特許 7029625 ブレード固定装置及びダイシング装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-02-24

(45)【発行日】2022-03-04

(54)【発明の名称】ブレード固定装置及びダイシング装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 45/00 20060101AFI20220225BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20220225BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20220225BHJP

【ＦＩ】

B24B45/00 Z

H01L21/78 F

B24B27/06 M

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2021027116

(22)【出願日】2021-02-24

(62)【分割の表示】P 2017045098の分割

【原出願日】2017-03-09

(65)【公開番号】P2021100779

(43)【公開日】2021-07-08

【審査請求日】2021-02-24

(73)【特許権者】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100083116

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 憲三

(74)【代理人】

【識別番号】100170069

【弁理士】

【氏名又は名称】大原 一樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128635

【弁理士】

【氏名又は名称】松村 潔

(74)【代理人】

【識別番号】100140992

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 憲政

(72)【発明者】

【氏名】新井 裕介

【審査官】城野 祐希

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－０２４０９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５６－１６３８８２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ ４５／００

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｂ２４Ｂ ２７／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

回転軸に装着されたダイシングブレードを両側面から挟持する一対の挟持部材であって、前記ダイシングブレードの側面に押圧されるリング形状のフランジ面を有する前記一対の挟持部材と、
前記一対の挟持部材の各々の前記フランジ面を前記ダイシングブレードの側面に押圧する押圧部材と、
を備えるブレード固定装置において、
前記ダイシングブレードの側面に押圧される前の前記一対の挟持部材の前記フランジ面は、前記ダイシングブレードの中心に向けて、前記ダイシングブレードの側面から次第に離間していく傾斜面を備え、
前記挟持部材のフランジ面の前記傾斜面は、曲面状に形成される、ブレード固定装置。

【請求項2】

前記一対の挟持部材は、前記押圧部材によって前記フランジ面の全面が前記ダイシングブレードの側面に押圧される、請求項１に記載のブレード固定装置。

【請求項3】

回転軸に装着されたダイシングブレードを両側面から挟持する一対の挟持部材であって、前記ダイシングブレードの側面に押圧されるリング形状のフランジ面を有する前記一対の挟持部材と、
前記一対の挟持部材の各々の前記フランジ面を前記ダイシングブレードの側面に押圧する押圧部材と、
を備えるブレード固定装置において、
前記ダイシングブレードの側面に押圧される前の前記一対の挟持部材の前記フランジ面は、前記ダイシングブレードの中心に向けて外側に凸状に湾曲した湾曲面を備える、ブレード固定装置。

【請求項4】

ワークを保持するワーク保持部と、
回転軸を有するスピンドルユニットと、
前記スピンドルユニットの前記回転軸に装着されるダイシングブレードと、
前記スピンドルユニットの前記回転軸に装着される請求項１から３のいずれか１項に記載のブレード固定装置であって、前記回転軸に装着された前記ダイシングブレードを前記回転軸に固定する前記ブレード固定装置と、
を備える、ダイシング装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ブレード固定装置及びダイシング装置に係り、特に、半導体ウェーハ等のワークに対して切削加工を行うダイシングブレードを回転軸に固定するブレード固定装置及びダイシング装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ダイシング装置は、半導体装置又は電子部品が形成されたウェーハ等のワークに対して切断又は溝入れ等の切削加工を行う。ダイシング装置は、スピンドルユニットの回転軸に装着されて高速で回転するダイシングブレードを有しており、回転するダイシングブレードの切刃部をワークに接触させて切削加工を行う。

【0003】

ダイシング装置に使用されるダイシングブレードとしては、特許文献１の如く、切刃部と支持部であるハブとが一体となったハブブレードが知られており、また、特許文献２の如く、ハブを備えておらずリング形状の切削刃のみで構成されたハブレスブレードが知られている。ハブレスブレードは、一対のリング形状のフランジ（挟持部材に相当）をナット（押圧部材に相当）によって締結することにより、一対のフランジにその両側面が押圧されて固定される。

【0004】

一方、特許文献３には、回転軸に対するハブブレードの取付構造の一例が開示されている。特許文献３によれば、回転軸に台座が形成されており、この台座に形成されたフランジ面にハブブレードのブレード面（側面）が当接されてハブブレードが台座に固定されている。また、特許文献３には、台座のフランジ面が回転軸に対して垂直な面であることが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２００２－３４３７４６号公報

