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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-01-20
(45)【発行日】2022-01-28
(54)【発明の名称】搬送装置および積層体の製造方法
(51)【国際特許分類】
G02B 5/30 20060101AFI20220121BHJP
【ＦＩ】
G02B5/30
【請求項の数】
10
(21)【出願番号】P 2018051386
(22)【出願日】2018-03-19
(65)【公開番号】P2018185506
(43)【公開日】2018-11-22
【審査請求日】2020-12-01
(31)【優先権主張番号】P 2017087491
(32)【優先日】2017-04-26
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000002093
【氏名又は名称】住友化学株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100106518
【弁理士】
【氏名又は名称】松谷 道子
(74)【代理人】
【識別番号】100132252
【弁理士】
【氏名又は名称】吉田 環
(72)【発明者】
【氏名】堀口 司
(72)【発明者】
【氏名】松本 周三
(72)【発明者】
【氏名】井上 寛文
【審査官】横川 美穂
(56)【参考文献】
【文献】特開２００５－１３１９９３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０６－０７１７６０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００１－２６４７４２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０８－２９０８４３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－０５６３９３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－０６２３２１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－０６２９１２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－０４０９１４（ＪＰ，Ａ）
【文献】中国実用新案第２０１６３７９７１（ＣＮ，Ｕ）
【文献】米国特許出願公開第２０１５／０１９０９９５（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０２Ｂ ５／３０
Ｂ２９Ｃ ６５／７８
Ｇ０２Ｆ １／１３
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
枚葉シート状部材を搬送するための搬送装置であって、枚葉シート状部材を載置する第１部材と、
枚葉シート状部材を載置して位置調整するためのアライメントステージと、
枚葉シート状部材を載置して第１の搬送方向に搬送するための第１のベルト状部材と、
第１部材に載置された枚葉シート状部材に対してその上面側から吸引し、枚葉シート状部材を吸引力により保持した状態でアライメントステージ上へ移動させ、吸引停止することにより枚葉シート状部材をアライメントステージに載置する第１の移載機であって、枚葉シート状部材を吸引力により保持しつつ、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材に作用させ得る第１の移載機と、
アライメントステージに載置された枚葉シート状部材の位置情報を確認する位置確認装置と、
位置確認装置によって生成された枚葉シート状部材の位置データに基づいて、該枚葉シート状部材を載置したアライメントステージの動きを制御し、これによって枚葉シート状部材を位置調整する制御部と、
アライメントステージに載置されて位置調整された枚葉シート状部材に対してその上面側から吸引し、枚葉シート状部材を吸引力により保持した状態で第１のベルト状部材上へ移動させ、吸引停止することにより枚葉シート状部材を第１のベルト状部材に載置する第２の移載機とを含む、搬送装置。
【請求項2】
第１の移載機が、周囲雰囲気を吸引可能で、かつ枚葉シート状部材と接触するパッド部を有する複数の吸引パッドであって、所定の面内にて外側へと相互に拡張移動可能な吸引パッドを含む、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項3】
第２の移載機が、周囲雰囲気を吸引可能で、かつ枚葉シート状部材と接触するパッド部を有する複数の吸引パッドを含む、請求項１または２に記載の搬送装置。
【請求項4】
第１の移載機と第２の移載機とが別個または共通の移載機である、請求項１から３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項5】
位置確認装置が、アライメントステージに載置された枚葉シート状部材を撮像して、枚葉シート状部材の位置データを生成する、請求項１から４のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項6】
制御部が、撮像装置によって生成された枚葉シート状部材の画像データから枚葉シート状部材の端部を認識し、該端部に基づいて、枚葉シート状部材を載置したアライメントステージの動きを制御する、請求項１から５のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項7】
制御部によって制御されるアライメントステージの動きが、水平面内での平行移動および／または回転を含む、請求項１から６のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項8】
第１部材が、枚葉シート状部材を載置してアライメントステージ方向に搬送するための第２のベルト状部材である、請求項１から７のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項9】
第１の枚葉シート状部材と第２の枚葉シート状部材とを有する積層体の製造方法であって、請求項１から８のいずれか１項に記載の搬送装置を用いて第１の枚葉シート状部材を搬送すること、および
該第１の枚葉シート状部材と第２の枚葉シート状部材とを貼合すること
を含む、積層体の製造方法。
【請求項10】
枚葉シート状部材と長尺状部材とを有する積層体の製造方法であって、請求項１から８のいずれか１項に記載の搬送装置を用いて枚葉シート状部材を搬送すること、および
該枚葉シート状部材と長尺状部材とを貼合すること
を含む、積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、枚葉シート状部材を搬送するための搬送装置および積層体の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
枚葉シート状部材は、吸着部材、プリント配線基板及び光学部材等、様々な分野で使用されている。例えば、プリント配線基板及び光学部材等の精密機器に用いる枚葉シート状部材においては、枚葉シート状部材の積層、貼合せの際に、位置合わせを行う必要がある。
また、近年においては、薄型の枚葉シート状部材が多用されており、薄型の枚葉シート状部材は、特に、シワ、カールが生じやすい。枚葉シート状部材にシワ、カールなどが生じると、位置合わせの精度を高めることが困難となるだけでなく、作業効率が悪くなり、製品の歩留まりに悪影響が生じるおそれがある。
また、近年においては、薄型の枚葉シート状部材が多用されており、薄型の枚葉シート状部材は、特に、シワ、カールが生じやすい。枚葉シート状部材にシワ、カールなどが生じると、位置合わせの精度を高めることが困難となるだけでなく、作業効率が悪くなり、製品の歩留まりに悪影響が生じるおそれがある。
【0003】
例えば、特許文献１（特開２０１２－２４２７５０号公報）には、光学フィルム等の薄いシート状のものを、気泡及び異物の巻き込みがなく、撓み及びシワを発生させることなく、基板上に貼付することができるフィルム貼付装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２０１２－２４２７５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１に開示されたフィルム貼付装置は、例えば、フィルムの保持部材同士を隔離することによってフィルムに張力を生じさせる。また、特許文献１は保持部材として例えば、静電チャック、真空吸着力を用いることが開示されている。
