特許 6995979 ヘテロエピタキシャルウェハおよびヘテロエピタキシャルウェハの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2021-12-17

(45)【発行日】2022-01-17

(54)【発明の名称】ヘテロエピタキシャルウェハおよびヘテロエピタキシャルウェハの製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/365 20060101AFI20220107BHJP

【ＦＩ】

H01L21/365

【請求項の数】 14

(21)【出願番号】P 2020512014

(86)(22)【出願日】2018-08-16

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2020-11-05

(86)【国際出願番号】 EP2018072229

(87)【国際公開番号】W WO2019042782

(87)【国際公開日】2019-03-07

【審査請求日】2020-04-21

(31)【優先権主張番号】17188124.6

(32)【優先日】2017-08-28

(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP

(73)【特許権者】

【識別番号】599119503

【氏名又は名称】ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフト

【氏名又は名称原語表記】Ｓｉｌｔｒｏｎｉｃ ＡＧ

【住所又は居所原語表記】Ｅｉｎｓｔｅｉｎｓｔｒａｓｓｅ １７２，８１６７７ Ｍｕｅｎｃｈｅｎ， Ｇｅｒｍａｎｙ

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】特許業務法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】タパ，サラド・バハドゥール

(72)【発明者】

【氏名】フォルダーベストナー，マルティン

【審査官】田中 崇大

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－２２２７３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－１６０６０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１１／１５５４９６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１４－０５７０２０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３６５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ヘテロエピタキシャルウェハであって、以下の順序で、
直径および厚さを有するシリコン基板と、
ＡｌＮ核生成層と、
第１の平均Ａｌ含有量ｚを有するＡｌ_ｚＧａ_１-ｚＮ層である第１のひずみ蓄積層とを備え、０＜ｚであり、さらに、
５単位以上５０単位以下の第１の連続層を含む第１のひずみ保持ブロックを備え、前記第１の連続層はＡｌＮ層と少なくとも２つのＡｌＧａＮ層とを含み、前記第１のひずみ保持ブロックは第２の平均Ａｌ含有量ｙを有し、ｙ＞ｚであり、さらに、
第３の平均Ａｌ含有量ｘを有するＡｌ_ｘＧａ_１-ｘＮ層である第２のひずみ蓄積層を備え、０≦ｘ＜ｙであり、
５単位以上５０単位以下の第２の連続層を含む第２のひずみ保持ブロックを備え、前記第２の連続層はＡｌＮ層と少なくとも１つのＡｌＧａＮ層とを含み、前記第２のひずみ保持ブロックは第４の平均Ａｌ含有量ｗを有し、ｘ＜ｗ＜ｙであり、さらに、
ＧａＮ層を備え、前記ＡｌＮ核生成層と前記ＧａＮ層との間の前記層はＡｌＧａＮバッファを形成する、ヘテロエピタキシャルウェハ。

【請求項2】

前記ＡｌＧａＮバッファの厚さは１．０μｍ以上５μｍ以下である、請求項１に記載のヘテロエピタキシャルウェハ。

【請求項3】

前記ＡｌＧａＮバッファの平均Ａｌ含有量は３０％以上である、請求項１または２に記載のヘテロエピタキシャルウェハ。

【請求項4】

前記ＡｌＧａＮバッファは、第５の平均Ａｌ含有量ｖを有するＡｌ_ｖＧａ_１-ｖＮ層である第３のひずみ蓄積層をさらに含み、０≦ｖ＜ｗである、請求項１～３のいずれか１項に記載のヘテロエピタキシャルウェハ。

【請求項5】

前記ＡｌＧａＮバッファは超格子ブロックをさらに含み、前記超格子ブロックは第６の平均Ａｌ含有量ｕを有し、ｕ＞ｖおよびｕ＜ｗである、請求項１～４のいずれか１項に記載のヘテロエピタキシャルウェハ。

【請求項6】

前記基板の前記直径および前記厚さは、それぞれ１５０ｍｍおよび１０００μｍ以下である、またはそれぞれ２００ｍｍおよび１２００μｍ以下である、またはそれぞれ３００ｍｍおよび１５００μｍ以下である、請求項１～５のいずれか１項に記載のヘテロエピタキシャルウェハ。

【請求項7】

前記ＡｌＧａＮバッファの絶縁破壊強度は２．５ＭＶ／ｃｍ以上である、請求項１～６のいずれかに記載のヘテロエピタキシャルウェハ。

【請求項8】

前記シリコン基板は、シリコン単結晶ウェハ、ＳＯＩウェハ、またはシリコン単結晶トップ層を有する積層ウェハである、請求項１～７のいずれかに記載のヘテロエピタキシャルウェハ。

