特許7053155光学モジュールおよび検出方法

発明の名称　光学モジュールおよび検出方法

出願人　アプライド　マテリアルズ　イスラエル　リミテッド　（識別番号 504144253）

　　　　特許公開件数ランキング 1666 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4182 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7053155

公報発行日　2022年4月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7053155

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