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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025048728
(43)【公開日】2025-04-03
(54)【発明の名称】貼合装置および貼合方法
(51)【国際特許分類】
B65H 37/04 20060101AFI20250326BHJP
B65H 43/04 20060101ALI20250326BHJP
【ＦＩ】
B65H37/04 A
B65H43/04
【審査請求】未請求
【請求項の数】20
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2024102237
(22)【出願日】2024-06-25
(31)【優先権主張番号】P 2023154210
(32)【優先日】2023-09-21
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】000000044
【氏名又は名称】ＡＧＣ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002000
【氏名又は名称】弁理士法人栄光事務所
(74)【代理人】
【識別番号】100107766
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠重
(74)【代理人】
【識別番号】100070150
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠彦
(72)【発明者】
【氏名】永野 琢也
(72)【発明者】
【氏名】飯野 知紗
(72)【発明者】
【氏名】川田 達
(72)【発明者】
【氏名】山田 淳史
【テーマコード（参考）】
3F048
3F108
【Ｆターム（参考）】
3F048AB06
3F048AB09
3F048AC02
3F048BA18
3F048BB05
3F048CA06
3F048CC01
3F048DA06
3F048DC12
3F048EB25
3F108GA09
3F108GB01
3F108HA06
3F108HA12
(57)【要約】
【課題】第１ラミネートフィルムの搬送方向における第１ラミネートフィルムと第１基板の位置ずれを抑制する、技術を提供する。
【解決手段】貼合装置は、第１基板の搬送経路と第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合する第１貼合部を備える。前記第１ラミネートフィルムと、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムとは、第１積層フィルムを構成する。前記第１積層フィルムは、前記第１ラミネートフィルムごとに前記第１ラミネートフィルムの位置を示す第１アライメントマークを有する。前記貼合装置は、前記第１ラミネートフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で、前記第１アライメントマークを検出し、その検出結果に基づき、前記第１ラミネートフィルムの搬送を制御する。
【選択図】図１
【解決手段】貼合装置は、第１基板の搬送経路と第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合する第１貼合部を備える。前記第１ラミネートフィルムと、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムとは、第１積層フィルムを構成する。前記第１積層フィルムは、前記第１ラミネートフィルムごとに前記第１ラミネートフィルムの位置を示す第１アライメントマークを有する。前記貼合装置は、前記第１ラミネートフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で、前記第１アライメントマークを検出し、その検出結果に基づき、前記第１ラミネートフィルムの搬送を制御する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１積層フィルムは、前記第１ラミネートフィルムごとに前記第１ラミネートフィルムの位置を示す第１アライメントマークを有し、
前記第１ラミネートフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で、前記第１アライメントマークを検出する第１マーク検出部と、
前記第１マーク検出部の検出結果に基づき、前記第１ラミネートフィルムの搬送を制御する制御部と、
を備える、貼合装置。
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１積層フィルムは、前記第１ラミネートフィルムごとに前記第１ラミネートフィルムの位置を示す第１アライメントマークを有し、
前記第１ラミネートフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で、前記第１アライメントマークを検出する第１マーク検出部と、
前記第１マーク検出部の検出結果に基づき、前記第１ラミネートフィルムの搬送を制御する制御部と、
を備える、貼合装置。
【請求項2】
前記第１アライメントマークは、貫通孔または切り欠きであり、前記第１積層フィルムをその厚さ方向に貫通して形成される、請求項１に記載の貼合装置。
【請求項3】
前記第１フィルム搬送部は、予めロール状に巻き取られた前記第１積層フィルムを巻き出す第１巻出軸と、前記第１キャリアフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１キャリアフィルムを折り返すことで前記第１キャリアフィルムと前記第１ラミネートフィルムを剥離する第１剥離体と、前記第１剥離体で折り返した前記第１キャリアフィルムをロール状に巻き取る第１巻取軸と、を有し、
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記貼合装置は、前記第３方向および前記第４方向に前記第１フィルム搬送部を移動させる第１駆動部と、前記第３方向と前記第４方向の少なくとも一方向における前記第１積層フィルムの端を検出する第１エッジ検出部と、前記第１エッジ検出部の検出結果に基づき前記第１駆動部を制御することで、前記第１ラミネートフィルムを所望の位置まで前記第３方向または前記第４方向に移動させる制御を行なう制御部と、を備える、請求項１又は２に記載の貼合装置。
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記貼合装置は、前記第３方向および前記第４方向に前記第１フィルム搬送部を移動させる第１駆動部と、前記第３方向と前記第４方向の少なくとも一方向における前記第１積層フィルムの端を検出する第１エッジ検出部と、前記第１エッジ検出部の検出結果に基づき前記第１駆動部を制御することで、前記第１ラミネートフィルムを所望の位置まで前記第３方向または前記第４方向に移動させる制御を行なう制御部と、を備える、請求項１又は２に記載の貼合装置。
【請求項4】
前記第１駆動部は、前記第５方向または前記第６方向から見て前記第１フィルム搬送部を回転させ、
前記制御部は、前記第１エッジ検出部の検出結果に基づき前記第１駆動部を制御することで、前記第１ラミネートフィルムを所望の位置まで回転させる制御を行なう、請求項３に記載の貼合装置。
前記制御部は、前記第１エッジ検出部の検出結果に基づき前記第１駆動部を制御することで、前記第１ラミネートフィルムを所望の位置まで回転させる制御を行なう、請求項３に記載の貼合装置。
【請求項5】
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第１フィルム搬送部は、前記第１キャリアフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１キャリアフィルムを折り返すことで前記第１キャリアフィルムと前記第１ラミネートフィルムを剥離する第１剥離体と、前記第１剥離体を前記第３方向及び前記第４方向に移動させる第１個別調整部と、を有する、請求項１又は２に記載の貼合装置。
前記第１フィルム搬送部は、前記第１キャリアフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１キャリアフィルムを折り返すことで前記第１キャリアフィルムと前記第１ラミネートフィルムを剥離する第１剥離体と、前記第１剥離体を前記第３方向及び前記第４方向に移動させる第１個別調整部と、を有する、請求項１又は２に記載の貼合装置。
【請求項6】
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第１フィルム搬送部は、前記第１キャリアフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１キャリアフィルムを折り返すことで前記第１キャリアフィルムと前記第１ラミネートフィルムを剥離する第１剥離体と、前記第１剥離体を前記第１方向、前記第２方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第３方向または前記第４方向から見て前記第１剥離体を回転させる第１個別調整部と、を有する、請求項１又は２に記載の貼合装置。
前記第１フィルム搬送部は、前記第１キャリアフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１キャリアフィルムを折り返すことで前記第１キャリアフィルムと前記第１ラミネートフィルムを剥離する第１剥離体と、前記第１剥離体を前記第１方向、前記第２方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第３方向または前記第４方向から見て前記第１剥離体を回転させる第１個別調整部と、を有する、請求項１又は２に記載の貼合装置。
【請求項7】
前記第１貼合部は、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラと、前記第１基板を吸着する第１吸着板と、を有し、
前記第１吸着板が前記第１基板搬送部から前記第１基板を受け取ってから、少なくとも一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟むまで、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着する、請求項１又は２に記載の貼合装置。
前記第１吸着板が前記第１基板搬送部から前記第１基板を受け取ってから、少なくとも一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟むまで、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着する、請求項１又は２に記載の貼合装置。
【請求項8】
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第１貼合部は、前記第１吸着板を前記第１方向、前記第２方向、前記第３方向、前記第４方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第５方向または前記第６方向から見て前記第１吸着板を回転させる第１位置調整部と、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着した後、一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟む前に、前記第１基板の位置を検出する第１位置検出部と、を有し、
前記貼合装置は、前記第１位置検出部の検出結果に基づき前記第１位置調整部を制御することで、前記第１基板を所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう制御部を備える、請求項７に記載の貼合装置。
前記第１貼合部は、前記第１吸着板を前記第１方向、前記第２方向、前記第３方向、前記第４方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第５方向または前記第６方向から見て前記第１吸着板を回転させる第１位置調整部と、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着した後、一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟む前に、前記第１基板の位置を検出する第１位置検出部と、を有し、
前記貼合装置は、前記第１位置検出部の検出結果に基づき前記第１位置調整部を制御することで、前記第１基板を所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう制御部を備える、請求項７に記載の貼合装置。
【請求項9】
前記第１貼合部は、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラを有し、
前記貼合装置は、前記第１貼合部で作製した前記第２基板の搬送経路を形成する第２基板搬送部と、前記第１貼合部と前記第２基板搬送部とで前記第２基板の搬送速度を個別に制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第２基板が一対の前記第１ラミネートローラから離隔するまで、一対の前記第１ラミネートローラと前記第２基板搬送部を同じ搬送速度で作動させる制御を行なう、請求項１又は２に記載の貼合装置。
前記貼合装置は、前記第１貼合部で作製した前記第２基板の搬送経路を形成する第２基板搬送部と、前記第１貼合部と前記第２基板搬送部とで前記第２基板の搬送速度を個別に制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第２基板が一対の前記第１ラミネートローラから離隔するまで、一対の前記第１ラミネートローラと前記第２基板搬送部を同じ搬送速度で作動させる制御を行なう、請求項１又は２に記載の貼合装置。
【請求項10】
前記第１貼合部は、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラを有し、
前記第１積層フィルムは、前記第１キャリアフィルムの片面に、前記第１ラミネートフィルムと、前記第１ラミネートフィルムの外側に配置される第１外側フィルムと、を有し、
前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムの貼合後に、前記第１基板の前記第１主面の一部が前記第１ラミネートフィルムから露出する場合において、
前記貼合装置は、前記第１外側フィルムと前記第１ラミネートフィルムが同時に前記第１基板と前記第１ラミネートローラに接触しながら一対の前記第１ラミネートローラを通過した後で、前記第１基板及び前記第１ラミネートフィルムとは別に前記第１外側フィルムを回収する第１回収部を備える、請求項１又は２に記載の貼合装置。
前記第１積層フィルムは、前記第１キャリアフィルムの片面に、前記第１ラミネートフィルムと、前記第１ラミネートフィルムの外側に配置される第１外側フィルムと、を有し、
前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムの貼合後に、前記第１基板の前記第１主面の一部が前記第１ラミネートフィルムから露出する場合において、
前記貼合装置は、前記第１外側フィルムと前記第１ラミネートフィルムが同時に前記第１基板と前記第１ラミネートローラに接触しながら一対の前記第１ラミネートローラを通過した後で、前記第１基板及び前記第１ラミネートフィルムとは別に前記第１外側フィルムを回収する第１回収部を備える、請求項１又は２に記載の貼合装置。
【請求項11】
前記第１貼合部は、前記第１基板の前記第２主面に接触する第１ラミネートローラと、前記第１ラミネートローラの外周面が前記第１基板に接触している間に、前記第１ラミネートローラの前記外周面に接触して前記外周面から異物を除去する清掃ローラと、を有する、請求項１又は２に記載の貼合装置。
【請求項12】
前記第１基板の前記第２主面に貼合する第２ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第２ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第２キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第２フィルム搬送部を備え、
前記第１貼合部は、前記第１ラミネートフィルムと前記第１基板と前記第２ラミネートフィルムとを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラを有し、
前記第２基板は、前記第１基板を挟んで前記第１ラミネートフィルムと前記第２ラミネートフィルムとを有する、請求項１又は２に記載の貼合装置。
前記第１貼合部は、前記第１ラミネートフィルムと前記第１基板と前記第２ラミネートフィルムとを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラを有し、
前記第２基板は、前記第１基板を挟んで前記第１ラミネートフィルムと前記第２ラミネートフィルムとを有する、請求項１又は２に記載の貼合装置。
【請求項13】
前記第１貼合部で作製した前記第２基板の搬送経路を形成する第２基板搬送部と、
前記第１基板の前記第２主面に貼合する第３ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第３ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第３キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第３フィルム搬送部と、
前記第２基板の搬送経路と前記第３ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第２合流地点で、前記第２基板と前記第３ラミネートフィルムを貼合することで、第３基板を作製する第２貼合部と、
を備え、
前記第３ラミネートフィルムは、前記第１基板の前記第２主面の周縁の少なくとも一部から５ｍｍ以上はみ出す、請求項１又は２に記載の貼合装置。
前記第１基板の前記第２主面に貼合する第３ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第３ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第３キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第３フィルム搬送部と、
前記第２基板の搬送経路と前記第３ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第２合流地点で、前記第２基板と前記第３ラミネートフィルムを貼合することで、第３基板を作製する第２貼合部と、
を備え、
前記第３ラミネートフィルムは、前記第１基板の前記第２主面の周縁の少なくとも一部から５ｍｍ以上はみ出す、請求項１又は２に記載の貼合装置。
【請求項14】
前記第３ラミネートフィルムと前記第３キャリアフィルムとは第３積層フィルムを構成し、
前記第３積層フィルムは、前記第３キャリアフィルムの片面に、前記第３ラミネートフィルムと、前記第３ラミネートフィルムの外側に配置される第３外側フィルムと、を有し、
前記第３フィルム搬送部は、予めロール状に巻き取られた前記第３積層フィルムを巻き出す第３巻出軸と、前記第３キャリアフィルムの搬送経路の前記第２合流地点よりも手前で前記第３キャリアフィルムを折り返すことで前記第３キャリアフィルムと前記第３ラミネートフィルムを剥離する第３剥離体と、前記第３剥離体で前記第３キャリアフィルムと共に折り返した前記第３外側フィルムを、前記第３キャリアフィルムと共にロール状に巻き取る第３巻取軸と、を有する、請求項１３に記載の貼合装置。
前記第３積層フィルムは、前記第３キャリアフィルムの片面に、前記第３ラミネートフィルムと、前記第３ラミネートフィルムの外側に配置される第３外側フィルムと、を有し、
前記第３フィルム搬送部は、予めロール状に巻き取られた前記第３積層フィルムを巻き出す第３巻出軸と、前記第３キャリアフィルムの搬送経路の前記第２合流地点よりも手前で前記第３キャリアフィルムを折り返すことで前記第３キャリアフィルムと前記第３ラミネートフィルムを剥離する第３剥離体と、前記第３剥離体で前記第３キャリアフィルムと共に折り返した前記第３外側フィルムを、前記第３キャリアフィルムと共にロール状に巻き取る第３巻取軸と、を有する、請求項１３に記載の貼合装置。