【請求項9】

ヘテロエピタキシャルウェハの製造方法であって、前記方法はステップを以下の順序で含み、前記ステップは、
直径および厚さを有するシリコン基板を与え前記シリコン基板の上に複数の層を積層することにより積層基板を形成するステップを含み、前記ステップは、
前記シリコン基板の上にＡｌＮ核生成層を積層するステップと、
前記ＡｌＮ核生成層の上に、第１の平均Ａｌ含有量ｚを有するＡｌ_ｚＧａ_１-ｚＮ層である第１のひずみ蓄積層を積層するステップとを含み、０＜ｚであり、さらに、
前記第１のひずみ蓄積層の上に、５単位以上５０単位以下の第１の連続層を含む第１のひずみ保持ブロックを積層するステップを含み、前記第１の連続層はＡｌＮ層と少なくとも２つのＡｌＧａＮ層とを含み、前記第１のひずみ保持ブロックは第２の平均Ａｌ含有量ｙを有し、ｙ＞ｚであり、さらに、
前記第１のひずみ保持ブロックの上に、第３の平均Ａｌ含有量ｘを有するＡｌ_ｘＧａ_１-ｘＮ層である第２のひずみ蓄積層を積層するステップを含み、０≦ｘ＜ｙであり、
前記第２のひずみ蓄積層の上に、５単位以上５０単位以下の第２の連続層を含む第２のひずみ保持ブロックを積層するステップを含み、前記第２の連続層はＡｌＮ層と少なくとも１つのＡｌＧａＮ層とを含み、前記第２のひずみ保持ブロックは第４の平均Ａｌ含有量ｗを有し、ｘ＜ｗ＜ｙであり、さらに、
前記第２のひずみ保持ブロックの上にＧａＮ層を積層するステップを含む、ヘテロエピタキシャルウェハの製造方法。

【請求項10】

前記積層基板の曲率が凹状曲率であるときにある時点で前記第１のひずみ保持ブロックを積層するステップを実行すること、および、前記積層基板の曲率が凸状曲率であるときにある時点で前記第２のひずみ保持ブロックを積層するステップを実行することとを含む、請求項９に記載の方法。

【請求項11】

前記第１のひずみ保持ブロックの積層中に前記積層基板の曲率を増大するステップと、ΔＣ／Δｔｈの値が－５ｋｍ^－１／μｍ未満になったときに前記第１のひずみ保持ブロックの成長を止めるステップとを含み、ΔＣ／Δｔｈは、厚さの変化Δｔｈに対する曲率の変化ΔＣを表す、請求項９または１０に記載の方法。

【請求項12】

ΔＣ／Δｔｈの値が－１ｋｍ^－１／μｍ未満になったときに前記第２のひずみ保持ブロックの成長を止めるステップを含み、ΔＣ／Δｔｈは、厚さの変化Δｔｈに対する曲率の変化ΔＣを表す、請求項９～１１のいずれかに記載の方法。

【請求項13】

前記積層基板の曲率が凸状曲率であり５０ｋｍ^－１以下であるときにある時点で前記ＧａＮ層の積層を開始するステップを含む、請求項９～１２のいずれかに記載の方法。

【請求項14】

与えられた前記シリコン基板は、１５０ｍｍの直径および１０００μｍ以下の厚さ、または２００ｍｍの直径および１２００μｍ以下の厚さ、または３００ｍｍの直径および１５００μｍ以下の厚さを有する、請求項９～１３のいずれかに記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シリコン基板、ＡｌＮ核生成層、ＡｌＧａＮバッファおよびＧａＮ層をこの順序で含むヘテロエピタキシャルウェハに関する。本発明はさらに、このようなヘテロエピタキシャルウェハの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

先行技術／課題
基板と基板上に積層された層との格子不整合およびこれらの熱膨張係数に関する相違は、層が成長する間および積層基板を室温に冷却する間に、多層構造の反りを引き起こす。ウェハが反ることで、クラックの形成が生じる可能性がある。

【0003】

ＵＳ２０１４／０３７４７７１Ａ１は、半導体多層基板、半導体装置、およびその製造方法を開示している。この多層基板は、シリコンからなる基板と、予め定められた反りを基板に与える第１の反り制御層と、第２の反り制御層と含む。第２の反り制御層の単位厚さ当たりの反りの増加量は、第１の反り制御層の単位厚さ当たりの反りの増加量よりも少ない。効果、すなわち電流の漏れおよび電流コラプス（current collapse）をクラック密度の増加を伴うことなく抑制できかつ生産コストを低減できるという効果が得られる。

【0004】

Rowena他は、バッファの厚さを大きくすると、鉛直漏れ電流が抑制される傾向があり、ＡｌＧａＮ／ＧａＮ高電子移動度（ＨＥＭＴ）デバイスの絶縁破壊性能が改善されると報告している（“Buffer Thickness Contribution to Suppress Vertical Leakage Current With High Breakdown Field (2.3 MV/cm) for GaN on Si”IEEE Electron Device Letters, VOL. 32, NO. 11, November 2011）。

【0005】

基板の厚さを小さくすると曲率が大きくなることも知られており、よって、１５０ｍｍおよび２００ｍｍの基板上にＧａＮを成長させるには、エピタキシャル膜の圧縮ひずみが相当に大きくなければならないと結論付けられた（Y.Cao et al.,“GaN-on-Silicon Growth by MOCVD: A Mechanistic Approach to Wafer Scaling”; CS MANTECH Conference, May 19th-22nd, 2014, Colorado, USA）。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明の発明者らは、依然としてさまざまな課題を解決する必要があることを発見した。

