１３０は、スピンナテーブル１３１に置かれたフレームユニットＦＵのウェーハＷを洗浄水で洗浄し、さらに噴出したエアでウェーハＷを乾燥させる。

【0040】

制御ユニット１５０は、処理装置１を統括的に制御する。制御ユニット１５０は、各種処理を実行するプロセッサと、各種パラメータやプログラム等を記憶する記憶部（メモリ）と、を含んで構成されている。制御ユニット１５０の記憶部には、制御プログラムの一部として、例えば、搬送アーム４０及び搬送アーム１００の搬出位置を設定する動作を制御するためのプログラムが記憶されている。

【0041】

以上のように構成された処理装置１における、カセット１０から装置本体２へのフレームユニットＦＵの搬入から、装置本体２からカセット１０へのフレームユニットＦＵの搬出までの流れは、以下の通りである。

【0042】

搬送機構３０がカセットステージ２０に載置されたカセット１０からフレームユニットＦＵを引き出して装置本体２へ搬入し、一対のガイドレール５０上に配置する。なお、ガイドレール５０間の間隔は、切り欠き部ＦＮ間の間隔におよそ一致し、且つ、切り欠き部ＦＮ間の間隔以上の間隔となるように、予め調整される。これにより、一対のガイドレール５０は、フレームユニットＦＵの仮置き場として機能する。

【0043】

次に、搬送機構３０がガイドレール５０に置かれているフレームユニットＦＵを保持して持ち上げ、図示しない間隔調整機構がガイドレール５０の間隔を広げてフレームユニットＦＵが通過する隙間を確保する。隙間が確保されると、搬送機構３０がフレームユニットＦＵを降下させ、ガイドレール５０の間を通してフレームユニットＦＵをチャックテーブル６０上へ配置する。

【0044】

チャックテーブル６０は、搬送機構３０によって搬入されたフレームユニットＦＵを保持すると、搬入出位置から切削位置まで－Ｘ軸方向へ移動する。その後、切削ユニット７０がチャックテーブル６０に保持されたフレームユニットＦＵのウェーハＷに対して切削加工を行う。切削加工は、移動機構８０によりウェーハＷに対する切削ユニット７０の位置を調整しながら行われる。

【0045】

切削加工が終了すると、チャックテーブル６０は、切削位置から搬入出位置まで＋Ｘ軸方向へ移動する。チャックテーブル６０が搬入出位置へ戻ると、搬送機構９０がチャックテーブル６０から洗浄ユニット１３０へフレームユニットＦＵを搬出する。その後、洗浄ユニット１３０は、フレームユニットＦＵを洗浄および乾燥する。

【0046】

洗浄および乾燥が完了すると、搬送機構９０が、間隔が調整された一対のガイドレール５０上にフレームユニットＦＵを配置する。なお、ガイドレール５０間の間隔は、搬送機構３０がフレームユニットＦＵをガイドレール５０上に配置する場合と同じである。

【0047】

最後に、搬送機構３０がガイドレール５０に配置されたフレームユニットＦＵを押し出して、カセット１０へ搬出する。これにより、切削加工済みのウェーハＷを有するフレームユニットＦＵがカセット１０の収容部に収容される。

【0048】

ところで、搬送アーム４０を備える搬送機構３０でフレームＦを挟持しながらフレームユニットＦＵを搬送する場合、フレームＦはフレーム挟持部４２によって片持ち状態で保持される。このため、フレーム挟持部４２がフレームＦに十分に近接していない位置でフレームＦを薄く挟持すると、搬送時にフレームＦが不安定になってしまい、望ましくない。一方で、フレーム挟持部４２をフレームＦに近づけすぎると、フレーム挟持部４２がフレームＦを挟持する前に、搬送アーム４０がフレームＦに衝突してしまう。特に、カセット１０から搬出する場合にはカセット１０の最奥部までフレームＦを押し込んでしまい、カセット１０、搬送アーム４０、フレームＦのそれぞれに強い衝撃を与えてしまう。このような動作は、カセット１０、搬送アーム４０、フレームＦの変形や故障の原因となりうるため、望ましくない。従って、フレームＦを確実かつ安定して搬出するためには、搬送アーム４０を環状のフレームＦに対して適切な位置に配置してフレーム挟持部４２でフレームＦをしっかりと挟持する必要がある。

