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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025009152
(43)【公開日】2025-01-20
(54)【発明の名称】搬送車
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20250110BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】4
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023111960
(22)【出願日】2023-07-07
(71)【出願人】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】100075384
【弁理士】
【氏名又は名称】松本 昂
(74)【代理人】
【識別番号】100172281
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 知広
(74)【代理人】
【識別番号】100206553
【弁理士】
【氏名又は名称】笠原 崇廣
(74)【代理人】
【識別番号】100189773
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 英哲
(74)【代理人】
【識別番号】100184055
【弁理士】
【氏名又は名称】岡野 貴之
(74)【代理人】
【識別番号】100185959
【弁理士】
【氏名又は名称】今藤 敏和
(72)【発明者】
【氏名】小谷 将也
(72)【発明者】
【氏名】中島 毅
【テーマコード（参考）】
5F131
【Ｆターム（参考）】
5F131AA02
5F131AA03
5F131BA00
5F131CA32
5F131CA36
5F131DA02
5F131DA23
5F131DA24
5F131DA43
5F131DC05
5F131DC06
5F131DD02
5F131DD12
5F131DD32
5F131DD43
5F131DD92
5F131KA02
5F131KA32
5F131KA44
5F131KA53
5F131KA63
5F131KB16
5F131KB60
(57)【要約】
【課題】被加工物の搬送効率の低下を防止することが可能な搬送車を提供する。
【解決手段】加工装置の上方に設置された搬送路上を走行して被加工物を搬送する搬送車であって、被加工物を収容する容器と、容器が格納される格納領域と、容器を格納領域と加工装置との間で昇降させる昇降ユニットと、容器に被加工物が収容されているか否かを判定する判定ユニットと、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】加工装置の上方に設置された搬送路上を走行して被加工物を搬送する搬送車であって、被加工物を収容する容器と、容器が格納される格納領域と、容器を格納領域と加工装置との間で昇降させる昇降ユニットと、容器に被加工物が収容されているか否かを判定する判定ユニットと、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
加工装置の上方に設置された搬送路上を走行して被加工物を搬送する搬送車であって、
該被加工物を収容する容器と、
該容器が格納される格納領域と、
該容器を該格納領域と該加工装置との間で昇降させる昇降ユニットと、
該容器に該被加工物が収容されているか否かを判定する判定ユニットと、を備えることを特徴とする搬送車。
該被加工物を収容する容器と、
該容器が格納される格納領域と、
該容器を該格納領域と該加工装置との間で昇降させる昇降ユニットと、
該容器に該被加工物が収容されているか否かを判定する判定ユニットと、を備えることを特徴とする搬送車。
【請求項2】
該判定ユニットは、該容器を介して該被加工物を検出する非接触型のセンサを有することを特徴とする請求項１に記載の搬送車。
【請求項3】
該昇降ユニットは、該容器に接続され該容器を吊り下げる吊り下げ部材と、該吊り下げ部材が巻き付けられた回転可能なリールと、該リールの回転を制御するモータと、を有し、
該判定ユニットは、該モータに掛かるトルクに基づいて該容器に該被加工物が収容されているか否かを判定することを特徴とする請求項１に記載の搬送車。
該判定ユニットは、該モータに掛かるトルクに基づいて該容器に該被加工物が収容されているか否かを判定することを特徴とする請求項１に記載の搬送車。
【請求項4】
該被加工物には、該被加工物の個体情報を含む個体識別タグが付され、
該判定ユニットは、該個体識別タグから該個体情報を読み取ることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の搬送車。
該判定ユニットは、該個体識別タグから該個体情報を読み取ることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、被加工物を搬送する搬送車に関する。
【背景技術】
【0002】
複数のデバイスが形成されたウェーハを分割して個片化することにより、デバイスを備えるデバイスチップが製造される。また、所定の基板上に複数のデバイスチップを実装し、実装されたデバイスチップを樹脂層（モールド樹脂）で被覆して封止することにより、パッケージ基板が形成される。このパッケージ基板を分割して個片化することにより、パッケージ化された複数のデバイスチップを備えるパッケージデバイスが製造される。デバイスチップやパッケージデバイスは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に組み込まれる。
【0003】
ウェーハ、パッケージ基板等の被加工物は、切削装置、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等の各種の加工装置によって加工される。加工装置で被加工物を加工する際には、複数の被加工物が収容されたカセットをオペレータが加工装置へ搬送する。そして、カセットが加工装置にセットされると、加工装置はカセットから被加工物を１枚ずつ取り出して順に加工する。
【0004】
また、近年では、加工装置に被加工物を自動で搬送する搬送システムが提案されている。例えば特許文献１には、複数の加工装置の上方に設けられた搬送路上を走行する搬送車を用いて被加工物を搬送する手法が開示されている。搬送車は、被加工物を収容した状態で走行し、被加工物を所定の加工装置に所定のタイミングで搬送する。これにより、被加工物の搬送が自動化され、搬送作業の効率が向上する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０２０－１６１５７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
上記のように搬送車で被加工物を搬送する場合、各搬送車は、搬送車の動作を統括するコントローラ（制御部）と有線又は無線で接続される。例えばコントローラは、搬送車の搬送状況（搬送車の位置、搬送車が搬送中であるか待機中であるか、どの搬送車がいかなる被加工物を搬送しているか等）を監視しつつ、各搬送車に指令（制御信号）を出力する。これにより、被加工物の効率的な搬送や受け渡しが自動で実行される。
【0007】
しかしながら、搬送車の稼働中には、コントローラが認識している搬送車の搬送状況と実際の搬送車の搬送状況とが意図せず異なる状態になることがある。例えば、被加工物の搬送中に加工装置や搬送車で異常が発生すると、エラーが発報されて搬送車が緊急停車し、搬送システムの点検が行われる。このとき、エラーの内容によっては、停車中の搬送車に収容されている被加工物が作業者によって抜き取られ、被加工物の検査が行われる。そして、検査後に作業者が誤って被加工物を搬送車に戻し忘れたまま搬送システムを再稼働させてしまうと、コントローラは搬送車に被加工物が収容されていると認識したままであるにも関わらず、実際には被加工物が搬送車に収容されていない状態となる。
【0008】
上記のように搬送車の搬送状況が誤認識されると、被加工物が所望の場所に所望のタイミングで搬送されず、円滑な搬送作業が妨げられるおそれがある。例えば、搬送車が目的地である加工装置に到着して被加工物の受け渡しを行う段階で初めて、被加工物が搬送車に収容されていないことが判明し、エラーが発報されることがある。この場合、搬送車が走行を終えた後に改めて被加工物の搬送をやり直す必要があり、搬送スケジュールの再設定や被加工物の再搬送による搬送時間のロスが生じる。このように、コントローラが認識している搬送車の搬送状況と実際の搬送車の搬送状況とが異なる状況が発生すると、被加工物の搬送効率が低下し、加工装置による被加工物の加工が滞る原因となる。