【0007】

絶縁破壊特性を改善するためにＡｌＧａＮバッファの厚さを大きくした場合、１５０ｍｍまたは２００ｍｍまたは３００ｍｍという比較的大きな直径を有しＳＥＭＩ標準に準じた厚さを有するシリコン基板を使用した場合よりも一層、ウェハの反りが大きくなる。エピ積層中のウェハの大きな反りは、表面上の温度を不均一にし、それによって最終的には層の厚さにばらつきが生じるとともにウェハの直径にわたって材料合金の変動が生じる。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、これらの課題に対処するためになされたものである。
発明の説明
本発明は、ヘテロエピタキシャルウェハに向けられており、このヘテロエピタキシャルウェハは、以下の順序で、
直径および厚さを有するシリコン基板と、
ＡｌＮ核生成層と、
第１の平均Ａｌ含有量ｚを有するＡｌ_ｚＧａ_１-ｚＮ層である第１のひずみ蓄積層とを備え、０＜ｚであり、さらに
５単位以上５０単位以下の第１の連続層を含む第１のひずみ保持ブロックを備え、第１の連続層はＡｌＮ層と少なくとも２つのＡｌＧａＮ層とを含み、第１のひずみ保持ブロックは第２の平均Ａｌ含有量ｙを有し、ｙ＞ｚであり、さらに
第３の平均Ａｌ含有量ｘを有するＡｌ_ｘＧａ_１-ｘＮ層である第２のひずみ蓄積層を備え、０≦ｘ＜ｙであり、
５単位以上５０単位以下の第２の連続層を含む第２のひずみ保持ブロックを備え、第２の連続層はＡｌＮ層と少なくとも１つのＡｌＧａＮ層とを含み、第２のひずみ保持ブロックは第４の平均Ａｌ含有量ｗを有し、ｘ＜ｗ＜ｙであり、さらに
ＧａＮ層を備え、ＡｌＮ核生成層とＧａＮ層との間の層はＡｌＧａＮバッファを形成する。

【0009】

本発明はさらにヘテロエピタキシャルウェハの製造方法に向けられており、この方法はステップを以下の順序で含み、これらのステップは、
直径および厚さを有するシリコン基板を与えシリコン基板の上に複数の層を積層することにより積層基板を形成するステップを含み、このステップは、
シリコン基板の上にＡｌＮ核生成層を積層するステップと、
ＡｌＮ核生成層の上に、第１の平均Ａｌ含有量ｚを有するＡｌ_ｚＧａ_１-ｚＮ層である第１のひずみ蓄積層を積層するステップとを含み、０＜ｚであり、さらに、
第１のひずみ蓄積層の上に、５単位以上５０単位以下の第１の連続層を含む第１のひずみ保持ブロックを積層するステップを含み、第１の連続層はＡｌＮ層と少なくとも２つのＡｌＧａＮ層とを含み、第１のひずみ保持ブロックは第２の平均Ａｌ含有量ｙを有し、ｙ＞ｚであり、さらに、
第１のひずみ保持ブロックの上に、第３の平均Ａｌ含有量ｘを有するＡｌ_ｘＧａ_１-ｘＮ層である第２のひずみ蓄積層を積層するステップを含み、０≦ｘ＜ｙであり、
第２のひずみ蓄積層の上に、５単位以上５０単位以下の第２の連続層を含む第２のひずみ保持ブロックを積層するステップを含み、第２の連続層はＡｌＮ層と少なくとも１つのＡｌＧａＮ層とを含み、第２のひずみ保持ブロックは第４の平均Ａｌ含有量ｗを有し、ｘ＜ｗ＜ｙであり、さらに、
第２のひずみ保持ブロックの上にＧａＮ層を積層するステップを含む。

【0010】

好ましくは、上記窒化物を含む層は有機金属気相成長法（ＭＯＣＶＤ）によって積層される。前駆体として、化合物であるトリメチルガリウム、トリメチルアルミニウムおよびアンモニアを使用できる。水素または窒素は好適なキャリアガスである。窒化物を含む層の成長温度は、好ましくは７００℃以上１１６０℃以下である。

【0011】

シリコン基板は、好ましくは、直径１５０ｍｍで厚さ１０００μｍ以下、好ましくは６７５μｍ以下の、または、直径２００ｍｍで厚さ１２００μｍ以下、好ましくは７２５μｍ以下の、または、直径３００ｍｍで厚さ１５００μｍ以下、好ましくは７７５μｍ以下の、シリコン単結晶ウェハである。好ましくは、シリコン基板は｛１１１｝配向を有し２°以下の結晶オフカットを有する。これに代えて、シリコン基板は、上記配向およびオフカットを有してもよく、かつＳＯＩウェハ(シリコン・オン・インシュレータウェハ）またはシリコン単結晶トップ層を有する積層ウェハであってもよい。

【0012】

ＡｌＮ核生成層の厚さは、好ましくは１００ｎｍ以上３００ｎｍ以下である。基板の曲率は、ＡｌＮ核生成層の厚さが大きいほど負の方向に大きくなる、すなわち凹状の度合いが大きくなる。

【0013】

第１のひずみ蓄積層は、第１の平均Ａｌ含有量ｚを有するＡｌＧａＮ層である、すなわち、第１のひずみ蓄積層はＡｌ_ｚＧａ_１－ｚＮ層であり、０＜ｚである。これに代えて、第１のひずみ蓄積層は、Ａｌ含有量が成長方向に減少する２つ以上のＡｌＧａＮ層を含むものであってもよい。好ましくは、ｚの値は４０％以上６０％以下である。第１のひずみ蓄積層とＡｌＮ核生成層の上面とで界面を形成する。第１のひずみ蓄積層は、第１のひずみ蓄積層の成長の条件下で積層基板の凹状の程度が小さくなるように、凹状の曲率を低減する。凹状の曲率は基板が薄いほど小さい。好ましくは、積層基板の曲率は、第１のひずみ蓄積層の成長の過程においては凹状のままである。第１のひずみ蓄積層の厚さは、好ましくは３０ｎｍ以上２００ｎｍ以下である。

