特開 2025-22728 光源モジュール、流体紫外光処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025022728

(43)【公開日】2025-02-14

(54)【発明の名称】光源モジュール、流体紫外光処理装置

(51)【国際特許分類】

   F21S 2/00 20160101AFI20250206BHJP

   F21V 19/00 20060101ALI20250206BHJP

   F21V 33/00 20060101ALI20250206BHJP

   B01J 19/12 20060101ALI20250206BHJP

   F21Y 115/10 20160101ALN20250206BHJP

   F21Y 115/30 20160101ALN20250206BHJP

   F21Y 113/10 20160101ALN20250206BHJP

【ＦＩ】

F21S2/00 100

F21V19/00 150

F21V19/00 170

F21V19/00 450

F21S2/00 600

F21S2/00 312

F21V33/00 400

B01J19/12 C

F21Y115:10

F21Y115:30

F21Y113:10

【審査請求】未請求

【請求項の数】15

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024059955

(22)【出願日】2024-04-03

(31)【優先権主張番号】P 2023126554

(32)【優先日】2023-08-02

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000226057

【氏名又は名称】日亜化学工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】今井 正裕

(72)【発明者】

【氏名】佐野 弘季

【テーマコード（参考）】

3K013

3K014

4G075

【Ｆターム（参考）】

3K013AA01

3K013AA02

3K013AA03

3K013BA01

3K013CA05

3K013CA16

3K013EA01

3K013EA09

3K014AA01

3K014RB03

4G075AA02

4G075BB10

4G075CA33

4G075DA02

4G075DA18

4G075EB32

(57)【要約】

【課題】光源の配置に対応した従来にはない形態の光学部材を備える光源モジュールを提供する。
【解決手段】本光源モジュールは、基板と、前記基板の上面に配置される光源と、複数の光制御部を備え、前記光源を挟んで前記基板の上方に配置される光学部材と、を有し、前記光源は、複数の第１発光部と、複数の第２発光部と、を含み、複数の前記光制御部は、第１光制御部と、複数の第２光制御部と、を含み、前記第１光制御部は、上面視で複数の前記第１発光部と重なり、前記複数の第２光制御部のそれぞれが、上面視で互いに異なる１つの前記第２発光部と重なる。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板と、
前記基板の上面に配置される光源と、
複数の光制御部を備え、前記光源を挟んで前記基板の上方に配置される光学部材と、を有し、
前記光源は、複数の第１発光部と、複数の第２発光部と、を含み、
複数の前記光制御部は、第１光制御部と、複数の第２光制御部と、を含み、
前記第１光制御部は、上面視で複数の前記第１発光部と重なり、
前記複数の第２光制御部のそれぞれが、上面視で互いに異なる１つの前記第２発光部と重なる、光源モジュール。

【請求項2】

上面視で、前記複数の第１発光部は中央領域に配置され、前記複数の第２発光部は前記中央領域の外側に位置する外周領域に配置され、
上面視で、前記第１光制御部は前記中央領域に配置され、前記複数の第２光制御部は前記外周領域に配置される、請求項１に記載の光源モジュール。

【請求項3】

前記光源は、上面視で、前記中央領域と前記外周領域との間に位置する中間領域に配置される複数の第３発光部をさらに含み、
複数の前記光制御部は、上面視で、前記中間領域に配置される複数の第３光制御部をさらに含み、
前記複数の第３光制御部のそれぞれが、上面視で互いに異なる１つの前記第３発光部と重なる、請求項２に記載の光源モジュール。

【請求項4】

上面視で、前記第１発光部間の距離は、前記第２発光部間の距離よりも小さい、請求項１に記載の光源モジュール。

【請求項5】

前記光源は、複数の第３発光部をさらに含み、
複数の前記光制御部は、複数の第３光制御部をさらに含み、
前記第３光制御部は、上面視で複数の前記第３発光部と重なり、
上面視で、前記第１発光部間の距離は、前記第３発光部間の距離より小さい、請求項４に記載の光源モジュール。

【請求項6】

上面視で、前記第１光制御部の幅は、前記第２光制御部の幅よりも大きい、請求項１から５のいずれか１項に記載の光源モジュール。

【請求項7】

上面視で、前記第２光制御部の幅は、前記第３光制御部の幅よりも大きい、請求項３又は５に記載の光源モジュール。

【請求項8】

上面視で、前記第２光制御部の幅は、前記第３光制御部の幅と等しい、請求項３又は５に記載の光源モジュール。

【請求項9】

前記光制御部は、前記光学部材を前記基板の上面の法線方向に貫通する開口部であり、
前記開口部は、前記光源の側の開口面積が最も小さく、前記光源から離れるほど開口面積が大きくなる、請求項１から５のいずれか１項に記載の光源モジュール。

【請求項10】

前記光制御部は、前記光源とは反対側に突起する凸部であり、
前記凸部は、上面視において、中央部が最も厚く、中央部から離れるほど薄くなる、請求項１から５のいずれか１項に記載の光源モジュール。

【請求項11】

前記光学部材から紫外光を出射する、請求項１から５のいずれか１項に記載の光源モジュール。

【請求項12】

流体が流れる流路部と、
前記光学部材の出射する紫外光を前記流路部に照射可能な請求項１１に記載の光源モジュールと、を有する、流体紫外光処理装置。

【請求項13】

前記流路部の幅は、上面視で前記複数の光制御部が配置される領域の最大幅の１．０倍以上２．０倍以下である、請求項１２に記載の流体紫外光処理装置。

【請求項14】

前記第２光制御部から出射される光の配光角は、前記第１光制御部から出射される光の配光角よりも小さい、請求項１２に記載の流体紫外光処理装置。

【請求項15】

前記流体の流入部と、前記流入部と前記流路部とを繋ぐ第１接続部と、を含み、
前記光源モジュールは、前記第１接続部に配置され、
前記流路部は、前記基板の上面の法線方向に延びている、請求項１２に記載の流体紫外光処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、光源モジュール、流体紫外光処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

複数の光源を有する光源モジュールが知られている。例えば、回路基板の一面にマトリクス状に配置された光源と、光源の前方に配置されたレンズ体とを有する光源モジュールが挙げられる。この光源モジュールでは、レンズ体は、光源と対向する一面が平面とされ、それとは反対の他面が非球面とされた凸レンズにより構成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－１７０６９３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本開示は、光源の配置に対応した従来にはない形態の光学部材を備える光源モジュールを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一実施形態に係る光源モジュールは、基板と、前記基板の上面に配置される光源と、複数の光制御部を備え、前記光源を挟んで前記基板の上方に配置される光学部材と、を有し、前記光源は、複数の第１発光部と、複数の第２発光部と、を含み、複数の前記光制御部は、第１光制御部と、複数の第２光制御部と、を含み、前記第１光制御部は、上面視で複数の前記第１発光部と重なり、前記複数の第２光制御部のそれぞれが、上面視で互いに異なる１つの前記第２発光部と重なる。