【文献】特開２００９－２７９６６２号公報

【文献】特開平６－２６２５１５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、ハブレスブレードは、一般に、挟持部材によって固定されたときの挟持部材から径方向への突き出し量が大きく設定されている。このため、特に難削材（リチウムタンタレート、サファイヤ又はアルチック等）をハブレスブレードによって切削加工した場合には、ハブレスブレードに大きな振れが生じてハブレスブレードがワーク上を蛇行し、結果としてカットラインが蛇行したり、最悪の場合にはハブレスブレードが破損したりするという虞があった。

【0007】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ハブレスブレードのように挟持部材から径方向への突き出し量が多いダイシングブレードであっても、ダイシングブレードの振れを抑制してワークに対するダイシングブレードの蛇行を防止することができるブレード固定装置及びダイシング装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明者が、ダイシングブレードに大きな振れが生じる原因を鋭意検証したところ、挟持部材のフランジ面の外周端側の面がダイシングブレードの側面に有効に押圧されておらず、フランジ面の内周端側の面のみがダイシングブレードの側面に押圧されていることが原因であることを突き止めた。

【0009】

従来の挟持部材のフランジ面は、例えば特許文献３にも開示されているように、回転軸に対して垂直な面であることが一般的である。このようなフランジ面を押圧部材によってダイシングブレードの側面に押圧していくと、フランジ面のうちの内周端側の面がダイシングブレードの側面に押圧され、そしてフランジ面は、フランジ面の内周端からフランジ面の外周端に向けて、ダイシングブレードの側面から次第に離間するように弾性変形することが確認された。

【0010】

このようなフランジ面の弾性変形により、ダイシングブレードの振れに大きく影響するダイシングブレードの突き出し量は、すなわち、挟持部材から径方向へのダイシングブレードの突き出し量は、フランジ面の外周端を起点とする短めの突き出し量ではなく、フランジ面の内周端を起点とする長めの突き出し量となる。このため、ダイシングブレードの突き出し量は、当初想定されていたフランジ面の外周端からの突き出し量よりも長くなるので、切削加工中のダイシングブレードに想定外の大きな振れが発生することを突き止めた。

【0011】

そこで、本発明のブレード固定装置は、本発明の目的を達成するために、回転軸に装着されたダイシングブレードを両側面から挟持する一対の挟持部材であって、ダイシングブレードの側面に押圧されるリング形状のフランジ面を有する一対の挟持部材と、一対の挟持部材の各々のフランジ面をダイシングブレードの側面に押圧する押圧部材と、を備えるブレード固定装置において、ダイシングブレードの側面に押圧される前の一対の挟持部材のフランジ面は、ダイシングブレードの外周端からダイシングブレードの中心に向けて、ダイシングブレードの側面から次第に離間していく傾斜面を備える。

【0012】

本発明のブレード固定装置によれば、挟持部材のフランジ面を押圧部材によってダイシングブレードの側面に押圧していくと、フランジ面が弾性変形していき、押圧完了時には、フランジ面の内周端からフランジ面の外周端に向けたフランジ面の全面又は略全面がダイシングブレードの側面に押圧される。又は、フランジ面の少なくとも外周端側の面がダイシングブレードの側面に押圧される。

【0013】

したがって、本発明のブレード固定装置によれば、ダイシングブレードの振れに大きく影響するダイシングブレードの突き出し量が、フランジ面の外周端近傍を起点とした短めの突き出し量となる。これにより、本発明によれば、ハブレスブレードのように挟持部材から径方向への突き出し量が多いダイシングブレードであっても、ダイシングブレードの振れを抑制することができるので、ワークに対するダイシングブレードの蛇行を防止することができる。

【0014】

本発明のブレード固定装置の一態様は、挟持部材のフランジ面の傾斜面は、曲面状に形成されることが好ましい。

【0015】

本発明の一態様によれば、フランジ面の傾斜面が曲面状であっても、フランジ面の内周端からフランジ面の外周端に向けたフランジ面の全面又は略全面をダイシングブレードの側面に押圧することができる。又は、フランジ面の内周端側の面を除く外周端側の面をダイシングブレードの側面に押圧することができる。

