特開 2025-25747 搬送装置、及び、被搬送物の搬送方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025025747

(43)【公開日】2025-02-21

(54)【発明の名称】搬送装置、及び、被搬送物の搬送方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20250214BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023130840

(22)【出願日】2023-08-10

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110004185

【氏名又は名称】インフォート弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】鳥飼 剛史

(72)【発明者】

【氏名】千東 謙太

(72)【発明者】

【氏名】白濱 智宏

(72)【発明者】

【氏名】安田 祐樹

(72)【発明者】

【氏名】上野 文弘

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA19

5F131CA09

5F131DB22

5F131DB72

5F131DB86

5F131EA03

5F131EB16

(57)【要約】

【課題】被搬送物に割れが発生することを防止できる搬送装置を提供する。
【解決手段】被搬送物（１１）を保持する保持面（１７）を有する保持テーブル（１６）に対して、被搬送物を搬送する搬送装置（３０）であって、搬送装置は、被搬送物を保持する保持部（３５）、保持面に対して気体を噴射するブローノズル（４０）と保持面に向かう方向に吸引力を発生させるバキュームノズル（５０）の少なくともいずれかを含むノズルユニット、を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被搬送物を保持する保持面を有する保持テーブルに対して、被搬送物を搬送する搬送装置であって、
該搬送装置は、
被搬送物を保持する保持部と、
該保持面に対して気体を噴射するブローノズルと、該保持面に向かう方向に吸引力を発生させるバキュームノズルと、の少なくともいずれかを含むノズルユニットと、
を備える搬送装置。

【請求項2】

該ブローノズルは、該保持部を該保持面に相対的に接近させる際の進行方向前側に固定されることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

該バキュームノズルは、該ブローノズルより、該保持部を該保持面に相対的に接近させる際の進行方向前側に固定されることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。

【請求項4】

請求項１に記載の搬送装置を用いた被搬送物の搬送方法であって、
該保持部を該保持テーブルの該保持面に対して相対的に接近させながら、該ブローノズルから気体を供給し、少なくとも該保持面に付着した異物を除去する第１ブローステップと、
該保持部を該保持面に対して相対的に接近させながら、該バキュームノズルによって、少なくとも該保持面に付着した異物を除去する第１バキュームステップと、
のいずれかを実施する異物除去ステップと、
該異物除去ステップの後に、搬送アームで該保持面に被搬送物を載置する載置ステップと、
を備える被搬送物の搬送方法。

【請求項5】

該第１ブローステップは、該保持部で被搬送物を保持した状態で実施する請求項４に記載の被搬送物の搬送方法。

【請求項6】

該載置ステップ後、該保持部を該保持面から相対的に離反させながら該ブローノズルから該被搬送物に対して気体を噴射して、該被搬送物に付着した異物を除去する第２ブローステップを備える請求項４に記載の被搬送物の搬送方法。

【請求項7】

該保持面に保持された被搬送物に該保持部を相対的に接近させながら、該ブローノズルから被搬送物に気体を噴射して被搬送物の異物を除去する第３ブローステップと、
該第３ブローステップ後、該保持部で該保持面から被搬送物を搬出する被搬送物搬出ステップと、
をさらに備える請求項４に記載の被搬送物の搬送方法。

【請求項8】

該保持テーブルは、該搬送アームの搬送時に開放されるシャッターを有するプラズマエッチング装置のチャンバー内に設置されていることを特徴とする請求項４に記載の被搬送物の搬送方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被搬送物を搬送する搬送装置及び搬送方法に関する。

【背景技術】

【0002】

電子デバイスなどの製造に用いる処理装置は、被搬送物を搬送して所要位置まで搬送する搬送装置を備えている。例えば、特許文献１に開示される搬送装置は、ウエーハを吸引保持した保持部を、処理装置の保持テーブル（チャックテーブル）の位置まで搬送し、保持テーブルの保持面にウエーハを載置して受け渡す。

【0003】

特許文献２には、切削装置において、被加工物をチャックテーブルに搬送する搬送手段などに、イオン化したエアーを噴出するイオン化エアー噴出手段を配設し、プラスマイナスのイオンバランスがとれたエアーを被加工物に対して噴出することで、被加工物に静電気が帯電することによるデバイスの静電破壊を防止することが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０００－１０６３９０号公報

【特許文献2】特開２００２－０６６８６５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１のような搬送装置で被搬送物を搬送する際に、処理装置の保持テーブルの保持面に異物が付着していた場合、被搬送物を保持面に載置する際に、異物を起点に被搬送物に割れが発生するおそれがあった。そのため、被搬送物を保持テーブルの保持面に載置する前に、保持面の異物を除去したいという課題があった。

【0006】

特許文献２の切削装置は、被加工物の帯電防止を目的として、搬送手段から被加工物に向けてイオン化したエアーを噴出するものであり、チャックテーブルや被加工物に付着した異物の除去を実現するものではなかった。

【0007】

本発明は以上の問題点に鑑みてなされたものであり、被搬送物に割れが発生することを防止できる搬送装置及び搬送方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一態様は、被搬送物を保持する保持面を有する保持テーブルに対して、被搬送物を搬送する搬送装置であって、該搬送装置は、被搬送物を保持する保持部と、該保持面に対して気体を噴射するブローノズルと、該保持面に向かう方向に吸引力を発生させるバキュームノズルと、の少なくともいずれかを含むノズルユニットと、を備える。

【0009】

該ブローノズルは、該保持部を該保持面に相対的に接近させる際の進行方向前側に固定されることが好ましい。

【0010】

該バキュームノズルは、該ブローノズルより、該保持部を該保持面に相対的に接近させる際の進行方向前側に固定されることが好ましい。

【0011】

本発明の一態様は、上記の搬送装置を用いた被搬送物の搬送方法であって、該保持部を該保持テーブルの該保持面に対して相対的に接近させながら、該ブローノズルから気体を供給し、少なくとも該保持面に付着した異物を除去する第１ブローステップと、該保持部を該保持面に対して相対的に接近させながら、該バキュームノズルによって、少なくとも該保持面に付着した異物を除去する第１バキュームステップと、のいずれかを実施する異物除去ステップと、該異物除去ステップの後に、搬送アームで該保持面に被搬送物を載置する載置ステップと、を備える。

【0012】

該第１ブローステップは、該保持部で被搬送物を保持した状態で実施する。

【0013】

該載置ステップ後、該保持部を該保持面から相対的に離反させながら該ブローノズルから該被搬送物に対して気体を噴射して、該被搬送物に付着した異物を除去する第２ブローステップを備えてもよい。

【0014】

該保持面に保持された被搬送物に該保持部を相対的に接近させながら、該ブローノズルから被搬送物に気体を噴射して被搬送物の異物を除去する第３ブローステップと、該第３ブローステップ後、該保持部で該保持面から被搬送物を搬出する被搬送物搬出ステップと、をさらに備えてもよい。

【0015】

該保持テーブルは、該搬送アームの搬送時に開放されるシャッターを有するプラズマエッチング装置のチャンバー内に設置されていることが好ましい。

【発明の効果】

【0016】

本発明の搬送装置及び搬送方法によれば、被搬送物の搬送時に、ブローノズルからの気体の噴射と、バキュームノズルによる吸引力と、の少なくともいずれかを行って、保持テーブルの保持面から異物を除去するので、被搬送物の保持に際して、異物が原因で被搬送物に割れが発生することを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】プラズマエッチング装置の構成を示す図である。

【図2】搬送装置の第１の実施形態を示す上面図である。

【図3】第１エアブローステップを示す図である。

【図4】載置ステップを示す図である。

【図5】第２エアブローステップを示す図である。

【図6】第３エアブローステップを示す図である。

【図7】搬送装置の第２の実施形態を示す上面図である。

【図8】第１バキュームステップを示す図である。

【図9】載置ステップを示す図である。

【図10】第２バキュームステップを示す図である。

【図11】第３バキュームステップを示す図である。

【図12】搬送装置の第３の実施形態を示す上面図である。

【図13】第１ブローステップと第１バキュームステップとを同時に行っている状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

図１は、本実施形態の搬送装置及び搬送方法を適用した処理装置の一例として、プラズマエッチング装置１０を示している。プラズマエッチング装置１０は、半導体デバイスが形成されたウエーハやパッケージ基板などのワーク１１に対して、プラズマ化したガスによってエッチング（プラズマエッチング）を行う装置である。

