特開2026-40525基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体

発明の名称　基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 30 位（228件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25 位（235件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2026-40525

公報発行日　2026年3月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2026-40525

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