【0049】

一方で、カセット１０などの保持機構に保持されるフレームＦのＹ軸方向の位置は必ずしも一定ではない。例えば、カセット１０に収容されたフレームＦのＹ軸方向の位置についてはカセット１０の交換などによって変化し得る。そのため、従来、装置の導入時や設定変更時（例えば、カセット１０の交換時）などに、フレームＦがフレーム挟持部４２に確実に挟持される搬送アーム４０の位置を作業者が目視で確認して搬出位置として設定するといった搬送調整が行われるのが一般的である。

【0050】

同様に、搬送アーム４０を備える搬送機構３０でフレームＦを吸引保持しながらフレームユニットＦＵを搬送する時に、吸着部４６３がフレームユニットＦＵのフレームＦからはみ出した位置に配置されると、吸着部４６３に形成されている吸引源４７０に接続された孔がフレームＦでしっかりと塞がれない。この場合、吸引源４７０が吸引動作を行っても吸着部４６３とフレームＦの間の隙間から気体が漏れて（リークして）しまうため、吸着部４６３に十分な負圧が発生せず、フレームＦを吸引保持することができないといった事態が生じ得る。なお、このような事態は、搬送アーム４０の吸引保持機構４０２と同様の構成を有する搬送アーム１００においても発生する。従って、フレームＦを吸引保持して搬出するためには、吸着部を環状のフレームＦ上に正確に位置決めして、吸着部に十分な負圧を発生させる必要がある。

【0051】

一方で、ガイドレール５０などの保持機構上に配置されるフレームＦのＹ軸方向の位置は、装置の設定や部品の個体差などによって異なり得る。そのため、従来、装置の導入時や設定変更時（例えば、吸着部の交換時、搬送アーム４０、搬送アーム１００の交換時）などに、フレームＦ上に吸着部が配置される搬送アーム（搬送アーム４０、搬送アーム１００）の位置を作業者が目視で確認して搬出位置として設定するといった搬送調整が行われるのが一般的である。

【0052】

従来の処理装置では以上のような搬送調整が行われるのに対して、本実施形態に係る処理装置１は、作業者の追加の作業や判断を伴うことなく搬出位置の設定を行う。これにより、搬送調整の工数を削減することができる。

【0053】

以下、搬送アームがフレームＦを挟持して保持機構から搬出する際の搬送アームの搬出位置の設定方法と、搬送アームがフレームＦを吸引保持して保持機構から搬出する際の搬送アームの搬出位置の設定方法について具体的に説明する。

【0054】

まず、処理装置１（制御ユニット１５０）が行う搬出位置を設定する処理について、図５から図７を参照しながら説明する。図５から図７は、挟持機構４０１を用いる際における搬送アーム４０の搬出位置の設定例について説明する図である。図５から図７を参照しながら説明する搬出位置の設定では、後述する、接近ステップと、挟持試行ステップと、判定ステップと、設定ステップの計４種類のステップが行われる。

【0055】

なお、図５から図７で説明する搬出位置を設定する方法（搬送アーム４０の位置設定方法ともいう）の一例としては、カセット１０からフレームＦを搬出する際の搬出位置を設定する場合が挙げられるが、フレームＦを保持する保持機構はカセット１０に限らない。後述する位置設定方法は、搬送アーム４０が他の保持機構からフレームＦを挟持しながら搬出する場合に適用してもよい。例えば、保持機構であるガイドレール５０からカセット１０へフレームＦを搬出する場合にも適用可能である。

【0056】

まず、制御ユニット１５０は、挟持機構４０１を備える搬送アーム４０を初期位置へ移動する。より詳細には、制御ユニット１５０は、第１移動部４３によって押さえプレート４２１と支持プレート４２２を十分に離間した状態とした後に、昇降駆動部３１及び水平駆動部３２によって搬送アーム４０を初期位置へ移動する。初期位置は、例えば、図５（ａ）に示すように、押さえプレート４２１と支持プレート４２２の間にフレームＦを挟持するのに適した高さ（Ｚ軸方向の位置）であり、且つ、フレーム挟持部４２がフレームＦに衝突しないと想定される位置（Ｙ軸方向の位置）である。

【0057】

次に、制御ユニット１５０は、支持プレート４２２を押さえプレート４２１に近づけて、図５（ｂ）に示すように、初期位置においてフレームＦがフレーム挟持部４２に挟持されないことをセンサ４４及びセンサ４５の出力に基づいて確認する。即ち、制御ユニット１５０は、カセット１０に保持されたフレームＦが、Ｚ軸方向（第１方向）において押さえプレート４２１と支持プレート４２２の間に位置し、且つ、Ｙ軸方向（第１方向と直交する第２方向）において押さえプレート４２１と支持プレート４２２の間に位置しない状態にあることを確認する。