【0019】

プラズマエッチング装置１０を用いて行うプラズマエッチングでは、ワーク１１に対して溝を形成したり、ワーク１１においてレーザー加工による熱の影響を受けた部分を除去して抗折強度を向上させたりすることができる。なお、プラズマエッチング装置１０で実施する加工の内容は、これに限定されない。

【0020】

プラズマエッチング装置１０に対してワーク１１を搬送する搬送装置３０を備える。ワーク１１は、プラズマエッチング装置１０における加工対象の被加工物であり、かつ、搬送装置３０による搬送対象の被搬送物である。

【0021】

プラズマエッチング装置１０と搬送装置３０は、図示を省略する制御部によって制御される。プラズマエッチング装置１０と搬送装置３０とを統括して制御する制御部を備えていてもよいし、プラズマエッチング装置１０の制御部と搬送装置３０の制御部を個別に備えて連係させてもよい。以下の説明におけるプラズマエッチング装置１０と搬送装置３０の各部の動作は、制御部に記憶した制御プログラムに基づいて、制御部が制御して実行させる。つまり、本発明における搬送方法は、制御部を主体として実施される。

【0022】

プラズマエッチング装置１０は、箱型のチャンバー１２を有し、チャンバー１２の内部には、外気と隔てられるチャンバー内空間１３が形成されている。チャンバー１２の側壁に、チャンバー内空間１３を外部と連通させる開口１４が形成されており、開口１４を開閉するシャッター１５が設けられている。シャッター１５を開放することにより、開口１４を通して、チャンバー内空間１３へのワーク１１の搬入と、チャンバー内空間１３からのワーク１１の搬出と、を行うことができる。ワーク１１の搬入及び搬出は、搬送装置３０を用いて行われる。

【0023】

チャンバー１２の内部に、ワーク１１を保持する保持面１７を有する保持テーブル１６が設けられている。保持テーブル１６は、静電吸着によってワーク１１を保持面１７に保持する静電吸着テーブルである。保持テーブル１６は、酸化アルミニウムや酸化チタンなどの誘電体で形成されており、保持テーブル１６の内部には電極１８が配設されている。電極１８には電圧印加部１９が接続している。電極１８によって保持面１７に直流電圧を印加すると、保持面１７とワーク１１との間に静電吸着力が発生してワーク１１が保持される。

【0024】

チャンバー１２の内部には、保持テーブル１６の上方に位置するガス供給ヘッド２０が設けられている。ガス供給ヘッド２０は、チャンバー１２に対して昇降可能に支持されている。ガス供給ヘッド２０の下面に複数のガス吐出口２１が形成されており、それぞれのガス吐出口２１は、ガス供給ヘッド２０の内部に形成したガス供給路２２に連通している。ガス供給路２２は、チャンバー１２の外部に設けたプラズマ発生部２３に接続し、ガス供給源２４がプラズマ発生部２３に接続している。

【0025】

ガス供給源２４は、エッチングガスや不活性ガスを混合した混合ガスをプラズマ発生部２３に供給する。プラズマ発生部２３は、混合ガスに高周波電圧を加える電極を備えており、混合ガスに高周波電圧を作用させることで、混合ガス中のエッチングガスや不活性ガスをプラズマ化（ラジカル化、イオン化など）させる。プラズマ発生部２３によってプラズマ化したエッチングガスや不活性ガスが、ガス供給路２２を通ってガス供給ヘッド２０に供給されて、ガス吐出口２１から吐出される。このように、プラズマエッチング装置１０は、プラズマ化したガスをチャンバー１２の外部からチャンバー内空間１３に導入する、リモートプラズマ方式の装置である。

【0026】

チャンバー１２の下部に排気管２５が接続している。排気管２５は、開閉弁２６を介して排気ポンプ２７に接続している。開閉弁２６を開いて排気ポンプ２７を駆動させることにより、排気管２５を通してチャンバー内空間１３からエアー（空気）やガスを排出して、チャンバー内空間１３を減圧することができる。

【0027】

プラズマエッチング装置１０に対してワーク１１を搬送する搬送装置３０を備える。搬送装置３０は、搬送アーム３１と、搬送アーム３１を上下方向に移動させる昇降機構３２と、搬送アーム３１を水平方向に移動させる水平移動機構３３と、を備えている。

【0028】

昇降機構３２と水平移動機構３３はそれぞれ、対象物を直線的に移動させることが可能な周知の駆動機構によって構成されている。例えば、ボールネジをモータによって回転させ、ボールネジの延在する方向に対象物を移動させる構成のボールネジ機構などを、昇降機構３２や水平移動機構３３に適用可能である。

【0029】

搬送アーム３１は、水平方向に延在するアーム部３４と、アーム部３４によって支持される保持部３５と、を有している。保持部３５は、ワーク１１の形状及び面積に対応した板状の保持プレートであり、保持部３５の下面に複数の吸引孔（図示略）が形成されている。保持部３５の吸引孔は吸引路３６に連通しており、吸引路３６は開閉弁３７を介して吸引源３８に接続している。開閉弁３７を開いて吸引源３８を駆動させると、吸引路３６からエアーが吸引されて、保持部３５の吸引孔に吸引力が作用する。この吸引力によって、保持部３５の下面にワーク１１を保持することができる。

【0030】

なお、搬送アーム３１においてワーク１１を保持する方法は、上記の構造には限定されない。例えば、保持部３５の下面に複数の吸引孔を形成する代わりに、保持部３５の下部に設けた複数の吸着パッドに吸引力を作用させ、複数の吸着パッドを介してワーク１１を保持する構造でもよい。あるいは、保持部３５の下面に、エアーを噴出させる複数の噴出孔を設け、噴出孔からエアーを噴射して、ベルヌーイの定理による効果を利用して、保持部３５の下面にワーク１１を引き付ける構造でもよい。

【0031】

プラズマエッチング装置１０でワーク１１をプラズマエッチング加工する際には、搬送装置３０によってワーク１１をプラズマエッチング装置１０に搬送する。搬送装置３０は、チャンバー１２の外部に位置する支持部（図示略）からワーク１１を受け取り、開閉弁３７を開くと共に吸引源３８を駆動して、保持部３５の下面にワーク１１を吸引保持する。昇降機構３２を動作させて上下方向における搬送アーム３１の位置を制御して、搬送アーム３１の高さ位置を、チャンバー１２の開口１４の高さ位置に対して一致させる。プラズマエッチング装置１０は、シャッター１５を閉鎖位置から開放位置に移動させて、開口１４を開放させる。

【0032】

続いて、搬送装置３０は、水平移動機構３３を動作させて、保持テーブル１６側に向けて搬送アーム３１を水平方向に移動させる。水平方向に移動する搬送アーム３１が、開口１４を通過してチャンバー内空間１３に入る。保持部３５が保持テーブル１６の直上に達したら、昇降機構３２を動作させて搬送アーム３１を下降させ、ワーク１１の下面を保持テーブル１６の保持面１７に載せる。

【0033】

保持面１７にワーク１１を載せたら、開閉弁３７を閉じ、吸引源３８の駆動を停止させて、保持部３５にワーク１１を吸引保持する状態を解除する。電圧印加部１９から電極１８に直流電圧を印加し、保持テーブル１６と保持面１７とワーク１１との間に静電吸着力を発生させて、保持面１７にワーク１１を吸着保持させる。この段階で、搬送アーム３１の保持部３５から保持テーブル１６へのワーク１１の受け渡しが完了する。

【0034】

搬送アーム３１から保持テーブル１６へのワーク１１の受け渡しが完了したら、昇降機構３２によって搬送アーム３１を上昇させてワーク１１から保持部３５を離間させる。続いて、水平移動機構３３によって、搬送アーム３１をチャンバー内空間１３から離脱させる方向に移動させる。搬送アーム３１が開口１４を通過したら、シャッター１５を閉鎖位置へ移動させて開口１４を塞ぐ。

【0035】

プラズマエッチング装置１０は、シャッター１５を閉じてチャンバー内空間１３が密閉されたら、開閉弁２６を開いて排気ポンプ２７を駆動させ、排気管２５を通してチャンバー内空間１３を減圧させる。また、ガス供給源２４から供給された混合ガスに含まれるエッチングガスや不活性ガスを、プラズマ発生部２３でプラズマ化させる。プラズマ化したガスが、ガス供給路２２を通ってガス供給ヘッド２０のガス吐出口２１から吐出され、減圧状態のチャンバー内空間１３に導入される。そして、ワーク１１に対してプラズマエッチング加工が行われる。

