特開2025-43875IP Force 特許公報全文掲載

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フッ素化合物を含む排ガスを分解する排ガス処理装置および排ガス処理方法

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】本発明は、排ガスの処理量を増大させて、排ガスを効率的に処理することができる排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】排ガス処理装置１は、複数の第１電極２と、複数の第２電極３と、電源５と、ガス流路Ｐに連通するガス流入口１２およびガス排出口１３を有するハウジング１０を備え、複数の第１電極２および複数の第２電極３のそれぞれは、多角柱形状を有しており、複数の第１電極２と複数の第２電極３は、互いに平行であって、かつ互いに対向する複数対の放電面１５を有し、複数の第１電極２と複数の第２電極３は、複数対の放電面１５に垂直な方向に沿って交互に配列され、電源５により複数の第１電極２および複数の第２電極３に電圧が印加されると、複数対の放電面１５の間に位置する複数の放電領域Ｍにプラズマが発生するように構成されている。
【選択図】図３

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

ＮＯｘの排出量を低減するために、誘電体バリア放電（ＤＢＤ（Dielectric Barrier Discharge））による非平衡プラズマ（低温プラズマともいう）を利用した排ガス処理装置がある。図３３は、誘電体バリア放電を用いた排ガス処理装置５００の一例を示す模式図である。図３４は、図３３のＪ－Ｊ線断面図である。排ガス処理装置５００は、円柱状の内部電極５０１と、内部電極５０１と同心状に配置された円筒状の誘電体５０３と、誘電体５０３の少なくとも一部を覆う外部電極５０２と、内部電極５０１および外部電極５０２に交流電圧を印加する電源５０５を備えている。誘電体５０３と内部電極５０１の間には、排ガスが流れるガス流路Ｐが形成されており、図３３の矢印で示す方向に排ガスが流入する。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

一態様では、排ガスに含まれるフッ素化合物をプラズマにより分解する排ガス処理装置であって、複数の第１電極と、複数の第２電極と、前記複数の第１電極および前記複数の第２電極に電圧を印加する電源と、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極の間に形成されたガス流路に連通するガス流入口およびガス排出口を有するハウジングを備え、前記複数の第１電極および前記複数の第２電極のそれぞれは、多角柱形状を有しており、・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、排ガス処理装置は、複数の電極を備えており、複数の電極間の距離を大きくすることなく、ガス流路内の複数の放電領域の体積を増大させることができる。したがって、プラズマの発生に必要な電圧を過大に上げることなく、排ガスの処理量を増やして効率的に排ガスを処理することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 排ガス処理装置の一実施形態を示す上面図である。
【図2】 図１のＡ－Ａ線断面から見た図である。
【図3】 図１に示す複数の第１電極と複数の第２電極の一部を示す拡大図である。
【図4】 電源により複数の第１電極および複数の第２電極に印加される交流電圧の波形を示すグラフである。
【図5】 排ガス処理装置の他の実施形態を示す上面図である。
【図6】 排ガス処理装置のさらに他の実施形態を示す模式図である。
【図7】 図６に示すハウジングの一実施形態を示す上面図である。
【図8】 図６の点線で囲った部分を示す拡大図である。
【図9】 図７の矢印Ｂの方向から見た排ガス処理装置の側面図である。
【図10】 図９のＣ－Ｃ線断面図である。
【図11】 電極支持壁の一実施形態を示す正面図である。
【図12】 図１１のＤ－Ｄ線断面図である。
【図13】 溝を有していない電極支持壁において、第１電極と第２電極の間の電極支持壁の内面および外面を通じて、沿面放電が生じる様子を説明する図である。
【図14】 排ガス処理装置のさらに他の実施形態を示す上面図である。
【図15】 図１４の矢印Ｅの方向から見た図である。
【図16】 図１４のＦ－Ｆ線断面図である。
【図17】 連結部材の一実施形態を示す拡大図である。
【図18】 排ガス処理装置のさらに他の実施形態を示す模式図である。
【図19】 排ガス処理装置のさらに他の実施形態を示す模式図である。
【図20】 図１９に示すハウジングの一実施形態を示す上面図である。
【図21】 図１９の点線で囲った部分を示す拡大図である。
【図22】 第１誘電体層、第２誘電体層、および第３誘電体層の一実施形態を示す模式図である。
【図23】 壁状電極を覆う誘電体層を示す模式図である。
【図24】 第１電極、第２電極、および第３電極をそれぞれ覆う第１誘電体層、第２誘電体層、および第３誘電体層を示す模式図である。
【図25】 図２０の矢印Ｇの方向から見た排ガス処理装置の側面図である。
【図26】 図２５のＨ－Ｈ線断面図である。
【図27】 電極支持壁の一実施形態を示す正面図である。
【図28】 図２７のＩ－Ｉ線断面図である。
【図29】 電源により複数の第１電極、複数の第２電極、複数の第３電極、２つの壁状電極に印加される三相交流電圧の波形、および複数の第１電極と複数の第２電極の間の電位差、複数の第１電極と複数の第３電極の間の電位差、複数の第２電極と複数の第３電極の間の電位差を示すグラフである。
【図30】 複数対の放電面の他の実施形態を示す模式図である。
【図31】 複数対の放電面のさらに他の実施形態を示す模式図である。
【図32】 電源により複数の第１電極および複数の第２電極に印加されるパルス電圧の波形を示すグラフである。
【図33】 誘電体バリア放電を用いた排ガス処理装置の一例を示す模式図である。
【図34】 図３４は、図３３のＪ－Ｊ線断面図である。

選択図 図3出願人が指定した本件の代表的な図

１ 排ガス処理装置 ２ 第１電極 ３ 第２電極 ４ 第３電極 ５ 電源 ５ａ 第１端子 ５ｂ 第２端子 ５ｃ 第３端子 ５ｄ 第４端子 ８ 誘電体層 ８Ａ 第１誘電体層 ８Ｂ 第２誘電体層 ８Ｃ 第３誘電体層 １０ ハウジング １２ ガス流入口 １３ ガス排出口 １５ 放電面 １８ 閉塞部 ２１ 第１壁状電極 ２２ 第２壁状電極 ２２ａ 湾曲部 ２４ 電極支持壁 ２４ａ 貫通穴 ２４ｂ 溝 ２４ｃ 内面 ２４ｄ 外面 ２５ 壁側放電面 ３１ 第１壁状電極 ３１ａ 第１電極部 ３１ｂ 第１電極固定部 ３２ 第２壁状電極 ３２ａ 第２電極部 ３２ｂ 第２電極固定部 ３４ 連結部材 ３４ａ 溝 ３４ｂ 内面 ３４ｃ 外面 ３４ｄ，３４ｅ 接合部 ３８ 水導入部 ４１ 壁状電極 ４１ａ 湾曲部 ４４ 電極支持壁 ４４ａ 貫通穴 ４４ｂ 溝 ４４ｃ 内面 ４４ｄ 外面 ５１ 第１の放電面 ５２ 第２の放電面 ５３ 第３の放電面 ５５ 第１の壁側放電面 ５６ 第２の壁側放電面 ５７ 第３の壁側放電面 Ｍ 放電領域 Ｐ ガス流路

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