【請求項15】
前記第２貼合部は、前記第１基板に接触することなく前記第１ラミネートフィルムを吸着して前記第２基板を前記第２基板搬送部から受け取る第２吸着板と、前記第３ラミネートフィルムに接触する第２ラミネートローラと、を有し、
前記第２吸着板と前記第２ラミネートローラが前記第２基板と前記第３ラミネートフィルムを挟むと共に、前記第２吸着板が前記第２基板を吸着した状態で、前記第２吸着板が前記第２ラミネートローラに対して移動する、請求項１３に記載の貼合装置。
前記第２吸着板と前記第２ラミネートローラが前記第２基板と前記第３ラミネートフィルムを挟むと共に、前記第２吸着板が前記第２基板を吸着した状態で、前記第２吸着板が前記第２ラミネートローラに対して移動する、請求項１３に記載の貼合装置。
【請求項16】
前記第２基板搬送部における前記第２基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第２貼合部は、前記第２吸着板を前記第１方向、前記第２方向、前記第３方向、前記第４方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第５方向または前記第６方向から見て前記第２吸着板を回転させる第２位置調整部と、前記第２吸着板が前記第２基板を吸着した後、前記第２吸着板と前記第２ラミネートローラが前記第２基板を挟む前に、前記第２基板の位置を検出する第２位置検出部と、を有し、
前記貼合装置は、前記第２位置検出部の検出結果に基づき前記第２位置調整部を制御することで、前記第２吸着板を所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう制御部を備える、請求項１５に記載の貼合装置。
前記第２貼合部は、前記第２吸着板を前記第１方向、前記第２方向、前記第３方向、前記第４方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第５方向または前記第６方向から見て前記第２吸着板を回転させる第２位置調整部と、前記第２吸着板が前記第２基板を吸着した後、前記第２吸着板と前記第２ラミネートローラが前記第２基板を挟む前に、前記第２基板の位置を検出する第２位置検出部と、を有し、
前記貼合装置は、前記第２位置検出部の検出結果に基づき前記第２位置調整部を制御することで、前記第２吸着板を所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう制御部を備える、請求項１５に記載の貼合装置。
【請求項17】
前記第１貼合部で作製した前記第２基板の搬送経路を形成する第３基板搬送部と、
前記第２基板の片面に貼合する第４ラミネートフィルムの搬送経路を形成する第４フィルム搬送部と、
前記第２基板の反対面に貼合する第５ラミネートフィルムの搬送経路を形成する第５フィルム搬送部と、
前記第２基板の搬送経路と、前記第４ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第５ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第３合流地点で、前記第２基板に対して前記第４ラミネートフィルムと前記第５ラミネートフィルムを貼合することで、第４基板を作製する第３貼合部を備え、
前記第３貼合部は、前記第４ラミネートフィルムと前記第２基板と前記第５ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第３ラミネートローラを有する、請求項１又は２に記載の貼合装置。
前記第２基板の片面に貼合する第４ラミネートフィルムの搬送経路を形成する第４フィルム搬送部と、
前記第２基板の反対面に貼合する第５ラミネートフィルムの搬送経路を形成する第５フィルム搬送部と、
前記第２基板の搬送経路と、前記第４ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第５ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第３合流地点で、前記第２基板に対して前記第４ラミネートフィルムと前記第５ラミネートフィルムを貼合することで、第４基板を作製する第３貼合部を備え、
前記第３貼合部は、前記第４ラミネートフィルムと前記第２基板と前記第５ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第３ラミネートローラを有する、請求項１又は２に記載の貼合装置。
【請求項18】
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１貼合部は、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラと、前記第１基板を吸着する第１吸着板と、を有し、
前記第１吸着板が前記第１基板搬送部から前記第１基板を受け取ってから、少なくとも一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟むまで、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着する、貼合装置。
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１貼合部は、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラと、前記第１基板を吸着する第１吸着板と、を有し、
前記第１吸着板が前記第１基板搬送部から前記第１基板を受け取ってから、少なくとも一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟むまで、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着する、貼合装置。
【請求項19】
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第１貼合部は、前記第１吸着板を前記第１方向、前記第２方向、前記第３方向、前記第４方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第５方向または前記第６方向から見て前記第１吸着板を回転させる第１位置調整部と、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着した後、一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟む前に、前記第１基板の位置を検出する第１位置検出部と、を有し、
前記貼合装置は、前記第１位置検出部の検出結果に基づき前記第１位置調整部を制御することで、前記第１基板を所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう制御部を備える、請求項１８に記載の貼合装置。
前記第１貼合部は、前記第１吸着板を前記第１方向、前記第２方向、前記第３方向、前記第４方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第５方向または前記第６方向から見て前記第１吸着板を回転させる第１位置調整部と、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着した後、一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟む前に、前記第１基板の位置を検出する第１位置検出部と、を有し、
前記貼合装置は、前記第１位置検出部の検出結果に基づき前記第１位置調整部を制御することで、前記第１基板を所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう制御部を備える、請求項１８に記載の貼合装置。
【請求項20】
請求項１、２、１８又は１９に記載の貼合装置を用いて前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することを有する、貼合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、貼合装置および貼合方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１に記載の貼合装置は、基板とフィルム片を貼合する。フィルム片は、偏光板と接着層を含む。フィルム片は、剥離フィルムの片面に接着されており、剥離フィルムから剥離された後、基板に貼合される。フィルム片は、剥離フィルムの長手方向に間隔をおいて複数設けられる。複数のフィルム片を囲むように、はしご状の耳片が設けられる。耳片は、剥離フィルムの片面に接着されている。耳片とフィルム片は、予め切断されている。なお、剥離フィルムは、切断されていない。耳片は、剥離フィルムから剥離された後、基板に貼合されることなく、巻き取りローラに巻き取られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００５－４３３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
第１ラミネートフィルムと第１基板を貼合する際に、第１ラミネートフィルムの搬送方向に第１ラミネートフィルムと第１基板の位置ずれが生じることがあった。
【0005】
本開示の一態様は、第１ラミネートフィルムの搬送方向における第１ラミネートフィルムと第１基板の位置ずれを抑制する、技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の一態様に係る貼合装置は、第１基板搬送部と、第１フィルム搬送部と、第１貼合部と、を備える。前記第１基板搬送部は、第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する。前記第１フィルム搬送部は、前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する。前記第１貼合部は、前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する。前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成する。前記第１積層フィルムは、前記第１ラミネートフィルムごとに前記第１ラミネートフィルムの位置を示す第１アライメントマークを有する。前記貼合装置は、第１マーク検出部と、制御部と、を備える。前記第１マーク検出部は、前記第１ラミネートフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１アライメントマークを検出する。前記制御部は、前記第１マーク検出部の検出結果に基づき、前記第１ラミネートフィルムの搬送を制御する。
【発明の効果】
【0007】
本開示の一態様によれば、第１ラミネートフィルムの搬送方向における第１ラミネートフィルムと第１基板の位置ずれを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本開示を実施するための形態について図面を参照して説明する。各図面において同一の又は対応する構成には同一の符号を付し、説明を省略することがある。明細書中、数値範囲を示す「～」は、その前後に記載された数値を下限値及び上限値として含むことを意味する。
【0010】
本明細書において、第１方向は、第１基板の搬送方向である。下記の実施形態において、Ｘ軸正方向は、第１方向の一例である。第２方向は、第１方向の逆方向である。Ｘ軸負方向は、第２方向の一例である。Ｘ軸正方向とＸ軸負方向をまとめてＸ軸方向と記載することがある。
【0011】
第３方向は、第１基板の第１主面に対して平行な方向であって且つ第１方向に対して垂直な一方向である。Ｙ軸正方向は、第３方向の一例である。第４方向は、第３方向の逆方向である。Ｙ軸負方向は、第４方向の一例である。Ｙ軸正方向とＹ軸負方向をまとめてＹ軸方向と記載することがある。
【0012】
第５方向は、第１基板の第１主面に対して垂直な一方向である。Ｚ軸正方向は、第５方向の一例である。第６方向は、第５方向の逆方向である。Ｚ軸負方向は、第６方向の一例である。Ｚ軸正方向とＺ軸負方向をまとめてＺ軸方向と記載することがある。
【0013】
Ｘ軸方向とＹ軸方向とＺ軸方向とは、互いに垂直な方向である。下記の実施形態において、Ｘ軸方向とＹ軸方向は水平方向であり、Ｚ軸方向は鉛直方向（上下方向）である。Ｚ軸方向から見た回転、つまり、Ｚ軸周りの回転を、θＺ方向の回転と記載することがある。θＺ方向の回転は、Ｚ軸正方向側からＺ軸負方向側を見たときに、時計回り方向の回転でもよいし、反時計回り方向の回転でもよい。Ｙ軸方向から見た回転、つまり、Ｙ軸周りの回転を、θＹ方向の回転と記載することがある。θＹ方向の回転は、Ｙ軸正方向側からＹ軸負方向側を見たときに、時計回りの回転でもよいし、反時計周りの回転でもよい。
【0014】
先ず、主に図１～図２を参照して、一実施形態に係る貼合装置１００の上流域の概要について説明する。なお、貼合装置１００は、本実施形態では第１貼合部３１０の他に第２貼合部３２０（図１７参照）と第３貼合部３３０（図２４参照）を備えるが、第１貼合部３１０と第２貼合部３２０と第３貼合部３３０の少なくとも１つを備えればよい。基板の搬送経路、フィルムの搬送経路なども、適宜変更されてよい。
【0015】
貼合装置１００は、例えば、第１基板搬送部１１０と、第１フィルム搬送部２１０と、第２フィルム搬送部２２０と、第１貼合部３１０と、を備える。第１基板搬送部１１０は、第１基板１０の搬送経路を形成する。第１フィルム搬送部２１０は、少なくとも第１ラミネートフィルム２１の搬送経路を形成する。第１ラミネートフィルム２１は、第１基板１０の第１主面１１に貼合する（図９参照）。第２フィルム搬送部２２０は、第１基板搬送部１１０を基準として、第１フィルム搬送部２１０とは反対側に配置され、第１フィルム搬送部２１０を上下反転した構造を有する。第２フィルム搬送部２２０は、少なくとも第２ラミネートフィルム３１の搬送経路を形成する。第２ラミネートフィルム３１は、第１基板１０の第２主面１２に貼合する（図９参照）。第１基板１０の搬送経路と第１ラミネートフィルム２１の搬送経路と第２ラミネートフィルム３１の搬送経路が合流する地点を第１合流地点と記載することがある。第１貼合部３１０は、第１合流地点で、第１基板１０に対して第１ラミネートフィルム２１と第２ラミネートフィルム３１を貼合することで、第２基板１０Ａを作製する。
【0016】
なお、貼合装置１００は、第２フィルム搬送部２２０を備えなくてもよい。この場合、第１基板１０の搬送経路と第１ラミネートフィルム２１の搬送経路が合流する地点を第１合流地点と呼ぶ。第１貼合部３１０は、第１合流地点で、第１基板１０と第１ラミネートフィルム２１を貼合することで、第２基板１０Ａを作製する。この場合、第１基板１０の第２主面１２には、第２ラミネートフィルム３１を貼合しない。また、本実施形態では第１基板１０の第１主面１１が上面であり、第１基板１０の第２主面１２が下面であるが、その配置は逆でもよい。つまり、第１主面１１が下面であり、第２主面１２が上面であってもよい。その場合、貼合装置１００は、上下反転した構造を有すればよい。
【0017】
一方、貼合装置１００が第２フィルム搬送部２２０を備えることで、第１主面１１と第２主面１２の両面に同時にラミネートフィルムを貼合できる。片面ずつ個別にラミネートフィルムを貼合するよりも、貼合装置１００の全長を短くできると共に、両面にラミネートフィルムを貼合するのにかかる時間を約半分にできる。また両面に同時にラミネートフィルムを貼合することで、第１基板１０とラミネートローラの接触を防止でき、汚れ又は傷の付着を抑制できる。
【0018】
【0019】
第１基板１０は、本実施形態ではガラス基板であるが、セラミック基板、樹脂基板または金属基板などであってもよい。第１基板１０の第１主面１１は、図４に示すように、多角形である。多角形は、長方形ではないが、長方形であってもよい。長方形以外の多角形を異形と記載することがある。なお、多角形の角は、面取りされていてもよい。なお多角形を構成する各辺は、直線形状であるが、直線を自由曲線に補正した形状でもよい。
【0020】
第１基板１０は、第１主面１１に対して垂直な方向から見たときに、可視光を透過する透過領域Ａ１と、可視光を遮る遮光領域Ａ２と、を有してもよい。透過領域Ａ１は、例えばディスプレイの画像を透過する。遮光領域Ａ２は、透過領域Ａ１を囲むように形成される。遮光領域Ａ２は、例えば第２主面１２に形成された印刷層からなる。印刷層は、例えば黒色の材料からなり、黒色の材料は、無機材料でも有機材料でもよい。第１基板１０は、図示しない貫通孔を有してもよい。
【0021】
第１積層フィルム２０は、図５に示すように、第１ラミネートフィルム２１と、第１ラミネートフィルム２１をその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルム２２（図６参照）と、を有する。第１キャリアフィルム２２の片面に、第１キャリアフィルム２２の長手方向に間隔をおいて複数の第１ラミネートフィルム２１が設けられる。
【0022】
第１積層フィルム２０は、第１ラミネートフィルム２１ごとに第１ラミネートフィルム２１の位置を示す第１アライメントマーク２３を有する。第１アライメントマーク２３は、第１キャリアフィルム２２の長手方向における第１ラミネートフィルム２１の位置を示す。第１アライメントマーク２３は、第１ラミネートフィルム２１ごとに１つ以上設けられる。第１ラミネートフィルム２１のＹ軸正方向側とＹ軸負方向側の両側に、第１アライメントマーク２３が設けられてもよい。
【0023】
第１ラミネートフィルム２１は、図６に示すように、基材フィルム２１ａと接着層２１ｂとを有し、接着層２１ｂを第１キャリアフィルム２２に向けて、第１キャリアフィルム２２の片面に接着されている。第１ラミネートフィルム２１は、第１キャリアフィルム２２の片面から剥離された後、図９に示すように、接着層２１ｂを第１基板１０に向けて、第１基板１０の第１主面１１に貼合される。
【0024】
図１０に示すように、第１基板１０の第１主面１１に対して垂直な方向から見て、第１ラミネートフィルム２１は第１基板１０と相似形状を有する。第１ラミネートフィルム２１は、本実施形態では第１基板１０よりも小さいが、第１基板１０よりも大きくてもよい。また、第１ラミネートフィルム２１は、第１基板１０と同じ大きさを有してもよい。
【0025】
第１ラミネートフィルム２１が第１基板１０よりも小さく、第１ラミネートフィルム２１の全体が第１基板１０の第１主面１１に貼合されることがある。この場合、第１ラミネートフィルム２１が第１基板１０の外周からはみ出すことなく固定されるので、第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０を剥離することが難しい。
【0026】
そこで、第１ラミネートフィルム２１は図示しない第１プルタブを有してもよい。第１プルタブは、第１基板１０の第１主面１１の周縁の一部において、第１主面１１の外側にはみ出す。作業者または作業ロボットは、第１プルタブを掴みながら、第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０を剥離することができる。第１プルタブの角は、面取りされていることが好ましい。
【0027】
第１積層フィルム２０は、図５、図６に示すように、第１キャリアフィルム２２の片面に、第１ラミネートフィルム２１と、第１ラミネートフィルム２１の外側に配置される第１外側フィルム２４と、を有してもよい。なお、第１アライメントマーク２３は、第１外側フィルム２４に設けられる。
【0028】
第１積層フィルム２０は、図６に示すように、予めハーフカットされており、第１ラミネートフィルム２１と第１外側フィルム２４を分断する切れ目２７を有する。切れ目２７は、第１キャリアフィルム２２の片面に達していてもよいが、第１キャリアフィルム２２の反対面までは達しない。切れ目２７は、第１キャリアフィルム２２を貫通しなければよい。切れ目２７は、第１ラミネートフィルム２１の周縁全体にわたって形成される。
【0029】