【0036】

ワーク１１に対するプラズマエッチング加工が完了したら、排気ポンプ２７の駆動を停止し、チャンバー内空間１３にエアーを流入させて、チャンバー内空間１３の減圧状態を解除して、チャンバー内空間１３を大気圧と同程度の圧力にする。チャンバー内空間１３の圧力調整が完了したら、シャッター１５を閉鎖位置から開放位置へ移動させて開口１４を開放する。

【0037】

続いて、プラズマエッチング完了後のワーク１１を、搬送装置３０を用いてチャンバー内空間１３から搬出する。搬送装置３０は、水平移動機構３３を動作させて、保持テーブル１６側に向けて搬送アーム３１を水平方向に移動させる。水平方向に移動する搬送アーム３１が、開口１４を通過してチャンバー内空間１３に入る。

【0038】

搬送アーム３１が保持テーブル１６の直上に達したら、昇降機構３２を動作させて搬送アーム３１を下降させて保持部３５をワーク１１に接近させる。開閉弁３７を開き、吸引源３８を駆動させて、保持部３５にワーク１１を吸引保持する。また、電圧印加部１９から電極１８への直流電圧の印加を停止し、保持テーブル１６と保持面１７によるワーク１１の静電吸着を解除させる。

【0039】

保持部３５がワーク１１を吸引保持したら、昇降機構３２を動作させて搬送アーム３１を上昇させ、ワーク１１を保持した保持部３５を保持テーブル１６から上方へ離間させる。続いて、水平移動機構３３を動作させて、搬送アーム３１をチャンバー内空間１３から理離脱させる方向、すなわち、保持テーブル１６の保持面１７から保持部３５を離反させる方向に移動させる。搬送アーム３１が開口１４を通過したら、シャッター１５を閉鎖位置へ移動させて開口１４を塞ぐ。

【0040】

以上のようにして、プラズマエッチング装置１０において、チャンバー内空間１３内の保持テーブル１６へのワーク１１の搬入、チャンバー内空間１３内でのワーク１１に対するプラズマエッチング加工、加工後のワーク１１のチャンバー内空間１３からの搬出、が行われる。

【0041】

ところで、プラズマエッチング装置１０にワーク１１を搬送して保持テーブル１６の保持面１７にワーク１１を保持させる際に、保持面１７に異物が付着していると、保持面１７にワーク１１を保持させる力（搬送装置３０の搬送アーム３１がワーク１１を保持テーブル１６に載置して押し付ける力、保持テーブル１６が保持面１７にワーク１１を静電吸着する力、など）に応じて、異物の箇所でワーク１１に対して局所的な強い負荷が作用し、異物を起点としてワーク１１に割れが発生するおそれがある。

【0042】

特に、プラズマエッチング装置１０においてワーク１１に対して行われるプラズマエッチング加工は、液体を供給しないドライエッチングであるため、保持テーブル１６の保持面１７に異物が付着している場合に、洗浄液や加工液などの液体を供給して異物を洗浄することができないという制約がある。

【0043】

ここで、出願人は、搬送装置３０が備えるノズルユニットからの気体の噴射や吸引力の発生を利用して、保持テーブル１６の保持面１７に付着した異物を除去することによって、保持面１７を液体によって洗浄できない条件下であっても、保持面１７への異物の付着を原因としたワーク１１の割れが発生することを防止できるという着想に至った。以下、このような特徴を備えた搬送装置３０の実施形態を説明する。

【0044】

図２から図６は、搬送装置３０の第１の実施形態を示している。図７から図１１は、搬送装置３０の第２の実施形態を示している。図１２及び図１３は、搬送装置３０の第３の実施形態を示している。図２、図７、図１２は、各実施形態の搬送装置３０の上面図であり、図３から図６、図８から図１１、図１３は、各実施形態の搬送装置３０の断面図である。これらの各実施形態において、チャンバー１２の外側からチャンバー内空間１３内の保持テーブル１６に保持部３５を接近させる際の搬送アーム３１の移動方向を、進行方向Ｅａとする。また、チャンバー内空間１３内の保持テーブル１６からチャンバー１２の外側に保持部３５を離反させる搬送アーム３１の移動方向を、離反方向Ｅｂとする。また、各実施形態では、ワーク１１は円形であり、保持部３５はワーク１１に対応した円板形状である。

【0045】

搬送装置３０の第１の実施形態では、ノズルユニットとして、搬送アーム３１の保持部３５にブローノズル４０を備えている。図２に示すように、ブローノズル４０は、保持部３５の外縁に沿って、周方向の所定の範囲に設けられている。詳しくは、ブローノズル４０は、搬送アーム３１がチャンバー１２の外側に位置する状態で、保持部３５のうち、保持テーブル１６側に向く約半周の領域に固定されている。換言すれば、ブローノズル４０は、保持部３５を保持テーブル１６の保持面１７に相対的に接近させる際の進行方向Ｅａの前側に固定されている。

【0046】

ブローノズル４０は、内部に空洞状の気体供給路を有する管状構造（円筒構造）の本体部４１を備え、本体部４１は、保持部３５の周方向に延在する湾曲した形状を有している。ブローノズル４０は、本体部４１の長手方向に所定の間隔で、複数の噴射口４２を備えている。各噴射口４２は、保持部３５の外周方向よりもやや下向きに開口している。つまり、進行方向Ｅａ側の斜め下方に向けて、各噴射口４２が形成されている。本体部４１の長手方向において複数の噴射口４２が形成されている範囲は、保持テーブル１６の保持面１７の直径よりも広い。つまり、複数の噴射口４２から、保持面１７の直径をカバー可能な範囲に気体Ｆが噴射される。

【0047】

本体部４１内の気体供給路は、開閉弁４３を介して気体供給源４４に接続している。開閉弁４３を開いて気体供給源４４を駆動させると、気体供給源４４から送出された気体Ｆが、本体部４１の気体供給路を通って、ブローノズル４０の噴射口４２から噴射される。気体供給源４４から送出される気体Ｆは、例えば、エアー（空気）や窒素などの不活性ガスであり、ブローノズル４０から噴射されて保持面１７やワーク１１に対して接触したときに、保持面１７やワーク１１に対して悪影響を及ぼさない性質の気体が選択される。

【0048】

以上のように構成された第１の実施形態の搬送装置３０では、少なくとも、ワーク１１を保持テーブル１６に搬入する際に、ブローノズル４０からの気体Ｆの噴射によって、保持テーブル１６の保持面１７に付着した異物を除去する異物除去ステップを行う。

【0049】

異物除去ステップでは、図３に示すように、第１ブローステップを行う。第１ブローステップは、ワーク１１を保持部３５で保持した状態で実施され、保持部３５をチャンバー１２の外部からチャンバー内空間１３に移動させて保持テーブル１６に接近させる動作中に、ブローノズル４０から気体Ｆを噴射し、保持面１７に付着した異物Ｄを除去する。また、第１ブローステップでは、ブローノズル４０と保持面１７との周辺の雰囲気中に浮遊する異物についても、ブローノズル４０から噴射される気体Ｆによって、保持面１７の外側に吹き飛ばして除去することができる。

【0050】

詳しくは、ワーク１１を保持テーブル１６に搬入する際に、シャッター１５を開放動作させて開口１４を開く。そして、保持部３５がワーク１１を保持している状態の搬送アーム３１を、水平移動機構３３によって保持テーブル１６の保持面１７に対して進行方向Ｅａに移動させ、保持部３５と保持面１７を相対的に接近させる。その際に、開閉弁４３を開いて気体供給源４４を駆動させて、ブローノズル４０の噴射口４２から気体Ｆを噴射する。

【0051】

ワーク１１を保持する保持部３５が開口１４を通過して保持テーブル１６に接近すると、進行方向Ｅａの前側に配設したブローノズル４０から噴射された気体Ｆが、保持面１７に対して吹き付けられ、保持面１７に付着した異物Ｄや、保持面１７の周辺に浮遊する異物を、気体Ｆの圧力で吹き飛ばして保持面１７及びその周辺から除去する。これにより、ワーク１１を保持テーブル１６に受け渡す前に、保持面１７上に異物が無いクリーンな状態にさせることができる。

【0052】

保持部３５を保持テーブル１６の保持面１７に相対的に接近させる際の進行方向Ｅａの前側にブローノズル４０を設置し、保持部３５を進行方向Ｅａに移動させながら、ブローノズル４０からの気体Ｆの噴射を行うので、搬送アーム３１の移動距離を活かして保持面１７の全体に気体Ｆを噴射し、保持面１７の径方向外側に異物Ｄを排出することができる。