【0058】

その後、制御ユニット１５０は、接近ステップと、挟持試行ステップと、判定ステップとをこの順番に繰り返す。

【0059】

接近ステップでは、制御ユニット１５０は、図５（ｃ）に示すように、押さえプレート４２１と支持プレート４２２が十分に離間した状態で、水平駆動部３２（第２移動部）を用いて搬送アーム４０をフレームＦへ近づける。接近ステップにおける搬送アーム４０のＹ軸方向の移動距離Δｄ１は、搬送アーム４０とフレームＦの衝突を回避するため、フレーム挟持部４２のＹ軸方向の長さによりも短い距離に予め設定されている。

【0060】

接近ステップ後の挟持試行ステップでは、制御ユニット１５０は、図６（ａ）に示すように、第１移動部４３を用いて押さえプレート４２１と支持プレート４２２の間のＺ軸方向の間隔を縮めてフレームＦの挟持を試行する。図６（ａ）では、押さえプレート４２１と支持プレート４２２が接触するまで間隔を縮めているが、間隔は少なくともフレームＦの厚さまで縮めればよい。

【0061】

挟持試行ステップ後の判定ステップでは、制御ユニット１５０は、センサ４４及びセンサ４５で検出した押さえプレート４２１と支持プレート４２２の位置関係に基づいてフレーム挟持部４２がフレームＦを挟持したか否かを判定する。図６（ａ）では、センサ４４及びセンサ４５がどちらもＯＮ状態であり、制御ユニット１５０は、この結果からフレーム挟持部４２がフレームＦを挟持していないと判断する。

【0062】

制御ユニット１５０は、判定ステップにおいてフレーム挟持部４２がフレームＦを挟持していないと判断すると、上述した接近ステップと、挟持試行ステップと、判定ステップをこの順に繰り返す。なお、図６（ｂ）は、２回目の接近ステップの様子を示している。また、図６（ｃ）は、２回目の挟持試行ステップと判定ステップの様子を示している。図６（ｃ）では、センサ４４がＯＦＦ状態でセンサ４５がＯＮ状態であり、制御ユニット１５０は、この結果からフレーム挟持部４２がフレームＦを挟持していると判断する。

【0063】

制御ユニット１５０は、判定ステップにおいてフレーム挟持部４２がフレームＦを挟持していると判断すると、上述した接近ステップと、挟持試行ステップと、判定ステップの繰り返しを中止し、設定ステップを行う。

【0064】

設定ステップでは、制御ユニット１５０は、現在の搬送アーム４０の位置である基準位置から搬送アーム４０をさらに環状のフレームＦに所定距離ΔＤ１だけ近づけた位置を、搬出位置として設定する。所定距離ΔＤ１は、予めフレーム挟持部４２のＹ軸方向の長さに応じて設定されればよい。フレームＦと搬送アーム４０の衝突を回避するためには、所定距離ΔＤ１と接近ステップにおける移動距離Δｄ１の合計は、フレーム挟持部４２のＹ軸方向の長さ以内に収まるように設定されることが望ましい。所定距離ΔＤ１は、特に限定しないが、例えば、フレーム挟持部４２のＹ軸方向の長さの半分程度であり、接近ステップにおける移動距離Δｄ１よりも大きいことが望ましい。

【0065】

設定ステップが完了すると、制御ユニット１５０は、搬送アーム４０を設定位置へ移動して、フレーム挟持部４２にフレームＦを挟持させる。

【0066】

より詳細には、まず、制御ユニット１５０は、図７（ａ）に示すように、フレームＦの挟持を解除する。つまり、制御ユニット１５０は、第１移動部４３によって押さえプレート４２１と支持プレート４２２を十分に離間した状態とする。

【0067】

その後、制御ユニット１５０は、図７（ｂ）に示すように、水平駆動部３２（第２移動部）を用いて搬送アーム４０を所定距離ΔＤ１だけフレームＦへ近づけて、搬出位置へ移動する。最後に、制御ユニット１５０は、図７（ｃ）に示すように、第１移動部４３を用いて押さえプレート４２１と支持プレート４２２の間のＺ軸方向の間隔を縮めてフレームＦを挟持する。