【発明の効果】

【0006】

本開示の一実施形態によれば、光源の配置に対応した従来にはない形態の光学部材を備える光源モジュールを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】第１実施形態に係る光源モジュールを例示する斜視図である。

【図2】図１に示す光源モジュールから光学部材を取り除いた状態の斜視図である。

【図3】第１実施形態に係る光源モジュールを例示する上面図である。

【図4】図３に示す光源モジュールから光学部材及び配線を取り除いた状態の上面図である。

【図5】図３のV－V線における断面図である。

【図6】第１実施形態の変形例１に係る光源モジュールを例示する上面図である。

【図7】図６に示す光源モジュールから光学部材及び配線を取り除いた状態の上面図である。

【図8】光学部材の他の例を示す斜視図である。

【図9】図８に示す光学部材の上面図である。

【図10】図９のＸ－Ｘ線における断面図である。

【図11】第１実施形態の変形例３に係る光源モジュールを例示する斜視図（その１）である。

【図12】第１実施形態の変形例３に係る光源モジュールを例示する側面図である。

【図13】第１実施形態の変形例３に係る光源モジュールを例示する斜視図（その２）である。

【図14】第１実施形態の変形例４に係る光源モジュールを例示する斜視図である。

【図15】光学部材の他の例を示す上面図である。

【図16】図１５のXVI－XVI線における断面図である。

【図17】光学部材の他の例を示す上面図である。

【図18】第１実施形態の変形例５に係る光源モジュールを例示する斜視図である。

【図19】第２実施形態に係る流体紫外光処理装置を例示する斜視図である。

【図20】第２実施形態に係る流体紫外光処理装置を例示する側面図である。

【図21】図１９のXXI－XXI線における断面図である。

【図22】図２０のXXII－XXII線における断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向や位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、及びそれらの用語を含む別の用語）を用いる。しかし、それらの用語の使用は図面を参照した発明の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本発明の技術的範囲が制限されるものではない。また、複数の図面に表れる同一符号の部分は同一もしくは同等の部分または部材を示す。

【0009】

更に、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための発光装置等を例示するものであって、本発明を以下に限定するものではない。また、以下に記載されている構成部品の寸法、材料、形状、その相対的配置等は、特定的な記載がない限り、本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、例示することを意図したものである。また、一の実施形態において説明する内容は、他の実施形態や変形例にも適用可能である。また、図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張している場合がある。さらに、図面が過度に複雑になることを避けるために、一部の要素の図示を省略した模式図を用いたり、断面図として切断面のみを示す端面図を用いたりすることがある。

【0010】

図１は、第１実施形態に係る光源モジュールを例示する斜視図である。図２は、図１に示す光源モジュールから光学部材を取り除いた状態の斜視図である。図３は、第１実施形態に係る光源モジュールを例示する上面図である。図４は、図３に示す光源モジュールから光学部材及び配線を取り除いた状態の上面図である。図５は、図３のV－V線における断面図である。

【0011】

図１～図５に示すように、光源モジュール１は、基板１０と、光源２０と、光学部材３０とを有する。光源２０は、基板１０の上面１０ａに配置されている。光学部材３０は、光源２０を挟んで基板１０の上方に配置されている。

【0012】

基板１０は、所定パターンの配線１１を有する。基板１０の上面１０ａには、配線１１と電気的に接続されるコネクタ１２が配置されてもよい。基板１０は、光源２０が配置される領域として、中央領域Ｒ１と、中央領域Ｒ１の外側に位置する外周領域Ｒ２とを少なくとも有する。中央領域Ｒ１及び外周領域Ｒ２は、基板１０の上面１０ａの領域である。

【0013】

図４に示す例では、基板１０は、中央領域Ｒ１と外周領域Ｒ２との間に位置する中間領域Ｒ３をさらに有する。中央領域Ｒ１は、境界Ｂ１よりも中央側に位置する。外周領域Ｒ２は、境界Ｂ２と境界Ｂ３との間に位置する。中間領域Ｒ３は、境界Ｂ１と境界Ｂ３との間に位置する。境界Ｂ１は、境界Ｂ２の内側に位置する。境界Ｂ３は、境界Ｂ２の内側、かつ、境界Ｂ１の外側に位置する。なお、図４において、境界Ｂ１、境界Ｂ２及び境界Ｂ３を破線で示しているが、実際にはこのような線は存在していない。

【0014】

光源２０は、複数の第１発光部２０ａと、複数の第２発光部２０ｂとを含む。図１～図５に示す例では、光源２０は、複数の第３発光部２０ｃをさらに含む。図３及び図４では、便宜上、複数の第１発光部２０ａ同士を密度の同じドットパターンで示し、複数の第２発光部２０ｂ同士を密度の同じドットパターンで示し、複数の第３発光部２０ｃ同士を密度の同じドットパターンで示し、また、第１発光部２０ａ、第２発光部２０ｂ、及び第３発光部２０ｃ間は密度の異なるドットパターンで示している。

【0015】

図４に示すように、上面視で、複数の第１発光部２０ａは、中央領域Ｒ１に配置される。上面視で、複数の第２発光部２０ｂは、外周領域Ｒ２に配置される。上面視で、複数の第３発光部２０ｃは、中間領域Ｒ３に配置される。第１発光部２０ａ、第２発光部２０ｂ、及び第３発光部２０ｃのそれぞれは、配線１１を介して互いに直列に接続されている。なお、第１発光部２０ａは、外周領域Ｒ２には配置されない。第２発光部２０ｂは、中央領域Ｒ１には配置されない。第１発光部２０ａ及び第２発光部２０ｂは、中間領域Ｒ３には配置されない。第３発光部２０ｃは、中央領域Ｒ１及び外周領域Ｒ２には配置されない。

【0016】

外周領域Ｒ２に配置される第２発光部２０ｂの数は、中央領域Ｒ１に配置される第１発光部２０ａの数よりも多い。中間領域Ｒ３に配置される第３発光部２０ｃの数は、中央領域Ｒ１に配置される第１発光部２０ａの数よりも多く、外周領域Ｒ２に配置される第２発光部２０ｂの数よりも少ない。

【0017】

図４に示す例では、第１発光部２０ａ、第２発光部２０ｂ、及び第３発光部２０ｃは、配置される領域が異なるが、同一仕様の発光部である。ここでの同一仕様とは、少なくとも、出射する光の波長帯、発光強度、配光角度について同じであることをいう。第１発光部２０ａ、第２発光部２０ｂ、及び第３発光部２０ｃは、例えば、紫外光を発する。この場合、光源モジュール１は、光学部材３０から紫外光を出射することができる。第１発光部２０ａ、第２発光部２０ｂ、及び第３発光部２０ｃは、紫外光以外の波長帯の光を発してもよい。