しかし、静電チャックは、シート状部材が平坦でなければ被吸着物を安定して保持できないことがある。例えば、シワ、撓みが生じたシート状部材は、安定して保持できないことがあり、シワの生じやすい薄型のシート状部材等には、静電チャックは適さないことがある。
また、真空吸着力を用いると、真空装置を要するなど装置が複雑となる。その上、シート状部材の端部までは十分な吸着力が得られず気泡を生じやすい場合もある。さらに、シート状部材に対する吸着力が強くなる傾向があり、薄型のシート状部材等への使用には適さないことがある。
しかし、静電チャックは、シート状部材が平坦でなければ被吸着物を安定して保持できないことがある。例えば、シワ、撓みが生じたシート状部材は、安定して保持できないことがあり、シワの生じやすい薄型のシート状部材等には、静電チャックは適さないことがある。
また、真空吸着力を用いると、真空装置を要するなど装置が複雑となる。その上、シート状部材の端部までは十分な吸着力が得られず気泡を生じやすい場合もある。さらに、シート状部材に対する吸着力が強くなる傾向があり、薄型のシート状部材等への使用には適さないことがある。
【0006】
ここで、プリント配線基板及び光学部材等の精密機器に用いる枚葉シート状部材においては、上述のように、枚葉シート状部材の積層及び貼合せの際に位置合わせを行う必要があり、位置合わせの精度を高め、より効率的に位置合わせを行うことが求められている。
さらに、上述のように、近年においては、枚葉シート状部材の厚さが薄くなっている。例えば、光学積層体に用いる枚葉シート状部材においては、厚さが５０～３００μｍのものがあり、カールおよびシワが生じやすく、枚葉シート状部材の位置合わせを容易に行えず、その上、枚葉シート状部材の角度、位置合わせの精度を出せない場合がある。
さらに、上述のように、近年においては、枚葉シート状部材の厚さが薄くなっている。例えば、光学積層体に用いる枚葉シート状部材においては、厚さが５０～３００μｍのものがあり、カールおよびシワが生じやすく、枚葉シート状部材の位置合わせを容易に行えず、その上、枚葉シート状部材の角度、位置合わせの精度を出せない場合がある。
【0007】
従って、本発明は、枚葉シート状部材を平坦な状態で搬送でき、また、枚葉シート状部材へのシワ、カールの発生を抑制でき、枚葉シート状部材を伸ばすことができ、枚葉シート状部材に存在し得るシワを伸ばすことができ、枚葉シート状部材の位置合わせを容易に行え、その上、高精度に位置合わせを行うことができる搬送装置を提供する。さらに、本発明は、このような搬送装置を用いて枚葉シート状部材を搬送することを含む、積層体の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明は、以下を含む。
［１］枚葉シート状部材を搬送するための搬送装置であって、
枚葉シート状部材を載置する第１部材と、
枚葉シート状部材を載置して位置調整するためのアライメントステージと、
枚葉シート状部材を載置して第１の搬送方向に搬送するための第１のベルト状部材と、
第１部材に載置された枚葉シート状部材に対してその上面側から吸引し、枚葉シート状部材を吸引力により保持した状態でアライメントステージ上へ移動させ、吸引停止することにより枚葉シート状部材をアライメントステージに載置する第１の移載機であって、枚葉シート状部材を吸引力により保持しつつ、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材に作用させ得る第１の移載機と、
アライメントステージに載置された枚葉シート状部材の位置情報を確認する位置確認装置と、
位置確認装置によって生成された枚葉シート状部材の位置データに基づいて、該枚葉シート状部材を載置したアライメントステージの動きを制御し、これによって枚葉シート状部材を位置調整する制御部と、
アライメントステージに載置されて位置調整された枚葉シート状部材に対してその上面側から吸引し、枚葉シート状部材を吸引力により保持した状態で第１のベルト状部材上へ移動させ、吸引停止することにより枚葉シート状部材を第１のベルト状部材に載置する第２の移載機とを含む、搬送装置。
［２］第１の移載機が、周囲雰囲気を吸引可能で、かつ枚葉シート状部材と接触するパッド部を有する複数の吸引パッドであって、所定の面内にて外側へと相互に拡張移動可能な吸引パッドを含む、［１］に記載の搬送装置。
［３］第２の移載機が、周囲雰囲気を吸引可能で、かつ枚葉シート状部材と接触するパッド部を有する複数の吸引パッドを含む、［１］または［２］に記載の搬送装置。
［４］第１の移載機と第２の移載機とが別個または共通の移載機である、［１］から［３］のいずれか１に記載の搬送装置。
［５］位置確認装置が、アライメントステージに載置された枚葉シート状部材を撮像して、枚葉シート状部材の位置データを生成する、［１］から［４］のいずれか１に記載の搬送装置。
［６］制御部が、撮像装置によって生成された枚葉シート状部材の画像データから枚葉シート状部材の端部を認識し、該端部に基づいて、枚葉シート状部材を載置したアライメントステージの動きを制御する、［１］から［５］のいずれか１に記載の搬送装置。
［７］制御部によって制御されるアライメントステージの動きが、水平面内での平行移動および／または回転を含む、［１］から［６］のいずれか１に記載の搬送装置。
［８］第１部材が、枚葉シート状部材を載置してアライメントステージ方向に搬送するための第２のベルト状部材である、［１］から［７］のいずれか１に記載の搬送装置。
［９］第１の枚葉シート状部材と第２の枚葉シート状部材とを有する積層体の製造方法であって、
［１］から［８］のいずれか１に記載の搬送装置を用いて第１の枚葉シート状部材を搬送すること、および
該第１の枚葉シート状部材と第２の枚葉シート状部材とを貼合すること
を含む、積層体の製造方法。
［１０］枚葉シート状部材と長尺状部材とを有する積層体の製造方法であって、
［１］から［８］のいずれか１に記載の搬送装置を用いて枚葉シート状部材を搬送すること、および
該枚葉シート状部材と長尺状部材とを貼合すること
を含む、積層体の製造方法。
［１］枚葉シート状部材を搬送するための搬送装置であって、
枚葉シート状部材を載置する第１部材と、
枚葉シート状部材を載置して位置調整するためのアライメントステージと、
枚葉シート状部材を載置して第１の搬送方向に搬送するための第１のベルト状部材と、
第１部材に載置された枚葉シート状部材に対してその上面側から吸引し、枚葉シート状部材を吸引力により保持した状態でアライメントステージ上へ移動させ、吸引停止することにより枚葉シート状部材をアライメントステージに載置する第１の移載機であって、枚葉シート状部材を吸引力により保持しつつ、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材に作用させ得る第１の移載機と、
アライメントステージに載置された枚葉シート状部材の位置情報を確認する位置確認装置と、
位置確認装置によって生成された枚葉シート状部材の位置データに基づいて、該枚葉シート状部材を載置したアライメントステージの動きを制御し、これによって枚葉シート状部材を位置調整する制御部と、
アライメントステージに載置されて位置調整された枚葉シート状部材に対してその上面側から吸引し、枚葉シート状部材を吸引力により保持した状態で第１のベルト状部材上へ移動させ、吸引停止することにより枚葉シート状部材を第１のベルト状部材に載置する第２の移載機とを含む、搬送装置。
［２］第１の移載機が、周囲雰囲気を吸引可能で、かつ枚葉シート状部材と接触するパッド部を有する複数の吸引パッドであって、所定の面内にて外側へと相互に拡張移動可能な吸引パッドを含む、［１］に記載の搬送装置。
［３］第２の移載機が、周囲雰囲気を吸引可能で、かつ枚葉シート状部材と接触するパッド部を有する複数の吸引パッドを含む、［１］または［２］に記載の搬送装置。
［４］第１の移載機と第２の移載機とが別個または共通の移載機である、［１］から［３］のいずれか１に記載の搬送装置。
［５］位置確認装置が、アライメントステージに載置された枚葉シート状部材を撮像して、枚葉シート状部材の位置データを生成する、［１］から［４］のいずれか１に記載の搬送装置。
［６］制御部が、撮像装置によって生成された枚葉シート状部材の画像データから枚葉シート状部材の端部を認識し、該端部に基づいて、枚葉シート状部材を載置したアライメントステージの動きを制御する、［１］から［５］のいずれか１に記載の搬送装置。
［７］制御部によって制御されるアライメントステージの動きが、水平面内での平行移動および／または回転を含む、［１］から［６］のいずれか１に記載の搬送装置。
［８］第１部材が、枚葉シート状部材を載置してアライメントステージ方向に搬送するための第２のベルト状部材である、［１］から［７］のいずれか１に記載の搬送装置。