【0053】

第１ブローステップの後、載置ステップを行う。図４に示すように、載置ステップでは、ワーク１１の全体が保持テーブル１６の直上に達したら、昇降機構３２を動作させて搬送アーム３１を下降させ、ワーク１１を保持面１７に載せる。ワーク１１を保持部３５に吸引保持する状態を解除すると共に、電圧印加部１９から電極１８に電圧印加を行ってワーク１１を保持面１７に吸着保持させる。

【0054】

先に実施した第１ブローステップにおいて、ブローノズル４０から気体Ｆを噴射して保持面１７から異物を除去しているので、保持面１７に載せたワーク１１の下面側に異物が入り込まず、保持面１７にワーク１１を保持させる際に、ワーク１１に対して局所的な負荷が作用せず、異物を起点としたワーク１１の割れを防止できる。

【0055】

また、第１ブローステップは、保持部３５でワーク１１を保持した状態で実施し、チャンバー内空間１３にワーク１１を搬入するために行うシャッター１５の開放動作を利用して、ブローノズル４０を備えた保持部３５に開口１４を通過させて、ブローノズル４０から保持面１７に向けて気体Ｆを噴射可能な状態にさせる。つまり、保持面１７から異物Ｄを除去する清掃のためだけにシャッター１５を開放動作させることがないので、開口１４が開放される時間を最小限にできる。さらに、第１ブローステップは、ワーク１１を保持テーブル１６に搬入する際に搬送アーム３１が移動する時間に実施され、異物除去のための時間を別途必要としないので、生産性を低下させることがない。

【0056】

チャンバー内空間１３にある保持テーブル１６にワーク１１を搬入する際は、チャンバー内空間１３への異物の進入を防ぐために、大気へのチャンバー内空間１３の開放頻度を最低限にしたいという要望がある。ワーク１１の搬入時に異物除去を実施する第１ブローステップによれば、チャンバー１２の開口１４の開閉頻度を削減して、チャンバー内空間１３への異物の進入を防ぐ効果が得られる。

【0057】

載置ステップ後、第２ブローステップを行う。図５に示すように、第２ブローステップでは、保持テーブル１６にワーク１１を受け渡した搬送アーム３１を、チャンバー内空間１３からチャンバー１２の外側に移動させる動作中に、ブローノズル４０から気体Ｆを噴射し、ワーク１１に付着した異物を除去する。また、第２ブローステップでは、ブローノズル４０とワーク１１及び保持面１７との周辺の雰囲気中に浮遊する異物についても、ブローノズル４０から噴射される気体Ｆによって、保持面１７の外側に吹き飛ばして除去することができる。

【0058】

詳しくは、保持部３５がワーク１１の保持を解除した状態の搬送アーム３１を、昇降機構３２を動作させて上昇させ、続いて、水平移動機構３３を動作させて搬送アーム３１を離反方向Ｅｂへ移動させ、保持部３５を保持面１７から相対的に離反させながらブローノズル４０の噴射口４２から気体Ｆを噴射する。ブローノズル４０から噴射された気体Ｆが、ワーク１１の上面に吹き付けられ、ワーク１１の上面に付着した異物（図には示していない）や、ワーク１１及び保持面１７の周辺に浮遊する異物を吹き飛ばして、ワーク１１の径方向外側に排出する。

【0059】

これにより、保持テーブル１６に受け渡した後のワーク１１上に異物が無いクリーンな状態にさせることができ、その後にワーク１１に対して行うプラズマエッチングを、異物の影響を受けずに実施させることができる。

【0060】

第２ブローステップでは、ワーク１１を保持テーブル１６に受け渡した後の搬送アーム３１を、チャンバー内空間１３から離脱させる離反方向Ｅｂに移動させながら、ブローノズル４０からの気体Ｆの噴射を行うので、搬送アーム３１の移動距離を活かしてワーク１１の上面全体に気体Ｆを噴射し、ワーク１１の径方向外側に異物を排出することができる。

【0061】

また、第２ブローステップは、チャンバー内空間１３からチャンバー１２の外部に搬送アーム３１を離脱させる際に実施されるので、チャンバー１２の開口１４の開閉頻度を削減して、チャンバー内空間１３への異物の進入を防ぐ効果が得られる。さらに、第２ブローステップは、保持テーブル１６から保持部３５を離反させる（チャンバー内空間１３から搬送アーム３１を離脱させる）移動時間に実施され、異物除去のための時間を別途必要としないので、生産性を低下させることがない。

【0062】

第２ブローステップを実施しながら離反方向Ｅｂに移動する搬送アーム３１が、開口１４を通過してチャンバー内空間１３の外側に出たら、シャッター１５を閉鎖動作させて開口１４を閉じる。

【0063】

続いて、チャンバー内空間１３を減圧し、プラズマ発生部２３でプラズマ化したガスを、ガス供給ヘッド２０からチャンバー内空間１３に導入して、ワーク１１に対してプラズマエッチング加工を行う。プラズマエッチングが完了したら、チャンバー内空間１３の減圧状態を解除し、シャッター１５を開放位置に移動させる。

【0064】

プラズマエッチング後、第３ブローステップを行う。図６に示すように、第３ブローステップでは、ワーク１１を保持していない搬送アーム３１をチャンバー１２の外部からチャンバー内空間１３に移動させる動作中に、ブローノズル４０から気体Ｆを噴射し、ワーク１１に付着した異物を除去する。また、第３ブローステップでは、ブローノズル４０とワーク１１及び保持面１７との周辺の雰囲気中に浮遊する異物についても、ブローノズル４０から噴射される気体Ｆによって、保持面１７の外側に吹き飛ばして除去することができる。

【0065】

詳しくは、保持部３５がワーク１１を保持していない状態の搬送アーム３１を、水平移動機構３３によって保持テーブル１６の保持面１７に対して進行方向Ｅａに移動させ、保持部３５と保持面１７とを相対的に接近させながら、ブローノズル４０の噴射口４２から気体Ｆを噴射する。

【0066】

プラズマエッチング後にシャッター１５を開放位置に移動させて開口１４を開放しており、進行方向Ｅａに移動する保持部３５が開口１４を通過して保持テーブル１６に接近すると、ブローノズル４０から噴射された気体Ｆが、ワーク１１の上面に吹き付けられ、ワーク１１の上面に付着した異物や、ワーク１１及び保持面１７の周辺に浮遊する異物を、ワーク１１の径方向外側に排出する。

【0067】

これにより、先の第２ブローステップ以降にワーク１１に付着した異物や、プラズマエッチング加工の際に発生してワーク１１に付着した異物などを、ワーク１１から除去することができ、加工後のワーク１１をクリーンな状態にさせることができる。

【0068】

第３ブローステップは、チャンバー内空間１３からワーク１１を搬出する準備段階として、進行方向Ｅａに搬送アーム３１を移動させて保持テーブル１６に接近させる動作を利用して行われる。そのため、ワーク１１から異物を除去する清掃のためだけにシャッター１５を開放動作させることがないので、開口１４が開放される時間を最小限にでき、チャンバー１２の開口１４の開閉頻度を削減して、チャンバー内空間１３への異物の進入を防ぐ効果が得られる。さらに、第３ブローステップは、保持テーブル１６に保持部３５を接近させる（チャンバー内空間１３に搬送アーム３１を挿入させる）移動時間に実施され、異物除去のための時間を別途必要としないので、生産性を低下させることがない。

【0069】

搬送アーム３１がチャンバー内空間１３に挿入され、保持部３５が保持テーブル１６の直上に達したら、昇降機構３２を動作させて搬送アーム３１を下降させ、保持部３５にワーク１１を吸引保持する。また、保持テーブル１６の保持面１７へのワーク１１の吸着保持を解除する。第３ブローステップにおいて、ブローノズル４０から気体Ｆを噴射してワーク１１の上面から異物を除去しているので、保持部３５の下面とワーク１１の上面との間に異物が入り込まない。従って、保持部３５にワーク１１を保持させる際に、異物を起点としてワーク１１が割れることを防止できる。

【0070】

第３ブローステップ後、被搬送物搬出ステップを行う。被搬送物搬出ステップでは、保持部３５がワーク１１を保持した状態の搬送アーム３１を、昇降機構３２を動作させて上昇させ、続いて、水平移動機構３３を動作させて搬送アーム３１を離反方向Ｅｂへ移動させる。