【0018】

第１発光部２０ａ、第２発光部２０ｂ、及び第３発光部２０ｃが紫外光を発する場合、紫外光のピーク波長は、例えば、１０ｎｍ以上４０５ｎｍ以下である。第１発光部２０ａ、第２発光部２０ｂ、及び第３発光部２０ｃは、出射する光のピーク波長の差が５ｎｍ以内に収まることが好ましい。第１発光部２０ａ、第２発光部２０ｂ、及び第３発光部２０ｃは、発光素子を含む。発光素子としては、例えば、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）またはＬＤ（Ｌａｓｅｒ Ｄｉｏｄｅ）を用い得る。第１発光部２０ａ、第２発光部２０ｂ、及び第３発光部２０ｃとして、例えば、パッケージに発光素子が載置された発光装置を用いることができる。パッケージの材料としては、セラミックスや樹脂を用いることができる。

【0019】

第１発光部２０ａ、第２発光部２０ｂ、及び第３発光部２０ｃは、それぞれ異なる波長帯の光を発してもよい。例えば、第１発光部２０ａ、第２発光部２０ｂ、及び第３発光部２０ｃには、発光のピーク波長が２６０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下の発光部、発光のピーク波長を２８０ｎｍより大きく３１５ｎｍより小さい範囲の発光部、及び、発光のピーク波長を３１５ｎｍ以上４０５ｎｍ以下の発光部のうちの２以上の発光部が含まれてもよい。例えば、これら３つの発光部が含まれる形態として、第１発光部２０ａの発光のピーク波長を２６０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下、第２発光部２０ｂの発光のピーク波長を３１５ｎｍ以上４０５ｎｍ以下、第３発光部２０ｃの発光のピーク波長を２８０ｎｍより大きく３１５ｎｍより小さい範囲とする形態を挙げることができる。また、上述した第１発光部２０ａと第２発光部２０ｂ、第１発光部２０ａと第３発光部２０ｃ、第２発光部２０ｂと第３発光部２０ｃのそれぞれの発光のピーク波長を入れ替えてもよい。

【0020】

図１～図５に示す例では、４個の第１発光部２０ａが中央領域Ｒ１に配置されている。また、１２個の第２発光部２０ｂが外周領域Ｒ２に配置されている。また、８個の第３発光部２０ｃが中間領域Ｒ３に配置されている。第１発光部２０ａ、第２発光部２０ｂ、及び第３発光部２０ｃは、例えば、上面視で４回対称となるように配置することができる。なお、各領域に配置される発光部の個数は、図１～図５の例には限定されない。なお、特に説明がない場合、上面視とは、基板１０の上面１０ａの法線方向から光源モジュール１を視ることを指す。

【0021】

光学部材３０は、例えば、スペーサ４１を介して基板１０にねじ４２で固定されている。光学部材３０は、上面視で、外形が正方形である。光学部材３０は、上面視で、外形が長方形、円形、又は楕円形であってもよい。なお、ここでの正方形及び長方形は、角が直角の形状だけでなく、角が面取りされた形状も含む。光学部材３０の材料には、金属又は樹脂を用いることができる。金属としては、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金が挙げられる。樹脂としては、例えば、フッ素系樹脂が挙げられる。金属や樹脂の表面に、反射率の高い膜を成膜してもよい。反射率の高い膜としては、例えば、アルミニウム膜が挙げられる。

【0022】

光学部材３０は、複数の光制御部３１を備えている。各々の光制御部３１は、光学部材３０を基板１０の上面１０ａの法線方向に貫通する開口部である。各々の光制御部３１において、開口部は、光源２０側の開口面積が最も小さく、光源から離れるほど開口面積が大きくなる。このような形状により、各々の光制御部３１をリフレクタとして機能させることができる。図１～図５に示す例では、上面視において、開口部の形状は円形である。上面視において、開口部の形状は、楕円形、正方形、長方形等であってもよい。

【0023】

複数の光制御部３１は、第１光制御部３１ａと、複数の第２光制御部３１ｂとを含む。図１～図５に示す例では、複数の光制御部３１は、複数の第３光制御部３１ｃをさらに含む。上面視で、第１光制御部３１ａは中央領域Ｒ１に配置され、複数の第２光制御部３１ｂは外周領域Ｒ２に配置される。上面視で、第３光制御部３１ｃは、中間領域Ｒ３に配置される。

【0024】

第１光制御部３１ａは、上面視で複数の第１発光部２０ａと重なる。複数の第２光制御部３１ｂのそれぞれが、上面視で互いに異なる１つの第２発光部２０ｂと重なる。図１～図５に示す例では、第１光制御部３１ａは、上面視で４つの第１発光部２０ａと重なる。また、１２個の第２光制御部３１ｂのそれぞれが、上面視で互いに異なる１つの第３発光部２０ｃと重なる。

【0025】

第１光制御部３１ａには、上面視で重なる複数の第１発光部２０ａからの光が入射し、入射した光は開口部内で反射され、基板１０とは反対側から出射される。第２光制御部３１ｂのそれぞれには、上面視で重なる１つの第２発光部２０ｂからの光が入射し、入射した光は開口部内で反射され、基板１０とは反対側から出射される。第３光制御部３１ｃのそれぞれには、上面視で重なる１つの第３発光部２０ｃからの光が入射し、入射した光は開口部内で反射され、基板１０とは反対側から出射される。

【0026】

このように、光源モジュール１では、光学部材３０を構成する第１光制御部３１ａは、上面視で複数の第１発光部２０ａと重なり、光学部材３０を構成する複数の第２光制御部３１ｂのそれぞれが、上面視で互いに異なる１つの第２発光部２０ｂと重なる。これにより、中央領域Ｒ１に配置される複数の第１発光部２０ａをまとめて１つの光制御部３１で光学制御し、外周領域Ｒ２に配置される複数の第２発光部２０ｂは個々に光制御部３１で光学制御を行う形態の光学部材３０を備える光源モジュールを実現できる。

【0027】

また、光源モジュール１は、必要に応じて複数の第３発光部２０ｃ及び複数の第３光制御部３１ｃを有し、複数の第３光制御部３１ｃのそれぞれが、上面視で互いに異なる１つの第３発光部２０ｃと重なるように配置し得る。これにより、第１発光部２０ａ、第２発光部２０ｂ、第３発光部２０ｃを含む光源２０の配置に対応した形態の光学部材３０を備える光源モジュールを実現できる。