［９］第１の枚葉シート状部材と第２の枚葉シート状部材とを有する積層体の製造方法であって、
［１］から［８］のいずれか１に記載の搬送装置を用いて第１の枚葉シート状部材を搬送すること、および
該第１の枚葉シート状部材と第２の枚葉シート状部材とを貼合すること
を含む、積層体の製造方法。
［１０］枚葉シート状部材と長尺状部材とを有する積層体の製造方法であって、
［１］から［８］のいずれか１に記載の搬送装置を用いて枚葉シート状部材を搬送すること、および
該枚葉シート状部材と長尺状部材とを貼合すること
を含む、積層体の製造方法。
【発明の効果】
【0009】
本発明は、枚葉シート状部材を平坦な状態で搬送でき、また、枚葉シート状部材へのシワの発生を抑制でき、枚葉シート状部材に存在し得るシワを伸ばすことができる搬送装置であり、枚葉シート状部材の角度、位置合わせを容易におよび高精度に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】本発明の搬送装置の概略を示す側面図である。
【図2】本発明の搬送装置の概略を示す上面図である。
【図3】本発明の一態様における搬送装置の概略を示す上面図である。
【図4】本発明に係る移載機と枚葉シート状部材の関係を示す概略側面図である。
【図5】本発明の一態様において、移載機における吸引パットと枚葉シート状部材との関係を示す概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
本発明によると、枚葉シート状部材を搬送するための搬送装置であって、
枚葉シート状部材を載置する第１部材と、
枚葉シート状部材を載置して位置調整するためのアライメントステージと、
枚葉シート状部材を載置して第１の搬送方向に搬送するための第１のベルト状部材と、
第１部材に載置された枚葉シート状部材に対してその上面側から吸引し、枚葉シート状部材を吸引力により保持した状態でアライメントステージ上へ移動させ、吸引停止することにより枚葉シート状部材をアライメントステージに載置する第１の移載機であって、枚葉シート状部材を吸引力により保持しつつ、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材に作用させ得る第１の移載機と、
アライメントステージに載置された枚葉シート状部材の位置情報を確認する位置確認装置と
位置確認装置によって生成された枚葉シート状部材の位置データに基づいて、該枚葉シート状部材を載置したアライメントステージの動きを制御し、これによって枚葉シート状部材を位置調整する制御部と、
アライメントステージに載置されて位置調整された枚葉シート状部材に対してその上面側から吸引し、枚葉シート状部材を吸引力により保持した状態で第１のベルト状部材上へ移動させ、吸引停止することにより枚葉シート状部材を第１のベルト状部材に載置する第２の移載機とを含む、搬送装置が提供される。
枚葉シート状部材を載置する第１部材と、
枚葉シート状部材を載置して位置調整するためのアライメントステージと、
枚葉シート状部材を載置して第１の搬送方向に搬送するための第１のベルト状部材と、
第１部材に載置された枚葉シート状部材に対してその上面側から吸引し、枚葉シート状部材を吸引力により保持した状態でアライメントステージ上へ移動させ、吸引停止することにより枚葉シート状部材をアライメントステージに載置する第１の移載機であって、枚葉シート状部材を吸引力により保持しつつ、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材に作用させ得る第１の移載機と、
アライメントステージに載置された枚葉シート状部材の位置情報を確認する位置確認装置と
位置確認装置によって生成された枚葉シート状部材の位置データに基づいて、該枚葉シート状部材を載置したアライメントステージの動きを制御し、これによって枚葉シート状部材を位置調整する制御部と、
アライメントステージに載置されて位置調整された枚葉シート状部材に対してその上面側から吸引し、枚葉シート状部材を吸引力により保持した状態で第１のベルト状部材上へ移動させ、吸引停止することにより枚葉シート状部材を第１のベルト状部材に載置する第２の移載機とを含む、搬送装置が提供される。
【0012】
以下、本発明による、枚葉シート状部材を搬送するための搬送装置について、図面を参照しながら説明する。
【0013】
図１は、本発明の一態様における搬送装置の概略を示す側面図である。図２は、本発明の一態様における搬送装置の概略を示す上面図である。図３は、ある態様における搬送装置の概略を示す上面図である。
図１および図２において、１は搬送装置、１０は枚葉シート状部材、２１は第１部材、３０はアライメントステージ、４１は第１のベルト状部材、５１は第１の移載機、５２は第２の移載機、６０は位置確認装置、７０は制御部、７１はクロスローラーリング（図２）、破線は枚葉シート状部材の移動方向の一例であり、例えば、搬送装置１は、破線の矢印方向および逆方向に沿って移動し得る。アライメントステージ３０における両矢印は、アライメントステージの稼動方向の一例であり、移載機５１および５２における両矢印は移載機の稼動方向の一例である。
また、図３において、図１について説明した符号に加え、符号２２は第２のベルト状部材である。
本発明の搬送装置１は制御部７０を有し、該制御部７０は、例えば、アライメントステージ３０に内蔵されてもよい。
図１および図２において、１は搬送装置、１０は枚葉シート状部材、２１は第１部材、３０はアライメントステージ、４１は第１のベルト状部材、５１は第１の移載機、５２は第２の移載機、６０は位置確認装置、７０は制御部、７１はクロスローラーリング（図２）、破線は枚葉シート状部材の移動方向の一例であり、例えば、搬送装置１は、破線の矢印方向および逆方向に沿って移動し得る。アライメントステージ３０における両矢印は、アライメントステージの稼動方向の一例であり、移載機５１および５２における両矢印は移載機の稼動方向の一例である。
また、図３において、図１について説明した符号に加え、符号２２は第２のベルト状部材である。
本発明の搬送装置１は制御部７０を有し、該制御部７０は、例えば、アライメントステージ３０に内蔵されてもよい。
【0014】
（枚葉シート状部材）
本発明の搬送装置において搬送できる枚葉シート状部材１０は、例えば、吸着部材、プリント配線基板及び光学部材等が挙げられ、薄く、カール、シワ等が生じやすい部材に対して好適に利用できる。ある態様においては、枚葉シート状部材は、光学部材であり、例えば、厚さ５０～５００μｍのものである。枚葉シート状部材の寸法は、例えば、幅３０ｃｍ～１５０ｃｍ、長さ３０ｃｍ～３００ｃｍである。
光学部材は、例えば、位相差フィルム、偏光フィルム、反射防止フィルム、視野角向上フィルム、輝度向上フィルムなどから選択される少なくとも１の光学フィルムを有することができる。光学部材は、これらの光学フィルムの単層構造であってもよく、上記のような光学フィルムを含む、複数のフィルムを積層した複層構造であってもよい。
本発明の搬送装置であれば、例えば、厚さ１２０μｍ以下のシート状部材、および厚さ１２０μｍ以下の多層構造を有する部材のように、カール、シワ、折れ等が生じやすい構成の（積層）部材に対して、安定した搬送が可能である。例えば、偏光フィルムを有する多層構造のシート状部材などであっても、このような顕著な効果を得ることができる。
本発明の搬送装置において搬送できる枚葉シート状部材１０は、例えば、吸着部材、プリント配線基板及び光学部材等が挙げられ、薄く、カール、シワ等が生じやすい部材に対して好適に利用できる。ある態様においては、枚葉シート状部材は、光学部材であり、例えば、厚さ５０～５００μｍのものである。枚葉シート状部材の寸法は、例えば、幅３０ｃｍ～１５０ｃｍ、長さ３０ｃｍ～３００ｃｍである。
光学部材は、例えば、位相差フィルム、偏光フィルム、反射防止フィルム、視野角向上フィルム、輝度向上フィルムなどから選択される少なくとも１の光学フィルムを有することができる。光学部材は、これらの光学フィルムの単層構造であってもよく、上記のような光学フィルムを含む、複数のフィルムを積層した複層構造であってもよい。
本発明の搬送装置であれば、例えば、厚さ１２０μｍ以下のシート状部材、および厚さ１２０μｍ以下の多層構造を有する部材のように、カール、シワ、折れ等が生じやすい構成の（積層）部材に対して、安定した搬送が可能である。例えば、偏光フィルムを有する多層構造のシート状部材などであっても、このような顕著な効果を得ることができる。
【0015】
（第１部材）
枚葉シート状部材１０を載置する第１部材２１は、例えば、ストッカー等、枚葉シート状部材１０を複数層積層して載置できるものであってもよく、ベルト状部材などであってもよい。