図９に示すように、第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０の貼合後に、第１基板１０の第１主面１１の一部が第１ラミネートフィルム２１から露出することがある。その場合、図１１に示すように、第１外側フィルム２４は、第１基板１０と第１ラミネートローラ３１１に接触しながら、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２を通過することが好ましい。これにより、第１基板１０と第１ラミネートローラ３１１の接触を抑制でき、摩擦と汚れの転写を抑制できる。貼合を繰り返し多数回行う本技術の方式においては、汚れの転写を抑制したい場合、清掃の為に都度貼合動作を停止することになり、大きなタクトロスにつながる為、このような表面の摩擦や汚れの転写防止の機構が重要である。
【0030】
第１外側フィルム２４は、図６に示すように、基材フィルム２４ａと接着層２４ｂとを有し、接着層２４ｂを第１キャリアフィルム２２に向けて、第１キャリアフィルム２２の片面に接着されている。第１外側フィルム２４は、第１キャリアフィルム２２の片面から剥離した後、図１１に示すように、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２を通過する。その後、第１外側フィルム２４は、第１回収部２１６（図１参照）に回収される。第１回収部２１６は、第１外側フィルム２４を巻き取る第１回収軸を有してもよい。
【0031】
第２積層フィルム３０は、図７に示すように、第２ラミネートフィルム３１と、第２ラミネートフィルム３１をその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第２キャリアフィルム３２と、を有する。第２キャリアフィルム３２の片面に、第２キャリアフィルム３２の長手方向に間隔をおいて複数の第２ラミネートフィルム３１が設けられる。
【0032】
第２積層フィルム３０は、第２ラミネートフィルム３１ごとに第２ラミネートフィルム３１の位置を示す第２アライメントマーク３３を有する。第２アライメントマーク３３は、第２キャリアフィルム３２の長手方向における第２ラミネートフィルム３１の位置を示す。第２アライメントマーク３３は、第２ラミネートフィルム３１ごとに１つ以上設けられる。第２ラミネートフィルム３１のＹ軸正方向側とＹ軸負方向側の両側に、第２アライメントマーク３３が設けられてもよい。
【0033】
第２ラミネートフィルム３１は、図８に示すように、基材フィルム３１ａと接着層３１ｂを有し、接着層３１ｂを第２キャリアフィルム３２に向けて、第２キャリアフィルム３２の片面に接着されている。第２ラミネートフィルム３１は、第２キャリアフィルム３２の片面から剥離された後、図９に示すように、接着層３１ｂを第１基板１０に向けて、第１基板１０の第２主面１２に貼合される。
【0034】
図示しないが、第２ラミネートフィルム３１は、第１ラミネートフィルム２１と同様に、第１基板１０と相似形状を有する。第２ラミネートフィルム３１は、本実施形態では第１基板１０よりも小さいが、第１基板１０よりも大きくてもよい。また、第２ラミネートフィルム３１は、第１基板１０と同じ大きさを有してもよい。
【0035】
第２ラミネートフィルム３１が第１基板１０よりも小さく、第２ラミネートフィルム３１の全体が第１基板１０の第２主面１２に貼合されることがある。この場合、第２ラミネートフィルム３１が第１基板１０の外周からはみ出すことなく固定されるので、第２ラミネートフィルム３１と第１基板１０を剥離することが難しい。
【0036】
そこで、第２ラミネートフィルム３１は図示しない第２プルタブを有してもよい。第２プルタブは、第１基板１０の第２主面１２の周縁の一部において、第２主面１２の外側にはみ出す。作業者または作業ロボットは、第２プルタブを掴みながら、第２ラミネートフィルム３１と第１基板１０を剥離することができる。第２プルタブの角は、面取りされていることが好ましい。
【0037】
第２積層フィルム３０は、図７、図８に示すように、第２キャリアフィルム３２の片面に、第２ラミネートフィルム３１と、第２ラミネートフィルム３１の外側に配置される第２外側フィルム３４と、を有してもよい。なお、第２アライメントマーク３３は、第２外側フィルム３４に設けられる。
【0038】
第２積層フィルム３０は、図８に示すように、予めハーフカットされており、第２ラミネートフィルム３１と第２外側フィルム３４を分断する切れ目３７を有する。切れ目３７は、第２キャリアフィルム３２の片面に達していてもよいが、第２キャリアフィルム３２の反対面までは達しない。切れ目３７は、第２キャリアフィルム３２を貫通しなければよい。切れ目３７は、第２ラミネートフィルム３１の周縁全体にわたって形成される。
【0039】
図９に示すように、第２ラミネートフィルム３１と第１基板１０の貼合後に、第１基板１０の第２主面１２の一部が第２ラミネートフィルム３１から露出することがある。その場合、図１１に示すように、第２外側フィルム３４は第１基板１０と第１ラミネートローラ３１２に接触しながら、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２を通過することが好ましい。これにより、第１基板１０と第１ラミネートローラ３１２の接触を抑制でき、摩擦と汚れの転写を抑制できる。
【0040】
第２外側フィルム３４は、図８に示すように、基材フィルム３４ａと接着層３４ｂとを有し、接着層３４ｂを第２キャリアフィルム３２に向けて、第２キャリアフィルム３２の片面に接着されている。第２外側フィルム３４は、第２キャリアフィルム３２の片面から剥離した後、図１１に示すように、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２を通過する。その後、第２外側フィルム３４は、第２回収部２２６（図１参照）に回収される。第２回収部２２６は、第２外側フィルム３４を巻き取る第２回収軸を有してもよい。
【0041】
次に、主に図１～図２を再度参照して、貼合装置１００の上流域の詳細について説明する。貼合装置１００は、例えば、第１基板搬送部１１０と、第１フィルム搬送部２１０と、第２フィルム搬送部２２０と、第１貼合部３１０と、制御部１９０と、を備える。
【0042】
制御部１９０は、例えばコンピュータであり、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算部と、メモリなどの記憶部と、を備える。記憶部には、貼合装置１００において実行される各種の処理を制御するプログラムが格納される。制御部１９０は、記憶部に記憶されたプログラムを演算部に実行させることにより、貼合装置１００の動作を制御する。
【0043】
制御部１９０は、ＣＰＵ、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）又はＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等の電子回路を含み、メモリに格納された命令コードを実行することにより、または特殊用途向けに回路設計されることにより、本願明細書に記載の各種制御動作を実行する。
【0044】
第１基板搬送部１１０は、第１基板１０の搬送経路を形成する。第１基板１０は、図９に示すように、第１主面１１と、第１主面１１とは反対向きの第２主面１２と、を有する。第１主面１１が上面であり、第２主面１２が下面である。第１基板１０は、Ｘ軸正方向に間隔をおいて複数並べられ、一括で又は個別にＸ軸正方向に搬送される。
【0045】
第１基板搬送部１１０は、図１に示すように、複数本の第１搬送ローラ１１１を有する。複数本の第１搬送ローラ１１１は、Ｘ軸方向に間隔をおいて並べられる。第１搬送ローラ１１１は、例えば、金属ローラと、金属ローラの外周面を覆う樹脂膜と、を有する。樹脂膜が第１基板１０と接触する。これにより、第１基板１０に傷が付くのを抑制できる。
【0046】
第１基板搬送部１１０は、図示しない第１搬送モータを有する。第１搬送モータが、第１搬送ローラ１１１を回転させる。複数の第１搬送モータが、複数本の第１搬送ローラ１１１を個別に回転させてもよい。また、１つの第１搬送モータが、複数本の第１搬送ローラ１１１を一括で回転させてもよい。第１基板搬送部１１０は、全ての第１搬送ローラ１１１を同時に回転させなくてもよい。
【0047】
第１基板搬送部１１０は、複数本の第１搬送ローラ１１１を回転させることで、第１基板１０をＸ軸正方向に搬送する。第１基板１０の搬送速度は、第１搬送ローラ１１１の周速度に等しい。周速度は、周長と回転数（ｒｐｍ）の積である。
【0048】
第１基板搬送部１１０は、Ｙ軸方向およびθＺ方向における第１基板１０の位置を整える不図示の位置決め部を有してもよい。位置決め部は、例えば、第１基板１０の端面に接離するコロを、第１基板１０の周縁に沿って間隔をおいて複数（例えば４つ）有する。位置決め部が第１基板１０の位置を整えた後で、第１貼合部３１０が第１基板１０に対して第１ラミネートフィルム２１と第２ラミネートフィルム３１を貼合することが好ましい。
【0049】
第１フィルム搬送部２１０は、例えば、第１ラミネートフィルム２１の搬送経路と、第１キャリアフィルム２２の搬送経路と、を形成する。第１ラミネートフィルム２１は、第１基板１０の第１主面１１に貼合する。第１キャリアフィルム２２は、第１ラミネートフィルム２１をその搬送方向に間隔をおいて複数保持する。
【0050】
第１フィルム搬送部２１０は、例えば、第１巻出軸２１１と、第１剥離体２１２と、第１巻取軸２１３と、を有する。第１巻出軸２１１は、予めロール状に巻き取られた第１積層フィルム２０を巻き出す。第１剥離体２１２は、第１キャリアフィルム２２の搬送経路の第１合流地点よりも手前で第１キャリアフィルム２２を折り返すことで第１キャリアフィルム２２と第１ラミネートフィルム２１を剥離する。第１剥離体２１２は、例えばくさび状の先端を有しており、その先端において第１キャリアフィルム２２と第１ラミネートフィルム２１を剥離する。第１巻取軸２１３は、第１剥離体２１２で折り返した第１キャリアフィルム２２をロール状に巻き取る。
【0051】
第１フィルム搬送部２１０は、第１中継ローラ２１４、２１５を有してもよい。第１中継ローラ２１４は、第１巻出軸２１１と第１剥離体２１２の間で、第１積層フィルム２０の搬送方向を転換する。第１中継ローラ２１４は、複数設けられてもよい。第１中継ローラ２１５は、第１剥離体２１２と第１巻取軸２１３の間で、第１キャリアフィルム２２の搬送方向を転換する。第１中継ローラ２１５は、複数設けられてもよい。
【0052】
第１フィルム搬送部２１０の第１剥離体２１２から第１巻取軸２１３の間において、図示しない２つのローラの間に第１キャリアフィルム２２を挟み込んで、第1巻取軸２１３とは独立して第１キャリアフィルム２２を搬送する機構が設けられていることが望ましい。前記２つのローラは、一方が他方に従動するものであってよい。
【0053】
第１フィルム搬送部２１０は、図２に示すように、第１個別調整部２１７を備えてもよい。第１個別調整部２１７は、後述する第１駆動部１０２とは異なり、第１フィルム搬送部２１０の全体ではなく、第１フィルム搬送部２１０の一部を移動させる。第１個別調整部２１７は、例えば第１剥離体２１２を移動させる。第１個別調整部２１７は、第１剥離体２１２をＹ軸正方向およびＹ軸負方向に移動させる。また、第１個別調整部２１７は、第１剥離体２１２をＸ軸正方向、Ｘ軸負方向、Ｚ軸正方向およびＺ軸負方向に移動させると共に、第１剥離体２１２をθＹ方向に回転させる。
【0054】
第２フィルム搬送部２２０は、図１に示すように、例えば、第２ラミネートフィルム３１の搬送経路と、第２キャリアフィルム３２の搬送経路と、を形成する。第２ラミネートフィルム３１は、第１基板１０の第２主面１２に貼合する。第２キャリアフィルム３２は、第２ラミネートフィルム３１をその搬送方向に間隔をおいて複数保持する。
【0055】
第２フィルム搬送部２２０は、例えば、第２巻出軸２２１と、第２剥離体２２２と、第２巻取軸２２３と、を有する。第２巻出軸２２１は、予めロール状に巻き取られた第２積層フィルム３０を巻き出す。第２剥離体２２２は、第２キャリアフィルム３２の搬送経路の第１合流地点よりも手前で第２キャリアフィルム３２を折り返すことで第２キャリアフィルム３２と第２ラミネートフィルム３１を剥離する。第２剥離体２２２は、例えばくさび状の先端を有しており、その先端において第２キャリアフィルム３２と第２ラミネートフィルム３１を剥離する。第２巻取軸２２３は、第２剥離体２２２で折り返した第２キャリアフィルム３２をロール状に巻き取る。
【0056】
第２フィルム搬送部２２０は、第２中継ローラ２２４、２２５を有してもよい。第２中継ローラ２２４は、第２巻出軸２２１と第２剥離体２２２の間で、第２積層フィルム３０の搬送方向を転換する。第２中継ローラ２２４は、複数設けられてもよい。第２中継ローラ２２５は、第２剥離体２２２と第２巻取軸２２３の間で、第２キャリアフィルム３２の搬送方向を転換する。第２中継ローラ２２５は、複数設けられてもよい。
【0057】
第２フィルム搬送部２２０の第２剥離体２２２から第２巻取軸２２３の間において、図示しない２つのローラの間に第２キャリアフィルム３２を挟み込んで、第２巻取軸２２３とは独立して第２キャリアフィルム３２を搬送する機構が設けられていることが望ましい。前記２つのローラは、一方が他方に従動するものであってよい。
【0058】
第２フィルム搬送部２２０は、図２に示すように、第２個別調整部２２７を備えてもよい。第２個別調整部２２７は、後述する第２駆動部１０５とは異なり、第２フィルム搬送部２２０の全体ではなく、第２フィルム搬送部２２０の一部を移動させる。第２個別調整部２２７は、例えば第２剥離体２２２を移動させる。第２個別調整部２２７は、第２剥離体２２２をＹ軸正方向およびＹ軸負方向に移動させる。また、第２個別調整部２２７は、第２剥離体２２２をＸ軸正方向、Ｘ軸負方向、Ｚ軸正方向およびＺ軸負方向に移動させると共に、第２剥離体２２２をθＹ方向に回転させる。
【0059】
第１貼合部３１０は、第１合流地点で、第１基板１０に対して第１ラミネートフィルム２１と第２ラミネートフィルム３１を貼合することで、第２基板１０Ａを作製する。第２基板１０Ａは、第１基板１０を挟んで第１ラミネートフィルム２１と第２ラミネートフィルム３１を有する。
【0060】
第１貼合部３１０は、例えば、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２を有する。一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２は、上側から下側に向けて、第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０と第２ラミネートフィルム３１をこの順番で挟んで送り出す。なお、第１貼合部３１０は、後述する第２貼合部３２０と同様に構成されてもよい。
【0061】
第１貼合部３１０は、例えば、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２を回転させることで、第２基板１０ＡをＸ軸正方向に搬送する。第２基板１０Ａの搬送速度は、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２の周速度に等しい。周速度は、周長と回転数（ｒｐｍ）の積である。なお、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２の周速度は等しい。
【0062】
第１貼合部３１０は、図１１に示すように、例えば、一対の第１回転モータ３１３、３１４を有する。第１回転モータ３１３は、第１ラミネートローラ３１１を回転させる。第１回転モータ３１４は、第１ラミネートローラ３１２を回転させる。なお、第１回転モータ３１３、３１４の一方は無くてもよい。一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２の一方は他方の回転に応じて従動的に回転させられてもよい。
【0063】
貼合装置１００は、図１に示すように、第１マーク検出部１０１を備える。第１マーク検出部１０１は、第１ラミネートフィルム２１の搬送経路の第１合流地点よりも手前で、第１アライメントマーク２３を検出する。その検出位置は、できるだけ第１合流地点に近いことが好ましい。
【0064】
第１マーク検出部１０１は、例えば光電センサを含む。光電センサは、発光素子と、発光素子から発射した光を受光する受光素子と、を有する。なお、発光素子はレーザであってもよく、光電センサはレーザセンサであってもよい。
【0065】
発光素子と受光素子は、例えば第１積層フィルム２０の片側に設けられる。受光素子は第１積層フィルム２０で反射した光を受光する。第１アライメントマーク２３が後述するように貫通孔である場合、発光素子から受光素子に向かう光の光路を第１アライメントマーク２３が通過するときに、受光素子の受光量が低下する。
【0066】
なお、発光素子と受光素子は第１積層フィルム２０を挟んで設けられてもよく、受光素子は第１積層フィルム２０を透過した光を受光してもよい。第１アライメントマーク２３が後述するように貫通孔である場合、発光素子から受光素子に向かう光の光路を第１アライメントマーク２３が通過するときに、受光素子の受光量が増加する。
【0067】
第１アライメントマーク２３は、例えば貫通孔である。なお、第１アライメントマーク２３は、切り欠きであってもよい。貫通孔と切り欠きは、第１積層フィルム２０をその厚さ方向に貫通して形成される。これにより、受光素子の受光量が変化しやすく、第１アライメントマーク２３を精度良く検出できる。
【0068】
なお、第１マーク検出部１０１は、光電センサには限定されない。光電センサの代わりに、近接センサも使用可能である。また、第１マーク検出部１０１は、撮像センサと、画像処理装置と、を有してもよい。画像処理装置は、撮像センサで撮像した画像を処理することで、第１アライメントマーク２３を検出する。第１アライメントマーク２３は、インクで印刷されてもよい。
【0069】
制御部１９０は、第１マーク検出部１０１の検出結果に基づき第１ラミネートフィルム２１の搬送を制御する。制御する対象は、搬送距離、搬送速度、及び搬送時間の少なくとも１つを含む。これにより、貼合開始時にＸ軸方向における第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０の位置ずれを抑制でき、第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０を精度良く貼合できる。
【0070】
貼合開始時にＹ軸方向における第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０の位置ずれを抑制することも可能である。図１に示すように、貼合装置１００は第１駆動部１０２と第１エッジ検出部１０３を備えてもよい。第１駆動部１０２は、第１フィルム搬送部２１０をＹ軸正方向とＹ軸負方向とに移動させる。第１駆動部１０２は、例えば、モータと、モータの回転運動を第１フィルム搬送部２１０の直線運動に変換するボールねじと、を有する。
【0071】
第１駆動部１０２は、第１フィルム搬送部２１０の構成要素、例えば第１巻出軸２１１と第１剥離体２１２と第１巻取軸２１３をまとめて移動させる。これらの構成要素の相対的な位置を維持したまま、第１ラミネートフィルム２１の搬送経路と第１キャリアフィルム２２の搬送経路を第１基板１０の搬送経路に対して移動させることができる。
【0072】
第１エッジ検出部１０３は、Ｙ軸正方向とＹ軸負方向の少なくとも一方向（本実施形態では両方向）における第１積層フィルム２０の端を検出する。検出するのは、例えば第１キャリアフィルム２２の端である。第１エッジ検出部１０３は、例えば、レーザ変位センサを有する。あるいは、第１エッジ検出部１０３は、撮像センサと、画像処理装置と、を有してもよい。画像処理装置は、撮像センサで撮像した画像を処理することで、第１積層フィルム２０の端を検出する。
【0073】
制御部１９０は、第１エッジ検出部１０３の検出結果に基づき第１駆動部１０２を制御することで、第１ラミネートフィルム２１を所望の位置までＹ軸正方向またはＹ軸負方向に移動させる制御を行なう。これにより、貼合開始時にＹ軸方向における第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０の位置ずれを抑制でき、第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０を精度良く貼合できる。
【0074】
