特開 2025-5550 保護部材形成装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025005550

(43)【公開日】2025-01-17

(54)【発明の名称】保護部材形成装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20250109BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023105761

(22)【出願日】2023-06-28

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110004185

【氏名又は名称】インフォート弁理士法人

(74)【代理人】

【識別番号】100121083

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 宏義

(74)【代理人】

【識別番号】100138391

【弁理士】

【氏名又は名称】天田 昌行

(72)【発明者】

【氏名】川本 基嗣

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA32

5F131BA43

5F131BA52

5F131CA12

5F131DA32

5F131DA42

5F131DB02

5F131DB52

5F131DB58

5F131DB62

5F131DB76

5F131DB82

5F131EA05

5F131EC34

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC64

5F131EC65

5F131EC68

5F131EC69

(57)【要約】

【課題】保護部材形成装置の停止中にガラステーブルに埃が付着しないようにする。
【解決手段】ウェーハの一方の面全面を保護する保護部材を形成する保護部材形成装置であって、シート（Ｓ）を載置するガラステーブル（１７）と、ガラステーブルにシートを搬送するシート搬送機構（３１）と、シートの上に液状樹脂（Ｍ）を塗布する液状樹脂供給部（３２）と、ガラステーブルの上方で保持面（２５３）によってウェーハを吸引保持する保持テーブル（２５２）と、昇降機構（２７）によって保持テーブルをガラステーブルに接近させた際に、ガラステーブルの上面と保持面との間に隙間を設けた状態でガラステーブルの上面外周と保持面の外周とを接続し密室（４１）を形成する筒体（４０）と、密室を形成する際に、保持面とエア供給源（３０）とを連通させ保持面からエアを噴射させる密室形成制御部（３５５）を備える。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェーハの一方の面全面を保護する保護部材を形成する保護部材形成装置であって、
シートを載置するガラステーブルと、
該ガラステーブルにシートを搬送するシート搬送機構と、
該シートの上に液状樹脂を塗布する液状樹脂供給部と、
該ガラステーブルの上方で吸引源に連通させた保持面によってウェーハを吸引保持する保持テーブルと、
該保持テーブルを昇降させる昇降機構と、
該保持テーブルに配設され、該昇降機構によって該保持テーブルを該ガラステーブルに接近させた際に、該ガラステーブルの上面と該保持面との間に隙間を設けた状態で該ガラステーブルの上面外周と該保持面の外周とを接続し密室を形成する筒体と、を備え、
さらに、該昇降機構によって該保持テーブルを下降させ、該密室を形成する際に、該保持面とエア供給源とを連通させ該保持面からエアを噴射させる密室形成制御部を備える、保護部材形成装置。

【請求項2】

該昇降機構によって該保持テーブルを上昇させ、該密室を開放する際に、該保持面とエア供給源とを連通させ該保持面からエアを噴射させる密室開放制御部を備える、請求項１記載の保護部材形成装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、保護部材形成装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１や特許文献２に開示されるように、ウェーハの一方の面全面を保護する保護部材を形成する保護部材形成装置では、ガラスステージの上にシートを配置し、シートの上に供給した紫外線硬化型の液状樹脂をウェーハの一方の面全面に押し広げ、ガラスステージの下側から紫外線を照射し液状樹脂を硬化させ、シートと樹脂とからなる保護部材を形成している。

【0003】

この種の保護部材形成装置では、装置を停止しているときに、装置内を浮遊していた埃がガラステーブルの上面に付着する場合がある。保護部材を形成する際に、ガラステーブルの上面に埃が介在していると、保護部材の表面を平坦面にすることができなくなる。そのため、保護部材が形成されたウェーハを研削装置に搬送し、平坦面ではない保護部材を介してウェーハをチャックテーブルに保持させて研削砥石でウェーハの上面を研削すると、研削したウェーハが均一な厚みにならないという問題がある。

【0004】

この問題を解決するために、保護部材形成装置において、ガラステーブルにシートを搬送する前に、ガラステーブルをエアブローして埃を吹き飛ばす機能を備えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１４－０７８５５０号公報

【特許文献2】特開２０１４－１９２４７３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、保護部材形成装置が長時間停止されているときには、エアブローではガラステーブルの上面の埃を除去できないという問題がある。

【0007】

したがって、保護部材形成装置は、装置停止中にガラステーブルに埃が付着しないようにするという解決すべき課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一態様は、ウェーハの一方の面全面を保護する保護部材を形成する保護部材形成装置であって、シートを載置するガラステーブルと、該ガラステーブルにシートを搬送するシート搬送機構と、該シートの上に液状樹脂を塗布する液状樹脂供給部と、該ガラステーブルの上方で吸引源に連通させた保持面によってウェーハを吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルを昇降させる昇降機構と、該保持テーブルに配設され、該昇降機構によって該保持テーブルを該ガラステーブルに接近させた際に、該ガラステーブルの上面と該保持面との間に隙間を設けた状態で該ガラステーブルの上面外周と該保持面の外周とを接続し密室を形成する筒体と、を備え、さらに、該昇降機構によって該保持テーブルを下降させ、該密室を形成する際に、該保持面とエア供給源とを連通させ該保持面からエアを噴射させる密室形成制御部を備える。

【0009】

さらに、該昇降機構によって該保持テーブルを上昇させ、該密室を開放する際に、該保持面とエア供給源とを連通させ該保持面からエアを噴射させる密室開放制御部を備えることが好ましい。