【0014】

第１のひずみ保持ブロックは、５単位以上５０単位以下の第１の連続層を含む。第１の連続層は、ＡｌＮ層と、Ａｌ含有量が異なる少なくとも２つのＡｌＧａＮ層とを含む。好ましくは、第１のひずみ蓄積層の上面のＡｌ含有量は、第１のひずみ保持ブロックの最も近いＡｌＧａＮ層のＡｌ含有量以上である。加えて、第１の単位のＡｌＮ層と第１のひずみ蓄積層の上面とで界面を形成することが好ましい。第１の連続層において、Ａｌ含有量は基板から遠ざかるにつれて小さくなる。好ましくは、第１の連続層の１つのＡｌＧａＮ層が勾配組成ＡｌＧａＮ層である。Ａｌ組成の勾配は、段階的でもよく、または連続的でもよい。

【0015】

本発明の好ましい実施形態に従うと、第１の連続層は、成長方向において、ＡｌＮ層と、厚い一定組成ＡｌＧａＮ層と、連続勾配組成ＡｌＧａＮ層と、任意で薄い一定組成ＡｌＧａＮ層とで構成されている。厚い一定組成ＡｌＧａＮ層の厚さは、連続勾配組成ＡｌＧａＮ層の厚さの少なくとも２倍であり、かつ薄い一定組成ＡｌＧａＮ層の厚さの少なくとも２倍である。薄い一定組成ＡｌＧａＮ層のＡｌ含有量は、連続勾配ＡｌＧａＮ層の上面のＡｌ含有量と等しいかまたは同様である。積層基板の曲率は、厚い一定組成層および薄い一定組成層の成長中よりも連続勾配組成ＡｌＧａＮ層の成長中の方が早く増大する。積層基板の曲率は、連続勾配組成ＡｌＧａＮ層のＡｌ含有量および厚さを調整するだけで容易に制御できる。

【0016】

第１のひずみ保持ブロックは、ｙである第２の平均Ａｌ含有量を有し、ｙ＞ｚである。好ましくは、第１のひずみ保持ブロックは、積層基板の曲率がゼロになるまで、または、積層基板の曲率の凹状の程度が第１のひずみ保持ブロックの積層の開始時よりも小さくなるまで、積層される。第１のひずみ保持ブロックを積層している間に、第１のひずみ保持ブロックの厚さの変化Δｔｈに対する曲率の変化ΔＣ（ΔＣ／Δｔｈ）は、好ましくは積層の開始時に正になり、その後ほぼ「ゼロ」になる、すなわち、ほぼ一定のままである、または一定である、または負にさえなる。ひずみ保持ブロックの厚さは、積層基板の曲率にそれほど大きな影響を与えない。好ましくは、第１のひずみ保持ブロックの成長は、ΔＣ／Δｔｈの値が－５ｋｍ^－１／μｍ未満になると停止される。

【0017】

第２のひずみ蓄積層は、第３の平均Ａｌ含有量ｘを有するＡｌＧａＮ層である、すなわち、第２のひずみ蓄積層はＡｌ_ｘＧａ_１－ｘＮ層であり、０≦ｘ＜ｙである。第２のひずみ蓄積層と第１のひずみ保持ブロックの上面とで界面を形成することが好ましく、第３の平均Ａｌ含有量は、第１のひずみ保持ブロックの上面のＡｌ含有量未満である。第２のひずみ蓄積層は圧縮ひずみを蓄積し、第２のひずみ蓄積層の厚さおよびＡｌ含有量は、第２のひずみ蓄積層の積層の終了時において積層基板の曲率がゼロに近くなる、すなわち好ましくは｜３｜ｋｍ^－１未満になるように、選択される。そうすると、積層基板は第２のひずみ蓄積層の成長後にはほぼ平坦である。第２のひずみ蓄積層の厚さは、好ましくは３０ｎｍ以上２００ｎｍ以下である。

【0018】

第２のひずみ保持ブロックは、５単位以上５０単位以下の第２の連続層を含む。第２の連続層は、ＡｌＮ層と少なくとも１つのＡｌＧａＮ層とを含む。第１の単位のＡｌＮ層と第２のひずみ蓄積層の上面とで界面を形成することが好ましい。第２の連続層のＡｌＧａＮ層は、一定組成ＡｌＧａＮ層であってもよい、または、基板から遠ざかるにつれてＡｌが減少する勾配組成ＡｌＧａＮ層であってもよい。Ａｌ組成の勾配は、段階的でもよく、または連続的でもよい。本発明の好ましい実施形態に従うと、第２の連続層のＡｌＧａＮ層は、一定組成ＡｌＧａＮ層であり、そのＡｌ含有量はｘ以下である。第２のひずみ保持ブロックは、ｗである第４の平均Ａｌ含有量を有し、ｘ＜ｗ＜ｙである。