第１駆動部１０２と第１エッジ検出部１０３は、θＺ方向における第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０の位置調整にも使用可能である。第１駆動部１０２は、第１フィルム搬送部２１０をθＺ方向に回転させてもよい。また、第１エッジ検出部１０３は、第１積層フィルム２０の幅方向一端を、第１積層フィルム２０の長手方向に間隔をおいて複数箇所で検出してもよい。さらに、第１エッジ検出部１０３は、第１積層フィルム２０の幅方向他端を、第１積層フィルム２０の長手方向に間隔をおいて複数箇所で検出してもよい。第１エッジ検出部１０３は、図１に示すように、第１積層フィルム２０の長手方向に間隔をおいて複数設けられてもよい。第１エッジ検出部１０３が第１積層フィルム２０の基準方向に対する傾きを検出し、その検出結果に基づき第１駆動部１０２が第１フィルム搬送部２１０をθＺ方向に回転させる。なお、第１エッジ検出部１０３が第１積層フィルム２０の基準方向に対する傾きを検出し、その検出結果に基づき後述する第１位置調整部３１６が第１基板１０をθＺ方向に回転させてもよい。
【0075】
制御部１９０は、第１エッジ検出部１０３の検出結果に基づき第１駆動部１０２を制御することで、第１ラミネートフィルム２１を所望の位置までθＺ方向に移動させる制御を行なう。あるいは、制御部１９０は、第１エッジ検出部１０３の検出結果に基づき第１位置調整部３１６を制御することで、第１基板１０を所望の位置までθＺ方向に回転させる制御を行う。これにより、貼合開始時にθＺ方向における第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０の位置ずれを抑制でき、第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０を精度良く貼合できる。
【0076】
貼合装置１００は、第２マーク検出部１０４を備える。第２マーク検出部１０４は、第２ラミネートフィルム３１の搬送経路の第１合流地点よりも手前で、第２アライメントマーク３３を検出する。その検出位置は、できるだけ第１合流地点に近いことが好ましい。第２マーク検出部１０４は、第１マーク検出部１０１と同様に構成される。
【0077】
第２アライメントマーク３３は、例えば貫通孔である。なお、第２アライメントマーク３３は、切り欠きであってもよい。貫通孔と切り欠きは、第２積層フィルム３０をその厚さ方向に貫通して形成される。これにより、受光素子の受光量が変化しやすく、第２アライメントマーク３３を精度良く検出できる。
【0078】
制御部１９０は、第２マーク検出部１０４の検出結果に基づき第２ラミネートフィルム３１の搬送を制御する。制御する対象は、搬送距離、搬送速度、及び搬送時間の少なくとも１つを含む。これにより、貼合開始時にＸ軸方向における第２ラミネートフィルム３１と第１基板１０の位置ずれを抑制でき、第２ラミネートフィルム３１と第１基板１０を精度良く貼合できる。
【0079】
貼合開始時にＹ軸方向における第２ラミネートフィルム３１と第１基板１０の位置ずれを抑制することも可能である。図１に示すように、貼合装置１００は第２駆動部１０５と第２エッジ検出部１０６を備えてもよい。第２駆動部１０５は、第２フィルム搬送部２２０をＹ軸正方向とＹ軸負方向とに移動させる。第２駆動部１０５は、例えば、モータと、モータの回転運動を第２フィルム搬送部２２０の直線運動に変換するボールねじと、を有する。
【0080】
第２駆動部１０５は、第２フィルム搬送部２２０の構成要素、例えば第２巻出軸２２１と第２剥離体２２２と第２巻取軸２２３をまとめて移動させる。これらの構成要素の相対的な位置を維持したまま、第２ラミネートフィルム３１の搬送経路と第２キャリアフィルム３２の搬送経路を第１基板１０の搬送経路に対して移動させることができる。
【0081】
第２エッジ検出部１０６は、Ｙ軸正方向とＹ軸負方向の少なくとも一方向（本実施形態では両方向）における第２積層フィルム３０の端を検出する。検出するのは、例えば第２キャリアフィルム３２の端である。第２エッジ検出部１０６は、第１エッジ検出部１０３と同様に構成される。
【0082】
制御部１９０は、第２エッジ検出部１０６の検出結果に基づき第２駆動部１０５を制御することで、第２ラミネートフィルム３１を所望の位置までＹ軸正方向またはＹ軸負方向に移動させる制御を行なう。これにより、貼合開始時にＹ軸方向における第２ラミネートフィルム３１と第１基板１０の位置ずれを抑制でき、第２ラミネートフィルム３１と第１基板１０を精度良く貼合できる。
【0083】
第２駆動部１０５と第２エッジ検出部１０６は、θＺ方向における第２ラミネートフィルム３１と第１基板１０の位置調整にも使用可能である。第２駆動部１０５は、第２フィルム搬送部２２０をθＺ方向に回転させてもよい。また、第２エッジ検出部１０６は、第２積層フィルム３０の幅方向一端を、第２積層フィルム３０の長手方向に間隔をおいて複数箇所で検出してもよい。さらに、第２エッジ検出部１０６は、第２積層フィルム３０の幅方向他端を、第２積層フィルム３０の長手方向に間隔をおいて複数箇所で検出してもよい。第２エッジ検出部１０６は、図１に示すように、第２積層フィルム３０の長手方向に間隔をおいて複数設けられてもよい。第２エッジ検出部１０６が第２積層フィルム３０の基準方向に対する傾きを検出し、その検出結果に基づき第２駆動部１０５が第２フィルム搬送部２２０をθＺ方向に回転させる。なお、第２エッジ検出部１０６が第２積層フィルム３０の基準方向に対する傾きを検出し、その検出結果に基づき後述する第１位置調整部３１６が第１基板１０をθＺ方向に回転させてもよい。
【0084】
制御部１９０は、第２エッジ検出部１０６の検出結果に基づき第２駆動部１０５を制御することで、第２ラミネートフィルム３１を所望の位置までθＺ方向に移動させる制御を行なう。あるいは、制御部１９０は、第２エッジ検出部１０６の検出結果に基づき第１位置調整部３１６を制御することで、第１基板１０を所望の位置までθＺ方向に回転させる制御を行う。これにより、貼合開始時にθＺ方向における第２ラミネートフィルム３１と第１基板１０の位置ずれを抑制でき、第２ラミネートフィルム３１と第１基板１０を精度良く貼合できる。
【0085】
第１貼合部３１０は、第１吸着板３１５を有してもよい。第１吸着板３１５は、第１基板１０を吸着する。例えば、第１吸着板３１５は、第１基板１０を真空吸着する。第１基板搬送部１１０がコロなどで第１基板１０の位置を整えた後、第１吸着板３１５が第１基板１０を吸着することが好ましい。
【0086】
第１吸着板３１５が第１基板１０を第１基板搬送部１１０から受け取ってから、少なくとも、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２が第１基板１０などを挟むまで、第１吸着板３１５が第１基板１０を吸着する。一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２が第１基板１０などを挟む際の衝撃で第１基板１０の位置がずれるのを抑制できる。
【0087】
第１吸着板３１５は、例えば第１基板１０の第２主面１２に対向して設けられる。第１吸着板３１５は、例えば、金属板と、金属板の第１基板１０との対向面を覆う樹脂膜と、を有する。樹脂膜が第１基板１０と接触する。これにより、第１基板１０に傷が付くのを抑制できる。第１吸着板３１５は、例えば、図３に示すように、第１搬送ローラ１１１をＹ軸方向に分割して形成されるスペースに設けられる。
【0088】
第１吸着板３１５は、図２に示すように、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２が第１基板１０などを挟んで送り出す間も、第１基板１０を吸着し続けてもよい。第１吸着板３１５によって第１基板１０の姿勢を安定化できる。その間、制御部１９０は、搬送速度の差による滑り摩擦の発生を抑制し、傷または汚れの付着を抑制すべく、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２の周速度と、第１吸着板３１５の移動速度とを同じ速度に制御する。ここで、同じ搬送速度とは、一方の搬送速度（例えば第１ラミネートローラ３１１、３１２の周速度）が他方の搬送速度（例えば第１吸着板３１５の移動速度）の９５％～１０５％であることを意味する。
【0089】
第１吸着板３１５が第１ラミネートローラ３１２に衝突する前に、第１吸着板３１５はＸ軸正方向への移動を止め、第１基板１０の吸着を解除してもよい。その間、滑り摩擦が生じないように、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２の回転が停止させられる。その後、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２は、再び回転させられ、第１基板１０などを挟んで送り出す。
【0090】
なお、第１吸着板３１５が第１基板１０の吸着を解除する際に、第１吸着板３１５の移動と、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２の回転とが停止させられると、その時点での貼合位置を示す跡が残ってしまう。そこで、第１吸着板３１５がＸ軸正方向に移動し続けながら、第１基板１０の吸着を解除してもよい。第１吸着板３１５が第１基板１０の吸着を解除する前に、第１吸着板３１５の移動速度を減速させることが好ましい。
【0091】
第１貼合部３１０は、図１に示すように、第１位置調整部３１６と、第１位置検出部３１７を有してもよい。第１位置調整部３１６は、第１吸着板３１５をＸ軸正方向、Ｘ軸負方向、Ｙ軸正方向、Ｙ軸負方向、Ｚ軸正方向およびＺ軸負方向に移動させると共に、θＺ方向に回転させる。第１位置検出部３１７は、第１吸着板３１５が第１基板１０を吸着した後、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２が第１基板１０などを挟む前に、第１基板１０の位置を検出する。
【0092】
第１位置検出部３１７は、例えば、第１基板１０の複数の特徴点のそれぞれの位置を検出することで、第１基板１０の位置を検出する。第１基板１０の特徴点は、例えば、第１基板１０の第１主面１１の周縁の角、又は透過領域Ａ１と遮光領域Ａ２の境界線の角である。第１位置検出部３１７は、例えば、撮像センサと画像処理装置とを有する。画像処理装置は、撮像センサで撮像した画像を処理することで、特徴点の位置を検出する。第１位置検出部３１７は、例えば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθＺ方向における第１基板１０の位置を検出する。
【0093】
制御部１９０は、第１位置検出部３１７の検出結果に基づき第１位置調整部３１６を制御することで、第１基板１０を所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう。これにより、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθＺ方向における第１基板１０の位置を所望の位置に制御することができる。よって、第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０を精度良く貼合できる。
【0094】
貼合装置１００は、第２基板搬送部１２０を備えてもよい。第２基板搬送部１２０は、第１貼合部３１０で作製した第２基板１０Ａの搬送経路を形成する。第２基板搬送部１２０は、例えば第１基板搬送部１１０の延長線上に設けられる。第２基板１０Ａは、Ｘ軸正方向に間隔をおいて複数並べられ、一括で又は個別にＸ軸正方向に搬送される。
【0095】
第２基板搬送部１２０は、複数本の第２搬送ローラ１２１を有する。複数本の第２搬送ローラ１２１は、Ｘ軸方向に間隔をおいて並べられる。第２搬送ローラ１２１は、例えば、金属ローラと、金属ローラの外周面を覆う樹脂膜と、を有する。樹脂膜が第２基板１０Ａと接触する。これにより、第２基板１０Ａに傷が付くのを抑制できる。
【0096】
第２基板搬送部１２０は、図示しない第２搬送モータを有する。第２搬送モータが、第２搬送ローラ１２１を回転させる。複数の第２搬送モータが、複数本の第２搬送ローラ１２１を個別に回転させてもよい。また、１つの第２搬送モータが、複数本の第２搬送ローラ１２１を一括で回転させてもよい。第２基板搬送部１２０は、全ての第２搬送ローラ１２１を同時に回転させなくてもよい。
【0097】
第２基板搬送部１２０は、複数本の第２搬送ローラ１２１を回転させることで、第２基板１０ＡをＸ軸正方向に搬送する。第２基板１０Ａの搬送速度は、第２搬送ローラ１２１の周速度に等しい。周速度は、周長と回転数（ｒｐｍ）の積である。
【0098】
第２基板搬送部１２０は、Ｙ軸方向およびθＺ方向における第２基板１０Ａの位置を整える不図示の位置決め部を有してもよい。位置決め部は、例えば、第２基板１０Ａの端面に接離するコロを、第２基板１０Ａの周縁に沿って間隔をおいて複数（例えば４つ）有する。位置決め部が第２基板１０Ａの位置を整えた後で、後述する第２貼合部３２０が第２基板１０Ａと第３ラミネートフィルム４１を貼合することが好ましい。
【0099】
ところで、ラミネートフィルムの貼合後にラミネートフィルムの表面や基板の表面に汚れや傷が付いているのが散見されることがあった。前記汚れや傷は微細であることが多い為、目視では見つけにくいことが多く、且つその原因を特定することは難しかった。そこで、本発明者は前記汚れや傷跡の形状、位置、範囲、及び規則性を調査すべく、多数の貼合試験を行い、前記原因が主にラミネートローラと搬送部の速度差であることを突きとめた。
【0100】
そこで、制御部１９０は、第１貼合部３１０と第２基板搬送部１２０とで、第２基板１０Ａの搬送速度を個別に制御する。制御部１９０は、図１４に示すように、第２基板１０Ａが一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２から離隔するまで、同じ搬送速度で第１貼合部３１０と第２基板搬送部１２０を作動させる制御を行なうことが好ましい。ここで、同じ搬送速度とは、一方の搬送速度（例えば第１貼合部３１０の搬送速度ＶＬ）が他方の搬送速度（例えば第２基板搬送部の搬送速度ＶＳ）の９５％～１０５％であることを意味する。
【0101】
制御部１９０は、上記の通り、第２基板１０Ａが一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２から離隔するまで、同じ搬送速度で第１貼合部３１０と第２基板搬送部１２０を作動させる制御を行なう。よって、搬送速度ＶＬ、ＶＳの差による滑り摩擦の発生を抑制でき、傷または汚れの付着を抑制できる。特に、図１２及び図１３に示すように第１基板１０の第２主面１２に第２ラミネートフィルム３１が貼合されず、第１基板１０の第２主面１２に第１ラミネートローラ３１２が接触する場合に、傷または汚れの付着を抑制する効果が得られやすい。
【0102】
図１３に示すように第１ラミネートローラ３１２が第１基板１０の第２主面１２に接触する場合、第１貼合部３１０は清掃ローラ３１８を有することが好ましい。第１ラミネートローラ３１２の外周面が第１基板１０に接触している間に、清掃ローラ３１８が第１ラミネートローラ３１２の外周面に接触して当該外周面から異物を除去する。これにより、貼合動作を止めることなく、第１ラミネートローラ３１２の外周面を清浄に保つことができ、第１基板１０に汚れが付着するのを抑制できる。また、連続して第１基板１０を貼合する場合においても貼合動作を止める必要がないためタクト短縮に貢献できる。
【0103】
制御部１９０は、図１４に示すように、第２基板１０Ａが一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２を完全に通り抜けた後で、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２の回転を停止させる。制御部１９０は、第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０の貼合完了時点では一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２の回転を止めることなく、その回転を継続する。これにより、搬送速度の差による滑り摩擦の発生を抑制でき、傷または汚れの付着を抑制できる。
【0104】
図１５～図１６を参照して、貼合装置１００の上流域の動作について説明する。第１吸着板３１５は予め第１基板１０の搬送経路の下方で待機しており、第１基板１０がＸ軸正方向に所定位置まで移動して停止すると、第１吸着板３１５が上昇して第１基板１０の下面を吸着する。第１吸着板３１５は、更に上昇して第１基板１０を第１搬送ローラ１１１から上方に離隔させる。次に、第１吸着板３１５が第１基板１０を吸着した状態で、第１位置検出部３１７が第１基板１０の位置を検出する。次に、制御部１９０は、第１位置検出部３１７の検出結果に基づき第１位置調整部３１６を制御することで、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθＺ方向における第１基板１０の位置を所望の位置に制御する。
【0105】
次に、第１吸着板３１５が、第１基板１０を吸着した状態でＸ軸正方向に移動し、第１基板１０を一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２の間に挿入する。次に、上方の第１ラミネートローラ３１１が下降し、下方の第１ラミネートローラ３１２が上昇する。そうして、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２が、上側から下側に向けて、第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０と第２ラミネートフィルム３１とをこの順番で挟む。
【0106】
次に、図１６に示すように、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２が第１基板１０などを挟んで送り出す。その間、第１吸着板３１５は、第１基板１０を吸着し続けてもよい。第１吸着板３１５によって第１基板１０の姿勢を安定化できる。その間、制御部１９０は、搬送速度の差による滑り摩擦の発生を抑制すべく、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２の周速度と、第１吸着板３１５の移動速度とを同じ速度に制御する。
【0107】
第１吸着板３１５が第１ラミネートローラ３１２に衝突する前に、第１吸着板３１５はＸ軸正方向への移動を止め、第１基板１０の吸着を解除する。その間、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２の回転が停止させられる。その後、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２は、再び回転させられ、第１基板１０などを挟んで送り出す。
【0108】
なお、第１吸着板３１５が第１基板１０の吸着を解除する際に、第１吸着板３１５の移動と、一対の第１ラミネートローラ３１１、３１２の回転とが停止させられると、その時点での貼合位置を示す跡が残ってしまう。そこで、第１吸着板３１５がＸ軸正方向に移動し続けながら、第１基板１０の吸着を解除してもよい。第１吸着板３１５が第１基板１０の吸着を解除する前に、第１吸着板３１５の移動速度を減速させることが好ましい。
【0109】
第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０と第２ラミネートフィルム３１との貼合完了後、得られた第２基板１０Ａは第２基板搬送部１２０によってＸ軸正方向に移動させられる。なお、第１吸着板３１５は、第１基板１０の吸着を解除した後、元の位置まで移動し、第１基板１０の搬送経路の下方で待機する。
【0110】
第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０と第２ラミネートフィルム３１との貼合が繰り返し行われる間、第１合流地点よりも手前で、第１マーク検出部１０１が第１アライメントマーク２３を検出する。制御部１９０は、第１マーク検出部１０１の検出結果に基づき第１ラミネートフィルム２１の搬送を制御する。制御する対象は、搬送距離、搬送速度、及び搬送時間の少なくとも１つを含む。これにより、貼合開始時にＸ軸方向における第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０の位置ずれを抑制でき、第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０を精度良く貼合できる。
【0111】