【発明の効果】

【0010】

本発明の保護部材形成装置によれば、ガラステーブルの上面と保持テーブルの保持面との間に隙間を設けた状態で、ガラステーブルの上面外周と保持面の外周とを筒体で接続して密室を形成し、さらに、密室を形成する際に保持面からエアを噴射させることにより、装置停止中にガラステーブルに埃が付着することを確実に防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本実施形態の保護部材形成装置を示す斜視図である。

【図2】シート上に液状樹脂を滴下する工程を示す図である。

【図3】シートとウェーハの間で押し広げた液状樹脂を硬化させる工程を示す図である。

【図4】ガラステーブルの載置面と保持テーブルの保持面との間に密室を形成する工程を示す図である。

【図5】ガラステーブルの載置面と保持テーブルの保持面との間に密室が形成された状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、添付図面を参照して、本実施形態に係る保護部材形成装置について説明する。図１に示すＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向は互いに垂直な関係にある。Ｘ軸方向とＹ軸方向は略水平な方向であり、Ｚ軸方向は上下方向（鉛直方向）である。

【0013】

図１に示す保護部材形成装置１０は、ウェーハＷの一方の面（下面Ｗｂ）の全面に押し広げられた液状樹脂Ｍに外的刺激を付与して硬化させることによって保護部材Ｈ（図３）を形成する装置である。図１においては、保護部材形成装置１０の外部筐体１１を破線で示し、外部筐体１１の内側の構成要素を透視した状態で表している。ウェーハＷのうち、保護部材形成装置１０での処理時に上側を向く面を上面Ｗａとし、下側を向く面を下面Ｗｂとする。

【0014】

ウェーハＷは、例えば、円柱状のシリコンなどのインゴットから切り出した円板状のアズスライスウェーハである。なお、ウェーハＷは、デバイス形成前のアズスライスウェーハに限らず、デバイス形成後のデバイスウェーハなどでもよい。

【0015】

保護部材形成装置１０は、外部筐体１１のＹ軸方向の一端側（前方側の端部）に、カセット収容部１２を備えている。カセット収容部１２にはＸ軸方向に並ぶ２つの収容スペースが形成されており、それぞれの収容スペースにカセットＣが載置される。一方の収容スペースに載置されるカセットＣには、保護部材Ｈが形成される前の複数枚のウェーハＷが収容される。他方の収容スペースに載置されるカセットＣには、保護部材Ｈを形成した後の複数枚のウェーハＷが収容される。

【0016】

カセット収容部１２のＹ軸方向の後方側の位置には、仮置きテーブル１３と、シートカットテーブル１４と、が設けられている。上側に仮置きテーブル１３が位置し、下側にシートカットテーブル１４が位置する。仮置きテーブル１３には、保護部材Ｈが形成される前のウェーハＷの中心位置及び向きを検出するウェーハ検出部１３１が設けられている。シートカットテーブル１４には、保護部材Ｈが形成された後のウェーハＷからはみ出した余分なシートＳ（図３）を、ウェーハＷの外形に沿って切断するシートカッター１４１が設けられている。

【0017】

カセット収容部１２に収容されたカセットＣに対してウェーハＷの搬入及び搬出を行う第１搬送機構１５が設けられている。第１搬送機構１５は、台座１５１上に支持されるロボットハンド１５２を備え、Ｘ軸方向に延びる一対のガイドレール１５３に沿って台座１５１が移動可能に支持されている。台座１５１は、Ｘ軸方向に延びるボールネジ１５４に対して螺合する螺合部（図示略）を備える。モータの駆動力によってボールネジ１５４を回転させると、台座１５１がＸ軸方向に移動する。

【0018】

第１搬送機構１５は、Ｘ軸方向への台座１５１の移動と、ロボットハンド１５２の動作とによって、カセット収容部１２と仮置きテーブル１３及びシートカットテーブル１４との間でのウェーハＷの搬送を行う。より詳しくは、第１搬送機構１５は、保護部材Ｈが形成される前のウェーハＷを、カセット収容部１２内のＣから搬出して仮置きテーブル１３に載せることができる。また、第１搬送機構１５は、保護部材Ｈが形成された後のウェーハＷを、シートカットテーブル１４から搬出して、カセット収容部１２内のカセットＣに搬入することができる。

【0019】

保護部材形成装置１０は、シートカットテーブル１４に対してＹ軸方向の後方側に基台１６を備えている。基台１６には支持枠１８が設けられ、支持枠１８を介してガラステーブル１７が支持されている。

【0020】

図２から図５を参照して、ガラステーブル１７及び支持枠１８の構造を説明する。ガラステーブル１７は、石英ガラスなどの透光性材料からなり、円板状に形成されている。ガラステーブル１７の上面は、シートＳを載置するための平坦な載置面１７１になっている。

【0021】

支持枠１８は、ガラステーブル１７の周囲を囲む囲繞壁１８１を有し、囲繞壁１８１の上面は、ガラステーブル１７の載置面１７１と同じ高さの平坦な外側支持面１８２になっている。つまり、ガラステーブル１７の載置面１７１と支持枠１８の外側支持面１８２とが面一に形成されている。