【0071】

この被搬送物搬出ステップの際に、第４ブローステップとして、ブローノズル４０から気体Ｆを噴射して、保持面１７の上面を清掃することも可能である。プラズマエッチングの際には、保持面１７の上面はワーク１１に覆われていて異物の付着が生じにくい状態であるが、プラズマエッチング後に保持面１７からワーク１１を引き上げた後に、チャンバー内空間１３に浮遊していた異物が保持面１７に付着する可能性がある。このような保持面１７上の異物を、第４ブローステップの実施によって除去することができる。なお、次に加工するワーク１１を保持テーブル１６に搬入する際に、先に説明した第１ブローステップを実施することで、保持面１７上の異物を除去できるので、第４ブローステップは実施しなくても良い。

【0072】

第４ブローステップが有用な場合として、例えば、次のプラズマエッチング加工までの待機時間が長く、保持面１７上に異物が付着したままの状況が長く続くことにより、異物が周囲の空気中の水分を吸収して保持面１７から離れにくくなる（固着する）場合などが挙げられる。このような場合には、第４ブローステップを実施して保持面１７を清掃してから、一連の加工サイクルを完了することで、保持面１７への異物の付着防止効果が向上する。

【0073】

第４ブローステップの実施の有無に関わらず、離反方向Ｅｂへ移動する搬送アーム３１が開口１４を通過したら、シャッター１５を閉鎖位置に移動させて開口１４を閉じ、チャンバー内空間１３を大気に対して遮断された密閉状態にして、被搬送物搬出ステップを完了する。

【0074】

このようにして、プラズマエッチング装置１０における一連の加工と、第１の実施形態の搬送装置３０による一連の搬送動作とが、完了する。

【0075】

なお、上記のいずれのブローステップでも、複数回実施して異物除去効果を高めても良い。詳しくは、１度のブローステップにおいて、保持部３５を進行方向Ｅａと離反方向Ｅｂに複数回移動させながらブローノズル４０から気体Ｆを噴射することによって、保持面１７及びその周辺への気体Ｆの吹き付けを複数回実施することができる。

【0076】

また、それぞれのブローステップにおける、搬送アーム３１の移動速度を変更することも可能である。例えば、搬送アーム３１の移動速度を遅くして、保持面１７やワーク１１に対する単位面積当たりの気体Ｆの吹き付けの総量を多くして、異物除去効果を向上させることができる。

【0077】

さらに、気体供給源４４から送出される気体の流速や流量を可変にして、それぞれのブローステップにおいて、ブローノズル４０から噴射される気体Ｆの風量や風圧を変更することも可能である。例えば、保持面１７やワーク１１への異物の付着が発生しやすい条件下では、ブローノズル４０から噴射する気体Ｆの風量や風圧を大きくするように制御する。

【0078】

以上のように、第１の実施形態の搬送装置３０では、ワーク１１を保持テーブル１６の保持面１７に搬入する際や、ワーク１１を保持テーブル１６の保持面１７から搬出する際に、保持部３５に設けたブローノズル４０から気体Ｆを噴射して（ブローステップを実施して）、保持面１７やワーク１１を洗浄して異物を除去することができる。気体Ｆの噴射による洗浄であるため、ワーク１１に対してドライ加工であるプラズマエッチングを行うプラズマエッチング装置１０においても、効果的な洗浄を実施することが可能である。

【0079】

搬送装置３０の第２の実施形態では、ノズルユニットとして、搬送アーム３１の保持部３５にバキュームノズル５０を備えている。図７に示すように、バキュームノズル５０は、保持部３５の外縁に沿って、周方向の所定の範囲に設けられている。詳しくは、バキュームノズル５０は、保持部３５のうち、搬送アーム３１がチャンバー１２の外側に位置する状態で、保持テーブル１６側に向く約半周の領域に固定されている。換言すれば、バキュームノズル５０は、保持部３５を保持テーブル１６の保持面１７に相対的に接近させる際の進行方向Ｅａの前側に固定されている。

【0080】

バキュームノズル５０は、内部に空洞状の気体吸引路を有する管状構造（角筒構造）の本体部５１を備え、本体部５１は、保持部３５の周方向に延在する湾曲した形状を有している。本体部５１の下面側に吸引口５２を備えている。吸引口５２は下向きに開口しており、本体部５１の長手方向の略全体に亘って連続して吸引口５２が形成されている。本体部５１の長手方向において吸引口５２が形成されている範囲は、保持テーブル１６の保持面１７の直径よりも広い。つまり、吸引口５２に、保持面１７の直径をカバー可能な範囲の吸引力Ｇを作用させることができる。

【0081】

図８から図１１に示すバキュームノズル５０の吸引口５２は、進行方向Ｅａ及び離反方向Ｅｂに対して略垂直（真下）に向く形状であるが、バキュームノズル５０が備える吸引口の形状はこれに限定されない。例えば、バキュームノズル５０は、下方に進むほど進行方向Ｅａの前側に傾斜した形状の吸引口を備えても良い。また、バキュームノズル５０は、異なる方向に開口する複数の吸引口を備えていても良い。

【0082】

本体部５１内の気体吸引路は、開閉弁５３を介して吸引源５４に接続している。開閉弁５３を開いて吸引源５４を駆動させると、吸引口５２からエアーが吸引され、吸引力Ｇが発生する。なお、図８では、吸引力Ｇを表す矢印を、バキュームノズル５０の長手方向に間隔を空けて間欠的に示しているが、実際には、バキュームノズル５０の長手方向に連続して形成された吸引口５２の全体に亘って吸引力Ｇが作用する。

【0083】

以上のように構成された第２の実施形態の搬送装置３０では、少なくとも、ワーク１１を保持テーブル１６に搬送する際に、バキュームノズル５０に作用する吸引力Ｇによって、保持テーブル１６の保持面１７に付着した異物を除去する異物除去ステップを行う。

【0084】

異物除去ステップでは、図８に示すように、第１バキュームステップを行う。第１バキュームステップは、ワーク１１を保持部３５で保持した状態で実施され、保持部３５をチャンバー１２の外部からチャンバー内空間１３に移動させて保持テーブル１６に接近させる動作中に、バキュームノズル５０において保持面１７に向かう方向に吸引力Ｇを発生させて、保持面１７に付着している異物Ｄや、バキュームノズル５０と保持面１７との周辺の雰囲気中に浮遊する異物を吸引して除去する。つまり、バキュームノズル５０による吸引力Ｇが作用する方向（保持面１７に向かう方向）とは、保持面１７に付着した異物と、バキュームノズル５０と保持面１７との周辺の雰囲気中に浮遊する異物、の少なくともいずれかに吸引力を発生させられる方向を示す。

【0085】

詳しくは、ワーク１１を保持テーブル１６に搬入する際に、シャッター１５を開放動作させて開口１４を開く。そして、保持部３５がワーク１１を保持している状態の搬送アーム３１を、水平移動機構３３によって保持テーブル１６の保持面１７に対して進行方向Ｅａに移動させ、保持部３５と保持面１７とを相対的に接近させる。その際に、開閉弁５３を開いて吸引源５４を駆動させて、バキュームノズル５０の吸引口５２に吸引力Ｇを作用させる。

【0086】

ワーク１１を保持する保持部３５が開口１４を通過して保持テーブル１６に接近すると、進行方向Ｅａの前側に配設したバキュームノズル５０の吸引口５２に作用する吸引力Ｇによって、保持面１７に付着した異物Ｄや、保持面１７の周辺に浮遊する異物が、吸引口５２から吸引されて除去される。これにより、ワーク１１を保持テーブル１６に受け渡す前に、保持面１７上に異物が無いクリーンな状態にさせることができる。

【0087】

保持部３５を保持テーブル１６の保持面１７に相対的に接近させる際の進行方向Ｅａの前側にバキュームノズル５０を設置し、保持部３５を進行方向Ｅａに移動させながら、バキュームノズル５０による異物Ｄの吸引を行うので、搬送アーム３１の移動距離を活かして保持面１７の全体に吸引力Ｇを作用させて、保持面１７から異物Ｄを除去することができる。

【0088】

第１バキュームステップの後、載置ステップを行う。図９に示すように、載置ステップでは、ワーク１１の全体が保持テーブル１６の直上に達したら、昇降機構３２を動作させて搬送アーム３１を下降させ、ワーク１１を保持面１７に載せる。ワーク１１を保持部３５に吸引保持する状態を解除すると共に、電圧印加部１９から電極１８に電圧印加を行って保持面１７にワーク１１を吸着保持させる。