【0009】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、被加工物の搬送効率の低下を防止することが可能な搬送車の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の一態様によれば、加工装置の上方に設置された搬送路上を走行して被加工物を搬送する搬送車であって、該被加工物を収容する容器と、該容器が格納される格納領域と、該容器を該格納領域と該加工装置との間で昇降させる昇降ユニットと、該容器に該被加工物が収容されているか否かを判定する判定ユニットと、を備える搬送車が提供される。
【0011】
なお、好ましくは、該判定ユニットは、該容器を介して該被加工物を検出する非接触型のセンサを有する。また、好ましくは、該昇降ユニットは、該容器に接続され該容器を吊り下げる吊り下げ部材と、該吊り下げ部材が巻き付けられた回転可能なリールと、該リールの回転を制御するモータと、を有し、該判定ユニットは、該モータに掛かるトルクに基づいて該容器に該被加工物が収容されているか否かを判定する。
【0012】
さらに、好ましくは、該被加工物には、該被加工物の個体情報を含む個体識別タグが付され、該判定ユニットは、該個体識別タグから該個体情報を読み取る。
【発明の効果】
【0013】
本発明の一態様にかかる搬送車は、搬送車に搭載された容器に被加工物が収容されているか否かを自発的に判定する機能を備える。これにより、容器の収容状態が不適切な状態のまま被加工物の搬送が続行されることを回避でき、被加工物の搬送効率の低下が防止される。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【図1】搬送システムを示す平面図である。
【図2】搬送システムを示すブロック図である。
【図4】容器を載置領域に載置する搬送車を示す斜視図である。
【図6】昇降ユニットを示す平面図である。
【図7】昇降ユニットを示す正面図である。
【図10】コントローラを示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
以下、添付図面を参照して本発明の一態様に係る実施形態を説明する。まず、本実施形態に係る搬送車が用いられる搬送システムの構成例について説明する。図１は、搬送システム２を示す平面図である。
【0016】
搬送システム２は、被加工物１１を加工する複数の加工装置４の上方で被加工物１１を搬送するためのシステムである。なお、図１には１台の加工装置４のみを図示しているが、搬送システム２に含まれる加工装置４の台数は任意に設定できる。
【0017】
加工装置４の種類に制限はない。加工装置４の例としては、被加工物１１を切削する切削装置、被加工物１１を研削する研削装置、被加工物１１を研磨する研磨装置、被加工物１１にレーザー加工を施すレーザー加工装置等が挙げられる。
【0018】
切削装置は、被加工物１１を切削する加工ユニット（切削ユニット）を備える。切削ユニットはスピンドルを備えており、スピンドルの先端部には環状の切削ブレードが装着される。切削ブレードを回転させつつ被加工物１１に切り込ませることにより、被加工物１１が切削される。
【0019】
研削装置は、被加工物１１を研削する加工ユニット（研削ユニット）を備える。研削ユニットはスピンドルを備えており、スピンドルの先端部には複数の研削砥石を含む環状の研削ホイールが装着される。研削ホイールを回転させつつ研削砥石を被加工物１１に接触させることにより、被加工物１１が研削される。
【0020】
研磨装置は、被加工物１１を研磨する加工ユニット（研磨ユニット）を備える。研磨ユニットはスピンドルを備えており、スピンドルの先端部には円盤状の研磨パッドが装着される。研磨パッドを回転させつつ被加工物１１に接触させることにより、被加工物１１が研磨される。
【0021】
レーザー加工装置は、被加工物１１にレーザー加工を施す加工ユニット（レーザー照射ユニット）を備える。例えばレーザー照射ユニットは、所定の波長のレーザービームをパルス発振するレーザー発振器と、レーザー発振器から出射したレーザービームを集光させる集光器とを備える。レーザー照射ユニットから照射されたレーザービームを被加工物１１の表面、裏面又は内部で集光させることにより、被加工物１１にレーザー加工が施される。
【0022】
例えば被加工物１１は、単結晶シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハであり、互いに概ね平行な表面（第１面）及び裏面（第２面）を備える。被加工物１１は、互いに交差するように格子状に配列された複数のストリート（分割予定ライン）によって、複数の矩形状の領域に区画されている。また、ストリートによって区画された複数の領域にはそれぞれ、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）デバイス等のデバイスが形成されている。
【0023】
切削装置やレーザー加工装置によって被加工物１１を加工してストリートに沿って分割することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが製造される。また、研削装置や研磨装置によって分割前の被加工物１１を加工して薄化しておくことにより、薄型化されたデバイスチップを得ることが可能になる。
【0024】
ただし、被加工物１１の種類、材質、大きさ、形状、構造等に制限はない。例えば被加工物１１は、シリコン以外の半導体（ＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＧａＮ、ＳｉＣ等）、サファイア、ガラス、セラミックス、樹脂、金属等でなるウェーハ（基板）であってもよい。また、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はなく、被加工物１１にはデバイスが形成されていなくてもよい。
【0025】
さらに、被加工物１１は、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板、ＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded package）基板等のパッケージ基板であってもよい。例えばパッケージ基板は、所定の基板上に複数のデバイスチップを実装し、実装されたデバイスチップを樹脂層（モールド樹脂）で被覆して封止することによって形成される。パッケージ基板を分割して個片化することにより、パッケージ化された複数のデバイスチップを備えるパッケージデバイスが製造される。
【0026】
加工装置４で被加工物１１を加工する際には、被加工物１１の取り扱い（搬送、保持等）の便宜のため、被加工物１１を環状のフレーム１３で支持してもよい。フレーム１３は、ＳＵＳ（ステンレス鋼）等の金属でなる円環状の部材であり、フレーム１３の中央部にはフレーム１３を厚さ方向に貫通する円形の開口が設けられている。なお、フレーム１３の開口の直径は、被加工物１１の直径よりも大きい。
【0027】
被加工物１１及びフレーム１３には、被加工物１１を支持するシート１５が固定される。例えばシート１５は、フレーム１３の開口よりも直径が大きい円形のテープであり、フィルム状の基材と、基材上に設けられた粘着層（糊層）とを有する。ただし、シート１５は、粘着層（糊層）を備えず被加工物１１及びフレーム１３に熱圧着可能な熱圧着シートであってもよい。
【0028】
被加工物１１がフレーム１３の開口の内側に配置された状態で、シート１５の中央部が被加工物１１の裏面側に貼付され、シート１５の外周部がフレーム１３に貼付される。これにより、被加工物１１がシート１５を介してフレーム１３によって支持され、被加工物１１、フレーム１３及びシート１５を含む被加工物ユニット（フレームユニット）１７が構成される。
【0029】
加工装置４の側面には、複数の配管６が接続されている。例えば配管６は、加工装置４に液体や気体を供給するための供給ダクト、加工装置４の内部から液体や気体を排出するための排出ダクト等に相当する。
【0030】
加工装置４に隣接する位置には、複数の被加工物１１を収容する収容装置（ローダー・アンローダー）８が設置される。収容装置８には、加工装置４によって加工される前の被加工物１１や、加工装置４によって加工された後の被加工物１１が収容される。
【0031】
また、搬送システム２は、複数の加工装置４及び収容装置８の上方に設置された搬送路１０を備える。搬送路１０は、加工装置４同士の間、及び、加工装置４と収容装置８との間の空間を跨ぐように設置される。すなわち、複数の加工装置４及び収容装置８は、搬送路１０を介して連結されている。そして、搬送路１０上には、被加工物１１を搬送する無人の搬送車（搬送装置）１２が配置される。なお、図１では２台の搬送車１２を図示しているが、搬送路１０上に配置される搬送車１２の台数に制限はない。