【0022】

ガラステーブル１７の外縁と支持枠１８の囲繞壁１８１の内縁との境界には、リング状の吸引口１７２が形成されている。吸引口１７２に連通する流路１７３が、制御バルブ１９を介して吸引源２０に接続している。制御バルブ１９を開いて吸引源２０を動作させると、流路１７３のエアが吸引されて吸引口１７２に吸引力が作用する。

【0023】

支持枠１８の内部には、ガラステーブル１７の下方に位置する紫外線照射ユニット２２が設けられている。紫外線照射ユニット２２は、囲繞壁１８１に囲まれる空間内に配置され、紫外線ＵＶを発することが可能な複数の紫外線照射部２２１を備えており、下方からガラステーブル１７に向けてＵＶを照射する。紫外線照射部２２１に用いる光源はＬＥＤを用いてもよい。

【0024】

図１に戻って、保護部材形成装置１０の説明を続ける。保護部材形成装置１０は、ガラステーブル１７及び支持枠１８の上方に配置されるウェーハ保持部２５を備えている。ガラステーブル１７及び支持枠１８に対してＹ軸方向の前方側の位置に、基台１６から上方へ突出するコラム２６が形成されており、コラム２６に設けた昇降機構２７によって、ウェーハ保持部２５がＺ軸方向に昇降するように構成されている。

【0025】

昇降機構２７は、Ｚ軸方向に延びる一対のガイドレール２７１と、一対のガイドレール２７１に対してＺ軸方向に移動可能に支持された昇降テーブル２７２と、Ｚ軸方向に延びて昇降テーブル２７２の螺合部２７３（図２から図５）に螺合するボールネジ２７４と、ボールネジ２７４を回転させるモータ２７５と、を備えている。モータ２７５の駆動力によってボールネジ２７４を回転させると、一対のガイドレール２７１に沿って昇降テーブル２７２がＺ軸方向に移動する。ボールネジ２７４の回転方向を切り換えることによって、昇降テーブル２７２に上昇動作と下降動作を行わせることができる。

【0026】

ウェーハ保持部２５は昇降テーブル２７２によって支持されており、昇降テーブル２７２のＺ軸方向への移動に伴ってウェーハ保持部２５が昇降動作する。ウェーハ保持部２５は、昇降テーブル２７２に取り付けられるハウジング２５１の下端に、円板状の保持テーブル２５２を備えている。図２から図５に示すように、保持テーブル２５２の下面側には、下向きの保持面２５３が形成されており、保持面２５３はガラステーブル１７の載置面１７１に対向する。保持面２５３は載置面１７１と略平行な面である。

【0027】

図２から図５に示すように、保持テーブル２５２は、保持面２５３に開口する多数の吸引口２５４を備えており、保持テーブル２５２の内部には、吸引口２５４に連通する流路２５５が形成されており、流路２５５が制御バルブ２８を介して吸引源２９及びエア供給源３０に接続している。制御バルブ２８は、流路２５５を吸引源２９に接続させる吸引状態と、流路２５５をエア供給源３０に接続させるエア供給状態と、流路２５５を吸引源２９とエア供給源３０のいずれにも接続させない非接続状態と、に動作する。

【0028】

制御バルブ２８を吸引状態にして吸引源２９を動作させると、流路２５５のエアが吸引されて吸引口２５４に吸引力が作用する。吸引口２５４に吸引力を作用させると、保持面２５３がウェーハＷの上面Ｗａを吸引保持することができる。制御バルブ２８をエア供給状態にしてエア供給源３０を動作させると、流路２５５にエアが供給されて吸引口２５４からエアが噴射する。吸引口２５４からエアを噴射させると、保持面２５３によるウェーハＷの吸引保持を解除して、ウェーハＷを保持テーブル２５２から離間させることができる。

【0029】

保護部材形成装置１０は、ガラステーブル１７の載置面１７１にシートＳを搬送して載置するシート搬送機構３１を備える。シート搬送機構３１は、ロール状に巻かれたシートＳが支持されるシート供給部３１１と、Ｙ軸方向に移動可能なアーム３１２と、アーム３１２の側面に取り付けられたクランプ部３１３と、を備えている。シート搬送機構３１では、シート供給部３１１に支持されたロール状のシートＳをクランプ部３１３によって把持し、アーム３１２をＹ軸方向に移動させてシートＳを引っ張ることによって、ガラステーブル１７の載置面１７１にシートＳを載置する。

【0030】

制御バルブ１９を開いて吸引源２０を動作させ、吸引口１７２に吸引力を作用させることにより、ガラステーブル１７の載置面１７１に載置したシートＳを吸引保持することができる。

【0031】

シートＳは透光性材料からなる。シートＳとして、例えば、ポリエチレンテレフタレートなどで形成されたフィルムなどを用いることができる。なお、これ以外の材質からなるシートＳを用いてもよい。

【0032】

ガラステーブル１７の近傍には、載置面１７１上のシートＳの上面に所定量の液状樹脂Ｍ（図２参照）を供給する液状樹脂供給部３２が設けられている。液状樹脂供給部３２は、基台１６内に設けられたタンク３２４に接続するディスペンサ３２１と、ディスペンサ３２１から延びる接続管３２２が接続する液状樹脂供給ノズル３２３と、を備える。

【0033】

液状樹脂供給ノズル３２３は、アーム３１２に設けられ、シート搬送機構３１によるアーム３１２のＹ軸方向の移動に応じて移動可能である。アーム３１２の移動によって、ガラステーブル１７と保持テーブル２５２との間に液状樹脂供給ノズル３２３を位置付けた供給状態（図２）と、ガラステーブル１７と保持テーブル２５２との間から液状樹脂供給ノズル３２３が退避した退避状態（図３から図５）と、にセットすることができる。