【0019】

好ましくは、第２のひずみ保持ブロックは、第２のひずみ保持ブロックの積層の開始時に対する、積層基板の曲率の相違が、負になるまで積層される。

【0020】

第２のひずみ保持ブロックは、積層基板の曲率を実質的には変えない。好ましくは、第２のひずみ保持ブロックの成長は、ΔＣ／Δｔｈの値が－１ｋｍ^－１／μｍ未満になると停止され、第２のひずみ保持ブロックの成長後、積層基板はほぼ平坦なままである。

【0021】

ＧａＮ層と第２のひずみ保持ブロックの上面とが界面を形成する、または、これに代えて、ＧａＮ層と任意の第３のひずみ蓄積の上面とが界面を形成する、または、これに代えて、ＧａＮ層と任意の超格子ブロックの上面とが界面を形成する。

【0022】

第３のひずみ蓄積層がある場合、第３のひずみ蓄積層は、第５の平均Ａｌ含有量ｖを有するＡｌＧａＮ層である、すなわち、第３のひずみ蓄積層はＡｌ_ｖＧａ_１－ｖＮ層であり、０≦ｖ＜ｗである。第３のひずみ蓄積層と第２のひずみ保持ブロックの上面とが界面を形成し、第５の平均Ａｌ含有量は、好ましくは第２のひずみ保持ブロックの上面のＡｌ含有量未満である。第３のひずみ蓄積層は、圧縮ひずみをさらに蓄積し、積層基板の凸状の曲率をさらに大きくする。第２のひずみ蓄積層の厚さは、好ましくは３０ｎｍ以上２００ｎｍ以下である。

【0023】

ひずみ蓄積層とひずみ保持ブロックとを交互にしたものを実現することにより、比較的厚いＡｌＧａＮバッファを提供する一方で、積層基板をほぼ平坦に保ち、ウェハの曲率は２５ｋｍ^－１を超えず、塑性変形は生じない。

【0024】

超格子ブロックがある場合、この超格子ブロックと、第２のひずみ保持ブロックの上面とが（すなわち第３のひずみ蓄積層は存在しない）、または第３のひずみ蓄積層の上面とが、界面を形成する。

【0025】

超格子ブロックは、好ましくは１０以上１００以下の層単位を含み、各層単位はＡｌＮ層とＡｌＧａＮ層とを含む。超格子ブロックの第１の単位のＡｌＮ層と、第２のひずみ保持ブロックの上面とが（すなわち第３のひずみ蓄積層は存在しない）、または第３のひずみ蓄積層の上面とが、界面を形成する。超格子ブロックのこの単位のＡｌＮ層の厚さは、好ましくは５ｎｍ以上１０ｎｍ以下である。超格子ブロックのこの単位のＡｌＧａＮ層の厚さは、好ましくは超格子ブロックのこの単位のＡｌＮ層の厚さの２～１０倍である。超格子ブロックのこの単位のＡｌＧａＮ層のＡｌの含有量は、超格子ブロックのすぐ下にあるＡｌＧａＮ層のＡｌ含有量以下である。超格子ブロックは、第６の平均Ａｌ含有量ｕを有し、ｖ＜ｕ＜ｗである。超格子ブロックにより、積層基板の凸状の曲率を適度に大きくすることができる。

【0026】

第３のひずみ蓄積層および／または超格子ブロックの有無とは関係なく、ＡｌＧａＮバッファの平均Ａｌ含有量は、好ましくは３０％以上である。加えて、ＡｌＧａＮバッファの厚さは、好ましくは１．０μｍ以上５μｍ以下である。

【0027】

ＧａＮ層は、意図的にドープされておらず炭素濃度が好ましくは１×１０^１８原子／ｃｍ^３未満であり厚さが好ましくは５０ｎｍ以上５００ｎｍ以下である高純度ＧａＮ層であってもよい。

【0028】

好ましくは、ＧａＮ層は、炭素を含有する絶縁ＧａＮバッファと上記高純度ＧａＮ層とを含む。絶縁ＧａＮバッファがある場合、高純度ＧａＮ層と絶縁ＧａＮバッファとが界面を形成し、絶縁ＧａＮバッファと、第２のひずみ保持ブロックまたは第３のひずみ蓄積層または超格子ブロックとが、界面を形成する。

【0029】

絶縁ＧａＮバッファ内の炭素の濃度は、好ましくは１×１０^１８原子／ｃｍ^３以上１×１０^２０原子／ｃｍ^３以下である。絶縁ＧａＮバッファの厚さは、好ましくは５００ｎｍ以上２０００ｎｍ以下である。

【0030】

ＧａＮ層の積層は、好ましくは、積層基板の曲率が凸状で５０ｋｍ^－１以下であるときに、ある時点で開始される。

【0031】

絶縁ＧａＮバッファの有無とは関係なく、ＧａＮ層の上面の二乗平均平方根（ＲＭＳ）粗さは、好ましくは、５μｍ×５μｍの原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）スキャン領域上で０．５ｎｍ未満であり、ＧａＮ層の００２反射および１０２反射のＸ線回折（ＸＲＤ）ロッキングカーブの半値全幅（ＦＷＨＭ）は、それぞれ好ましくは６５０ａｒｃｓｅｃおよび１２００ａｒｃｓｅｃ未満である。

【0032】

本発明に係るヘテロエピタキシャルウェハは、反りに関して優れた材料特性を有する。たとえば、厚さ４．５μｍのエピ層の場合、このエピ層にはクラックがなく（３ｍｍのエッジの除外を考慮）、ヘテロエピタキシャルウェハの反りは、｜５０｜μｍ未満である。

