特許6997945積層配線膜およびその製造方法ならびにＭｏ合金スパッタリングターゲット材

発明の名称　積層配線膜およびその製造方法ならびにＭｏ合金スパッタリングターゲット材

出願人　日立金属株式会社　（識別番号 5083）

　　　　特許公開件数ランキング 105 位（285件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 137 位（202件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6997945

公報発行日　2022年1月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-6997945

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