【0034】

液状樹脂供給ノズル３２３を図２の供給状態に位置付け、タンク３２４に貯留された液状樹脂Ｍがディスペンサ３２１によって接続管３２２を経由して送られ、液状樹脂供給ノズル３２３から液状樹脂Ｍが供給される。液状樹脂供給ノズル３２３は下方に液状樹脂Ｍを滴下することが可能であり、液状樹脂供給ノズル３２３から供給された液状樹脂Ｍは、載置面１７１上のシートＳ上面の中心に滴下されてシートＳに塗布される。また、液状樹脂供給ノズル３２３は上面側にも液状樹脂Ｍを供給することが可能であり、液状樹脂供給ノズル３２３の上面側に供給された液状樹脂Ｍは、保持テーブル２５２に保持されたウェーハＷの下面Ｗｂの中心に付着する。液状樹脂供給ノズル３２３からの液状樹脂Ｍの供給量は、ディスペンサ３２１によって調整可能である。

【0035】

液状樹脂Ｍは、外的刺激によって硬化する性質を有する。本実施形態では、紫外線の照射により硬化する紫外線硬化型の液状樹脂Ｍを用いている。なお、液状樹脂Ｍは、熱硬化型であってもよい。

【0036】

基台１６に対してＸ軸方向の側方に、第２搬送機構３３が設けられている。第２搬送機構３３は、台座３３１上に支持されるロボットハンド３３２を備え、Ｙ軸方向に延びる一対のガイドレール３３３に沿って台座３３１が移動可能に支持されている。台座３３１は、Ｙ軸方向に延びるボールネジ３３４に対して螺合する螺合部（図示略）を備える。モータの駆動力によってボールネジ３３４を回転させると、台座３３１がＹ軸方向に移動する。

【0037】

第２搬送機構３３は、Ｙ軸方向への台座３３１の移動と、ロボットハンド３３２の動作とによって、仮置きテーブル１３及びシートカットテーブル１４とウェーハ保持部２５との間でのウェーハＷの搬送を行う。より詳しくは、第２搬送機構３３は、保護部材Ｈが形成される前のウェーハＷを、仮置きテーブル１３からウェーハ保持部２５に搬送することができる。また、第２搬送機構３３は、保護部材Ｈが形成された後のウェーハＷを、ウェーハ保持部２５からシートカットテーブル１４に搬送することができる。

【0038】

保護部材形成装置１０は、制御部３５によって統括的に制御される。制御部３５は、各種処理を実行するプロセッサと、各種パラメータやプログラムなどを記憶する記憶部（メモリ）と、によって構成されている。制御部３５は、機能ブロックとして、供給制御部３５１、拡張制御部３５２、硬化制御部３５３、シート搬送制御部３５４、密室形成制御部３５５、密室開放制御部３５６を備えている。これらの機能ブロックは、制御部３５における記憶部に記憶されたプログラムが実行されることによって実現される。なお、図１に示す制御部３５の機能ブロックは、本発明に主に関連する構成のみを示しており、それ以外の構成については省略している。

【0039】

供給制御部３５１は、液状樹脂供給部３２におけるディスペンサ３２１の駆動を制御し、ガラステーブル１７の載置面１７１に支持されたシートＳに対して、液状樹脂供給ノズル３２３によって所定量の液状樹脂Ｍを供給させる。

【0040】

拡張制御部３５２は、昇降機構２７によるウェーハ保持部２５の動作量や動作方向などを制御する。ウェーハ保持部２５の下降によって、後述するように、液状樹脂Ｍを押し広げた状態（図３参照）にすることができる。

【0041】

硬化制御部３５３は、紫外線照射ユニット２２による紫外線ＵＶの照射を制御し、液状樹脂Ｍを硬化させる。

【0042】

シート搬送制御部３５４は、シート搬送機構３１におけるアーム３１２やクランプ部３１３の駆動を制御し、ガラステーブル１７の載置面１７１にシートＳを搬送させる。また、シート搬送制御部３５４は、アーム３１２の駆動を制御することによって、ガラステーブル１７の載置面１７１に支持されたシートＳの中心に液状樹脂Ｍを滴下させるように、液状樹脂供給ノズル３２３の位置を設定する。

【0043】

密室形成制御部３５５は、ガラステーブル１７の載置面１７１と保持テーブル２５２の保持面２５３との間に、密室４１（図５）を形成する制御を行う。密室開放制御部３５６は、密室４１を開放させる制御を行う。密室形成制御部３５５と密室開放制御部３５６による制御内容の詳細は後述する。

【0044】

なお、上記の各制御部３５１～３５６の機能は、制御部３５を構成するプロセッサやメモリなどの動作によって実現されるものであり、各制御部３５１～３５６が独立した電子部品で構成されていることを意味しているのではない。

