特開2026-55108金属膜の蒸着

発明の名称　金属膜の蒸着

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 156 位（67件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 177 位（54件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2026-55108

公報発行日　2026年3月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2026-55108

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