【0033】

直径が少なくとも１５０ｍｍである（１１１）配向シリコン上における鉛直漏れ電流１ｍＡ／ｍｍ^２に対して２．５ＭＶ／ｃｍを上回る高絶縁破壊電界であるため、本発明に係るヘテロエピタキシャルウェハを用いることにより、その上に６００Ｖ ＨＥＭＴ（高電子移動度トランジスタ）を構築できる。

【0034】

そのためには、デバイス層をＧａＮ層の上に形成すればよい。デバイス層は、たとえば、ｐＧａＮ／ＡｌＧａＮ層またはＳｉＮ／ＡｌＧａＮ層またはＳｉＮ／ＡｌＧａＮ／ＡｌＮ層またはＧａＮ／ＡｌＧａＮ／ＡｌＮ層またはＧａＮ／ＡｌＧａＮ層またはＡｌＧａＮ層を、含み得る。

【0035】

定義
積層基板は、基板および基板上に積層した少なくとも１つの層を意味する。

【0036】

エピ層は、基板上に成長させた層の全部を意味する。
ＡｌＧａＮバッファは、ＡｌＮ核生成層よりも上に位置しかつＧａＮ層よりも下に位置する層の全部を意味する。

【0037】

ヘテロエピタキシャルウェハは、基板と、ＡｌＮ核生成層と、ＡｌＧａＮバッファと、ＧａＮ層とを含む独立体を意味する。

【0038】

層のＡｌ含有量または平均Ａｌ含有量は、存在するＩＩＩ族原子合計に対する存在するＡｌ原子の百分率として示すことができる。

【0039】

曲率は、積層基板またはヘテロエピタキシャルウェハ各々の曲率半径の逆数を意味する。

【0040】

反りは、基準面からウェハの中央面までの最大距離と最小距離との差を意味する。
本発明を図面を参照しながらさらに説明する。

【図面の簡単な説明】

【0041】

【図1】ＩＩＩ族窒化物層の積層の熱条件下の湾曲したシリコン基板を示す図である。

【図2】本発明の好ましい実施形態に係る第１のひずみ保持ブロックの第１の連続層を概略的に示す図である。

【図3】図２が示している第１の連続層の成長中の積層基板の曲率Ｃとこれらの層の厚さｔｈとの間にどのような相関関係があるかを定性的に示す図である（実線）。

【図4】本発明の好ましい実施形態に係るヘテロエピタキシャルウェハの構造を概略的に示す図である。

【図5】図４に示されるエピ層の積層過程における時間ｔにわたる積層基板の曲率Ｃの推移を示す図である。

【図6】図４に従うヘテロエピタキシャルウェハに基づく、ＡｌＧａＮバッファの性能のばらつきを測定するために使用されるデバイスの構造を示す図である。

【図7】本発明に係るヘテロエピタキシャルウェハおよび比較例として使用されたヘテロエピタキシャルウェハから得られた絶縁破壊曲線を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0042】

シリコン基板１は裏面から加熱される（図１）。加熱中、シリコン基板１の上面の温度Ｔ１はシリコン基板１の下面の温度Ｔ２よりも低い。この負の温度勾配ΔＴ（Ｔ１－Ｔ２）により、基板１が凹状になる、すなわち、ＩＩＩ族窒化物の積層の前に基板に負の曲率が生じ、この負の曲率は基板温度が高いほど大きい。

【0043】

凹曲率であるか凸曲率であるかに関係なく、上面の温度は径方向位置に沿って変化し、積層条件も同様に変化する。結果として、上面に積層されたＩＩＩ族窒化物層の材料特性は、曲率の程度に応じて径方向に不均質になる。

【0044】

本発明は、積層基板の過度の曲率を回避することによって層の材料特性を均質にし、同時に高絶縁破壊電界を可能にする。

【0045】

図２は、本発明の好ましい実施形態に係る第１のひずみ保持ブロックの第１の連続層を概略的に示す。示されている第１の連続層は、ＡｌＮ層２０と、厚い一定組成ＡｌＧａＮ層３０と、連続勾配ＡｌＧａＮ層４０と、薄い一定組成ＡｌＧａＮ層５０とで構成されている。

【0046】

この構造故に、この第１のひずみ保持ブロックの第２の平均Ａｌ含有量ｙは、ＡｌＮ層２０および厚い一定組成ＡｌＧａＮ層３０のＡｌ含有量によって左右され、したがって比較的高い。その結果、高絶縁破壊電界が得られ、ＧａＮ層内の内部応力の低減が促進され、一定組成ＡｌＧａＮ層３０の熱膨張率はシリコン基板の熱膨張率により近い状態に保たれる。

【0047】

図３は、図２が示している第１の連続層の成長中の積層基板の曲率（curvature）Ｃとこれらの層の厚さ（thickness）ｔｈとの間にどのような相関関係があるかを定性的に示す（実線）。比較のために、連続勾配ＡｌＧａＮ層４０を省いた。そうすると、積層基板と同じ曲率を得るためには（点線）、厚いＡｌＧａＮ層３０のＡｌ含有量を低減するまたはＡｌＮ層２０の厚さを低減することが可能であった。しかしながら、そうすると、ＡｌＧａＮバッファの絶縁破壊電圧が低下し、漏れ電流が増加した。