【0032】
搬送車１２は、加工装置４同士の間、又は、加工装置４と収容装置８との間で被加工物１１を搬送する。例えば、収容装置８に収容されている加工前の被加工物１１が搬送車１２に搬入される。そして、搬送車１２は収容装置８から受け取った被加工物１１を収容した状態で搬送路１０上を走行し、被加工物１１を所定の加工装置４へ搬送する。また、搬送車１２は、加工装置４から受け取った加工後の被加工物１１を収容した状態で搬送路１０上を走行し、被加工物１１を他の加工装置４又は収容装置８へ搬送する。
【0033】
なお、搬送路１０のうち加工装置４又は収容装置８の直上に位置する領域には、搬送路１０を上下に貫通する開口１０ａが設けられている。この開口１０ａを介して、搬送車１２と加工装置４との間、及び、搬送車１２と収容装置８との間における被加工物１１の受け渡しが行われる。
【0034】
上記のように、搬送システム２では、加工装置４及び収容装置８の上方に設置された搬送路１０上を搬送車１２が走行することにより、被加工物１１が搬送される。これにより、被加工物１１の搬送が自動化され、搬送作業の効率が向上する。また、加工装置４の側面に接続された配管６等が被加工物１１の搬送の障害となることを回避でき、被加工物１１の円滑な搬送が実現される。
【0035】
図２は、搬送システム２を示すブロック図である。搬送システム２は、搬送システム２を統括して制御するコントローラ（制御ユニット、制御部、制御装置）１４を備える。コントローラ１４は、搬送システム２の構成要素（加工装置４、収容装置８、搬送車１２等）と無線又は有線で接続され、制御信号（指令）を出力することによって各構成要素の動作を制御する。これにより、搬送車１２の走行、加工装置４と搬送車１２との間での被加工物１１の受け渡し、収容装置８と搬送車１２との間での被加工物１１の受け渡し等が制御される。また、搬送システム２の構成要素から送信された各種の情報（信号、データ等）がコントローラ１４に入力される。
【0036】
例えばコントローラ１４は、コンピュータによって構成され、搬送システム２の稼働に必要な演算等の処理を行う処理部と、搬送システム２の稼働に用いられる各種の情報（データ、プログラム等）を記憶する記憶部とを含む。処理部は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサを含んで構成される。記憶部は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等のメモリを含んで構成される。
【0037】
【0038】
搬送車１２は、搬送車１２を構成する各構成要素が搭載される板状の本体フレーム２０を備える。本体フレーム２０の前方側の両側端部には、一対の車軸２２が設けられている。車軸２２は、一端側が本体フレーム２０の側面から突出するように本体フレーム２０の下面側に配置されており、車軸２２の一端側にはそれぞれ車輪（前輪）２４が装着されている。
【0039】
本体フレーム２０の後端部には、一対の車輪（後輪）２６が、本体フレーム２０の幅方向（車幅方向）において互いに離隔した状態で配置されている。例えば車輪２６は、搬送車１２の車高方向と概ね平行な回転軸の周りで３６０°回転可能なキャスターであり、本体フレーム２０の下面側に装着されている。車輪２４及び車輪２６は、搬送車１２が搬送路１０（図１参照）上を走行するための走行用の車輪である。
【0040】
図３（Ａ）に示すように、本体フレーム２０の前端部には、一対の車輪２４を駆動する駆動ユニット２８が搭載されている。駆動ユニット２８は、車軸２２を介して車輪２４に連結される一対のモータ３０を備える。モータ３０は、回転軸（出力シャフト）３０ａを備えており、車輪２４を回転させるための動力を生成する。
【0041】
図３（Ｂ）に示すように、車軸２２の他端側にはプーリー３２が固定されている。そして、モータ３０の回転軸３０ａとプーリー３２とに、ベルト、チェーン等の無端の連結部材（不図示）が巻き付けられる。これにより、車軸２２とモータ３０とを連結する動力伝達機構が構成される。そして、モータ３０によって生成された動力（回転力）が車輪２４に伝達され、車輪２４が回転する。
【0042】
駆動ユニット２８は、一対のモータ３０によって一対の車輪２４の回転方向を独立に制御する。一対の車輪２４を同じ方向に回転させると、搬送車１２が前進又は後退する。また、一対の車輪２４を互いに逆方向に回転させると、搬送車１２が車高方向と概ね平行な回転軸の周りで回転し、搬送車１２の進行方向が制御される。
【0043】
駆動ユニット２８には、給電用の配線（不図示）を介してモータ３０等に電力を供給するバッテリー（二次電池）３４が接続される。例えばバッテリー３４は、本体フレーム２０の前端部に装着され、車輪２４を回転させるための電力をモータ３０に供給する。バッテリー３４としては、リチウムイオン電池等が用いられる。
【0044】
図３（Ｂ）に示すように、本体フレーム２０の前端部の下面側には、配線（不図示）を介してバッテリー３４に接続された一対の受電用の端子３６が設けられている。一対の端子３６は、例えば搬送車１２の外部に設置された給電用の端子に接続される。給電用の端子から一対の端子３６に供給される電力により、バッテリー３４が充電される。
【0045】
本体フレーム２０の下側には、格納領域３８が設けられている。格納領域３８は、一対の車輪２４と一対の車輪２６とによって囲まれ、且つ、車輪２４及び車輪２６の下端よりも上方に位置する空間に相当する。そして、図３（Ａ）に示すように、１又は複数の被加工物１１を収容可能な容器（カセット）４０が格納領域３８に格納される。なお、容器４０の構成の詳細については後述する（図５（Ａ）及び図５（Ｂ）参照）。
【0046】
搬送車１２で被加工物１１を搬送する際には、被加工物１１を収容した容器４０が格納領域３８に配置される。このとき、容器４０の下面は、車輪２４の下端及び車輪２６の下端よりも上方に位置付けられる。そのため、搬送車１２の走行中に容器４０が搬送路１０（図１参照）と接触することはない。
【0047】
本体フレーム２０の上面側の格納領域３８と重なる領域には、格納領域３８と加工装置４又は収容装置８（図１参照）との間で容器４０を昇降させる昇降ユニット（昇降機構）４２が設けられている。昇降ユニット４２は、格納領域３８に格納されている容器４０を下降させて所定の載置領域に載置するとともに、載置領域に載置されている容器４０を上昇させて格納領域３８に格納する。
【0048】
図４は、容器４０を載置領域（搬送先）１６に載置する搬送車１２を示す斜視図である。昇降ユニット４２は、一端側が容器４０に接続された複数の吊り下げ部材４４と、吊り下げ部材４４の繰り出し及び巻き取りを行う駆動機構４６とを備える。例えば載置領域１６は、加工装置４又は収容装置８（図１参照）の内部に設けられ被加工物１１が仮置きされる載置台の載置面に相当する。
【0049】
吊り下げ部材４４としては、所定の幅を有するベルトや、繰り出し及び巻き取りが可能なワイヤロープ等が用いられる。図４には、吊り下げ部材４４がベルトであり、４本の吊り下げ部材４４の先端部（下端部）がそれぞれ容器４０の上面側の４つの位置に接続されている例を示している。ただし、吊り下げ部材４４の本数に制限はない。
【0050】
容器４０が格納領域３８に格納された状態で、吊り下げ部材４４が駆動機構４６によって繰り出されると、容器４０が下降して載置領域１６に載置される。また、容器４０が載置領域１６に載置された状態で、吊り下げ部材４４が駆動機構４６によって巻き取られると、容器４０が上昇して格納領域３８に格納される。
【0051】
図３（Ｂ）に示すように、本体フレーム２０の下面側には、容器４０の上面側と接触する複数の接触部材（接触ピン）４８が設けられている。複数の接触部材４８は、概ね同じ高さの柱状に形成され、本体フレーム２０の下面から下方に突出するように本体フレーム２０に固定されている。容器４０が格納領域３８に格納されると、容器４０の上面側が複数の接触部材４８の下端部に接触して支持される。
【0052】
例えば接触部材４８は、容器４０が押し当てられた際に弾性変形を生じる弾性体でなる。接触部材４８に弾性体を用いると、容器４０が接触部材４８と接触した際の衝撃が緩和され、容器４０や容器４０に収容された被加工物ユニット１７が破損しにくくなる。また、搬送車１２が搬送路１０（図１参照）を走行する際、接触部材４８が緩衝材として機能し、本体フレーム２０の振動が容器４０や被加工物ユニット１７に伝わりにくくなる。
【0053】
接触部材４８としては、ゴム（ウレタンゴム、シリコーンゴム等）、スポンジ等を用いることができる。特に、接触部材４８として、容器４０との間に作用する摩擦力が大きいゴムを用いると、搬送中の容器４０の位置ずれが生じにくくなる。なお、接触部材４８は、必ずしもその全体が弾性体で構成される必要はなく、少なくとも接触部材４８の容器４０と接触する領域（下端部）が弾性体であればよい。
