特開2026-22633ビーム偏向器及び関連するシステムを含む荷電粒子顕微鏡システムを動作させる方法

発明の名称　ビーム偏向器及び関連するシステムを含む荷電粒子顕微鏡システムを動作させる方法

出願人　エフ　イー　アイ　カンパニ　（識別番号 501233536）

　　　　特許公開件数ランキング 441 位（23件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 936 位（7件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2026-22633

公報発行日　2026年2月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2026-22633

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