【0045】

続いて、保護部材形成装置１０による保護部材Ｈの形成について説明する。

【0046】

保護部材Ｈを形成する際には、シート搬送制御部３５４がシート搬送機構３１を制御し、クランプ部３１３によってシートＳの端部を把持して、アーム３１２をＹ軸方向へ移動させ、シート供給部３１１からシートＳが引き出されてガラステーブル１７側へ搬送される。引き出されたシートＳは、シート搬送機構３１が備えるシートカッターによって所定の長さでカットされ、図２に示すように、シートＳがガラステーブル１７の載置面１７１上に載置される。シートＳの面積は載置面１７１の面積よりも大きく、シートＳの外周部分は載置面１７１外縁の吸引口１７２を覆っている。制御部３５の制御によって、制御バルブ１９を開いて吸引源２０を動作させ、吸引口１７２に吸引力を作用させることにより、シートＳが吸引保持されて載置面１７１に密着する。この段階でのシートＳの面積は、ウェーハＷの下面Ｗｂの面積よりも大きい。

【0047】

続いて、シート搬送制御部３５４は、シート搬送機構３１のアーム３１２の位置をＹ軸方向で調整し、載置面１７１上に載置されたシートＳの上方に、液状樹脂供給部３２の液状樹脂供給ノズル３２３を位置付けさせる。

【0048】

液状樹脂供給ノズル３２３の位置付け後、供給制御部３５１が液状樹脂供給部３２のディスペンサ３２１を制御して、液状樹脂供給ノズル３２３に液状樹脂Ｍを送出して液状樹脂供給ノズル３２３からシートＳに向けて液状樹脂Ｍを滴下させる。液状樹脂供給ノズル３２３はガラステーブル１７の中央付近の上方に位置付けられており、液状樹脂供給ノズル３２３から滴下された液状樹脂Ｍは、ウェーハＷの面積よりも狭い範囲でシートＳの上面の中央付近に溜まった状態になる。供給制御部３５１は、ウェーハＷの大きさなどの情報に基づいてディスペンサ３２１を制御し、ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に行き渡る量の液状樹脂ＭをシートＳへ供給させる。所定量の液状樹脂Ｍの供給が完了したら、アーム３１２を移動させてガラステーブル１７の上方から液状樹脂供給ノズル３２３を退避させる。

【0049】

図２に示すように、ウェーハ保持部２５の保持テーブル２５２にウェーハＷを吸引保持させる。ウェーハＷを保持テーブル２５２に保持させる際には、第１搬送機構１５のロボットハンド１５２によって、保護部材Ｈを形成する前のウェーハＷが、カセット収容部１２の収容スペース内のカセットＣから取り出されて、仮置きテーブル１３に載せられる。仮置きテーブル１３上のウェーハＷが第２搬送機構３３のロボットハンド３３２に受け渡され、ウェーハＷが保持テーブル２５２まで搬送される。保持テーブル２５２では、制御バルブ２８を吸引状態にして吸引源２９を動作させ、吸引口２５４に作用する吸引力によって、ウェーハＷの上面Ｗａを保持面２５３に吸引保持する。

【0050】

なお、保持テーブル２５２にウェーハＷを保持する工程の少なくとも一部を、上記のガラステーブル１７へのシートＳの搬入や、シートＳ上への液状樹脂Ｍの供給と並行して行ってもよい。

【0051】

保持テーブル２５２に保持されたウェーハＷが、シートＳ上の液状樹脂Ｍの上方に対向して位置する状態になったら、拡張制御部３５２の制御によって、昇降機構２７のモータ２７５が駆動され、昇降テーブル２７２及び保持テーブル２５２を所定の送り速度で下降させる。保持テーブル２５２の下降によって、ウェーハＷの下面Ｗｂがガラステーブル１７に接近して液状樹脂Ｍに接触する。そして、下降するウェーハＷの下面Ｗｂによって液状樹脂Ｍが押圧されて、液状樹脂ＭがウェーハＷの径方向に押し広げられる。ウェーハＷの下面Ｗｂが接触する前の液状樹脂ＭはシートＳの中央付近にまとまって位置しており、ウェーハＷから押圧されることにより、液状樹脂ＭはウェーハＷの外縁側に向けて広がる（図３参照）。

【0052】

保持テーブル２５２の下降による液状樹脂Ｍの押し広げが完了して、ウェーハＷの下面Ｗｂの全体を液状樹脂Ｍが覆う状態になったら、硬化工程に進む。図３に示すように、硬化工程では、硬化制御部３５３の制御によって、紫外線照射ユニット２２の紫外線照射部２２１から液状樹脂Ｍを硬化させる強度の紫外線ＵＶが、ガラステーブル１７の載置面１７１に向けて下方から照射される。紫外線照射部２２１から発した紫外線ＵＶは、ガラステーブル１７及びシートＳを透過して液状樹脂Ｍに達し、紫外線硬化型樹脂である液状樹脂Ｍを硬化させる。液状樹脂Ｍが十分に硬化した状態になったら、紫外線照射ユニット２２からの紫外線ＵＶの照射を終了する。硬化した液状樹脂ＭとシートＳとによって、ウェーハＷの下面Ｗｂの全体を覆う保護部材Ｈが形成され、保護部材ＨによってウェーハＷの下面Ｗｂが保護される。

【0053】

保護部材Ｈの形成が完了したら、保護部材Ｈを形成済みのウェーハＷを搬出する。ウェーハＷを搬出する際には、制御バルブ１９を閉じて吸引口１７２への吸引力を解除して、載置面１７１へのシートＳの吸引保持を終了する。続いて、昇降機構２７のモータ２７５が駆動され、昇降テーブル２７２及び保持テーブル２５２を上昇させる。保持テーブル２５２の上昇により、保持面２５３に吸引保持されているウェーハＷが保護部材Ｈと共にガラステーブル１７から上方に引き上げられる。