【0016】

本発明のブレード固定装置の一態様によれば、一対の挟持部材は、押圧部材によってフランジ面の全面がダイシングブレードの側面に押圧されることが好ましい。

【0017】

本発明の一態様によれば、フランジ面の全面がダイシングブレードの両側面を押圧するので、ダイシングブレードの振れを効果的に抑制することができる。

【0018】

また、本発明のブレード固定装置は、本発明の目的を達成するために、回転軸に装着されたダイシングブレードを両側面から挟持する一対の挟持部材であって、ダイシングブレードの側面に押圧されるリング形状のフランジ面を有する一対の挟持部材と、一対の挟持部材の各々のフランジ面をダイシングブレードの側面に押圧する押圧部材と、を備えるブレード固定装置において、ダイシングブレードの側面に押圧される前の一対の挟持部材のフランジ面は、ダイシングブレードの外周端からダイシングブレードの中心に向けて外側に凸状に湾曲した湾曲面を備える。

【0019】

本発明のブレード固定装置によれば、挟持部材のフランジ面を押圧部材によってダイシングブレードの側面に押圧していくと、フランジ面が弾性変形していき、押圧完了時には、フランジ面の外周端と内周端との間の中央部がダイシングブレードの側面に押圧される。これにより、ダイシングブレード１０の突き出し量は、中央部を起点とする長さとなるので、フランジ面の内周端を起点とする従来の長めの突き出し量よりも短くなる。よって、本発明によれば、ハブレスブレードのように挟持部材から径方向への突き出し量が多いダイシングブレードであっても、ダイシングブレードの振れを抑制することができるので、ワークに対するダイシングブレードの蛇行を防止することができる。

【0020】

本発明のダイシング装置は、本発明の目的を達成するために、ワークを保持するワーク保持部と、回転軸を有するスピンドルユニットと、スピンドルユニットの回転軸に装着されるダイシングブレードと、スピンドルユニットの回転軸に装着される本発明のブレード固定装置であって、回転軸に装着されたダイシングブレードを回転軸に固定するブレード固定装置と、を備える。

【0021】

本発明のダイシング装置によれば、ハブレスブレードのように挟持部材から径方向への突き出し量が多いダイシングブレードであっても、ダイシングブレードの振れを抑制することができるので、ワークに対するダイシングブレードの蛇行を防止することができる。

【発明の効果】

【0022】

本発明によれば、ハブレスブレードのように挟持部材から径方向への突き出し量が多いダイシングブレードであっても、ダイシングブレードの振れを抑制することができるので、ワークに対するダイシングブレードの蛇行を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】実施形態に係るダイシング装置の斜視図

【図2】加工部の構造を示した拡大斜視図

【図3】第１実施形態のブレード固定装置の概略断面図

【図4】フランジ部材のフランジ面の断面形状を示した拡大図

【図5】ナットの締結完了時のフランジ面の変形状態を示した要部拡大断面図

【図6】従来のブレード固定装置の要部拡大断面図

【図7】第２実施形態のブレード固定装置の概略断面図

【図8】第３実施形態のブレード固定装置の概略断面図

【図9】第３実施形態におけるフランジ面の変形状態を示した要部拡大断面図

【図10】第４実施形態のブレード固定装置の概略断面図

【図11】第４実施形態におけるフランジ面の変形状態を示した要部拡大断面図

【図12】フランジ面に形成される条痕を示した説明図

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、添付図面に従って本発明に係るブレード固定装置及びダイシング装置の好ましい実施形態について詳説する。

【0025】

図１は、ダイシングブレード１０を備えたダイシング装置１２の外観を示す斜視図である。

【0026】

ダイシング装置１２は、加工部１８を備える。加工部１８は、先端にダイシングブレード１０が取り付けられた一対の高周波モータ内蔵型のスピンドルユニット１４、１４と、ワークＷを吸着保持するワークテーブル（ワーク保持部）１６とを有する。また、ダイシング装置１２は、加工済みのワークＷをスピン洗浄する洗浄部２０と、多数枚のワークＷを収納したカセットが載置されるロードポート２２と、ワークＷを搬送する搬送装置２４等を備える。

【0027】

図２は、加工部１８の構造を示した拡大斜視図である。

【0028】

図２に示す加工部１８は、Ｘベース２５の一対のＸガイド２６、２６にガイドされたＸテーブル２８であって、リニアモータ３０によってＸ方向に駆動されるＸテーブル２８を有する。このＸテーブル２８には、θ方向に回転する回転テーブル３２を介してワークテーブル１６が設けられている。