【0068】

図５から図７に示す搬出位置を設定する方法によれば、処理装置１が、搬送アーム４０の位置を少しずつ変更しながらフレームＦの挟持の試行を繰り返すことでフレームＦの先端位置（搬送アーム４０の基準位置）を特定し、特定された先端位置に基づいて決定したフレームＦを確実に挟持可能な搬送アーム４０の位置を搬出位置として設定することができる。従って、作業者による搬送調整作業を省略することが可能であり、搬送調整の工数を削減することができる。

【0069】

次に、処理装置１（制御ユニット１５０）が行う搬出位置を設定する処理について、図８及び図９を参照しながら説明する。図８は、吸引保持機構４０２を用いる際における搬送アーム４０の移動例について説明する図である。図９は、測定結果の一例を示す図である。図８及び図９を参照しながら説明する搬出位置の設定では、後述する、移動ステップと、測定ステップと、検出ステップと、設定ステップの計４種類のステップが行われる。

【0070】

なお、図８及び図９で説明する搬出位置を設定する方法（搬送アームの位置設定方法ともいう）の一例として、搬送アーム４０がガイドレール５０からチャックテーブル６０へフレームＦを搬出する際の搬出位置を設定する場合を例に説明するが、フレームＦを保持する保持機構はガイドレール５０に限らない。後述する位置設定方法は、搬送アームが他の保持機構からフレームＦを吸引保持して搬出する場合に適用してもよい。例えば、搬送アーム４０がチャックテーブル６０からフレームＦを搬出する際や搬送アーム１００が洗浄ユニット１３０からフレームＦを搬出する際の搬出位置の設定にも適用可能である。

【0071】

まず、制御ユニット１５０は、搬送機構３０を制御して搬送アーム４０をＹ軸方向に移動し（移動ステップ）、移動後の位置でフレームＦの吸引保持を試行して圧力計４８０で吸着部４６３の負圧を測定する（測定ステップ）。

【0072】

より詳細には、移動ステップ後の測定ステップにおいて、搬送アーム４０を降下して吸着部４６３をガイドレール５０に保持されたフレームＦに接触させる。その後、制御ユニット１５０は、フレームＦに接触した吸着部４６３に吸引力を発生させて吸着部４６３の負圧を測定する。

【0073】

制御ユニット１５０は、移動ステップと測定ステップを、例えば、図８に示すように、吸着部４６３がフレーム領域上を横断する、つまり、フレームＦの内縁ＩＥと外縁ＯＥを跨ぐように、繰り返す。フレーム領域は、フレームＦ上方の領域であり、フレームＦの外縁ＯＥと内縁ＩＥで区画された、全体として環状をなす、帯状の領域である。なお、移動ステップにおける移動方向であるＹ軸方向は、フレーム領域上を横断する第１方向の一例である。

【0074】

図８のマルで示す位置２０１から位置２０９は、測定ステップが行われるときの吸着部４６３の位置を示している。図８のバツで示す位置３０１から位置３０９は、測定ステップが行われるときの搬送アーム４０の位置を示している。図９は、搬送アーム４０の各位置における負圧の測定結果である。図８及び図９では、計９か所で負圧の測定が行われた例が示されている。

【0075】

上記の繰り返し処理では、吸着部４６３がフレーム領域を横断するように、数ｍｍずつ（例えば３ｍｍ）搬送アーム４０をＹ軸方向へ移動して、複数の位置で測定が行われればよい。繰り返し処理において各測定位置を測定する順序については特に限定しない。

【0076】

例えば、まず、吸着部４６３がフレーム領域上に位置することを想定して予め設定された初期位置からフレーム領域に対して吸着部４６３が－Ｙ軸方向にずれた位置（例えば、位置２０９）まで移動し、その後、その位置（例えば、位置２０９）から＋Ｙ軸方向にずれた位置（例えば、位置２０１）への所定間隔（例えば、３ｍｍ）ずつの＋Ｙ軸方向の移動と、移動後の位置での測定と、が繰り返し行われてもよい。また、例えば、初期位置からフレーム領域に対して吸着部４６３が＋Ｙ軸方向にずれた位置（例えば、位置２０１）まで移動し、その後、その位置（例えば、位置２０１）から－Ｙ軸方向にずれた位置（例えば、位置２０９）への所定間隔ずつの－Ｙ軸方向の移動と、移動後の位置での測定と、が繰り返し行われてもよい。また、初期位置から－Ｙ軸方向にずれた位置（例えば、位置２０９）への所定間隔ずつの－Ｙ軸方向の移動と、移動後の位置での測定と、が繰り返し行われ、その後初期位置へ戻って、初期位置から＋Ｙ軸方向にずれた位置（例えば、位置２０１）への所定間隔ずつの＋Ｙ軸方向の移動と、移動後の位置での測定と、が繰り返し行われてもよい。

