特許7021073改善された安定性及び改善された研磨特性を有する、選択的窒化物スラリー

発明の名称　改善された安定性及び改善された研磨特性を有する、選択的窒化物スラリー

出願人　キャボット　マイクロエレクトロニクス　コーポレイション　（識別番号 500397411）

　　　　特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1152 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7021073

公報発行日　2022年2月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7021073

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