特開 2026-164790出願番号 特願 2026-4920
めっき装置
出願人 株式会社荏原製作所（識別番号 239）
2026年 特許公開件数ランキング 154位 184件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 211位 112件（※）
公報発行日 2026年10月9
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2026-164790 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】めっき液が撹拌された場合にめっき槽の外部にめっき液が飛散することを抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】めっき装置の飛散抑制部材６０ａ、６０ｂは第１部材６１と第２部材６２とを有し、第１部材は、パドルよりも上方且つめっき槽の外周壁の上端よりも下方の領域に配置されるとともにめっき槽の外周壁と基板ホルダとの間の領域に配置され、且つ、上下方向に延在するとともにめっき槽の外周壁の周方向に曲面状に延在し、第２部材は、水平方向に延在するとともに、めっき槽の外周壁の上端よりも上方に配置され、第１部材との間に第１空間を有して第１部材よりも上方に配置され、且つ、基板ホルダとの間に第２空間を有して基板ホルダの外側に配置され、第１部材の内周面における少なくとも第１部材の上端から所定距離だけ下方側の箇所は、上方に向かうほどめっき槽の中心からの距離が長くなるように傾斜した傾斜面になっている。
【選択図】図７
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
選択図 図7出願人が指定した本件の代表的な図
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