【0028】

光源モジュール１の例では、中央領域Ｒ１では第１光制御部３１ａから配光角度の比較的広い光が出射されてもよい。外周領域Ｒ２では第２光制御部３１ｂから配光角度の比較的狭い光が出射されることが好ましい。第２光制御部３１ｂから出射される光の配光角が、第１光制御部３１ａから出射される光の配光角よりも小さいことにより、光源モジュール１全体として狭配光の光を出射可能となる。第１光制御部３１ａから出射される光の配光角とは、第１光制御部３１ａから出射される光の全体の強度を測定した場合に、最も高い光の強度の１／２となる角度（半値全幅）を指す。

【0029】

図１～図５に示す例では、上面視で、第１発光部２０ａ間の距離Ｌ１は、第２発光部２０ｂ間の距離Ｌ２よりも小さい。また、上面視で、第１発光部２０ａ間の距離Ｌ１は、第３発光部２０ｃ間の距離Ｌ３よりも小さい。これにより、第１発光部２０ａの配置の密度を高くすることができる。また、上面視で、第２発光部２０ｂ間の距離Ｌ２は、第３発光部２０ｃ間の距離Ｌ３以上の長さとする。図１～図５に示す例においては、第２発光部２０ｂ間の距離Ｌ２は、第３発光部２０ｃ間の距離Ｌ３より大きい。ここで、発光部間の距離は、隣接する発光部の中心間距離のうち最短のものを指す。

【0030】

また、図１～図５に示す例では、上面視で、隣接する第１発光部２０ａ同士の間隔は、隣接する第２発光部２０ｂ同士の間隔よりも小さい。また、上面視で、隣接する第１発光部２０ａ同士の間隔は、隣接する第３発光部２０ｃ同士の間隔よりも小さい。これにより、第１発光部２０ａの配置の密度を高くすることができる。また、上面視で、隣接する第２発光部２０ｂ同士の間隔は、隣接する第３発光部２０ｃ同士の間隔以上の長さとする。図１～図５に示す例においては、隣接する第２発光部２０ｂ同士の間隔は、隣接する第３発光部２０ｃ同士の間隔より大きい。

【0031】

また、中央領域Ｒ１において第１光制御部３１ａが上面視で複数の第１発光部２０ａと重なるため、複数の光制御部３１のそれぞれが上面視で互いに異なる１つの第１発光部２０ａと重なる場合と比較して、中央領域Ｒ１に隣接して配置される第１発光部２０ａの間隔を狭くすることができるため、中央領域Ｒ１に配置される第１発光部２０ａの個数を増やせる。そのため、光源モジュール１全体として照度を高くすることが可能となる。

【0032】

また、中央領域Ｒ１で第１光制御部３１ａから出射される光は、配光角度が比較的広いため、外周領域Ｒ２で第２光制御部３１ｂから出射される光と重なる部分がある。そのため、隣接する光制御部間に照度の低い領域が生じ難くなり、光源モジュール１全体として照度分布のばらつきを低減することが可能となる。

【0033】

図１～図５に示す例では、上面視で、第１光制御部３１ａの幅Ｗ１は、第２光制御部３１ｂの幅Ｗ２よりも大きい。例えば、第１光制御部３１ａの幅Ｗ１は、第２光制御部３１ｂの幅Ｗ２の１．５倍以上４．０倍以下である。また、上面視で、第１光制御部３１ａの幅Ｗ１は、第３光制御部３１ｃの幅Ｗ３よりも大きい。また、上面視で、第２光制御部３１ｂの幅Ｗ２は、第３光制御部３１ｃの幅Ｗ３以上の大きさとする。例えば、第２光制御部３１ｂの幅Ｗ２は、第３光制御部の幅Ｗ３の１．０倍以上１．３倍以下である。図１～図５に示す例においては、第２光制御部３１ｂの幅Ｗ２は、第３光制御部３１ｃの幅Ｗ３よりも大きい。このようにすることで、第３光制御部３１ｃ同士を近付けて配置することができる。ここで、第１光制御部３１ａの幅Ｗ１、第２光制御部３１ｂの幅Ｗ２、及び第３光制御部３１ｃの幅Ｗ３は、開口部の最大幅とする。また、図１～図５に示す例では、上面視で、第１光制御部３１ａの開口部の最小幅は、第２光制御部３１ｂの開口部の最小幅よりも大きい。また、上面視で、第１光制御部３１ａの開口部の最小幅は、第３光制御部３１ｃの開口部の最小幅よりも大きい。また、上面視で、第２光制御部３１ｂの開口部の最小幅は、第３光制御部３１ｃの開口部の最小幅以下の大きさとする。図１～図５に示す例においては、第２光制御部３１ｂの開口部の最小幅は、第３光制御部３１ｃの開口部の最小幅と同じ大きさである。光制御部の幅は、光制御部が上面視で円形の場合は直径、楕円形の場合は長径、長方形又は正方形の場合は対角線の長さ、これら以外の場合は上面視で光制御部の中に連続して引くことができる最長の直線の長さとする。

【0034】

発光部間の距離や光制御部の幅を上記のようにすることで、光制御部の外周領域から狭配光の光を出射しやすくなる。

【0035】

図１～図５に示す例では、上面視で、第１発光部２０ａの一部は第１光制御部３１ａの第１発光部２０ａ側の開口部による開口と重ならない。また、上面視で、第２発光部２０ｂの一部は第２光制御部３１ｂの第２発光部２０ｂ側の開口部による開口と重ならない。また、上面視で、第３発光部２０ｃの一部は第３光制御部３１ｃの第３発光部２０ｃ側の開口部による開口と重ならない。発光部側の開口部による開口は、開口部における最小の開口である。第２光制御部３１ｂの第２発光部２０ｂ側の幅は、第２発光部２０ｂの幅よりも小さい。第２光制御部３１ｂの第２発光部２０ｂ側の幅は、例えば、第２発光部２０ｂの０．５倍以上１．０倍未満とすることができる。第３光制御部３１ｃの第３発光部２０ｃ側の幅は、第３発光部２０ｃの幅よりも小さい。第３光制御部３１ｃの第３発光部２０ｃ側の幅は、例えば第３発光部２０ｃの０．５倍以上１．０倍未満とすることができる。発光部の上面視における外形が矩形の場合は、発光部の幅は、例えば、３．０ｍｍ以上８．０ｍｍ以下とすることができる。このようにすることで、各光制御部同士を近付けて配置することができる。これにより、光源モジュールを小型化することできる。

【0036】

上面視で、複数の第１発光部２０ａは第１光制御部３１ａの光出射側の開口部による開口に包含される。また、上面視で、第２発光部２０ｂは第２光制御部３１ｂの光出射側の開口部による開口に包含される。また、上面視で、第３発光部２０ｃは第３光制御部３１ｃの光出射側の開口部による開口に包含される。光出射側の開口部による開口は、開口部における最大の開口である。このように、開口部の最小開口との関係では上面視で光制御部の一部が包含されず、開口部の最大開口との関係では上面視で光制御部が包含されるように、発光部に対する開口部の大きさを設定することで、光の取出しと、各光制御部同士の近接配置の両方に配慮した光源モジュールを実現することができる。