【0054】

続いて、保護部材Ｈを形成済みのウェーハＷを、保持テーブル２５２から第２搬送機構３３のロボットハンド３３２に受け渡す。ウェーハＷを受け渡す際に、制御バルブ２８をエア供給状態にしてエア供給源３０を動作させ、吸引口２５４からエアを噴射させることにより、保持面２５３によるウェーハＷの吸引保持を解除して、ウェーハＷを保持テーブル２５２から離間させる。

【0055】

第２搬送機構３３を駆動して、ウェーハＷを受け取ったロボットハンド３３２を移動させ、ウェーハＷをシートカットテーブル１４に載置させる。シートカッター１４１を用いて、シートカットテーブル１４に載置されたウェーハＷの外形に沿って余分なシートＳが切断される。そして、保護部材Ｈを形成した後のウェーハＷが、第１搬送機構１５のロボットハンド１５２によって、シートカットテーブル１４から取り出され、カセット収容部１２の収容スペース内のカセットＣに搬入される。

【0056】

以上のようにして、保護部材形成装置１０でのウェーハＷに対する保護部材Ｈの形成が完了する。保護部材Ｈが形成されたウェーハＷは、保護部材形成装置１０とは別の加工装置へ搬送されて加工される。

【0057】

例えば、ウェーハＷは研削装置へ搬送されて、保護部材Ｈで覆われた下面Ｗｂとは反対側の上面Ｗａが研削加工される。研削装置での研削加工の際に、保護部材Ｈは研削装置のチャックテーブルに押し付けられる。所定量の厚みを有して硬化されている保護部材Ｈによって、押し付けに耐えてウェーハＷを安定して研削加工させることができる。

【0058】

ところで、既存の保護部材形成装置では、装置を停止しているときに、装置内を浮遊していた埃が、シートを載置するガラステーブルの載置面に付着する可能性がある。多孔質材で形成されたポーラス板では、保持面全面からのエアブローによって埃などの異物を除去することができるが、ガラステーブルの場合は、エアブロー用の孔が載置面全面に形成されていないため、載置面に付着した埃を載置面自体からのエアブローで除去することができないという制約がある。そして、保護部材を形成する際に、ガラステーブルの載置面上に埃などの異物が介在していると、異物によってシートに凹凸が生じ、保護部材の表面を平坦面にすることができなくなる。保護部材の表面が平坦面ではない状態で、研削装置のチャックテーブルに保護部材を保持させてウェーハを研削砥石で研削すると、ウェーハが均一な厚みにならないという問題が生じる。

【0059】

本実施形態の保護部材形成装置１０では、このような問題を防ぐために、装置停止中にガラステーブル１７に埃を付着させない対策を行っており、その詳細を以下に説明する。

【0060】

図２から図５に示すように、保持テーブル２５２の保持面２５３の外周部には、筒体４０が設けられている。筒体４０は、Ｚ軸方向に伸縮が可能な蛇腹状の円筒形状であり、非通気性の材質（ゴムなど）で形成されている。

【0061】

昇降機構２７によって保持テーブル２５２を下降させてガラステーブル１７に接近させた際に、筒体４０の下端が支持枠１８の外側支持面１８２に接触し、筒体４０は、ガラステーブル１７の載置面１７１（上面）と保持面２５３との間に隙間を設けた状態でガラステーブル１７の上面外周と保持面２５３の外周とを接続して密室４１（図５）を形成する。

【0062】

図２から図５に示すように、支持枠１８の外側支持面１８２上には、囲繞壁１８１の周方向に連続するリング状の吸引口１８３が形成されている。吸引口１８３は、ガラステーブル１７の載置面１７１外縁に形成した吸引口１７２よりも径が大きく、吸引口１７２の外側を囲むように配置されている。支持枠１８の内部には、吸引口１８３に連通する流路１８４が形成されており、流路１８４が制御バルブ４２を介して吸引源４３及びエア供給源４４に接続している。

【0063】

制御バルブ４２は、流路１８４を吸引源４３に接続させる吸引状態と、流路１８４をエア供給源４４に接続させるエア供給状態と、流路１８４を吸引源４３とエア供給源４４のいずれにも接続させない非接続状態と、に動作する。制御バルブ４２を吸引状態にして吸引源４３を動作させると、流路１８４のエアが吸引されて吸引口１８３に吸引力が作用する。制御バルブ４２をエア供給状態にしてエア供給源４４を動作させると、流路１８４にエアが供給されて吸引口１８３からエアが噴射する。

【0064】

図２及び図３に示すように、保護部材Ｈを形成する工程において、保持テーブル２５２が下降してガラステーブル１７に接近すると、筒体４０の下端が支持枠１８の外側支持面１８２に接触して、筒体４０の内側に密室４１が形成される。そして、密室４１内で保護部材Ｈの形成が行われる。筒体４０の径はウェーハＷの径よりも大きく、ウェーハＷとシートＳとの間で液状樹脂Ｍが押し広げられたときに、液状樹脂Ｍは、筒体４０が接続している位置までは広がらない。従って、筒体４０によって保護部材Ｈの形成が妨げられることがない。

【0065】

保護部材形成装置１０を停止する装置停止処理において、制御部３５の密室形成制御部３５５は、以下のように保護部材形成装置１０の動作を制御して、ガラステーブル１７の載置面１７１への埃の付着を防ぐ。