【0054】
接触部材４８は、容器４０の上面側に対して３以上の位置で接触することが好ましい。例えば、図３（Ｂ）に示すように、３つの柱状の接触部材４８が本体フレーム２０に設けられる。この場合、容器４０の上面が３つの接触部材４８の下端を含む平面に沿って支持され、容器４０が傾きにくくなる。
【0055】
ただし、接触部材４８の形状、数、配置等は任意に変更され得る。例えば、互いに概ね平行に配置された一対の線状（帯状）の接触部材４８が本体フレーム２０に設けられてもよい。また、スポンジ等でなる板状の接触部材４８が本体フレーム２０の下面側の全体にわたって固定されてもよい。
【0056】
本体フレーム２０の後端部の下側には、カバー５０が設けられている。カバー５０は、容器４０が格納領域３８に格納された際に、容器４０に設けられた被加工物１１の搬入搬出口（開口４０ｂ、図４参照）を覆う。これにより、搬送車１２の走行中に容器４０内に異物が入り込むことを防止でき、被加工物１１への異物の付着が回避される。また、搬送車１２の走行中に容器４０が傾いたり振動したりしても、容器４０からの被加工物１１の飛び出しがカバー５０によって防止される。
【0057】
本体フレーム２０の前端部及び後端部には、一対の第１センサ５２が設けられている。また、本体フレーム２０の両側端部には、一対の第２センサ５４が設けられている。第１センサ５２、第２センサ５４はそれぞれ、搬送車１２が走行する搬送路１０（図１参照）と対面するように装着され、搬送路１０に付されたマークを検出する。第１センサ５２及び第２センサ５４によるマークの検出結果に基づいて、搬送車１２の動作（走行、旋回、停車等）が制御される。
【0058】
また、図３（Ａ）に示すように、本体フレーム２０の前端側には、搬送車１２が障害物に衝突したことを検知する一対の第３センサ５６が設けられている。搬送車１２の前端部が障害物に衝突すると、第３センサ５６が作動して搬送車１２の衝突が検知され、搬送車１２が緊急停車する。第３センサ５６としては、例えば押しボタン式のスイッチが用いられる。ただし、搬送車１２の衝突を検知可能であれば、第３センサ５６の種類に制限はない。
【0059】
昇降ユニット４２の上側には、本体フレーム２０に固定された板状の支持台５８が設けられている。支持台５８上には、搬送車１２を制御するコントローラ（制御ユニット、制御部、制御装置）６０と、コントローラ６０に接続された受信機６２及び送信機６４とが設けられている。
【0060】
コントローラ６０は、搬送車１２の構成要素（駆動ユニット２８、バッテリー３４、昇降ユニット４２、第１センサ５２、第２センサ５４、第３センサ５６、受信機６２、送信機６４等）に接続されており、各構成要素の動作を制御する。例えばコントローラ６０は、コンピュータによって構成され、搬送車１２の稼働に必要な演算等の処理を行う処理部と、搬送車１２の稼働に用いられる各種の情報（データ、プログラム等）を記憶する記憶部とを含む。処理部は、ＣＰＵ等のプロセッサを含んで構成される。記憶部は、ＲＯＭ、ＲＡＭ等のメモリを含んで構成される。
【0061】
受信機６２は、外部からの信号（情報）を受信してコントローラ６０に入力する。例えば受信機６２は、搬送システム２のコントローラ１４（図２参照）から送信される情報（信号、データ等）を受信してコントローラ６０に入力する。そして、コントローラ６０は受信機６２から受信した情報に基づいて搬送車１２の動作を制御する。
【0062】
送信機６４は、コントローラ６０からの信号（情報）を受信して外部に送信する。例えば、コントローラ６０が搬送車１２に関する情報（信号、データ等）を送信機６４に出力する。そして、送信機６４はコントローラ６０から受信した情報を搬送システム２のコントローラ１４に送信する。
【0063】
さらに、本実施形態に係る搬送車１２においては、図３（Ｂ）に示すように、容器４０に収容された被加工物１１を検出する１又は複数のセンサ（検出器）６６が、本体フレーム２０の下面側に設けられている。センサ６６は、容器４０を介して被加工物１１を検出する検出器であり、コントローラ６０に接続されている。コントローラ６０でセンサ６６を制御することにより、容器４０に収容されている被加工物１１が検出される。なお、センサ６６の機能の詳細については後述する（図５（Ｂ）参照）。
【0064】
昇降ユニット４２、第１センサ５２、第２センサ５４、第３センサ５６、コントローラ６０、受信機６２、送信機６４、センサ６６はそれぞれ、給電用の配線（不図示）を介してバッテリー３４に接続されていてもよい。この場合、昇降ユニット４２、第１センサ５２、第２センサ５４、第３センサ５６、コントローラ６０、受信機６２、送信機６４、センサ６６を、バッテリー３４から供給される電力によって動作させることができる。
【0065】
次に、被加工物１１を収容する容器４０の詳細について説明する。図５（Ａ）は容器４０を示す斜視図であり、図５（Ｂ）は容器４０を示す正面図である。以下では一例として、サイズ及び重量が異なる２種類の被加工物ユニット１７（被加工物ユニット１７Ａ，１７Ｂ、図５（Ｂ）参照）を収容可能な容器４０について説明する。被加工物ユニット１７Ａ，１７Ｂはそれぞれ、被加工物１１、フレーム１３及びシート１５を備える（図１参照）。
【0066】
例えば、容器４０は平面視で六角形状に形成され、容器４０の内部には被加工物ユニット１７Ａ，１７Ｂを収容可能な収容部（収容空間）４０ａが設けられている。収容部４０ａは、容器４０の一側面側で開口するスリット状の開口４０ｂを介して、容器４０の外部と接続されている。被加工物ユニット１７は、開口４０ｂを通過して収容部４０ａに搬入されるとともに、開口４０ｂを通過して収容部４０ａから搬出される。
【0067】
容器４０は、収容部４０ａに被加工物ユニット１７Ａ，１７Ｂを同時に収容可能に構成されている。具体的には、容器４０の収容部４０ａには、被加工物ユニット１７Ａを支持する一対の第１ガイドレール７０と、被加工物ユニット１７Ｂを支持する一対の第２ガイドレール７２とが設けられている。
【0068】
一対の第１ガイドレール７０はそれぞれ、収容部４０ａの上壁４０ｃに固定された側壁７０ａと、側壁７０ａの下端部から突出する突出部７０ｂとを備える。突出部７０ｂの上面は、被加工物ユニット１７Ａの下面側を保持する保持面７０ｃを構成している。また、一対の第２ガイドレール７２は、互いに離隔するように収容部４０ａの底壁４０ｄに固定されている。第２ガイドレール７２の上面は、被加工物ユニット１７Ｂの下面側を保持する保持面７２ａを構成している。
【0069】
一対の第１ガイドレール７０の間隔は、一対の保持面７０ｃによって被加工物ユニット１７Ａを下側から支持できるように調節される。また、一対の第２ガイドレール７２の間隔は、一対の保持面７２ａによって被加工物ユニット１７Ｂを下側から支持できるように調節される。ただし、一対の第１ガイドレール７０の間隔は一対の第２ガイドレール７２の間隔よりも狭い。
【0070】
例えば、被加工物ユニット１７Ａは直径２００ｍｍ（８インチ）の被加工物１１と、その被加工物１１を支持するフレーム１３とを備える。また、被加工物ユニット１７Ｂは、直径３００ｍｍ（１２インチ）の被加工物１１と、その被加工物１１を支持するフレーム１３とを備える。そして、被加工物ユニット１７Ａのフレーム１３は、被加工物ユニット１７Ｂのフレーム１３よりも直径及び重量が小さい。
【0071】
容器４０に被加工物ユニット１７Ａ，１７Ｂが搬入されると、被加工物ユニット１７Ａのフレーム１３が一対の第１ガイドレール７０によって支持され、被加工物ユニット１７Ｂのフレーム１３が一対の第２ガイドレール７２によって支持される。このように、容器４０は、サイズの異なる２種類の被加工物ユニット１７Ａ，１７Ｂを同時に収容できる。
【0072】
被加工物１１を収容した容器４０は、搬送車１２の格納領域３８に格納される（図３（Ａ）参照）。そして、搬送車１２の本体フレーム２０の下面側に設けられたセンサ６６（図３（Ｂ）参照）によって、容器４０に収容されている被加工物１１が検出される。
【0073】
具体的には、容器４０に２種類の被加工物ユニット１７Ａ，１７Ｂが収容される場合には、被加工物ユニット１７Ａを検出するセンサ６６（センサ６６Ａ）と被加工物ユニット１７Ｂを検出するセンサ６６（センサ６６Ｂ）とが搬送車１２に搭載される。そして、図５（Ｂ）に示すように、センサ６６Ａは容器４０の上壁４０ｃを介して被加工物ユニット１７Ａを検出し、センサ６６Ｂは容器４０の上壁４０ｃを介して被加工物ユニット１７Ｂを検出する。これにより、容器４０に被加工物ユニット１７Ａ，１７Ｂが収容されているか否かを確認することができる。
【0074】