【0037】

図１～図５に示す例では、上面視で、近接する２つの第１発光部２０ａ同士の間隔Ｓ１は、第１光制御部３１ａにおける開口の最大幅Ｗ１と最小幅Ｗａ１の差Ｔの２倍の値よりも小さい。このように配置される第１発光部２０ａからの光を効果的に制御するには、複数の第１発光部２０ａと重なる第１光制御部３１ａを設けることが好ましい。

【0038】

図１～図５に示す例において、上面視で、第１光制御部３１ａと、第１光制御部３１ａから最も近い位置にある第２光制御部３１ｂとの間隔は、第３光制御部３１ｃの幅Ｗ３よりも小さい。このようにすることで、各光制御部同士を近付けて配置することができる。これにより、光源モジュールを小型化することできる。

【0039】

［光源モジュールの変形例］
図６は、第１実施形態の変形例１に係る光源モジュールを例示する上面図である。図７は、図６に示す光源モジュールから光学部材及び配線を取り除いた状態の上面図である。図６及び図７に示す光源モジュール１Ａでは、光源２０の配置が光源モジュール１と相違する。また、光学部材３０における光制御部３１の配置も、光源２０の配置に合わせて光源モジュール１から変更されている。

【0040】

光源モジュール１Ａにおいて、基板１０は、光源２０が配置される領域として、中央領域Ｒ１及び外周領域Ｒ２を有し、中間領域Ｒ３を有していない。中央領域Ｒ１は、境界Ｂ１よりも中央側に位置する。外周領域Ｒ２は、境界Ｂ１と境界Ｂ２との間に位置する。なお、図７において、境界Ｂ１及び境界Ｂ２を破線で示しているが、実際にはこのような線は存在していない。

【0041】

光源２０は、複数の第１発光部２０ａと、複数の第２発光部２０ｂとを含む。複数の第１発光部２０ａは、中央領域Ｒ１に配置される。複数の第２発光部２０ｂは、外周領域Ｒ２に配置される。第１発光部２０ａ及び第２発光部２０ｂのそれぞれは、配線１１を介して互いに直列に接続されている。

【0042】

図６及び図７に示す例では、１２個の第１発光部２０ａが中央領域Ｒ１に配置されている。また、１２個の第２発光部２０ｂが外周領域Ｒ２に配置されている。第１発光部２０ａ及び第２発光部２０ｂは、例えば、上面視で４回対称となるように配置することができる。なお、各領域に配置される発光部の個数は、図６及び図７の例には限定されない。

【0043】

複数の光制御部３１は、複数の第１光制御部３１ａと、複数の第２光制御部３１ｂとを含む。第１光制御部３１ａは、上面視で複数の第１発光部２０ａと重なり、複数の第２光制御部３１ｂのそれぞれが、上面視で互いに異なる１つの第２発光部２０ｂと重なる。図６及び図７に示す例では、第１光制御部３１ａは、上面視で１２個の第１発光部２０ａと重なる。

【0044】

第１光制御部３１ａには、上面視で重なる１２個の第１発光部２０ａからの光が入射し、入射した光は開口部内で反射され、基板１０とは反対側から出射される。第２光制御部３１ｂのそれぞれには、上面視で重なる１つの第２発光部２０ｂからの光が入射し、入射した光は開口部内で反射され、基板１０とは反対側から出射される。

【0045】

このように、光源モジュール１Ａでは、光学部材３０を構成する第１光制御部３１ａは、上面視で複数の第１発光部２０ａと重なり、光学部材３０を構成する複数の第２光制御部３１ｂのそれぞれが、上面視で互いに異なる１つの第２発光部２０ｂと重なる。これにより、光源モジュール１と同様の効果を奏する。

【0046】

なお、第１発光部２０ａ間の距離Ｌ１と第２発光部２０ｂ間の距離Ｌ２との関係、及び第１光制御部３１ａの幅Ｗ１と第２光制御部３１ｂの幅Ｗ２との大小関係は、光源モジュール１と同様とすることができる。

【0047】

図８は、光学部材の他の例を示す斜視図である。図９は、図８に示す光学部材の上面図である。図１０は、図９のＸ－Ｘ線における断面図である。光源モジュール１は、光学部材３０の代わりに光学部材５０を有してもよい。

【0048】

光学部材５０は、複数の光制御部５１を備えている。図８～図１０に示す例では、光学部材５０は、上面と下面を有し、複数の光制御部５１は、光学部材５０の上面に配置される。各々の光制御部５１は、光源２０とは反対側に突起する凸部である。各々の凸部は、上面視において、中央部が最も厚く、中央部から離れるほど薄くなる。なお、凸部の厚さは、光学部材５０の上面の法線方向における光学部材５０の上面から凸部の表面までの距離を指す。また、各々の光制御部５１（凸部）を凸レンズとして機能させることができる。図８～図１０に示す例では、上面視において、凸部の形状は円形である。なお、上面視において、凸部の形状は、楕円形、正方形、長方形等であってもよい。光学部材５０は、例えば、ガラス又は樹脂により形成することができる。ガラスとしては、例えば、石英ガラスや硼珪酸ガラスが挙げられる。樹脂としては、例えば、シリコーン系樹脂が挙げられる。

【0049】

複数の光制御部５１は、複数の第１光制御部５１ａと、複数の第２光制御部５１ｂとを含む。図８～図１０に示す例では、複数の光制御部５１は、さらに、複数の第３光制御部５１ｃを含む。第１光制御部５１ａは、光学部材５０の上面視で中央領域に配置される。第２光制御部５１ｂは、光学部材５０の上面視で外周領域に配置される。第３光制御部５１ｃは、光学部材５０の上面視で中央領域と外周領域との間の中間領域に配置される。光源モジュール１を組み立てる際には、第１光制御部５１ａは、上面視で複数の第１発光部２０ａと重なり、複数の第２光制御部５１ｂのそれぞれが、上面視で互いに異なる１つの第２発光部２０ｂと重なる。また、複数の第３光制御部５１ｃのそれぞれが、上面視で互いに異なる１つの第３発光部２０ｃと重なる。

【0050】

第１光制御部５１ａには、上面視で重なる複数の第１発光部２０ａからの光が入射し、入射した光は第１光制御部５１ａの凸部で配光角が狭められ、基板１０とは反対側から出射される。第２光制御部５１ｂのそれぞれには、上面視で重なる１つの第２発光部２０ｂからの光が入射し、入射した光は第２光制御部５１ｂの凸部で配光角が狭められ、基板１０とは反対側から出射される。第３光制御部５１ｃのそれぞれには、上面視で重なる１つの第３発光部２０ｃからの光が入射し、入射した光は第３光制御部５１ｃの凸部で配光角が狭められ、基板１０とは反対側から出射される。凸状の光制御部５１を有する光学部材５０を用いた場合も、開口部である光制御部３１を有する光学部材３０を用いた場合と同様の効果を奏する。