【0066】

制御部３５の密室形成制御部３５５は、装置停止信号を受信すると、昇降機構２７によって保持テーブル２５２を下降させて、図５に示すように、ガラステーブル１７の載置面１７１（上面）と保持面２５３との間に隙間を設けた状態でガラステーブル１７の上面外周と保持面２５３の外周とを接続して密室４１を形成させる。筒体４０はＺ軸方向に伸縮可能な蛇腹状であるため、保持テーブル２５２の下降量に多少の誤差がある場合でも、密室４１内の気密性を損なわずに、筒体４０の変形によって当該誤差を吸収することができる。

【0067】

図４に示すように、密室形成制御部３５５は、密室４１を形成させる際に、制御バルブ２８をエア供給状態にしてエア供給源３０を動作させ、保持面２５３とエア供給源３０とを連通させて保持面２５３（吸引口２５４）からエアを噴射させる。保持テーブル２５２がガラステーブル１７に接近しながら保持面２５３から載置面１７１に向けてエアを噴射することによって、載置面１７１から埃が吹き飛ばされる。吹き飛ばされた埃は、ガラステーブル１７の外側に飛散する。筒体４０の下端が支持枠１８の外側支持面１８２に接触するまでの間は、保持面２５３と載置面１７１との間の空間が外気に対して開放されているので、筒体４０によって遮られることなく、ガラステーブル１７の外側に向けて埃を排出することができる。そして、保持テーブル２５２がガラステーブル１７に近付くほど、保持面２５３からのエアの噴射を利用した載置面１７１の埃の除去効果が高くなる。

【0068】

図５に示すように、密室形成制御部３５５は、筒体４０の下端が保持面２５３に接触し、ガラステーブル１７の載置面１７１の外周と保持面２５３の外周とを筒体４０が接続して密室４１が形成される位置まで、保持テーブル２５２を下降させる。密室４１が形成された段階で、密室形成制御部３５５は、制御バルブ２８を非接続状態にして、保持面２５３からのエアの噴射を停止する。

【0069】

また、密室形成制御部３５５は、密室４１が形成された段階で、制御バルブ４２を吸引状態にして吸引源４３を動作させ、載置面１７１と吸引源４３とを連通させて吸引口１８３からエアを吸引する。これにより、密室４１内のエアが吸引源４３側へ吸引され、密室４１内に残存して浮遊する埃が吸引口１８３から吸い出されて、密室４１内の載置面１７１への埃の付着が防止される。また、吸引口１８３から密室４１内のエアを吸引することにより、密室４１内が大気圧に対して負圧になり、筒体４０の下端が外側支持面１８２に密着し、密室４１が形成された状態が維持される。

【0070】

密室４１の形成後に、密室形成制御部３５５は、制御バルブ４２を非接続状態にして、吸引源４３による吸引動作を停止させる。吸引源４３による密室４１内の吸引動作を停止した後も、筒体４０の下端が外側支持面１８２に密着して密室４１が形成された状態が維持される。従って、保護部材形成装置１０が長時間停止されている間に、密室４１内は外気から遮断されており、密室４１内の載置面１７１に埃が付着しない。

【0071】

なお、密室４１の形成後に、保持面２５３からのエアの噴射と、吸引口１８３からのエアの吸引とを、所定時間継続して行ってもよい。これにより、密室４１内に供給されるエアと、密室４１から排出されるエアとの循環が行われて、密室４１内をクリーンな状態に維持させることができる。

【0072】

以上のように、保護部材形成装置１０が停止している間は、ガラステーブル１７の上面外周に位置する外側支持面１８２と保持面２５３の外周とを筒体４０によって接続して密室４１が形成され、ガラステーブル１７の載置面１７１は密室４１内に位置する。従って、装置内を浮遊する埃が載置面１７１に付着することがなく、載置面１７１がクリーンな状態に保たれる。

【0073】

停止している保護部材形成装置１０を起動させる起動処理では、制御部３５の密室開放制御部３５６の制御によって、密室４１の開放が行われる。密室開放制御部３５６は、装置起動信号を受信すると、昇降機構２７によって保持テーブル２５２を上昇させる。保持テーブル２５２が上昇すると、筒体４０の下端が支持枠１８の外側支持面１８２から離れて密室４１が開放される。

【0074】

密室開放制御部３５６は、密室４１を開放する際に、制御バルブ２８をエア供給状態にしてエア供給源３０を動作させ、保持面２５３とエア供給源３０とを連通させて保持面２５３（吸引口２５４）からエアを噴射させる。保持面２５３からのエアの噴射によって、保持面２５３が対向する載置面１７１への埃の付着を防ぎ、載置面１７１がクリーンな状態で保護部材Ｈの形成工程を開始することができる。

【0075】

また、制御部３５の密室開放制御部３５６は、昇降機構２７によって保持テーブル２５２を上昇させる際に、制御バルブ４２をエア供給状態にしてエア供給源４４を動作させ、支持枠１８の外側支持面１８２（吸引口１８３）からエアを噴射させてもよい。このエアの噴射によって、筒体４０の下端が外側支持面１８２から離れやすくなり、密室４１の開放をスムーズに行わせることができる。