ある態様において、第１部材２１は、枚葉シート状部材１０を載置してアライメントステージ方向に搬送するための第２のベルト状部材２２であることができる（例えば、図３参照）。
このように、第１部材２１、例えば第２のベルト状部材２２は、第１のベルト状部材４１よりも上流側に配置される。
枚葉シート状部材１０を載置する第１部材２１は、例えば、ストッカー等、枚葉シート状部材１０を複数層積層して載置できるものであってもよく、ベルト状部材などであってもよい。
ある態様において、第１部材２１は、枚葉シート状部材１０を載置してアライメントステージ方向に搬送するための第２のベルト状部材２２であることができる（例えば、図３参照）。
このように、第１部材２１、例えば第２のベルト状部材２２は、第１のベルト状部材４１よりも上流側に配置される。
【0016】
第２のベルト状部材２２が枚葉シート状部材１０を搬送する場合、第１のベルト状部材４１における枚葉シート状部材１０を搬送する方向と平行となるように、第２のベルト状部材の搬送方向を設けてもよい。
ある態様においては、枚葉シート状部材の光学軸などに応じて、第１のベルト状部材４１における枚葉シート状部材１０を搬送する方向に対して任意の方向、例えば、第１のベルト状部材４１の搬送方向に対して１５°～９０°の角度で交差するように、第２のベルト状部材２２の搬送方向を設けてもよい。
ある態様においては、第２のベルト状部材２２の搬送方向は、第１のベルト状部材４１における枚葉シート状部材１０を搬送する方向に対して垂直となるように（９０°の角度で交差するように）設けてもよい。
本発明の搬送装置であれば、任意の角度で第２のベルト状部材２２の搬送方向を設けた場合においても、枚葉シート状部材１０の位置合わせを高精度に行える。例えば、光学軸を有する枚葉シート状部材１０であっても、本発明の搬送装置は、連続的に枚葉シート状部材１０を搬送でき、シート伸ばし、例えば、枚葉シート状部材１０のシワ、歪みを除去でき、より高精度に枚葉シート状部材１０の角度、位置合わせを行える。その上、枚葉シート状部材１０の位置合わせから第１のベルト状部材４１へと枚葉シート状部材１０を搬送するまでの時間を短縮できる。
ある態様においては、枚葉シート状部材の光学軸などに応じて、第１のベルト状部材４１における枚葉シート状部材１０を搬送する方向に対して任意の方向、例えば、第１のベルト状部材４１の搬送方向に対して１５°～９０°の角度で交差するように、第２のベルト状部材２２の搬送方向を設けてもよい。
ある態様においては、第２のベルト状部材２２の搬送方向は、第１のベルト状部材４１における枚葉シート状部材１０を搬送する方向に対して垂直となるように（９０°の角度で交差するように）設けてもよい。
本発明の搬送装置であれば、任意の角度で第２のベルト状部材２２の搬送方向を設けた場合においても、枚葉シート状部材１０の位置合わせを高精度に行える。例えば、光学軸を有する枚葉シート状部材１０であっても、本発明の搬送装置は、連続的に枚葉シート状部材１０を搬送でき、シート伸ばし、例えば、枚葉シート状部材１０のシワ、歪みを除去でき、より高精度に枚葉シート状部材１０の角度、位置合わせを行える。その上、枚葉シート状部材１０の位置合わせから第１のベルト状部材４１へと枚葉シート状部材１０を搬送するまでの時間を短縮できる。
【0017】
（第１の移載機）
本発明の搬送装置は、第１の移載機５１を有する。この第１の移載機５１は、第１部材２１に載置された枚葉シート状部材１０に対してその上面側から吸引し、枚葉シート状部材１０を吸引力により保持した状態でアライメントステージ３０上へ移動させ、吸引停止することにより枚葉シート状部材１０を開放し、アライメントステージ３０に載置する。第１の移載機５１は、枚葉シート状部材を吸引力により保持しつつ、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材に作用させ得る。
本発明における移載機５１は、枚葉シート状部材を均一な力で伸ばし、搬送できる。
本発明の搬送装置は、第１の移載機５１を有する。この第１の移載機５１は、第１部材２１に載置された枚葉シート状部材１０に対してその上面側から吸引し、枚葉シート状部材１０を吸引力により保持した状態でアライメントステージ３０上へ移動させ、吸引停止することにより枚葉シート状部材１０を開放し、アライメントステージ３０に載置する。第１の移載機５１は、枚葉シート状部材を吸引力により保持しつつ、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材に作用させ得る。
本発明における移載機５１は、枚葉シート状部材を均一な力で伸ばし、搬送できる。
【0018】
ある態様において、第１の移載機５１は、搬送する枚葉シート状部材１０の上面に対置する位置から、枚葉シート状部材１０を吸引する。例えば、厚さ３００μｍ程度の枚葉シート状部材１０の場合、枚葉シート状部材１０を平坦な状態で吸引するために、第１の移載機５１と枚葉シート状部材１０との間隔を０～５ｍｍの範囲に設定し、枚葉シート状部材１０を吸引し得る。このような位置から吸引を行うことで、より効果的に枚葉シート状部材を平坦な状態で搬送でき、シワの発生を抑制できる。
また、枚葉シート状部材１０を吸引力で保持する場合、枚葉シート状部材１０の厚さが５０～５００μｍである場合、吸引力は０．１～５０ｋＰａの範囲、例えば１～２０ｋＰａの範囲内である。このような範囲内の吸引力で、周囲雰囲気を吸引することにより、枚葉シート状部材１０を吸引でき、枚葉シート状部材１０の破損を抑制でき、シワ、カール等の発生も抑制できる。また、薄型の枚葉シート状部材１０においても、効率的に搬送できる。
また、枚葉シート状部材１０を吸引力で保持する場合、枚葉シート状部材１０の厚さが５０～５００μｍである場合、吸引力は０．１～５０ｋＰａの範囲、例えば１～２０ｋＰａの範囲内である。このような範囲内の吸引力で、周囲雰囲気を吸引することにより、枚葉シート状部材１０を吸引でき、枚葉シート状部材１０の破損を抑制でき、シワ、カール等の発生も抑制できる。また、薄型の枚葉シート状部材１０においても、効率的に搬送できる。
【0019】
第１の移載機５１は、枚葉シート状部材１０を吸引力により保持しつつ、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材１０に作用させ得る。
第１の移載機５１は、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材１０に作用させることにより、枚葉シート状部材１０のシワを伸ばし、枚葉シート状部材１０の歪みを除去でき、平坦化を行うことができる。さらに、搬送中に枚葉シート状部材１０がカールすること、軸方向、例えば光学軸がずれた状態で搬送されることを抑制できるので、枚葉シート状部材１０の位置合わせをより高精度に、短時間に行うことができる。
第１の移載機５１は、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材１０に作用させることにより、枚葉シート状部材１０のシワを伸ばし、枚葉シート状部材１０の歪みを除去でき、平坦化を行うことができる。さらに、搬送中に枚葉シート状部材１０がカールすること、軸方向、例えば光学軸がずれた状態で搬送されることを抑制できるので、枚葉シート状部材１０の位置合わせをより高精度に、短時間に行うことができる。
【0020】
ある態様においては、第１の移載機５１は、枚葉シート状部材１０の任意の位置、例えば、各辺に沿う位置、中心部等において、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材１０に作用させることができる。例えば、枚葉シート状部材に弛みが生じることを抑制するために、枚葉シート状部材１０の四隅に加えて、例えば、各辺に沿う任意の位置、枚葉シート状部材１０中心部等において、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材１０に作用させることができる。
【0021】
このように、枚葉シート状部材１０の任意の位置で、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材１０に作用させることができるので、搬送する枚葉シート状部材１０の厚さなどに応じて、枚葉シート状部材１０のシート伸ばしを効果的に行える。ある態様においては、枚葉シート状部材１０の四隅と、各辺の中心付近に、外側へと拡張する力を枚葉シート状部材に作用させることができる。なお、搬送する枚葉シート状部材１０に応じて、外側へと拡張する力を作用させる位置を適宜調整できる。