【0051】

第１光制御部５１ａの高さは、第２光制御部５１ｂの高さ及び第３光制御部５１ｃの高さよりも低い。第３光制御部５１ｃの高さは第２光制御部５１ｂの高さ以下である。図１０に示す例においては、第３光制御部５１ｃの高さは第２光制御部５１ｂの高さよりも低い。このようにすることで、光制御部５１全体の高さを低くすることができる。

【0052】

なお、第１光制御部５１ａと第２光制御部５１ｂと第３光制御部５１ｃの幅の大小関係は、光学部材３０の場合と同様とすることができる。

【0053】

光学部材５０は、光源モジュール１Ａに適用してもよい。その場合は、光学部材５０を構成する第１光制御部５１ａが上面視で複数の第１発光部２０ａと重なり、光学部材５０を構成する複数の第２光制御部５１ｂのそれぞれが上面視で互いに異なる１つの第２発光部２０ｂと重なるようにすればよい。

【0054】

図１１は、第１実施形態の変形例３に係る光源モジュールを例示する斜視図（その１）である。図１２は、第１実施形態の変形例３に係る光源モジュールを例示する側面図である。図１１に示すように、光源モジュール１Ｂでは、光源２０及び光学部材３０が設けられた基板１０が板状の保持部材１３０上に固定されている。基板１０は、例えばねじ止め、接着剤等により、保持部材１３０の上面に固定することができる。

【0055】

また、保持部材１３０上には、上面視で、基板１０を挟んで対向する２つのジャッキ機構１５０が配置されている。ジャッキ機構１５０は、上面１５１ａを含む支持部材１５１と、ねじ部材１５２と、補助ばね部材１５３とを有する。支持部材１５１は、例えば、樹脂材料または金属材料等から構成される。支持部材１５１は、ねじ部材１５２に結合している。

【0056】

図１２に示すように、支持部材１５１は、ねじ部材１５２の回転により、上面１５１ａの法線方向に上面１５１ａが移動可能である。図１２に示す移動量Δｈは、ねじ部材１５２の回転による支持部材１５１の上面１５１ａの移動量を示している。なお、移動量Δｈを示す破線の指示線は、支持部材１５１の上面１５１ａが下がった状態の上面１５１ａの位置を表している。移動量Δｈを示す実線の指示線は、支持部材１５１の上面１５１ａが上がった状態の上面１５１ａの位置を表している。移動量Δｈは、例えば１ｍｍである。補助ばね部材１５３は、ねじ部材１５２のねじ頭部側への付勢力を支持部材１５１に付与する。

【0057】

このように、ジャッキ機構１５０を有する光源モジュール１Ｂは、光源モジュール１Ｂを配置可能な空間を備えた光源配置部に容易に固定することができる。例えば、支持部材１５１の上面１５１ａが下がった状態で光源モジュール１Ｂを光源配置部の空間内に挿入し、その後、ねじ部材１５２を回転させて支持部材１５１の上面１５１ａを上昇させることで、光源モジュール１Ｂを光源配置部の空間内に固定することができる。

【0058】

図１３は、第１実施形態の変形例３に係る光源モジュールを例示する斜視図（その２）である。図１３に示すように、ジャッキ機構１５０を保持部材１３０とは別体とし、ねじ等により保持部材１３０に対して取り付け及び取り外しを自在としてもよい。図１３に示す例では、２つのジャッキ機構１５０が取っ手１６０を介して結合している。ジャッキ機構１５０と取っ手１６０とは、一体であってもよいし、別体であってもよい。

【0059】

図１４は、第１実施形態の変形例４に係る光源モジュールを例示する斜視図である。図１４に示すように、光源モジュール１Ｃでは、ジャッキ機構１５０の代わりにばね部材１７０が設けられた点が、光源モジュール１Ｂと相違する。

【0060】

ばね部材１７０は、例えば、金属の板状のばねである。ばね部材１７０は、保持部材１３０上に、上面視で、基板１０を挟んで対向して配置されている。ばね部材１７０は、例えばねじ止めにより、保持部材１３０の上面に固定することができる。ばね部材１７０の数は２つに限らず１以上の任意の数であってもよい。また、ばね部材１７０の形状は図１４に示す例の形状に限らず任意の形状であってもよい。

【0061】

このように、光源モジュールは、ジャッキ機構１５０の代わりにばね部材１７０を備えてもよい。ばね部材１７０により、光源モジュール１Ｃを光源配置部の空間内に固定することができる。

【0062】

図１５は、光学部材の他の例を示す上面図である。図１６は、図１５のXVI－XVI線における断面図である。光源モジュール１は、光学部材３０の代わりに光学部材６０を有してもよい。

【0063】

光学部材６０は、複数の光制御部６１を備えている。図１５及び図１６に示す例では、光学部材６０は、上面６５と下面６６を有し、さらに上面６５に開口する凹部６７を有している。凹部６７の底面は、例えば、平面である。凹部６７の底面は、例えば、上面６５と平行である。凹部６７の底面は、上面６５よりも低い位置にあり、下面６６よりも高い位置にある。上面６５から凹部６７の底面までの距離は、例えば、上面６５から下面６６までの距離の半分程度とすることができる。上面視で、凹部６７の底面の外縁は、例えば、円形である。

【0064】

複数の光制御部６１は、凹部６７の底面に配置される。これにより、光学部材６０の厚さを薄くすることができる。また、光学部材６０は、凹部６７の外側が、凹部６７内よりも厚いため、光学部材６０の剛性を確保することができる。

【0065】

各々の光制御部６１は、光源２０とは反対側に突起する凸部である。各々の凸部の形状や機能は、光制御部５１の凸部と同様とすることができる。光学部材６０は、例えば、光学部材５０と同様にガラス又は樹脂により形成することができる。

【0066】

複数の光制御部６１は、複数の第１光制御部６１ａと、複数の第２光制御部６１ｂとを含む。図１５及び図１６に示す例では、複数の光制御部６１は、さらに、複数の第３光制御部６１ｃを含む。第１光制御部６１ａ、第２光制御部６１ｂ、及び第３光制御部６１ｃは、例えば、第１光制御部５１ａ、第２光制御部５１ｂ、及び第３光制御部５１ｃと同様に配置することができる。光制御部６１を有する光学部材６０を用いた場合も、光源モジュール１全体として狭配光の光を出射可能となる。

【0067】

第１光制御部６１ａと第２光制御部６１ｂと第３光制御部６１ｃの高さの大小関係は、光学部材５０の場合と同様とすることができる。また、第１光制御部６１ａと第２光制御部６１ｂと第３光制御部６１ｃの幅の大小関係は、光学部材５０の場合と同様とすることができる。光学部材６０は、光源モジュール１Ａに適用してもよい。