【0089】

先に実施した第１バキュームステップにおいて、バキュームノズル５０に発生させた吸引力Ｇで保持面１７から異物を除去しているので、保持面１７に載せたワーク１１の下面側に異物が入り込まず、保持面１７にワーク１１を保持させる際に、ワーク１１に対して局所的な負荷が作用せず、異物を起点としたワーク１１の割れを防止できる。

【0090】

また、第１バキュームステップは、保持部３５でワーク１１を保持した状態で実施し、チャンバー内空間１３にワーク１１を搬入するために行うシャッター１５の開放動作を利用して、バキュームノズル５０を備えた保持部３５に開口１４を通過させて、バキュームノズル５０によって保持面１７上の異物Ｄを吸引除去可能な状態にさせることができる。つまり、保持面１７から異物Ｄを除去する清掃のためだけにシャッター１５を開放動作させることがないので、開口１４が開放される時間を最小限にできる。さらに、第１バキュームステップは、ワーク１１を保持テーブル１６に搬入する際に搬送アーム３１が移動する時間に実施され、異物除去のための時間を別途必要としないので、生産性を低下させることがない。

【0091】

従って、ワーク１１の搬入時に異物除去を実施する第１バキュームステップによれば、チャンバー１２の開口１４の開閉頻度を削減して、チャンバー内空間１３への異物の進入を防ぐ効果が得られる。

【0092】

載置ステップ後、第２バキュームステップを行う。図１０に示すように、第２バキュームステップでは、保持テーブル１６にワーク１１を受け渡した搬送アーム３１を、チャンバー内空間１３からチャンバー１２の外側に移動させる動作中に、バキュームノズル５０に吸引力Ｇを発生させ、ワーク１１に付着した異物を吸引して除去する。また、第２バキュームステップでは、バキュームノズル５０とワーク１１及び保持面１７との周辺の雰囲気中に浮遊する異物についても、吸引力Ｇによってバキュームノズル５０に吸引して除去することができる。

【0093】

詳しくは、保持部３５がワーク１１の保持を解除した状態の搬送アーム３１を、昇降機構３２を動作させて上昇させ、続いて、水平移動機構３３を動作させて搬送アーム３１を離反方向Ｅｂへ移動させ、保持部３５を保持面１７から相対的に離反させながらバキュームノズル５０の吸引口５２からの吸引を行い、ワーク１１の上面に付着した異物（図には示していない）や、ワーク１１及び保持面１７の周辺に浮遊する異物を吸引して除去する。

【0094】

これにより、保持テーブル１６に受け渡した後のワーク１１上に異物が無いクリーンな状態にさせることができ、その後にワーク１１に対して行うプラズマエッチングを、異物の影響を受けずに実施させることができる。

【0095】

第２バキュームステップでは、ワーク１１を保持テーブル１６に受け渡した後の搬送アーム３１を、チャンバー内空間１３から離脱させる離反方向Ｅｂに移動させながら、バキュームノズル５０での吸引を行うので、搬送アーム３１の移動距離を活かしてワーク１１の上面全体に吸引力を作用させて、ワーク１１から異物を除去することができる。

【0096】

また、第２バキュームステップは、チャンバー内空間１３からチャンバー１２の外部に搬送アーム３１を離脱させる際に実施されるので、チャンバー１２の開口１４の開閉頻度を削減して、チャンバー内空間１３への異物の進入を防ぐ効果が得られる。さらに、第２バキュームステップは、保持テーブル１６から保持部３５を離反させる（チャンバー内空間１３から搬送アーム３１を離脱させる）移動時間に実施され、異物除去のための時間を別途必要としないので、生産性を低下させることがない。

【0097】

第２バキュームステップを実施しながら離反方向Ｅｂに移動する搬送アーム３１が、開口１４を通過してチャンバー内空間１３の外側に出たら、シャッター１５を閉鎖動作させて開口１４を閉じる。

【0098】

続いて、チャンバー内空間１３を減圧し、プラズマ発生部２３でプラズマ化したガスを、ガス供給ヘッド２０からチャンバー内空間１３に導入して、ワーク１１に対してプラズマエッチング加工を行う。プラズマエッチングが完了したら、チャンバー内空間１３の減圧状態を解除し、シャッター１５を開放位置に移動させる。

【0099】

プラズマエッチング後、第３バキュームステップを行う。図１１に示すように、第３バキュームステップでは、ワーク１１を保持していない搬送アーム３１をチャンバー１２の外部からチャンバー内空間１３に移動させる動作中に、バキュームノズル５０に吸引力Ｇを発生させ、ワーク１１に付着した異物を吸引して除去する。また、第３バキュームステップでは、バキュームノズル５０とワーク１１及び保持面１７との周辺の雰囲気中に浮遊する異物についても、吸引力Ｇによってバキュームノズル５０に吸引して除去することができる。

【0100】

詳しくは、保持部３５がワーク１１を保持していない状態の搬送アーム３１を、水平移動機構３３によって保持テーブル１６の保持面１７に対して進行方向Ｅａに移動させ、保持部３５と保持面１７を相対的に接近させながら、バキュームノズル５０の吸引口５２に吸引力Ｇを作用させる。

【0101】

プラズマエッチング後にシャッター１５を開放位置に移動させて開口１４を開いており、進行方向Ｅａに移動する保持部３５が開口１４を通過して保持テーブル１６に接近すると、バキュームノズル５０の吸引力Ｇがワーク１１の上面に作用し、ワーク１１の上面に付着した異物や、ワーク１１及び保持面１７の周辺に浮遊する異物が、バキュームノズル５０の吸引口５２に吸い込まれてワーク１１から除去される。

【0102】

これにより、先の第２バキュームステップ以降にワーク１１に付着した異物や、プラズマエッチング加工の際に発生してワーク１１に付着した異物などを、ワーク１１から除去することができ、加工後のワーク１１をクリーンな状態にさせることができる。

【0103】

第３バキュームステップは、チャンバー内空間１３からワーク１１を搬出する準備段階として、進行方向Ｅａに搬送アーム３１を移動させて保持テーブル１６に接近させる動作を利用して行われる。そのため、ワーク１１から異物を除去する清掃のためだけにシャッター１５を開放動作させることがないので、開口１４が開放される時間を最小限にでき、チャンバー１２の開口１４の開閉頻度を削減して、チャンバー内空間１３への異物の進入を防ぐ効果が得られる。さらに、第３バキュームステップは、保持テーブル１６に保持部３５を接近させる（チャンバー内空間１３に搬送アーム３１を挿入させる）移動時間に実施され、異物除去のための時間を別途必要としないので、生産性を低下させることがない。

【0104】

搬送アーム３１がチャンバー内空間１３に挿入され、保持部３５が保持テーブル１６の直上に達したら、昇降機構３２を動作させて搬送アーム３１を下降させ、保持部３５にワーク１１を吸引保持する。また、保持テーブル１６の保持面１７へのワーク１１の吸着保持を解除する。第３バキュームステップにおいて、バキュームノズル５０による吸引を行ってワーク１１の上面から異物を除去しているので、保持部３５の下面とワーク１１の上面との間に異物が入り込まない。従って、保持部３５にワーク１１を保持させる際に、異物を起点としてワーク１１が割れることを防止できる。

【0105】

第３バキュームステップ後、被搬送物搬出ステップを行う。被搬送物搬出ステップでは、保持部３５がワーク１１を保持した状態の搬送アーム３１を、昇降機構３２を動作させて上昇させ、続いて、水平移動機構３３を動作させて搬送アーム３１を離反方向Ｅｂへ移動させる。

【0106】

この被搬送物搬出ステップの際に、第４バキュームステップとして、バキュームノズル５０による吸引を行って、保持面１７の上面を清掃することも可能である。プラズマエッチング後に保持面１７からワーク１１を引き上げた後に、チャンバー内空間１３に浮遊していた異物が保持面１７に付着した場合、このような保持面１７上の異物を、第４バキュームステップの実施によって除去することができる。なお、次に加工するワーク１１を保持テーブル１６に搬入する際に、先に説明した第１バキュームステップを実施することで、保持面１７上の異物を除去できるので、第４バキュームステップは実施しなくても良い。

【0107】

上記の第４ブローステップの場合と同様に、第４バキュームステップが有用な場合として、例えば、次のプラズマエッチング加工までの待機時間が長い場合が挙げられる。このような場合には、第４バキュームステップを実施して保持面１７を清掃してから一連の加工サイクルを完了することで、保持面１７上の異物を除去する効果が向上する。