また、第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０と第２ラミネートフィルム３１との貼合が繰り返し行われる間、第１合流地点よりも手前で、第２マーク検出部１０４が第２アライメントマーク３３を検出する。制御部１９０は、第２マーク検出部１０４の検出結果に基づき第２ラミネートフィルム３１の搬送を制御する。制御する対象は、搬送距離、搬送速度、及び搬送時間の少なくとも１つを含む。これにより、貼合開始時にＸ軸方向における第２ラミネートフィルム３１と第１基板１０の位置ずれを抑制でき、第２ラミネートフィルム３１と第１基板１０を精度良く貼合できる。
【0112】
次に、主に図１７を参照して、一実施形態に係る貼合装置１００の中流域の概要について説明する。貼合装置１００は、例えば、第２基板搬送部１２０と、第３フィルム搬送部２３０と、第２貼合部３２０と、を備える。第２基板搬送部１２０は、第２基板１０Ａの搬送経路を形成する。第３フィルム搬送部２３０は、少なくとも第３ラミネートフィルム４１の搬送経路を形成する。第３ラミネートフィルム４１は、第２ラミネートフィルム３１の代わりに、第１基板１０の第２主面１２に貼合する。第２基板１０Ａの搬送経路と第３ラミネートフィルム４１の搬送経路が合流する地点を、第２合流地点と記載することがある。第２貼合部３２０は、第２合流地点で、第２基板１０Ａと第３ラミネートフィルム４１を貼合することで、第３基板１０Ｂを作製する。
【0113】
第２貼合部３２０は、第３ラミネートフィルム４１と第１基板１０の貼合を、第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０の貼合の後に、第１ラミネートフィルム２１と第１基板１０の貼合とは独立して行うことができる。これにより、第３ラミネートフィルム４１が第１基板１０の第２主面１２の周縁の少なくとも一部から５ｍｍ以上はみ出し、そのはみ出した部分が第１主面１１側に揺れ動いても、第１外側フィルム２４は、貼合装置１００の前段の第１貼合部３１０において第１回収部２１６に回収され除去済みである為、第３ラミネートフィルム４１の接着層４１ｂが第１外側フィルム２４の接着層２４ｂに付着することはない。これにより、第３ラミネートフィルムの外周部分が、第１外側ラミネートフィルムに接着し、貼合動作に不具合が生じることや、ガラス基板への汚れや傷の発生を抑制できる。
【0114】
なお、仮に第１貼合部３１０が第１ラミネートフィルム２１を第１基板１０の第１主面１１に貼合すると共に第３ラミネートフィルム４１を第１基板１０の第２主面１２に貼合する場合、第３ラミネートフィルム４１のはみ出した部分が第１主面１１側に揺れ動いたときに、そのはみ出し部分の接着層４１ｂが第１外側フィルム２４の接着層２４ｂに付着してしまう。その結果、第１外側フィルム２４に第１基板１０と第３ラミネートフィルム４１がひきずられ、第１貼合部３１０での貼合動作の継続が困難となる。なお、第３ラミネートフィルム４１は、第１基板１０の第２主面１２の周縁の全体において５ｍｍ以上はみ出してもよい。
【0115】
次に、主に図１８～図２１を参照して、第３積層フィルム４０について説明する。第３積層フィルム４０は、図１８に示すように、第３ラミネートフィルム４１と、第３ラミネートフィルム４１をその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第３キャリアフィルム４２と、を有する。第３キャリアフィルム４２の片面に、第３キャリアフィルム４２の長手方向に間隔をおいて複数の第３ラミネートフィルム４１が設けられる。
【0116】
第３積層フィルム４０は、第３ラミネートフィルム４１ごとに第３ラミネートフィルム４１の位置を示す第３アライメントマーク４３を有する。第３アライメントマーク４３は、第３キャリアフィルム４２の長手方向における第３ラミネートフィルム４１の位置を示す。第３アライメントマーク４３は、第３ラミネートフィルム４１ごとに１つ以上設けられる。第３ラミネートフィルム４１のＹ軸正方向側とＹ軸負方向側の両側に、第３アライメントマーク４３が設けられてもよい。
【0117】
第３ラミネートフィルム４１は、図１９に示すように、基材フィルム４１ａと接着層４１ｂを有し、接着層４１ｂを第３キャリアフィルム４２に向けて、第３キャリアフィルム４２の片面に接着されている。第３ラミネートフィルム４１は、第３キャリアフィルム４２の片面から剥離された後、図２０に示すように、接着層４１ｂを第１基板１０に向けて、第１基板１０の第２主面１２に貼合される。
【0118】
図２１に示すように、第１基板１０の第１主面１１または第２主面１２に対して垂直な方向から見て、第３ラミネートフィルム４１は第１基板１０と相似形状を有しなくてよく、例えば長方形状を有してもよい。第３ラミネートフィルム４１は、第１基板１０よりも大きくてよい。第３ラミネートフィルム４１は、第１基板１０の周縁全体においてはみ出している。
【0119】
第３ラミネートフィルム４１は第１基板１０よりも大きい。そのため、第３ラミネートフィルム４１と第１基板１０の貼合後に、第３ラミネートフィルム４１と第１基板１０を剥離することが容易である。作業者または作業ロボットは、第３ラミネートフィルム４１の第１基板１０からはみ出している部分を掴みながら、第３ラミネートフィルム４１と第１基板１０を剥離することができる。従って、第３ラミネートフィルム４１はプルタブを有しなくてよい。
【0120】
第３積層フィルム４０は、図１８、図１９に示すように、第３キャリアフィルム４２の片面に、第３ラミネートフィルム４１と、第３ラミネートフィルム４１の外側に配置される第３外側フィルム４４と、を有してもよい。なお、第３アライメントマーク４３は、第３外側フィルム４４に設けられる。
【0121】
第３積層フィルム４０は、図１９に示すように、予めハーフカットされており、第３ラミネートフィルム４１と第３キャリアフィルム４２を分断する切れ目４７を有する。切れ目４７は、第３キャリアフィルム４２の片面に達していてもよいが、第３キャリアフィルム４２の反対面までは達しない。切れ目４７は、第３キャリアフィルム４２を貫通しなければよい。切れ目４７は、第３ラミネートフィルム４１の周縁全体にわたって形成される。
【0122】
第３外側フィルム４４は、図１９に示すように、基材フィルム４４ａと接着層４４ｂを有し、接着層４４ｂを第３キャリアフィルム４２に向けて、第３キャリアフィルム４２の片面に接着されている。第３外側フィルム４４は、第３キャリアフィルム４２の片面から剥離することなく、第３キャリアフィルム４２と共に第３巻取軸２３３（図１７参照）に巻き取られる。
【0123】
次に、主に図１７を再度参照して、貼合装置１００の中流域の詳細について説明する。貼合装置１００は、例えば、第２基板搬送部１２０と、第３フィルム搬送部２３０と、第２貼合部３２０と、制御部１９０と、を備える。
【0124】
第３フィルム搬送部２３０は、例えば、第３ラミネートフィルム４１の搬送経路と、第３キャリアフィルム４２の搬送経路と、を形成する。第３ラミネートフィルム４１は、第１基板１０の第２主面１２に貼合する。第３キャリアフィルム４２は、第３ラミネートフィルム４１をその搬送方向に間隔をおいて複数保持する。
【0125】
第３フィルム搬送部２３０は、例えば、第３巻出軸２３１と、第３剥離体２３２と、第３巻取軸２３３と、を有する。第３巻出軸２３１は、予めロール状に巻き取られた第３積層フィルム４０を巻き出す。第３剥離体２３２は、第３キャリアフィルム４２の搬送経路の第２合流地点よりも手前で第３キャリアフィルム４２を折り返すことで第３キャリアフィルム４２と第３ラミネートフィルム４１を剥離する。第３剥離体２３２は、例えばくさび状の先端を有しており、その先端において第３キャリアフィルム４２と第３ラミネートフィルム４１を剥離する。第３巻取軸２３３は、第３剥離体２３２で折り返した第３キャリアフィルム４２をロール状に巻き取る。
【0126】
第３剥離体２３２は、第３キャリアフィルム４２と共に第３外側フィルム４４を折り返す。第３巻取軸２３３は、第３剥離体２３２で第３キャリアフィルム４２と共に折り返した第３外側フィルム４４を、第３キャリアフィルム４２と共にロール状に巻き取る。第３外側フィルム４４は、第２合流地点を通過しなくてよい。これは、図２２に示すように第３ラミネートフィルム４１が第１基板１０より大きい為、第１基板１０の第２主面１２の全体を被覆するので、第１基板１０と第２ラミネートローラ３２２が接触する恐れがないからである。
【0127】
第３フィルム搬送部２３０は、図１７に示すように第３中継ローラ２３４、２３５を有してもよい。第３中継ローラ２３４は、第３巻出軸２３１と第３剥離体２３２の間で、第３積層フィルム４０の搬送方向を転換する。第３中継ローラ２３４は、複数設けられてもよい。第３中継ローラ２３５は、第３剥離体２３２と第３巻取軸２３３の間で、第３キャリアフィルム４２の搬送方向を転換する。第３中継ローラ２３５は、複数設けられてもよい。
【0128】
第３フィルム搬送部２３０の第３剥離体２３２から第３巻取軸２３３の間において、図示しない２つのローラの間に第３キャリアフィルム４２を挟み込んで、第３巻取軸２３３とは独立して第３キャリアフィルム４２を搬送する機構が設けられていることが望ましい。前記２つのローラは、一方が他方に従動するものであってよい。
【0129】
第３フィルム搬送部２３０は、第２フィルム搬送部２２０と同様に、図示しない第３個別調整部を備えてもよい。第３個別調整部は、後述する第３駆動部１０８とは異なり、第３フィルム搬送部２３０の全体ではなく、第３フィルム搬送部２３０の一部を移動させる。第３個別調整部は、例えば第３剥離体２３２を移動させる。第３個別調整部は、第３剥離体２３２をＹ軸正方向およびＹ軸負方向に移動させる。また、第３個別調整部は、第３剥離体２３２をＸ軸正方向、Ｘ軸負方向、Ｚ軸正方向およびＺ軸負方向に移動させると共に、第３剥離体２３２をθＹ方向に回転させる。
【0130】
第２貼合部３２０は、第２合流地点で、第２基板１０Ａと第３ラミネートフィルム４１を貼合することで、第３基板１０Ｂを作製する。第３基板１０Ｂは、第１基板１０を挟んで第１ラミネートフィルム２１と第３ラミネートフィルム４１を有する。
【0131】
第２貼合部３２０は、例えば、第２ラミネートローラ３２２と、第２吸着板３２５と、を有する。第２ラミネートローラ３２２と第２吸着板３２５は、第２基板１０Ａの搬送経路を挟んで設けられる。第２ラミネートローラ３２２は、第３ラミネートフィルム４１に接触する。第２吸着板３２５は、第２基板１０Ａのうち第１基板１０を傷つけたり汚したりしないように、第１基板１０に接触することなく、第１基板１０の第１主面１１に貼合された第１ラミネートフィルム２１だけを吸着して、第２基板１０Ａを第２基板搬送部１２０から受け取る。
【0132】
第２ラミネートローラ３２２と第２吸着板３２５が第２基板１０Ａと第３ラミネートフィルム４１を挟むと共に、第２吸着板３２５が第２基板１０Ａを吸着した状態で、第２吸着板３２５が第２ラミネートローラ３２２に対してＸ軸正方向に移動する。このとき、図２２に示すように第２回転モータ３２４が第２ラミネートローラ３２２を回転させる。これにより、第１基板１０の第２主面１２に第３ラミネートフィルム４１を貼合することができる。
【0133】
第２吸着板３２５がＸ軸正方向に移動するとき、その移動速度と同じ周速度で第２ラミネートローラ３２２が回転させられる。一方の搬送速度（例えば第２ラミネートローラ３２２の周速度）が他方の搬送速度（例えば第２吸着板３２５の移動速度）の９５％～１０５％であればよい。この制御は、第３基板１０Ｂが第２ラミネートローラ３２２から離隔するまで行われる。制御部１９０は、第３基板１０Ｂが第２ラミネートローラ３２２から離隔した後で、第２ラミネートローラ３２２の回転を停止させる。制御部１９０は、第３ラミネートフィルム４１と第２基板１０Ａの貼合完了時点では第２ラミネートローラ３２２の回転を止めることなく、その回転を継続する。これにより、搬送速度の差による滑り摩擦の発生を抑制でき、傷または汚れの付着を抑制できる。
【0134】
第２吸着板３２５は、図１７に示すように、第２基板１０Ａを吸着する。例えば、第２吸着板３２５は、第２基板１０Ａを真空吸着する。第２吸着板３２５は、例えば、金属板と、金属板の第２基板１０Ａとの対向面を覆う樹脂膜と、を有する。樹脂膜が第２基板１０Ａと接触する。これにより、第２基板１０Ａに傷が付くのを抑制できる。第２吸着板３２５は、例えば、第２基板搬送部１２０を基準として、第３フィルム搬送部２３０とは反対側（例えば上側）に設けられる。
【0135】
第２貼合部３２０は、第２位置調整部３２６と、第２位置検出部３２７を有してもよい。第２位置調整部３２６は、第２吸着板３２５をＸ軸正方向、Ｘ軸負方向、Ｙ軸正方向、Ｙ軸負方向、Ｚ軸正方向およびＺ軸負方向に移動させると共に、θＺ方向に回転させる。第２位置検出部３２７は、第２吸着板３２５が第２基板１０Ａを吸着した後、第２吸着板３２５と第２ラミネートローラ３２２が第２基板１０Ａを挟む前に、第２基板１０Ａの位置を検出する。
【0136】
第２位置検出部３２７は、例えば、第２基板１０Ａ（より詳細には第２基板１０Ａに含まれる第１基板１０）の複数の特徴点のそれぞれの位置を検出することで、第２基板１０Ａの位置を検出する。第２基板１０Ａの特徴点は、例えば、第１基板１０の第２主面１２の周縁の角、又は透過領域Ａ１と遮光領域Ａ２の境界線の角である。第２位置検出部３２７は、例えば、撮像センサと画像処理装置とを有する。画像処理装置は、撮像センサで撮像した画像を処理することで、特徴点の位置を検出する。第２位置検出部３２７は、例えば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθＺ方向における第２基板１０Ａの位置を検出する。
【0137】
制御部１９０は、第２位置検出部３２７の検出結果に基づき第２位置調整部３２６を制御することで、第２基板１０Ａを所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう。これにより、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθＺ方向における第２基板１０Ａ（より詳細には第２基板１０Ａに含まれる第１基板１０）の位置を所望の位置に制御することができる。よって、第３ラミネートフィルム４１と第２基板１０Ａを精度良く貼合できる。
【0138】
図１７に示すように、貼合装置１００は、第３マーク検出部１０７を備える。第３マーク検出部１０７は、第３ラミネートフィルム４１の搬送経路の第２合流地点よりも手前で、第３アライメントマーク４３を検出する。その検出位置は、できるだけ第２合流地点に近いことが好ましい。第３マーク検出部１０７は、第１マーク検出部１０１と同様に構成される。
【0139】
第３アライメントマーク４３は、例えば貫通孔である。なお、第３アライメントマーク４３は、切り欠きであってもよい。貫通孔と切り欠きは、第３積層フィルム４０をその厚さ方向に貫通して形成される。これにより、受光素子の受光量が変化しやすく、第３アライメントマーク４３を精度良く検出できる。
【0140】
制御部１９０は、第３マーク検出部１０７の検出結果に基づき第３ラミネートフィルム４１の搬送を制御する。制御する対象は、搬送距離、搬送速度、及び搬送時間の少なくとも１つを含む。これにより、貼合開始時にＸ軸方向における第３ラミネートフィルム４１と第１基板１０の位置ずれを抑制でき、第３ラミネートフィルム４１と第１基板１０を精度良く貼合できる。
【0141】
貼合開始時にＹ軸方向における第３ラミネートフィルム４１と第１基板１０の位置ずれを抑制することも可能である。図１７に示すように、貼合装置１００は、第３駆動部１０８と、第３エッジ検出部１０９を備えてもよい。第３駆動部１０８は、第３フィルム搬送部２３０をＹ軸正方向とＹ軸負方向とに移動させる。第３駆動部１０８は、例えば、モータと、モータの回転運動を第３フィルム搬送部２３０の直線運動に変換するボールねじと、を有する。
【0142】
第３駆動部１０８は、第３フィルム搬送部２３０の構成要素、例えば第３巻出軸２３１と第３剥離体２３２と第３巻取軸２３３をまとめて移動させる。これらの構成要素の相対的な位置を維持したまま、第３ラミネートフィルム４１の搬送経路と第３キャリアフィルム４２の搬送経路を第２基板１０Ａ（第１基板１０を含む。）の搬送経路に対して移動させることができる。
【0143】
第３エッジ検出部１０９は、Ｙ軸正方向とＹ軸負方向の少なくとも一方向（本実施形態では両方向）における第３積層フィルム４０の端を検出する。検出するのは、例えば第３キャリアフィルム４２の端である。第３エッジ検出部１０９は、第１エッジ検出部１０３と同様に構成される。
【0144】
制御部１９０は、第３エッジ検出部１０９の検出結果に基づき第３駆動部１０８を制御することで、第３ラミネートフィルム４１を所望の位置までＹ軸正方向またはＹ軸負方向に移動させる制御を行なう。これにより、貼合開始時にＹ軸方向における第３ラミネートフィルム４１と第２基板１０Ａの位置ずれを抑制でき、第３ラミネートフィルム４１と第２基板１０Ａを精度良く貼合できる。
【0145】
第３駆動部１０８と第３エッジ検出部１０９は、θＺ方向における第３ラミネートフィルム４１と第２基板１０Ａの位置調整にも使用可能である。第３駆動部１０８は、第３フィルム搬送部２３０をθＺ方向に回転させてもよい。また、第３エッジ検出部１０９は、第３積層フィルム４０の幅方向一端を、第３積層フィルム４０の長手方向に間隔をおいて複数箇所で検出してもよい。さらに、第３エッジ検出部１０９は、第３積層フィルム４０の幅方向他端を、第３積層フィルム４０の長手方向に間隔をおいて複数箇所で検出してもよい。第３エッジ検出部１０９は、図１７に示すように、第３積層フィルム４０の長手方向に間隔をおいて複数設けられてもよい。第３エッジ検出部１０９が第３積層フィルム４０の基準方向に対する傾きを検出し、その検出結果に基づき第３駆動部１０８が第３フィルム搬送部２３０をθＺ方向に回転させる。なお、第３エッジ検出部１０９が第３積層フィルム４０の基準方向に対する傾きを検出し、その検出結果に基づき後述する第２位置調整部３２６が第２基板１０ＡをθＺ方向に回転させてもよい。
【0146】
制御部１９０は、第３エッジ検出部１０９の検出結果に基づき第３駆動部１０８を制御することで、第３ラミネートフィルム４１を所望の位置までθＺ方向に移動させる制御を行なう。あるいは、制御部１９０は、第３エッジ検出部１０９の検出結果に基づき第２位置調整部３２６を制御することで、第２基板１０Ａを所望の位置までθＺ方向に回転させる制御を行う。これにより、貼合開始時にθＺ方向における第３ラミネートフィルム４１と第２基板１０Ａの位置ずれを抑制でき、第３ラミネートフィルム４１と第２基板１０Ａを精度良く貼合できる。
【0147】
次に、図２３を参照して、貼合装置１００の中流域の動作について説明する。第２吸着板３２５は予め第２基板１０Ａの搬送経路の上方で待機しており、第２基板１０ＡがＸ軸正方向に所定位置まで移動して停止すると、第２吸着板３２５が下降して第２基板１０Ａの上面を吸着する。次に、第２吸着板３２５が上昇して第２基板１０Ａを第２搬送ローラ１２１から上方に離隔させる。次に、第２吸着板３２５が第２基板１０Ａを吸着した状態で、第２位置検出部３２７が第２基板１０Ａ（より詳細には第２基板１０Ａに含まれる第１基板１０）の位置を検出する。次に、制御部１９０が、第２位置検出部３２７の検出結果に基づき第２位置調整部３２６を制御することで、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθＺ方向における第２基板１０Ａ（より詳細には第２基板１０Ａに含まれる第１基板１０）の位置を所望の位置に制御する。
【0148】
次に、第２吸着板３２５が、第２基板１０Ａを吸着した状態で、Ｘ軸正方向に移動し、次に、Ｚ軸負方向に移動する。また、第２ラミネートローラ３２２がＺ軸正方向に移動する。そうして、第２ラミネートローラ３２２と第２吸着板３２５が第２基板１０Ａと第３ラミネートフィルム４１を挟むと共に、第２吸着板３２５が第２基板１０Ａを吸着した状態で、第２吸着板３２５が第２ラミネートローラ３２２に対してＸ軸正方向に移動する。このとき、第２回転モータ３２４が第２ラミネートローラ３２２を回転させる。これにより、第１基板１０の第２主面１２に第３ラミネートフィルム４１を貼合することができる。第１基板１０の第２主面１２に第３ラミネートフィルム４１を貼合する間、汚れ防止のため、第１基板１０と第２搬送ローラ１２１の間に隙間を形成することが好ましい。また、第１基板１０の第２主面１２に第３ラミネートフィルム４１を貼合する間、汚れ防止のため、第３ラミネートフィルム４１と第３搬送ローラ１３１の間に隙間を形成することが好ましい。