【0029】

Ｘベース２５の上方には、Ｘベース２５を跨ぐようにＹベース３４が設けられる。Ｙベース３４の正面には、一対のＹガイド３６、３６にガイドされた一対のＹテーブル３８、３８であって、図示しない送り装置によってＹ方向に駆動される一対のＹテーブル３８、３８が設けられる。

【0030】

また、一対のＹテーブル３８、３８には、図示しない送り装置によってＺ方向に駆動されるＺテーブル４０、４０が設けられている。Ｚテーブル４０、４０には高周波モータ内蔵型のスピンドルユニット１４、１４が対向した状態で固定され、スピンドルユニット１４の回転軸１４Ａ（図３参照）にダイシングブレード１０、１０が対向した状態で固定されている。

【0031】

このように構成された加工部１８によれば、スピンドルユニット１４、１４はＹ方向にインデックス送りされるとともにＺ方向に切り込み送りされ、また、ワークテーブル１６はＸ方向に切削送りされる。

【0032】

図３は、第１実施形態のブレード固定装置４２の概略断面図である。

【0033】

ブレード固定装置４２は、一対の挟持部材である第１フランジ部材４４及び第２フランジ部材４６と、押圧部材であるナット４８と、を備えている。ダイシングブレード１０は、第１フランジ部材４４と第２フランジ部材４６との間で狭持される。

【0034】

ダイシングブレード１０は、リング形状に構成されたハブレスブレードである。ダイシングブレード１０の中央部には、ダイシングブレード１０を回転軸１４Ａ側に装着するための装着孔１０Ａが形成される。

【0035】

ダイシングブレード１０は、ダイヤモンド砥粒を結合材によって結合させたものであり、ダイシングブレード１０の外周部の切刃部１０Ｂに、ダイヤモンド砥粒が散りばめられた形で存在している。

【0036】

第１フランジ部材４４は、円盤状に形成され、その中央部に第１フランジ部材４４を回転軸１４Ａに装着するための装着孔４４Ａが形成される。また、第１フランジ部材４４の背面４４Ｂには、回転軸１４Ａの台座１５に当接される位置決め面４４Ｃが形成される。また、第１フランジ部材４４の正面４４Ｄには、装着孔４４Ａに連通された筒状部４４Ｅであって、ダイシングブレード１０の装着孔１０Ａが嵌合される筒状部４４Ｅが形成される。ダイシングブレード１０は、その装着孔１０Ａが筒状部４４Ｅに嵌合されることにより、筒状部４４Ｅを介して回転軸１４Ａに装着される。

【0037】

また、第１フランジ部材４４の正面４４Ｄには、ダイシングブレード１０の一方の側面１０Ｃに当接されるフランジ面４４Ｆが形成される。このフランジ面４４Ｆは、正面４４Ｄの外縁部に沿ったリング状の面であり、外周端ａと内周端ｂとを有する。フランジ面４４Ｆについては後述する。

【0038】

第２フランジ部材４６は、円盤状に形成され、その中央部に第２フランジ部材４６を筒状部４４Ｅに装着するための装着孔４６Ａが形成される。また、第２フランジ部材４６の正面４６Ｂには、ダイシングブレード１０の他方の側面１０Ｄに当接されるフランジ面４６Ｆが形成される。このフランジ面４６Ｆは、第２フランジ部材４６が筒状部４４Ｅに装着された際に、第１フランジ部材４４のフランジ面４４Ｆに対向される。また、フランジ面４６Ｆは、正面４６Ｂの外縁部に沿ったリング状の面であり、フランジ面４４Ｆと同様に外周端ａと内周端ｂとを有する。フランジ面４６Ｆについても後述する。

【0039】

なお、第１及び第２フランジ部材４４、４６は、ダイシングブレード１０とともに高速回転されることから、慣性変形を防止するために軽量で剛性のあるチタン製であることが好ましい。

【0040】

ナット４８は、筒状部４４Ｅの外周面に形成されたネジ部（不図示）に螺合されて、第２フランジ部材４６の背面４６Ｃに当接される。この状態からナット４８を締結していくと、ナット４８の軸力（押圧力）により第２フランジ部材４６が第１フランジ部材４４に向けて押圧付勢される。これにより、ダイシングブレード１０の側面Ｃが第１フランジ部材４４のフランジ面４４Ｆに押圧され、かつダイシングブレード１０の側面Ｄが第２フランジ部材４６のフランジ面４６Ｆに押圧される。これによって、ダイシングブレード１０が、第１及び第２フランジ部材４４、４６に挟持されて回転軸１４Ａに固定される。