【0076】

なお、密室形成制御部３５５及び密室開放制御部３５６による動作制御の実行は、保護部材形成装置１０を停止及び起動する場合に限定されるものではなく、保護部材形成装置１０の稼働中に実行してもよい。例えば、第１搬送機構１５や第２搬送機構３３によってウェーハＷを搬送している際に、比較的長い時間に亘って載置面１７１が空いた状態になる場合には、その待機時間で上記の密室形成制御部３５５及び密室開放制御部３５６による動作制御を実行して密室４１の形成と開放とを行い、載置面１７１への埃の付着を防いでもよい。

【0077】

以上のように、本実施形態の保護部材形成装置１０は、ガラステーブル１７の上面外周と保持面２５３の外周との間に筒体４０で囲われた密室４１を形成し、密室４１の形成の際に保持面２５３からエアを噴射させることによって、装置が長時間停止されているときに、ガラステーブル１７の載置面１７１に埃が付着することを防止できる。装置の長時間停止中にはエアブローして載置面１７１から埃を吹き飛ばすことができないという問題があるが、保護部材形成装置１０では、密室４１の形成によって載置面１７１への埃の付着自体を予防するので、このような問題を解消できる。また、装置の長時間停止中に載置面１７１に付着した埃は、大気中の水分の吸収などの原因によって載置面１７１に固着し、エアブローによって載置面１７１から吹き飛ばしにくくなるおそれがあるが、本実施形態の保護部材形成装置１０では、長時間停止中に載置面１７１に埃を付着させないので、このような問題が生じない。

【0078】

昇降機構２７によって保持テーブル２５２を下降させる動作を利用して密室４１を形成しており、複雑な駆動機構の追加を要さずに密室４１の形成が可能であるため、本実施形態の保護部材形成装置１０は低コストに導入できるという利点がある。

【0079】

なお、上記実施形態の保護部材形成装置１０では、支持枠１８の外側支持面１８２に吸引口１８３を形成し、密室４１を形成する際に、吸引口１８３を吸引源４３に連通させて密室４１内のエアの吸引を行っているが、密室４１からのエアの吸引を、ガラステーブル１７外縁の吸引口１７２を利用して行うことも可能である。つまり、図５の状態において、制御バルブ１９を開いて吸引源２０を動作させ、吸引口１７２から吸引を行ってもよい。この場合、支持枠１８の吸引口１８３及び流路１８４と、これに接続する制御バルブ４２、吸引源４３及びエア供給源４４と、を省略した構造にしてもよい。

【0080】

上記実施形態の筒体４０は蛇腹状の円筒形状に形成されているが、筒体の構成はこれに限定されるものではない。例えば、筒体は、多角形の筒状でもよい。また、筒体は、蛇腹状ではなく、円錐台形状であってもよい。円錐台形状の筒体は、保持テーブル２５２の下降量の変化に応じて斜面の角度を変化させることによって、気密性を損なわずに保持テーブル２５２の下降量の誤差を吸収することができ、上記実施形態における蛇腹状の筒体４０と同様の効果が得られる。

【0081】

また、上記実施形態の筒体４０は、保持テーブル２５２の保持面２５３に連結しており、保持テーブル２５２の昇降に伴って筒体４０の下端が外側支持面１８２に対して接触又は離間するが、筒体が外側支持面１８２側に連結するように構成されてもよい。この場合、保持テーブル２５２の昇降に伴って、筒体の上端が保持面２５３に対して接触又は離間する。

【0082】

なお、本発明の実施の形態は上記の実施形態や変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。

【産業上の利用可能性】

【0083】

以上説明したように、本発明の保護部材形成装置は、ガラステーブルの上面外周と保持面の外周とを筒体で接続して密室を形成し、密室を形成する際に保持面からエアを噴射させることにより、装置停止中にガラステーブルに埃が付着することを防止できるという効果を有し、ウェーハの一方の面に保護部材を形成する工程を含む半導体などの製造分野において特に有用である。

【符号の説明】

【0084】

１０ ：保護部材形成装置
１２ ：カセット収容部
１３ ：仮置きテーブル
１４ ：シートカットテーブル
１５ ：第１搬送機構
１６ ：基台
１７ ：ガラステーブル
１７１ ：載置面
１７２ ：吸引口
１７３ ：流路
１８ ：支持枠
１８１ ：囲繞壁
１８２ ：外側支持面
１８３ ：吸引口
１８４ ：流路
１９ ：制御バルブ
２０ ：吸引源
２２ ：紫外線照射ユニット
２２１ ：紫外線照射部
２５ ：ウェーハ保持部
２５２ ：保持テーブル
２５３ ：保持面
２５４ ：吸引口
２５５ ：流路
２７ ：昇降機構
２７２ ：昇降テーブル
２８ ：制御バルブ
２９ ：吸引源
３０ ：エア供給源
３１ ：シート搬送機構
３１１ ：シート供給部
３１２ ：アーム
３１３ ：クランプ部
３２ ：液状樹脂供給部
３２１ ：ディスペンサ
３２２ ：接続管
３２３ ：液状樹脂供給ノズル
３２４ ：タンク
３３ ：第２搬送機構
３５ ：制御部
３５５ ：密室形成制御部
３５６ ：密室開放制御部
４０ ：筒体
４１ ：密室
４２ ：制御バルブ
４３ ：吸引源
４４ ：エア供給源
Ｃ ：カセット
Ｈ ：保護部材
Ｍ ：液状樹脂
Ｓ ：シート
ＵＶ ：紫外線
Ｗ ：ウェーハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】