センサ６６Ａは、容器４０に収容された被加工物ユニット１７Ａが備える被加工物１１、フレーム１３、シート１５（図１参照）の少なくとも１つを検出可能な検出器である。そして、センサ６６Ａの設置位置は、容器４０に収容された被加工物ユニット１７Ａをセンサ６６Ａで検出できるように設定される。例えばセンサ６６Ａは、容器４０に収容された被加工物ユニット１７Ａの被加工物１１、フレーム１３又はシート１５と鉛直方向（搬送車１２の車高方向）において重なるように設置される。
【0075】
センサ６６Ｂは、容器４０に収容された被加工物ユニット１７Ｂが備える被加工物１１、フレーム１３、シート１５（図１参照）の少なくとも１つを検出可能な検出器である。そして、センサ６６Ｂの設置位置は、容器４０に収容された被加工物ユニット１７Ｂをセンサ６６Ｂで検出できるように設定される。例えばセンサ６６Ｂは、容器４０に収容された被加工物ユニット１７Ａ及び第１ガイドレール７０とは鉛直方向において重ならず、且つ、容器４０に収容された被加工物ユニット１７Ｂの被加工物１１、フレーム１３又はシート１５と鉛直方向において重なるように設置される。
【0076】
容器４０に被加工物ユニット１７Ａ，１７Ｂが収容されている場合には、センサ６６Ａによって被加工物ユニット１７Ａが検出され、センサ６６Ｂによって被加工物ユニット１７Ｂが検出される。なお、センサ６６Ａ，６６Ｂは、被加工物１１を直接的に検出してもよいし、フレーム１３又はシート１５を検出することによって被加工物１１を間接的に検出してもよい。
【0077】
センサ６６Ａ，６６Ｂはそれぞれ、対象物に接触せず対象物を検出可能な非接触型のセンサである。例えばセンサ６６Ａ，６６Ｂは、光を照射する投光部と、投光部から照射された光を受光する受光部とを含む光電センサである。光電センサの種類に制限はなく、光透過型の光電センサ、光反射型の光電センサ等を用いることができる。また、センサ６６Ａ，６６Ｂは、ＣＣＤ（Charged-Coupled Devices）センサ、ＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide-Semiconductor）センサ等のイメージセンサを備える撮像ユニット（カメラ）であってもよい。
【0078】
また、容器４０は、センサ６６Ａ，６６Ｂが容器４０を介して被加工物ユニット１７Ａ，１７Ｂを検出できるように構成される。具体的には、センサ６６Ａ，６６Ｂが光電センサや撮像ユニット等の光センサである場合には、センサ６６Ａ，６６Ｂによって受光される光（検出光）が容器４０を透過するように、容器４０の材質が選択される。例えば、センサ６６Ａ，６６Ｂが可視光を受光して検出する可視光センサである場合には、可視光が透過可能なプラスチック、ガラス等の透明体によって容器４０が構成される。
【0079】
ただし、センサ６６Ａ，６６Ｂが容器４０を介して被加工物ユニット１７Ａ，１７Ｂを検出可能であれば、容器４０の構成に制限はない。例えば、容器４０のうち検出光が通過する領域のみが、検出光を透過させる透明体によって構成されていてもよい。また、容器４０のうち検出光が通過する領域に開口（貫通孔）が設けられていてもよい。この場合には、容器４０の他の領域の材質を自由に選択することができる。
【0080】
センサ６６Ａ，６６Ｂは、被加工物ユニット１７Ａ，１７Ｂの検出結果に対応する信号（検出信号）を生成し、コントローラ６０に出力する。そして、コントローラ６０は、検出信号に基づいて容器４０に被加工物ユニット１７Ａ，１７Ｂが収容されているか否かを判定する。
【0081】
例えばコントローラ６０は、センサ６６Ａ，６６Ｂから入力された検出信号の強度ＩＡ，ＩＢと、予め設定された検出信号の強度の参照値（閾値）Ｉｒｅｆとを比較する。そして、コントローラ６０は、強度ＩＡが参照値Ｉｒｅｆよりも高い場合には容器４０に被加工物ユニット１７Ａの被加工物１１が収容されていると判定し、強度ＩＡが参照値Ｉｒｅｆよりも低い場合には容器４０に被加工物ユニット１７Ａの被加工物１１が収容されていないと判定する。また、コントローラ６０は、強度ＩＢが参照値Ｉｒｅｆよりも高い場合には容器４０に被加工物ユニット１７Ｂの被加工物１１が収容されていると判定し、強度ＩＢが参照値Ｉｒｅｆよりも低い場合には容器４０に被加工物ユニット１７Ｂの被加工物１１が収容されていないと判定する。
【0082】
上記のように、コントローラ６０及びセンサ６６Ａ，６６Ｂによって、容器４０に被加工物１１が収容されているか否か、及び、容器４０に収容されている被加工物１１の種類が自動で判定される。すなわち、コントローラ６０とセンサ６６Ａ，６６Ｂとによって、容器４０の収容状態を判定する判定ユニット６８が構成される。
【0083】
なお、センサ６６は、複数の種類の被加工物ユニット１７を検出可能であってもよい。例えば搬送車１２には、被加工物ユニット１７Ａ，１７Ｂの両方を検出可能な１個のセンサ６６が搭載されてもよい。また、容器４０は、１種類の被加工物ユニット１７を収容可能な容器であってもよいし、３種類以上の被加工物ユニット１７を収容可能な容器であってもよい。
【0084】
さらに、容器４０の収容状態の判定は、センサ６６による被加工物１１の検出以外の方法によって実施することもできる。例えば、昇降ユニット４２によって容器４０を昇降させる際（図４参照）の負荷に基づいて、容器４０に被加工物１１が収容されているか否かを判定してもよい。以下、昇降ユニット４２を用いて容器４０の収容状態を判定する方法について説明する。
【0085】
図６は、昇降ユニット４２を示す平面図である。前述の通り昇降ユニット４２は、容器４０を吊り下げる複数の吊り下げ部材４４と、吊り下げ部材４４の繰り出し及び巻き取りを行う駆動機構４６とを備える。
【0086】
駆動機構４６は、回転軸（出力シャフト）８０ａを有するモータ８０を備える。モータ８０は、パルスモータ、サーボモータ等によって構成され、回転軸８０ａを回転させることにより吊り下げ部材４４の繰り出し及び巻き取りに必要な動力を生成する。また、モータ８０の両側（図６の上側及び下側）には、一対のロッド（回転軸）８２Ａ，８２Ｂが設けられている。一対のロッド８２Ａ，８２Ｂは、平面視でモータ８０を挟むように互いに概ね平行に配置されている。
【0087】
ロッド８２Ａの一端側には、プーリー８４が固定されている。そして、モータ８０の回転軸８０ａ及びプーリー８４に、ベルト、チェーン等の無端の連結部材８６が巻き付けられている。モータ８０の回転軸８０ａ、プーリー８４、及び連結部材８６によって、モータ８０の動力をロッド８２Ａに伝達する動力伝達機構が構成され、モータ８０とロッド８２Ａとが連結される。一方、ロッド８２Ｂの一端側にはプーリーが設けられていない。
【0088】
ロッド８２Ａの他端側にはプーリー８８Ａが固定され、ロッド８２Ｂの他端側にはプーリー８８Ａと同径のプーリー８８Ｂが固定されている。また、プーリー８８Ａ及びプーリー８８Ｂには、ベルト、チェーン等の無端の連結部材９０が巻き付けられている。プーリー８８Ａ，８８Ｂ及び連結部材９０によって、ロッド８２Ａの動力をロッド８２Ｂに伝達する動力伝達機構が構成され、ロッド８２Ａとロッド８２Ｂとが連結される。
【0089】
ロッド８２Ａの両端部には、吊り下げ部材４４が巻き付けられる一対の回転可能な円柱状のリール９２Ａが設けられている。リール９２Ａの中央部には、リール９２Ａを高さ方向に貫通する貫通孔（不図示）が設けられており、この貫通孔にロッド８２Ａの端部が挿入されている。なお、一対のリール９２Ａはロッド８２Ａに固定されておらず、ロッド８２Ａに対して回転自在な状態で装着されている。そのため、リール９２Ａに外力が付与されると、リール９２Ａはロッド８２Ａと独立して、ロッド８２Ａの長さ方向と概ね平行な回転軸の周りを回転する。
【0090】
一対のリール９２Ａの外側（モータ８０とは反対側）にはそれぞれ、吊り下げ部材４４を支持する円柱状のローラー９４Ａが設けられている。一対のローラー９４Ａは、一対のリール９２Ａの下方に配置されており（図７参照）、ロッド８２Ａの長さ方向と概ね平行な回転軸の周りを回転自在な状態で支持されている。
【0091】
ロッド８２Ａには、ロッド８２Ａの側面（外周面）からロッド８２Ａの半径方向外側に突出する柱状の押圧部材（突起、凸部）９６Ａが固定されている。例えば、一対の押圧部材９６Ａが一対のリール９２Ａの間に設けられる。
【0092】
また、一対のリール９２Ａは、ロッド８２Ａと概ね平行に配置されたバー（シャフト）９８Ａを介して互いに連結されている。例えば、バー９８Ａの両端部が、一対のリール９２Ａの互いに対向する面に固定される。リール９２Ａが回転すると、バー９８Ａはロッド８２Ａと概ね平行に配置された状態を維持したまま、リール９２Ａと連動してロッド８２Ａの周りを回転する。
【0093】