例えば、枚葉シート状部材１０の四隅に加え、枚葉シート状部材の厚さ、物性などに応じて、複数の吸着パッドを用いて、外側へと拡張する力を枚葉シート状部材に作用させることにより、非常に薄型（例えば、厚さ１２０μｍ以下）の枚葉シート状部材であっても、シワ、撓み、折れを防止できる。
例えば、枚葉シート状部材１０の四隅に加え、複数の吸着パッドを用いて、シワを伸ばした状態で吸着保持した枚葉シート状部材１０を搬送し、枚葉シート状部材１０をアライメントステージ３０の面内で平坦に載置することができる。
このような態様で枚葉シート状部材を搬送すると、例えば、非常に薄型の枚葉シート状部材であっても、シワ、撓み、折れを防止できるだけでなく、高速で枚葉シート状部材の搬送及び載置を行え、作業効率を大きく向上できる。
例えば、枚葉シート状部材１０の四隅に加え、枚葉シート状部材の厚さ、物性などに応じて、複数の吸着パッドを用いて、外側へと拡張する力を枚葉シート状部材に作用させることにより、非常に薄型（例えば、厚さ１２０μｍ以下）の枚葉シート状部材であっても、シワ、撓み、折れを防止できる。
例えば、枚葉シート状部材１０の四隅に加え、複数の吸着パッドを用いて、シワを伸ばした状態で吸着保持した枚葉シート状部材１０を搬送し、枚葉シート状部材１０をアライメントステージ３０の面内で平坦に載置することができる。
このような態様で枚葉シート状部材を搬送すると、例えば、非常に薄型の枚葉シート状部材であっても、シワ、撓み、折れを防止できるだけでなく、高速で枚葉シート状部材の搬送及び載置を行え、作業効率を大きく向上できる。
【0022】
ある態様において、枚葉シート状部材１０に作用させる外側へ拡張する力は、枚葉シート状部材１０に捻じれ、弛み、シワが生じない大きさを示す。例えば、後述のように、第１の移載機５１が吸引パットを有する場合、枚葉シート状部材１０の状態に応じて、吸引パット毎に拡張させる力を相違させてもよく、同程度の力が作用するように、吸引パットにおける吸引力を調整してもよい。例えば、光学軸を有する枚葉シート状部材１０を搬送する場合、反りが生じないように枚葉シート状部材１０を搬送できる。
【0023】
第１の移載機５１は、第１部材２１に載置された枚葉シート状部材１０に対してその上面側から吸引し、枚葉シート状部材１０を吸引力により保持した状態でアライメントステージ３０上へ移動させる。ある態様においては、第１の移載機５１は、周囲雰囲気を吸引可能で、かつ枚葉シート状部材１０と接触するパッド部を有する複数の吸引パッドであって、所定の面内にて外側へと相互に拡張移動可能な吸引パッドを含む。
【0024】
例えば、図４は、本発明の一態様における、移載機と枚葉シート状部材の関係を示す概略側面図であり、図５は、本発明の一態様における、移載機側から観察した、吸引パットと枚葉シート状部材との関係を示す概略平面図である。
図４および図５において、符号５１は第１の移載機（５２は第２の移載機）であり、符号８１は吸引パットであり、図５における矢印は、外側へと拡張する力を示す。
ある態様において、例えば、図５に示すように、外側へと拡張する力を、吸引パットの部位毎に変化させてもよい。これにより、より効果的に枚葉シート状部材を伸ばすことができ、シワ、歪みを除去できる。
図４および図５において、符号５１は第１の移載機（５２は第２の移載機）であり、符号８１は吸引パットであり、図５における矢印は、外側へと拡張する力を示す。
ある態様において、例えば、図５に示すように、外側へと拡張する力を、吸引パットの部位毎に変化させてもよい。これにより、より効果的に枚葉シート状部材を伸ばすことができ、シワ、歪みを除去できる。
【0025】
吸引パット８１を有することで、枚葉シート状部材１０を吸引力により保持しつつ、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材１０に効果的に作用させることができる。さらに、例えば、薄型の枚葉シート状部材１０を吸引し保持する間、枚葉シート状部材１０の破損、カールの発生、捻れを抑制できる。また、複数個の吸引パットを有することにより、吸引パット毎に吸引力を変化させることができ、例えば、シワの生じた部位に対して重点的に外側へと拡張する力を作用させることができる。また、枚葉シート状部材１０をより平坦な状態で搬送できる。
【0026】
ある態様において、第１の移載機５１がパット部、例えば、吸引パット８１を有することにより、本発明の搬送装置は、より効果的に枚葉シート状部材１０を平坦な状態で搬送でき、また、枚葉シート状部材へのシワ、カールの発生を抑制でき、枚葉シート状部材を伸ばすことができ、枚葉シート状部材１０に存在し得るシワを伸ばすことができる。アライメントステージに搬送する際に、このような効果が得られるので、本発明に係るアライメントステージを用いて、枚葉シート状部材の位置合わせを容易に行え、その上、高精度に位置合わせを行うことができる。
このような態様においても、上記範囲内の吸引力を適用できる。
このような態様においても、上記範囲内の吸引力を適用できる。
【0027】
吸引パットの形状は特に限定されない。例えば、吸引パットの吸引部における形状は、矩形、楕円形、円形等があり、吸引力を均等に付与し安定した保持力をより効果的に保つことができるので、例えば円形である。
このような態様において、吸引パットの吸引部の寸法は、例えば、５～８０ｍｍの直径を有する。
吸引パットの素材は、例えば可撓性を有する素材であり、可撓性部材は、枚葉シート状部材を破損させることがなく、効果的にシワを伸ばすことができる。例えば、ニトリルゴム、シリコンゴム、天然ゴム及びフッ素ゴム等を含む吸引パットである。
このような態様において、吸引パットの吸引部の寸法は、例えば、５～８０ｍｍの直径を有する。
吸引パットの素材は、例えば可撓性を有する素材であり、可撓性部材は、枚葉シート状部材を破損させることがなく、効果的にシワを伸ばすことができる。例えば、ニトリルゴム、シリコンゴム、天然ゴム及びフッ素ゴム等を含む吸引パットである。
【0028】
ある態様においては、第１の移載機５１は、例えば、水平面内での平行移動および／または回転できる。例えば、第１部材からアライメントステージ３０へと枚葉シート状部材１０を搬送する際に、予め第１のベルト状部材４１の搬送方向に沿うよう、軸方向、例えば光学軸方向を修正した枚葉シート状部材１０を、アライメントステージ３０に載置してもよい。これにより、アライメントステージにおける位置調整をより効率的に行える。
【0029】
（アライメントステージ）
本発明の搬送装置１は、枚葉シート状部材１０を載置して位置調整するためのアライメントステージ３０を有する。また、アライメントステージ３０に載置された枚葉シート状部材１０の位置情報を確認する位置確認装置６０と、位置確認装置６０によって生成された枚葉シート状部材１０の位置データに基づいて、該枚葉シート状部材１０を載置したアライメントステージ３０の動きを制御し、これによって枚葉シート状部材１０を位置調整する制御部７０とを有する。
本発明の搬送装置１は、枚葉シート状部材１０を載置して位置調整するためのアライメントステージ３０を有する。また、アライメントステージ３０に載置された枚葉シート状部材１０の位置情報を確認する位置確認装置６０と、位置確認装置６０によって生成された枚葉シート状部材１０の位置データに基づいて、該枚葉シート状部材１０を載置したアライメントステージ３０の動きを制御し、これによって枚葉シート状部材１０を位置調整する制御部７０とを有する。
【0030】
本発明の搬送装置においては、第１の移載機５１により搬送された枚葉シート状部材１０、例えばシート伸ばしがされた枚葉シート状部材１０の位置合わせを、アライメントステージ３０で行える。第１の移載機５１により、枚葉シート状部材１０がシート伸ばしされた状態で搬送されるので、例えば、薄型の枚葉シート状部材１０の角度、位置合わせを、アライメントステージ３０においてより高精度に行える。
【0031】
また、枚葉シート状部材１０をアライメントステージ３０上に載置して位置合わせを行えるので、薄型の枚葉シート状部材１０であっても、安定した状態で位置合わせを行えるので、高精度に角度、位置合わせを行える。
【0032】
ある態様においては、アライメントステージ３０は、枚葉シート状部材１０に対してその下面側から吸引し、枚葉シート状部材を吸引力によりアライメントステージ上に保持する複数の吸引孔を備える。吸引孔を用いて、枚葉シート状部材１０を吸引力によりアライメントステージ３０上に保持することで、制御部７０により枚葉シート状部材の載置位置を微修正する間に、枚葉シート状部材１０がずれることを抑制でき、また、シワ、カール、折れ等の発生を抑制できる。
吸引力は、第１の移載機５１からアライメントステージ３０に枚葉シート状部材１０が載置された後、枚葉シート状部材１０の載置位置を微修正する間に作用してもよい。また、第２の移載機５２を介して枚葉シート状部材１０が搬送されるまで、吸引力は作用してもよい。