【0048】

図４は、本発明の好ましい実施形態に係る、デバイス層をさらに含むヘテロエピタキシャルウェハの構造を概略的に示す。図４に従うヘテロエピタキシャルウェハは、シリコン基板１と、ＡｌＮ核生成層２と、第１のひずみ蓄積層３と、第１のひずみ保持ブロック４と、第２のひずみ蓄積層５と、第２のひずみ保持ブロック６と、第３のひずみ蓄積層７と、超格子ブロック８と、ＧａＮ層９と、デバイス層１０とで構成されている。

【0049】

図４に従うヘテロエピタキシャルウェハは、たとえば以下の構造を有し得る。
シリコン基板１は、直径１５０ｍｍ、厚さ６７５μｍの（１１１）配向シリコン単結晶ウェハであり、
ＡｌＮ核生成層２の厚さは２００ｎｍであり、
第１のひずみ蓄積層３は、厚さｉ ｎｍのＡｌ_ｚＧａ_１－ｚＮ層であり、
第１のひずみ保持ブロック４は、第１の連続層の３０の繰り返し単位からなり、１単位内の層は、シリコン基板側から順に、厚さｊ ｎｍのＡｌＮ層、厚さｋ ｎｍ（ｋ＞ｊ）のＡｌ_ａＧａ_１－ａＮ層、Ａｌ含有量がａ％からｂ％に減少する厚さｌ ｎｍ（ｌ＜ｋ）の連続勾配ＡｌＧａＮ層、および、厚さｍ ｎｍ（ｍ＞ｌ）のＡｌ_ｂＧａ_１－ｂＮ層であり、１単位の平均Ａｌ含有量はｙであり、ｙ＞ｚであり、
第２のひずみ蓄積層５は、厚さｎ ｎｍのＡｌ_ｘＧａ_１－ｘＮ（ｘ＜ｙ）層であり、
第２のひずみ保持ブロック６は、第２の連続層の４０の繰り返し単位からなり、１単位内の層は、シリコン基板側から順に、厚さｊ ｎｍのＡｌＮ層および厚さｐ ｎｍのＡｌ_ｃＧａ_１－ｃＮ（ｃ＜ｂ）層であり、１単位の平均Ａｌ含有量はｗであり、ｗ＞ｘおよびｗ＜ｙであり、
第３のひずみ蓄積層７は、厚さｑ ｎｍのＡｌ_ｖＧａ_１－ｖＮ（ｖ＜ｗ）層であり、
超格子ブロック８は、層の２５の繰り返し単位からなり、１単位内の層は、シリコン基板側から順に、厚さｊ ｎｍのＡｌＮ層および厚さｒ ｎｍのＡｌ_ｄＧａ_１－ｄＮ（ｄ＜ｃ）層であり、１単位の平均Ａｌ含有量はｕであり、ｕ＞ｖおよびｕ＜ｗであり、
ＧａＮ層９は、炭素濃度４×１０^１９原子／ｃｍ^３、厚さ１０００ｎｍの、炭素がドープされたＧａＮ層９ａと、厚さ４００ｎｍの非意図的にドープされたＧａＮ層９ｂとで構成され、
デバイス層１０は、Ａｌ含有量２５％、厚さ２５ｎｍのＡｌＧａＮバリア層１０ｂと、ｉｎ－ｓｉｔｕ ＳｉＮパシベーション層１０ｂとで構成されている。

【0050】

原則として、ｐドープＡｌＧａＮ（Ａｌ含有量は０～３０％の範囲）をＡｌＧａＮバリア層１０ａの上に積層することにより、ｅモードＨＥＭＴデバイスを作ることができる。

【0051】

図４に従う構造を有し上記組成を有するヘテロエピタキシャルウェハを、本発明に従い米国のVeeco Instruments社から市販されているＭＯＣＶＤツール内で製造することができ、積層基板の曲率を層の成長中にモニタリングした。

【0052】

図５は、シリコン基板上にエピ層を積層する過程における時間ｔにわたる積層基板の曲率Ｃの推移を示し、０は、凹（負）変形と凸（正）変形との間の境界線を表す。

【0053】

ＡｌＧａＮバッファの性能のばらつきを、S. Stoffels他によって記述された方法論（The physical mechanism of dispersion caused by AlGaN/GaN buffers on Si and optimization for low dispersion, 2015 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM), 2015, p. 35.4.1-35.4.4）を用いて測定した。図６に示されるように金属パッド１１を１０μｍの間隔を置いて積層し、２ＤＥＧ（２次元電子ガス（two-dimensional electron gas））抵抗を測定した。－６００Ｖの電圧（Ｖ_{ｓｔｒｅｓｓ}）を電気応力としてＳｉ基板の裏面に１０秒印加した（応力段）。次に、応力を取り除きセンシング電圧１Ｖを２ＤＥＧ抵抗器に対して印加した（リカバリ段）。応力段とリカバリ段との間の切り替え遅延は１ｍｓであった。応力を取り除いた後で測定した値に対する応力なしのデバイスの初期２ＤＥＧ抵抗の比率は、ほぼ１であった。したがって、２ＤＥＧ導電率には変化がなく、ＡｌＧａＮバッファによって生じたばらつきはほぼ０％であった。加えて、ヴァン・デル・パウ（Van der Pauw）ホール測定を図６に示される装置に対して室温で実行したところ、以下の結果、すなわちシート抵抗４２５Ω／ｓｑ、キャリア密度９．７６×１０^１２ｃｍ^－２およびキャリア移動度１４６６ｃｍ^２／Ｖｓが得られた。