【0149】
第２吸着板３２５と共に第３基板１０ＢがＸ軸正方向に移動するとき、その移動速度と同じ周速度で第２ラミネートローラ３２２が回転させられる。この制御は、第３基板１０Ｂが第２ラミネートローラ３２２から離隔するまで行われる。制御部１９０は、第３基板１０Ｂが第２ラミネートローラ３２２から離隔した後で、第２ラミネートローラ３２２の回転を停止させる。制御部１９０は、第３ラミネートフィルム４１と第２基板１０Ａの貼合完了時点では第２ラミネートローラ３２２の回転を止めることなく、その回転を継続する。これにより、搬送速度の差による滑り摩擦の発生を抑制でき、傷または汚れの付着を抑制できる。
【0150】
第３ラミネートフィルム４１と第２基板１０Ａの貼合完了後、第２吸着板３２５がＺ軸負方向に移動し、第３基板１０Ｂを第３基板搬送部１３０の上に降ろす。その後、第２吸着板３２５が第３基板１０Ｂの吸着を解除し、続いてＺ軸正方向に移動する。その後、第３基板搬送部１３０が、第３基板１０ＢをＸ軸正方向に移動する。なお、第２吸着板３２５は、Ｚ軸正方向に移動した後、Ｘ軸負方向に移動し、元の位置で待機する。その後、次の第２基板１０ＡがＸ軸正方向に所定位置まで移動して停止すると、再び、第２吸着板３２５が下降して第２基板１０Ａの上面を吸着する。
【0151】
第３ラミネートフィルム４１と第２基板１０Ａの貼合が繰り返し行われる間、第２合流地点よりも手前で、第３マーク検出部１０７が第３アライメントマーク４３を検出する。制御部１９０は、第３マーク検出部１０７の検出結果に基づき第３ラミネートフィルム４１の搬送を制御する。制御する対象は、搬送距離、搬送速度、及び搬送時間の少なくとも１つを含む。これにより、貼合開始時にＸ軸方向における第３ラミネートフィルム４１と第２基板１０Ａの位置ずれを抑制でき、第３ラミネートフィルム４１と第２基板１０Ａを精度良く貼合できる。
【0152】
次に、主に図２４を参照して、一実施形態に係る貼合装置１００の下流域の概要について説明する。貼合装置１００は、例えば、第３基板搬送部１３０と、第４フィルム搬送部２４０と、第５フィルム搬送部２５０と、第３貼合部３３０と、を備える。第３基板搬送部１３０は、第２基板１０Ａの搬送経路を形成する。第４フィルム搬送部２４０は、少なくとも第４ラミネートフィルム５１の搬送経路を形成する。第４ラミネートフィルム５１は、第２基板１０Ａの片面（例えば上面）に貼合する。第５フィルム搬送部２５０は、第３基板搬送部１３０を基準として、第４フィルム搬送部２４０とは反対側に配置され、第４フィルム搬送部２４０を上下反転した構造を有する。第５フィルム搬送部２５０は、少なくとも第５ラミネートフィルム６１の搬送経路を形成する。第５ラミネートフィルム６１は、第２基板１０Ａの反対面（例えば下面）に貼合する。第２基板１０Ａの搬送経路と第４ラミネートフィルム５１の搬送経路と第５ラミネートフィルム６１の搬送経路が合流する地点を、第３合流地点と記載することがある。第３貼合部３３０は、第３合流地点で、第２基板１０Ａと第４ラミネートフィルム５１と第５ラミネートフィルム６１を貼合することで、第４基板１０Ｃを作製する。
【0153】
【0154】
第４積層フィルム５０は、図２５に示すように、例えば、第４ラミネートフィルム５１と、第４ラミネートフィルム５１を保持する第４キャリアフィルム５２と、を有する。第４キャリアフィルム５２の片面に、第４ラミネートフィルム５１が設けられる。第４ラミネートフィルム５１と第４キャリアフィルム５２とが同じ幅（同じＹ軸方向寸法）を有してもよい。第４積層フィルム５０はハーフカットされなくてよい。そのため、第４キャリアフィルム５２は無くてもよく、第４積層フィルム５０は第４ラミネートフィルム５１のみを有してもよい。
【0155】
第４ラミネートフィルム５１は、図２５に示すように、基材フィルム５１ａと接着層５１ｂを有し、接着層５１ｂを第４キャリアフィルム５２に向けて、第４キャリアフィルム５２の片面に接着されている。第４ラミネートフィルム５１は、第４キャリアフィルム５２の片面から剥離された後、図２７に示すように、接着層５１ｂを第２基板１０Ａに向けて、第２基板１０Ａの片面に貼合され、切断機３３９（図２４参照）によって所望の大きさに切断される。切断された後に、図２８に示すように、第２基板１０Ａの片面に対して垂直な方向から見て、第４ラミネートフィルム５１は第１基板１０と相似形状を有しなくてよく、例えば長方形状を有してもよい。第４ラミネートフィルム５１は、第１基板１０よりも大きくてよく、第１基板１０の周縁の全体においてはみ出してよい。
【0156】
第５積層フィルム６０は、図２６に示すように、例えば、第５ラミネートフィルム６１と、第５ラミネートフィルム６１を保持する第５キャリアフィルム６２と、を有する。第５キャリアフィルム６２の片面に、第５ラミネートフィルム６１が設けられる。第５ラミネートフィルム６１と第５キャリアフィルム６２とが同じ幅（同じＹ軸方向寸法）を有してもよい。第５積層フィルム６０はハーフカットされなくてよい。そのため、第５キャリアフィルム６２は無くてもよく、第５積層フィルム６０は第５ラミネートフィルム６１のみを有してもよい。
【0157】
第５ラミネートフィルム６１は、図２６に示すように、基材フィルム６１ａと接着層６１ｂを有し、接着層６１ｂを第５キャリアフィルム６２に向けて、第５キャリアフィルム６２の片面に接着されている。第５ラミネートフィルム６１は、第５キャリアフィルム６２の片面から剥離された後、図２７に示すように、接着層６１ｂを第２基板１０Ａに向けて、第２基板１０Ａの反対面に貼合され、切断機３３９（図２４参照）によって所望の大きさに切断される。切断された後に、第２基板１０Ａの反対面に対して垂直な方向から見て、第５ラミネートフィルム６１は第１基板１０と相似形状を有しなくてよく、例えば長方形状を有してもよい。第５ラミネートフィルム６１は、第１基板１０よりも大きくてよく、第１基板１０の周縁の全体においてはみ出してよい。
【0158】
次に、主に図２４を再度参照して、貼合装置１００の下流域の詳細について説明する。貼合装置１００は、例えば、第３基板搬送部１３０と、第４フィルム搬送部２４０と、第５フィルム搬送部２５０と、第３貼合部３３０と、を備える。
【0159】
第３基板搬送部１３０は、第２基板搬送部１２０に続いて、第２基板１０Ａの搬送経路を形成する。なお、第２基板搬送部１２０が第３基板搬送部１３０を兼ねてもよい。第２基板１０Ａは、本実施形態では図２７に示すように第１基板１０と第１ラミネートフィルム２１を有し、第２ラミネートフィルム３１又は第３ラミネートフィルム４１を有しない。但し、第２基板１０Ａが、第２ラミネートフィルム３１又は第３ラミネートフィルム４１を有してもよい。第２基板１０Ａは、Ｘ軸正方向に間隔をおいて複数並べられ、一括で又は個別にＸ軸正方向に搬送される。
【0160】
第３基板搬送部１３０は、図２４に示すように、複数本の第３搬送ローラ１３１を有する。複数本の第３搬送ローラ１３１は、Ｘ軸方向に間隔をおいて並べられる。第３搬送ローラ１３１は、例えば、金属ローラと、金属ローラの外周面を覆う樹脂膜と、を有する。樹脂膜が第２基板１０Ａと接触する。これにより、第２基板１０Ａに傷が付くのを抑制できる。
【0161】
第３基板搬送部１３０は、図示しない第３搬送モータを有する。第３搬送モータが、第３搬送ローラ１３１を回転させる。複数の第３搬送モータが、複数本の第３搬送ローラ１３１を個別に回転させてもよい。また、１つの第３搬送モータが複数本の第３搬送ローラ１３１を一括で回転させてもよい。第３基板搬送部１３０は、全ての第３搬送ローラ１３１を同時に回転させなくてもよい。
【0162】
第３基板搬送部１３０は、複数本の第３搬送ローラ１３１を回転させることで、第２基板１０ＡをＸ軸正方向に搬送する。第２基板１０Ａの搬送速度は、第３搬送ローラ１３１の周速度に等しい。周速度は、周長と回転数（ｒｐｍ）の積である。
【0163】
第３基板搬送部１３０は、Ｙ軸方向およびθＺ方向における第２基板１０Ａの位置を整える不図示の位置決め部を有してもよい。位置決め部は、例えば、第２基板１０Ａの端面に接離するコロを、第２基板１０Ａの周縁に沿って間隔をおいて複数（例えば４つ）有する。位置決め部が第２基板１０Ａの位置を整えた後で、第３貼合部３３０が第２基板１０Ａに対して第４ラミネートフィルム５１と第５ラミネートフィルム６１を貼合することが好ましい。
【0164】
第４フィルム搬送部２４０は、例えば、第４ラミネートフィルム５１の搬送経路と、第４キャリアフィルム５２の搬送経路と、を形成する。第４ラミネートフィルム５１は、第２基板１０Ａの片面（例えば上面）に貼合する。第４キャリアフィルム５２は、第４ラミネートフィルム５１を保持する。
【0165】
第４フィルム搬送部２４０は、例えば、第４巻出軸２４１と、第４剥離体２４２と、第４巻取軸２４３と、を有する。第４巻出軸２４１は、予めロール状に巻き取られた第４積層フィルム５０を巻き出す。第４剥離体２４２は、第４キャリアフィルム５２の搬送経路の第３合流地点よりも手前で第４キャリアフィルム５２と第４ラミネートフィルム５１を剥離する。第４剥離体２４２は、例えば一対のローラを含む。第４巻取軸２４３は、第４剥離体２４２で剥離した第４キャリアフィルム５２をロール状に巻き取る。
【0166】
第４フィルム搬送部２４０は、第４中継ローラ２４４、２４５、２４６を有してもよい。第４中継ローラ２４４は、第４巻出軸２４１と第４剥離体２４２の間で、第４積層フィルム５０の搬送方向を転換する。第４中継ローラ２４４は、複数設けられてもよい。第４中継ローラ２４５は、第４剥離体２４２と第４巻取軸２４３の間で、第４キャリアフィルム５２の搬送方向を転換する。第４中継ローラ２４５は、複数設けられてもよい。第４中継ローラ２４６は、第４剥離体２４２と第３貼合部３３０の間で、第４ラミネートフィルム５１の搬送方向を転換する。第４中継ローラ２４６は、複数設けられてもよい。
【0167】
第５フィルム搬送部２５０は、例えば、第５ラミネートフィルム６１の搬送経路と、第５キャリアフィルム６２の搬送経路と、を形成する。第５ラミネートフィルム６１は、第２基板１０Ａの反対面（例えば下面）に貼合する。第５キャリアフィルム６２は、第５ラミネートフィルム６１を保持する。
【0168】
第５フィルム搬送部２５０は、例えば、第５巻出軸２５１と、第５剥離体２５２と、第５巻取軸２５３と、を有する。第５巻出軸２５１は、予めロール状に巻き取られた第５積層フィルム６０を巻き出す。第５剥離体２５２は、第５キャリアフィルム６２の搬送経路の第３合流地点よりも手前で第５キャリアフィルム６２と第５ラミネートフィルム６１を剥離する。第５剥離体２５２は、例えば一対のローラを含む。第５巻取軸２５３は、第５剥離体２５２で剥離した第５キャリアフィルム６２をロール状に巻き取る。
【0169】
第５フィルム搬送部２５０は、第５中継ローラ２５４、２５５、２５６を有してもよい。第５中継ローラ２５４は、第５巻出軸２５１と第５剥離体２５２の間で、第５積層フィルム６０の搬送方向を転換する。第５中継ローラ２５４は、複数設けられてもよい。第５中継ローラ２５５は、第５剥離体２５２と第５巻取軸２５３の間で、第５キャリアフィルム６２の搬送方向を転換する。第５中継ローラ２５５は、複数設けられてもよい。第５中継ローラ２５６は、第５剥離体２５２と第３貼合部３３０の間で、第５ラミネートフィルム６１の搬送方向を転換する。第５中継ローラ２５６は、複数設けられてもよい。
【0170】
第３貼合部３３０は、第３合流地点で、第２基板１０Ａに対して第４ラミネートフィルム５１と第５ラミネートフィルム６１を貼合することで、第４基板１０Ｃを作製する。第４基板１０Ｃは、第２基板１０Ａを挟んで第４ラミネートフィルム５１と第５ラミネートフィルム６１を含む。
【0171】
第３貼合部３３０は、例えば、一対の第３ラミネートローラ３３１、３３２を有する。一対の第３ラミネートローラ３３１、３３２は、上側から下側に向けて、第４ラミネートフィルム５１と第２基板１０Ａと第５ラミネートフィルム６１をこの順番で挟んで送り出す。なお、第３貼合部３３０は、第２貼合部３２０と同様に構成されてもよい。
【0172】
第３貼合部３３０は、図２９に示すように、例えば、一対の第３ラミネートローラ３３１、３３２を回転させることで、第２基板１０ＡをＸ軸正方向に搬送する。第２基板１０Ａの搬送速度は、一対の第３ラミネートローラ３３１、３３２の周速度に等しい。周速度は、周長と回転数（ｒｐｍ）の積である。なお、一対の第３ラミネートローラ３３１、３３２の周速度は等しい。
【0173】
第３貼合部３３０は、例えば、一対の第３回転モータ３３３、３３４を有する。第３回転モータ３３３は、第３ラミネートローラ３３１を回転させる。第３回転モータ３３４は、第３ラミネートローラ３３２を回転させる。なお、第３回転モータ３３３、３３４の一方は無くてもよい。一対の第３ラミネートローラ３３１、３３２の一方は他方の回転に応じて従動的に回転させられてもよい。
【0174】
第３貼合部３３０が第２基板１０Ａに対して第４ラミネートフィルム５１と第５ラミネートフィルム６１を貼合した後に、切断機３３９が第４ラミネートフィルム５１と第５ラミネートフィルム６１を切断する。貼合後に切断が行われる場合、貼合時に、第２基板１０Ａに対する第４ラミネートフィルム５１の位置精度、および第２基板１０Ａに対する第５ラミネートフィルム６１の位置精度は緩くてよい。
【0175】
このように第１貼合部３１０の下流側に第３貼合部３３０を直列に繋げて配置することで、第４ラミネートフィルム５１と第５ラミネートフィルム６１を第２基板１０Ａに連続的に貼合し第４基板１０Ｃを短時間で多数作成することが出来、タクト短縮に貢献できる。また、第２基板１０Ａを作成した後、第４ラミネートフィルム５１と第５ラミネートフィルム６１を連続して貼合せず断続して貼合する場合に生ずる第２基板１０Ａへの装置部材や人手による接触の機会を減らすことが出来、第２基板１０Ａや第１基板１０への汚れや傷の発生を抑制できる。なお、第２貼合部３２０が第１貼合部３１０と第３貼合部３３０の間に配置されていても、タクト短縮の面への支障は無い。
【0176】
なお、貼合装置１００の下流域の動作は、一般的なものであるので、図示および説明を省略する。
【0177】
上記の実施形態等に関し、下記の付記を開示する。
【0178】
［付記１］
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１積層フィルムは、前記第１ラミネートフィルムごとに前記第１ラミネートフィルムの位置を示す第１アライメントマークを有し、
前記第１ラミネートフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で、前記第１アライメントマークを検出する第１マーク検出部と、
前記第１マーク検出部の検出結果に基づき、前記第１ラミネートフィルムの搬送を制御する制御部と、
を備える、貼合装置。
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１積層フィルムは、前記第１ラミネートフィルムごとに前記第１ラミネートフィルムの位置を示す第１アライメントマークを有し、
前記第１ラミネートフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で、前記第１アライメントマークを検出する第１マーク検出部と、
前記第１マーク検出部の検出結果に基づき、前記第１ラミネートフィルムの搬送を制御する制御部と、
を備える、貼合装置。
【0179】
［付記２］
前記第１アライメントマークは、貫通孔または切り欠きであり、前記第１積層フィルムをその厚さ方向に貫通して形成される、付記１に記載の貼合装置。
前記第１アライメントマークは、貫通孔または切り欠きであり、前記第１積層フィルムをその厚さ方向に貫通して形成される、付記１に記載の貼合装置。
【0180】
［付記３］
前記第１フィルム搬送部は、予めロール状に巻き取られた前記第１積層フィルムを巻き出す第１巻出軸と、前記第１キャリアフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１キャリアフィルムを折り返すことで前記第１キャリアフィルムと前記第１ラミネートフィルムを剥離する第１剥離体と、前記第１剥離体で折り返した前記第１キャリアフィルムをロール状に巻き取る第１巻取軸と、を有し、
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記貼合装置は、前記第３方向および前記第４方向に前記第１フィルム搬送部を移動させる第１駆動部と、前記第３方向と前記第４方向の少なくとも一方向における前記第１積層フィルムの端を検出する第１エッジ検出部と、前記第１エッジ検出部の検出結果に基づき前記第１駆動部を制御することで、前記第１ラミネートフィルムを所望の位置まで前記第３方向または前記第４方向に移動させる制御を行なう制御部と、を備える、付記１又は２に記載の貼合装置。
前記第１フィルム搬送部は、予めロール状に巻き取られた前記第１積層フィルムを巻き出す第１巻出軸と、前記第１キャリアフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１キャリアフィルムを折り返すことで前記第１キャリアフィルムと前記第１ラミネートフィルムを剥離する第１剥離体と、前記第１剥離体で折り返した前記第１キャリアフィルムをロール状に巻き取る第１巻取軸と、を有し、
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記貼合装置は、前記第３方向および前記第４方向に前記第１フィルム搬送部を移動させる第１駆動部と、前記第３方向と前記第４方向の少なくとも一方向における前記第１積層フィルムの端を検出する第１エッジ検出部と、前記第１エッジ検出部の検出結果に基づき前記第１駆動部を制御することで、前記第１ラミネートフィルムを所望の位置まで前記第３方向または前記第４方向に移動させる制御を行なう制御部と、を備える、付記１又は２に記載の貼合装置。
【0181】
［付記４］
前記第１駆動部は、前記第５方向または前記第６方向から見て前記第１フィルム搬送部を回転させ、
前記制御部は、前記第１エッジ検出部の検出結果に基づき前記第１駆動部を制御することで、前記第１ラミネートフィルムを所望の位置まで回転させる制御を行なう、付記３に記載の貼合装置。
前記第１駆動部は、前記第５方向または前記第６方向から見て前記第１フィルム搬送部を回転させ、
前記制御部は、前記第１エッジ検出部の検出結果に基づき前記第１駆動部を制御することで、前記第１ラミネートフィルムを所望の位置まで回転させる制御を行なう、付記３に記載の貼合装置。
【0182】
［付記５］
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第１フィルム搬送部は、前記第１キャリアフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１キャリアフィルムを折り返すことで前記第１キャリアフィルムと前記第１ラミネートフィルムを剥離する第１剥離体と、前記第１剥離体を前記第３方向及び前記第４方向に移動させる第１個別調整部と、を有する、付記１～４のいずれか１項に記載の貼合装置。
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第１フィルム搬送部は、前記第１キャリアフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１キャリアフィルムを折り返すことで前記第１キャリアフィルムと前記第１ラミネートフィルムを剥離する第１剥離体と、前記第１剥離体を前記第３方向及び前記第４方向に移動させる第１個別調整部と、を有する、付記１～４のいずれか１項に記載の貼合装置。
【0183】
［付記６］
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第１フィルム搬送部は、前記第１キャリアフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１キャリアフィルムを折り返すことで前記第１キャリアフィルムと前記第１ラミネートフィルムを剥離する第１剥離体と、前記第１剥離体を前記第１方向、前記第２方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第３方向または前記第４方向から見て前記第１剥離体を回転させる第１個別調整部と、を有する、付記１～５のいずれか１項に記載の貼合装置。