吸引力は、第１の移載機５１からアライメントステージ３０に枚葉シート状部材１０が載置された後、枚葉シート状部材１０の載置位置を微修正する間に作用してもよい。また、第２の移載機５２を介して枚葉シート状部材１０が搬送されるまで、吸引力は作用してもよい。
【0033】
アライメントステージ３０における吸引力は、例えば０．０１～５０ｋＰａであり、ある態様では０．１～２０ｋＰａである。このような範囲で吸引力を設定することにより、移載機（５１，５２）とアライメントステージ３０との間で、枚葉シート状部材１０の移動を効率よく行え、また、枚葉シート状部材１０のカール、シワ、折れ等の発生をより効果的に抑制できる。
【0034】
また、アライメントステージ３０は、第１の移載機５１同様、枚葉シート状部材１０を吸引力により保持しつつ、枚葉シート状部材上に生じたシワ、カールまたは歪みを除去するように、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材１０に作用させてもよい。吸引力による外側へと拡張する力は、アライメントステージ上に配置される複数の吸引孔において、アライメントステージ３０の水平面内における枚葉シート状部材１０の配置場所に応じて、その吸引のタイミングを変えることによって発生させることができる。例えば、枚葉シート状部材１０の中央部に位置する吸引孔から先に吸引し、他の吸引孔からの吸引を枚葉シート状部材１０の外周部にむかって順次施すことにより、枚葉シート状部材１０に対し外側へ拡張する様に力を生じさせることができる。これにより、さらに良好に、および、より効果的に枚葉シート状部材１０に生じたシワ、カールまたは歪みを除去できる。
【0035】
本発明に係るアライメントステージ３０は、以下の位置確認装置６０と制御部７０により、枚葉シート状部材１０の角度、位置合わせを高精度に行える。
【0036】
（位置確認装置）
位置確認装置６０は、アライメントステージ３０に載置された枚葉シート状部材１０の位置情報を確認する装置である。
例えば、図１に示されるように、位置確認装置６０は、アライメントステージ３０に載置された枚葉シート状部材１０の位置情報を確認できる任意の位置に配置でき、また、位置情報を確認する手段に応じて、任意の位置に配置できる。
例えば、搬送する枚葉シート状部材の種類、構造に応じて、位置確認装置６０の位置確認手段を選択できる。また、要求される角度、位置合わせの精度に応じて、本発明の搬送装置は、複数の位置確認装置６０を有してもよい。
位置確認装置６０は、アライメントステージ３０に載置された枚葉シート状部材１０の位置情報を確認する装置である。
例えば、図１に示されるように、位置確認装置６０は、アライメントステージ３０に載置された枚葉シート状部材１０の位置情報を確認できる任意の位置に配置でき、また、位置情報を確認する手段に応じて、任意の位置に配置できる。
例えば、搬送する枚葉シート状部材の種類、構造に応じて、位置確認装置６０の位置確認手段を選択できる。また、要求される角度、位置合わせの精度に応じて、本発明の搬送装置は、複数の位置確認装置６０を有してもよい。
【0037】
ある態様においては、アライメントステージ３０に載置された枚葉シート状部材１０の位置情報を確認する位置確認装置６０は、例えば、アライメントステージ３０に載置された枚葉シート状部材１０を撮像して、枚葉シート状部材１０の位置データ、例えば画像データを生成し、位置確認する。
位置確認装置６０は、枚葉シート状部材１０の端部、例えば端辺の位置情報を確認できる。
ある態様においては、枚葉シート状部材１０における少なくとも一辺の位置を確認してもよく、枚葉シート状部材の軸配置などに応じて、軸方向に沿う少なくとも一辺の位置を確認してもよく、および、少なくとも隣接する二辺の位置を確認してもよい。
また、枚葉シート状部材の隅部の少なくとも１つの位置情報を確認してもよい。ある態様においては、位置確認装置６０は、例えば、少なくとも枚葉シート状部材１０における２つの隅部の位置、例えば、枚葉シート状部材１０の対角線上に位置する隅部の位置を確認することで、より高精度に位置情報を取得できる。
位置確認装置６０は、枚葉シート状部材１０の端部、例えば端辺の位置情報を確認できる。
ある態様においては、枚葉シート状部材１０における少なくとも一辺の位置を確認してもよく、枚葉シート状部材の軸配置などに応じて、軸方向に沿う少なくとも一辺の位置を確認してもよく、および、少なくとも隣接する二辺の位置を確認してもよい。
また、枚葉シート状部材の隅部の少なくとも１つの位置情報を確認してもよい。ある態様においては、位置確認装置６０は、例えば、少なくとも枚葉シート状部材１０における２つの隅部の位置、例えば、枚葉シート状部材１０の対角線上に位置する隅部の位置を確認することで、より高精度に位置情報を取得できる。
【0038】
このように、本発明においては、位置確認装置６０を用いて、枚葉シート状部材１０の位置情報を確認することにより、枚葉シート状部材１０の角度、位置合わせを高精度に行え、例えば、軸方向を高精度に合わせることができる。
また、本発明の搬送装置においては、第１の移載機５１により枚葉シート状部材１０を搬送し、本発明に係るアライメントステージ３０を有することにより、枚葉シート状部材１０にアライメントマークを付さなくとも角度、位置合わせを高精度に行える。このため、例えば、積層体の製造に要する工程を簡略化でき、タクトタイムを減少できる。もちろん、所望により、枚葉シート状部材１０にアライメントマークを付してもよい。
また、本発明の搬送装置においては、第１の移載機５１により枚葉シート状部材１０を搬送し、本発明に係るアライメントステージ３０を有することにより、枚葉シート状部材１０にアライメントマークを付さなくとも角度、位置合わせを高精度に行える。このため、例えば、積層体の製造に要する工程を簡略化でき、タクトタイムを減少できる。もちろん、所望により、枚葉シート状部材１０にアライメントマークを付してもよい。
【0039】
ある態様において、位置確認装置６０は、アライメントステージ３０に載置された枚葉シート状部材１０を撮像して、枚葉シート状部材１０の位置データを生成する。このような位置確認装置６０として、半導体素子が含まれる。例えば、ＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサ等、このようなイメージセンサを内蔵する、ビデオカメラ、デジタルカメラ、検出器などが挙げられる。
このような位置確認装置６０は、枚葉シート状部材１０と接触することなく位置確認を行えるので、薄型の枚葉シート状部材１０の破損、カール、傷の発生等を防止できる。また、枚葉シート状部材１０に接触すること無く位置確認を行えるので、例えば、枚葉シート状部材１０が光学特性を有する場合、位置確認時に光学特性を損ねることがない。
このような位置確認装置６０は、枚葉シート状部材１０と接触することなく位置確認を行えるので、薄型の枚葉シート状部材１０の破損、カール、傷の発生等を防止できる。また、枚葉シート状部材１０に接触すること無く位置確認を行えるので、例えば、枚葉シート状部材１０が光学特性を有する場合、位置確認時に光学特性を損ねることがない。
【0040】
本発明の搬送装置においては、第１の移載機により搬送された枚葉シート状部材１０は、シート伸ばしがされた状態でアライメントステージ３０に搬送されるので、このような非接触式の位置確認装置６０であっても、枚葉シート状部材の端辺等の位置を正確に確認できる。また、薄型の枚葉シート状部材の角度、位置合わせを、アライメントステージにおいてより高精度に行える。
【0041】
ある態様において、位置確認装置６０は、物理的に枚葉シート状部材１０にプローブを接触させるプローブ装置であってもよい。例えば、搬送する枚葉シート状部材１０に応じて、プローブ装置を選択できる。例えば、対象物(枚葉シート状部材１０)にコシがある場合、プローブ接触型の位置確認装置６０であってもよい。また、光電センサを用いて、枚葉シート状部材１０の位置確認を行ってもよい。
【0042】
（制御部）
本発明の搬送装置１は、位置確認装置６０により、生成された枚葉シート状部材１０の位置データに基づいて、該枚葉シート状部材１０を載置したアライメントステージ３０の動きを制御し、これによって枚葉シート状部材１０を位置調整する制御部を有する。
本発明の搬送装置１は、位置確認装置６０により、生成された枚葉シート状部材１０の位置データに基づいて、該枚葉シート状部材１０を載置したアライメントステージ３０の動きを制御し、これによって枚葉シート状部材１０を位置調整する制御部を有する。
【0043】
制御部７０は、予め記録された基準から、枚葉シート状部材１０の位置ずれを補正できる。予め記録された基準は、目的に応じて適宜設定でき、例えば、端辺の位置情報、少なくとも１辺の位置情報などを基準として設定できる。
