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特許 7015235出願番号 特願 2018-506092
範囲に基づくリアルタイム走査電子顕微鏡非可視ビナー
出願人 ケーエルエー−テンカー コーポレイション（識別番号 500049141）
2026年 特許公開件数ランキング 272位 89件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 464位 41件（※）
公報発行日 2022年2月2
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7015235 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
欠陥の分類に関し、より詳細には非可視欠陥の分類
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
したがって、必要なのは、ウェハ欠陥を分類するために必要な時間と労力を低減するシステムと技法である。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
第１の実施形態において、システムが提供される。システムは、欠陥レビューツールと、欠陥レビューツールと通信するように構成されたコントローラを備えている。欠陥レビューツールは、ウェハを固締するように構成されたステージを有する。コントローラは、ウェハの層上の非可視欠陥を分類器を用いて識別するように構成されている。欠陥レビューツールは走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）であり得る。非可視欠陥はＳＥＭ非可視欠陥（・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
本開示の本質と目的をより万全に理解するために、以下の詳細な説明を添付の図面と併せて参照する。
【図1】
本開示の一実施形態によるフローチャートである。
【図2】
走査電子顕微鏡非可視（ＳＮＶ）スプレッドの例示的上限と下限を示すチャートである。
【図3】
例示的ＳＮＶ分類器の模式図である。
【図4】
本開示による欠陥レビューツールの一実施形態の図である。
代表図 図1本件の代表的な図
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