【0041】

次に、第１及び第２フランジ部材４４、４６のフランジ面４４Ｆ、４６Ｆについて説明する。

【0042】

図４は、ダイシングブレード１０を回転軸１４Ａに固定する前の第１及び第２フランジ部材４４、４６のフランジ面４４Ｆ、４６Ｆの断面形状の一例を示した拡大図である。

【0043】

図４に示すように、フランジ面４４Ｆは、フランジ面４４Ｆの外周端ａから内周端ｂに向けて、ダイシングブレード１０の側面１０Ｃから次第に離間していく傾斜面として形成されている。つまり、フランジ面４４Ｆは、ダイシングブレード１０の外周端１０Ｅからダイシングブレード１０の中心１０Ｆに向けて、ダイシングブレード１０の側面１０Ｃから次第に離間していく傾斜面として形成されている。

【0044】

フランジ面４６Ｆも同様に、フランジ面４６Ｆの外周端ａから内周端ｂに向けて、ダイシングブレード１０の側面１０Ｄから次第に離間していく傾斜面として形成されている。つまり、フランジ面４６Ｆは、ダイシングブレード１０の外周端１０Ｅからダイシングブレード１０の中心１０Ｆに向けて、ダイシングブレード１０の側面１０Ｄから次第に離間していく傾斜面として形成されている。

【0045】

第１実施形態のブレード固定装置４２によれば、第１及び第２フランジ部材４４、４６のフランジ面４４Ｆ、４６Ｆをナット４８（図３参照）の軸力によってダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧していくと、図４に示したように、ダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄから互いに離れていたフランジ面４４Ｆ、４６Ｆが、ナット４８の軸力によって互いに近づく方向に弾性変形していく。

【0046】

そして、図５に示すナット４８の締結完了時には、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの内周端ｂから外周端ａに向けたフランジ面４４Ｆ、４６Ｆの全面又は略全面がダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧される。又は、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの少なくとも外周端ａ側の面がダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧される。

【0047】

ここで、従来例と比較する。図６は、従来のブレード固定装置１の要部拡大断面図である。図６には、ナット２の締結完了時における、第１及び第２フランジ部材３、４のフランジ面３Ａ、４Ａの変形状態が示されている。

【0048】

従来の第１及び第２フランジ部材３、４のフランジ面３Ａ、４Ａは、ダイシングブレード６の側面６Ａ、６Ｂに押圧される前状態で、回転軸（不図示）の軸５に対して垂直な面であることが一般的である。このようなフランジ面３Ａ、４Ａをナット２の軸力によってダイシングブレード６の側面６Ａ、６Ｂに押圧していくと、フランジ面３Ａ、４Ａのうちの内周端ｂ側の面のみがダイシングブレード６の側面６Ａ、６Ｂに押圧され、そしてフランジ面３Ａ、４Ａは、内周端ｂから外周端ａに向けて、ダイシングブレード６の側面６Ａ、６Ｂから次第に離間するように弾性変形していく。

【0049】

このようなフランジ面３Ａ、４Ａの弾性変形により、ダイシングブレード６の振れに大きく影響するフランジ部材３、４から径方向へのダイシングブレード６の突き出し量ｄは、フランジ面３Ａ、４Ａの外周端ａの近傍を起点とする短めの突き出し量ｃ（図５参照）ではなく、フランジ面３Ａ、４Ａの内周端ｂを起点とする長めの突き出し量となる。このため、ダイシングブレード６の突き出し量ｄは、当初想定されていた突き出し量ｃ（図５参照）よりも長くなるので、切削加工中のダイシングブレード６に想定外の大きな振れが発生した。

【0050】

上記の従来例に対し、第１実施形態のブレード固定装置４２は、図４の如く、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆを、ダイシングブレード１０の外周端１０Ｅからダイシングブレード１０の中心１０Ｆに向けて、ダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄから次第に離間していく傾斜面として形成したので、図５の如く、ナット４８の締結完了時には、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの全面又は略全面がダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧される。又は、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの少なくとも外周端ａの面がダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧される。