【0044】
例えば、制御部７０によって制御されるアライメントステージの動きは、水平面内での平行移動および／または回転を含む。例えば、クロスローラーリングなどにより、このような動きを得ることができる。
このような動きを制御部７０が制御することで、本発明に係るアライメントステージ３０に載置された枚葉シート状部材１０をより高精度に位置合わせできる。
このような動きを制御部７０が制御することで、本発明に係るアライメントステージ３０に載置された枚葉シート状部材１０をより高精度に位置合わせできる。
【0045】
ある態様において、制御部７０は、撮像装置によって生成された枚葉シート状部材１０の画像データから枚葉シート状部材１０の端部を認識し、該端部に基づいて、枚葉シート状部材１０を載置したアライメントステージ３０の動きを制御する。
このような過程を経てアライメントステージの動きを制御することにより、より短時間かつ高精度に、枚葉シート状部材１０の位置合わせを行える。また、枚葉シート状部材１０と接触することなく位置確認および位置合わせを行えるので、例えば、薄型の枚葉シート状部材１０であっても、枚葉シート状部材１０の破損、カール、傷の発生等を防止できる。
このような過程を経てアライメントステージの動きを制御することにより、より短時間かつ高精度に、枚葉シート状部材１０の位置合わせを行える。また、枚葉シート状部材１０と接触することなく位置確認および位置合わせを行えるので、例えば、薄型の枚葉シート状部材１０であっても、枚葉シート状部材１０の破損、カール、傷の発生等を防止できる。
【0046】
例えば、制御部７０においては、枚葉シート状部材１０を任意の角度、例えば、０～９０°の範囲で回転させることができ、水平方向の移動は、０．１～３０ｍｍの範囲内で移動できる。このように、要求される態様に応じて制御部７０は枚葉シート状部材１０の角度、位置を調整できる。
ある態様において、基準となる位置に対して、水平面内における回転角度のずれは、０．０１～０．０５°の範囲内、例えば、０．０３～０．０５°の範囲内である。また、基準となる位置に対して、水平方向におけるずれ（ＸＹ）方向は、０．２～１．０ｍｍの範囲内である。このように、高い精度で枚葉シート状部材１０の角度、位置を調整できる。
ある態様において、基準となる位置に対して、水平面内における回転角度のずれは、０．０１～０．０５°の範囲内、例えば、０．０３～０．０５°の範囲内である。また、基準となる位置に対して、水平方向におけるずれ（ＸＹ）方向は、０．２～１．０ｍｍの範囲内である。このように、高い精度で枚葉シート状部材１０の角度、位置を調整できる。
【0047】
（第２の移載機）
本発明の搬送装置１は、図１～図３に示されるように、第２の移載機５２を有してもよい。第２の移載機５２は、アライメントステージ３０に載置されて位置調整された枚葉シート状部材１０に対してその上面側から吸引し、枚葉シート状部材１０を吸引力により保持した状態で第１のベルト状部材上へ移動させ、吸引停止することにより枚葉シート状部材１０を第１のベルト状部材４１に載置する。
本発明の搬送装置１は、図１～図３に示されるように、第２の移載機５２を有してもよい。第２の移載機５２は、アライメントステージ３０に載置されて位置調整された枚葉シート状部材１０に対してその上面側から吸引し、枚葉シート状部材１０を吸引力により保持した状態で第１のベルト状部材上へ移動させ、吸引停止することにより枚葉シート状部材１０を第１のベルト状部材４１に載置する。
【0048】
ある態様において、第２の移載機５２は、搬送する枚葉シート状部材１０の上面に対置する位置から、枚葉シート状部材１０を吸引する。また、第２の移載機５２は、周囲雰囲気を吸引可能である。第２の移載機５２は、枚葉シート状部材１０を平坦な状態で搬送でき、シワの発生を抑制できる。また、枚葉シート状部材１０を吸引力で保持する場合、枚葉シート状部材１０の厚さが５０～５００μｍである場合、吸引力は０．０１～５０ｋＰａの範囲、例えば０．１～２０ｋＰａの範囲内である。このような範囲内の吸引力で吸引することにより、枚葉シート状部材１０の破損を抑制でき、シワ、カールの発生も抑制できる。
第２の移載機５２においては、アライメントステージ３０において調整した軸方向がずれないよう、枚葉シート状部材１０をより高精度に搬送できる必要があり、本発明の搬送装置であれば、このような要求を満たすことができる。
さらに、第１の移載機５１と併用して、第２の移載機５２を有することにより、それぞれ独立して枚葉シート状部材１０を搬送できるので、タクトタイムを短縮できる。
ある態様において、第１の移載機の吸引力と、第２の移載機の吸引力は、同程度であり得る。
第２の移載機５２においては、アライメントステージ３０において調整した軸方向がずれないよう、枚葉シート状部材１０をより高精度に搬送できる必要があり、本発明の搬送装置であれば、このような要求を満たすことができる。
さらに、第１の移載機５１と併用して、第２の移載機５２を有することにより、それぞれ独立して枚葉シート状部材１０を搬送できるので、タクトタイムを短縮できる。
ある態様において、第１の移載機の吸引力と、第２の移載機の吸引力は、同程度であり得る。
【0049】
第２の移載機５２は、枚葉シート状部材１０を吸引力により保持しつつ、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材に作用させてもよい。ある態様において、第２の移載機５２は、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材１０に作用させる。
このような外側へと拡張する力を作用させることにより、枚葉シート状部材１０のシワ伸ばし、平坦化を行うことができ、さらに、搬送中に枚葉シート状部材１０がカールすることを抑制できるので、例えば、後の貼合工程を効率よく進めることができる。また、アライメントステージ３０において行った角度、位置合わせした枚葉シート状部材１０の軸方向をずらすことなく、搬送できる。
このような外側へと拡張する力を作用させることにより、枚葉シート状部材１０のシワ伸ばし、平坦化を行うことができ、さらに、搬送中に枚葉シート状部材１０がカールすることを抑制できるので、例えば、後の貼合工程を効率よく進めることができる。また、アライメントステージ３０において行った角度、位置合わせした枚葉シート状部材１０の軸方向をずらすことなく、搬送できる。
【0050】
ある態様においては、第２の移載機５２は、枚葉シート状部材１０の四隅、ある態様では、枚葉シート状部材１０の任意の位置、例えば、枚葉シート状部材１０の四隅に加え、各辺に沿う位置、中心部等においても、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材１０に作用させることができる。このように、枚葉シート状部材１０の任意の位置でその面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材１０に作用させることができるので、搬送するシートの状態に応じて、枚葉シート状部材１０のシワ伸ばしを効果的に行える。なお、搬送する枚葉シート状部材１０に応じて、外側へと拡張する力を作用させる位置を適宜調整できる。ある態様においては、第２の移載機５２は、上述した第１の移載機５１と同一の仕様であってもよく、同様の作用、効果を有し得る。
【0051】
ある態様において、外側へ拡張する力は、枚葉シート状部材１０に捻じれ、弛み、シワが生じない大きさで作用する。例えば、第２の移載機５２が吸引パットを有する場合、枚葉シート状部材１０の形態等に応じて、吸引パット毎に拡張させる力を相違させてもよく、同程度の力が作用するように、吸引パットにおける吸引力を調整してもよい。
【0052】
ある態様においては、第２の移載機５２は、周囲雰囲気を吸引可能で、かつ枚葉シート状部材と接触するパッド部を有する複数の吸引パッドを含む。例えば、所定の面内にて外側へと相互に拡張移動可能な吸引パッドを含む。
【0053】
吸引パットを有することで、枚葉シート状部材１０を吸引力により保持しつつ、その面内にて外側へと拡張する力を枚葉シート状部材１０に効果的に作用させることができる。さらに、例えば、薄型の枚葉シート状部材１０を吸引し保持する間、枚葉シート状部材１０の破損、カールの発生、捻れを抑制できる。また、複数個の吸引パットを有することにより、吸引パット毎に吸引力を変化させることができ、例えば、シワの生じた部位に対して重点的に外側へと拡張する力を作用させることができる。また、枚葉シート状部材１０をより平坦な状態で搬送できる。
【0054】