ロッド８２Ａとバー９８Ａとは、付勢部材１００Ａによって連結されている。付勢部材１００Ａとしては、例えば渦巻き状に巻かれた帯状の金属によって構成されるばね（渦巻きばね）が用いられる。この場合、渦巻きばねの一端側は、ロッド８２Ａの中央部に巻き付けられて固定される。また、渦巻きばねの他端側は、バー９８Ａの中央部に固定され、バー９８Ａを介して一対のリール９２Ａに連結される。
【0094】
一方、ロッド８２Ｂの両端部には、吊り下げ部材４４が巻き付けられる一対の回転可能な円柱状のリール９２Ｂが設けられている。リール９２Ｂの中央部には、リール９２Ｂを高さ方向に貫通する貫通孔（不図示）が設けられており、この貫通孔にロッド８２Ｂの端部が挿入されている。なお、一対のリール９２Ｂはロッド８２Ｂに固定されておらず、ロッド８２Ｂに対して回転自在な状態で装着されている。そのため、リール９２Ｂに外力が付与されると、リール９２Ｂはロッド８２Ｂと独立して、ロッド８２Ｂの長さ方向と概ね平行な回転軸の周りを回転する。
【0095】
一対のリール９２Ｂの外側（モータ８０とは反対側）にはそれぞれ、吊り下げ部材４４を支持する円柱状のローラー９４Ｂが設けられている。一対のローラー９４Ｂは、一対のリール９２Ｂの下方に配置されており（図７参照）、ロッド８２Ｂの長さ方向と概ね平行な回転軸の周りを回転自在な状態で支持されている。
【0096】
ロッド８２Ｂには、ロッド８２Ｂの側面（外周面）からロッド８２Ｂの半径方向外側に突出する柱状の押圧部材（突起、凸部）９６Ｂが固定されている。例えば、一対の押圧部材９６Ｂが一対のリール９２Ｂの間に設けられる。
【0097】
また、一対のリール９２Ｂは、ロッド８２Ｂと概ね平行に配置されたバー（シャフト）９８Ｂを介して互いに連結されている。例えば、バー９８Ｂの両端部が、一対のリール９２Ｂの互いに対向する面に固定される。リール９２Ｂが回転すると、バー９８Ｂはロッド８２Ｂと概ね平行に配置された状態を維持したまま、リール９２Ｂと連動してロッド８２Ｂの周りを回転する。
【0098】
ロッド８２Ｂとバー９８Ｂとは、付勢部材１００Ｂによって連結されている。付勢部材１００Ｂとしては、例えば渦巻き状に巻かれた帯状の金属によって構成されるばね（渦巻きばね）が用いられる。この場合、渦巻きばねの一端側は、ロッド８２Ｂの中央部に巻き付けられて固定される。また、渦巻きばねの他端側は、バー９８Ｂの中央部に固定され、バー９８Ｂを介して一対のリール９２Ｂに連結される。
【0099】
一対のリール９２Ａ及び一対のリール９２Ｂにはそれぞれ、吊り下げ部材４４が巻き付けられる。吊り下げ部材４４の一端側（先端側、下端側）は容器４０に接続され（図４参照）、吊り下げ部材４４の他端側（基端側、上端側）はリール９２Ａ，９２Ｂに接続される。リール９２Ａに固定された吊り下げ部材４４は、ローラー９４Ａの外周面（側面）に接触した状態で下方に垂れ下がる。同様に、リール９２Ｂに固定された吊り下げ部材４４は、ローラー９４Ｂの外周面（側面）に接触した状態で下方に垂れ下がる。
【0100】
【0101】
リール９２Ａに巻き付けられた吊り下げ部材４４は、リール９２Ａの上側から繰り出されてローラー９４Ａに支持される。一方、リール９２Ｂに巻き付けられた吊り下げ部材４４は、リール９２Ｂの下側から繰り出されてローラー９４Ｂに支持される。コントローラ６０でモータ８０を制御することにより、リール９２Ａ，９２Ｂの回転が制御される。これにより、吊り下げ部材４４の繰り出し及び巻き取りが制御され、容器４０が昇降する。
【0102】
搬送車１２が搬送路１０（図１参照）上を走行して搬送先の加工装置４又は収容装置８（図１参照）の直上に到達すると、昇降ユニット４２は吊り下げ部材４４を繰り出して容器４０を下降させる。これにより、容器４０は搬送路１０の開口１０ａ（図１参照）を通過して、加工装置４又は収容装置８の内部の所定の場所（載置領域１６、図４参照）に載置される。
【0103】
次に、昇降ユニット４２の具体的な動作を説明する。まず、コントローラ６０によってモータ８０のトルクを制御し、回転軸８０ａを回転方向Ａ１（矢印Ａ１で示す方向）に回転可能な状態とする。すると、容器４０の自重によってリール９２Ａが吊り下げ部材４４を繰り出す回転方向Ｂ１（矢印Ｂ１で示す方向）に回転し、リール９２Ａに巻きつけられている吊り下げ部材４４が繰り出される。
【0104】
このとき、リール９２Ａと連動してバー９８Ａが回転し、ロッド８２Ａに固定された押圧部材９６Ａに接触する。そして、バー９８Ａによって押圧部材９６Ａが押圧され、ロッド８２Ａがリール９２Ａと連動して回転方向Ｂ１に回転する。
【0105】
同様に、容器４０の自重によってリール９２Ｂが吊り下げ部材４４を繰り出す回転方向Ｃ１（矢印Ｃ１で示す方向）に回転し、リール９２Ｂに巻きつけられた吊り下げ部材４４が繰り出される。また、ロッド８２Ｂがリール９２Ｂと連動して回転方向Ｃ１に回転する。
【0106】
リール９２Ａ，９２Ｂからそれぞれ吊り下げ部材４４が繰り出されると、容器４０が下降する。このとき、コントローラ６０によってモータ８０のトルクを制御することにより、容器４０の下降速度を調整することができる。例えば、容器４０が重く、容器４０の自重による吊り下げ部材４４の繰り出しが速すぎる場合には、モータ８０の回転軸８０ａに回転方向Ａ１とは逆方向の回転方向Ａ２（矢印Ａ２で示す方向）の力を付与する。
【0107】
回転軸８０ａの動力は、連結部材８６及びプーリー８４を介してロッド８２Ａに伝達される。これにより、ロッド８２Ａに回転方向Ｂ１とは逆方向の回転方向Ｂ２（矢印Ｂ２で示す方向）の力が付与される。そして、ロッド８２Ａに固定されている押圧部材９６Ａが、バー９８Ａを回転方向Ｂ２に向かって押圧する。その結果、バー９８Ａに連結されたリール９２Ａに回転方向Ｂ２の力が付与され、リール９２Ａの回転方向Ｂ１における回転が減速される。
【0108】
また、ロッド８２Ａの動力は、プーリー８８Ａ，８８Ｂ（図６参照）及び連結部材９０を介してロッド８２Ｂに伝達される。これにより、ロッド８２Ｂに回転方向Ｃ１とは逆方向の回転方向Ｃ２（矢印Ｃ２で示す方向）の力が付与される。そして、ロッド８２Ｂに固定されている押圧部材９６Ｂが、バー９８Ｂを回転方向Ｃ２に向かって押圧する。その結果、バー９８Ｂに連結されたリール９２Ｂに回転方向Ｃ２の力が付与され、リール９２Ａの回転方向Ｃ１における回転が減速される。
【0109】
図８（Ａ）は、吊り下げ部材４４を繰り出すリール９２Ａを示す正面図である。容器４０の自重によってリール９２Ａが回転方向Ｂ１に回転すると、リール９２Ａに固定されているバー９８Ａがロッド８２Ａの周りを回転方向Ｂ１に回転し、押圧部材９６Ａに接触する。このとき、ロッド８２Ａに固定されている付勢部材１００Ａの先端部がバー９８Ａによって引っ張られ、付勢部材１００Ａがロッド８２Ａに巻き付くように変形して縮む。
【0110】
その結果、付勢部材１００Ａの復元力がバー９８Ａ及びリール９２Ａに作用し、リール９２Ａは回転方向Ｂ１とは逆方向（回転方向Ｂ２）に付勢される。ただし、容器４０の下降中は、付勢部材１００Ａがリール９２Ａを付勢する力よりも容器４０がリール９２Ａを引っ張る力の方が強いため、リール９２Ａは回転方向Ｂ１に回転して吊り下げ部材４４を繰り出す。また、付勢部材１００Ｂ（図６参照）も同様に、リール９２Ｂを回転方向Ｃ２（図７参照）に付勢する。
【0111】
そして、リール９２Ａ，９２Ｂからそれぞれ吊り下げ部材４４が所定量繰り出されると、容器４０が載置領域１６に到達する。図８（Ｂ）は、容器４０が載置領域１６に載置される際のリール９２Ａを示す正面図である。容器４０が載置領域１６に載置されると、容器４０の自重がリール９２Ａに作用しなくなる。ただし、リール９２Ａの回転はすぐに停止しないため、容器４０が載置領域１６で支持された後も、リール９２Ａから吊り下げ部材４４がわずかに繰り出される。その結果、過剰に繰り出された吊り下げ部材４４にたるみが生じる。
【0112】
ここで、容器４０が載置領域１６に載置された際には、付勢部材１００Ａの復元力がバー９８Ａに作用しており、バー９８Ａは回転方向Ｂ２に付勢されている。そして、容器４０の自重がリール９２Ａに作用していない状態では、付勢部材１００Ａの復元力によってバー９８Ａが回転方向Ｂ２に回転し、バー９８Ａに連結されたリール９２Ａも連動して回転方向Ｂ２に回転する。すなわち、容器４０が載置領域１６に載置されると、リール９２Ａが逆回転する。
【0113】
図９（Ａ）は、逆回転するリール９２Ａを示す正面図である。付勢部材１００Ａによってリール９２Ａが回転方向Ｂ２に回転すると、吊り下げ部材４４がリール９２Ａに巻き取られる。その結果、吊り下げ部材４４のたるみが自動的に解消される。
【0114】
図９（Ｂ）は、吊り下げ部材４４のたるみが解消される際のリール９２Ａを示す正面図である。なお、付勢部材１００Ａの特性（ばね定数等）は、吊り下げ部材４４の自重よりも大きく、且つ、容器４０の自重よりも小さいトルクがリール９２Ａに付与されるように設定される。すなわち、付勢部材１００Ａは、容器４０が載置領域１６に載置された際に、吊り下げ部材４４が巻き取られ、且つ、容器４０が載置領域１６から離れないようにリール９２Ａを回転させる。そのため、リール９２Ａの逆回転によって容器４０が載置領域１６から浮き上がることはない。
