特開2025-72093成膜方法、および成膜装置

発明の名称　成膜方法、および成膜装置

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 32 位（218件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24 位（227件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2025-72093

公報発行日　2025年5月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2025-72093

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