【0051】

したがって、第１実施形態によれば、ダイシングブレード１０の振れに大きく影響するダイシングブレード１０の突き出し量ｃが、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの外周端ａの近傍を起点とした短めの突き出し量となる。これにより、第１及び第２フランジ部材４４、４６から径方向への突き出し量が多いハブレス型のダイシングブレード１０であっても、ダイシングブレード１０の振れを効果的に抑制することができ、これによって、ワークＷに対するダイシングブレード１０の蛇行を防止することができる。

【0052】

なお、図３の如く、回転軸１４Ａの軸１４Ｃに直交する方向に対するフランジ面４４Ｆ、４６Ｆの傾斜角度α（図４参照）は、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの変形要因である第１及び第２フランジ部材４４、４６の回転時の慣性力、第１及び第２フランジ部材４４、４６の材質、形状、及びナット４８の軸力等に応じて適宜調整されることが好ましい。

【0053】

図７は、第２実施形態に係るブレード固定装置５０の要部拡大断面図である。なお、図５に示した第１実施形態のブレード固定装置４２と同一若しくは類似の部材については同一の符号を付してその説明は省略する。

【0054】

図５に示したブレード固定装置４２と図７のブレード固定装置５０とは、フランジ面の形状が異なる。図５のフランジ面４４Ｆ、４６Ｆは、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの外周端ａから内周端ｂに向けた全ての面を傾斜面として形成している。これに対して、図７のフランジ面４４Ｇ、４６Ｇは、外周端ａ側の面４４Ｈ、４６Ｈがダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに対して平行な面として形成され、面４４Ｈ、４６Ｈを除く内周端ｂ側の面４４Ｉ、４６Ｉがフランジ面４４Ｆ、４６Ｆ（図４参照）と同様の傾斜面として形成されている。すなわち、第２実施形態のブレード固定装置５０は、フランジ面４４Ｇ、４６Ｇの一部に傾斜面である面４４Ｉ、４６Ｉが備えられている。

【0055】

このように構成されたブレード固定装置５０であっても、ダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄから互いに離れていた面４４Ｉ、４６Ｉが、ナット４８（図３参照）の軸力によって互いに近づく方向に弾性変形していき、ナット４８の締結完了時には、面４４Ｉ、４６Ｉがダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧される。

【0056】

また、ブレード固定装置５０によれば、外周端ａ側の面４４Ｈ、４６Ｈがダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄと平行な面であり、内周端ｂ側の面４４Ｉ、４６Ｉが傾斜面であるので、外周端ａ側に必要な剛性を確保しつつ、外周端ａ側の面４４Ｈ、４６Ｈでダイシングブレード１０を挟持することができる。

【0057】

なお、第２実施形態のブレード固定装置５０の変形例として、外周端ａ側の面４４Ｈ、４６Ｈの形状を、外側に突出した円弧状面とすることもできる。

【0058】

図８は、第３実施形態に係るブレード固定装置５２の要部拡大断面図である。なお、図５に示した第１実施形態のブレード固定装置４２と同一若しくは類似の部材については同一の符号を付してその説明は省略する。

【0059】

図５に示したブレード固定装置４２と図８のブレード固定装置５２とは、フランジ面の形状が異なる。図５のフランジ面４４Ｆ、４６Ｆの傾斜面は、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの外周端ａから内周端ｂに向けたフラットな面である。これに対して、図８のフランジ面４４Ｊ、４６Ｊの傾斜面は、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの外周端ａから内周端ｂに向けて曲面状に形成されている。

【0060】

図９は、図８のブレード固定装置５２において、ナット４８（図３参照）の締結完了時のフランジ面４４Ｊ、４６Ｊの変形状態を示した要部拡大断面図である。

【0061】

図９の如く、第１及び第２フランジ部材４４、４６のフランジ面４４Ｊ、４６Ｊの傾斜面が曲面状であっても、フランジ面４４Ｊ、４６Ｊの内周端ｂから外周端ａに向けたフランジ面４４Ｊ、４６Ｊの全面又は略全面をダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧することができる。又は、フランジ面４４Ｊ、４６Ｊの内周端ｂ側の面を除く外周端ａ側の面をダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧することができる。