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第１フィルム搬送部は、前記第１キャリアフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１キャリアフィルムを折り返すことで前記第１キャリアフィルムと前記第１ラミネートフィルムを剥離する第１剥離体と、前記第１剥離体を前記第１方向、前記第２方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第３方向または前記第４方向から見て前記第１剥離体を回転させる第１個別調整部と、を有する、付記１～５のいずれか１項に記載の貼合装置。
【0184】
［付記７］
前記第１貼合部は、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラと、前記第１基板を吸着する第１吸着板と、を有し、
前記第１吸着板が前記第１基板搬送部から前記第１基板を受け取ってから、少なくとも一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟むまで、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着する、付記１～６のいずれか１項に記載の貼合装置。
前記第１貼合部は、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラと、前記第１基板を吸着する第１吸着板と、を有し、
前記第１吸着板が前記第１基板搬送部から前記第１基板を受け取ってから、少なくとも一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟むまで、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着する、付記１～６のいずれか１項に記載の貼合装置。
【0185】
［付記８］
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第１貼合部は、前記第１吸着板を前記第１方向、前記第２方向、前記第３方向、前記第４方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第５方向または前記第６方向から見て前記第１吸着板を回転させる第１位置調整部と、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着した後、一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟む前に、前記第１基板の位置を検出する第１位置検出部と、を有し、
前記貼合装置は、前記第１位置検出部の検出結果に基づき前記第１位置調整部を制御することで、前記第１基板を所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう制御部を備える、付記７に記載の貼合装置。
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第１貼合部は、前記第１吸着板を前記第１方向、前記第２方向、前記第３方向、前記第４方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第５方向または前記第６方向から見て前記第１吸着板を回転させる第１位置調整部と、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着した後、一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟む前に、前記第１基板の位置を検出する第１位置検出部と、を有し、
前記貼合装置は、前記第１位置検出部の検出結果に基づき前記第１位置調整部を制御することで、前記第１基板を所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう制御部を備える、付記７に記載の貼合装置。
【0186】
［付記９］
前記第１貼合部は、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラを有し、
前記貼合装置は、前記第１貼合部で作製した前記第２基板の搬送経路を形成する第２基板搬送部と、前記第１貼合部と前記第２基板搬送部とで前記第２基板の搬送速度を個別に制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第２基板が一対の前記第１ラミネートローラから離隔するまで、一対の前記第１ラミネートローラと前記第２基板搬送部を同じ搬送速度で作動させる制御を行なう、付記１～８のいずれか１項に記載の貼合装置。
前記第１貼合部は、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラを有し、
前記貼合装置は、前記第１貼合部で作製した前記第２基板の搬送経路を形成する第２基板搬送部と、前記第１貼合部と前記第２基板搬送部とで前記第２基板の搬送速度を個別に制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第２基板が一対の前記第１ラミネートローラから離隔するまで、一対の前記第１ラミネートローラと前記第２基板搬送部を同じ搬送速度で作動させる制御を行なう、付記１～８のいずれか１項に記載の貼合装置。
【0187】
［付記１０］
前記第１貼合部は、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラを有し、
前記第１積層フィルムは、前記第１キャリアフィルムの片面に、前記第１ラミネートフィルムと、前記第１ラミネートフィルムの外側に配置される第１外側フィルムと、を有し、
前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムの貼合後に、前記第１基板の前記第１主面の一部が前記第１ラミネートフィルムから露出する場合において、
前記貼合装置は、前記第１外側フィルムと前記第１ラミネートフィルムが同時に前記第１基板と前記第１ラミネートローラに接触しながら一対の前記第１ラミネートローラを通過した後で、前記第１基板及び前記第１ラミネートフィルムとは別に前記第１外側フィルムを回収する第１回収部を備える、付記１～９のいずれか１項に記載の貼合装置。
前記第１貼合部は、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラを有し、
前記第１積層フィルムは、前記第１キャリアフィルムの片面に、前記第１ラミネートフィルムと、前記第１ラミネートフィルムの外側に配置される第１外側フィルムと、を有し、
前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムの貼合後に、前記第１基板の前記第１主面の一部が前記第１ラミネートフィルムから露出する場合において、
前記貼合装置は、前記第１外側フィルムと前記第１ラミネートフィルムが同時に前記第１基板と前記第１ラミネートローラに接触しながら一対の前記第１ラミネートローラを通過した後で、前記第１基板及び前記第１ラミネートフィルムとは別に前記第１外側フィルムを回収する第１回収部を備える、付記１～９のいずれか１項に記載の貼合装置。
【0188】
［付記１１］
前記第１貼合部は、前記第１基板の前記第２主面に接触する第１ラミネートローラと、前記第１ラミネートローラの外周面が前記第１基板に接触している間に、前記第１ラミネートローラの前記外周面に接触して前記外周面から異物を除去する清掃ローラと、を有する、付記１～１０のいずれか１項に記載の貼合装置。
前記第１貼合部は、前記第１基板の前記第２主面に接触する第１ラミネートローラと、前記第１ラミネートローラの外周面が前記第１基板に接触している間に、前記第１ラミネートローラの前記外周面に接触して前記外周面から異物を除去する清掃ローラと、を有する、付記１～１０のいずれか１項に記載の貼合装置。
【0189】
［付記１２］
前記第１基板の前記第２主面に貼合する第２ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第２ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第２キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第２フィルム搬送部を備え、
前記第１貼合部は、前記第１ラミネートフィルムと前記第１基板と前記第２ラミネートフィルムとを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラを有し、
前記第２基板は、前記第１基板を挟んで前記第１ラミネートフィルムと前記第２ラミネートフィルムとを有する、付記１～１０のいずれか１項に記載の貼合装置。
前記第１基板の前記第２主面に貼合する第２ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第２ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第２キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第２フィルム搬送部を備え、
前記第１貼合部は、前記第１ラミネートフィルムと前記第１基板と前記第２ラミネートフィルムとを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラを有し、
前記第２基板は、前記第１基板を挟んで前記第１ラミネートフィルムと前記第２ラミネートフィルムとを有する、付記１～１０のいずれか１項に記載の貼合装置。
【0190】
［付記１３］
前記第１貼合部で作製した前記第２基板の搬送経路を形成する第２基板搬送部と、
前記第１基板の前記第２主面に貼合する第３ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第３ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第３キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第３フィルム搬送部と、
前記第２基板の搬送経路と前記第３ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第２合流地点で、前記第２基板と前記第３ラミネートフィルムを貼合することで、第３基板を作製する第２貼合部と、
を備え、
前記第３ラミネートフィルムは、前記第１基板の前記第２主面の周縁の少なくとも一部から５ｍｍ以上はみ出す、付記１～１１のいずれか１項に記載の貼合装置。
前記第１貼合部で作製した前記第２基板の搬送経路を形成する第２基板搬送部と、
前記第１基板の前記第２主面に貼合する第３ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第３ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第３キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第３フィルム搬送部と、
前記第２基板の搬送経路と前記第３ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第２合流地点で、前記第２基板と前記第３ラミネートフィルムを貼合することで、第３基板を作製する第２貼合部と、
を備え、
前記第３ラミネートフィルムは、前記第１基板の前記第２主面の周縁の少なくとも一部から５ｍｍ以上はみ出す、付記１～１１のいずれか１項に記載の貼合装置。
【0191】
［付記１４］
前記第３ラミネートフィルムと前記第３キャリアフィルムとは第３積層フィルムを構成し、
前記第３積層フィルムは、前記第３キャリアフィルムの片面に、前記第３ラミネートフィルムと、前記第３ラミネートフィルムの外側に配置される第３外側フィルムと、を有し、
前記第３フィルム搬送部は、予めロール状に巻き取られた前記第３積層フィルムを巻き出す第３巻出軸と、前記第３キャリアフィルムの搬送経路の前記第２合流地点よりも手前で前記第３キャリアフィルムを折り返すことで前記第３キャリアフィルムと前記第３ラミネートフィルムを剥離する第３剥離体と、前記第３剥離体で前記第３キャリアフィルムと共に折り返した前記第３外側フィルムを、前記第３キャリアフィルムと共にロール状に巻き取る第３巻取軸と、を有する、付記１３に記載の貼合装置。
前記第３ラミネートフィルムと前記第３キャリアフィルムとは第３積層フィルムを構成し、
前記第３積層フィルムは、前記第３キャリアフィルムの片面に、前記第３ラミネートフィルムと、前記第３ラミネートフィルムの外側に配置される第３外側フィルムと、を有し、
前記第３フィルム搬送部は、予めロール状に巻き取られた前記第３積層フィルムを巻き出す第３巻出軸と、前記第３キャリアフィルムの搬送経路の前記第２合流地点よりも手前で前記第３キャリアフィルムを折り返すことで前記第３キャリアフィルムと前記第３ラミネートフィルムを剥離する第３剥離体と、前記第３剥離体で前記第３キャリアフィルムと共に折り返した前記第３外側フィルムを、前記第３キャリアフィルムと共にロール状に巻き取る第３巻取軸と、を有する、付記１３に記載の貼合装置。
【0192】
［付記１５］
前記第２貼合部は、前記第１基板に接触することなく前記第１ラミネートフィルムを吸着して前記第２基板を前記第２基板搬送部から受け取る第２吸着板と、前記第３ラミネートフィルムに接触する第２ラミネートローラと、を有し、
前記第２吸着板と前記第２ラミネートローラが前記第２基板と前記第３ラミネートフィルムを挟むと共に、前記第２吸着板が前記第２基板を吸着した状態で、前記第２吸着板が前記第２ラミネートローラに対して移動する、付記１３又は１４に記載の貼合装置。
前記第２貼合部は、前記第１基板に接触することなく前記第１ラミネートフィルムを吸着して前記第２基板を前記第２基板搬送部から受け取る第２吸着板と、前記第３ラミネートフィルムに接触する第２ラミネートローラと、を有し、
前記第２吸着板と前記第２ラミネートローラが前記第２基板と前記第３ラミネートフィルムを挟むと共に、前記第２吸着板が前記第２基板を吸着した状態で、前記第２吸着板が前記第２ラミネートローラに対して移動する、付記１３又は１４に記載の貼合装置。
【0193】
［付記１６］
前記第２基板搬送部における前記第２基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第２貼合部は、前記第２吸着板を前記第１方向、前記第２方向、前記第３方向、前記第４方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第５方向または前記第６方向から見て前記第２吸着板を回転させる第２位置調整部と、前記第２吸着板が前記第２基板を吸着した後、前記第２吸着板と前記第２ラミネートローラが前記第２基板を挟む前に、前記第２基板の位置を検出する第２位置検出部と、を有し、
前記貼合装置は、前記第２位置検出部の検出結果に基づき前記第２位置調整部を制御することで、前記第２吸着板を所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう制御部を備える、付記１５に記載の貼合装置。
前記第２基板搬送部における前記第２基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第２貼合部は、前記第２吸着板を前記第１方向、前記第２方向、前記第３方向、前記第４方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第５方向または前記第６方向から見て前記第２吸着板を回転させる第２位置調整部と、前記第２吸着板が前記第２基板を吸着した後、前記第２吸着板と前記第２ラミネートローラが前記第２基板を挟む前に、前記第２基板の位置を検出する第２位置検出部と、を有し、
前記貼合装置は、前記第２位置検出部の検出結果に基づき前記第２位置調整部を制御することで、前記第２吸着板を所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう制御部を備える、付記１５に記載の貼合装置。
【0194】
［付記１７］
前記第１貼合部で作製した前記第２基板の搬送経路を形成する第３基板搬送部と、
前記第２基板の片面に貼合する第４ラミネートフィルムの搬送経路を形成する第４フィルム搬送部と、
前記第２基板の反対面に貼合する第５ラミネートフィルムの搬送経路を形成する第５フィルム搬送部と、
前記第２基板の搬送経路と、前記第４ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第５ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第３合流地点で、前記第２基板に対して前記第４ラミネートフィルムと前記第５ラミネートフィルムを貼合することで、第４基板を作製する第３貼合部を備え、
前記第３貼合部は、前記第４ラミネートフィルムと前記第２基板と前記第５ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第３ラミネートローラを有する、付記１～１６のいずれか１項に記載の貼合装置。
前記第１貼合部で作製した前記第２基板の搬送経路を形成する第３基板搬送部と、
前記第２基板の片面に貼合する第４ラミネートフィルムの搬送経路を形成する第４フィルム搬送部と、
前記第２基板の反対面に貼合する第５ラミネートフィルムの搬送経路を形成する第５フィルム搬送部と、
前記第２基板の搬送経路と、前記第４ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第５ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第３合流地点で、前記第２基板に対して前記第４ラミネートフィルムと前記第５ラミネートフィルムを貼合することで、第４基板を作製する第３貼合部を備え、
前記第３貼合部は、前記第４ラミネートフィルムと前記第２基板と前記第５ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第３ラミネートローラを有する、付記１～１６のいずれか１項に記載の貼合装置。
【0195】
［付記１８］
付記１～１７のいずれか１項に記載の貼合装置を用いて前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することを有する、貼合方法。
付記１～１７のいずれか１項に記載の貼合装置を用いて前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することを有する、貼合方法。
【0196】
［付記１９］
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１フィルム搬送部は、予めロール状に巻き取られた前記第１積層フィルムを巻き出す第１巻出軸と、前記第１キャリアフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１キャリアフィルムを折り返すことで前記第１キャリアフィルムと前記第１ラミネートフィルムを剥離する第１剥離体と、前記第１剥離体で折り返した前記第１キャリアフィルムをロール状に巻き取る第１巻取軸と、を有し、
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第３方向および前記第４方向に前記第１フィルム搬送部を移動させる第１駆動部と、前記第３方向と前記第４方向の少なくとも一方向における前記第１積層フィルムの端を検出する第１エッジ検出部と、前記第１エッジ検出部の検出結果に基づき前記第１駆動部を制御することで、前記第１ラミネートフィルムを所望の位置まで前記第３方向または前記第４方向に移動させる制御を行なう制御部と、を備える、貼合装置。
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１フィルム搬送部は、予めロール状に巻き取られた前記第１積層フィルムを巻き出す第１巻出軸と、前記第１キャリアフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１キャリアフィルムを折り返すことで前記第１キャリアフィルムと前記第１ラミネートフィルムを剥離する第１剥離体と、前記第１剥離体で折り返した前記第１キャリアフィルムをロール状に巻き取る第１巻取軸と、を有し、
