特許7024207エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

発明の名称　エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

出願人　株式会社ニコン　（識別番号 4112）

　　　　特許公開件数ランキング 152 位（220件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 128 位（218件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7024207

公報発行日　2022年2月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7024207

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