特開2026-53556基板処理台座のための内部フィンを備えた冷却剤チャネル

発明の名称　基板処理台座のための内部フィンを備えた冷却剤チャネル

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 159 位（65件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 175 位（54件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2026-53556

公報発行日　2026年3月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2026-53556

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