【0068】

図１７は、光学部材の他の例を示す上面図である。光源モジュール１は、光学部材３０の代わりに光学部材７０を有してもよい。

【0069】

光学部材７０は、複数の光制御部７１を備えている。図１７に示す例では、光学部材７０は、上面と下面を有し、複数の光制御部７１は、光学部材７０の上面に配置される。各々の光制御部７１は、光源２０とは反対側に突起する凸部である。各々の凸部の形状や機能は、光制御部５１の凸部と同様とすることができる。光学部材７０は、例えば、光学部材５０と同様にガラス又は樹脂により形成することができる。

【0070】

複数の光制御部７１は、複数の第１光制御部７１ａと、複数の第２光制御部７１ｂとを含む。図１７に示す例では、複数の光制御部７１は、さらに、複数の第３光制御部７１ｃを含む。第１光制御部７１ａ、第２光制御部７１ｂ、及び第３光制御部７１ｃは、例えば、第１光制御部５１ａ、第２光制御部５１ｂ、及び第３光制御部５１ｃと同様に配置することができる。光制御部７１を有する光学部材７０を用いた場合も、光源モジュール１全体として狭配光の光を出射可能となる。

【0071】

光制御部７１では、上面視で、第１光制御部７１ａは、接続部７１ａｃを介して、隣接する第３光制御部７１ｃと繋がっている。上面視で、接続部７１ａｃは、第１光制御部７１ａの外縁の一部と第３光制御部７１ｃの外縁の一部が重なった部分である。また、上面視において、第２光制御部７１ｂの一部は、接続部７１ｂｃを介して、隣接する第３光制御部７１ｃと繋がっている。上面視で、接続部７１ｂｃは、第２光制御部７１ｂの外縁の一部と第３光制御部７１ｃの外縁の一部が重なった部分である。このような構造により、各光制御部同士の配置の密度を高くすることができるため、光源モジュールを小型化することできる。

【0072】

第１光制御部７１ａと第２光制御部７１ｂと第３光制御部７１ｃの高さの大小関係は、光学部材５０の場合と同様とすることができる。また、第１光制御部７１ａと第２光制御部７１ｂと第３光制御部７１ｃの幅の大小関係は、光学部材５０の場合と同様とすることができる。

【0073】

光学部材７０は、上面の外周部に開口する複数の凹部７０ｘを有してもよい。図１７の例では、光学部材７０は、上面の外周部の角部近傍に４つの凹部７０ｘを有している。凹部７０ｘは、例えば、三角錐状の凹部とすることができる。図１８に示すように、凹部７０ｘは、例えば、光学部材７０を基板１０上に保持する際に用いることができる。

【0074】

図１８は、第１実施形態の変形例５に係る光源モジュールを例示する斜視図である。図１８に示すように、光源モジュール１Ｄでは、光学部材３０の代わりに光学部材７０を用いている。また、光源モジュール１Ｄは、基板１０の上面に、光学部材７０を挟んで対向して配置される台座部１８０と、台座部１８０上に配置される固定部材１９０とを有している。

【0075】

固定部材１９０は、例えば、板状の金属である。固定部材１９０は、基板１０の上面の短辺方向に延びて台座部１８０に固定される固定部１９１と、固定部１９１の両端から光学部材７０の上面上に延びるばね部１９２とを有している。固定部１９１は、例えばねじ止めにより、台座部１８０の上面に固定することができる。

【0076】

各々のばね部１９２の光学部材７０側の先端には、光学部材７０の上面側に突起する凸部１９０ｘが設けられている。各々の凸部１９０ｘは、光学部材７０の上面に設けられた凹部７０ｘ内に入り込んでいる。固定部材１９０により光学部材７０は基板１０側に付勢され、光学部材７０が基板１０上に保持される。なお、他の光学部材に、光学部材７０と同様の凹部を設けてもよい。これにより、光学部材７０と同様の固定方法を採用することが可能となる。光学部材７０は、例えば、接着剤により、基板１０に固定されてもよい。接着剤の材料としては、紫外光に対して耐光性を有する材料を用いることが好ましい。

【0077】

〈第２実施形態〉
図１９は、第２実施形態に係る流体紫外光処理装置を例示する斜視図である。図２０は、第２実施形態に係る流体紫外光処理装置を例示する側面図である。図２１は、図１９のXXI－XXI線における断面図である。図２２は、図２０のXXII－XXII線における断面図である。

【0078】

図１９～図２２に示すように、流体紫外光処理装置２は、流体が流れる流路管２１０と、２つの光源モジュール１Ｂとを有する。光源モジュール１Ｂは、１つでもよいし、３つ以上でもよい。なお、光源モジュール１Ｂの代わりに、光源モジュール１Ｃ又は光源モジュール１Ｄを用いてもよい。

【0079】

流路管２１０は、流体の流入部２１１及び流出部２１２と、流体が流れる流路部２１３と、流入部２１１と流路部２１３とを繋ぐ第１接続部２１４と、流出部２１２と流路部２１３とを繋ぐ第２接続部２１５とを有する。流体は、流入部２１１から流入し流路部２１３を経由して流出部２１２から流出する。流体の流れる方向は、これとは反対であってもよい。

【0080】

一方の光源モジュール１Ｂは、光学部材３０が流路部２１３側を向くように、第１接続部２１４に配置されている。一方の光源モジュール１Ｂは、第１接続部２１４に設けられた光源配置部２１４ａに挿入され、ジャッキ機構１５０（図１１参照）により光源配置部２１４ａに固定されている。

【0081】

他方の光源モジュール１Ｂは、光学部材３０が流路部２１３側を向くように、第２接続部２１５に配置されており、流路部２１３を挟んで一方の光源モジュール１Ｂと対向する。他方の光源モジュール１Ｂは、第２接続部２１５に設けられた光源配置部２１５ａに挿入され、ジャッキ機構１５０（図１１参照）により光源配置部２１５ａに固定されている。

【0082】

一方の光源モジュール１Ｂを構成する保持部材１３０（図１１参照）の下面は、光源配置部２１４ａの内壁面と面接触するように配置することができる。また、他方の光源モジュール１Ｂを構成する保持部材１３０（図１１参照）の下面は、光源配置部２１５ａの内壁面と面接触するように配置することができる。これにより、各々の光源モジュールの動作時に生じる熱を、光源配置部の周辺を流れる流体に逃がすことができる。

【0083】

流路部２１３は、一方の光源モジュール１Ｂの基板１０の上面１０ａの法線方向に延びている。また、流路部２１３は、他方の光源モジュール１Ｂの基板１０の上面１０ａの法線方向に延びている。各々の光源モジュール１Ｂは、光学部材３０の出射する紫外光を流路部２１３に照射可能である。

