発明の名称 研磨装置
出願人 株式会社荏原製作所 (識別番号 239)
特許公開件数ランキング 179 位(69件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 270 位(40件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2025-23557
公報発行日 2025年2月17
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2025-23557
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