【0062】

なお、フランジ面４４Ｊ、４６Ｊの曲率半径r（図７参照）は、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの変形要因である第１及び第２フランジ部材４４、４６の回転時の慣性力、第１及び第２フランジ部材４４、４６の材質、形状、及びナット４８の軸力等に応じて適宜調整されることが好ましい。

【0063】

図１０は、第４実施形態に係るブレード固定装置５４の要部拡大断面図である。なお、図５に示した第１実施形態のブレード固定装置４２と同一若しくは類似の部材については同一の符号を付してその説明は省略する。

【0064】

図５に示したブレード固定装置４２と図１０のブレード固定装置５４とは、フランジ面の形状が異なる。図５のフランジ面４４Ｆ、４６Ｆは、ダイシングブレード１０の外周端１０Ｅ（図４参照）からダイシングブレード１０の中心１０Ｆに向けて、ダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄから次第に離間していくフラットな面である。これに対して、図１０のフランジ面４４Ｋ、４６Ｋは、ダイシングブレード１０の外周端１０Ｅから中心１０Ｆに向けて外側に凸状に湾曲した湾曲面である。

【0065】

図１１は、図１０のブレード固定装置５４において、ナット４８（図３参照）の締結完了時のフランジ面４４Ｋ、４６Ｋの変形状態を示した要部拡大断面図である。

【0066】

図１１の如く、第１及び第２フランジ部材４４、４６のフランジ面４４Ｋ、４６Ｋが湾曲面なので、フランジ面４４Ｋ、４６Ｋの外周端ａと内周端ｂとの間の中央部ｅがダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧される。よって、ダイシングブレード１０の突き出し量ｆは、中央部ｅを起点とするものなので、図６に示した従来の突き出し量ｄよりも短くなる。

【0067】

よって、フランジ面４４Ｋ、４６Ｋが湾曲面であるブレード固定装置５４であっても、ダイシングブレード１０の振れを抑制することができるので、ワークに対するダイシングブレード１０の蛇行を防止することができる。

【0068】

なお、フランジ面４４Ｋ、４６Ｋの曲率半径r（図７参照）は、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの変形要因である第１及び第２フランジ部材４４、４６の回転時の慣性力、第１及び第２フランジ部材４４、４６材質、形状、ナット４８の軸力等に応じて適宜調整されることが好ましい。

【0069】

ところで、ダイシングブレード１０に対する第１及び第２フランジ部材４４、４６の保持力を高めるための手段として、第１及び第２フランジ部材４４、４６のフランジ面に条痕を形成することが考えられる。この場合、＃４００～＃８００レベルの砥石をフランジ面に当てて、挟持部材を回転させながらフランジ面を研削した場合に生じる条痕が有効となる。

【0070】

図１２には、第１フランジ部材４４のフランジ面４４Ｆに形成される上述の条痕ｆが示されている。

【0071】

図１２の如くフランジ面４４Ｆに条痕ｆを形成することにより、特にフランジ面４４Ｆとダイシングブレード１０の側面１０Ｃ（図３参照）との接触が部分的になる場合には、条痕ｆがダイシングブレード１０の側面１０Ｃに噛み込むことで、第１フランジ部材４４に対するダイシングブレード１０の空転を防止することができる。なお、ダイシング装置内で行われるフランジ面４４Ｆの端面修正作業においては、ステンレスよりもチタンの方が硬度が低いので、条痕ｆを容易に得ることができる。

【符号の説明】

【0072】

１０…ダイシングブレード、１２…ダイシング装置、１４…スピンドルユニット、１４Ａ…回転軸、１５…台座、１６…ワークテーブル、１８…加工部、２０…洗浄部、２２…ロードポート、２４…搬送装置、２５…Ｘベース、２６…Ｘガイド、２８…Ｘテーブル、３０…リニアモータ、３２…回転テーブル、３４…Ｙベース、３６…Ｙガイド、３８…Ｙテーブル、４０…Ｚテーブル、４２…ブレード固定装置、４４…第１フランジ部材、４６…第２フランジ部材、４４Ｆ…フランジ面、４６Ｆ…フランジ面、４４Ｇ…フランジ面、４６Ｇ…フランジ面、４４Ｊ…フランジ面、４６Ｊ…フランジ面、４４Ｋ…フランジ面、４６Ｋ…フランジ面、４８…ナット、５０…ブレード固定装置、５２…ブレード固定装置、５４…ブレード固定装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】