【0054】

次に、絶縁破壊性能を調べた。そのために、第３のひずみ蓄積層７、ＡｌＧａＮバリア層１０ａ、ＳｉＮパシベーション層１０ｂおよび金属パッド１１以外図４に従うＡｌＧａＮバッファ構造を有するさらなるヘテロエピタキシャルウェハを作成した。

【0055】

このヘテロエピタキシャルウェハは以下の構造を有していた。
基板１として、直径１５０ｍｍ、厚さ６７５μｍの（１１１）配向シリコン単結晶ウェハ、
厚さ２００ｎｍのＡｌＮ核生成層２、
第１のひずみ蓄積層３、すなわち厚さｉ ｎｍのＡｌ_ｚＧａ_１－ｚＮ層、
第１のひずみ保持ブロック４、すなわち２５の繰り返し単位の第１の連続層であって、１単位内の層は、シリコン基板側から順に、厚さｊ ｎｍのＡｌＮ層、厚さｋ ｎｍのＡｌ_ａＧａ_１－ａＮ層、厚さがｌ ｎｍでありＡｌ含有量がａ％からｂ％に減少する連続勾配ＡｌＧａＮ層、および厚さｍ ｎｍのＡｌ_ｂＧａ_１－ｂＮ層であり、
第２のひずみ蓄積層５、すなわち厚さｎ ｎｍのＡｌ_ｘＧａ_１－ｘＮ層、
第２のひずみ保持ブロック６、すなわち３６の繰り返し単位の第２の連続層であって、１単位内の層は、シリコン基板側から順に、厚さｊ ｎｍのＡｌＮ層および厚さｐ ｎｍのＡｌ_ｃＧａ_１－ｃＮ層であり、
４１の繰り返し単位の層を有する超格子ブロック８であって、１単位内の層は、シリコン基板側から順に、厚さｊ ｎｍのＡｌＮ層および厚さｒ ｎｍのＡｌ_ｄＧａ_１－ｄＮ層、
炭素濃度４×１０^１９原子／ｃｍ^３、厚さ１０００ｎｍの、炭素がドープされたＧａＮ層９ａ、ならびに、
厚さ３００ｎｍの非意図的にドープされたＧａＮ層９ｂである。

【0056】

エピ層の合計厚さは４．５μｍであった（２００ｎｍのＡｌＮ層２、１８００ｎｍの層３、４、５、および６、１２００ｎｍの超格子ブロック８、１０００ｎｍの炭素がドープされたＧａＮ層９ａ、ならびに３００ｎｍの非意図的にドープされたＧａＮ層９ｂ）。

【0057】

比較のために、本発明を表していないヘテロエピタキシャルウェハを成長させた。これと先のヘテロエピタキシャルウェハとの相違は、省略した第１および第２のひずみ保持ブロック４および６に関する相違のみであった。第１および第２のひずみ保持ブロック４および６を補償するために、超格子ブロック８の厚みを大きくした。エピ層の合計厚さは４．５μｍであった（２００ｎｍのＡｌＮ層２、１００ｎｍのＡｌＧａＮ層３、２９００ｎｍの超格子ブロック８、１０００ｎｍの炭素がドープされたＧａＮ層９ａ、および３００ｎｍの非意図的にドープされたＧａＮ層９ｂ）。

【0058】

図７は、５００μｍ×５００μｍのコンタクトパッドをＧａＮ層の上およびシリコン基板の下に設けた後の、本発明に係る先のヘテロエピタキシャルウェハおよび比較例として使用されたヘテロエピタキシャルウェハから得られた絶縁破壊曲線を示す。示されている曲線は、鉛直バイアス電圧（vertical bias voltage）ｖｂｖに対する鉛直漏れ電流（vertical leakage current）ｖｌｃを表す。上側の曲線（ｕｃ）は先のヘテロエピタキシャルウェハから得られたものであり、下側の曲線（ｌｃ）は比較例としてのヘテロエピタキシャルウェハから得られたものである。

【0059】

６００Ｖのバイアスで、先のヘテロエピタキシャルウェハから得られた漏れ電流は、比較例として使用したヘテロエピタキシャルウェハから得られた漏れ電流よりも一桁小さかった。先のヘテロエピタキシャルウェハでは、１５００ＶまではＡｌＧａＮバッファの強力な絶縁破壊は生じなかった。

【符号の説明】

【0060】

使用する参照番号のリスト
１ シリコン基板
２ ＡｌＮ核生成層
３ 第１のひずみ蓄積層
４ 第１のひずみ保持ブロック
５ 第２のひずみ蓄積層
６ 第２のひずみ保持ブロック
７ 第３のひずみ蓄積層
８ 超格子ブロック
９ ＧａＮ層
９ａ 炭素がドープされたＧａＮ層
９ｂ 非意図的にドープされたＧａＮ層
１０ デバイス層
１０ａ ＡｌＧａＮバリア層
１０ｂ ＳｉＮパシベーション層
１１ 金属パッド
２０ ＡｌＮ層
３０ 一定組成ＡｌＧａＮ層
４０ 連続勾配ＡｌＧａＮ層
５０ 薄い一定組成ＡｌＧａＮ層

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】