【0115】
また、付勢部材１００Ｂ（図６参照）の作用によって、リール９２Ｂも同様に逆回転する。これにより、リール９２Ｂから繰り出された吊り下げ部材４４のたるみも解消される。なお、付勢部材１００Ｂの特性は、付勢部材１００Ａと同様に設定される。
【0116】
そして、載置領域１６に載置された容器４０から被加工物１１が搬出される。また、載置領域１６に載置された容器４０に被加工物１１が搬入される。
【0117】
載置領域１６に載置された容器４０を上昇させる際は、モータ８０（図７参照）の回転軸８０ａを回転方向Ａ２に回転させる。すると、回転軸８０ａの動力がロッド８２Ａに伝達され、ロッド８２Ａが回転方向Ｂ２に回転する。そして、ロッド８２Ａに設けられた押圧部材９６Ａがバー９８Ａを押圧し、リール９２Ａ及びバー９８Ａが回転方向Ｂ２に回転する。これにより、リール９２Ａに連結されている吊り下げ部材４４が巻き取られる。
【0118】
また、ロッド８２Ａの動力が連結部材９０を介してロッド８２Ｂに伝達され、ロッド８２Ｂが回転方向Ｃ２に回転する。そして、ロッド８２Ｂに設けられた押圧部材９６Ｂがバー９８Ｂを押圧し、リール９２Ｂ及びバー９８Ｂが回転方向Ｃ２に回転する。これにより、リール９２Ｂに連結されている吊り下げ部材４４が巻き取られる。リール９２Ａ，９２Ｂがそれぞれ吊り下げ部材４４が巻き取ると、容器４０が載置領域１６から離れて上昇し、搬送車１２の格納領域３８に格納される（図３（Ａ）参照）。
【0119】
そして、容器４０が搬送車１２にセットされた後、搬送車１２は搬送路１０（図１参照）上を走行し、容器４０に収容された被加工物ユニット１７を搬送する。なお、搬送車１２が容器４０を格納して走行する際は、容器４０の自重によってリール９２Ａ，９２Ｂから吊り下げ部材４４が繰り出されないように、モータ８０の回転軸８０ａに回転方向Ａ２（図７参照）の力が付与される。
【0120】
上記のように、容器４０の昇降が昇降ユニット４２によって制御される。ここで、モータ８０に掛かるトルクは、容器４０の収容状態によって異なる。そのため、モータ８０に掛かるトルクに基づいて容器４０の収容状態を判定することができる。
【0121】
図１０は、コントローラ６０を示すブロック図である。モータ８０のトルクに基づく容器４０の収容状態の判定は、コントローラ６０によって自動で実施される。すなわち、コントローラ６０が、容器４０の収容状態を判定する判定ユニットとして機能する。なお、図１０には、コントローラ６０の機能的な構成を示すブロックに加えて、容器４０及び昇降ユニット４２の構成要素の一部を模式的に図示している。
【0122】
コントローラ６０は、容器４０の収容状態の判定に必要な処理を実行する処理部１１０と、処理部１１０における処理に用いられる各種の情報（データ、プログラム等）を記憶する記憶部１２０とを含む。また、処理部１１０は、モータ８０を制御するモータ制御部１１２と、モータ８０のトルクに対応する値を検出する検出部１１４と、容器４０の収容状態を判定する判定部１１６とを含む。
【0123】
モータ制御部１１２は、モータ８０に制御信号を出力することにより、モータ８０の回転軸８０ａの回転数及び回転速度を制御し、容器４０の昇降距離及び昇降速度を調節する。具体的には、容器４０を搬送先に載置する際には、モータ制御部１１２からモータ８０に容器４０の下降を指示する制御信号が出力される。これにより、容器４０が搬送車１２に格納された状態から所定の速度で所定の距離下降し、搬送先に到達する。一方、容器４０を搬送する際には、モータ制御部１１２からモータ８０に容器４０の上昇を指示する制御信号が出力される。これにより、搬送先に載置された容器４０が所定の速度で所定の距離分上昇し、搬送車１２に格納される。
【0124】
検出部１１４は、モータ８０に接続されており、モータ８０から入力される信号に基づいてモータ８０のトルクに対応する値（トルク対応値）を算出する。トルク対応値は、モータ８０の回転軸８０ａに掛かるトルクの値であってもよいし、モータ８０の回転軸８０ａに掛かるトルクに対応する他の値であってもよい。例えば、モータ８０の回転軸８０ａに掛かるトルクが増加すると、回転軸８０ａの回転速度を維持するために必要なモータ８０の電流値も増加する。そのため、モータ８０の電流値をトルク対応値として用いることもできる。
【0125】
検出部１１４によって検出されたトルク対応値は、判定部１１６に出力される。なお、検出部１１４は、モータ８０に内蔵又は接続された所定のセンサによって測定されたトルク対応値を判定部１１６に出力してもよいし、モータ８０から検出部１１４に入力された情報（信号）に基づいてトルク対応値を算出して判定部１１６に出力してもよい。
【0126】
トルク対応値の具体的な測定方法は適宜選択できる。例えば、搬送車１２に容器４０が格納された状態で、モータ制御部１１２がモータ８０を制御し、吊り下げ部材４４を所定の速度で所定量だけ繰り出す。これにより、容器４０が所定の速度で所定量下降した後に停止する。そして、容器４０が停止する際におけるモータ８０のトルクや電流値が、トルク対応値として検出部１１４によって検出される。ただし、容器４０の上昇中又は下降中におけるモータ８０のトルクや電流値をトルク対応値として検出してもよい。
【0127】
判定部１１６は、検出部１１４から入力されたトルク対応値に基づいて、容器４０の収容状態を判定する。例えば判定部１１６は、トルク対応値と予め設定された所定の参照値（閾値）とを比較することにより、容器４０に被加工物１１が収容されているか否か、及び／又は、容器４０に収容されている被加工物１１の種類を判定する。
【0128】
例えば、容器４０に収容される被加工物ユニット１７Ａ（図５（Ｂ）参照）のサイズ及び重量が、被加工物ユニット１７Ｂ（図５（Ｂ）参照）よりも小さい場合を考える。この場合、容器４０に被加工物ユニット１７Ａ及び被加工物ユニット１７Ｂ（図５（Ｂ）参照）が収容されていない場合にモータ８０に掛かるトルクをＴ０、容器４０に被加工物ユニット１７Ａのみが収容されている場合にモータ８０に掛かるトルクをＴＡ、容器４０に被加工物ユニット１７Ｂのみが収容されている場合にモータ８０に掛かるトルクをＴＢ、容器４０に被加工物ユニット１７Ａ及び被加工物ユニット１７Ｂが収容されている場合にモータ８０に掛かるトルクをＴＡＢとすると、各トルクの関係はＴ０＜ＴＡ＜ＴＢ＜ＴＡＢと表される。すなわち、モータ８０に掛かるトルクは、容器４０の収容状態に応じて異なる値をとる。
【0129】
そこで、例えばトルクの参照値として、Ｔｒｅｆ１（Ｔ０＜Ｔｒｅｆ１＜ＴＡ）、Ｔｒｅｆ２（ＴＡ＜Ｔｒｅｆ２＜ＴＢ）、Ｔｒｅｆ３（ＴＢ＜Ｔｒｅｆ３＜ＴＡＢ）が設定され、予め記憶部１２０に記憶される。そして、判定部１１６は、検出部１１４によって検出されたモータ８０のトルクＴと、基準値Ｔｒｅｆ１、Ｔｒｅｆ２、Ｔｒｅｆ３とをそれぞれ比較する。
【0130】
モータ８０のトルクＴがＴｒｅｆ１よりも小さい場合には、判定部１１６は容器４０に被加工物ユニット１７が収容されていないと判定する。一方、モータ８０のトルクＴがＴｒｅｆ１よりも大きい場合には、判定部１１６は容器４０に被加工物ユニット１７が収容されていると判定する。これにより、容器４０に被加工物ユニット１７（被加工物１１）が収容されているか否かが判定される。
【0131】
また、容器４０に被加工物ユニット１７が収容されている場合には、被加工物ユニット１７（被加工物１１）の種類及び数も判定される。具体的には、モータ８０のトルクＴがＴｒｅｆ１よりも大きくＴｒｅｆ２よりも小さい場合には、判定部１１６は容器４０に被加工物ユニット１７Ａのみが収容されていると判定する。また、モータ８０のトルクＴがＴｒｅｆ２よりも大きくＴｒｅｆ３よりも小さい場合には、判定部１１６は容器４０に被加工物ユニット１７Ｂのみが収容されていると判定する。さらに、モータ８０のトルクＴがＴｒｅｆ３よりも大きい場合には、判定部１１６は容器４０に被加工物ユニット１７Ａ及び被加工物ユニット１７Ｂが収容されていると判定する。
【0132】
判定部１１６による判定の結果、想定されている容器４０の収容状態と実際の容器４０の収容状態とが異なる場合、コントローラ６０は送信機６４（図３（Ａ）参照）を介してコントローラ１４（図２参照）へエラーを送信する。これにより、搬送車１２における容器４０の収容状態の異常がコントローラ１４に通知される。
【0133】
容器４０の収容状態の判定は、予め設定された所定のタイミングで自動的に実施してもよいし、コントローラ１４（図２参照）から搬送車１２へ検査を指示する指令が送信されたタイミングで随時実施してもよい。例えば、搬送車１２に容器４０が格納される直前又は直後、搬送車１２による容器４０の搬送中、載置領域１６（図４参照）に容器４０が載置される直前又は直後に、容器４０の収容状態が検査される。