【0077】

繰り返し処理が終了すると、制御ユニット１５０は、負圧の測定結果に基づいて、吸着部４６３がフレーム領域上からはみ出すときの搬送アーム４０の位置とはみ出さないときの搬送アーム４０の位置の境界を特定する検出位置を検出する（検出ステップ）。より詳細には、制御ユニット１５０は、吸着部４６３がフレーム領域上からはみ出す搬送アーム４０の位置とはみ出さない搬送アーム４０の位置の外縁ＯＥ側の境界を特定する第１検出位置と、吸着部４６３がフレーム領域上からはみ出す搬送アーム４０の位置とはみ出さない搬送アーム４０の位置の内縁ＩＥ側の境界を特定する第２検出位置と、を検出する。

【0078】

制御ユニット１５０は、測定結果に基づいて、各測定ステップで測定された複数の吸着部４６３（この例では、４つの吸着部４６３）の負圧の平均値を算出することが望ましい。また、制御ユニット１５０は、負圧の平均値を用いて第１検出位置と第２検出位置を検出することが望ましい。即ち、検出ステップは、測定結果に基づいて、第１検出位置と第２検出位置の検出に用いられる、各測定ステップで測定された複数の吸着部４６３の負圧の平均値を算出する平均値算出ステップを含むことが望ましい。

【0079】

平均値に基づいて第１検出位置と第２検出位置を検出することで、制御ユニット１５０は、複数の吸着部４６３の少なくとも１つでリークが発生する位置をリークが発生しない位置と誤認することを回避することができる。このため、第１検出位置と第２検出位置を適切に検出可能であり、ひいては後述する設定ステップにおいて搬出位置を適切に設定することが可能となる。

【0080】

なお、吸着部４６３がフレーム領域上からはみ出すときの搬送アーム４０の位置とは、吸引動作時において、吸着部４６３とフレームＦの間に生じた隙間から気体がリークする搬送アーム４０の位置のことをいう。吸着部４６３がフレーム領域上からはみ出さないときの搬送アーム４０の位置とは、吸引動作時において、吸着部４６３とフレームＦの間から気体がリークしない搬送アーム４０の位置のことをいう。

【0081】

吸着部４６３がフレーム領域からはみ出しているか否かの判断方法は、特に限定しないが、例えば、負圧の絶対値を閾値と比較することで判断してもよい。例えば、図９に示すように、吸着部４６３がフレーム領域上からはみ出していないときに発生する吸着部４６３の負圧の値よりも小さく、吸着部４６３がフレーム領域上からはみ出しているときに発生する負圧の値よりも大きい値を、予め閾値ＴＨとして設定してもよい。その上で、制御ユニット１５０は、測定された負圧が閾値ＴＨ未満であれば吸着部４６３がフレーム領域上からはみ出していると判断し、測定された負圧が閾値ＴＨを超えていれば吸着部４６３がフレーム領域上からはみ出していないと判断して、検出位置を検出してもよい。

【0082】

この判断方法を用いた場合、図８及び図９に示すように、実線で示した位置３０４から位置３０６では、吸着部４６３はフレーム領域からはみ出していないと判断され、破線で示したそれ以外の位置（位置３０１から位置３０３、位置３０７から位置３０９）では、吸着部４６３はフレーム領域からはみ出していると判断される。なお、図８では、位置３０４から位置３０６に対応する吸着部４６３の位置２０４から位置２０６も実線で示し、位置３０１から位置３０３、位置３０７から位置３０９に対応する吸着部４６３の位置２０１から位置２０３、位置２０７から位置２０９は破線で示している。

【0083】

吸着部４６３がフレーム領域からはみ出しているか否かの判断は、測定位置に対する負圧の変化に基づいて行われてもよい。例えば、隣接する測定位置と比較して負圧が急激に低下した測定位置をフレーム領域からはみ出した位置として判断し、その隣接する測定位置をはみ出していない位置として判断してもよい。負圧が急激に低下したか否かの判断は、例えば、負圧の変化量を示す閾値を用いて行われてもよい。また、吸着部４６３がフレーム領域からはみ出しているか否かの判断は、負圧の変化量と負圧の絶対値の両方を用いて、行われてもよい。

