特開2026-36681位置再現性を確保するためのグリッド搬送用ロードロック扉

発明の名称　位置再現性を確保するためのグリッド搬送用ロードロック扉

出願人　エフ　イー　アイ　カンパニ　（識別番号 501233536）

　　　　特許公開件数ランキング 441 位（23件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 936 位（7件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2026-36681

公報発行日　2026年3月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2026-36681

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2026-36681「位置再現性を確保するためのグリッド搬送用ロードロック扉」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録