【0108】

第４バキュームステップの実施の有無に関わらず、離反方向Ｅｂへ移動する搬送アーム３１が開口１４を通過したら、シャッター１５を閉鎖位置に移動させて開口１４を閉じ、チャンバー内空間１３を大気に対して遮断された密閉状態にして、被搬送物搬出ステップを完了する。

【0109】

このようにして、プラズマエッチング装置１０における一連の加工と、第２の実施形態の搬送装置３０による一連の搬送動作とが、完了する。

【0110】

なお、上記のいずれのバキュームステップでも、複数回実施して異物除去効果を高めても良い。詳しくは、１度のバキュームステップにおいて、保持部３５を進行方向Ｅａと離反方向Ｅｂに複数回移動させながらバキュームノズル５０に吸引力Ｇを発生させることによって、保持面１７及びその周辺への吸引動作を複数回実施することができる。

【0111】

また、それぞれのバキュームステップにおける、搬送アーム３１の移動速度を変更することも可能である。例えば、搬送アーム３１の移動速度を遅くして、保持面１７やワーク１１に対する単位面積当たりの吸引時間を長くして、異物除去効果を向上させることができる。

【0112】

さらに、吸引源５４の吸引力を可変にして、それぞれのバキュームステップにおいて、バキュームノズル５０の吸引力Ｇを変更することも可能である。例えば、保持面１７やワーク１１への異物の付着が発生しやすい条件下では、バキュームノズル５０の吸引力Ｇを大きくするように制御する。

【0113】

以上のように、第２の実施形態の搬送装置３０では、ワーク１１を保持テーブル１６の保持面１７に搬入する際や、ワーク１１を保持テーブル１６の保持面１７から搬出する際に、保持部３５に設けたバキュームノズル５０による吸引を行って、保持面１７やワーク１１を洗浄して異物を除去することができる。吸引による洗浄であるため、ワーク１１に対してドライ加工であるプラズマエッチングを行うプラズマエッチング装置１０においても、効果的な洗浄を実施することが可能である。

【0114】

搬送装置３０の第３の実施形態では、搬送アーム３１が備えるノズルユニットとして、保持部３５にブローノズル４０とバキュームノズル５０の両方を固定している。図１２及び図１３に示すように、ブローノズル４０とバキュームノズル５０の基本的な構造は、上記の第１の実施形態及び第２の実施形態と同様であるが、バキュームノズル５０が、ブローノズル４０よりも、保持部３５を保持テーブル１６の保持面１７に相対的に接近させる際の進行方向Ｅａの前側に固定されている。換言すれば、バキュームノズル５０が、ブローノズル４０よりも、保持部３５の径方向外側に配置されている。バキュームノズル５０は、保持部３５に対して支持ブラケット５５を介して支持されており、ブローノズル４０を跨ぐように径方向外側に配置される。

【0115】

図１３に示すように、バキュームノズル５０はさらに、ガイドプレート５６を備えている。ガイドプレート５６は、本体部５１のうち、径方向外側の壁部を下方に延長して構成されており、下方に進むにつれて径方向内側へ入り込む傾斜形状になっている。

【0116】

保持部３５がワーク１１を保持している状態で、ワーク１１の下面よりも下方にガイドプレート５６の下端が突出しないように構成されている。この構成により、ワーク１１を保持テーブル１６の保持面１７に載置する載置ステップの際に、ガイドプレート５６は保持面１７に接触せず、ガイドプレート５６が保持面１７を損傷させたり、ガイドプレート５６が保持部３５の下降を妨げたりすることを防止できる。

【0117】

また、ワーク１１を保持面１７に搬入する際には、ワーク１１の下面が保持面１７に接触しないように搬送アーム３１の高さ位置を設定した上で、水平移動機構３３によって搬送アーム３１を水平方向に移動させる。そのため、ワーク１１の下面よりも下方にガイドプレート５６の下端が突出しないように構成することにより、搬送アーム３１を水平方向に移動させる際に、ガイドプレート５６が保持テーブル１６に対して干渉することを防止できる。

【0118】

第３の実施形態の搬送装置３０は、上記の第１及び第２の実施形態と同様に、異物除去ステップとして、少なくとも、ブローノズル４０からの気体Ｆの噴射を用いた上記の第１ブローステップと、バキュームノズル５０に発生させた吸引力Ｇを用いた上記の第１バキュームステップと、を行い、ワーク１１を保持テーブル１６の保持面１７へ搬入する際に、保持面１７上の異物や、保持面１７の周辺を浮遊する異物を除去する。

【0119】

また、第３の実施形態の搬送装置３０は、載置ステップ後、ブローノズル４０からの気体Ｆの噴射を用いた上記の第２ブローステップと、バキュームノズル５０に発生させた吸引力Ｇを用いた上記の第２バキュームステップと、を行い、ワーク１１の上面に付着した異物や、ワーク１１及び保持面１７の周辺を浮遊する異物を除去する。

【0120】

また、第３の実施形態の搬送装置３０は、プラズマエッチング装置１０でのプラズマエッチング加工後、ブローノズル４０からの気体Ｆの噴射を用いた上記の第３ブローステップと、バキュームノズル５０に発生させた吸引力Ｇを用いた上記の第３バキュームステップと、を行い、ワーク１１の上面に付着した異物や、ワーク１１及び保持面１７の周辺を浮遊する異物を除去する。

【0121】

第３の実施形態の搬送装置３０は、さらに、被搬送物搬出ステップの際に、ブローノズル４０からの気体Ｆの噴射を用いた上記の第４ブローステップと、バキュームノズル５０に発生させた吸引力Ｇを用いた上記の第４バキュームステップと、を行って、保持面１７上の異物や、保持面１７の周辺を浮遊する異物を除去してもよい。

【0122】

ブローノズル４０とバキュームノズル５０とを保持部３５の径方向に隣接して設置し、ブローノズル４０から気体Ｆを噴射するブローステップと、バキュームノズル５０に吸引力Ｇを発生させるバキュームステップと、を同時期に行うことによって、ブローノズル４０から噴射した気体Ｆで径方向外側に向けて排除した異物Ｄを、バキュームノズル５０に吸引して回収することができる。これにより、保持面１７やワーク１１を洗浄することに加えて、保持面１７の周囲に異物Ｄを飛散させることを防ぐ効果が得られる。つまり、プラズマエッチング装置１０のチャンバー内空間１３において、保持面１７やワーク１１以外の箇所についても、クリーンな状態にさせることができる。

【0123】

特に、保持部３５の径方向外側（進行方向Ｅａ側）に気体Ｆを噴射するブローノズル４０に対して、さらに径方向外側（進行方向Ｅａ側）にバキュームノズル５０を配置しているので、ブローノズル４０からの気体Ｆで浮き上がらせた異物Ｄが進行する先にバキュームノズル５０の吸引口５２が配設されており、吸引口５２から効率的に異物Ｄを吸引して回収できる。

【0124】

さらに、ブローノズル４０からの気体Ｆで浮き上がらせた異物Ｄは、バキュームノズル５０に設けたガイドプレート５６に沿って吸引口５２側に進みやすくなっており、より一層効率的に異物Ｄを吸引できる。

【0125】

なお、ノズルユニットとして、ブローノズル４０とバキュームノズル５０の両方を備える場合に、状況に応じて、ブローノズル４０からの気体Ｆの供給と、バキュームノズル５０による吸引力Ｇの発生と、のいずれか一方だけを選択的に実施することも可能である。

【0126】

一例として、搬送アーム３１を進行方向Ｅａに移動させてワーク１１を保持テーブル１６の保持面１７に搬入する際には、ブローノズル４０から気体Ｆを噴射させつつ、バキュームノズル５０での吸引を行い、第１エアブローステップと第１バキュームステップの両方を実施する。その後は、搬送アーム３１を離反方向Ｅｂに移動させる際に、第２エアブローステップと第２バキュームステップのいずれか一方のみを行う。また、搬送アーム３１を再び進行方向Ｅａに移動させる際に、第３エアブローステップと第３バキュームステップのいずれか一方のみを行う。

【0127】

以上に説明した通り、上記の各実施形態の搬送装置３０と、搬送装置３０を用いた搬送方法とによれば、保持部３５が備えるブローノズル４０からの気体Ｆの噴射や、保持部３５が備えるバキュームノズル５０での吸引を用いて、保持テーブル１６の保持面１７から異物を除去するので、被搬送物であるワーク１１を保持面１７に保持させる際に、ワーク１１に割れが発生することを防止できる。