【0084】

第１検出位置、第２検出位置は、はみ出す位置とはみ出さない位置の境界を特定可能な位置であればよい。例えば、制御ユニット１５０は、はみ出す位置と隣接したはみ出さない位置（例えば、位置３０４、位置３０６）を第１検出位置、第２検出位置として検出すればよい。

【0085】

第１検出位置と第２検出位置が検出されると、制御ユニット１５０は、検出ステップで検出した第１検出位置と第２検出位置の間の位置を搬出位置として設定する（設定ステップ）。第１検出位置と第２検出位置の間の位置を搬出位置として設定することで、吸着部４６３がフレーム領域からはみ出さない位置が搬出位置として設定されるため、フレームＦを確実に吸引保持することが可能となる。

【0086】

なお、上述したように、検出ステップにおいて、制御ユニット１５０がはみ出さない位置を検出位置として検出する場合には、設定ステップで搬出位置として設定される第１検出位置と第２検出位置の間の位置は、第１検出位置と第２検出位置を含んでもよく、また、含まなくてもよい。

【0087】

さらに、設定ステップにおいて、制御ユニット１５０は、第１検出位置と第２検出位置の中間の位置を搬出位置として算出することが望ましく、算出した搬出位置を設定することが望ましい。即ち、設定ステップは、第１検出位置と第２検出位置の中間の位置を搬出位置として算出する位置算出ステップを含むことが望ましい。第１検出位置と第２検出位置の中間の位置を搬出位置として設定することで、フレームＦの内縁ＩＥ側又は外縁ＯＥ側に偏りすぎることなく吸着部４６３を配置することができる。このため、搬送アーム１００がフレームＦをより安定して保持することが可能となる。

【0088】

図８及び図９に示す搬出位置を設定する方法によれば、処理装置１が、搬送アーム４０の位置を少しずつ変更しながらフレームＦの吸引保持の試行を繰り返すことで吸引保持可能な位置を特定して搬出位置として設定することができる。従って、作業者による搬送調整作業を省略することが可能であり、搬送調整の工数を削減することができる。

【0089】

図１０及び図１１は、吸引保持機構４０２を用いる際における搬送アーム４０の搬出位置の設定例について説明する図である。図８及び図９では、一定間隔ずつ異なる複数の測定位置での測定結果に基づいて、検出位置を検出する例を示している。ただし、移動ステップでは、複数の異なる間隔の移動が行われてもよい。以下、図１０及び図１１を参照しながら、複数の異なる間隔の移動を組み合わせることで、精度よく検出位置を検出して搬出位置を設定する例について説明する。

【0090】

図１０（ａ）は、吸着部４６３を備える搬送アーム４０が初期位置まで移動した様子を示している。初期位置は、吸着部４６３がフレーム領域上に位置することを想定して予め設定された位置である。搬送アーム４０が初期位置へ移動すると、制御ユニット１５０は、図１０（ｂ）に示すように、吸着部４６３がフレームＦと接触する高さまで搬送アーム４０を降下させ、吸引動作を開始して、吸着部４６３の負圧を測定する。

【0091】

制御ユニット１５０は、負圧の測定結果に基づいて、吸着部４６３がフレーム領域からはみ出すか否かを判定する。制御ユニット１５０は、例えば、負圧が閾値以上であれば吸着部４６３がフレーム領域からはみ出さないと判定し、負圧が閾値未満であれば吸着部４６３がフレーム領域からはみ出すと判定する。閾値と比較する負圧は、複数の吸着部４６３の負圧の平均値であることが望ましい。この例では、初期位置では、制御ユニット１５０は、吸着部４６３がフレーム領域からはみ出さないと判定する。

【0092】

制御ユニット１５０は、吸引動作を中止して、図１０（ｃ）に示すように、吸着部４６３がフレームＦと接触しない高さまで搬送アーム１００を上昇させた後に搬送アーム４０を－Ｙ軸方向へ所定距離ΔＤ２（例えば、３ｍｍ）だけ移動する。

【0093】

移動後、制御ユニット１５０は、図１０（ｄ）に示すように、吸着部４６３がフレームＦと接触する高さまで搬送アーム４０を降下させ、吸引動作を開始して、吸着部４６３の負圧を測定する。この例では、初期位置から－３ｍｍのこの位置でも、制御ユニット１５０は、吸着部４６３がフレーム領域からはみ出さないと判定する。