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第３方向および前記第４方向に前記第１フィルム搬送部を移動させる第１駆動部と、前記第３方向と前記第４方向の少なくとも一方向における前記第１積層フィルムの端を検出する第１エッジ検出部と、前記第１エッジ検出部の検出結果に基づき前記第１駆動部を制御することで、前記第１ラミネートフィルムを所望の位置まで前記第３方向または前記第４方向に移動させる制御を行なう制御部と、を備える、貼合装置。
【0197】
［付記２０］
前記第１駆動部は、前記第５方向または前記第６方向から見て前記第１フィルム搬送部を回転させ、
前記制御部は、前記第１エッジ検出部の検出結果に基づき前記第１駆動部を制御することで、前記第１ラミネートフィルムを所望の位置まで回転させる制御を行なう、付記１９に記載の貼合装置。
前記第１駆動部は、前記第５方向または前記第６方向から見て前記第１フィルム搬送部を回転させ、
前記制御部は、前記第１エッジ検出部の検出結果に基づき前記第１駆動部を制御することで、前記第１ラミネートフィルムを所望の位置まで回転させる制御を行なう、付記１９に記載の貼合装置。
【0198】
［付記２１］
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第１フィルム搬送部は、前記第１キャリアフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１キャリアフィルムを折り返すことで前記第１キャリアフィルムと前記第１ラミネートフィルムを剥離する第１剥離体と、前記第１剥離体を前記第３方向及び前記第４方向に移動させる第１個別調整部と、を有する、貼合装置。
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第１フィルム搬送部は、前記第１キャリアフィルムの搬送経路の前記第１合流地点よりも手前で前記第１キャリアフィルムを折り返すことで前記第１キャリアフィルムと前記第１ラミネートフィルムを剥離する第１剥離体と、前記第１剥離体を前記第３方向及び前記第４方向に移動させる第１個別調整部と、を有する、貼合装置。
【0199】
［付記２２］
前記第１個別調整部は、前記第１剥離体を前記第１方向、前記第２方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第３方向または前記第４方向から見て前記第１剥離体を回転させる、付記２１に記載の貼合装置。
前記第１個別調整部は、前記第１剥離体を前記第１方向、前記第２方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第３方向または前記第４方向から見て前記第１剥離体を回転させる、付記２１に記載の貼合装置。
【0200】
［付記２３］
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１貼合部は、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラと、前記第１基板を吸着する第１吸着板と、を有し、
前記第１吸着板が前記第１基板搬送部から前記第１基板を受け取ってから、少なくとも一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟むまで、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着する、貼合装置。
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１貼合部は、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラと、前記第１基板を吸着する第１吸着板と、を有し、
前記第１吸着板が前記第１基板搬送部から前記第１基板を受け取ってから、少なくとも一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟むまで、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着する、貼合装置。
【0201】
［付記２４］
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第１貼合部は、前記第１吸着板を前記第１方向、前記第２方向、前記第３方向、前記第４方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第５方向または前記第６方向から見て前記第１吸着板を回転させる第１位置調整部と、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着した後、一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟む前に、前記第１基板の位置を検出する第１位置検出部と、を有し、
前記貼合装置は、前記第１位置検出部の検出結果に基づき前記第１位置調整部を制御することで、前記第１基板を所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう制御部を備える、付記２３に記載の貼合装置。
前記第１基板搬送部における前記第１基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第１貼合部は、前記第１吸着板を前記第１方向、前記第２方向、前記第３方向、前記第４方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第５方向または前記第６方向から見て前記第１吸着板を回転させる第１位置調整部と、前記第１吸着板が前記第１基板を吸着した後、一対の前記第１ラミネートローラが前記第１基板を挟む前に、前記第１基板の位置を検出する第１位置検出部と、を有し、
前記貼合装置は、前記第１位置検出部の検出結果に基づき前記第１位置調整部を制御することで、前記第１基板を所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう制御部を備える、付記２３に記載の貼合装置。
【0202】
［付記２５］
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１貼合部は、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラを有し、
前記第１積層フィルムは、前記第１キャリアフィルムの片面に、前記第１ラミネートフィルムと、前記第１ラミネートフィルムの外側に配置される第１外側フィルムと、を有し、
前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムの貼合後に、前記第１基板の前記第１主面の一部が前記第１ラミネートフィルムから露出する場合において、
前記第１外側フィルムと前記第１ラミネートフィルムが同時に前記第１基板と前記第１ラミネートローラに接触しながら一対の前記第１ラミネートローラを通過した後で、前記第１基板及び前記第１ラミネートフィルムとは別に前記第１外側フィルムを回収する第１回収部を備える、貼合装置。
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１貼合部は、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを挟んで送り出す一対の第１ラミネートローラを有し、
前記第１積層フィルムは、前記第１キャリアフィルムの片面に、前記第１ラミネートフィルムと、前記第１ラミネートフィルムの外側に配置される第１外側フィルムと、を有し、
前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムの貼合後に、前記第１基板の前記第１主面の一部が前記第１ラミネートフィルムから露出する場合において、
前記第１外側フィルムと前記第１ラミネートフィルムが同時に前記第１基板と前記第１ラミネートローラに接触しながら一対の前記第１ラミネートローラを通過した後で、前記第１基板及び前記第１ラミネートフィルムとは別に前記第１外側フィルムを回収する第１回収部を備える、貼合装置。
【0203】
［付記２６］
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１貼合部は、前記第１基板の前記第２主面に接触する第１ラミネートローラと、前記第１ラミネートローラの外周面が前記第１基板に接触している間に、前記第１ラミネートローラの前記外周面に接触して前記外周面から異物を除去する清掃ローラと、を有する、貼合装置。
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１貼合部は、前記第１基板の前記第２主面に接触する第１ラミネートローラと、前記第１ラミネートローラの外周面が前記第１基板に接触している間に、前記第１ラミネートローラの前記外周面に接触して前記外周面から異物を除去する清掃ローラと、を有する、貼合装置。
【0204】
［付記２７］
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１貼合部で作製した前記第２基板の搬送経路を形成する第２基板搬送部と、
前記第１基板の前記第２主面に貼合する第３ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第３ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第３キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第３フィルム搬送部と、
前記第２基板の搬送経路と前記第３ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第２合流地点で、前記第２基板と前記第３ラミネートフィルムを貼合することで、第３基板を作製する第２貼合部と、
を備え、
前記第３ラミネートフィルムは、前記第１基板の前記第２主面の周縁の少なくとも一部から５ｍｍ以上はみ出す、貼合装置。
第１主面と前記第１主面とは反対向きの第２主面とを有する第１基板の搬送経路を形成する第１基板搬送部と、
前記第１基板の前記第１主面に貼合する第１ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第１ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第１キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第１フィルム搬送部と、
前記第１基板の搬送経路と前記第１ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第１合流地点で、前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することで、第２基板を作製する第１貼合部と、
を備え、
前記第１ラミネートフィルムと前記第１キャリアフィルムとは第１積層フィルムを構成し、
前記第１貼合部で作製した前記第２基板の搬送経路を形成する第２基板搬送部と、
前記第１基板の前記第２主面に貼合する第３ラミネートフィルムの搬送経路と、前記第３ラミネートフィルムをその搬送方向に間隔をおいて複数保持する第３キャリアフィルムの搬送経路と、を形成する第３フィルム搬送部と、
前記第２基板の搬送経路と前記第３ラミネートフィルムの搬送経路が合流する第２合流地点で、前記第２基板と前記第３ラミネートフィルムを貼合することで、第３基板を作製する第２貼合部と、
を備え、
前記第３ラミネートフィルムは、前記第１基板の前記第２主面の周縁の少なくとも一部から５ｍｍ以上はみ出す、貼合装置。
【0205】
［付記２８］
前記第３ラミネートフィルムと前記第３キャリアフィルムとは第３積層フィルムを構成し、
前記第３積層フィルムは、前記第３キャリアフィルムの片面に、前記第３ラミネートフィルムと、前記第３ラミネートフィルムの外側に配置される第３外側フィルムと、を有し、
前記第３フィルム搬送部は、予めロール状に巻き取られた前記第３積層フィルムを巻き出す第３巻出軸と、前記第３キャリアフィルムの搬送経路の前記第２合流地点よりも手前で前記第３キャリアフィルムを折り返すことで前記第３キャリアフィルムと前記第３ラミネートフィルムを剥離する第３剥離体と、前記第３剥離体で前記第３キャリアフィルムと共に折り返した前記第３外側フィルムを、前記第３キャリアフィルムと共にロール状に巻き取る第３巻取軸と、を有する、付記２７に記載の貼合装置。
前記第３ラミネートフィルムと前記第３キャリアフィルムとは第３積層フィルムを構成し、
前記第３積層フィルムは、前記第３キャリアフィルムの片面に、前記第３ラミネートフィルムと、前記第３ラミネートフィルムの外側に配置される第３外側フィルムと、を有し、
前記第３フィルム搬送部は、予めロール状に巻き取られた前記第３積層フィルムを巻き出す第３巻出軸と、前記第３キャリアフィルムの搬送経路の前記第２合流地点よりも手前で前記第３キャリアフィルムを折り返すことで前記第３キャリアフィルムと前記第３ラミネートフィルムを剥離する第３剥離体と、前記第３剥離体で前記第３キャリアフィルムと共に折り返した前記第３外側フィルムを、前記第３キャリアフィルムと共にロール状に巻き取る第３巻取軸と、を有する、付記２７に記載の貼合装置。
【0206】
［付記２９］
前記第２貼合部は、前記第１基板に接触することなく前記第１ラミネートフィルムを吸着して前記第２基板を前記第２基板搬送部から受け取る第２吸着板と、前記第３ラミネートフィルムに接触する第２ラミネートローラと、を有し、
前記第２吸着板と前記第２ラミネートローラが前記第２基板と前記第３ラミネートフィルムを挟むと共に、前記第２吸着板が前記第２基板を吸着した状態で、前記第２吸着板が前記第２ラミネートローラに対して移動する、付記２７又は２８に記載の貼合装置。
前記第２貼合部は、前記第１基板に接触することなく前記第１ラミネートフィルムを吸着して前記第２基板を前記第２基板搬送部から受け取る第２吸着板と、前記第３ラミネートフィルムに接触する第２ラミネートローラと、を有し、
前記第２吸着板と前記第２ラミネートローラが前記第２基板と前記第３ラミネートフィルムを挟むと共に、前記第２吸着板が前記第２基板を吸着した状態で、前記第２吸着板が前記第２ラミネートローラに対して移動する、付記２７又は２８に記載の貼合装置。
【0207】
［付記３０］
前記第２基板搬送部における前記第２基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第２貼合部は、前記第２吸着板を前記第１方向、前記第２方向、前記第３方向、前記第４方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第５方向または前記第６方向から見て前記第２吸着板を回転させる第２位置調整部と、前記第２吸着板が前記第２基板を吸着した後、前記第２吸着板と前記第２ラミネートローラが前記第２基板を挟む前に、前記第２基板の位置を検出する第２位置検出部と、を有し、
前記貼合装置は、前記第２位置検出部の検出結果に基づき前記第２位置調整部を制御することで、前記第２吸着板を所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう制御部を備える、付記２９に記載の貼合装置。
前記第２基板搬送部における前記第２基板の搬送方向を第１方向とし、前記第１方向とは逆方向を第２方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して平行な方向であって且つ前記第１方向に対して垂直な一方向を第３方向とし、前記第３方向とは逆方向を第４方向とし、前記第１基板の前記第１主面に対して垂直な一方向を第５方向とし、前記第５方向とは逆方向を第６方向とすると、
前記第２貼合部は、前記第２吸着板を前記第１方向、前記第２方向、前記第３方向、前記第４方向、前記第５方向および前記第６方向に移動させると共に前記第５方向または前記第６方向から見て前記第２吸着板を回転させる第２位置調整部と、前記第２吸着板が前記第２基板を吸着した後、前記第２吸着板と前記第２ラミネートローラが前記第２基板を挟む前に、前記第２基板の位置を検出する第２位置検出部と、を有し、
前記貼合装置は、前記第２位置検出部の検出結果に基づき前記第２位置調整部を制御することで、前記第２吸着板を所望の位置まで移動させるか、回転させる制御を行なう制御部を備える、付記２９に記載の貼合装置。
【0208】
［付記３１］
付記１９～３０のいずれか１項に記載の貼合装置を用いて前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することを有する、貼合方法。
付記１９～３０のいずれか１項に記載の貼合装置を用いて前記第１基板と前記第１ラミネートフィルムを貼合することを有する、貼合方法。
【0209】
以上、本開示に係る貼合装置および貼合方法について説明したが、本開示は上記実施形態などに限定されない。特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更、修正、置換、付加、削除、及び組み合わせが可能である。それらについても当然に本開示の技術的範囲に属する。
【符号の説明】
【0210】
１０ 第１基板、１０Ａ 第２基板、１０Ｂ 第３基板、１０Ｃ 第４基板、１１ 第１主面、１２ 第２主面、２０ 第１積層フィルム、２１ 第１ラミネートフィルム、２１ａ 基材フィルム、２１ｂ 接着層、２２ 第１キャリアフィルム、２３ 第１アライメントマーク、２４ 第１外側フィルム、２４ａ 基材フィルム、２４ｂ 接着層、２７ 切れ目、３０ 第２積層フィルム、３１ 第２ラミネートフィルム、３１ａ 基材フィルム、３１ｂ 接着層、３２ 第２キャリアフィルム、３３ 第２アライメントマーク、３４ 第２外側フィルム、３４ａ 基材フィルム、３４ｂ 接着層、３７ 切れ目、４０ 第３積層フィルム、４１ 第３ラミネートフィルム、４１ａ 基材フィルム、４１ｂ 接着層、４２ 第３キャリアフィルム、４３ 第３アライメントマーク、４４ 第３外側フィルム、４４ａ 基材フィルム、４４ｂ 接着層、４７ 切れ目、５０ 第４積層フィルム、５１ 第４ラミネートフィルム、５１ａ 基材フィルム、５１ｂ 接着層、５２ 第４キャリアフィルム、６０ 第５積層フィルム、６１ 第５ラミネートフィルム、６１ａ 基材フィルム、６１ｂ 接着層、６２ 第５キャリアフィルム、１００ 貼合装置、１０１ 第１マーク検出部、１０２ 第１駆動部、１０３ 第１エッジ検出部、１０４ 第２マーク検出部、１０５ 第２駆動部、１０６ 第２エッジ検出部、１０７ 第３マーク検出部、１０８ 第３駆動部、１０９ 第３エッジ検出部、１１０ 第１基板搬送部、１１１ 第１搬送ローラ、１２０ 第２基板搬送部、１２１ 第２搬送ローラ、１３０ 第３基板搬送部、１３１ 第３搬送ローラ、１９０ 制御部、２１０ 第１フィルム搬送部、２１１ 第１巻出軸、２１２ 第１剥離体、２１３ 第１巻取軸、２１４ 第１中継ローラ、２１５ 第１中継ローラ、２１６ 第１回収部、２１７ 第１個別調整部、２２０ 第２フィルム搬送部、２２１ 第２巻出軸、２２２ 第２剥離体、２２３ 第２巻取軸、２２４ 第２中継ローラ、２２５ 第２中継ローラ、２２６ 第２回収部、２２７ 第２個別調整部、２３０ 第３フィルム搬送部、２３１ 第３巻出軸、２３２ 第３剥離体、２３３ 第３巻取軸、２３４ 第３中継ローラ、２３５ 第３中継ローラ、２４０ 第４フィルム搬送部、２４１ 第４巻出軸、２４２ 第４剥離体、２４３ 第４巻取軸、２４４ 第４中継ローラ、２４５ 第４中継ローラ、２４６ 第４中継ローラ、２５０ 第５フィルム搬送部、２５１ 第５巻出軸、２５２ 第５剥離体、２５３ 第５巻取軸、２５４ 第５中継ローラ、２５５ 第５中継ローラ、２５６ 第５中継ローラ、３１０ 第１貼合部、３１１ 第１ラミネートローラ、３１２ 第１ラミネートローラ、３１３ 第１回転モータ、３１４ 第１回転モータ、３１５ 第１吸着板、３１６ 第１位置調整部、３１７ 第１位置検出部、３１８ 清掃ローラ、３２０ 第２貼合部、３２２ 第２ラミネートローラ、３２４ 第２回転モータ、３２５ 第２吸着板、３２６ 第２位置調整部、３２７ 第２位置検出部、３３０ 第３貼合部、３３１ 第３ラミネートローラ、３３２ 第３ラミネートローラ、３３３ 第３回転モータ、３３４ 第３回転モータ、３３９ 切断機、Ａ１ 透過領域、Ａ２ 遮光領域、ＶＬ 搬送速度、ＶＳ 搬送速度
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】