【0128】

また、保持部３５が備えるブローノズル４０からの気体Ｆの噴射や、保持部３５が備えるバキュームノズル５０での吸引を用いて、ワーク１１自体からも異物を除去できるので、ワーク１１に割れが発生することを、より確実に防止できる。

【0129】

保持面１７にワーク１１を搬入する際の搬送アーム３１の進行方向Ｅａへの挿入動作や、ワーク１１を保持面１７に受け渡した後の搬送アーム３１の離反方向Ｅｂへの離脱動作や、ワーク１１を保持面１７から搬出するための搬送アーム３１の進行方向Ｅａへの再挿入動作などに伴って、ブローノズル４０からの気体Ｆの噴射や、バキュームノズル５０での吸引力Ｇの発生を行う。

【0130】

つまり、ワーク１１の搬送に関する搬送アーム３１の一連の移動の期間を利用して、異物を除去するための気体Ｆの噴射や吸引力Ｇの発生を実施するので、異物を除去する洗浄工程を単独で行う時間を要しない。そのため、プラズマエッチング装置１０での加工動作を妨げずに、優れた時間効率で異物の除去を行うことができる。

【0131】

また、異物を除去する清掃のためだけにシャッター１５を開放動作させることがなく、ワーク１１の搬送に要するタイミングのみで開口１４を開放し、当該開放の期間を利用して異物の清掃を行うので、開口１４が開放される時間を最小限にし、チャンバー内空間１３への異物の進入を防ぐことができる。

【0132】

本発明の搬送装置及び搬送方法の搬送対象である被搬送物は、半導体ウエーハやパッケージ基板など様々であり、その形状についても円形や矩形など様々である。つまり、被搬送物の種類や形状は、限定されない。そして、被搬送物の形状や種類に応じて、搬送装置の構成を適宜変更することが可能である。

【0133】

詳しくは、上記の各実施形態の搬送装置３０は、円形のワーク１１に対応する円板形状の保持部３５を備え、ブローノズル４０とバキュームノズル５０がそれぞれ、保持部３５の外縁（周方向）に沿う円弧形状であるが、保持部、ブローノズル、バキュームノズルなどの形状は上記実施形態には限定されない。

【0134】

例えば、被搬送物が矩形であり、これに対応して、搬送装置の保持部を矩形の板状に構成しても良い。この場合、ブローノズルやバキュームノズルは、当該矩形状の保持部の一辺（上記実施形態での進行方向Ｅａ側に位置する一辺）に沿う直線状の形状にすることができる。

【0135】

上記の各実施形態の搬送装置３０は、板状のワーク１１を、他の部材を介さずに保持部３５の下面で直接に保持している。被搬送物の異なる形態として、半導体ウエーハやパッケージ基板などのワークが、リング状のフレームにテープを介して保持されていても良い。つまり、ワークとテープとフレームとを含んだユニットとして、被搬送物を構成しても良い。この場合、搬送アームは、保持部が備える吸着パッドによってフレームを保持して搬送しても良い。また、保持部は、板状ではなく、フレームに沿うリング状や、複数の吸着パッドを接続する十字形状などであっても良い。

【0136】

上記実施形態のブローノズル４０は、それぞれの断面位置における向きが略共通である一種類の噴射口４２を複数個備えているが、ブローノズルは、開口方向が異なる複数種類の噴射口を備えていてもよい。

【0137】

例えば、上記実施形態の噴射口４２に加えて、鉛直方向下方に開口する別タイプの噴射口を備えてもよい。この別タイプの噴射口から噴射される気体は、略真下（ブローノズルの直下）に進むため、噴射口４２から斜め下方に噴射される気体Ｆに比べて、保持面１７の径方向外側に異物を排出する効果は限定的になるが、保持面１７やワーク１１の上面から異物を浮き上がらせる効果は得られるので、搬送装置３０の第３の実施形態（図１２、図１３）のように、バキュームノズルとの併用によってノズルユニットの近傍で異物を回収する場合には有用である。

【0138】

上記の各実施形態の搬送装置３０は、搬送アーム３１が保持部３５の下面側にワーク１１を保持するタイプであるが、保持部の上面側にワーク（被搬送物）を保持するタイプの搬送装置に適用することも可能である。例えば、搬送アームの保持部の一部に切り欠きが形成されており、搬送時に、保持テーブルの保持面から上昇したピンが保持部の切り欠きに挿入され、保持部の上面側に保持されたワークを受け取り、保持部が退避した後にピンが下降してワークを保持テーブルに保持する、という構成の搬送装置及び処理装置が知られている。また、搬送アームの保持部がＵ字形状であり、保持部の中央の切り欠きに収まるサイズの保持テーブルを備え、保持部の切り欠きに保持テーブルを進入させて、保持部の上面側に保持されたワークを保持テーブルに受け渡す、という構成の搬送装置及び処理装置が知られている。このような搬送装置及び処理装置においても、被搬送物を保持して搬送する保持部にノズルユニットを備えて、ノズルユニットからの気体の噴射や吸引を行う異物除去ステップを実施することで、上記の各実施形態と同様の効果を得ることができる。

【0139】

上記の各実施形態は、プラズマエッチング装置１０にワーク１１を搬送するための搬送装置３０に適用している。プラズマエッチング装置１０は、洗浄液を用いた保持面１７の洗浄や、保持面１７及びワーク１１への加工液の供給を行わずに、ドライな環境下でワーク１１を処理するため、液体による保持面１７やワーク１１の洗浄効果が得られない。従って、プラズマエッチング装置１０にワーク１１を搬送する搬送装置３０に本発明を適用することで、高い効果が得られる。

【0140】

しかし、本発明による搬送装置及び搬送方法は、プラズマエッチング装置以外の処理装置へのワークの搬送にも適用が可能である。例えば、切削装置、研削装置、研磨装置、バイト切削装置、洗浄装置、検査装置、テープ貼着装置、テープ剥離装置、保護膜形成装置など、ワークに対して各種の処理を施す処理装置への搬送装置及び搬送方法として、本発明を適用可能である。これらの処理装置においても、ワークを保持テーブルの保持面に載置する前に、保持面の異物を除去したいという課題が存在しており、本発明が有用である。

【0141】

例えば、切削装置、研削装置、研磨装置などは、ワークを処理する際に加工液を供給して加工点付近の異物を洗い流すが、その前のワークを搬送して保持テーブルの保持面に載置する段階では、異物が洗い流されずに保持面に付着している可能性がある。また、テープ貼着装置やテープ剥離装置などは、洗浄液や加工液などの液体を供給せずにワークの処理を行う場合が多く、上記のプラズマエッチング装置１０と同様に、ドライな環境下で保持テーブルの保持面に異物が付着した状態になりやすい。従って、プラズマエッチング装置以外の処理装置についても、本発明の搬送装置及び搬送方法が効果を奏する。

【0142】

なお、本発明の実施の形態は上記の実施形態や変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。従って、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。

【産業上の利用可能性】

【0143】

以上説明したように、本発明の搬送装置及び搬送方法では、被搬送物の搬送時に、ブローノズルからの気体の噴射と、バキュームノズルによる吸引力と、の少なくともいずれかを行って、保持テーブルの保持面やワークから異物を除去するので、被搬送物の保持に際して、異物が原因で被搬送物に割れが発生することを防止できる。

【符号の説明】

【0144】

１０ ：プラズマエッチング装置
１１ ：ワーク（被搬送物）
１２ ：チャンバー
１３ ：チャンバー内空間
１４ ：開口
１５ ：シャッター
１６ ：保持テーブル
１７ ：保持面
１８ ：電極
１９ ：電圧印加部
２０ ：ガス供給ヘッド
２１ ：ガス吐出口
２２ ：ガス供給路
２３ ：プラズマ発生部
２４ ：ガス供給源
２５ ：排気管
２６ ：開閉弁
２７ ：排気ポンプ
３０ ：搬送装置
３１ ：搬送アーム
３２ ：昇降機構
３３ ：水平移動機構
３４ ：アーム部
３５ ：保持部
３６ ：吸引路
３７ ：開閉弁
３８ ：吸引源
４０ ：ブローノズル（ノズルユニット）
４１ ：本体部
４２ ：噴射口
４３ ：開閉弁
４４ ：気体供給源
５０ ：バキュームノズル（ノズルユニット）
５１ ：本体部
５２ ：吸引口
５３ ：開閉弁
５４ ：吸引源
５５ ：支持ブラケット
５６ ：ガイドプレート
Ｄ ：異物
Ｅａ ：進行方向
Ｅｂ ：離反方向
Ｆ ：気体
Ｇ ：吸引力

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】