【0094】

制御ユニット１５０は、吸引動作を中止して、図１０（ｅ）に示すように、吸着部４６３がフレームＦと接触しない高さまで搬送アーム４０を上昇させた後に搬送アーム４０を－Ｙ軸方向へさらに所定距離ΔＤ２（例えば、３ｍｍ）だけ移動する。

【0095】

移動後、制御ユニット１５０は、図１０（ｆ）に示すように、吸着部４６３がフレームＦと接触する高さまで搬送アーム４０を降下させ、吸引動作を開始して、吸着部４６３の負圧を測定する。この例では、初期位置から－６ｍｍのこの位置において、制御ユニット１５０は、吸着部４６３がフレーム領域からはみ出すと判定する。

【0096】

制御ユニット１５０は、吸着部４６３がフレーム領域からはみ出すと判定する、つまり、吸着部４６３でリークが発生していると判定すると、搬送アーム４０を反対方向へより小さな間隔で移動し、吸着部４６３がフレーム領域上にある搬送アーム４０の位置を探索する。

【0097】

具体的には、制御ユニット１５０は、吸引動作を中止して、図１１（ａ）に示すように、吸着部４６３がフレームＦと接触しない高さまで搬送アーム４０を上昇させた後に搬送アーム４０を＋Ｙ軸方向へ所定距離ΔＤ２よりも小さな所定距離Δｄ２（例えば、１ｍｍ）だけ移動する。

【0098】

移動後、制御ユニット１５０は、図１１（ｂ）に示すように、吸着部４６３がフレームＦと接触する高さまで搬送アーム４０を降下させ、吸引動作を開始して、吸着部４６３の負圧を測定する。この例では、初期位置から－５ｍｍのこの位置において、制御ユニット１５０は、吸着部４６３がフレーム領域からはみ出すと判定する。

【0099】

制御ユニット１５０は、吸引動作を中止して、図１１（ｃ）に示すように、吸着部４６３がフレームＦと接触しない高さまで搬送アーム４０を上昇させた後に搬送アーム４０を＋Ｙ軸方向へさらに所定距離Δｄ２（例えば、１ｍｍ）だけ移動する。

【0100】

移動後、制御ユニット１５０は、図１１（ｄ）に示すように、吸着部４６３がフレームＦと接触する高さまで搬送アーム４０を降下させ、吸引動作を開始して、吸着部４６３の負圧を測定する。この例では、初期位置から－４ｍｍのこの位置において、制御ユニット１５０は、吸着部４６３がフレーム領域からはみ出さないと判定する。

【0101】

以上の処理により、制御ユニット１５０は、初期位置から－５ｍｍと－４ｍｍの間に吸着部４６３がはみ出す位置とはみ出さない位置の境界があることを特定し、境界を特定する第２検出位置として初期位置から－４ｍｍの位置を検出する。

【0102】

なお、制御ユニット１５０は、吸着部４６３がフレーム領域からはみ出さないと判定すると、搬送アーム４０を反対方向へさらに小さな間隔（例えば、０．５ｍｍ）で移動し、吸着部４６３がフレーム領域上からはみ出す搬送アーム４０の位置を探索してもよい。このように、移動方向を反転しながらはみ出さない位置とはみ出す位置を繰り返し探索することで、境界をより狭い範囲内に絞り込むことができる。

【0103】

その後、制御ユニット１５０は、搬送アーム４０を初期位置へ戻し、＋Ｙ軸方向についても同様の処理を繰り返して、第１の検出位置を検出する。つまり、制御ユニット１５０は、所定距離ΔＤ２ずつ＋Ｙ軸方向へ移動して負圧を測定し、フレーム領域からはみ出す位置を見つけると、より小さな所定距離Δｄ２ずつ－Ｙ軸方向へ移動して負圧を測定し、フレーム領域からはみ出さない位置を見つける。

【0104】

具体的には、制御ユニット１５０は、図１１（ｅ）に示すように、搬送アーム４０を＋Ｙ軸方向へ所定距離ΔＤ２（例えば、３ｍｍ）だけ移動し、その後、図１１（ｆ）に示すように、吸着部４６３がフレームＦと接触する高さまで搬送アーム４０を降下させ、吸引動作を開始して、吸着部４６３の負圧を測定する。この例では、初期位置から＋３ｍｍのこの位置において、制御ユニット１５０は、吸着部４６３がフレーム領域からはみ出すと判定する。