【0134】
また、搬送システム２（図１及び図２参照）で異常が発生して搬送車１２が緊急停車した場合には、異常の解消後、搬送車１２による被加工物１１の搬送を再開する前に容器４０の収容状態が判定されてもよい。これにより、搬送車１２の停車中に被加工物１１の出し入れが行われた場合にも、搬送の再開前に搬送車１２に適切な被加工物１１が収容されているか否かを確認することができ、誤搬送が防止される。
【0135】
以上の通り、本実施形態に係る搬送車１２は、搬送車１２に搭載された容器４０に被加工物１１が収容されているか否かを自発的に判定する機能を備える。これにより、容器４０の収容状態が不適切な状態のまま被加工物１１の搬送が続行されることを回避でき、被加工物１１の搬送効率の低下が防止される。
【0136】
なお、本実施形態では、容器４０の収容状態を判定する際に被加工物１１の有無がセンサ６６によって検出される例について説明した（図５（Ｂ）参照）。ただし、容器４０の収容状態を検査する際には、被加工物１１の検出に加えて、被加工物１１の個体情報の読み取りが行われてもよい。
【0137】
図１１（Ａ）は、被加工物１１に個体識別タグ１９が付された被加工物ユニット１７を示す斜視図である。被加工物１１には、被加工物１１の個体情報（識別情報）を示す個体識別タグ１９が付されていてもよい。
【0138】
被加工物１１の個体情報は、被加工物１１を特定するための情報であり、被加工物１１に関する各種の情報（被加工物１１の形状、材質、寸法、構造、製造者、製造年月日、加工履歴等）を含む。そして、被加工物１１の個体情報を含む個体識別タグ１９が、例えば被加工物１１の外周部に付される。
【0139】
個体識別タグ１９の種類は、被加工物１１の個体情報を記録することが可能であれば制限はない。例えば、数字、アルファベット、記号等の羅列によって構成される文字列（個体ＩＤ）、バーコード、二次元コード等の個体識別マークが、個体識別タグ１９として被加工物１１に付される。この場合には、個体識別マークを被加工物１１に直接印字してもよいし、個体識別マークが付されたシール等のタグを被加工物１１に貼付してもよい。また、個体識別タグ１９は、被加工物１１の個体情報が記録されたＩＣタグ、ＲＦＩＤ（Radio Frequency Identification）タグ等であってもよい。
【0140】
そして、判定ユニット６８（図５（Ｂ）参照）は、個体識別タグ１９から被加工物１１の個体情報を読み取る読み取り器（読み取りユニット）を備える。例えば、センサ６６が、被加工物１１を検出する機能に加えて、被加工物１１の個体情報を読み取る機能も備える。この場合、センサ６６が読み取り器としても機能する。ただし、搬送車１２には、被加工物１１の個体情報を読み取る専用の読み取り器がセンサ６６とは別途独立して搭載されてもよい。
【0141】
読み取り器の種類は、個体識別タグ１９の種類に応じて適宜選択される。例えば、個体識別タグ１９が文字列、バーコード、二次元コード等である場合には、読み取り器として、ＯＣＲ（Optical Character Recognition Reader）、バーコードリーダー、二次元コードリーダー等が用いられる。また、個体識別タグ１９がＩＣタグやＲＦＩＤタグである場合には、読み取り器としてＩＣリーダーやＲＦＩＤリーダーが用いられる。
【0142】
容器４０の収容状態を判定する際には、センサ６６が被加工物１１を検出するとともに、読み取り器が個体識別タグ１９から被加工物１１の個体情報を読み取る。そして、コントローラ６０は、読み取られた個体情報を記憶部１２０（図１０参照）に記憶し、必要に応じて個体情報の照合を行う。これにより、容器４０に所望の被加工物１１が収容されているか否かを確認することができる。
【0143】
なお、個体情報の読み取りを行うタイミングは自由に設定でき、センサ６６によって被加工物１１を検出するタイミングとは必ずしも一致していなくてもよい。例えば、被加工物１１が容器４０に収容された直後に、個体情報の読み取りのみが実施されてもよい。
【0144】
ただし、被加工物１１には個体識別タグ１９を付すための余剰スペースが存在しないことがある。また、被加工物１１の個体識別タグ１９が付された領域に加工（切削加工、レーザー加工等）が施され、個体識別タグ１９から個体情報を読み取ることが困難になる場合もある。そのため、個体識別タグ１９はフレーム１３又はシート１５に付されてもよい。
【0145】
図１１（Ｂ）はフレーム１３に個体識別タグ１９が付された被加工物ユニット１７を示す斜視図であり、図１１（Ｃ）はシート１５に個体識別タグ１９が付された被加工物ユニット１７を示す斜視図である。被加工物１１に個体識別タグ１９を付すことに支障がある場合にも、個体識別タグ１９をフレーム１３又はシート１５に付すことにより、被加工物１１の個体情報を読み取ることが可能になる。なお、個体識別タグ１９は、被加工物１１及びフレーム１３に付されてもよいし、被加工物１１及びシート１５に付されてもよい。さらに、個体識別タグ１９は、被加工物１１、フレーム１３及びシート１５にそれぞれ付されてもよい。
【0146】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【0147】
１１ 被加工物
１３ フレーム
１５ シート
１７，１７Ａ，１７Ｂ 被加工物ユニット（フレームユニット）
１９ 個体識別タグ
２ 搬送システム
４ 加工装置
６ 配管
８ 収容装置（ローダー・アンローダー）
１０ 搬送路
１０ａ 開口
１２ 搬送車（搬送装置）
１４ コントローラ（制御ユニット、制御部、制御装置）
１６ 載置領域（搬送先）
２０ 本体フレーム
２２ 車軸
２４ 車輪（前輪）
２６ 車輪（後輪）
２８ 駆動ユニット
３０ モータ
３０ａ 回転軸（出力シャフト）
３２ プーリー
３４ バッテリー（二次電池）
３６ 端子
３８ 格納領域
４０ 容器（カセット）
４０ａ 収容部（収容空間）
４０ｂ 開口
４０ｃ 上壁
４０ｄ 底壁
４２ 昇降ユニット（昇降機構）
４４ 吊り下げ部材
４６ 駆動機構
４８ 接触部材（接触ピン）
５０ カバー
５２ 第１センサ
５４ 第２センサ
５６ 第３センサ
５８ 支持台
６０ コントローラ（制御ユニット、制御部、制御装置）
６２ 受信機
６４ 送信機
６６Ａ，６６Ｂ センサ（検出器）
６８ 判定ユニット
７０ 第１ガイドレール
７０ａ 側壁
７０ｂ 突出部
７０ｃ 保持面
７２ 第２ガイドレール
７２ａ 保持面
８０ モータ
８０ａ 回転軸（出力シャフト）
８２Ａ，８２Ｂ ロッド（回転軸）
８４ プーリー
８６ 連結部材
８８Ａ，８８Ｂ プーリー
９０ 連結部材
９２Ａ，９２Ｂ リール
９４Ａ，９４Ｂ ローラー
９６Ａ，９６Ｂ 押圧部材（突起、凸部）
９８Ａ，９８Ｂ バー（シャフト）
１００Ａ，１００Ｂ 付勢部材
１１０ 処理部
１１２ モータ制御部
１１４ 検出部
１１６ 判定部
１２０ 記憶部
１３ フレーム
１５ シート
１７，１７Ａ，１７Ｂ 被加工物ユニット（フレームユニット）
１９ 個体識別タグ
２ 搬送システム
４ 加工装置
６ 配管
８ 収容装置（ローダー・アンローダー）
１０ 搬送路
１０ａ 開口
１２ 搬送車（搬送装置）
１４ コントローラ（制御ユニット、制御部、制御装置）
１６ 載置領域（搬送先）
２０ 本体フレーム
２２ 車軸
２４ 車輪（前輪）
２６ 車輪（後輪）
２８ 駆動ユニット
３０ モータ
３０ａ 回転軸（出力シャフト）
３２ プーリー
３４ バッテリー（二次電池）
３６ 端子
３８ 格納領域
４０ 容器（カセット）
４０ａ 収容部（収容空間）
４０ｂ 開口
４０ｃ 上壁
４０ｄ 底壁
４２ 昇降ユニット（昇降機構）
４４ 吊り下げ部材
４６ 駆動機構
４８ 接触部材（接触ピン）
５０ カバー
５２ 第１センサ
５４ 第２センサ
５６ 第３センサ
５８ 支持台
６０ コントローラ（制御ユニット、制御部、制御装置）
６２ 受信機
６４ 送信機
６６Ａ，６６Ｂ センサ（検出器）
６８ 判定ユニット
７０ 第１ガイドレール
７０ａ 側壁
７０ｂ 突出部
７０ｃ 保持面
７２ 第２ガイドレール
７２ａ 保持面
８０ モータ
８０ａ 回転軸（出力シャフト）
８２Ａ，８２Ｂ ロッド（回転軸）
８４ プーリー
８６ 連結部材
８８Ａ，８８Ｂ プーリー
９０ 連結部材
９２Ａ，９２Ｂ リール
９４Ａ，９４Ｂ ローラー
９６Ａ，９６Ｂ 押圧部材（突起、凸部）
９８Ａ，９８Ｂ バー（シャフト）
１００Ａ，１００Ｂ 付勢部材
１１０ 処理部
１１２ モータ制御部
１１４ 検出部
１１６ 判定部
１２０ 記憶部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】