ある態様において、第２の移載機５２がパット部、例えば、図４および５で示されるような吸引パット８１を有することにより、本発明の搬送装置は、より効果的に枚葉シート状部材１０を平坦な状態で搬送できる。さらに、枚葉シート状部材へのシワ、カールの発生を抑制でき、枚葉シート状部材を伸ばすことができ、枚葉シート状部材１０に存在し得るシワを伸ばすことができる。例えば、アライメントステージ３０から第１のベルト状部材４１に枚葉シート状部材１０を搬送する際に、このような効果が得られる。このように、本発明の搬送装置であれば、本発明に係るアライメントステージ３０を用いて、枚葉シート状部材の位置合わせを行ったのち、アライメントステージ３０で得られた位置合わせの高い精度を保った状態で、第１のベルト状部材４１に枚葉シート状部材１０を搬送できる。
【0055】
吸引パットの形状は特に限定されない。例えば、吸引パットの吸引部における形状は、矩形、楕円形、円形等があり、吸引力を均等に付与し安定した保持力をより効果的に保つことができるので、例えば円形である。
このような態様において、吸引パットの吸引部の寸法は、例えば、５～８０ｍｍの直径を有する。
吸引パットの素材は、例えば可撓性を有する素材であり、可撓性部材であることにより、枚葉シート状部材を破損させることがなく、効果的にシワを伸ばすことができる。例えば、ニトリルゴム、シリコンゴム、天然ゴム及びフッ素ゴム等を含む吸引パットである。
このような態様において、吸引パットの吸引部の寸法は、例えば、５～８０ｍｍの直径を有する。
吸引パットの素材は、例えば可撓性を有する素材であり、可撓性部材であることにより、枚葉シート状部材を破損させることがなく、効果的にシワを伸ばすことができる。例えば、ニトリルゴム、シリコンゴム、天然ゴム及びフッ素ゴム等を含む吸引パットである。
【0056】
ある態様において、第１の移載機と第２の移載機とが別個または共通の移載機である。第１の移載機と第２の移載機とが別個の態様においては、例えば、図２および図３に示すように、本発明の搬送装置は、各々独立した第１の移載機５１と第２の移載機５２を有する。
一方、第１の移載機５１と第２の移載機５２とが共通の移載機である態様においては、例えば図１に示すように、１つの移載機が第１の移載機と第２の移載機として作動する。この態様において、例えば、第１の移載機５１としての搬送と、第２の移載機としての搬送とで、吸引力、回転の有無などの条件に違いを設ける場合、各移載機において適切な吸引力等を発揮できるように、コンピュータ制御などにより各種条件を調整できる。
一方、第１の移載機５１と第２の移載機５２とが共通の移載機である態様においては、例えば図１に示すように、１つの移載機が第１の移載機と第２の移載機として作動する。この態様において、例えば、第１の移載機５１としての搬送と、第２の移載機としての搬送とで、吸引力、回転の有無などの条件に違いを設ける場合、各移載機において適切な吸引力等を発揮できるように、コンピュータ制御などにより各種条件を調整できる。
【0057】
（第１のベルト状部材）
本発明の搬送装置１は、図１、図２および図３に示すように、第１のベルト状部材４１を有する。第１のベルト状部材４１は、アライメントステージ３０から搬送された枚葉シート状部材１０を載置して、第１の搬送方向に搬送する。ある態様において、第１の搬送方向は、アライメントステージ３０から、他の工程に向かって進む方向であり、例えば、貼合ロール方向であり得る。
本発明の搬送装置１は、図１、図２および図３に示すように、第１のベルト状部材４１を有する。第１のベルト状部材４１は、アライメントステージ３０から搬送された枚葉シート状部材１０を載置して、第１の搬送方向に搬送する。ある態様において、第１の搬送方向は、アライメントステージ３０から、他の工程に向かって進む方向であり、例えば、貼合ロール方向であり得る。
【0058】
第１のベルト状部材４１は、当該技術分野において公知のものを用いてもよい。
ある態様において、第１のベルト状部材４１は、厚さ方向に貫通した孔を複数個有し、第１のベルト状部材に対して、枚葉シート状部材が載置される側と反対側に配置される吸引部を介して周囲雰囲気を吸引することにより、ベルト状部材の孔を通じた吸引力で枚葉シート状部材をベルト状部材に対して保持する態様である。
第１のベルト状部材４１における吸引力は、枚葉シート状部材の少なくとも２つの領域において吸引力が相違するような範囲で設定してもよい。例えば、吸引力は、０．０１～５０ｋＰａの範囲内であってもよく、上流側から下流側に向かって、０．０２～５０ｋＰａの範囲内で吸引力が変化してもよい。
ある態様において、第１のベルト状部材４１は、厚さ方向に貫通した孔を複数個有し、第１のベルト状部材に対して、枚葉シート状部材が載置される側と反対側に配置される吸引部を介して周囲雰囲気を吸引することにより、ベルト状部材の孔を通じた吸引力で枚葉シート状部材をベルト状部材に対して保持する態様である。
第１のベルト状部材４１における吸引力は、枚葉シート状部材の少なくとも２つの領域において吸引力が相違するような範囲で設定してもよい。例えば、吸引力は、０．０１～５０ｋＰａの範囲内であってもよく、上流側から下流側に向かって、０．０２～５０ｋＰａの範囲内で吸引力が変化してもよい。
【0059】
（積層体の製造方法）
本発明の別の態様によると、第１の枚葉シート状部材と第２の枚葉シート状部材とを有する積層体の製造方法であって、上記本発明に係る搬送装置を用いて、第１の枚葉シート状部材を搬送すること、および該第１の枚葉シート状部材と第２の枚葉シート状部材とを貼合することを含む、積層体の製造方法が提供される。
別の態様においては、枚葉シート状部材と長尺状部材とを有する積層体の製造方法であって、上記本発明に係る搬送装置を用いて、枚葉シート状部材を搬送すること、および該枚葉シート状部材と長尺状部材とを貼合することを含む、積層体の製造方法が提供される。
本発明の別の態様によると、第１の枚葉シート状部材と第２の枚葉シート状部材とを有する積層体の製造方法であって、上記本発明に係る搬送装置を用いて、第１の枚葉シート状部材を搬送すること、および該第１の枚葉シート状部材と第２の枚葉シート状部材とを貼合することを含む、積層体の製造方法が提供される。
別の態様においては、枚葉シート状部材と長尺状部材とを有する積層体の製造方法であって、上記本発明に係る搬送装置を用いて、枚葉シート状部材を搬送すること、および該枚葉シート状部材と長尺状部材とを貼合することを含む、積層体の製造方法が提供される。
【0060】
第１の枚葉シート状部材を、本発明の搬送装置を用いて搬送することにより、第１の枚葉シート状部材を伸ばした状態で搬送でき、シワを伸ばし、平坦にできる。さらに、第１の枚葉シート状部材のカール等に影響されることなく、角度、位置合わせを行え、第１の枚葉シート状部材と、第２の枚葉シート状部材との貼合を高精度に行える。
ある態様においては、第２の枚葉シート状部材および長尺状部材は、特に限定されず、例えば、セパレートフィルム、保護フィルム、光学部材であることができる。
本発明の製造方法によると、薄型（例えば、厚さ５０～３００μｍ）の枚葉シート状部材を、高い精度で角度、位置合わせを行え、貼合できるので、有する機能を発揮でき、歩留まりのよい積層体を製造できる。
ある態様においては、第２の枚葉シート状部材および長尺状部材は、特に限定されず、例えば、セパレートフィルム、保護フィルム、光学部材であることができる。
本発明の製造方法によると、薄型（例えば、厚さ５０～３００μｍ）の枚葉シート状部材を、高い精度で角度、位置合わせを行え、貼合できるので、有する機能を発揮でき、歩留まりのよい積層体を製造できる。
【産業上の利用可能性】
【0061】
本発明は、枚葉シート状部材を伸ばすことができ、平坦な状態で搬送でき、枚葉シート状部材の位置合わせを容易におよび高精度に行うことができる搬送装置を提供する。また、本発明の搬送装置は、枚葉シート状部材へのシワの発生、カールの発生を抑制でき、枚葉シート状部材に存在するシワを伸ばすことができる搬送装置である。さらに、本発明は、このような搬送装置を用いて枚葉シート状部材を搬送することを含む、積層体の製造方法を提供する。
【符号の説明】
【0062】
１ 搬送装置
１０ 枚葉シート状部材
２１ 第１部材
２２ 第２のベルト状部材
３０ アライメントステージ
４１ 第１のベルト状部材
５１ 第１の移載機
５２ 第２の移載機
６０ 位置確認装置
７０ 制御部
７１ クロスローラーリング
８１ 吸引パット
１０ 枚葉シート状部材
２１ 第１部材
２２ 第２のベルト状部材
３０ アライメントステージ
４１ 第１のベルト状部材
５１ 第１の移載機
５２ 第２の移載機
６０ 位置確認装置
７０ 制御部
７１ クロスローラーリング
８１ 吸引パット
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】