【0105】

制御ユニット１５０は、吸引動作を中止して、吸着部４６３がフレームＦと接触しない高さまで搬送アーム４０を上昇させた後に搬送アーム４０を－Ｙ軸方向へ所定距離Δｄ２（例えば、１ｍｍ）だけ移動し、吸着部４６３がフレームＦと接触する高さまで搬送アーム４０を降下させ、吸引動作を開始して、吸着部４６３の負圧を測定する。この例では、初期位置から＋２ｍｍのこの位置において、制御ユニット１５０は、吸着部４６３がフレーム領域からはみ出さないと判定する。

【0106】

以上の処理により、制御ユニット１５０は、初期位置から＋２ｍｍと＋３ｍｍの間に吸着部４６３がはみ出す位置とはみ出さない位置の境界があることを特定し、境界を特定する第１検出位置として初期位置から＋２ｍｍの位置を検出する。

【0107】

図１０及び図１１に示すように、移動ステップにおいて複数の所定間隔を用いて境界を特定することで、短い探索時間で精度よく検出位置を検出することができる。従って、第１検出位置と第２検出位置の中間の位置を搬出位置として設定する場合、フレームの外縁ＯＥと内縁ＩＥのより真ん中部分を吸引保持することが可能となる。これにより、搬送アーム４０によってより安定した搬送を実現することができる。

【0108】

図５から図１１を参照しながら説明した搬出位置を設定する方法によれば、処理装置１は、フレームＦを搬出するための前処理として搬出位置を設定することで、フレームＦを確実に保持して保持機構から搬出することができる。このような利点があるため、処理装置１は、カセット１０から装置本体２へフレームユニットＦＵが搬入されてから装置本体２からカセット１０へフレームユニットＦＵが搬出されるまでの間に行われる一連の搬送処理を実施する際に、各搬送処理で使用される搬送アーム（搬送アーム４０と、搬送アーム１００）の搬出位置の設定を自動で実施しても良い。

【0109】

具体的には、処理装置１は、カセット１０から装置本体２へフレームＦを搬送する際の搬送アーム４０の搬出位置、ガイドレール５０からチャックテーブル６０へフレームＦを搬送する際の搬送アーム４０の搬出位置、チャックテーブル６０から洗浄ユニット１３０へフレームＦを搬送する際の搬送アーム１００の搬出位置、洗浄ユニット１３０からガイドレール５０へフレームＦを搬送する際の搬送アーム１００の搬出位置、ガイドレール５０からカセット１０へ搬送する際の搬送アーム４０の搬出位置を、自動的に設定してもよい。これにより、吸引保持に関する搬送調整が一括して行われ、全ての搬出位置が自動的に設定されるため、作業者が調整作業について意識する必要がない。

【0110】

上述した搬出位置の自動設定は、処理装置１に対する設定変更（例えば、カセット１０、搬送アーム４０、搬送アーム１００の交換）などの所定の行為を契機にして行われてもよい。これにより、必要な都度一度だけ設定が行われることになるため、必要以上に設定作業が繰り返されることによる処理装置１のスループットの低下を回避することができる。

【0111】

本発明の実施の形態は上記の実施形態や変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。

【0112】

上述した実施形態では、テープＴを介してウェーハＷがフレームＦに固定されたフレームユニットＦＵのフレームＦを吸引保持する例を示したが、フレームＦ単体が処理装置１内で搬送されてもよく、フレームＦ単体を搬送する時の搬出位置の設定に上述した方法が用いられてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0113】

以上に説明したように、本発明の搬送アームの位置設定方法によれば、搬送物を挟持して保持する搬送アームの搬出位置に関する作業者による調整作業を省略可能であり、搬送調整の工数を削減することが可能である。このため、搬送アームを含む処理装置における処理のさらなる自動化に有用である。

【符号の説明】

【0114】

１ ：処理装置
１０ ：カセット
３０、９０ ：搬送機構
３１、９１ ：昇降駆動部
３２、９２ ：水平駆動部
４０、１００ ：搬送アーム
４２ ：フレーム挟持部
４３ ：第１移動部
４４、４５ ：センサ
５０ ：ガイドレール
６０ ：チャックテーブル
１００ ：搬送アーム
１５０ ：制御ユニット
４０１ ：挟持機構
４０２ ：吸引保持機構
４２１ ：押さえプレート
４２２ ：支持プレート
４６３ ：吸着部
Ｆ ：フレーム
ＦＵ ：フレームユニット
ＩＥ ：内縁
ＯＥ ：外縁
Ｔ ：テープ
Ｗ ：ウェーハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】