【0084】

このように、図１９～図２２に示す例では、流体紫外光処理装置２は、流路部２１３を流れる流体に、２つの光源モジュール１Ｂから紫外光を照射可能である。これにより、流体紫外光処理装置２は、流路部２１３を流れる流体に対して紫外光を照射することで流体を処理し、例えば、処理前に比べて処理後の水の中の菌やウイルスの数を減らすことができる。なお、流体には、液体、気体等が含まれる。

【0085】

図２１及び図２２に示すように、流路部２１３の幅Ｗ４は、上面視で複数の光制御部３１が配置される領域の最大幅Ｗ５の１．０倍以上２．０倍以下であることが好ましい。ここで、最大幅Ｗ５は、上面視で、複数の光制御部３１のうち一の光制御部３１の外縁から他の光制御部３１の外縁に引ける最長の直線の長さで規定する。幅Ｗ４が幅Ｗ５の１．０倍以上であることにより、光学部材３０の外周部から照射される光のうち、流路部２１３の内壁面に当たって減衰する光の量を低減することができる。その結果、処理効率が高い流体紫外光処理装置２を実現することができる。また、幅Ｗ４が幅Ｗ５の２．０倍以下であることにより、光学部材３０の外周部からの光を流路部２１３の内壁面近くを流れる流体にも照射することができる。

【0086】

光学部材３０の外周領域Ｒ２及び中間領域Ｒ３上に位置する外周から照射される光は中央領域Ｒ１上に位置する中央から照射される光よりも狭配光である。光学部材３０の外周領域Ｒ２及び中間領域Ｒ３上に位置する外周から照射される光は、例えば１０°以上６０°以下の配光角である。また、中央領域Ｒ１上に位置する中央から照射される光は、例えば１１０°以下の配光角である。

【0087】

以上、好ましい実施形態等について詳説した。但し、上述した実施形態等に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施形態等に種々の変形及び置換を加えることができる。

【0088】

以上の実施形態に加えて、さらに以下の付記を開示する。
（付記１）
基板と、
前記基板の上面に配置される光源と、
複数の光制御部を備え、前記光源を挟んで前記基板の上方に配置される光学部材と、を有し、
前記光源は、複数の第１発光部と、複数の第２発光部と、を含み、
複数の前記光制御部は、第１光制御部と、複数の第２光制御部と、を含み、
前記第１光制御部は、上面視で複数の前記第１発光部と重なり、
前記複数の第２光制御部のそれぞれが、上面視で互いに異なる１つの前記第２発光部と重なる、光源モジュール。
（付記２）
上面視で、前記複数の第１発光部は中央領域に配置され、前記複数の第２発光部は前記中央領域の外側に位置する外周領域に配置され、
上面視で、前記第１光制御部は前記中央領域に配置され、前記複数の第２光制御部は前記外周領域に配置される、付記１に記載の光源モジュール。
（付記３）
前記光源は、上面視で、前記中央領域と前記外周領域との間に位置する中間領域に配置される複数の第３発光部をさらに含み、
複数の前記光制御部は、上面視で、前記中間領域に配置される複数の第３光制御部をさらに含み、
前記複数の前記第３光制御部のそれぞれが、上面視で互いに異なる１つの前記第３発光部と重なる、付記２に記載の光源モジュール。
（付記４）
上面視で、前記第１発光部間の距離は、前記第２発光部間の距離よりも小さい、付記１に記載の光源モジュール。
（付記５）
前記光源は、複数の第３発光部をさらに含み、
複数の前記光制御部は、複数の第３光制御部をさらに含み、
前記第３光制御部は、上面視で複数の前記第３発光部と重なり、
上面視で、前記第１発光部間の距離は、前記第３発光部間の距離より小さい、付記４に記載の光源モジュール。
（付記６）
上面視で、前記第１光制御部の幅は、前記第２光制御部の幅よりも大きい、付記１から５のいずれか１に記載の光源モジュール。
（付記７）
上面視で、前記第２光制御部の幅は、前記第３光制御部の幅よりも大きい、付記３又は５に記載の光源モジュール。
（付記８）
上面視で、前記第２光制御部の幅は、前記第３光制御部の幅と等しい、付記３又は５に記載の光源モジュール。
（付記９）
前記光制御部は、前記光学部材を前記基板の上面の法線方向に貫通する開口部であり、
前記開口部は、前記光源の側の開口面積が最も小さく、前記光源から離れるほど開口面積が大きくなる、付記１から８のいずれか１に記載の光源モジュール。
（付記１０）
前記光制御部は、前記光源とは反対側に突起する凸部であり、
前記凸部は、上面視において、中央部が最も厚く、中央部から離れるほど薄くなる、付記１から８のいずれか１に記載の光源モジュール。
（付記１１）
前記光学部材から紫外光を出射する、付記１から１０のいずれか１に記載の光源モジュール。
（付記１２）
流体が流れる流路部と、
前記光学部材の出射する紫外光を前記流路部に照射可能な付記１１に記載の光源モジュールと、を有する、流体紫外光処理装置。
（付記１３）
前記流路部の幅は、上面視で前記複数の光制御部が配置される領域の最大幅の１．０倍以上２．０倍以下である、付記１２に記載の流体紫外光処理装置。
（付記１４）
前記第２光制御部から出射される光の配光角は、前記第１光制御部から出射される光の配光角よりも小さい、付記１２又は１３に記載の流体紫外光処理装置。
（付記１５）
前記流体の流入部と、前記流入部と前記流路部とを繋ぐ第１接続部と、を含み、
前記光源モジュールは、前記第１接続部に配置され、
前記流路部は、前記基板の上面の法線方向に延びている、付記１２から１４のいずれか１に記載の流体紫外光処理装置。

【符号の説明】

【0089】

１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ 光源モジュール
１０ 基板
１０ａ 上面
１１ 配線
１２ コネクタ
２０ 光源
２０ａ 第１発光部
２０ｂ 第２発光部
２０ｃ 第３発光部
３０，５０，６０，７０ 光学部材
３１，５１，６１，７１ 光制御部
３１ａ，５１ａ，６１ａ，７１ａ 第１光制御部
３１ｂ，５１ｂ，６１ｂ，７１ｂ 第２光制御部
３１ｃ，５１ｃ，６１ｃ，７１ｃ 第３光制御部
４１ スペーサ
４２ ねじ
６５ 上面
６６ 下面
６７ 凹部
７０ｘ 凹部
１３０ 保持部材
１５０ ジャッキ機構
１５１ 支持部材
１５１ａ 上面
１５２ ねじ部材
１５３ 補助ばね部材
１６０ 取っ手
１７０ ばね部材
１８０ 台座部
１９０ 固定部材
１９０ｘ 凸部
１９１ 固定部
１９２ ばね部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】