特許7019766IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

関連出願の相互参照 [0001] この出願は、２０１６年９月１２日に出願された欧州特許出願１６１８８３２５．１の優先権を主張し、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

[0009] 対応する参照符号が対応する部分を示す添付の概略図を参照しながら以下に本発明の実施形態について説明するが、これは単に例示としてのものに過ぎない。
【図1】 [00010] 本発明のあるリソグラフィ装置を示す。
【図2】 [0010] リソグラフィ投影装置において使用される流体ハンドリング構造を示す。
【図3】 [0011] 別の流体ハンドリング構造を示す側断面図である。
【図4】 流体ハンドリング構造の底面の斜視図である。
【図5】 流体ハンドリング構造の底面の平面図である。
【図6】 図４又は図５の流体ハンドリング構造の半分を示す側断面図である。
【図7】 別の流体ハンドリング構造の平面図である。
【図8】 図７の流体ハンドリング構造の半分の断面図である。
【図9】 別の流体ハンドリング構造の下面の斜視図である。
【図10】 別の流体ハンドリング構造の半分の側断面図である。
【図11】 別の流体ハンドリング構造の下面の斜視図である。
【図12】 別の流体ハンドリング構造の半分を示す側断面図である。
【図13】 別の流体ハンドリング構造の半分を示す側断面図である。
【図14】 別の流体ハンドリング構造の半分を示す側断面図である。

代表図 図1本件の代表的な図

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